CN116724386A - 面板收纳容器 - Google Patents

面板收纳容器 Download PDF

Info

Publication number
CN116724386A
CN116724386A CN202280010934.6A CN202280010934A CN116724386A CN 116724386 A CN116724386 A CN 116724386A CN 202280010934 A CN202280010934 A CN 202280010934A CN 116724386 A CN116724386 A CN 116724386A
Authority
CN
China
Prior art keywords
panel
shaft
fitting hole
end portion
container
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202280010934.6A
Other languages
English (en)
Inventor
大贯和正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Publication of CN116724386A publication Critical patent/CN116724386A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67383Closed carriers characterised by substrate supports
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/02Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage
    • B65D81/05Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/42Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for ampoules; for lamp bulbs; for electronic valves or tubes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67363Closed carriers specially adapted for containing substrates other than wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)

Abstract

面板收纳容器包括用于收纳多个面板的容器本体、以及设置于容器本体的内部并支撑多个面板的面板支撑部,面板支撑部包括用于支撑多个面板中的一块面板的沿第一方向延伸的第一轴,容器本体包括用于固定第一轴的第一支柱,第一轴具有作为第一方向上的两端部的第一端部及第二端部,在第一支柱上设置有供第一端部嵌合的第一嵌合孔,第一嵌合孔在第一方向上随着朝向容器本体的内部而向上方倾斜。

Description

面板收纳容器
技术领域
本公开是有关于一种面板收纳容器。
背景技术
在处理液晶面板用玻璃基板等面板的制造步骤中,在将矩形形状的面板自制造装置移送至其他步骤的制造装置时及暂时保管面板时,可使用收纳多个面板的面板收纳容器。例如,在专利文献1中记载有一种面板收纳容器,包括:容器本体,收纳面板;以及盖体,开闭自如地覆盖设置于容器本体的开口部。在该面板收纳容器的内部,设置有支撑一块面板的中央下表面的长条的支撑构件(轴)。
专利文献1:国际公开第2019/138982号
在专利文献1所记载的面板收纳容器中,仅轴的后端部固定于支柱上。因此,有时由于轴的自重,轴的前端会低于设计上的高度。在此情况下,在将面板搬入轴下方的收纳层中时,或者自下方的收纳层搬出面板时,具有面板与轴发生干涉而导致面板破损之虞。
发明内容
本公开对能够抑制面板的破损的面板收纳容器进行说明。
本公开的一方面的面板收纳容器包括用于收纳多个面板的容器本体、及设置于容器本体的内部并支撑多个面板的面板支撑部。面板支撑部包括用于支撑多个面板中的一块面板的沿第一方向延伸的第一轴。容器本体包括用于固定第一轴的第一支柱。第一轴具有作为第一方向上的两端部的第一端部及第二端部。在第一支柱上设置有供第一端部嵌合的第一嵌合孔。第一嵌合孔在第一方向上随着朝向容器本体的内部而向上方倾斜。
在所述面板收纳容器中,供第一轴的第一端部嵌合的第一嵌合孔在第一方向上随着朝向容器本体的内部而向上方倾斜。因此,假定未施加第一轴的自重时的第二端部的高度较第一端部的高度更高。因此,即便第二端部因第一轴的自重而垂下,亦可减少第一轴的第二端部与被搬入第一轴下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够抑制面板的破损。
第一嵌合孔亦可以使得第二端部的高度与第一端部的高度相同或较第一端部的高度更高的方式倾斜。在此情况下,可进一步减少第一轴的第二端部与被搬入第一轴下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够进一步抑制面板的破损。
第一嵌合孔相对于水平方向倾斜的倾斜角可基于第一轴的长度、直径及杨氏模量来确定。由第一轴的自重产生的挠曲量受到第一轴的长度、直径及杨氏模量的影响。因此,通过考虑第一轴的长度、直径及杨氏模量,可适当地确定第一嵌合孔的倾斜角。
第一嵌合孔相对于水平方向倾斜的倾斜角可为0.05度以上且1.00度以下。通过将第一嵌合孔的倾斜角设定为上述范围,可更进一步减少第一轴的第二端部与被搬入第一轴下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够更进一步抑制面板的破损。
面板支撑部亦可进一步包括用于支撑面板的沿第一方向延伸的第二轴、及支撑第二轴的支撑体。容器本体亦可进一步包括用于固定第二轴的第二支柱。第一轴与第二轴亦可排列于与第一方向交叉的第二方向上。第二轴亦可具有作为第一方向上的两端部的第三端部及第四端部。亦可在第二支柱设置有供第三端部嵌合的第二嵌合孔。第一嵌合孔亦可较第二嵌合孔更向上方倾斜。第二轴不仅由第二支柱支撑,亦由支撑体支撑。因此,第四端部因第二轴的自重而垂下的量小于第二端部因第一轴的自重而垂下的量。因此,通过第一嵌合孔较第二嵌合孔更向上方倾斜,可减少第二端部的高度与第四端部的高度之差。其结果,能够稳定地支撑面板。
第一嵌合孔亦可以使得第二端部的高度与第四端部的高度相同或较第四端部的高度更高的方式倾斜。在此情况下,可进一步减少第一轴的第二端部与被搬入第一轴下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够进一步抑制面板的破损。
根据本公开,可抑制面板的破损。
附图说明
图1是一实施方式的面板收纳容器的分解立体图。
图2是图1所示的面板收纳容器的背面立体图。
图3是图1所示的框体的主视图。
图4是图1所示的面板收纳容器的仰视图。
图5是沿图2的V-V线的剖视图。
图6是沿图5的VI-VI线的剖视图。
图7的(a)是沿图5的VIIa-VIIa线的剖视图。图7的(b)是沿图5的VIIb-VIIb线的剖视图。
具体实施方式
以下,在参照附图的同时对本公开的实施方式进行详细说明。再者,在附图的说明中,对相同元件标注相同的附图标记,并省略重复说明。在各图中,示出XYZ坐标系。Y轴方向为与X轴方向及Z轴方向交叉(此处为正交)的方向。Z轴方向为与X轴方向及Y轴方向交叉(此处为正交)的方向。作为一例,X轴方向为左右方向(宽度方向;第二方向),Y轴方向为前后方向(纵深方向;第一方向),Z轴方向为上下方向(高度方向)。为了方便说明,使用“前”、“后”、“上”、“下”、“左”及“右”的用语,但不限定于这些方向。
参照图1及图2,对一实施方式的面板收纳容器进行说明。图1为一实施方式的面板收纳容器的分解立体图。图2为图1所示的面板收纳容器的背面立体图。
图1及图2所示的面板收纳容器1为用于收纳多个面板的容器。面板收纳容器1例如依据国际半导体设备与材料(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)标准。作为面板的例子,可列举液晶面板用的玻璃基板、及搭载有电子零件的面板。面板具有矩形形状。作为面板的尺寸的例子,可列举510mm×515mm及600mm×600mm。面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数是任意确定,例如可为6块,亦可为12块。
面板收纳容器1例如在制造电子零件的制造装置中使用。电子零件例如是经由下述步骤等而制造:在玻璃板及不锈钢板等大型的载体面板上搭载多个电子零件;以环氧树脂等将这些电子零件加以密封;将经密封的电子零件以面板形态自载体面板剥下;以及将面板形态的电子零件分别切出。面板收纳容器1是用于在这些步骤间移送面板。
面板收纳容器1包括容器本体2及盖体3。
容器本体2为正面(前表面)开放的、长方体形状的容器。换言之,容器本体2为在前表面设置有开口2a的、前开箱(front open box)型的容器。容器本体2收纳多个面板。经由开口2a将面板自容器本体2中取出或放入至容器本体2。容器本体2的详情将在后面描述。
盖体3为用于堵塞容器本体2的开口2a的构件。盖体3经由垫片(gasket)等密封构件将容器本体2的开口2a气密地堵塞。盖体3装卸自如地安装于限定开口2a的凸缘25。盖体3包括盖本体31及上锁机构32。盖本体31为盖体3的本体部分。盖本体31为矩形形状的板材。盖本体31例如由金属材料所构成。作为金属材料的例子,可列举铝及镁合金。在盖本体31的前表面设置有钥匙孔33。在钥匙孔33插入未图示的钥匙。
通过对插入至钥匙孔33的钥匙进行操作,上锁机构32将盖体3上锁或解锁。上锁机构32包括未图示的门闩(latch)。在将盖体3安装于凸缘25的状态下,通过利用钥匙的操作将门闩嵌入至设置于凸缘25的上锁孔25h,从而将盖体3上锁。在将盖体3上锁的状态下,通过利用钥匙的操作将门闩自上锁孔25h抽出,从而将盖体3解锁。
容器本体2及盖体3亦可通过将由金属材料或树脂材料所成型的多个零件组合而构成。作为树脂材料的成型材料所含的树脂的例子,可列举热塑性树脂。作为热塑性树脂的例子,可列举:聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚醚醚酮、聚对苯二甲酸丁二酯、聚缩醛、液晶聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸树脂、及丙烯腈丁二烯苯乙烯共聚物。作为树脂材料的成型材料所含的树脂,可使用前述材料的合金(alloy)。
亦可在这些树脂添加导电物质及各种抗静电剂。导电物质例如由碳纤维、碳粉末、碳纳米管或导电性聚合物等构成。作为抗静电剂,可使用阴离子系、阳离子系及非离子系等抗静电剂。亦可添加苯并三唑系、水杨酸酯系、氰基丙烯酸酯系、草酰苯胺(oxalic acidanilide)系及受阻胺系的紫外线吸收剂。亦可选择性地添加使刚性提高的玻璃纤维或碳纤维等。
继而,进一步参照图3对容器本体2进行详细说明。图3为图1所示的框体的主视图。如图1~图3所示,容器本体2包括顶板21、底板22、一对侧壁23、背面壁24、凸缘25、框体26、台座部27、一对轨道构件28、侧板29、一对盖构件C1、一对盖构件C2及一对盖构件C3。
顶板21、底板22、侧壁23及背面壁24为大致矩形形状的板材。顶板21与底板22在上下方向上相互相向,且大致平行地配置。一对侧壁23在左右方向上相互相向,且大致平行地配置。左侧的侧壁23将顶板21的左端与底板22的左端连结。右侧的侧壁23将顶板21的右端与底板22的右端连结。背面壁24将顶板21的后端与底板22的后端连结,并且将一对侧壁23的后端连结。由顶板21、底板22、一对侧壁23及背面壁24限定收容空间20。
顶板21、底板22及侧壁23例如由金属材料所构成。作为金属材料的例子,可列举铝及不锈钢。背面壁24例如由能够自容器本体2的外部目视收容空间20的、透明的树脂材料所构成。背面壁24的一部分亦可由透明的树脂材料所构成。作为透明的树脂材料的例子,可列举丙烯酸树脂、聚碳酸酯、氯乙烯树脂及环烯烃聚合物。
凸缘25为矩形形状的框体,且跨顶板21的前端、底板22的前端及一对侧壁23的前端而设置。通过凸缘25来限定开口2a。凸缘25例如由上文所述的树脂材料所构成。在凸缘25的上框部及下框部分别设置有在左右方向上远离地排列的两个上锁孔25h。上框部的上锁孔25h与下框部的上锁孔25h设置于在上下方向上相互相向的位置。
框体26用于固定顶板21、底板22、一对侧壁23及背面壁24。框体26例如由金属材料所构成。作为金属材料的例子,可列举铝及不锈钢。框体26设置于背面壁24的前表面。框体26具有上框材26a、下框材26b、一对侧框材26c、支柱26d(第一支柱)及一对支柱26e(第二支柱)。上框材26a及下框材26b为沿左右方向延伸的柱状构件。上框材26a及下框材26b在上下方向上相互远离,并且大致平行地配置。
一对侧框材26c为沿上下方向延伸的柱状构件。一对侧框材26c在左右方向上相互远离,并且大致平行地配置。上框材26a及下框材26b的左端通过螺杆而固定于左侧的侧框材26c。上框材26a及下框材26b的右端通过螺杆而固定于右侧的侧框材26c。即,上框材26a的左端与下框材26b的左端由左侧的侧框材26c连结,上框材26a的右端与下框材26b的右端由右侧的侧框材26c连结。
支柱26d及一对支柱26e为沿上下方向延伸的柱状构件。其中一个支柱26e、支柱26d及另一个支柱26e在左右方向上依序排列,且相互大致平行地配置。支柱26d及一对支柱26e的上端通过螺杆而固定于上框材26a。支柱26d及一对支柱26e的下端通过螺杆而固定于下框材26b。支柱26d设置于框体26的左右方向上的中心,一对支柱26e设置于框体26的左右方向上的两端附近。
支柱26d为用于固定后述的轴61a(第一轴)的构件。在支柱26d设置有用于安装轴61a的多个嵌合孔26g(第一嵌合孔)。这些嵌合孔26g自支柱26d的前表面朝向后方凹陷。支柱26e为用于固定后述的轴62a(第二轴)的构件。在支柱26e设置有用于安装轴62a的多个嵌合孔26h(第二嵌合孔)。这些嵌合孔26h自支柱26e的前表面朝向后方凹陷。
台座部27为成为容器本体2的基底的部分。台座部27例如由金属材料所构成。作为金属材料的例子,可列举铝及不锈钢。台座部27设置于底板22的下表面。台座部27通过将多个柱状的支撑构件组合而构成。
一对轨道构件28为用于载置容器本体2的部分。一对轨道构件28例如在通过输送机搬送面板收纳容器1时载置于输送机。各轨道构件28为沿前后方向延伸的板状构件。轨道构件28例如由上文所述的树脂材料所构成。
侧板29为用于安装后述的支撑体65(保持构件)的构件。侧板29为沿上下方向延伸的板状构件。侧板29例如由金属材料所构成。作为金属材料的例子,可列举铝及不锈钢。侧板29设置于侧壁23的本体部23a的外表面。本实施方式中,在各侧壁23设置有两个侧板29。两个侧板29排列于前后方向上,且相互大致平行地配置。一个侧板29设置于侧壁23的前后方向上的中心附近,另一个侧板29设置于侧壁23的前后方向上的前端附近。各侧板29的上端通过螺杆而固定于侧壁23的上端部23b。各侧板29的下端通过螺杆而固定于侧壁23的下端部23c。
盖构件C1~盖构件C3为用于防止颗粒(粒子)向收容空间20侵入的构件。盖构件C1~盖构件C3例如由上文所述的树脂材料所构成。一对盖构件C1设置于由顶板21、侧壁23及凸缘25所形成的角部。一对盖构件C2设置于由顶板21、侧壁23及背面壁24所形成的角部。一对盖构件C3设置于由底板22、侧壁23及背面壁24所形成的角部。
继而,参照图4,对设置于容器本体2的底部的构件进行说明。图4为图1所示的面板收纳容器的仰视图。如图4所示,面板收纳容器1进一步包括基底基板51、安装板52、安装板53、定位构件54及供排气机构55。
基底基板51为用于安装定位构件54及供排气机构55的基板。基底基板51为矩形形状的板材。基底基板51设置于台座部27的下方。在基底基板51上设置有用于安装定位构件54的安装孔(未图示)、及用于安装供排气机构55的贯通孔51h。在本实施方式中,用于安装定位构件54的安装孔(以下,有时称为“安装孔”)的数量为三个,所述三个安装孔自基底基板51的中心呈辐射状延伸。在基底基板51的前部分的两端附近设置有两个安装孔,在基底基板51的后部分的左右方向上的中心附近设置有一个安装孔。在本实施方式中,设置有四个贯通孔51h。四个贯通孔51h设置于基底基板51的四角附近。
安装板52、安装板53为用于将定位构件54安装于基底基板51的构件。安装板52、安装板53为板状构件。安装板52、安装板53例如由上文所述的树脂材料所构成。安装板52设置于基底基板51的前部分的下表面。在安装板52上设置有用于使定位构件54露出的两个贯通孔52g。在安装板52的两个贯通孔52g之间,进一步设置有用于固定面板收纳容器1的贯通孔。安装板53设置于基底基板51的后部分的下表面。在安装板53上设置有用于使定位构件54露出的贯通孔53g。
定位构件54为用于由搬送装置或加工装置等外部装置进行面板收纳容器1(容器本体2)的定位的构件。定位构件54例如由金属材料所构成。作为金属材料的例子,可列举铝及不锈钢。定位构件54为V字状的板材。定位构件54以朝向底板22(向上方)凹陷的方式,嵌合于基底基板51的安装孔。通过定位构件54的V字面来限定V字状的槽。V字面被施以耐磨耗性的表面处理。在本实施方式中,容器本体2包括三个定位构件54。
在设置于基底基板51的前部分的两个安装孔中嵌合有两个定位构件54,以定位构件54的V字面自贯通孔52g露出的方式将安装板52安装于基底基板51的下表面。定位构件54的两端由基底基板51与安装板52夹持。同样地,在设置于基底基板51的后部分的一个安装孔中嵌合有一个定位构件54,以定位构件54的V字面自贯通孔53g露出的方式将安装板53安装于基底基板51的下表面。定位构件54的两端由基底基板51与安装板53夹持。
通过外部装置所具有的销抵接于各定位构件54的V字面,从而将面板收纳容器1定位。具体而言,通过V字面将销导引至V字状的槽。面板收纳容器1包括三个定位构件54,故而面板收纳容器1在三点受到支撑。因此,可高精度地确定面板收纳容器1的位置。定位构件54的个数及配置亦可适当变更。
供排气机构55为用于向收容空间20内供给气体,并从收容空间20排出气体,以保持面板收纳容器1的内部(收容空间20)的清洁性及低湿度的机构。作为对收容空间20内供给的气体的例子,可列举非活性气体。本实施方式中,容器本体2包括四个供排气机构55。各供排气机构55设置于底板22与基底基板51之间。各供排气机构55经由设置于底板22的贯通孔22h(参照图5)及设置于基底基板51的贯通孔51h,将气体供给至收容空间20,或自收容空间20排出气体。本实施方式中,设置于前方的两个供排气机构55自收容空间20排出气体,设置于后方的两个供排气机构55向收容空间20供给气体。再者,供排气机构55的个数、配置及功能可任意变更。
继而,参照图5及图6对收容空间20内的结构进行说明。图5为沿图2的V-V线的剖视图。图6为沿图5的VI-VI线的剖视图。如图5所示,面板收纳容器1进一步包括面板支撑部60。面板支撑部60为用于支撑多个面板的部分。面板支撑部60设置于容器本体2的内部(收容空间20)。面板支撑部60包括多个支撑部61、多个支撑部62、多个止挡件63及多个止挡件64(保持构件)。
支撑部61、支撑部62、止挡件63及止挡件64的个数是根据面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数而变更。本实施方式中,面板支撑部60针对每一块面板而包括一个支撑部61、两个支撑部62、两个止挡件63及两个止挡件64。换言之,由一个支撑部61、两个支撑部62、两个止挡件63及两个止挡件64形成收纳一块面板的收纳层。
支撑部61为用于支撑面板的左右方向上的中央部的部分。支撑部61具有轴61a及多个弹性体61b。轴61a为沿前后方向延伸的柱状(例如圆柱状)的构件。轴61a为了支撑一块面板而使用。轴61a具有作为轴61a的延伸方向(前后方向)上的两端部的端部61c(第一端部;参照图7的(a))及端部61d(第二端部)。端部61c嵌入至支柱26d的嵌合孔26g中,并通过螺杆固定于支柱26d。关于轴61a固定于支柱26d的形态,将在后面描述。轴61a例如由弯曲刚性高的材料所构成。作为轴61a的构成材料的例子,可列举不锈钢及铝等金属、以及碳纤维强化塑料。
弹性体61b为设置于轴61a的外周面的环状(例如圆环状)的构件。弹性体61b是为了抑制面板的滑动且提高面板的定位精度而设置。就防止面板的滑动的观点而言,弹性体61b亦可具有较轴61a更高的摩擦力。就防止面板的损伤的观点而言,弹性体61b亦可具有较轴61a更高的弹性(缓冲性)。弹性体61b例如是由橡胶材料所构成。作为橡胶材料的例子,可列举乙烯丙烯二烯橡胶(Ethylene Propylene Diene Monomer,EPDM)、硅橡胶及氟橡胶。弹性体61b例如为O型环。多个弹性体61b在轴61a的延伸方向上以规定的间隔排列。就提高定位精度的观点而言,相互相邻的两个弹性体61b的间隔亦可为50mm~100mm的范围。
支撑部62为用于支撑面板的左右方向的两端部的部分。支撑部62具有轴62a、多个弹性体62b及多个支撑体65。轴62a为沿前后方向延伸的柱状(例如圆柱状)的构件。轴62a为了支撑一块面板而使用。轴62a具有作为轴62a的延伸方向(前后方向)上的两端部的端部62c(第三端部;参照图7的(b))及端部62d(第四端部)。轴62a的端部62c嵌入至支柱26e的嵌合孔26h中,并通过螺杆固定于支柱26e。关于轴62a固定于支柱26e的形态,将在后面描述。
轴62a例如由弯曲刚性高的材料所构成。作为轴62a的构成材料的例子,可列举不锈钢及铝等金属、以及碳纤维强化塑料。轴62a的前后方向上的长度稍微长于面板的前后方向上的长度,并且长于轴61a的前后方向上的长度。轴61a与一对轴62a排列于左右方向上。在一对轴62a之间配置有轴61a。
弹性体62b为设置于轴62a的外周面的环状(例如圆环状)的构件。弹性体62b是为了抑制面板的滑动且提高面板的定位精度而设置。弹性体62b的构成材料及排列与弹性体61b的构成材料及排列相同,故而省略详细的说明。
支撑体65为用于保持(支撑)轴62a且支撑面板的左右方向上的端部的构件。如图6所示,支撑体65具有载置部65a及安装部65b。载置部65a为载置面板的左右方向上的端部的部分。载置部65a具有沿左右方向延伸的大致长方体形状。在载置部65a的上表面载置面板的左右方向上的端部。在载置部65a的前端部分,设置有用于插通轴62a的插通孔65c。插通孔65c将载置部65a沿前后方向贯通。
安装部65b为用于将支撑体65安装于侧板29的部分。安装部65b设置于载置部65a的基端。安装部65b向较载置部65a的上表面更靠上方突出,具有随着自支撑体65的基端朝向前端而向下方倾斜的倾斜面65d。在安装部65b设置有自安装部65b的端面沿左右方向延伸的螺纹孔。安装部65b的前端部插通至本体部23a的贯通孔中,且嵌合于在侧板29的内表面上设置的凹部中。在此状态下,螺杆自侧板29的外侧插通至设置于侧板29的插通孔中,且螺杆螺合于在安装部65b上设置的螺纹孔中。由此,在通过支撑体65与侧板29来夹持侧壁23(本体部23a)的状态下,将支撑体65固定于侧板29。
止挡件63为用于防止面板飞出并且确定面板的前端的位置的构件。止挡件63例如由上文所述的树脂材料所构成。止挡件63设置于轴62a的端部62d。例如,通过将轴62a的端部62d嵌入至设置于止挡件63的安装孔,从而将止挡件63安装于轴62a。止挡件63具有圆板状的卡止片63a,该卡止片63a具有较弹性体62b的外径更大的外径。卡止片63a具有随着自外周面朝向中心而向后方倾斜的倾斜面。
止挡件64为用于确定面板的后端的位置的构件。止挡件64例如由上文所述的树脂材料所构成。止挡件64设置于轴62a的端部62c。止挡件64具有块状的形状。在止挡件64设置有用于沿前后方向插通轴62a的插通孔。在止挡件64的插通孔中插通有轴62a的状态下,止挡件64的后表面抵接于支柱26e的前表面,通过螺杆将止挡件64固定于支柱26e。止挡件64具有随着自上表面朝向下方而向前方倾斜的倾斜面64a。
通过止挡件63、止挡件64及支撑体65来限定载置面板的载置位置。具体而言,通过止挡件63、止挡件64来限定面板的前后方向上的载置位置,并且通过设置于左右的四个支撑体65来限定面板的左右方向上的载置位置。例如,通过机器人将面板搬入至收容空间20,并在任一收纳层中载置面板。此时,有时因误差等而导致面板的位置稍许偏移。例如,即便面板的前端搁置于止挡件63的卡止片63a的倾斜面上,也会因面板的自重而沿着该倾斜面被导引至载置位置。同样地,即便面板的后端搁置于止挡件64的倾斜面64a上,也会因面板的自重而沿着倾斜面64a被导引至载置位置。同样地,即便面板的侧端搁置于支撑体65的倾斜面65d上,也会因面板的自重而沿着倾斜面65d被导引至载置位置。
接着,参照图7的(a)及(b),对轴61a、轴62a的固定形态进行详细说明。图7的(a)是沿图5的VIIa-VIIa线的剖视图。图7的(b)是沿图5的VIIb-VIIb线的剖视图。
如图7的(a)所示,嵌合孔26g是自支柱26d的前表面朝向后方凹陷的凹部。嵌合孔26g随着朝向前方而向上方倾斜。换言之,嵌合孔26g在前后方向上随着朝向容器本体2的内部而向上方倾斜。进而换言之,嵌合孔26g随着自轴61a的端部61c朝向端部61d而向上方倾斜。即,图7的(a)所示的倾斜角θ大于0度。倾斜角θ是嵌合孔26g相对于水平方向H(Y轴方向)倾斜的角度。倾斜角θ为正值意指嵌合孔26g以随着朝向前方而朝向上方的方式倾斜。倾斜角θ例如为0.05度以上。倾斜角θ例如为1.00度以下。进而,嵌合孔26g较嵌合孔26h更向上方倾斜。
轴61a的端部61c嵌合于嵌合孔26g中,且端部61c通过螺杆固定于支柱26d上。因此,在端部61c上,轴61a的轴心AX1相对于水平方向H向上方倾斜倾斜角θ。由于轴61a仅在端部61c处被支撑(固定),因此越自端部61c朝向端部61d远离,越施加轴61a的自重。因此,相较于假定未施加轴61a的自重时的端部61d的高度,施加有轴61a的自重时的端部61d的高度向下方垂下。嵌合孔26g以(施加有轴61a的自重时的)端部61d的高度(上下方向上的位置)与端部61c的高度(上下方向上的位置)相同或较其更高的方式倾斜。嵌合孔26g以(施加有轴61a的自重时的)端部61d的高度(上下方向上的位置)与(施加有轴62a的自重时的)端部62d的高度(上下方向上的位置)相同或较其更高的方式倾斜。
如图7的(b)所示,嵌合孔26h是自支柱26e的前表面朝向后方凹陷的凹部。嵌合孔26h沿水平方向H延伸。换言之,嵌合孔26h相对于水平方向H(Y轴方向)倾斜的角度大致为0度。轴62a的端部62c嵌合于嵌合孔26h中,且端部62c通过螺杆而固定于支柱26e。因此,在端部62c上,轴62a的轴心AX2沿水平方向H延伸。轴62a不仅在端部62c,而且在轴62a的前后方向上的中心附近及端部62d附近亦由支撑体65支撑(固定)。因此,轴62a不易受到轴62a的自重的影响,遍及轴62a的全长地维持为大致相同的高度。
接着,对倾斜角θ的确定方法的一例进行说明。此处,为了简化计算,假定轴61a具有直径为d的圆柱形状来计算倾斜角θ。倾斜角θ例如是基于轴61a的长度L、直径d及杨氏模量E来确定。具体而言,首先计算由轴61a的自重产生的挠曲量δ。挠曲量δ是轴61a的前端(端部61d)中的挠曲量。如公式(1)所示,挠曲量δ是基于等分布载荷w、长度L、杨氏模量E、剖面二次力矩I来计算。再者,长度L是除嵌入至支柱26d中的部分以外的轴61a的长度,且为轴61a中自支柱26d露出的部分的长度。
[公式1]
如公式(2)所示,等分布载荷w是通过将轴61a的密度ρ、重力加速度g及轴61a的剖面积A相乘来计算。
[公式2]
w=ρ×g×A (2)
如公式(3)所示,剖面二次力矩I是基于轴61a的直径d来计算。
[公式3]
而且,以假定未施加轴61a的自重时的轴61a的前端(端部61d)的高度位于较端部61c的高度更靠上方至少挠曲量δ的方式,确定倾斜角θ。即,如公式(4)所示,倾斜角θmin是基于挠曲量δ及长度L来计算。倾斜角θmin是倾斜角θ的下限值。
[公式4]
对具体的计算例进行说明。此处,对于轴61a的构成材料(材质)为不锈钢(SUS304)的情况、及轴61a的构成材料(材质)为铝(A5052)的情况的各者,针对面板收纳容器1中能够收容的面板的块数为6块及12块的情况来计算倾斜角。轴61a的长度L根据收纳于面板收纳容器1中的面板的尺寸而变更。此处,假定面板的尺寸为510mm×515mm,且长度L被设定为520mm。轴61a的直径d可根据面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数而变更。在面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数为6块的情况下,直径d被设定为9mm。在面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数为12块的情况下,直径d被设定为6mm。作为杨氏模量E及密度ρ,使用轴61a的构成材料的杨氏模量及密度。在表1中示出计算结果。
[表1]
在面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数为12块的情况下,倾斜角θmin为约0.17度。在面板收纳容器1中能够收纳的面板的块数为6块的情况下,倾斜角θmin为约0.08度。倾斜角θ被设定为倾斜角θmin以上。再者,挠曲量δ有时会受到加工精度及组装精度的影响。因此,在上述任一情况下,倾斜角θ例如均被设定为0.25度。
接着,对面板收纳容器1的作用效果进行说明。如上所述,通过机器人将面板搬入收容空间20中,在任一个收纳层中载置面板。此时,将面板搬入载置位置(轴61a及一对轴62a)的上方,使面板降至载置位置。因此,在轴61a的端部61d较设计上的高度垂下的情况下,在将面板搬入至轴61a下方的收纳层中时,具有该端部61d与机器人或面板发生干涉而损伤面板之虞。同样地,在收纳于面板收纳容器1中的面板被机器人搬出时,载置于载置位置的面板被机器人向上方抬起,然后自收容空间20搬出至面板收纳容器1的外部。因此,在轴61a的端部61d较设计上的高度垂下的情况下,在搬出轴61a下方的收纳层中的面板时,具有该端部61d与机器人或面板发生干涉而损伤面板之虞。
另一方面,在面板收纳容器1中,供轴61a的端部61c嵌合的嵌合孔26g在前后方向上随着朝向容器本体2的内部而向上方倾斜。因此,假定未施加轴61a的自重时的端部61d的高度较端部61c的高度更高。因此,即便端部61d因轴61a的自重而垂下,亦可减少端部61d与搬入轴61a下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够抑制面板的破损。
嵌合孔26g以受到轴61a的自重的影响的实际的端部61d的高度与端部61c的高度相同或较端部61c的高度更高的方式倾斜。因此,轴61a的高度遍及轴61a的全长地与端部61c的高度相同或较其更高。因此,可进一步减少端部61d与搬入轴61a下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够进一步抑制面板的破损。
再者,如上所述,在将面板搬入收纳层时,将面板搬入载置位置(轴61a及一对轴62a)的上方,并使面板降至载置位置。因此,即便端部61d的高度较端部61c的高度更高,在搬入面板时轴61a与机器人或面板发生干涉的可能性亦低。进而,轴61a因面板的重量而被按压至与轴62a相同的高度,因此面板被稳定地支撑。同样地,在通过机器人将收纳于面板收纳容器1中的面板搬出时,通过机器人将载置于载置位置的面板向上方抬起,然后自收容空间20搬出至面板收纳容器1的外部。因此,即便端部61d的高度较端部61c的高度更高,在搬出面板时轴61a与机器人或面板发生干涉的可能性亦低。
由轴61a的自重产生的挠曲量受到轴61a的长度L、直径d及杨氏模量E的影响。因此,通过考虑长度L、直径d及杨氏模量E,可适当地确定嵌合孔26g的倾斜角θ。
倾斜角θ为0.05度以上且1.00度以下。通过将倾斜角θ设定为该范围,可更进一步减少端部61d与搬入轴61a下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够更进一步抑制面板的破损。
轴62a不仅由支柱26e支撑,而且由两个支撑体65支撑。因此,端部62d因轴62a的自重而垂下的量(挠曲量)较端部61d因轴61a的自重而垂下的量(挠曲量)更小。因此,随着朝向前方,嵌合孔26g较嵌合孔26h更向上方倾斜,由此可减少轴61a的前端(端部61d)的高度与轴62a的前端(端部62d)的高度之差。其结果,能够稳定地支撑面板。
嵌合孔26g以受到轴61a的自重的影响的实际的轴61a的前端(端部61d)的高度与受到轴62a的自重的影响的实际的轴62a的前端(端部62d)的高度相同或较轴62a的前端(端部62d)的高度更高的方式倾斜。因此,遍及轴61a的全长地与轴62a的前端(端部62d)的高度相同或较其更高。因此,可进一步减少端部61d与搬入轴61a下方的收纳层或自该收纳层搬出的面板发生干涉的可能性。其结果,能够进一步抑制面板的破损。
再者,本公开的面板收纳容器并不限定于上述实施方式。
在上述实施方式中,作为固定构件的一例,使用螺杆,但亦可使用其他固定构件代替螺杆。
容器本体2的各构件的连结方法亦可与上述实施方式不同。在上述实施方式中,容器本体2是通过将多个零件组合而构成,但亦可为一体成型品。
在上述实施方式中,嵌合孔26g、嵌合孔26h为凹部,但亦可为贯通孔。嵌合孔26h亦可与嵌合孔26g同样地随着朝向前方(随着朝向收容空间20)而向上方倾斜。在此情况下,嵌合孔26g的倾斜角θ亦可大于嵌合孔26h的倾斜角。
面板支撑部60亦可针对每一块面板而包括两个以上的支撑部61。在此情况下,面板支撑部60亦可不包括支撑部62、止挡件63及止挡件64。框体26亦可不包括支柱26e。止挡件64亦可设置于轴61a的端部61c上。
在上述实施方式中,支撑部62具有轴62a、多个弹性体62b及多个支撑体65。代替该结构,支撑部62亦可具有用于支撑面板的左右方向上的端部的、沿前后方向延伸的板状的支撑体。
在上述实施方式中,以假定未施加轴61a的自重时的端部61d(轴61a的前端)位于较端部61c更靠上方挠曲量δ的方式来计算倾斜角θmin,但倾斜角θmin的计算方法并不限于此。亦可以在端部61d因轴61a的自重而垂下的情况下,端部61d(轴61a的前端)位于较该轴61a下方的收纳层中的面板的搬入搬出区域更靠上方的方式来计算倾斜角θmin。所谓面板的搬入搬出区域,是指面板被搬入收纳层或自该收纳层搬出时面板通过的区域。
再者,亦可以在端部61d因轴61a的自重而垂下的情况下,端部61d(轴61a的前端)位于较由该轴61a限定的收纳层中的面板的搬入搬出区域更靠下方的方式来计算倾斜角θmax。倾斜角θmax是倾斜角θ的上限值。在此情况下,倾斜角θ被设定为倾斜角θmin以上且倾斜角θmax以下。
附图标记说明
1 面板收纳容器
2 容器本体
20 收容空间
26d 支柱(第一支柱)
26e 支柱(第二支柱)
26g 嵌合孔(第一嵌合孔)
26h 嵌合孔(第二嵌合孔)
60 面板支撑部
61a 轴(第一轴)
61c 端部(第一端部)
61d 端部(第二端部)
62a 轴(第二轴)
62c 端部(第三端部)
62d 端部(第四端部)
65 支撑体
H 水平方向
θ 倾斜角

Claims (6)

1.一种面板收纳容器,包括:
用于收纳多个面板的容器本体;以及
设置于所述容器本体的内部并支撑所述多个面板的面板支撑部,
所述面板支撑部包括用于支撑所述多个面板中的一块面板的沿第一方向延伸的第一轴,
所述容器本体包括用于固定所述第一轴的第一支柱,
所述第一轴具有作为所述第一方向上的两端部的第一端部及第二端部,
在所述第一支柱上设置有供所述第一端部嵌合的第一嵌合孔,
所述第一嵌合孔在所述第一方向上随着朝向所述容器本体的内部而向上方倾斜。
2.如权利要求1所述的面板收纳容器,其中,所述第一嵌合孔以使得所述第二端部的高度与所述第一端部的高度相同或较所述第一端部的高度更高的方式倾斜。
3.如权利要求1或2所述的面板收纳容器,其中,所述第一嵌合孔相对于水平方向倾斜的倾斜角基于所述第一轴的长度、直径及杨氏模量来确定。
4.如权利要求1至3中任一项所述的面板收纳容器,其中,所述第一嵌合孔相对于水平方向倾斜的倾斜角为0.05度以上且1.00度以下。
5.如权利要求1至4中任一项所述的面板收纳容器,其中,
所述面板支撑部进一步包括用于支撑所述面板的沿所述第一方向延伸的第二轴、及支撑所述第二轴的支撑体,
所述容器本体进一步包括用于固定所述第二轴的第二支柱,
所述第一轴与所述第二轴排列于与所述第一方向交叉的第二方向上,
所述第二轴具有作为所述第一方向上的两端部的第三端部及第四端部,
在所述第二支柱上设置有供所述第三端部嵌合的第二嵌合孔,
所述第一嵌合孔较所述第二嵌合孔更向上方倾斜。
6.如权利要求5所述的面板收纳容器,其中,所述第一嵌合孔以使得所述第二端部的高度与所述第四端部的高度相同或较所述第四端部的高度更高的方式倾斜。
CN202280010934.6A 2021-04-05 2022-01-07 面板收纳容器 Pending CN116724386A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021064186A JP2022159782A (ja) 2021-04-05 2021-04-05 パネル収納容器
JP2021-064186 2021-04-05
PCT/JP2022/000416 WO2022215311A1 (ja) 2021-04-05 2022-01-07 パネル収納容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116724386A true CN116724386A (zh) 2023-09-08

Family

ID=83546293

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202280010934.6A Pending CN116724386A (zh) 2021-04-05 2022-01-07 面板收纳容器

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP2022159782A (zh)
KR (1) KR20230164652A (zh)
CN (1) CN116724386A (zh)
TW (1) TW202239684A (zh)
WO (1) WO2022215311A1 (zh)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004250084A (ja) * 2003-02-21 2004-09-09 Sharp Corp フレキシブル基板収納具及びフレキシブル基板収納方法
KR101380763B1 (ko) * 2012-07-27 2014-04-10 주식회사 테라세미콘 기판용 지지 유닛 및 이를 사용한 기판 처리 장치
JP6881716B2 (ja) * 2017-08-07 2021-06-02 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器
WO2019138982A1 (ja) 2018-01-12 2019-07-18 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器
JP6977215B2 (ja) * 2018-01-22 2021-12-08 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022159782A (ja) 2022-10-18
KR20230164652A (ko) 2023-12-04
WO2022215311A1 (ja) 2022-10-13
TW202239684A (zh) 2022-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5989172B2 (ja) 基板収納容器
US11161648B2 (en) Panel storage container
JP6977215B2 (ja) パネル収納容器
CN116724386A (zh) 面板收纳容器
CN219506549U (zh) 面板收纳容器
CN116601087A (zh) 面板收纳容器
KR102446066B1 (ko) 패널 수납용기에 설치되는 트레이
CN219658676U (zh) 面板收纳容器
CN219447766U (zh) 面板收纳容器
CN217158137U (zh) 面板收纳容器
CN219506547U (zh) 面板收纳容器
JP6891378B2 (ja) パネル収納容器
JP2023141949A (ja) パネル収納容器
JP2023042916A (ja) パネル収納容器
JP2023040512A (ja) パネル収納容器
WO2024111256A1 (ja) パネル収納容器
KR20220079311A (ko) 패널 수납용기의 구조물
KR20230000650U (ko) 패널 수납 용기
KR20220079309A (ko) 패널 수납용기

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination