WO2024111256A1 - パネル収納容器 - Google Patents

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WO2024111256A1
WO2024111256A1 PCT/JP2023/036259 JP2023036259W WO2024111256A1 WO 2024111256 A1 WO2024111256 A1 WO 2024111256A1 JP 2023036259 W JP2023036259 W JP 2023036259W WO 2024111256 A1 WO2024111256 A1 WO 2024111256A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
panel
pressing
opening
lid body
mounting shaft
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/036259
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
和正 大貫
Original Assignee
信越ポリマー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 信越ポリマー株式会社 filed Critical 信越ポリマー株式会社
Publication of WO2024111256A1 publication Critical patent/WO2024111256A1/ja

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • This disclosure relates to a panel storage container.
  • Patent Document 1 describes a substrate storage container that includes a container body that stores the substrates and a lid that covers an opening provided in the container body.
  • both ends of the panel are supported from below by support members.
  • the panel may bend due to vibrations, etc., and dust may be generated from the end faces of the panel.
  • This disclosure describes a panel storage container that can suppress dust generation.
  • a panel storage container comprises a container body having an opening for storing a panel, a holding mechanism provided inside the container body for holding the panel, and a lid for closing the opening.
  • the container body defines a storage space for storing the panel and comprises a pair of side walls facing each other in a first direction.
  • the holding mechanism comprises a support portion for supporting an end of the panel in the first direction, and a pressing mechanism for pressing the end against the support portion in a second direction intersecting the first direction.
  • the end of the panel in the first direction is supported by the support portion and pressed toward the support portion in the second direction by the pressing mechanism.
  • the end of the panel in the first direction is sandwiched between the support portion and the pressing mechanism in the second direction, restricting the movement of the panel. Therefore, even if vibrations are applied to the panel storage container, the panel is less susceptible to the effects of the vibrations. As a result, it is possible to suppress dust generation.
  • the pressing mechanism may press the end when the lid is closing the opening, and may release the pressure on the end when the opening is open. Panels can be inserted and removed from the panel storage container when the opening is open, and the panel storage container can be transported with the lid closing the opening. With the above configuration, dust generation during transportation of the panel storage container is suppressed, and it is possible to insert and remove panels.
  • the pressing mechanism may include a pressing member for pressing the end portion, an attachment shaft extending in a third direction intersecting the first and second directions, the attachment shaft being an axis on which the pressing member is attached so as to be rotatable about the attachment shaft, and a link mechanism for rotating the pressing member so as to press the end portion when the lid body is closing the opening and to release the pressure on the end portion when the opening is open.
  • the pressing member rotates about the attachment shaft in conjunction with the opening and closing of the lid body. This makes it possible to suppress dust generation during transport of the panel storage container and to insert and remove panels without the user having to operate the pressing mechanism.
  • the lid body may face the panel stored in the container body in the third direction when the opening is closed.
  • the pressing member may include a bearing portion that receives the mounting shaft, a pressing plate extending from the bearing portion in a direction intersecting the mounting shaft, and an extension portion that extends from the bearing portion in a direction opposite to the pressing plate.
  • the link mechanism may include a connecting member connected to the extension portion, a push pin that is pressed in the third direction by the lid body when the lid body is closing the opening, a conversion mechanism that converts the movement of the push pin in the third direction to the movement of the connecting member in the second direction, and an elastic member that is provided so as to be expandable and contractible in the third direction in response to the movement of the push pin in the third direction.
  • the conversion mechanism may move the connecting member so that the pressing plate presses the end portion in the second direction toward the support portion when the push pin is pressed against the lid body.
  • the elastic member is compressed, and the connecting member moves so that the pressing plate presses the end portion in the second direction toward the support portion.
  • the elastic force of the elastic member pushes back the pushing pin, and the connecting member returns to its original position, releasing the pressure on the end by the pressing plate.
  • the conversion mechanism may include an adjustment member connected to the push pin so as to be rotatable about the push pin as an axis, and a connection member connecting the adjustment member and the connection member.
  • the adjustment member may include a first end connected to the push pin and a second end connected to the connection member.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a panel storage container according to one embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a member provided on a side wall of the container body shown in FIG.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a member provided on a side wall of the container body shown in FIG.
  • FIG. 4 is a perspective view of the pressing member shown in FIG.
  • FIG. 5 is a perspective view for explaining the pressing mechanism shown in FIG.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of a portion of the link mechanism shown in FIG.
  • FIG. 7 is a side view for explaining the pressing mechanism when the opening is open.
  • FIG. 8 is a front view for explaining the pressing mechanism when the opening is open.
  • FIG. 9 is a side view for explaining the pressing mechanism in a state where the lid closes the opening.
  • FIG. 10 is a front view for explaining the pressing mechanism in a state where the lid closes the opening.
  • the Y-axis direction is a direction that intersects (here, perpendicular to) the X-axis and Z-axis directions.
  • the Z-axis direction is a direction that intersects (here, perpendicular to) the X-axis and Y-axis directions.
  • the X-axis direction is the left-right direction (width direction; first direction)
  • the Y-axis direction is the front-back direction (depth direction; third direction)
  • the Z-axis direction is the up-down direction (height direction; second direction).
  • front, rear, up, “down”, “left”, and “right” are used, but are not limited to these directions.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a panel storage container according to one embodiment.
  • the panel storage container 1 shown in FIG. 1 is a container for storing a plurality of panels.
  • the panel storage container 1 complies with, for example, the SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) standard.
  • panels include glass substrates for liquid crystal panels and panels equipped with electronic components.
  • the panels have a rectangular shape. Examples of panel sizes include 510 mm x 515 mm and 600 mm x 600 mm.
  • the number of panels that can be stored in the panel storage container 1 is determined arbitrarily, and may be, for example, 6, 12, 16, or 24.
  • the panel storage container 1 is used, for example, in a manufacturing device that produces electronic component assemblies. Electronic component assemblies are manufactured through a process that includes mounting numerous electronic components on a large carrier panel such as a glass plate or stainless steel plate, sealing these electronic components with epoxy resin or the like, peeling the sealed electronic components from the carrier panel in panel form, and cutting out the panel-form electronic components individually.
  • the panel storage container 1 is used to transport panels between these processes.
  • the panel storage container 1 includes a container body 2, a lid body 3, and a pair of handles 4.
  • the container body 2 is a rectangular parallelepiped container with an open front (front face). In other words, the container body 2 is a front-open box-type container with an opening 2a on the front face.
  • the container body 2 stores multiple panels. Specifically, the container body 2 stores multiple panels stacked vertically with a gap between them. The panels are inserted and removed from the container body 2 via the opening 2a. Details of the container body 2 will be described later.
  • the lid body 3 is a member for closing the opening 2a of the container body 2.
  • the lid body 3 airtightly closes the opening 2a of the container body 2 via a sealing member such as a gasket.
  • the lid body 3 is detachably attached to a flange 25 that defines the opening 2a. When the lid body 3 is in a state in which it closes the opening 2a, it faces the panel stored in the container body 2 in the front-to-rear direction.
  • the lid body 3 includes a lid body 31 and a locking mechanism 32.
  • the lid body 31 is the main body of the lid 3.
  • the lid body 31 is a rectangular plate material.
  • the lid body 31 is made of a metal material such as aluminum or magnesium alloy.
  • the lid body 31 may be made of a thermoplastic resin such as polycarbonate resin.
  • a keyhole 31h is provided on the front surface of the lid body 31. A key (not shown) is inserted into the keyhole 31h.
  • the locking mechanism 32 locks or unlocks the lid body 3 by operating the key inserted in the keyhole 31h.
  • the locking mechanism 32 includes a latch (not shown). When the lid body 3 is attached to the flange 25, the latch is inserted into the locking hole 25h provided in the flange 25 by operating the key, thereby locking the lid body 3. When the lid body 3 is locked, the latch is pulled out of the locking hole 25h by operating the key, thereby unlocking the lid body 3.
  • the pair of handles 4 are members used when the transport device transports the panel storage container 1.
  • the pair of handles 4 are provided at both the left and right ends of the top plate 21, which will be described later.
  • the transport device can transport the panel storage container 1 by grasping the pair of handles 4 and lifting up the panel storage container 1.
  • the container body 2, the lid 3, and the handle 4 are constructed by combining multiple parts molded from metal or resin materials.
  • resins contained in the molding material of the resin material include thermoplastic resins.
  • thermoplastic resins include polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, polybutylene terephthalate, polyacetal, liquid crystal polymer, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, and acrylonitrile butadiene styrene copolymer. Alloys of these may also be used as the resins contained in the molding material of the resin material.
  • Conductive materials and various antistatic agents may be added to these resins.
  • the conductive materials may be, for example, carbon fibers, carbon powder, carbon nanotubes, or conductive polymers.
  • As the antistatic agent anionic, cationic, and nonionic antistatic agents may be used. Benzotriazole, salicylate, cyanoacrylate, oxalic acid anilide, and hindered amine ultraviolet absorbers may be added. Glass fibers or carbon fibers that improve rigidity may also be selectively added.
  • the container body 2 includes a top plate 21, a bottom plate 22, a pair of side walls 23, a rear wall 24, a flange 25, and a pair of rail members 27.
  • the top plate 21, bottom plate 22, side walls 23, and rear wall 24 are rectangular plate materials.
  • the top plate 21 and bottom plate 22 face each other in the up-down direction and are arranged approximately parallel.
  • the pair of side walls 23 face each other in the left-right direction and are arranged approximately parallel.
  • the rear wall 24 faces the cover body 3 in the front-rear direction when the cover body 3 is closing the opening 2a. Any two adjacent members of the top plate 21, bottom plate 22, pair of side walls 23, and rear wall 24 are connected by a frame.
  • the top plate 21, bottom plate 22, pair of side walls 23, and rear wall 24 define a storage space 20 for storing multiple panels.
  • the top plate 21, bottom plate 22, and side walls 23 are made of, for example, a metal material such as aluminum or stainless steel.
  • the rear wall 24 is made of, for example, a transparent resin material that allows the storage space 20 to be viewed from outside the container body 2. A portion of the rear wall 24 may be made of a transparent resin material. Examples of transparent resin materials include acrylic resin, polycarbonate, polyvinyl chloride resin, and cycloolefin polymer.
  • the flange 25 is a rectangular frame body that is provided across the front end of the top plate 21, the front end of the bottom plate 22, and the front ends of the pair of side walls 23.
  • the flange 25 defines the opening 2a.
  • the flange 25 is made of, for example, the above-mentioned resin material or a metal material such as aluminum or stainless steel.
  • the upper and lower frame portions of the flange 25 each have two locking holes 25h that are spaced apart in the left-right direction.
  • the locking holes 25h in the upper frame portion and the locking holes 25h in the lower frame portion are provided in positions that face each other in the up-down direction.
  • the pair of rail members 27 are members for placing the panel storage container 1 on a transport device such as a conveyor.
  • Each rail member 27 is a plate-shaped member extending in the front-rear direction.
  • Each rail member 27 is made of, for example, the resin material described above.
  • the pair of rail members 27 are provided below the bottom plate 22 at both the left and right ends of the container body 2.
  • Figures 2 and 3 are perspective views showing members provided on the side walls of the container body shown in Figure 1. Note that Figures 2 and 3 show members provided on one side wall 23, and the container body 2 is not shown. Similar members are provided on the other side wall 23.
  • the panel storage container 1 further includes a holding mechanism 6.
  • the holding mechanism 6 is a mechanism for holding the panel.
  • the holding mechanism 6 is provided inside the container body 2.
  • the holding mechanism 6 includes a plurality of support parts 61, a plurality of support parts 62, a plurality of pillars 63, a plurality of supports 64, and a pair of pressing mechanisms 65.
  • Each support portion 61 is a portion for supporting the center portion of the panel in the left-right direction.
  • Each support portion 61 includes a shaft 61a and multiple elastic bodies 61b.
  • the shaft 61a is a columnar (e.g., cylindrical) member extending in the front-rear direction.
  • the rear end of the shaft 61a is fixed to a support (not shown) provided on the inner surface of the rear wall 24.
  • the shaft 61a is made of, for example, a material with high bending rigidity. Examples of materials that can be used to make the shaft 61a include metals such as stainless steel and aluminum, as well as carbon fiber reinforced plastic.
  • the elastic body 61b is an annular (e.g., circular) member provided on the outer circumferential surface of the shaft 61a.
  • the elastic body 61b is provided to suppress panel slippage and improve the positioning accuracy of the panel.
  • the elastic body 61b is made of, for example, a rubber material. Examples of rubber materials include EPDM (ethylene propylene diene rubber), silicone rubber, and fluororubber.
  • EPDM ethylene propylene diene rubber
  • silicone rubber silicone rubber
  • fluororubber fluororubber
  • Each support portion 62 is a portion for supporting both ends of the panel in the left-right direction.
  • Each support portion 62 includes a shaft 62a, a plurality of elastic bodies 62b, a stopper 62c, and a stopper 62d.
  • the shaft 62a is a columnar (e.g., cylindrical) member extending in the front-rear direction.
  • the rear end of the shaft 62a is fixed to a support (not shown) provided on the inner surface of the rear wall 24.
  • the shaft 62a is made of, for example, a material with high bending rigidity. Examples of materials for the shaft 62a include metals such as stainless steel and aluminum, and carbon fiber reinforced plastic.
  • the length of the shaft 62a in the front-rear direction is slightly longer than the length of the panel in the front-rear direction and longer than the length of the shaft 61a in the front-rear direction.
  • the elastic body 62b is an annular (e.g., circular) member provided on the outer circumferential surface of the shaft 62a.
  • the elastic body 62b is provided to suppress panel slippage and improve the positioning accuracy of the panel.
  • the constituent material and arrangement of the elastic body 62b are similar to those of the elastic body 61b, so a detailed description is omitted.
  • the stopper 62c is a member that prevents the panel from popping out and determines the position of the front end of the panel.
  • the stopper 62c is made of, for example, the resin material described above.
  • the stopper 62c is provided at the front end of the shaft 62a.
  • the stopper 62d is a member that determines the position of the rear end of the panel.
  • the stopper 62d is made of, for example, the resin material described above.
  • the stopper 62d is provided at the rear end of the shaft 62a.
  • the stopper 62d has a block shape.
  • the stopper 62d has an insertion hole for inserting the shaft 62a in the front-rear direction.
  • the number of support parts 61 and support parts 62 varies depending on the number of panels that can be stored in the panel storage container 1.
  • the holding mechanism 6 includes one support part 61 and two support parts 62 per panel.
  • one support part 61 and two support parts 62 form a storage stage that stores one panel.
  • One support part 61 and two support parts 62 are arranged in the left-right direction.
  • One support part 61 is arranged between two support parts 62.
  • Each support 63 is a member for attaching the handle 4 and the support body 64.
  • Each support 63 is a columnar member extending in the vertical direction from the top plate 21 to the bottom plate 22.
  • Each support 63 is made of a metal material such as aluminum or stainless steel.
  • Each support 63 is provided on the inner surface of the side wall 23.
  • three support pillars 63 are provided on each side wall 23. The three support pillars 63 are arranged in the front-rear direction and are disposed approximately parallel to each other.
  • Each support 64 is a member for holding (supporting) the shaft 62a and supporting the left-right ends of the panel.
  • Each support 64 is a columnar member extending in the up-down direction across all storage levels. The front surface of the support 64 abuts against the rear surface of the support column 63, and the support 64 is fixed to the support column 63 by a screw. Therefore, in this embodiment, three supports 64 are provided on each side wall 23. The three supports 64 are aligned in the front-to-rear direction and disposed approximately parallel to each other.
  • Each support 64 includes mounting portions 64a in the same number as the number of panels that can be stored in the panel storage container 1.
  • Each mounting portion 64a is a portion on which the left-right ends of the panel are placed and which holds the shaft 62a.
  • Each mounting portion 64a protrudes in the left-right direction toward the storage space 20.
  • Each mounting portion 64a has an insertion hole that penetrates the mounting portion 64a in the front-rear direction, and the shaft 62a is inserted into the insertion hole.
  • the pair of pressing mechanisms 65 are mechanisms that press the left-right ends of the panel toward the support portion 62 in the up-down direction.
  • the left pressing mechanism 65 presses the left end of the panel when the lid body 3 is closing the opening 2a, and releases the pressure on the left end when the opening 2a is open.
  • the right pressing mechanism 65 presses the right end of the panel when the lid body 3 is closing the opening 2a, and releases the pressure on the right end when the opening 2a is open.
  • Fig. 4 is a perspective view of the pressing member shown in Fig. 3.
  • Fig. 5 is a perspective view for explaining the pressing mechanism shown in Fig. 3.
  • Fig. 6 is an exploded perspective view of a portion of the link mechanism shown in Fig. 3.
  • Fig. 3 illustrates the pressing mechanism 65 in a state in which the opening 2a is open.
  • Fig. 5 illustrates a portion of the pressing mechanism 65 in a state in which the lid body 3 closes the opening 2a, and the support pillar 63 is omitted.
  • the pressing mechanism 65 includes a plurality of pressing members 51, a mounting shaft 52, and a link mechanism 53.
  • Each pressing member 51 is a member for pressing down the left-right ends of the panel.
  • Each pressing member 51 is a plate-shaped member extending in the front-rear direction.
  • Each pressing member 51 is provided corresponding to a support portion 62.
  • the pressing mechanism 65 includes two pressing members 51 arranged in the front-rear direction per one support portion 62. The pressing members 51 are provided between two supports 64 adjacent to each other in the front-rear direction.
  • the pressing member 51 includes a pressing plate 51a, two bearings 51b, and an extension 51c.
  • the pressing plate 51a is a plate-like portion extending in the front-rear direction.
  • the pressing plate 51a extends from the bearing 51b in a direction intersecting (here, perpendicular to) the mounting shaft 52.
  • the tip 51d of the pressing plate 51a is bent downward, and the pressing plate 51a has an L-shape when viewed from the front.
  • Each bearing 51b is a portion that receives the mounting shaft 52.
  • the two bearings 51b are provided at both the front and rear ends of the base end of the pressing plate 51a.
  • Each bearing 51b has a through hole 51e that penetrates the bearing 51b in the front-rear direction.
  • the diameter of the through hole 51e is the same as or slightly smaller than the outer diameter of the mounting shaft 52.
  • the extension 51c extends from one bearing 51b in the opposite direction to the pressing plate 51a.
  • the extension 51c has a through hole 51f that penetrates the extension 51c in the front-rear direction.
  • the extension 51c of the front pressing member 51 is connected to the connecting member 54 by a pin.
  • the diameter of the through hole 51f is slightly larger than the outer diameter of the pin, so that the pressing member 51 is connected to the connecting member 54 so as to be rotatable around the pin.
  • the mounting shaft 52 is a member that mounts the pressing member 51 to the support 64 so that the pressing member 51 can rotate around the mounting shaft 52, with the mounting shaft 52 as the axis.
  • the mounting shaft 52 extends in the front-rear direction.
  • the mounting shaft 52 extends across three supports 64 arranged in the front-rear direction.
  • the mounting shaft 52 is inserted through mounting holes provided in each support 64, and both ends of the mounting shaft 52 are fitted into mounting holes provided in the supports 64 located at the front and rear.
  • the diameter of the mounting holes of each support 64 is slightly larger than the outer diameter of the mounting shaft 52.
  • the link mechanism 53 is a mechanism that rotates each pressing member 51 in response to the opening and closing of the cover 3. Specifically, the link mechanism 53 presses the left and right ends of the panel when the cover 3 is closing the opening 2a, and rotates the pressing members 51 so as to release the pressure on the ends when the opening 2a is open.
  • the link mechanism 53 includes a connecting member 54, a push-in pin 55, a holding member 56, an elastic member 57, and a conversion mechanism 58.
  • the connecting member 54 is a member that connects multiple pressing members 51.
  • the connecting member 54 has a rod shape that extends in the vertical direction. As described above, the connecting member 54 is connected to the extension portion 51c of each pressing member 51 by a pin.
  • the push pin 55 is a member that is movable forward and backward in response to the opening and closing of the lid body 3.
  • the push pin 55 has a cylindrical shape that extends forward and backward.
  • the push pin 55 protrudes forward beyond the tip (stopper 62c) of the support portion 62, and is positioned so that the push pin 55 is pressed backward by the lid body 3 when the lid body 3 is closing the opening 2a.
  • the push pin 55 has a tip 55a that abuts against the back surface 3a (see Figure 9) of the lid body 3 when the lid body 3 is closing the opening 2a.
  • the holding member 56 is a member that holds the push pin 55 so that it can advance and retreat in the front-rear direction.
  • the holding member 56 includes a columnar portion 56a, an extension portion 56b, and a fixing portion 56c.
  • the columnar portion 56a has a columnar shape extending in the front-rear direction.
  • the columnar portion 56a has an insertion hole 56h that penetrates the columnar portion 56a in the front-rear direction.
  • the hole diameter of the insertion hole 56h is slightly larger than the outer diameter of the push pin 55.
  • the push pin 55 is inserted into the insertion hole 56h so that it can advance and retreat in the front-rear direction.
  • the tip 55a of the push pin 55 protrudes forward beyond the front surface of the columnar portion 56a.
  • the extension portion 56b is a portion that extends rearward from the columnar portion 56a.
  • the extension portion 56b has a plate-like shape that extends rearward from the inner peripheral edge of the rear surface of the columnar portion 56a, and is separated from the push-in pin 55 in the left-right direction.
  • the extension portion 56b defines a space between the support 63 and the columnar portion 56a for arranging the adjustment member 81 and the elastic member 57.
  • the fixing portion 56c is a portion for fixing the holding member 56 to the support 63.
  • the fixing portion 56c is provided at the rear end of the extension portion 56b.
  • the holding member 56 is fixed to the support 63 by inserting a fastening member such as a screw through a through hole provided in the fixing portion 56c and screwing it into the support 63.
  • the elastic member 57 is provided so as to be expandable and contractible in the front-rear direction.
  • the elastic member 57 is sandwiched in the front-rear direction between the adjustment member 81 and the front support 63.
  • the elastic member 57 is a coil spring.
  • the conversion mechanism 58 is a mechanism that converts the movement of the push pin 55 in the forward and backward directions into the movement of the connecting member 54 in the up and down directions. Specifically, when the push pin 55 moves rearward, the conversion mechanism 58 moves the connecting member 54 upward. When the push pin 55 moves forward, the conversion mechanism 58 moves the connecting member 54 downward.
  • the conversion mechanism 58 includes an adjustment member 81 and a connection member 82.
  • the adjustment member 81 is a member for facilitating the rotation of the pressing member 51.
  • the adjustment member 81 is rotatably connected to the push-in pin 55.
  • the adjustment member 81 has a block shape extending in the left-right direction.
  • the adjustment member 81 has an end 81a (first end) and an end 81b (second end), which are both ends in the left-right direction.
  • the end 81a is connected to the push pin 55.
  • an attachment hole 81c is provided on the front surface of the adjustment member 81 at the end 81a.
  • the attachment hole 81c is recessed rearward from the front surface of the adjustment member 81.
  • the base end of the push pin 55 is fitted into the attachment hole 81c.
  • the hole diameter of the attachment hole 81c is slightly larger than the outer diameter of the push pin 55. In this way, the adjustment member 81 is attached to the push pin 55 so as to be rotatable around the push pin 55 as an axis.
  • the end 81b is connected to the connection member 82.
  • the connection member 82 is a member that connects the linking member 54 and the adjustment member 81.
  • the connection member 82 has a plate shape that extends in one direction.
  • the connection member 82 is inclined upward as it extends rearward.
  • the connection member 82 has an end 82a (see FIG. 7) and an end 82b (see FIG. 7), which are both ends in the extension direction of the connection member 82.
  • the end 82a is attached to the end 81b (tip) of the adjustment member 81 by a ball joint.
  • the end 82b is attached to the linking member 54 by a ball joint.
  • Figure 7 is a side view for explaining the pressing mechanism when the opening is open.
  • Figure 8 is a front view for explaining the pressing mechanism when the opening is open.
  • Figure 9 is a side view for explaining the pressing mechanism when the lid body is closing the opening.
  • Figure 10 is a front view for explaining the pressing mechanism when the lid body is closing the opening.
  • each pressing member 51 when the opening 2a is open, each pressing member 51 is inclined upward as it moves away from the side wall 23 in the left-right direction. Therefore, a space is formed between the tip 51d of the pressing plate 51a and the shaft 62a. Therefore, when the panel P (see FIG. 10) is carried into the storage space 20 by the robot and placed on one of the storage levels, the pressing plate 51a is prevented from interfering with the panel P.
  • the tip 55a of the pressing pin 55 protrudes forward from the position in the front-rear direction of the back surface 3a of the lid body 3 when the lid body 3 is closing the opening 2a (i.e., the sealing surface of the lid body 3), and the adjustment member 81 is not pressing the elastic member 57, so no elastic force is generated in the elastic member 57.
  • This state of the pressing mechanism 65 is called the initial state.
  • each pressing member 51 can rotate around the mounting shaft 52, when an upward force is applied to the extension 51c of each pressing member 51 due to the rise of the connecting member 54, the extension 51c rises and the pressing member 51 attempts to rotate around the mounting shaft 52 so that the tip 51d of the pressing plate 51a descends. At this time, the extension 51c moves in an arc around the mounting shaft 52, so a force is applied to the connecting member 54 in a direction away from the mounting shaft 52.
  • the tip of the adjustment member 81 is pulled by the connecting member 82 toward the connecting member 82 in the left-right direction, and the adjustment member 81 rotates (pivots) around the push pin 55 as the axis, causing the tip of the adjustment member 81 to move away from the push pin 55 in the left-right direction.
  • the pressing member 51 rotates (pivots) around the mounting shaft 52, and the extension portion 51c rises together with the connecting member 54, causing the tip 51d of the pressing plate 51a to move downward.
  • the tip 51d of the pressing plate 51a presses the upper surface Pa of the panel P downward at the left-right end of the panel P.
  • the lower surface Pb of the panel P at the left-right end of the panel P is supported by the support portion 62 (placement portion 64a). Therefore, the left-right end of the panel P is clamped in the vertical direction between the pressing member 51 and the support portion 62.
  • the pressing member 51 rotates around the mounting shaft 52, and the extension 51c descends together with the connecting member 54, causing the tip 51d of the pressing plate 51a to rise.
  • the pressing mechanism 65 returns to its initial state, so that the tip 51d of the pressing plate 51a leaves the top surface Pa of the panel P, and the pressure on the left and right ends of the panel P is released. This makes the panel P ready to be removed.
  • the left-right ends of the panel P are supported by the support parts 62 and pressed downward toward the support parts 62 (shaft 62a) by the pressing mechanism 65.
  • the left-right ends of the panel P are sandwiched in the vertical direction between the support parts 62 and the pressing mechanism 65, restricting the movement of the panel P. Therefore, even if vibrations are applied to the panel storage container 1, the panel P is less susceptible to the effects of the vibrations. As a result, it is possible to suppress dust generation.
  • the panel P can be inserted or removed from the panel storage container 1 with the opening 2a open, and the panel storage container 1 can be transported with the lid 3 closing the opening 2a.
  • the pressing member 51 presses the left and right ends of the panel P when the lid 3 closes the opening 2a, and releases the pressure on the left and right ends of the panel P when the opening 2a is open. This prevents dust from being generated when the panel storage container 1 is transported, and makes it possible to insert or remove the panel P.
  • the link mechanism 53 rotates the pressing member 51 so as to press the left and right ends of the panel P when the lid body 3 is closing the opening 2a, and release the pressure on the left and right ends of the panel P when the opening 2a is open. Therefore, the pressing member 51 rotates about the mounting shaft 52 in conjunction with the opening and closing of the lid body 3. This makes it possible to suppress dust generation when the panel storage container 1 is transported and to insert and remove the panel P without the user having to operate the pressing mechanism 65.
  • the elastic member 57 is provided so as to be expandable in the front-rear direction in response to the movement of the pressing pin 55 in the front-rear direction.
  • the conversion mechanism 58 moves the connecting member 54 so that the pressing plate 51a presses the left-right end of the panel P downward toward the support portion 62. Therefore, when the pressing pin 55 is pressed backward when the lid body 3 closes the opening 2a, the elastic member 57 is compressed, and the connecting member 54 moves so that the pressing plate 51a presses the left-right end of the panel P downward toward the support portion 62.
  • panel storage container according to this disclosure is not limited to the above embodiment.
  • the pressing mechanism 65 does not have to include the link mechanism 53. In this case, the user may manually rotate the pressing member 51 around the mounting shaft 52.
  • the conversion mechanism 58 may be configured so that the connection member 82 bends to an extent that allows the pressing member 51 to rotate.
  • the conversion mechanism 58 may include a member fixed to the push-in pin 55 instead of the adjustment member 81.
  • 1...panel storage container 2...container body, 2a...opening, 3...lid body, 6...holding mechanism, 20...storage space, 23...side wall, 51...pressing member, 51a...pressing plate, 51b...bearing portion, 51c...extension portion, 51d...tip, 52...mounting shaft, 53...link mechanism, 54...connecting member, 55...push pin, 55a...tip, 56...holding member, 57...elastic member, 58...conversion mechanism, 62...support portion, 63...pillar, 65...pressing mechanism, 81...adjusting member, 81a...end (first end), 81b...end (second end), 82...connecting member, P...panel.

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Abstract

パネル収納容器は、開口を有し、パネルを収納する容器本体と、容器本体の内部に設けられ、パネルを保持する保持機構と、開口を閉塞する蓋体と、を備える。容器本体は、パネルを収納するための収容空間を画定するとともに、第１方向において互いに向かい合う一対の側壁を備える。保持機構は、パネルの第１方向における端部を支持する支持部と、端部を第１方向と交差する第２方向において支持部に向かって押さえる押圧機構と、を備える。

Description

パネル収納容器
　本開示は、パネル収納容器に関する。
　液晶パネル用ガラス基板等のパネルを扱う製造工程において、矩形形状のパネルを製造装置から別工程の製造装置に移送する際、及びパネルを一時的に保管する際に、複数のパネルを収納するパネル収納容器が用いられる。例えば、特許文献１には、基板を収納する容器本体と、容器本体に設けられた開口部を塞ぐ蓋体と、を備える基板収納容器が記載されている。
実用新案登録第３２３５９８２号公報
　このようなパネル収納容器においては、パネルの両端が下方から支持部材に支持される。この場合、振動などに起因してパネルが撓んだりすることがあり、パネルの端面などから発塵が生じるおそれがある。
　本開示は、発塵を抑制可能なパネル収納容器を説明する。
　本開示の一側面に係るパネル収納容器は、開口を有し、パネルを収納する容器本体と、容器本体の内部に設けられ、パネルを保持する保持機構と、開口を閉塞する蓋体と、を備える。容器本体は、パネルを収納するための収容空間を画定するとともに、第１方向において互いに向かい合う一対の側壁を備える。保持機構は、パネルの第１方向における端部を支持する支持部と、端部を第１方向と交差する第２方向において支持部に向かって押さえる押圧機構と、を備える。
　このパネル収納容器においては、パネルの第１方向における端部が、支持部によって支持されるとともに、押圧機構によって第２方向において支持部に向かって押さえられる。これにより、パネルの第１方向における端部が第２方向において支持部と押圧機構とによって挟まれるので、パネルの動きが規制される。したがって、パネル収納容器に振動が加わったとしても、パネルが振動の影響を受けにくくなる。その結果、発塵を抑制することが可能となる。
　いくつかの実施形態において、押圧機構は、蓋体が開口を閉塞している状態で端部を押さえてもよく、開口が開放されている状態で端部への押さえを解除してもよい。開口が開放されている状態でパネル収納容器にパネルが出し入れされ、蓋体が開口を閉塞している状態でパネル収納容器が搬送され得る。上記構成によれば、パネル収納容器の搬送時における発塵を抑制するとともに、パネルを出し入れすることが可能となる。
　いくつかの実施形態において、押圧機構は、端部を押さえるための押さえ部材と、第１方向及び第２方向と交差する第３方向に延びる取付軸であって、押さえ部材を、取付軸を軸心として回動可能に取り付ける取付軸と、蓋体が開口を閉塞している状態で端部を押さえ、開口が開放されている状態で端部への押さえを解除するように、押さえ部材を回動させるリンク機構と、を備えてもよい。この場合、蓋体の開閉に連動して押さえ部材が取付軸を軸心として回動する。これにより、ユーザが押圧機構を操作することなく、パネル収納容器の搬送時における発塵を抑制するとともに、パネルを出し入れすることが可能となる。
　いくつかの実施形態において、蓋体は、開口を閉塞している状態で、容器本体に収納されるパネルと第３方向において向かい合ってもよい。押さえ部材は、取付軸を受ける軸受部と、軸受部から取付軸と交差する方向に延びる押さえ板と、軸受部から押さえ板と反対方向に延びる延設部と、を備えてもよい。リンク機構は、延設部に接続された連結部材と、蓋体が開口を閉塞している状態で蓋体によって第３方向において押圧される押込ピンと、押込ピンの第３方向における移動を連結部材の第２方向における移動に変換する変換機構と、押込ピンの第３方向における移動に応じて第３方向に伸縮可能に設けられた弾性部材と、を備えてもよい。変換機構は、押込ピンが蓋体に押圧された際に、押さえ板が端部を第２方向において支持部に向かって押さえるように、連結部材を移動させてもよい。この場合、蓋体が開口を閉塞する際に、押込ピンが第３方向において押圧されると、弾性部材が圧縮され、押さえ板が端部を第２方向において支持部に向かって押さえるように、連結部材が移動する。一方、蓋体が取り外されると、弾性部材の弾性力により押込ピンが押し戻されて、連結部材が元の位置に戻るので、押さえ板による端部への押圧が解除される。これにより、パネル収納容器からパネルを搬出することが可能となる。以上のように、パネル収納容器の搬送時における発塵を抑制するとともに、パネルを出し入れすることが可能となる。
　いくつかの実施形態において、変換機構は、押込ピンを軸心として回動可能なように押込ピンに接続された調節部材と、調節部材と連結部材とを接続する接続部材と、を備えてもよい。調節部材は、押込ピンに接続される第１端部と、接続部材に接続される第２端部と、を備えてもよい。連結部材の第２方向における移動により押さえ部材の延設部に力が加わると、取付軸を軸心として押さえ部材が回転しようとする。このとき、延設部が取付軸を軸心として円弧を描くように移動するので、連結部材には取付軸から離れる方向に力が加わる。このため、調節部材が接続部材によって第１方向において接続部材に向かって引っ張られ、調節部材が押込ピンを軸心として回動する。これにより、押さえ部材の回動を円滑化することができる。
　本開示によれば、発塵を抑制することができる。
図１は、一実施形態に係るパネル収納容器の分解斜視図である。 図２は、図１に示される容器本体の側壁に設けられる部材を示す斜視図である。 図３は、図１に示される容器本体の側壁に設けられる部材を示す斜視図である。 図４は、図３に示される押さえ部材の斜視図である。 図５は、図３に示される押圧機構を説明するための斜視図である。 図６は、図３に示されるリンク機構の一部の分解斜視図である。 図７は、開口が開放されている状態での押圧機構を説明するための側面図である。 図８は、開口が開放されている状態での押圧機構を説明するための正面図である。 図９は、蓋体が開口を閉塞している状態での押圧機構を説明するための側面図である。 図１０は、蓋体が開口を閉塞している状態での押圧機構を説明するための正面図である。
　以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向；第１方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向；第３方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向；第２方向）である。説明の便宜上、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及び「右」の用語が用いられるが、これらの方向に限定されない。
　図１を参照しながら、一実施形態に係るパネル収納容器を説明する。図１は、一実施形態に係るパネル収納容器の分解斜視図である。図１に示されるパネル収納容器１は、複数のパネルを収納するための容器である。パネル収納容器１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor　Equipment　and　Materials　International）規格に準拠している。パネルの例としては、液晶パネル用のガラス基板、及び電子部品を搭載したパネルが挙げられる。パネルは、矩形形状を有する。パネルのサイズの例としては、５１０ｍｍ×５１５ｍｍ及び６００ｍｍ×６００ｍｍが挙げられる。パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数は、任意に定められており、例えば、６枚でもよく、１２枚でもよく、１６枚でもよく、２４枚でもよい。
　パネル収納容器１は、例えば、電子部品アセンブリを製造する製造装置に使用される。電子部品アセンブリは、例えば、ガラス板及びステンレス板といった大型のキャリアパネル上に多数の電子部品を搭載する工程、これらの電子部品をエポキシ樹脂等で封止する工程、封止された電子部品をパネル形態でキャリアパネルから剥がす工程、及びパネル形態の電子部品を個別に切り出す工程等を経て製造される。パネル収納容器１は、これらの工程間でパネルを移送するために用いられる。
　パネル収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、一対のハンドル４と、を含む。
　容器本体２は、正面（前面）が開放された直方体形状の容器である。言い換えると、容器本体２は、前面に開口２ａが設けられたフロントオープンボックス型の容器である。容器本体２は、複数のパネルを収納する。具体的には、容器本体２は、複数のパネルを上下方向に互いに間隔を空けて積層した状態で収納する。開口２ａを介してパネルが容器本体２に出し入れされる。容器本体２の詳細は後述する。
　蓋体３は、容器本体２の開口２ａを閉塞するための部材である。蓋体３は、ガスケット等の封止部材を介して容器本体２の開口２ａを気密に閉塞する。蓋体３は、開口２ａを画定するフランジ２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体３は、開口２ａを閉塞している状態で、容器本体２に収納されるパネルと前後方向において向かい合う。蓋体３は、蓋本体３１と、施錠機構３２と、を含む。
　蓋本体３１は、蓋体３の本体部分である。蓋本体３１は、矩形状の板材である。蓋本体３１は、例えば、アルミニウム及びマグネシウム合金等の金属材料で構成されている。蓋本体３１は、ポリカーボネート樹脂等の熱可塑性樹脂で構成されてもよい。蓋本体３１の前面には、鍵穴３１ｈが設けられている。鍵穴３１ｈには、不図示の鍵が挿入される。
　施錠機構３２は、鍵穴３１ｈに挿入された鍵が操作されることによって、蓋体３を施錠又は解錠する。施錠機構３２は、不図示のラッチを含む。蓋体３がフランジ２５に取り付けられた状態で、鍵の操作によりラッチがフランジ２５に設けられた施錠穴２５ｈに嵌入されることによって蓋体３が施錠される。蓋体３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴２５ｈから引き抜かれることよって蓋体３が解錠される。
　一対のハンドル４は、搬送装置がパネル収納容器１を搬送する際に用いられる部材である。一対のハンドル４は、後述の天板２１の左右両端部に設けられる。搬送装置が一対のハンドル４を把持してパネル収納容器１を持ち上げることにより、搬送装置はパネル収納容器１を搬送し得る。
　容器本体２、蓋体３、及びハンドル４は、金属材料又は樹脂材料で成形される複数の部品を組み合わせることによって構成される。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂の例としては、熱可塑性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹脂、及びアクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体が挙げられる。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂として、これらのアロイが用いられてもよい。
　これらの樹脂には、導電物質、及び各種帯電防止剤が添加されてもよい。導電物質は、例えば、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、又は導電性ポリマー等からなる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、及び非イオン系等の帯電防止剤が用いられ得る。ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、及びヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されてもよい。剛性を向上させるガラス繊維又は炭素繊維等も選択的に添加されてもよい。
　次に、容器本体２を詳細に説明する。容器本体２は、天板２１と、底板２２と、一対の側壁２３と、背面壁２４と、フランジ２５と、一対のレール部材２７と、を含む。
　天板２１、底板２２、側壁２３、及び背面壁２４は、矩形状の板材である。天板２１と底板２２とは、上下方向において互いに向かい合っており、略平行に配置されている。一対の側壁２３は、左右方向において互いに向かい合っており、略平行に配置されている。背面壁２４は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で蓋体３と前後方向において向かい合う。天板２１、底板２２、一対の側壁２３及び背面壁２４のうちの互いに隣り合う２つの部材は、フレームによって連結される。天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４によって、複数のパネルを収納するための収容空間２０が画定される。
　天板２１、底板２２、及び側壁２３は、例えば、アルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。背面壁２４は、例えば、容器本体２の外部から収容空間２０を目視可能な透明の樹脂材料によって構成されている。背面壁２４の一部が透明の樹脂材料で構成されてもよい。透明な樹脂材料の例としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート、塩化ビニル樹脂、及びシクロオレフィンポリマーが挙げられる。
　フランジ２５は、矩形状の枠体であって、天板２１の前端、底板２２の前端、及び一対の側壁２３の前端にわたって設けられている。フランジ２５によって、開口２ａが画定される。フランジ２５は、例えば、上述の樹脂材料又はアルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。フランジ２５の上枠部及び下枠部のそれぞれには、左右方向に離間して配列された２つの施錠穴２５ｈが設けられている。上枠部の施錠穴２５ｈと下枠部の施錠穴２５ｈとは上下方向において互いに向かい合う位置に設けられている。
　一対のレール部材２７は、パネル収納容器１をコンベア等の搬送装置に載置するための部材である。各レール部材２７は、前後方向に延びる板状部材である。各レール部材２７は、例えば、上述の樹脂材料によって構成されている。一対のレール部材２７は、容器本体２の左右両端部において、底板２２の下に設けられる。
　次に、図２及び図３を更に参照しながら、収容空間２０内の構成を説明する。図２及び図３は、図１に示される容器本体の側壁に設けられる部材を示す斜視図である。なお、図２及び図３においては、一方の側壁２３に設けられる部材が図示されており、容器本体２の図示が省略されている。他方の側壁２３にも同様の部材が設けられる。
　図１～図３に示されるように、パネル収納容器１は、保持機構６を更に含む。保持機構６は、パネルを保持する機構である。保持機構６は、容器本体２の内部に設けられている。保持機構６は、複数の支持部６１と、複数の支持部６２と、複数の支柱６３と、複数の支持体６４と、一対の押圧機構６５と、を含む。
　各支持部６１は、パネルの左右方向における中央部を支持するための部分である。各支持部６１は、シャフト６１ａと、複数の弾性体６１ｂと、を含む。シャフト６１ａは、前後方向に延びる柱状（例えば、円柱状）の部材である。シャフト６１ａの後端部は、背面壁２４の内面に設けられた支柱（不図示）に固定されている。シャフト６１ａは、例えば、曲げ剛性の高い材料によって構成されている。シャフト６１ａの構成材料の例として、ステンレス及びアルミニウム等の金属、並びにカーボン繊維強化プラスチックが挙げられる。
　弾性体６１ｂは、シャフト６１ａの外周面に設けられた環状（例えば、円環状）の部材である。弾性体６１ｂは、パネルの滑りを抑え、パネルの位置決め精度を向上させるために設けられる。弾性体６１ｂは、例えば、ゴム材によって構成される。ゴム材の例としては、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）、シリコーンゴム、及びフッ素ゴムが挙げられる。複数の弾性体６１ｂは、シャフト６１ａの延在方向に一定の間隔で配列されている。
　各支持部６２は、パネルの左右方向の両端部を支持するための部分である。各支持部６２は、シャフト６２ａと、複数の弾性体６２ｂと、ストッパ６２ｃと、ストッパ６２ｄと、を含む。シャフト６２ａは、前後方向に延びる柱状（例えば、円柱状）の部材である。シャフト６２ａの後端部は、背面壁２４の内面に設けられた支柱（不図示）に固定されている。シャフト６２ａは、例えば、曲げ剛性の高い材料によって構成されている。シャフト６２ａの構成材料の例として、ステンレス及びアルミニウム等の金属、並びにカーボン繊維強化プラスチックが挙げられる。シャフト６２ａの前後方向における長さは、パネルの前後方向における長さよりも僅かに長く、シャフト６１ａの前後方向における長さよりも長い。
　弾性体６２ｂは、シャフト６２ａの外周面に設けられた環状（例えば、円環状）の部材である。弾性体６２ｂは、パネルの滑りを抑え、パネルの位置決め精度を向上させるために設けられる。弾性体６２ｂの構成材料及び配列は、弾性体６１ｂの構成材料及び配列と同様であるので詳細な説明を省略する。
　ストッパ６２ｃは、パネルの飛び出しを防止するとともにパネルの前端の位置を決めるための部材である。ストッパ６２ｃは、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。ストッパ６２ｃは、シャフト６２ａの前端部に設けられている。ストッパ６２ｄは、パネルの後端の位置を決めるための部材である。ストッパ６２ｄは、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。ストッパ６２ｄは、シャフト６２ａの後端部に設けられている。ストッパ６２ｄは、ブロック状の形状を有している。ストッパ６２ｄには、前後方向にシャフト６２ａを挿通するための挿通孔が設けられている。
　支持部６１及び支持部６２の数は、パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数に応じて変更される。本実施形態では、保持機構６は、１枚のパネル当たり、１つの支持部６１と、２つの支持部６２と、を含む。言い換えると、１つの支持部６１と２つの支持部６２とによって、１枚のパネルを収納する収納段が形成される。１つの支持部６１と２つの支持部６２とは、左右方向に配列されている。２つの支持部６２の間に、１つの支持部６１が配置されている。
　各支柱６３は、ハンドル４及び支持体６４を取り付けるための部材である。各支柱６３は、天板２１から底板２２にわたって上下方向に延びる柱状部材である。各支柱６３は、例えば、アルミニウム及びステンレス等の金属材料によって構成されている。各支柱６３は、側壁２３の内面に設けられる。本実施形態では、各側壁２３に３つの支柱６３が設けられる。３つの支柱６３は、前後方向に配列され、互いに略平行に配置されている。
　各支持体６４は、シャフト６２ａを保持（支持）するとともに、パネルの左右方向における端部を支持するための部材である。各支持体６４は、すべての収納段にわたって上下方向に延びる柱状部材である。支持体６４の前面が支柱６３の後面に当接され、ネジによって支持体６４が支柱６３に固定されている。したがって、本実施形態では、各側壁２３に３つの支持体６４が設けられる。３つの支持体６４は、前後方向に配列され、互いに略平行に配置されている。
　各支持体６４は、パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数と同数の載置部６４ａを含む。各載置部６４ａは、パネルの左右方向における端部が載置されるとともに、シャフト６２ａを保持する部分である。各載置部６４ａは、左右方向において収容空間２０に向かって突出している。各載置部６４ａには、載置部６４ａを前後方向に貫通する挿通孔が設けられており、シャフト６２ａが挿通孔に挿通されている。
　一対の押圧機構６５は、パネルの左右方向における端部を上下方向において支持部６２に向かって押さえる機構である。左側の押圧機構６５は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態でパネルの左端部を押さえ、開口２ａが開放されている状態で左端部への押さえを解除する。右側の押圧機構６５は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態でパネルの右端部を押さえ、開口２ａが開放されている状態で右端部への押さえを解除する。
　次に、図３～図６を参照しながら、押圧機構６５を詳細に説明する。図４は、図３に示される押さえ部材の斜視図である。図５は、図３に示される押圧機構を説明するための斜視図である。図６は、図３に示されるリンク機構の一部の分解斜視図である。なお、図３においては、開口２ａが開放されている状態での押圧機構６５が図示されている。図５においては、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態での押圧機構６５の一部が図示されており、支柱６３の図示が省略されている。図３及び図５に示されるように、押圧機構６５は、複数の押さえ部材５１と、取付軸５２と、リンク機構５３と、を含む。
　各押さえ部材５１は、パネルの左右方向における端部を押さえるための部材である。各押さえ部材５１は、前後方向に延びる板状の部材である。各押さえ部材５１は、支持部６２に対応して設けられている。本実施形態では、押圧機構６５は、１つの支持部６２あたり、前後方向に配列された２つの押さえ部材５１を含む。押さえ部材５１は、前後方向において互いに隣り合う２つの支持体６４の間に設けられている。
　図４に示されるように、押さえ部材５１は、押さえ板５１ａと、２つの軸受部５１ｂと、延設部５１ｃと、を含む。押さえ板５１ａは、前後方向に延びる板状の部分である。押さえ板５１ａは、軸受部５１ｂから取付軸５２と交差（ここでは、直交）する方向に延びている。押さえ板５１ａの先端５１ｄは下方に折れ曲がっており、押さえ板５１ａは、前方から見てＬ字状の形状を有している。各軸受部５１ｂは、取付軸５２を受ける部分である。２つの軸受部５１ｂは、押さえ板５１ａの基端における前後両端に設けられている。各軸受部５１ｂには、軸受部５１ｂを前後方向に貫通する貫通孔５１ｅが設けられている。貫通孔５１ｅの孔径は、取付軸５２の外径と同じかそれよりもわずかに小さい。
　延設部５１ｃは、一方の軸受部５１ｂから押さえ板５１ａとは反対方向に延びている。延設部５１ｃには、延設部５１ｃを前後方向に貫通する貫通孔５１ｆが設けられている。前側の押さえ部材５１の延設部５１ｃは、ピンによって連結部材５４に接続される。貫通孔５１ｆの孔径は、ピンの外径よりもわずかに大きいので、押さえ部材５１は、ピンを中心として回動可能に連結部材５４に接続されている。
　図５に示されるように、取付軸５２は、取付軸５２を軸心として取付軸５２の回りに回動可能に押さえ部材５１を支持体６４に取り付ける部材である。取付軸５２は、前後方向に延びている。取付軸５２は、前後方向に配列された３つの支持体６４にわたって延びている。取付軸５２は、各支持体６４に設けられた取付孔に挿通されており、取付軸５２の両端は、前後に位置する支持体６４に設けられた取付孔に嵌入されている。各支持体６４の取付孔の孔径は、取付軸５２の外径よりもわずかに大きい。これにより、取付軸５２は、取付軸５２の軸線回りに回転可能なように各支持体６４に取り付けられている。
　図３、図５及び図６に示されるように、リンク機構５３は、蓋体３の開閉に応じて各押さえ部材５１を回動させる機構である。具体的には、リンク機構５３は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態でパネルの左右方向における端部を押さえ、開口２ａが開放されている状態で当該端部への押さえを解除するように、押さえ部材５１を回動させる。リンク機構５３は、連結部材５４と、押込ピン５５と、保持部材５６と、弾性部材５７と、変換機構５８と、を含む。
　連結部材５４は、複数の押さえ部材５１を連結する部材である。連結部材５４は、上下方向に延びる棒状の形状を有する。上述のように、連結部材５４は、ピンによって各押さえ部材５１の延設部５１ｃに接続されている。
　押込ピン５５は、蓋体３の開閉に応じて前後方向に進退可能に設けられた部材である。押込ピン５５は、前後方向に延びる円柱状の形状を有する。押込ピン５５は、支持部６２の先端（ストッパ６２ｃ）よりも前方に突出しており、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で蓋体３によって押込ピン５５が後方に押圧されるように配置されている。押込ピン５５は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で蓋体３の裏面３ａ（図９参照）に当接する先端５５ａを有している。
　保持部材５６は、押込ピン５５を前後方向に進退可能に保持する部材である。保持部材５６は、柱状部５６ａと、延在部５６ｂと、固定部５６ｃと、を含む。柱状部５６ａは、前後方向に延びる柱状の形状を有する。柱状部５６ａには、柱状部５６ａを前後方向に貫通する挿通孔５６ｈが設けられている。挿通孔５６ｈの孔径は、押込ピン５５の外径よりもわずかに大きい。挿通孔５６ｈには、押込ピン５５が前後方向に進退可能に挿通されている。押込ピン５５の先端５５ａは、柱状部５６ａの前面よりも前方に突出している。
　延在部５６ｂは、柱状部５６ａから後方に延びる部分である。本実施形態では、延在部５６ｂは、柱状部５６ａの後面の内周縁から後方に延びる板状の形状を有し、押込ピン５５とは左右方向において離間している。延在部５６ｂは、支柱６３と柱状部５６ａとの間に調節部材８１及び弾性部材５７を配置するための空間を画定する。固定部５６ｃは、保持部材５６を支柱６３に固定するための部分である。固定部５６ｃは、延在部５６ｂの後端に設けられている。固定部５６ｃに設けられた貫通孔にネジなどの締結部材が挿通されて支柱６３に螺合されることにより、保持部材５６は支柱６３に固定される。
　弾性部材５７は、前後方向に伸縮可能に設けられている。弾性部材５７は、調節部材８１と前方の支柱６３とによって前後方向に挟持されている。本実施形態では、弾性部材５７は、コイルばねである。
　変換機構５８は、押込ピン５５の前後方向における移動を連結部材５４の上下方向における移動に変換する機構である。具体的には、変換機構５８は、押込ピン５５が後方に移動すると、連結部材５４を上方に移動させる。変換機構５８は、押込ピン５５が前方に移動すると、連結部材５４を下方に移動させる。変換機構５８は、調節部材８１と、接続部材８２と、を含む。
　調節部材８１は、押さえ部材５１の回動を円滑化するための部材である。調節部材８１は、押込ピン５５に回動可能に接続されている。調節部材８１は、左右方向に延びるブロック状の形状を有する。調節部材８１は、左右方向における両端部である端部８１ａ（第１端部）及び端部８１ｂ（第２端部）を有する。
　端部８１ａは、押込ピン５５に接続されている。具体的には、端部８１ａにおける調節部材８１の前面には、取付穴８１ｃが設けられている。取付穴８１ｃは、調節部材８１の前面から後方に窪んでいる。取付穴８１ｃには、押込ピン５５の基端が嵌入されている。取付穴８１ｃの穴径は、押込ピン５５の外径よりもわずかに大きい。これにより、調節部材８１は、押込ピン５５を軸として回動可能に押込ピン５５に取り付けられている。端部８１ｂは、接続部材８２に接続されている。
　接続部材８２は、連結部材５４と調節部材８１とを接続する部材である。接続部材８２は、一方向に延びる板状の形状を有する。接続部材８２は、後方に向かうにつれて上方に向かうように傾斜している。接続部材８２は、接続部材８２の延在方向における両端である端部８２ａ（図７参照）及び端部８２ｂ（図７参照）を有する。端部８２ａは、調節部材８１の端部８１ｂ（先端）にボールジョイントによって取り付けられている。端部８２ｂは、連結部材５４にボールジョイントによって取り付けられている。
　次に、図７～図１０を参照しながら、押圧機構６５の動作を説明する。図７は、開口が開放されている状態での押圧機構を説明するための側面図である。図８は、開口が開放されている状態での押圧機構を説明するための正面図である。図９は、蓋体が開口を閉塞している状態での押圧機構を説明するための側面図である。図１０は、蓋体が開口を閉塞している状態での押圧機構を説明するための正面図である。
　図７及び図８に示されるように、開口２ａが開放されている状態において、各押さえ部材５１は、左右方向において側壁２３から離れるにつれて上方に向かうように傾いている。このため、押さえ板５１ａの先端５１ｄとシャフト６２ａとの間に空間が形成されている。したがって、ロボットによってパネルＰ（図１０参照）が収容空間２０に搬入され、いずれかの収納段に載置される際に、押さえ板５１ａがパネルＰと干渉することが回避される。このとき、押込ピン５５の先端５５ａは、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態での蓋体３の裏面３ａの前後方向における位置（すなわち、蓋体３のシール面）よりも前方に突出しており、調節部材８１は弾性部材５７を押圧していないので、弾性部材５７には弾性力は生じていない。この押圧機構６５の状態を初期状態と称する。
　図９及び図１０に示されるように、蓋体３が開口２ａを閉塞する際に、蓋体３の裏面３ａによって押込ピン５５の先端５５ａが後方に押し込まれる。これにより、調節部材８１が後方に移動し、調節部材８１と支柱６３とに挟まれている弾性部材５７が調節部材８１によって後方に押し縮められる。このとき、調節部材８１の移動とともに、接続部材８２の端部８２ａが後方に移動する。端部８２ｂが接続されている連結部材５４は上下方向に移動可能であるので、端部８２ｂとともに連結部材５４は上方に移動する。
　各押さえ部材５１は取付軸５２を軸心として回動可能であるので、連結部材５４の上昇により各押さえ部材５１の延設部５１ｃに上方に向かう力が加わると、延設部５１ｃが上昇し、押さえ板５１ａの先端５１ｄが下降するように、取付軸５２を軸心として押さえ部材５１が回転しようとする。このとき、延設部５１ｃが取付軸５２を軸心として円弧を描くように移動するので、連結部材５４には取付軸５２から離れる方向に力が加わる。このため、調節部材８１の先端が接続部材８２によって左右方向において接続部材８２に向かって引っ張られ、調節部材８１が押込ピン５５を軸心として回転（回動）して調節部材８１の先端が左右方向において押込ピン５５から離れる。
　これにより、押さえ部材５１が取付軸５２を軸心として回転（回動）し、連結部材５４とともに延設部５１ｃが上昇して押さえ板５１ａの先端５１ｄが下方に下がる。以上により、押さえ板５１ａの先端５１ｄが、パネルＰの左右方向における端部においてパネルＰの上面Ｐａを下方に向けて押さえつける。パネルＰの左右方向における端部においてパネルＰの下面Ｐｂは、支持部６２（載置部６４ａ）に支持されている。したがって、パネルＰの左右方向における端部は、上下方向において押さえ部材５１と支持部６２とによって挟持される。
　蓋体３が容器本体２から取り外され、開口２ａが開放されると、弾性部材５７の弾性力により、調節部材８１が前方に押し戻され、押込ピン５５の先端５５ａが元の位置に戻る。調節部材８１の移動とともに、接続部材８２の端部８２ａが前方に移動し、端部８２ｂとともに連結部材５４が下方に移動する。
　そして、連結部材５４の下降により各押さえ部材５１の延設部５１ｃに下方に向かう力が加わると、延設部５１ｃが下降し、押さえ板５１ａの先端５１ｄが上昇するように、取付軸５２を軸心として押さえ部材５１が回転しようとする。このとき、延設部５１ｃが取付軸５２を軸心として円弧を描くように移動するので、連結部材５４には取付軸５２に向かう方向に力が加わる。このため、調節部材８１の先端が接続部材８２によって左右方向において押込ピン５５に向かって押し込まれ、調節部材８１が押込ピン５５を軸心として回転（回動）して調節部材８１の先端が左右方向において押込ピン５５に近づく。
　これにより、押さえ部材５１が取付軸５２を軸心として回転し、連結部材５４とともに延設部５１ｃが下降して押さえ板５１ａの先端５１ｄが上昇する。以上により、押圧機構６５が初期状態に戻るので、押さえ板５１ａの先端５１ｄがパネルＰの上面Ｐａから離れ、パネルＰの左右方向における端部への押さえが解除される。これにより、パネルＰは搬出可能な状態になる。
　以上説明したパネル収納容器１においては、パネルＰの左右方向における端部が、支持部６２によって支持されるとともに、押圧機構６５によって支持部６２（シャフト６２ａ）に向かって下方に押さえられる。これにより、パネルＰの左右方向における端部が上下方向において支持部６２と押圧機構６５とによって挟まれるので、パネルＰの動きが規制される。したがって、パネル収納容器１に振動が加わったとしても、パネルＰが振動の影響を受けにくくなる。その結果、発塵を抑制することが可能となる。
　開口２ａが開放されている状態でパネル収納容器１にパネルＰが出し入れされ、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態でパネル収納容器１が搬送され得る。押さえ部材５１は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で、パネルＰの左右方向における端部を押さえ、開口２ａが開放されている状態で、パネルＰの左右方向における端部への押さえを解除する。したがって、パネル収納容器１の搬送時における発塵を抑制するとともに、パネルＰを出し入れすることが可能となる。
　リンク機構５３は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態でパネルＰの左右方向における端部を押さえ、開口２ａが開放されている状態でパネルＰの左右方向における端部への押さえを解除するように、押さえ部材５１を回動させる。したがって、蓋体３の開閉に連動して押さえ部材５１が取付軸５２を軸心として回動する。これにより、ユーザが押圧機構６５を操作することなく、パネル収納容器１の搬送時における発塵を抑制するとともに、パネルＰを出し入れすることが可能となる。
　弾性部材５７は、押込ピン５５の前後方向における移動に応じて前後方向に伸縮可能に設けられている。変換機構５８は、押込ピン５５が蓋体３に押圧された際に、押さえ板５１ａがパネルＰの左右方向における端部を支持部６２に向かって下方に押さえるように、連結部材５４を移動させる。したがって、蓋体３が開口２ａを閉塞する際に、押込ピン５５が後方に向けて押圧されると、弾性部材５７が圧縮され、押さえ板５１ａがパネルＰの左右方向における端部を支持部６２に向かって下方に押さえるように、連結部材５４が移動する。一方、蓋体３が容器本体２から取り外されると、弾性部材５７の弾性力により押込ピン５５が押し戻されて、連結部材５４が元の位置に戻る。したがって、押さえ板５１ａによるパネルＰの左右方向における端部への押圧が解除される。これにより、パネル収納容器１からパネルＰを搬出することが可能となる。以上のように、パネル収納容器１の搬送時における発塵を抑制するとともに、パネルＰを出し入れすることが可能となる。
　連結部材５４が上昇することにより押さえ部材５１の延設部５１ｃに上方に向かう力が加わると、取付軸５２を軸心として押さえ部材５１が回転しようとする。このとき、延設部５１ｃが取付軸５２を軸心として円弧を描くように移動するので、連結部材５４には取付軸５２から離れる方向に力が加わる。このため、調節部材８１が接続部材８２によって左右方向において接続部材８２に向かって引っ張られ、調節部材８１が押込ピン５５を軸心として回動する。同様に、連結部材５４が下降することにより押さえ部材５１の延設部５１ｃに下方に向かう力が加わると、延設部５１ｃが取付軸５２を軸心として円弧を描くように移動するので、連結部材５４には取付軸５２に向かう方向に力が加わる。このため、調節部材８１が接続部材８２によって左右方向において押込ピン５５に向かって押し込まれ、調節部材８１が押込ピン５５を軸心として回動する。以上により、押さえ部材５１の回動を円滑化することができる。
　なお、本開示に係るパネル収納容器は上記実施形態に限定されない。
　押圧機構６５は、リンク機構５３を含まなくてもよい。この場合、ユーザが手動で取付軸５２を軸心として押さえ部材５１を回動させてもよい。
　変換機構５８は、押さえ部材５１の回動が可能な程度に接続部材８２が撓むように構成されてもよい。この場合、変換機構５８は、調節部材８１に代えて押込ピン５５に固定された部材を含んでもよい。
　１…パネル収納容器、２…容器本体、２ａ…開口、３…蓋体、６…保持機構、２０…収容空間、２３…側壁、５１…押さえ部材、５１ａ…押さえ板、５１ｂ…軸受部、５１ｃ…延設部、５１ｄ…先端、５２…取付軸、５３…リンク機構、５４…連結部材、５５…押込ピン、５５ａ…先端、５６…保持部材、５７…弾性部材、５８…変換機構、６２…支持部、６３…支柱、６５…押圧機構、８１…調節部材、８１ａ…端部（第１端部）、８１ｂ…端部（第２端部）、８２…接続部材、Ｐ…パネル。

 

Claims (5)

  1. 　開口を有し、パネルを収納する容器本体と、
    　前記容器本体の内部に設けられ、前記パネルを保持する保持機構と、
    　前記開口を閉塞する蓋体と、
    を備え、
    　前記容器本体は、前記パネルを収納するための収容空間を画定するとともに、第１方向において互いに向かい合う一対の側壁を備え、
    　前記保持機構は、前記パネルの前記第１方向における端部を支持する支持部と、前記端部を前記第１方向と交差する第２方向において前記支持部に向かって押さえる押圧機構と、を備える、パネル収納容器。
  2. 　前記押圧機構は、前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で前記端部を押さえ、前記開口が開放されている状態で前記端部への押さえを解除する、請求項１に記載のパネル収納容器。
  3. 　前記押圧機構は、
    　　前記端部を押さえるための押さえ部材と、
    　　前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向に延びる取付軸であって、前記押さえ部材を、前記取付軸を軸心として回動可能に取り付ける取付軸と、
    　　前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で前記端部を押さえ、前記開口が開放されている状態で前記端部への押さえを解除するように、前記押さえ部材を回動させるリンク機構と、
    を備える、請求項２に記載のパネル収納容器。
  4. 　前記蓋体は、前記開口を閉塞している状態で、前記容器本体に収納される前記パネルと前記第３方向において向かい合い、
    　前記押さえ部材は、
    　　前記取付軸を受ける軸受部と、
    　　前記軸受部から前記取付軸と交差する方向に延びる押さえ板と、
    　　前記軸受部から前記押さえ板と反対方向に延びる延設部と、
    を備え、
    　前記リンク機構は、
    　　前記延設部に接続された連結部材と、
    　　前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で前記蓋体によって前記第３方向において押圧される押込ピンと、
    　　前記押込ピンの前記第３方向における移動を前記連結部材の前記第２方向における移動に変換する変換機構と、
    　　前記押込ピンの前記第３方向における移動に応じて前記第３方向に伸縮可能に設けられた弾性部材と、
    を備え、
    　前記変換機構は、前記押込ピンが前記蓋体に押圧された際に、前記押さえ板が前記端部を前記第２方向において前記支持部に向かって押さえるように、前記連結部材を移動させる、請求項３に記載のパネル収納容器。
  5. 　前記変換機構は、前記押込ピンを軸心として回動可能なように前記押込ピンに接続された調節部材と、前記調節部材と前記連結部材とを接続する接続部材と、を備え、
    　前記調節部材は、前記押込ピンに接続される第１端部と、前記接続部材に接続される第２端部と、を備える、請求項４に記載のパネル収納容器。

     
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