JP2015082588A - ウェーハカセット - Google Patents

Abstract

【課題】ウェーハカセットの搬送時におけるウェーハの飛び出しを防ぐと共に、ウェーハカセット内でのウェーハの上下のバタツキによる破損を防止すること。【解決手段】ウェーハカセット（２）は、粘着テープ（Ｔ）を介して環状フレーム（Ｆ）に支持されたウェーハ（Ｗ）用の複数の収容棚が形成された一対の側板（３１）と、収容棚の一部を構成する開状態と開状態から上下にずれて環状フレームの移動を規制する閉状態にスライドする一対のフレーム規制部（４１）とを備え、一対のフレーム規制部は、閉状態において環状フレームの上面に当接する上面当接面（４３）と、環状フレームの側面に当接する側面当接面（４４）とを有する構成にした。【選択図】図４

Description

本発明は、ウェーハを複数枚収容するウェーハカセットに関し、特に、４５０ｍｍの大口径サイズのウェーハを複数枚収容するウェーハカセットに関する。

半導体デバイスの製造プロセスの後工程で使用されるウェーハカセットは、複数の収容棚が形成された一対の側板を対向させて、一対の側板の上端同士及び下端同士をそれぞれ上下の連結部材で連結して形成される。ウェーハカセットの正面は開口されており、粘着テープを介して環状フレームと一体となったウェーハが、この開口を通じて複数の収容棚に収容される。従来、このようなウェーハカセットとして、搬送時のウェーハの飛び出しを防止するために、飛び出し防止機構を備えたものが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。

特許文献１に記載の飛び出し防止機構は、一対の側板にそれぞれスライド壁を上下動可能に設けて構成されている。各スライド壁には、側板の収容棚と同じ間隔で棚板が形成されている。この飛び出し防止機構は、ウェーハカセットの載置状態では、側板の収容棚の棚板とスライド壁の棚板とが一致して、ウェーハカセットに対してウェーハを出し入れ可能にしている。また、ウェーハカセットが持ち上げられると、スライド壁は自重によって下動し、側板の棚板とスライド壁の棚板がずれてウェーハの飛び出しが防止される。

特許文献２に記載の飛び出し防止機構は、一対の側板にそれぞれ上下に延びる棒状のストッパを設けて構成されている。各ストッパは、上下軸回りで旋回するように側板に取り付けられており、側板の内側と外側の間で移動される。この飛び出し防止機構は、一対のストッパを側板の外側に位置付けることで、ウェーハカセットに対してウェーハの出し入れを可能にしている。また、一対のストッパを側板の内側に回り込ませることによって、ウェーハの飛び出しが防止される。

実用新案登録第３０１４８７０号公報 特開平８−８０９８９号公報

特許文献１、２に記載の飛び出し防止機構では、環状フレームの側面がスライド壁やストッパに当接することによってウェーハの飛び出しが防止される。しかしながら、ウェーハカセットの搬送時に生じる上下方向の揺れによって、収容棚に収まったウェーハに衝撃を与えてしまうおそれがある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ウェーハカセットの搬送時におけるウェーハの飛び出しを防ぐと共に、ウェーハカセット内でのウェーハの上下のバタツキによる破損を防止できるウェーハカセットを提供することを目的とする。

本発明のウェーハカセットは、粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するためのウェーハカセットであって、対向する側板に複数形成された環状フレームを収容する収容棚と、環状フレームを出し入れする開口部と、環状フレームを背部で支持する背止部と、収容棚の一部が上下にずれて収容棚に収容された環状フレームの搬出を規制する閉状態及び環状フレームを搬出可能な開状態に上下にスライド可能に開口部近傍に配設されたフレーム規制部と、を備え、フレーム規制部は、閉状態において収容棚に収容された環状フレームの上面に当接する上面当接面と開口部側の環状フレームの側面に当接する側面当接面を備え、収容棚に収容された環状フレームは、フレーム規制部が閉状態に位置付けられると、上面当接面及び側面当接面が環状フレームに当接して環状フレームの搬出を規制することを特徴とする。

この構成によれば、収容棚の一部がフレーム規制部になっており、フレーム規制部が閉状態に位置付けられると、フレーム規制部の上面当接面が環状フレームの上面に当接し、フレーム規制部の側面当接面が環状フレームの側面に当接する。これにより、環状フレームが収容棚とフレーム規制部との間に挟まれ、環状フレームの上下のバタツキが抑えられる。同時に、環状フレームが背止部とフレーム規制部との間に挟まれ、環状フレームの水平方向の移動が規制される。よって、ウェーハカセットの搬送時に、上面当接面によってウェーハのバタツキによる破損が抑えられ、側面当接面によって環状フレームが開口部からの飛び出しが防止される。また、フレーム規制部のみで環状フレームの上下方向及び水平方向の移動が同時に規制されるため、部品点数を増やすことなく環状フレームの飛び出し防止及び上下のバタツキ防止を実現できる。

本発明の上記ウェーハカセットにおいて、フレーム規制部は、対向する側板に対向してそれぞれ１個配設され、側面当接面は開口部側から背止部側に向かって徐々に幅方向で広がるように傾斜し且つ上方から下方に向かって徐々に広がるように傾斜して形成されており、開状態から閉状態に上方から下方にスライドする際に環状フレームの側面が側面当接面に当接してガイドされ、閉状態に位置付けられると環状フレームは背止部に当接してフレーム規制部と背止部とで環状フレームを把持することを特徴とする。

本発明によれば、フレーム規制部に環状フレーム上面及び側面に当接する上面当接面と側面当接面を形成したことで、ウェーハカセットの搬送時におけるウェーハ飛び出しを防ぐと共に、環状フレームの上下のバタツキを防止できる。

本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。 本実施の形態に係るウェーハカセットの斜視図である。 本実施の形態に係るウェーハカセットのフレーム規制部の斜視図である。 本実施の形態に係るフレーム規制部の動作説明図である。

以下、本実施の形態に係るウェーハカセットが使用される切削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る切削装置の斜視図である。なお、本実施の形態においては、ウェーハカセットが切削装置に対するウェーハの搬入及び搬出に使用される構成について説明するが、この構成に限定されない。ウェーハカセットは、他の装置に対するウェーハの搬入及び搬出に使用されてもよい。なお、図１においては、ウェーハカセットを二点鎖線で示している。

図１に示すように、切削装置１には、複数枚のウェーハＷが収容されたウェーハカセット２が搬入される。切削装置１は、ウェーハカセット２から１枚ずつウェーハＷを取り出して切削し、切削後のウェーハＷをウェーハカセット２内に収容するように構成されている。ウェーハＷは、略円板状に形成されており、表面が格子状の分割予定ラインによって複数の領域に区画されている。分割予定ラインに区画された各領域には、各種デバイスが形成されている。ウェーハＷの裏面には粘着テープＴが貼着されており、この粘着テープＴの外周には環状フレームＦが貼着されている。

このように、ウェーハＷは、粘着テープＴを介して環状フレームＦと一体となった状態で、ウェーハカセット２に収容されている。なお、ウェーハＷは、シリコン、ガリウム砒素等の半導体基板にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成された半導体ウェーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア系の無機材料基板にＬＥＤ等の光デバイスが形成された光デバイスウェーハでもよい。

切削装置１は、切削機構（不図示）が収容された直方体状の筐体１１に隣接して、筐体１１よりも低い基台１２を有している。基台１２の上面中央は、筐体１１内に向かって延在するように開口されており、この開口を覆うように蛇腹状の防水カバー１３が設けられている。防水カバー１３上には、ウェーハＷを筐体１１内に取り込むチャックテーブル１４が設けられている。防水カバー１３の下方には、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させるボールねじ式の移動機構（不図示）が設けられている。図１においては、チャックテーブル１４を筐体１１の外部に移動させて基台１２上で待機させた状態を示している。

基台１２上には、チャックテーブル１４を挟んで、ウェーハカセット２が載置されるエレベータ手段１５、加工済みのウェーハＷを洗浄する洗浄手段１６が設けられている。エレベータ手段１５では、ステージ１７上にウェーハカセット２が載置され、昇降機構（不図示）によってウェーハカセット２内のウェーハＷの出し入れ位置が調整される。洗浄手段１６では、スピンナテーブル１８上のウェーハＷが基台１２内に降下され、洗浄水が噴射されてウェーハＷが洗浄された後、乾燥エアが吹き付けられてウェーハＷが乾燥される。

また、チャックテーブル１４の上方には、Ｙ軸方向に延在する一対のガイドレール１９が設けられている。一対のガイドレール１９では、Ｘ軸方向の離間接近によってウェーハカセット２に対してウェーハＷが出し入れ可能にガイドされると共に、チャックテーブル１４に対してウェーハＷのＸ軸方向が位置決めされる。チャックテーブル１４では、ウェーハＷが保持された状態で筐体１１内に送り込まれる。筐体１１内では、切削機構の真下にウェーハＷが位置付けられ、切削機構に対してチャックテーブル１４がＸ軸方向に切削送りされる。

さらに、基台１２の上方には、チャックテーブル１４及び洗浄手段１６の相互間でウェーハＷを搬送する第１、第２の搬送手段２１、２２が設けられている。また、第１の搬送手段２１は、ウェーハカセット２に対してウェーハＷを出し入れするプッシュプル機構としても機能する。第１、第２の搬送手段２１、２２は、それぞれ筐体１１の側面に配置されたボールねじ式の駆動機構２４、２５で駆動される。第１の搬送手段２１では、ウェーハカセット２とガイドレール１９との間でウェーハＷが出し入れされる共に、チャックテーブル１４と洗浄手段１６との間でウェーハＷが搬送される。第２の搬送手段２２では、チャックテーブル１４と洗浄手段１６との間でウェーハＷが搬送される。

筐体１１の前面には、切削装置１を操作するためのタッチパネル式のモニター２３が設けられている。モニター２３に映し出された操作画面によって切削装置１の加工条件等が設定される。このように構成された切削装置１では、第１の搬送手段２１によってウェーハカセット２からチャックテーブル１４にウェーハＷが搬送され、チャックテーブル１４によって筐体１１内にウェーハＷが取り込まれる。筐体１１内でウェーハＷが切削された後、第２の搬送手段２２によってチャックテーブル１４から洗浄手段１６にウェーハＷが搬送される。そして、第１の搬送手段２１によって洗浄済みのウェーハＷが洗浄手段１６からウェーハカセット２に搬送される。

本実施の形態に係るウェーハカセット２は、このような切削装置１に対する搬送時に、内部に収容されたウェーハＷが外部に飛び出さないように、飛び出し防止機構が設けられている。飛び出し防止機構は、ウェーハカセット２からのウェーハＷの飛び出しを防止するだけでなく、ウェーハカセット２の搬送時に生じる上下方向の揺れによるウェーハＷの破損を防止している。以下、本実施の形態に係るウェーハカセット２及び飛び出し防止機構について詳細に説明する。

図２及び図３を参照して、本実施の形態に係るウェーハカセットについて詳細に説明する。図２は、本実施の形態に係るウェーハカセットの斜視図である。図３は、本実施の形態に係るウェーハカセットのフレーム規制部の斜視図である。なお、図２においては、ウェーハの搬入出が規制された閉状態を示し、背止部を二点鎖線で示している。また、図３Ａは、ウェーハの搬入出が可能な開状態を示し、図３Ｂは、ウェーハの搬入出を規制する閉状態を示している。図３においては、説明の便宜上、側板を省略して記載している。

図２に示すように、ウェーハカセット２は、対向する一対の側板３１の上端同士及び下端同士を下板３２及び上板３３で連結した箱状に形成されている。また、ウェーハカセット２の正面側には、環状フレームＦ（図１参照）を出し入れする開口部３４が形成され、ウェーハカセット２の背面側には、環状フレームＦを背部で支持する背止部３５が設けられている。一対の側板３１の内側面には、水平方向（Ｙ軸方向）に延びる複数の棚板３６が等間隔に設けられている。この複数の棚板３６によって、一対の側板３１に環状フレームＦを収容する収容棚が複数形成される。

一対の側板３１の開口部３４近傍には、環状フレームＦ（図１参照）の飛び出しを規制するフレーム規制部４１が上下方向にスライド可能に配設されている。フレーム規制部４１には、一対の側板３１の棚板３６と同じ間隔で、複数の棚板４２が等間隔に設けられている。すなわち、フレーム規制部４１の棚板４２は、側板３１の棚板３６と共に収容棚の一部を構成している。このフレーム規制部４１に対応して、一対の側板３１の下端が切り欠かれている。切欠部３７には、エレベータ手段１５のステージ１７上に設けられた一対の突起４６（図２では１つのみ図示）が入り込み、一対の突起４６によってフレーム規制部４１が押し上げられるように構成されている。

ステージ１７上にウェーハカセット２が載置されると、一対の突起４６によってフレーム規制部４１が押し上げられ、フレーム規制部４１の各棚板４２が側板３１の各棚板３６に一致される。これにより、収容棚に収容された環状フレームＦ（ウェーハＷ）を搬出可能な開状態になるようにフレーム規制部４１が移動される（図３Ａ参照）。一方、ステージ１７上からウェーハカセット２が離間すると、付勢手段４７（図４参照）によってフレーム規制部４１が押し下げられて、フレーム規制部４１の各棚板４２が側板３１の各棚板３６の間に位置付けられる。これにより、収容棚の一部が上下にずれて環状フレームＦの搬出を規制する閉状態になるようにフレーム規制部４１が移動される。

一対の側板３１の背止部３５近傍には、上下方向に延びる規制板３８が形成されている。規制板３８は、収容棚に収容されるウェーハＷの環状フレームＦに当接して、背止部３５と共に環状フレームＦの背部を支持している。上板３３には、搬送時に把持される取っ手３９が設けられている。なお、ウェーハカセット２は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）、ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）等の搬送手段により搬送される構成に限らず、オペレータに手動で搬送されてもよい。

図３Ａに示すように、フレーム規制部４１の各棚板４２は、側板３１（図２参照）の各棚板３６よりも厚く形成されている。フレーム規制部４１の棚板４２の下半部は切り欠かれており、閉状態において環状フレームＦの上面に当接する上面当接面４３、開口部３４側の環状フレームＦの側面に当接する側面当接面４４が形成されている。上面当接面４３は、上面視三角形状に形成されており、環状フレームＦの上面に平行な水平面になっている。側面当接面４４は、開口部３４側から背止部３５側に向かって一対のフレーム規制部４１間が徐々に幅方向で広がるように傾斜し、かつ上方から下方に向かって一対のフレーム規制部４１間が徐々に広がるように傾斜している（図４参照）。

フレーム規制部４１が開状態に位置付けられると、フレーム規制部４１の各棚板４２の上面が側板３１の各棚板３６の上面と面一になるように、フレーム規制部４１の各棚板４２と側板３１の各棚板３６とが位置合わせされている。このとき、フレーム規制部４１の各棚板４２の上面は、側板３１の各棚板３６と共に環状フレームＦの下面を支持している。上面当接面４３及び側面当接面４４は環状フレームＦから上方に離間されている。このように、フレーム規制部４１の各棚板４２が側板３１の各棚板３６に揃えられて、フレーム規制部４１の各棚板４２が側板３１の各棚板３６の収容棚の一部を構成している。

図３Ｂに示すように、フレーム規制部４１が閉状態に位置付けられると、フレーム規制部４１の各棚板４２の上面が側板３１（図２参照）の各棚板３６の上面からずれて、フレーム規制部４１の各棚板４２が下方向にスライドされる。フレーム規制部４１がスライドする際に側面当接面４４に環状フレームＦが当接して、側面当接面４４の斜面に環状フレームＦの側面がガイドされて、環状フレームＦがウェーハカセット２（図２参照）内で位置決めされる。そして、上面当接面４３が環状フレームＦの上面に当接すると共に、側面当接面４４が環状フレームＦの側面に当接して環状フレームＦの搬出が規制される。

これにより、フレーム規制部４１の各棚板４２と側板３１の各棚板３６との間に環状フレームＦが挟まれ、ウェーハＷの上下のバタツキが抑えられる。また、側面当接面４４が環状フレームＦの側面に当接することで、フレーム規制部４１の棚板４２と背止部３５（図２参照）との間に環状フレームＦが挟まれ、ウェーハＷの水平方向の移動が規制される。このように、フレーム規制部４１は、上方及び側方から環状フレームＦに当接して、搬送時における環状フレームＦの上下のバタツキを防止すると共に環状フレームＦ（ウェーハＷ）の飛び出しを防止している。

図４を参照して、本実施の形態に係るフレーム規制部の動作について詳細に説明する。図４は、本実施の形態に係るフレーム規制部の動作説明図である。図４Ａはフレーム規制部の開状態、図４Ｂ及び図４Ｃはフレーム規制部の閉状態をそれぞれ示している。なお、図４Ｃにおいて、二点鎖線は開状態における環状フレームを示している。

図４Ａに示すように、一対のフレーム規制部４１の最上段の棚板４２は、コイルばね等の付勢手段４７によって常に下方に付勢されている。また、エレベータ手段１５のステージ１７の上面には、一対の突起４６が一対のフレーム規制部４１に対応した位置に設けられている。ウェーハカセット２がステージ１７に載置されると、一対の突起４６がフレーム規制部４１の下端部に当接し、付勢手段４７の付勢力に抗してフレーム規制部４１が上方に押し上げられる。このとき、一対の突起４６は、フレーム規制部４１の各棚板４２が押し上げられた状態で、側板３１の棚板３６に揃うような高さに設計されている。

これにより、フレーム規制部４１の各棚板４２の上面が側板３１の各棚板３６の上面に面一となり、フレーム規制部４１と側板３１によってウェーハカセット２の収容棚が形成される。このように、フレーム規制部４１の開状態では、収容棚に収容された環状フレームＦ（ウェーハＷ）の搬出及び収容棚への環状フレームＦの搬入が可能になっている。また、フレーム規制部４１の開状態では、上面当接面４３及び側面当接面４４が環状フレームＦから離間しており、ウェーハＷが位置決めされていない。よって、収容棚に収容された一部のウェーハＷは、前後左右に僅かな位置ズレが生じている。

図４Ｂに示すように、ステージ１７からウェーハカセット２が持ち上げられると、一対の突起４６の先端から一対のフレーム規制部４１が離間する。上記したように、一対のフレーム規制部４１は付勢手段４７によって常に下方に付勢されているため、一対のフレーム規制部４１は付勢手段４７の付勢力によって下方に押し下げられる。一対のフレーム規制部４１は、その側面当接面４４の間隔が下方に向かって徐々に広がるように傾斜している。フレーム規制部４１の下方へのスライドに合わせて、一対の側面当接面４４の斜面によって、環状フレームＦが左右方向に押し込まれる。これにより、環状フレームＦの左右方向が位置決めされる。

図４Ｃに示すように、対向する一対のフレーム規制部４１は、その側面当接面４４の間隔が開口部３４側から背止部３５側に向かって徐々に広がるように傾斜している。フレーム規制部４１の下方へのスライドに合わせて、一対の側面当接面４４の斜面によって環状フレームＦが後方に押し込まれる。これにより、環状フレームＦの背部が背止部３５及び規制板３８に当接され、環状フレームＦの前後方向が位置決めされる。このように、収容棚に収容された一部の環状フレームＦ（ウェーハＷ）が前後左右に位置ズレしても、側面当接面４４によって環状フレームＦが前後左右に位置決めされる。

また、環状フレームＦの側面が一対のフレーム規制部４１の側面当接面４４に当接されることで、フレーム規制部４１と背止部３５とで環状フレームＦが把持され、環状フレームＦ（ウェーハＷ）の前後方向の移動が規制される。よって、環状フレームＦがフレーム規制部４１と背止部３５で挟まれた状態でウェーハカセット２が搬送されるため、ウェーハカセット２の搬送時におけるウェーハＷの飛び出しが防止される。

図４Ｂに戻り、環状フレームＦの側面が一対の側面当接面４４にガイドされて、環状フレームＦの上面が一対のフレーム規制部４１の上面当接面４３に当接される。これにより、側板３１の棚板３６とフレーム規制部４１の棚板４２との間に環状フレームＦが挟まれ、環状フレームＦ（ウェーハＷ）の上下方向の移動が規制される。このとき、フレーム規制部４１は付勢手段４７によって下方に付勢されているため、ウェーハカセット２の搬送時に上下に強い揺れが生じても、収容棚に収まった環状フレームＦの上下のバタツキが抑えられる。よって、ウェーハＷに強い衝撃が与えられることがなく、ウェーハＷの破損が防止される。

このように、フレーム規制部４１によって、環状フレームＦの飛び出し及び上下のバタツキが同時に防止されるため、環状フレームＦの飛び出しを防止する規制部と上下のバタツキを防止する規制部とを個々に設ける必要がない。よって、部品点数を増やすことなく環状フレームＦの飛び出し及び上下のバタツキを同時に防止することが可能になっている。また、ウェーハＷが大口径化して質量が増加しても、搬送中のウェーハＷのバタツキが抑えられるため、ウェーハＷの衝撃による破損が防止される。

以上のように、本実施の形態に係るウェーハカセット２によれば、収容棚の一部がフレーム規制部４１になっており、フレーム規制部４１が閉状態に位置付けられると、フレーム規制部４１の上面当接面４３が環状フレームＦの上面に当接し、フレーム規制部４１の側面当接面４４が環状フレームＦの側面に当接する。これにより、環状フレームＦが収容棚とフレーム規制部４１との間に挟まれ、環状フレームＦの上下のバタツキが抑えられる。同時に、環状フレームＦが背止部３５とフレーム規制部４１との間に挟まれ、環状フレームＦの水平方向の移動が規制される。よって、ウェーハカセット２の搬送時に、側面当接面４４によって環状フレームＦが開口部３４からの飛び出しが防止され、上面当接面４３によってウェーハＷのバタツキによる破損が抑えられる。また、フレーム規制部４１のみで環状フレームＦの上下方向及び水平方向の移動が同時に規制されるため、部品点数を増やすことなく環状フレームＦの飛び出し防止及び上下のバタツキ防止を実現できる。

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

例えば、上記した実施の形態においては、フレーム規制部４１が下方にスライドすることによって環状フレームＦに当接する構成としたが、この構成に限定されない。フレーム規制部４１は、環状フレームＦに当接して環状フレームＦの飛び出し及び上下のバタツキを抑えることができればよい。例えば、一対の側板３１の片側にだけフレーム規制部４１が設けられてもよい。

また、上記した実施の形態においては、フレーム規制部４１の側面当接面４４が平らな斜面で形成されたが、この構成に限定されない。側面当接面４４は、開口部３４側から背止部３５側に向かって一対のフレーム規制部４１間が徐々に広がるように湾曲して傾斜し、上方から下方に向かって一対のフレーム規制部４１間が徐々に広がるように湾曲して傾斜してもよい。

また、上記した実施の形態においては、フレーム規制部４１は、付勢手段４７と突起４６によって開状態及び閉状態にスライドされる構成としたが、この構成に限定されない。フレーム規制部４１は、ステージ１７上にウェーハカセット２が載置された場合に開状態となり、ウェーハカセット２の搬送時に閉状態になる構成であればよい。

以上説明したように、本発明は、ウェーハカセット搬送時におけるウェーハ飛び出しを防ぐと共に、ウェーハの上下のバタツキを防ぐことができるという効果を有し、特に、４５０ｍｍの大口径サイズのウェーハを複数枚収容するウェーハカセットに有用である。

１ 切削装置
２ ウェーハカセット
３１ 側板
３４ 開口部
３５ 背止部
３６ 棚板
４１ フレーム規制部
４２ 棚板
４３ 上面当接面
４４ 側面当接面
Ｆ 環状フレーム
Ｔ 粘着テープ
Ｗ ウェーハ

Claims (2)

1. 粘着テープに貼着されウェーハが一体となった環状フレームを複数枚収容するためのウェーハカセットであって、
   対向する側板に複数形成された環状フレームを収容する収容棚と、該環状フレームを出し入れする開口部と、該環状フレームを背部で支持する背止部と、該収容棚の一部が上下にずれて該収容棚に収容された該環状フレームの搬出を規制する閉状態及び該環状フレームを搬出可能な開状態に上下にスライド可能に該開口部近傍に配設されたフレーム規制部と、を備え、
   該フレーム規制部は、該閉状態において該収容棚に収容された該環状フレームの上面に当接する上面当接面と該開口部側の該環状フレームの側面に当接する側面当接面を備え、
   該収容棚に収容された該環状フレームは、該フレーム規制部が該閉状態に位置付けられると、該上面当接面及び該側面当接面が該環状フレームに当接して該環状フレームの搬出を規制することを特徴とするウェーハカセット。
2. 該フレーム規制部は、対向する該側板に対向してそれぞれ１個配設され、該側面当接面は該開口部側から該背止部側に向かって徐々に幅方向で広がるように傾斜し且つ上方から下方に向かって徐々に広がるように傾斜して形成されており、
   該開状態から該閉状態に上方から下方にスライドする際に該環状フレームの側面が該側面当接面に当接してガイドされ、該閉状態に位置付けられると該環状フレームは該背止部に当接して該フレーム規制部と該背止部とで該環状フレームを把持することを特徴とする請求項１記載のウェーハカセット。

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