JP2000277603A - ウェーハフレームカセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自動化に適し、保管、管理及びそのスペース
確保の必要がなく、スライド壁を円滑、かつ良好に動作
させ得るウェーハフレームカセットを提供する。 【解決手段】 対向内面にフレーム用の整列支持溝３が
上下に並設される一対の側壁１と、一対の側壁１の上部
間に載設されるハンドルと、作業時に一対の側壁１内に
対するフレームの出し入れを可能とし、搬送時にフレー
ムの出し入れを規制するフレーム保持機構９と、操作機
構１５とを備える。フレーム保持機構９を、側壁１の一
部を構成し、作業時には基準位置Ｓに配置されて側壁１
の整列支持溝３に整列支持溝３Ａを連続させ、搬送時に
は側壁１の整列支持溝３から整列支持溝３Ａをずらす一
対のスライド壁１０と、スライド壁１０の上部に成形さ
れる被操作材１１と、スライド壁１０を弾性支持し、ス
ライド壁１０を規制位置Ｍから基準位置Ｓに復帰させる
複数の弾性体１２とから構成する。また、操作機構１５
を、ハンドルに弾発支持されるプランジャと、プランジ
ャの往動時に各被操作材１１を押し下げる一対の操作バ
ー１９とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイスの
製造工程の一つであるダイシング工程で使用されるフレ
ームを収納、搬送、保管、又は加工する場合に用いられ
るウェーハフレームカセットやその搬送ロボットの改良
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ウェーハ上にＭＰＵ(Micro Procossor U
nit)に代表されるロジスティックデバイスやＤＲＡＭ(D
ynamic Random Memory)に代表されるメモリーデバイス
等の半導体デバイスを製造する場合には、以下のような
様々な工程を組み合わせることにより行われる。また、
これらの工程は、通常、前工程と後工程とに大きく分け
られ、別々の工場で行われる。

【０００３】前工程は、イオン注入工程、熱酸化、スパ
ッタリング、ＣＶＤ(Chemical Vaper Deposition)とい
った方法で種々の薄膜を形成する成膜工程、フォトマス
クで回路形成を行う写真製版工程、又はエッチング等の
加工工程等からなり、ウェーハ表面に上記各種の加工や
処理を繰り返して行い、集積回路を形成する。これに対
し、後工程は、前工程で加工されたウェーハを検査した
り、個々の各種半導体チップを製造するための加工を行
う。本発明のウェーハフレームカセットは、半導体チッ
プ製造の後工程で使用されるものであり、特に集積回路
の形成されたウェーハが１チップ毎に切断されるダイシ
ング工程で使用される。

【０００４】半導体チップ部品製造の前工程で集積回路
の形成されたウェーハは、後工程に移され、ウェーハ上
の各半導体チップ部品の電気特性の良否を検査するプロ
ービング工程で検査が行われる。このプロービング工程
の作業が終了した後、バックグラインド工程で各半導体
デバイス毎に定められた厚みにするため、ウェーハの裏
面が研削され、バックグラインド工程の後、ウェーハは
マウント工程で表面に接着剤層が形成された粘着テープ
を介してフレームに接着固定される。こうしてフレーム
に粘着テープを介して保持されたウェーハは、ダイシン
グ工程に移されて半導体チップ毎に切断分離される。こ
うしたフレームに保持されたウェーハを工程間で搬送す
るため、フレームに保持されたウェーハを複数枚収納可
能なウェーハフレームカセットが用いられている。

【０００５】従来のウェーハフレームカセットは、図示
しないが、対向内面にフレーム用の整列支持部が上下に
並設された一対の側壁と、この一対の側壁の下部間に架
設される下部連結材と、一対の側壁の上部間に上部連結
材を介して載設されるハンドルとを備え、少なくとも開
口正面から内部にフレームを収納するよう機能する。こ
のようなウェーハフレームカセットやフレームは、これ
までアルミやステンレス鋼等の金属材料を用いて製造さ
れてきたが、ウェーハの大口径化(３００mm以上)に伴
い、ウェーハフレームカセットの重量を軽減するため、
合成樹脂を原料として製造することが検討されている。
ウェーハフレームカセットやフレームの取り扱いは、他
の半導体生産工程で使用されるウェーハフレームカセッ
トや各種工程内搬送容器、あるいはこれらを使用するウ
ェーハローディング装置等と同様、国際的な標準化も検
討されている。

【０００６】従来のウェーハフレームカセットは、人手
で搬送されるので、フレームの飛び出しを防止するた
め、フレーム収納後に前部や背面部にフレーム押さえ部
品が取り付けられたり、あるいは整列支持部の押さえ部
品が回転してフレームを規制する。また、手間を省くた
め、ウェーハフレームカセットの一対の側壁に上下動可
能なスライド壁がそれぞれ設けられ、各スライド壁がウ
ェーハフレームカセットの持ち上げ時に自重等で上下動
し、側壁の整列支持部からスライド壁の整列支持部がず
れてフレームを固定する。

【０００７】なお、この種の関連先行技術文献として、
実用新案登録３０１４８７０号や特開平８−８０９８９
号公報等があげられる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】従来のウェーハフレー
ムカセットは、以上のように構成されているので、以下
の問題があった。先ず、フレーム収納後に前部や背面部
にフレーム押さえ部品を取り付けて操作する方法では、
自動化が困難であり、人的作業の省略を図ることが到底
困難である。また、フレーム押さえ部品を取り外した場
合、保管や管理に注意を払わなければならず、しかも、
保管や管理のためのスペースを確保しなければならな
い。さらに、ウェーハフレームカセットの各側壁にスラ
イド壁をそれぞれ設ける場合、部品の組立時の調整不良
や部品の耐久性の問題からスライド壁が途中で引っかか
ったり、ストッパとして機能しない等の問題がある。

【０００９】本発明は、上記問題に鑑みなされたもの
で、自動化に適し、保管、管理及びそのスペース確保の
必要がなく、しかも、スライド壁を円滑、かつ良好に動
作させることのできるウェーハフレームカセットを提供
することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明にお
いては、上記課題を達成するため、ウェーハの粘着保持
用のフレームを収納するものであって、対向内面に上記
フレーム用の整列支持部が上下に並べ設けられる一対の
側壁と、この一対の側壁の上部間に設けられるハンドル
と、作業時には該一対の側壁内に対する上記フレームの
出し入れを可能とし、搬送時には該一対の側壁内に対す
る該フレームの出し入れを規制するフレーム保持機構
と、このフレーム保持機構用の操作機構とを含み、該フ
レーム保持機構を、上記一対の側壁の一部を構成し、上
記作業時には基準位置に配置されて残部側壁の上記整列
支持部に整列支持部を連続させ、上記搬送時には該基準
位置から該規制位置に下降して該残部側壁の整列支持部
から該整列支持部をずらすスライド壁と、このスライド
壁の上部に設けられる被操作材と、該スライド壁を弾性
的に支持し、スライド壁を規制位置から基準位置に上昇
復帰させる弾性体とから構成し、上記操作機構を、上記
ハンドルに支持されるプランジャと、このプランジャに
設けられ、プランジャの往動時に被操作材の上面に接触
して押し下げる操作バーとから構成したことを特徴とし
ている。

【００１１】また、請求項２記載の発明においては、上
記課題を達成するため、ウェーハの粘着保持用のフレー
ムを収納し、搬送ロボットに保持搬送されるものであっ
て、対向内面に上記フレーム用の整列支持部が上下に並
べ設けられる一対の側壁と、この一対の側壁の上部間に
設けられるハンドルと、作業時には該一対の側壁内に対
する上記フレームの出し入れを可能とし、搬送時には該
一対の側壁内に対する該フレームの出し入れを規制する
フレーム保持機構とを含み、該フレーム保持機構を、上
記一対の側壁の一部を構成し、上記作業時には基準位置
に配置されて残部側壁の上記整列支持部に整列支持部を
連続させ、上記搬送時には該基準位置から該規制位置に
下降して該残部側壁の整列支持部から該整列支持部をず
らすスライド壁と、このスライド壁の上部に設けられる
被操作材と、該スライド壁を弾性的に支持し、スライド
壁を規制位置から基準位置に上昇復帰させる弾性体とか
ら構成し、上記搬送ロボットは、上記ハンドルを保持す
る少なくとも一対の保持爪と、この一対の保持爪に設け
られ、一対の保持爪のハンドル保持時に上記被操作材の
上面に接触して押し下げる操作バーとを含んでなること
を特徴としている。

【００１２】なお、上記一対の側壁の対向内面にフレー
ム位置決め材をそれぞれ取り付け、上記一対の側壁の下
部間に下部連結材を架設してその下面には複数の位置決
め材を設けることが好ましい。また、搬送ロボットに
は、少なくとも上記一対の保持爪のハンドル保持を検出
する検出手段を備えると良い。

【００１３】ここで、特許請求の範囲におけるウェーハ
には、シリコンウェーハ、又はガリウム砒素やガリウム
隣等の金属間化合物からなる各種ウェーハが含まれる。
下部連結材や上部連結材として、単数複数の板材、パイ
プ、又は棒材等を適宜使用することができる。また、ハ
ンドルは、一対の側壁の上部間に固定したり、着脱自在
に設けることもできるし、回転可能、あるいは揺動可能
に設けることも可能である。また、スライド壁と残部側
壁との接触面等には凹凸等の各種ガイドを単数複数設け
ることができる。スライド壁は単数複数いずれでも良
い。また、被操作材の上面、操作バーの被操作材に接触
する部分、又は位置決め材の表面には、凹部、球面、傾
斜面、テーパ面、又は丸み等を適宜形成することができ
る。

【００１４】単数複数の弾性体としては、単数複数の板
ばねやコイルばね等の各種ばねが使用される。プランジ
ャや操作バーは、単数複数いずれでも良い。これらは、
一体成形しても良いし、別体として構成することも可能
である。プランジャは、ハンドルの外周に位置するもの
でも良いし、ハンドル上面に設けられた凹部内に位置す
るものでも良い。また、検出手段としては、光電スイッ
チや各種センサを単数複数使用することができる。ま
た、搬送ロボットには、少なくともＯＨＴ(Ovcrhcad Ho
ist Transportion)等の搬送機構が含まれる。さらに、
保持爪は、最低限一対あれば良く、これ以上に増加する
こともできる。

【００１５】請求項１記載の発明によれば、ウェーハフ
レームカセットのハンドルのプランジャを往動させる
と、操作バーが移動して被操作材を押し下げる。する
と、フレーム保持機構のスライド壁が基準位置から規制
位置に下降し、側壁の整列支持溝とスライド壁の整列支
持溝との間に段差が生じ、フレームの出し入れが制限さ
れる。これに対し、プランジャを元の位置に復動させる
と、操作バーが元の位置に移動して被操作材の押し下げ
を解除し、弾性体のばね作用によりフレーム保持機構の
スライド壁が規制位置から基準位置に上昇復帰し、側壁
の整列支持溝とスライド壁の整列支持溝との間の段差が
解消し、フレームを出し入れすることができる。

【００１６】また、請求項２記載の発明によれば、搬送
ロボットにおける少なくとも一対の保持爪がウェーハフ
レームカセットのハンドルを保持すると、操作バーが被
操作材を押し下げる。すると、フレーム保持機構のスラ
イド壁が基準位置から規制位置に下降し、側壁の整列支
持溝とスライド壁の整列支持溝との間に段差が発生し、
フレームの出し入れが規制される。これに対し、少なく
とも一対の保持爪がハンドルの保持を解除し、操作バー
が押し下げを解除すると、弾性体のばね作用によりフレ
ーム保持機構のスライド壁が規制位置から基準位置に上
昇復帰し、側壁の整列支持溝とスライド壁の整列支持溝
との間の段差が解消し、フレームの出し入れが可能とな
る。

【００１７】また、請求項３記載の発明によれば、各フ
レーム位置決め材がフレームに接触してその収納位置を
一定化する。また、加工装置等にウェーハフレームカセ
ットがセットされる際、加工装置等のセット面が平坦面
であるか否か、加工装置等に下部連結プレートの全下面
が接触するか否か等にかかわりなく、複数の位置決め材
がウェーハフレームカセットの移動を精度良く規制す
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
ましい実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態
になんら限定されるものではない。本実施形態における
ウェーハフレームカセットは、図１ないし図１１に示す
ように、対向内面にフレーム用の整列支持溝３が上下に
並設される一対の側壁１と、この一対の側壁１の下部中
央間に架設される下部連結プレート５と、一対の側壁１
の上部中央間に架設される上部連結プレート６と、この
上部連結プレート６の中央部上に載設されるハンドル８
と、フレーム出し入れの作業時には一対の側壁１内に対
するフレーム２０の出し入れを可能とし、搬送時には一
対の側壁１内に対するフレーム２０の出し入れを規制す
るフレーム保持機構９と、このフレーム保持機構９用の
操作機構１５とを備え、ウェーハＷの粘着保持用のフレ
ーム２０を隙間を介し上下に並べて複数枚収納する。

【００１９】各側壁１は、ポリカーボネイト、ポリブチ
レンテレフタレート、ポリエーテルケトン等の熱可塑性
樹脂、これらに炭素繊維やガラス繊維等の充填剤を加え
たもの、これらにフッ素等の摺動性改質剤を加えたも
の、帯電防止剤、及び又は帯電防止処理を施した樹脂等
を用いて成形されている。各側壁１は、図７及び図８に
示すように、中央部に略Ｔ字形の収容空間２が切り欠き
成形され、対向内面には整列支持溝３が５〜７mmの一定
ピッチで成形されている。この整列支持溝３には滑り止
め用のウレタンやエラストマー等が必要に応じてコーテ
ィングされる。

【００２０】各側壁１の対向内面の後部(図１の下方向)
には断面半円形のフレーム位置決め材４がそれぞれ選択
的に縦に保持されている。この着脱自在なフレーム位置
決め材４は、ポリプロピレンやポリエチレン等の熱可塑
性樹脂、ポリエステル系やポリオレフィン系熱可塑性エ
ラストマー等を用いて棒形に成形されている。

【００２１】下部連結プレート５は、図３及び図４に示
すように、側壁１や対向する上部連結プレート６と同様
の材料を用いて成形され、下面中央には複数の位置決め
材７が一体成形されている。この複数の位置決め材７
は、三角形を描くよう配置され、各位置決め材７が断面
略すり鉢形に凹み成形されている。また、ハンドル８
は、側壁１や上部連結プレート６と同様の材料を用いて
平面方形に成形され、上部連結プレート６の中央部上に
載設固定されている。

【００２２】フレーム保持機構９は、上下動可能な一対
のスライド壁１０、一対の被操作材１１と、及び複数の
弾性体１２から構成されている。各スライド壁１０は、
側壁１と同様の材料で縦長に成形され、内面には整列支
持溝３Ａが５〜７mmの一定ピッチで上下に並べて成形さ
れており、側壁１の収容空間２に遊嵌されて側壁１の一
部を構成する。整列支持溝３Ａには滑り止め用のウレタ
ンやエラストマー等が必要に応じてコーティングされ
る。そして、フレーム保持機構９は、作業時には図７の
基準位置Ｓに配置されて側壁１の整列支持溝３に整列支
持溝３Ａを連続させ、搬送時には基準位置Ｓから図８の
規制位置Ｍに下降して側壁１の整列支持溝３から整列支
持溝３Ａをずらすよう機能する。

【００２３】各被操作材１１は、スライド壁１０の上部
に一体成形され、作業時に側壁１の上面に上面が同位す
る。各被操作材１１の上面の中央にはブロック１１ａが
載置されてその上面が傾斜している。各弾性体１２は、
各被操作材１１の両側部と側壁１の下部をそれぞれ貫通
するコイルばね１３付きのボルト１４を備えている。各
被操作材１１の両側部を貫通するボルト１４は、収容空
間２を区画するスライド壁１０の上部にそれぞれ螺着さ
れている。また、側壁１の下部を貫通するボルト１４
は、スライド壁１０の下部中央に螺着されている。各ボ
ルト１４に嵌合したコイルばね１３は、各スライド壁１
０を基準位置Ｓに浮遊状態で弾性支持するとともに、規
制位置Ｍに下降した各スライド壁１０を規制位置Ｍから
基準位置Ｓに上昇復帰させる。

【００２４】操作機構１５は、図１、図２、図５、及び
図６等に示すように、ハンドル８の後面に一対の支持ピ
ン１６を介して支持される把持材１７と、ハンドル８の
前面に一対の支持ピン１６を介し往復動可能に支持され
るプランジャ１８と、このプランジャ１８の往動時に各
被操作材１１の上面に接触して圧下する一対の操作バー
１９とから構成されている。プランジャ１８は、断面略
Ｕ字形に成形されて一対の支持ピン１６に貫通支持さ
れ、ハンドル８の前面との間に各支持ピン１６に嵌合し
たコイルばね１３Ａが介在配備されている。各操作バー
１９は、ＰＥＳやＰＰＳ等の高強度の熱可塑性樹脂、ア
ルミ、又はＳＵＳ等の材料を使用して平面略Ｚ字形に形
成されている。この各操作バー１９は、末端部がプラン
ジャ１８の下面側部にボルトを介して螺着され、先端部
１９ａが半楕球形に湾曲形成されており、この先端部１
９ａが各被操作材１１のブロック１１ａの上面に滑らか
に接触している。

【００２５】さらに、フレーム２０は、図１に示すよう
に略リング形の板に形成され、中央部の円形空間がウェ
ーハＷよりも拡径に形成されており、外周部には位置決
め用の複数のノッチ２１が所定の間隔をおいて切り欠き
形成されている。このフレーム２０は、機械的圧力によ
り変形することのないよう、ＡＳＴＭの規格Ｄ−７９０
で測定した場合の曲げ弾性率が１５，０００ＭPa以上で
あることが好ましく、ガラス繊維や炭素繊維等の充填剤
添加量が３０ｗｔ%以上７０ｗｔ%以下、好ましくは４５
ｗｔ%以上６０ｗｔ%以下であるＰＰＳ、ＰＡ、ＰＥＳ、
ＰＥＥＫ、ＰＣ、又はＰＢＴ等の熱可塑性樹脂を使用し
て成形されている。

【００２６】フレーム２０の下面には粘着テープ２２が
粘着され、この粘着テープ２２の一部粘着剤層がフレー
ム２０の中央部に露出している。したがって、集積回路
の形成された半導体ウェーハからなるウェーハＷは、フ
レーム２０上に粘着テープ２２の一部粘着剤層を介し着
脱自在に粘着搭載される。

【００２７】粘着テープ２２の基材としては、厚さ２０
〜３００μmのポリプロピレン、ポリエチレン、エチレ
ンプロピレン共重合体、エチレン酢酸ビニル共重合体、
エチレン−アクリル酸メチル共重合体、塩化ビニル、又
はＰＥＴ等のフィルムを使用することができる。また、
粘着テープ２２の粘着剤層の成分としては、アクリル
酸、メタアクリル酸やこれらの酸の各種エステル誘導体
等を原料とした重合体、あるいは共重合体からなるアク
リル系樹脂等の粘着性樹脂を使用することができる。

【００２８】次に、搬送ロボット２３による保持搬送に
ついて説明する。なお、搬送ロボット２３は、図１１に
示すように、アクチュエータ２４の駆動に基づいてハン
ドル８の把持材１７とプランジャ１８とをそれぞれ把持
する開閉可能な一対の保持爪２５と、この一対の保持爪
２５の把持を検出する複数の検出センサ２６と、一対の
保持爪２５の把持位置を規制する複数のストッパ２７と
から構成されている。

【００２９】上記構成において、図１１の搬送ロボット
２３における一対の保持爪２５がウェーハフレームカセ
ットの把持材１７とプランジャ１８とをそれぞれ把持
し、この一対の保持爪２５の把持を検出センサ２６が検
出し、プランジャ１８が図５及び図６の右方向に往動す
ると、各操作バー１９が同方向にスライドして先端部１
９ａに各被操作材１１を圧下させる。すると、フレーム
保持機構９の各スライド壁１０が基準位置Ｓから規制位
置Ｍに下降し、各側壁１の整列支持溝３と各スライド壁
１０の整列支持溝３との間に段差が発生し、フレーム２
０の出し入れが規制される(図１０参照)。この状態で搬
送ロボット２３が保持搬送するので、ウェーハＷが安
全、かつ確実に搬送されることとなる。

【００３０】次に、一対の保持爪２５が把持材１７とプ
ランジャ１８の把持を解除すると、プランジャ１８が圧
縮したコイルばね１３Ａの復帰作用により図５及び図６
の左方向に復動し、各操作バー１９が同方向にスライド
して先端部１９ａの圧下を解除する。被操作材１１の圧
下が解除されると、圧縮したコイルばね１３の復帰作用
によりフレーム保持機構９の各スライド壁１０が規制位
置Ｍから基準位置Ｓに上昇復帰し、各側壁１の整列支持
溝３と各スライド壁１０の整列支持溝３との間の段差が
解消し、正面からフレーム２０の出し入れが可能となる
(図９参照)。

【００３１】上記構成によれば、フレーム収納後に前部
や背面部にフレーム押さえ部品を取り付けて操作するこ
とが全くないので、自動化がきわめて容易であり、人的
作業の省略を図ることが可能になる。また、フレーム押
さえ部品の保管や管理に留意したり、保管や管理のため
のスペースを確保する必要もない。また、ウェーハフレ
ームカセットの各側壁１、フレーム保持機構９、及び操
作機構１５が耐衝撃性等に優れる材料を用いて構成され
ているので、スライド壁１０が途中で引っかかったり、
ストッパとして機能しない等の問題を解消することがで
き、長期間使用可能なストッパを得ることができる。

【００３２】また、フレーム２０の押さえ力は、搬送ロ
ボット２３の把持力であるから、機械的に常に一定に保
つことができ、長期にわたる使用でも安全、かつ確実な
使用が期待できる。さらに、一対の保持爪２５の把持、
換言すれば、フレーム２０の保持を検出センサ２６が自
動的に検出するので、高速搬送の場合においても、フレ
ーム２０の位置ずれや飛び出し、さらにはウェーハＷの
破損等をきわめて有効に防止することが可能となる。

【００３３】次に、図１２及び図１３は本発明の第２の
実施形態を示すもので、この場合には、ハンドル８の左
右両側面に操作機構１５のプランジャ１８を一対の支持
ピン１６を介しそれぞれ支持させ、各プランジャ１８の
端部に直線棒形の操作バー１９の末端部をボルトを介し
て螺着するようにしている。その他の部分については、
上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

【００３４】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、搬送ロボット２３の一
対の保持爪２５を前後方向に開閉させることができない
場合に実に有益である。さらに、操作バー１９を直線形
に形成することができるので、構成の簡素化や容易化等
が大いに期待できるのは明らかである。

【００３５】次に、図１４は本発明の第３の実施形態を
示すもので、この場合には、ウェーハフレームカセット
の操作機構１５を省略し、搬送ロボット２３を構成する
一対の保持爪２５の側面下部に、操作機構１５を構成す
る略倒Ｌ字形の操作バー１９をそれぞれ吊持させるよう
にしている。その他の部分については、上記実施形態と
略同様であるので説明を省略する。

【００３６】上記構成において、搬送ロボット２３にお
ける一対の保持爪２５がウェーハフレームカセットのハ
ンドル８を把持すると、この一対の保持爪２５の把持を
検出センサ２６が検出し、各操作バー１９の先端部１９
ａが各被操作材１１を圧下する。すると、フレーム保持
機構９の各スライド壁１０が基準位置Ｓから規制位置Ｍ
に下降し、各側壁１の整列支持溝３と各スライド壁１０
の整列支持溝３との間に段差が発生し、フレーム２０の
出し入れが規制される。この状態で搬送ロボット２３が
保持搬送するので、ウェーハＷが安全、かつ確実に搬送
される。

【００３７】これに対し、一対の保持爪２５がハンドル
８の把持を解除すると、各操作バー１９の先端部１９ａ
が圧下を解除する。こうして被操作材１１の圧下が解除
されると、圧縮したコイルばね１３の復帰作用によりフ
レーム保持機構９の各スライド壁１０が規制位置Ｍから
基準位置Ｓに上昇復帰し、各側壁１の整列支持溝３と各
スライド壁１０の整列支持溝３との間の段差が解消し、
正面からフレーム２０の出し入れが可能となる。

【００３８】本実施形態においても上記実施形態と同様
の作用効果が期待でき、しかも、プランジャ１８等を確
実に省略することができるので、部品点数の削減、構成
の簡素化及び容易化等が大いに期待できるのは明白であ
る。また、一対の保持爪２５の可動量とスライド壁１０
の可動量とが等しく、検出センサ２６が一対の保持爪２
５の把持、即ちフレーム２０の保持を検出することによ
り、各スライド壁１０の下降をも検出するので、スライ
ド壁１０の動作の確認を通してフレーム２０の位置ずれ
や飛び出し、さらにはウェーハＷの破損等を著しく有効
に防止することが可能となる。さらにまた、不使用時に
上部連結プレート６の中央部にハンドル８を収納するこ
とができ、実に便利である。

【００３９】次に、図１５(a)、(b)は本発明の第４の実
施形態を示すもので、この場合には、ウェーハフレーム
カセットを構成する一対の側壁１の上部中央間に断面丸
棒形の上部連結材６Ａを複数並べて架設するようにして
いる。その他の部分については、上記実施形態と略同様
であるので説明を省略する。本実施形態においても上記
実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、構成の
簡易化や容易化、さらには軽量化等を図ることができ
る。

【００４０】次に、図１６は本発明の第５の実施形態を
示すもので、この場合には、各側壁１を前後に二分割
し、この前後の側壁１の間にフレーム保持機構９のスラ
イド壁１０を挟装収容して側壁１の一部を構成するよう
にし、各被操作材１１のブロック１１ａの上面に突起を
成形するとともに、各操作バー１９の先端部１９ａに傾
斜面を形成するようにしている。その他の部分について
は、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が
期待でき、しかも、各側壁１に複雑な形状の収容空間２
をあえて形成する必要性が全くないので、加工の容易化
や作業の円滑化等を図ることができる。

【００４１】なお、上記実施形態では正面と背面とをそ
れぞれ開口させたものを示したが、背面を閉塞しても良
い。また、正面からフレーム２０を複数枚収納するもの
を示したが、フレーム位置決め材４を省略し、正面及び
背面からフレーム２０を出し入れするものでも良い。ま
た、下部連結プレート５の下面中央に別体の複数の位置
決め材７をそれぞれ取り付けることも可能である。ま
た、コイルばね１３付きのボルト１４や支持ピン１６
は、適宜増減変更することができる。さらに、上記実施
形態ではスライド壁１０と操作バー１９とをそれぞれ一
対示したが、なんらこれらに限定されるものではない。
例えば、一のスライド壁１０と一の操作バー１９とをそ
れぞれ使用することも可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上のように請求項１又は２記載の発明
によれば、作業の自動化に適し、保管、管理及びそのス
ペース確保の必要性を省くことができるという効果があ
る。また、スライド壁を円滑、かつ良好に動作させるこ
とが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態を示す平面図である。

【図２】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態を示す正面図である。

【図３】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態を示す底面図である。

【図４】図３のIV−IV線断面図である。

【図５】図１のV-V線断面図である。

【図６】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態における往動したプランジャを示す断面図である。

【図７】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態におけるフレーム保持機構及び操作機構を示す説明
図である。

【図８】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態における下降時のフレーム保持機構及び操作機構を
示す説明図である。

【図９】本発明に係るウェーハフレームカセットの実施
形態における側壁及びフレーム保持機構を示す部分断面
図である。

【図１０】本発明に係るウェーハフレームカセットの実
施形態における下降時の側壁及びフレーム保持機構を示
す部分断面図である。

【図１１】本発明に係るウェーハフレームカセットの実
施形態を示す使用状態説明図である。

【図１２】本発明に係るウェーハフレームカセットの第
２の実施形態を示す平面図である。

【図１３】本発明に係るウェーハフレームカセットの第
２の実施形態を示す正面図である。

【図１４】本発明に係るウェーハフレームカセットの第
３の実施形態を示す正面図である。

【図１５】本発明に係るウェーハフレームカセットの第
４の実施形態を示す説明図で、(a)図は平面図、(b)図は
ａ−ａ線断面図である。

【図１６】本発明に係るウェーハフレームカセットの第
５の実施形態におけるフレーム保持機構及び操作機構を
示す説明図である。

【符号の説明】

１ 側壁 ３ 整列支持溝 ３Ａ 整列支持溝 ４ フレーム位置決め材 ５ 下部連結プレート(下部連結材) ６ 上部連結プレート(上部連結材) ６Ａ 上部連結材 ７ 位置決め材 ８ ハンドル ９ フレーム保持機構 １０ スライド壁 １１ 被操作材 １２ 弾性体 １３ コイルばね １４ ボルト １５ 操作機構 １８ プランジャ １９ 操作バー ２０ フレーム ２２ 粘着テープ ２３ 搬送ロボット ２５ 保持爪 ２６ 検出センサ Ｍ 規制位置 Ｓ 基準位置 Ｗ ウェーハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハの粘着保持用のフレームを収納
   するウェーハフレームカセットであって、 対向内面に上記フレーム用の整列支持部が上下に並べ設
   けられる一対の側壁と、この一対の側壁の上部間に設け
   られるハンドルと、作業時には該一対の側壁内に対する
   上記フレームの出し入れを可能とし、搬送時には該一対
   の側壁内に対する該フレームの出し入れを規制するフレ
   ーム保持機構と、このフレーム保持機構用の操作機構と
   を含み、 該フレーム保持機構を、上記一対の側壁の一部を構成
   し、上記作業時には基準位置に配置されて残部側壁の上
   記整列支持部に整列支持部を連続させ、上記搬送時には
   該基準位置から該規制位置に下降して該残部側壁の整列
   支持部から該整列支持部をずらすスライド壁と、このス
   ライド壁の上部に設けられる被操作材と、該スライド壁
   を弾性的に支持し、スライド壁を規制位置から基準位置
   に上昇復帰させる弾性体とから構成し、 上記操作機構を、上記ハンドルに支持されるプランジャ
   と、このプランジャに設けられ、プランジャの往動時に
   被操作材の上面に接触して押し下げる操作バーとから構
   成したことを特徴とするウェーハフレームカセット。
2. 【請求項２】 ウェーハの粘着保持用のフレームを収納
   し、搬送ロボットに保持搬送されるウェーハフレームカ
   セットであって、 対向内面に上記フレーム用の整列支持部が上下に並べ設
   けられる一対の側壁と、この一対の側壁の上部間に設け
   られるハンドルと、作業時には該一対の側壁内に対する
   上記フレームの出し入れを可能とし、搬送時には該一対
   の側壁内に対する該フレームの出し入れを規制するフレ
   ーム保持機構とを含み、 該フレーム保持機構を、上記一対の側壁の一部を構成
   し、上記作業時には基準位置に配置されて残部側壁の上
   記整列支持部に整列支持部を連続させ、上記搬送時には
   該基準位置から該規制位置に下降して該残部側壁の整列
   支持部から該整列支持部をずらすスライド壁と、このス
   ライド壁の上部に設けられる被操作材と、該スライド壁
   を弾性的に支持し、スライド壁を規制位置から基準位置
   に上昇復帰させる弾性体とから構成し、 上記搬送ロボットは、上記ハンドルを保持する少なくと
   も一対の保持爪と、この一対の保持爪に設けられ、一対
   の保持爪のハンドル保持時に上記被操作材の上面に接触
   して押し下げる操作バーとを含んでなることを特徴とす
   るウェーハフレームカセット。
3. 【請求項３】 上記一対の側壁の対向内面にフレーム位
   置決め材をそれぞれ取り付け、上記一対の側壁の下部間
   に下部連結材を架設してその下面には複数の位置決め材
   を設けた請求項１又は２記載のウェーハフレームカセッ
   ト。
4. 【請求項４】 少なくとも上記一対の保持爪のハンドル
   保持を検出する検出手段を備えた請求項２又は３記載の
   ウェーハフレームカセット。