TWM654813U - 面板收納容器 - Google Patents

面板收納容器 Download PDF

Info

Publication number
TWM654813U
TWM654813U TW112211310U TW112211310U TWM654813U TW M654813 U TWM654813 U TW M654813U TW 112211310 U TW112211310 U TW 112211310U TW 112211310 U TW112211310 U TW 112211310U TW M654813 U TWM654813 U TW M654813U
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
panel
pressing
opening
push pin
storage container
Prior art date
Application number
TW112211310U
Other languages
English (en)
Inventor
大貫和正
Original Assignee
日商信越聚合物股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商信越聚合物股份有限公司 filed Critical 日商信越聚合物股份有限公司
Publication of TWM654813U publication Critical patent/TWM654813U/zh

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

面板收納容器包括:容器本體,具有開口並收納面板;保持機構,設置於容器本體的內部並保持面板;以及蓋體,將開口閉塞。容器本體劃定用於收納面板的收容空間,並且包括在第一方向上相互相向的一對側壁。保持機構包括:支撐部,對面板的第一方向上的端部進行支撐;以及推壓機構,將端部在與第一方向交叉的第二方向上朝向支撐部按壓。

Description

面板收納容器
本揭示是有關於一種面板收納容器。
在對液晶面板用玻璃基板等面板進行處理的製造步驟中,在將矩形形狀的面板自製造裝置移送至其他步驟的製造裝置時及暫時保管面板時,可使用收納多個面板的面板收納容器。例如,在專利文獻1中記載了一種包括收納基板的容器本體、以及將設置於容器本體的開口部的堵塞的蓋體的基板收納容器。 [現有技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1:日本實用新型登錄第3235982號公報
[新型所欲解決之課題]
在此種面板收納容器中,面板的兩端自下方支撐於支撐構件。在該情況下,面板有時會因振動等而撓曲,有自面板的端面等產生起塵之虞。
本揭示對能夠抑制起塵的面板收納容器進行說明。 [解決課題之手段]
本揭示的一方面的面板收納容器包括:容器本體,具有開口並收納面板;保持機構,設置於容器本體的內部並保持面板;以及蓋體,將開口閉塞。容器本體劃定用於收納面板的收容空間並且包括在第一方向上相互相向的一對側壁。保持機構包括:支撐部,對面板的第一方向上的端部進行支撐;以及推壓機構,將端部在與第一方向交叉的第二方向上朝向支撐部按壓。
在該面板收納容器中,面板的第一方向上的端部由支撐部予以支撐,並且被推壓機構在第二方向上朝向支撐部按壓。藉此,面板的第一方向上的端部在第二方向上被支撐部與推壓機構夾著,因此面板的運動受到限制。因此,即便對面板收納容器施加振動,面板亦不易受到振動的影響。其結果,能夠抑制起塵。
在若干實施形態中,推壓機構可在蓋體將開口閉塞的狀態下對端部進行按壓,亦可在開口敞開的狀態下解除對端部的按壓。在開口敞開的狀態下將面板自面板收納容器中取出或放入至面板收納容器,在蓋體將開口閉塞的狀態下能夠搬送面板收納容器。藉由所述結構,能夠抑制搬送面板收納容器時的起塵,並且能夠取出/放入面板。
在若干實施形態中,推壓機構可包括:按壓構件,用於對端部進行按壓;安裝軸,沿與第一方向及第二方向交叉的第三方向延伸,且將按壓構件能夠以安裝軸為軸心轉動地安裝;以及連桿機構,以在蓋體將開口閉塞的狀態下對端部進行按壓,在開口敞開的狀態下解除對端部的按壓的方式使按壓構件轉動。在該情況下,按壓構件與蓋體的開閉聯動地以安裝軸為軸心轉動。藉此,能夠在用戶不對推壓機構進行操作的情況下抑制搬送面板收納容器時的起塵,並且能夠取出/放入面板。
在若干實施形態中,蓋體可在將開口閉塞的狀態下與收納於容器本體中的面板在第三方向上相向。按壓構件可包括:軸承部,承接安裝軸;按壓板,自軸承部向與安裝軸交叉的方向延伸;以及延伸設置部,自軸承部向與按壓板相反的方向延伸。連桿機構可包括:連結構件,與延伸設置部連接;推入銷,在蓋體將開口閉塞的狀態下被蓋體在第三方向上推壓;轉換機構,將推入銷的第三方向上的移動轉換為連結構件的第二方向上的移動;以及彈性構件,以能夠根據推入銷的第三方向上的移動在第三方向上伸縮的方式設置。轉換機構可以在推入銷被蓋體推壓時,按壓板將端部在第二方向上朝向支撐部按壓的方式使連結構件移動。在該情況下,若在蓋體將開口閉塞時推入銷在第三方向上被推壓,則彈性構件被壓縮,連結構件移動以便按壓板將端部在第二方向上朝向支撐部按壓。另一方面,當蓋體被卸下時,推入銷藉由彈性構件的彈性力被推回,連結構件返回至原來的位置,因此解除按壓板對端部的推壓。藉此,能夠自面板收納容器搬出面板。如以上所述,能夠抑制面板收納容器的搬送時的起塵,並且能夠取出/放入面板。
在若干實施形態中,轉換機構可包括:調節構件,以能夠將推入銷作為軸心轉動的方式與推入銷連接;以及連接構件,將調節構件與連結構件連接。調節構件可包括:第一端部,與推入銷連接;以及第二端部,與連接構件連接。當藉由連結構件的第二方向上的移動對按壓構件的延伸設置部施加力時,按壓構件將會以安裝軸為軸心旋轉。此時,由於延伸設置部以將安裝軸作為軸心描繪出圓弧的方式移動,因此對連結構件向遠離安裝軸的方向施加力。因此,調節構件被連接構件在第一方向上朝向連接構件拉伸,調節構件以推入銷為軸心轉動。藉此,可使按壓構件的轉動順暢化。 [新型的效果]
藉由本揭示,可抑制起塵。
以下,參照圖式對本揭示的實施形態進行詳細說明。再者,圖式的說明中,對相同元件標註相同符號,省略重覆的說明。各圖中,示出XYZ座標系。Y軸方向是與X軸方向及Z軸方向交叉(此處為正交)的方向。Z軸方向是與X軸方向及Y軸方向交叉(此處為正交)的方向。作為一例,X軸方向是左右方向(寬度方向;第一方向),Y軸方向是前後方向(縱深方向;第三方向),Z軸方向是上下方向(高度方向;第二方向)。為了方便說明,使用「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及「右」的用語,但並不限定於該些方向。
參照圖1對一實施形態的面板收納容器進行說明。圖1是一實施形態的面板收納容器的分解立體圖。圖1所示的面板收納容器1是用於收納多個面板的容器。面板收納容器1例如依照國際半導體設備與材料協會(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)標準。作為面板的例子,可列舉液晶面板用的玻璃基板、及搭載有電子零件的面板。面板具有矩形形狀。作為面板的尺寸的例子,可列舉510 mm×515 mm及600 mm×600 mm。能夠收納於面板收納容器1中的面板的塊數經任意地決定,例如可為6塊,亦可為12塊,亦可為16塊,亦可為24塊。
面板收納容器1例如用於製造電子零件組裝品的製造裝置。電子零件組裝品例如是經由下述步驟等而製造:在玻璃板及不鏽鋼板等大型的載體面板上搭載多數個電子零件;利用環氧樹脂等將該些電子零件加以密封;將經密封的電子零件以面板形態自載體面板剝下;以及將面板形態的電子零件分別切出。面板收納容器1用於在該些步驟間移送面板。
面板收納容器1包含容器本體2、蓋體3、及一對把手4。
容器本體2是正面(前表面)敞開的長方體形狀的容器。換言之,容器本體2是在前表面設置有開口2a的前開箱(front open box)型的容器。容器本體2收納多個面板。具體而言,容器本體2將多個面板以在上下方向上相互空開間隔地積層的狀態進行收納。經由開口2a將面板自容器本體2中取出或放入至容器本體2。容器本體2的詳情將在下文敘述。
蓋體3是用於將容器本體2的開口2a閉塞的構件。蓋體3經由墊圈等密封構件將容器本體2的開口2a氣密地閉塞。蓋體3裝卸自如地安裝於劃定開口2a的凸緣25。蓋體3在將開口2a閉塞的狀態下與收納於容器本體2中的面板在前後方向上相向。蓋體3包含蓋本體31及上鎖機構32。
蓋本體31是蓋體3的本體部分。蓋本體31是矩形形狀的板材。蓋本體31例如由鋁及鎂合金等金屬材料所構成。蓋本體31亦可由聚碳酸酯樹脂等熱塑性樹脂所構成。在蓋本體31的前表面設置有鑰匙孔31h。在鑰匙孔31h插入未圖示的鑰匙。
上鎖機構32是藉由對插入至鑰匙孔31h中的鑰匙進行操作,從而將蓋體3上鎖或解鎖。上鎖機構32包含未圖示的鎖扣(latch)。在將蓋體3安裝於凸緣25的狀態下,藉由利用鑰匙的操作將鎖扣嵌入至設置於凸緣25的上鎖孔25h中,從而將蓋體3上鎖。在將蓋體3上鎖的狀態下,藉由利用鑰匙的操作將鎖扣從上鎖孔25h抽出,從而將蓋體3解鎖。
一對把手4是在搬送裝置對面板收納容器1進行搬送時使用的構件。一對把手4設置於後述的頂板21的左右兩端部。藉由搬送裝置握持一對把手4並將面板收納容器1抬起,搬送裝置能夠對面板收納容器1進行搬送。
容器本體2、蓋體3、及把手4亦可藉由將由金屬材料或樹脂材料所成形的多個零件組合而構成。作為樹脂材料的成形材料所含的樹脂的例子,可列舉熱塑性樹脂。作為熱塑性樹脂的例子,可列舉:聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚醚醚酮、聚對苯二甲酸丁二酯、聚縮醛、液晶聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸樹脂、及丙烯腈丁二烯苯乙烯共聚物。作為樹脂材料的成形材料所含的樹脂,可使用該些的合金(alloy)。
亦可在該些樹脂中添加導電物質及各種抗靜電劑。導電物質例如包含碳纖維、碳粉末、碳奈米管或導電性聚合物等。作為抗靜電劑,可使用陰離子系、陽離子系及非離子系等抗靜電劑。亦可添加苯並三唑系、水楊酸酯系、氰基丙烯酸酯系、草醯苯胺(oxalic acid anilide)系及受阻胺系的紫外線吸收劑。亦可選擇性地添加使剛性提高的玻璃纖維或碳纖維等。
接著,對容器本體2進行詳細說明。容器本體2包含頂板21、底板22、一對側壁23、背面壁24、凸緣25、一對軌道構件27。
頂板21、底板22、側壁23及背面壁24是矩形形狀的板材。頂板21與底板22在上下方向上相互相向,且大致平行地配置。一對側壁23在左右方向上相互相向,且大致平行地配置。背面壁24在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下與蓋體3在前後方向上相向。頂板21、底板22、一對側壁23及背面壁24中的相互相鄰的兩個構件藉由框架而連結。由頂板21、底板22、一對側壁23、及背面壁24劃定用於收納多個面板的收容空間20。
頂板21、底板22及側壁23例如由鋁及不鏽鋼等金屬材料所構成。背面壁24例如由能夠自容器本體2的外部目視收容空間20的、透明的樹脂材料所構成。背面壁24的一部分亦可由透明的樹脂材料所構成。作為透明的樹脂材料的例子,可列舉丙烯酸樹脂、聚碳酸酯、氯乙烯樹脂及環烯烴聚合物。
凸緣25是矩形形狀的框體,且跨及頂板21的前端、底板22的前端及一對側壁23的前端而設置。藉由凸緣25來劃定開口2a。凸緣25例如由上文所述的樹脂材料或鋁及不鏽鋼等金屬材料所構成。在凸緣25的上框部及下框部分別設置有在左右方向上分開排列的兩個上鎖孔25h。上框部的上鎖孔25h與下框部的上鎖孔25h設置於在上下方向上相互相向的位置。
一對軌道構件27是用於將面板收納容器1載置於輸送機等搬送裝置的構件。各軌道構件27是沿前後方向延伸的板狀構件。各軌道構件27例如由所述樹脂材料所構成。一對軌道構件27在容器本體2的左右兩端部設置於底板22之下。
接著,進一步參照圖2及圖3對收容空間20內的結構進行說明。圖2及圖3是表示在圖1所示的容器本體的側壁設置的構件的立體圖。再者,在圖2及圖3中,圖示出設置於其中一個側壁23的構件,省略了容器本體2的圖示。在另一個側壁23亦設置相同的構件。
如圖1~圖3所示,面板收納容器1更包括保持機構6。保持機構6是保持面板的機構。保持機構6設置於容器本體2的內部。保持機構6包含多個支撐部61、多個支撐部62、多個支柱63、多個支撐體64及一對推壓機構65。
各支撐部61是用於對面板的左右方向上的中央部進行支撐的部分。各支撐部61包含主軸61a及多個彈性體61b。主軸61a是沿前後方向延伸的柱狀(例如圓柱狀)的構件。主軸61a的後端部固定在設置於背面壁24的內表面的支柱(未圖示)。主軸61a例如由彎曲剛性高的材料所構成。作為主軸61a的構成材料的例子,可列舉不鏽鋼及鋁等金屬、以及碳纖維強化塑膠。
彈性體61b是設置於主軸61a的外周面的環狀(例如,圓環狀)的構件。彈性體61b是為了抑制面板的滑動,提高面板的定位精度而設置。彈性體61b例如由橡膠材所構成。作為橡膠材的例子,可列舉三元乙丙橡膠(Ethylene Propylene Diene Monomer,EPDM)、矽酮橡膠及氟橡膠。多個彈性體61b沿主軸61a的延伸方向以一定的間隔排列。
各支撐部62是用於對面板的左右方向上的兩端部進行支撐的部分。各支撐部62包含主軸62a、多個彈性體62b、止擋件62c、及止擋件62d。主軸62a是沿前後方向延伸的柱狀(例如圓柱狀)的構件。主軸62a的後端部固定在設置於背面壁24的內表面的支柱(未圖示)。主軸62a例如由彎曲剛性高的材料所構成。作為主軸62a的構成材料的例子,可列舉不鏽鋼及鋁等金屬、以及碳纖維強化塑膠。主軸62a的前後方向上的長度較面板的前後方向上的長度而稍長,且較主軸61a的前後方向上的長度更長。
彈性體62b是設置於主軸62a的外周面的環狀(例如圓環狀)的構件。彈性體62b是為了抑制面板的滑動,提高面板的定位精度而設置。彈性體62b的構成材料及排列與彈性體61b的構成材料及排列相同,因此省略詳細的說明。
止擋件62c是用於防止面板飛出並且決定面板的前端的位置的構件。止擋件62c例如由上文所述的樹脂材料所構成。止擋件62c設置於主軸62a的前端部。止擋件62d是用於決定面板的後端的位置的構件。止擋件62d例如由上文所述的樹脂材料所構成。止擋件62d設置於主軸62a的後端部。止擋件62d具有塊狀的形狀。在止擋件62d設置有用於供主軸62a沿前後方向插通的插通孔。
支撐部61及支撐部62的數量根據面板收納容器1中能夠收納的面板的塊數來變更。在本實施形態中,保持機構6針對每一塊面板而包含一個支撐部61及兩個支撐部62。換言之,由一個支撐部61與兩個支撐部62形成收納一塊面板的收納段。一個支撐部61與兩個支撐部62沿左右方向排列。在兩個支撐部62之間配置有一個支撐部61。
各支柱63是用於安裝把手4及支撐體64的構件。各支柱63是自頂板21跨及底板22沿上下方向延伸的柱狀構件。各支柱63例如由鋁及不鏽鋼等金屬材料所構成。各支柱63設置於側壁23的內表面。在本實施形態中,在各側壁23設置三個支柱63。三個支柱63沿前後方向排列,且相互大致平行地配置。
各支撐體64是用於保持(支撐)主軸62a並且對面板的左右方向上的端部進行支撐的構件。各支撐體64是跨及所有的收納段沿上下方向延伸的柱狀構件。支撐體64的前表面與支柱63的後表面抵接,並藉由螺釘而將支撐體64固定於支柱63。因此,在本實施形態中,在各側壁23設置三個支撐體64。三個支撐體64沿前後方向排列,且相互大致平行地配置。
各支撐體64包含與面板收納容器1中能夠收納的面板的塊數相同數量的載置部64a。各載置部64a是供面板的左右方向上的端部載置,並且保持主軸62a的部分。各載置部64a在左右方向上朝向收容空間20突出。在各載置部64a設置有沿前後方向貫通載置部64a的插通孔,主軸62a插通至插通孔中。
一對推壓機構65是將面板的左右方向上的端部在上下方向上朝向支撐部62按壓的機構。左側的推壓機構65在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下對面板的左端部進行按壓,並在開口2a敞開的狀態下解除對左端部的按壓。右側的推壓機構65在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下對面板的右端部進行按壓,在開口2a敞開的狀態下解除對右端部的按壓。
接著,參照圖3~圖6對推壓機構65進行詳細說明。圖4是圖3所示的按壓構件的立體圖。圖5是用於對圖3所示的推壓機構進行說明的立體圖。圖6是圖3所示的連桿機構的一部分的分解立體圖。再者,在圖3中,圖示出開口2a敞開的狀態下的推壓機構65。在圖5中,圖示出蓋體3將開口2a閉塞的狀態下的推壓機構65的一部分,省略了支柱63的圖示。如圖3及圖5所示,推壓機構65包含多個按壓構件51、安裝軸52、及連桿機構53。
各按壓構件51是用於對面板的左右方向上的端部進行按壓的構件。各按壓構件51是沿前後方向延伸的板狀的構件。各按壓構件51與支撐部62對應地設置。在本實施形態中,推壓機構65針對每一個支撐部62而包含在前後方向上排列的兩個按壓構件51。按壓構件51設置於在前後方向上相互相鄰的兩個支撐體64之間。
如圖4所示,按壓構件51包含按壓板51a、兩個軸承部51b及延伸設置部51c。按壓板51a是沿前後方向延伸的板狀的部分。按壓板51a自軸承部51b向與安裝軸52交叉(此處為正交)的方向延伸。按壓板51a的前端51d向下方折彎,按壓板51a具有自前方觀察時為L字狀的形狀。各軸承部51b是承接安裝軸52的部分。兩個軸承部51b設置於按壓板51a的基端上的前後兩端。在各軸承部51b設置有沿前後方向貫通軸承部51b的貫通孔51e。貫通孔51e的孔徑與安裝軸52的外徑相同或較其稍小。
延伸設置部51c自其中一個軸承部51b向與按壓板51a相反的方向延伸。在延伸設置部51c設置有沿前後方向貫通延伸設置部51c的貫通孔51f。前側的按壓構件51的延伸設置部51c藉由銷而與連結構件54連接。貫通孔51f的孔徑較銷的外徑稍大,因此,按壓構件51以能夠將銷作為中心轉動的方式與連結構件54連接。
如圖5所示,安裝軸52是將按壓構件51能夠以安裝軸52為軸心繞安裝軸52轉動地安裝於支撐體64的構件。安裝軸52沿前後方向延伸。安裝軸52跨及在前後方向上排列的三個支撐體64而延伸。安裝軸52插通至設置於各支撐體64的安裝孔中,安裝軸52的兩端嵌入至位於前後的支撐體64所設置的安裝孔中。各支撐體64的安裝孔的孔徑較安裝軸52的外徑稍大。藉此,安裝軸52以能夠繞安裝軸52的軸線旋轉的方式安裝於各支撐體64。
如圖3、圖5及圖6所示,連桿機構53是根據蓋體3的開閉使各按壓構件51轉動的機構。具體而言,連桿機構53以在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下對面板的左右方向上的端部進行按壓,在開口2a敞開的狀態下解除對該端部的按壓的方式使按壓構件51轉動。連桿機構53包含連結構件54、推入銷55、保持構件56、彈性構件57及轉換機構58。
連結構件54是將多個按壓構件51連結的構件。連結構件54具有沿上下方向延伸的棒狀的形狀。如上所述,連結構件54藉由銷而與各按壓構件51的延伸設置部51c連接。
推入銷55是以能夠根據蓋體3的開閉在前後方向上進退的方式設置的構件。推入銷55具有沿前後方向延伸的圓柱狀的形狀。推入銷55向較支撐部62的前端(止擋件62c)更靠前方突出,以在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下推入銷55被蓋體3向後方推壓的方式配置。推入銷55具有在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下與蓋體3的背面3a(參照圖9)抵接的前端55a。
保持構件56是將推入銷55以能夠在前後方向上進退的方式予以保持的構件。保持構件56包含柱狀部56a、延伸部56b及固定部56c。柱狀部56a具有沿前後方向延伸的柱狀的形狀。在柱狀部56a設置有沿前後方向貫通柱狀部56a的插通孔56h。插通孔56h的孔徑較推入銷55的外徑稍大。推入銷55以能夠在前後方向上進退的方式插通至插通孔56h中。推入銷55的前端55a向較柱狀部56a的前表面更靠前方突出。
延伸部56b是自柱狀部56a向後方延伸的部分。在本實施形態中,延伸部56b具有自柱狀部56a的後表面的內周緣向後方延伸的板狀形狀,且與推入銷55在左右方向上分開。延伸部56b在支柱63與柱狀部56a之間劃定用於配置調節構件81及彈性構件57的空間。固定部56c是用於將保持構件56固定於支柱63的部分。固定部56c設置於延伸部56b的後端。藉由將螺釘等緊固構件插通至設置於固定部56c的貫通孔中並與支柱63螺合,保持構件56固定於支柱63。
彈性構件57以能夠在前後方向上伸縮的方式設置。彈性構件57被調節構件81與前方的支柱63在前後方向上夾持。在本實施形態中,彈性構件57是螺旋彈簧。
轉換機構58是將推入銷55的前後方向上的移動轉換為連結構件54的上下方向上的移動的機構。具體而言,當推入銷55向後方移動時,轉換機構58使連結構件54向上方移動。當推入銷55向前方移動時,轉換機構58使連結構件54向下方移動。轉換機構58包含調節構件81及連接構件82。
調節構件81是用於使按壓構件51轉動順暢化的構件。調節構件81與推入銷55以能夠轉動的方式連接。調節構件81具有沿左右方向延伸的塊狀的形狀。調節構件81具有左右方向上的兩端部即端部81a(第一端部)及端部81b(第二端部)。
端部81a與推入銷55連接。具體而言,在端部81a中的調節構件81的前表面設置有安裝孔81c。安裝孔81c自調節構件81的前表面向後方凹陷。推入銷55的基端嵌入至安裝孔81c中。安裝孔81c的孔徑較推入銷55的外徑稍大。藉此,調節構件81以能夠將推入銷55作為軸轉動的方式安裝於推入銷55。端部81b與連接構件82連接。
連接構件82是將連結構件54與調節構件81連接的構件。連接構件82具有沿一方向延伸的板狀的形狀。連接構件82以隨著朝向後方而朝向上方的方式傾斜。連接構件82具有連接構件82的延伸方向上的兩端即端部82a(參照圖7)及端部82b(參照圖7)。端部82a藉由球形接頭(ball joint)而安裝於調節構件81的端部81b(前端)。端部82b藉由球形接頭而安裝於連結構件54。
接著,參照圖7~圖10對推壓機構65的動作進行說明。圖7是用於對開口敞開的狀態下的推壓機構進行說明的側面圖。圖8是用於對開口敞開的狀態下的推壓機構進行說明的正面圖。圖9是用於對蓋體將開口閉塞的狀態下的推壓機構進行說明的側面圖。圖10是用於對蓋體將開口閉塞的狀態下的推壓機構進行說明的正面圖。
如圖7及圖8所示,在開口2a敞開的狀態下,各按壓構件51以在左右方向上隨著遠離側壁23而朝向上方的方式傾斜。因此,在按壓板51a的前端51d與主軸62a之間形成有空間。因此,在藉由機器人將面板P(參照圖10)搬入至收容空間20中並載置於任一收納段時,避免按壓板51a與面板P發生干涉。此時,推入銷55的前端55a向較蓋體3將開口2a閉塞的狀態下的蓋體3的背面3a的前後方向上的位置(即,蓋體3的密封面)更靠前方突出,調節構件81未對彈性構件57進行推壓,因此未在彈性構件57產生彈性力。將該推壓機構65的狀態稱為初始狀態。
如圖9及圖10所示,在蓋體3將開口2a閉塞時,推入銷55的前端55a被蓋體3的背面3a向後方推入。藉此,調節構件81向後方移動,且由調節構件81與支柱63夾著的彈性構件57被調節構件81向後方壓縮。此時,隨著調節構件81的移動,連接構件82的端部82a向後方移動。與端部82b連接的連結構件54能夠在上下方向上移動,因此連結構件54與端部82b一起向上方移動。
各按壓構件51能夠以安裝軸52為軸心轉動,因此當藉由連結構件54上升而對各按壓構件51的延伸設置部51c施加朝向上方的力時,按壓構件51將會以延伸設置部51c上升,按壓板51a的前端51d下降的方式,以安裝軸52為軸心旋轉。此時,由於延伸設置部51c以將安裝軸52作為軸心描繪出圓弧的方式移動,因此對連結構件54向遠離安裝軸52的方向施加力。因此,調節構件81的前端被連接構件82在左右方向上朝向連接構件82拉伸,調節構件81以推入銷55為軸心旋轉(轉動),調節構件81的前端在左右方向上自推入銷55離開。
藉此,按壓構件51以安裝軸52為軸心旋轉(轉動),延伸設置部51c與連結構件54一起上升,按壓板51a的前端51d向下方下降。藉由以上操作,按壓板51a的前端51d在面板P的左右方向上的端部將面板P的上表面Pa朝向下方壓住。在面板P的左右方向上的端部,面板P的下表面Pb支撐於支撐部62(載置部64a)。因此,面板P的左右方向上的端部在上下方向上由按壓構件51與支撐部62夾持。
當將蓋體3自容器本體2卸下,開口2a被敞開時,調節構件81藉由彈性構件57的彈性力被推回至前方,推入銷55的前端55a返回至原來的位置。隨著調節構件81的移動,連接構件82的端部82a向前方移動,連結構件54與端部82b一起向下方移動。
然後,當藉由連結構件54的下降而對各按壓構件51的延伸設置部51c施加朝向下方的力時,按壓構件51將會以延伸設置部51c下降,按壓板51a的前端51d上升的方式,以安裝軸52為軸心旋轉。此時,由於延伸設置部51c以將安裝軸52作為軸心描繪出圓弧的方式移動,因此對連結構件54向朝向安裝軸52的方向施加力。因此,調節構件81的前端被連接構件82在左右方向上朝向推入銷55被推入,調節構件81以推入銷55為軸心旋轉(轉動),調節構件81的前端在左右方向上接近推入銷55。
藉此,按壓構件51以安裝軸52為軸心旋轉,延伸設置部51c與連結構件54一起下降,按壓板51a的前端51d上升。藉由以上操作,推壓機構65返回至初始狀態,因此按壓板51a的前端51d自面板P的上表面Pa離開,從而解除對面板P的左右方向上的端部的按壓。藉此,面板P成為能夠搬出的狀態。
在以上說明的面板收納容器1中,面板P的左右方向上的端部由支撐部62予以支撐,並且被推壓機構65朝向支撐部62(主軸62a)向下方按壓。藉此,面板P的左右方向上的端部在上下方向上由支撐部62與推壓機構65夾著,因此面板P的運動受到限制。因此,即便對面板收納容器1施加振動,面板P亦不易受到振動的影響。其結果,能夠抑制起塵。
能夠在開口2a敞開的狀態下將面板P自面板收納容器1中取出或放入至面板收納容器1,在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下搬送面板收納容器1。按壓構件51在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下對面板P的左右方向上的端部進行按壓,在開口2a敞開的狀態下解除對面板P的左右方向上的端部的按壓。因此,能夠抑制搬送面板收納容器1時的起塵,並且能夠取出/放入面板P。
連桿機構53以在蓋體3將開口2a閉塞的狀態下對面板P的左右方向上的端部進行按壓,在開口2a敞開的狀態下解除對面板P的左右方向上的端部的按壓的方式使按壓構件51轉動。因此,按壓構件51與蓋體3的開閉聯動地以安裝軸52為軸心轉動。藉此,能夠在用戶不對推壓機構65進行操作的情況下抑制搬送面板收納容器1時的起塵,並且能夠取出/放入面板P。
彈性構件57以能夠根據推入銷55的前後方向上的移動在前後方向上伸縮的方式設置。轉換機構58以在推入銷55被蓋體3推壓時,按壓板51a將面板P的左右方向上的端部朝向支撐部62向下方按壓的方式使連結構件54移動。因此,若在蓋體3將開口2a閉塞時推入銷55被朝向後方推壓,則彈性構件57被壓縮,連結構件54移動以便按壓板51a將面板P的左右方向上的端部朝向支撐部62向下方按壓。另一方面,當將蓋體3自容器本體2卸下時,推入銷55藉由彈性構件57的彈性力被推回,連結構件54返回至原來的位置。因此,解除按壓板51a對面板P的左右方向上的端部的推壓。藉此,能夠自面板收納容器1搬出面板P。如以上所述,能夠抑制搬送面板收納容器1時的起塵,並且能夠取出/放入面板P。
當藉由連結構件54上升而對按壓構件51的延伸設置部51c施加朝向上方的力時,按壓構件51將會以安裝軸52為軸心旋轉。此時,由於延伸設置部51c以將安裝軸52作為軸心描繪出圓弧的方式移動,因此對連結構件54向遠離安裝軸52的方向施加力。因此,調節構件81被連接構件82在左右方向上朝向連接構件82拉伸,調節構件81以推入銷55為軸心轉動。同樣地,當藉由連結構件54下降而對按壓構件51的延伸設置部51c施加朝向下方的力時,延伸設置部51c以將安裝軸52作為軸心描繪出圓弧的方式移動,因此對連結構件54向朝向安裝軸52的方向施加力。因此,調節構件81被連接構件82在左右方向上朝向推入銷55推入,調節構件81以推入銷55為軸心轉動。藉由以上操作,可使按壓構件51的轉動順暢化。
再者,本揭示的面板容納容器並不限定於所述實施形態。
推壓機構65亦可不包含連桿機構53。在該情況下,用戶亦可以手動使按壓構件51以安裝軸52為軸心轉動。
轉換機構58亦可構成為使連接構件82撓曲至能夠實現按壓構件51的轉動的程度。在該情況下,轉換機構58亦可包含固定於推入銷55的構件來代替調節構件81。
1:面板收納容器 2:容器本體 2a:開口 3:蓋體 3a:背面 4:把手 6:保持機構 20:收容空間 21:頂板 22:底板 23:側壁 24:背面壁 25:凸緣 25h:上鎖孔 27:軌道構件 31:蓋本體 31h:鑰匙孔 32:上鎖機構 51:按壓構件 51a:按壓板 51b:軸承部 51c:延伸設置部 51d、55a:前端 51e、51f:貫通孔 52:安裝軸 53:連桿機構 54:連結構件 55:推入銷 56:保持構件 56a:柱狀部 56b:延伸部 56c:固定部 56h:插通孔 57:彈性構件 58:轉換機構 61、62:支撐部 61a、62a:主軸 61b、62b:彈性體 62c、62d:止擋件 63:支柱 64:支撐體 64a:載置部 65:推壓機構 81:調節構件 81a:端部(第一端部) 81b:端部(第二端部) 81c:安裝孔 82:連接構件 82a、82b:端部 P:面板 Pa:上表面 Pb:下表面 X、Y、Z:軸
圖1是一實施形態的面板收納容器的分解立體圖。 圖2是表示在圖1所示的容器本體的側壁設置的構件的立體圖。 圖3是表示在圖1所示的容器本體的側壁設置的構件的立體圖。 圖4是圖3所示的按壓構件的立體圖。 圖5是用於對圖3所示的推壓機構進行說明的立體圖。 圖6是圖3所示的連桿機構的一部分的分解立體圖。 圖7是用於對開口敞開的狀態下的推壓機構進行說明的側面圖。 圖8是用於對開口敞開的狀態下的推壓機構進行說明的正面圖。 圖9是用於對蓋體將開口閉塞的狀態下的推壓機構進行說明的側面圖。 圖10是用於對蓋體將開口閉塞的狀態下的推壓機構進行說明的正面圖。
51:按壓構件
51a:按壓板
51b:軸承部
51c:延伸設置部
51d:前端
52:安裝軸
54:連結構件
55:推入銷
56a:柱狀部
56c:固定部
62:支撐部
62a:主軸
62c、62d:止擋件
63:支柱
65:推壓機構
81:調節構件
82:連接構件
82a、82b:端部
P:面板
Pa:上表面
Pb:下表面
X、Y、Z:軸

Claims (5)

  1. 一種面板收納容器,其特徵在於包括: 容器本體,具有開口並收納面板; 保持機構,設置於所述容器本體的內部並保持所述面板;以及 蓋體,將所述開口閉塞, 所述容器本體劃定用於收納所述面板的收容空間並且包括在第一方向上相互相向的一對側壁, 所述保持機構包括:支撐部,對所述面板的所述第一方向上的端部進行支撐;以及推壓機構,將所述端部在與所述第一方向交叉的第二方向上朝向所述支撐部按壓。
  2. 如請求項1所述的面板收納容器,其特徵在於,所述推壓機構在所述蓋體將所述開口閉塞的狀態下對所述端部進行按壓,在所述開口敞開的狀態下解除對所述端部的按壓。
  3. 如請求項2所述的面板收納容器,其特徵在於, 所述推壓機構包括: 按壓構件,用於對所述端部進行按壓; 安裝軸,沿與所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向延伸,且將所述按壓構件能夠以所述安裝軸為軸心轉動地安裝;以及 連桿機構,以在所述蓋體將所述開口閉塞的狀態下對所述端部進行按壓,在所述開口敞開的狀態下解除對所述端部的按壓的方式使所述按壓構件轉動。
  4. 如請求項3所述的面板收納容器,其特徵在於,所述蓋體在將所述開口閉塞的狀態下與收納於所述容器本體中的所述面板在所述第三方向上相向, 所述按壓構件包括: 軸承部,承接所述安裝軸; 按壓板,自所述軸承部向與所述安裝軸交叉的方向延伸;以及 延伸設置部,自所述軸承部向與所述按壓板相反的方向延伸, 所述連桿機構包括: 連結構件,與所述延伸設置部連接; 推入銷,在所述蓋體將所述開口閉塞的狀態下被所述蓋體在所述第三方向上推壓; 轉換機構,將所述推入銷的所述第三方向上的移動轉換為所述連結構件的所述第二方向上的移動;以及 彈性構件,以能夠根據所述推入銷的所述第三方向上的移動在所述第三方向上伸縮的方式設置, 所述轉換機構以在所述推入銷被所述蓋體推壓時,所述按壓板將所述端部在所述第二方向上朝向所述支撐部按壓的方式使所述連結構件移動。
  5. 如請求項4所述的面板收納容器,其特徵在於,所述轉換機構包括:調節構件,以能夠將所述推入銷作為軸心轉動的方式與所述推入銷連接;以及連接構件,將所述調節構件與所述連結構件連接, 所述調節構件包括:第一端部,與所述推入銷連接;以及第二端部,與所述連接構件連接。
TW112211310U 2022-11-25 2023-10-20 面板收納容器 TWM654813U (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022188569 2022-11-25
JP2022-188569 2022-11-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TWM654813U true TWM654813U (zh) 2024-05-01

Family

ID=91195422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW112211310U TWM654813U (zh) 2022-11-25 2023-10-20 面板收納容器

Country Status (2)

Country Link
TW (1) TWM654813U (zh)
WO (1) WO2024111256A1 (zh)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009010119A (ja) * 2007-06-27 2009-01-15 Elpida Memory Inc 基板収容容器
JP6232253B2 (ja) * 2013-10-23 2017-11-15 株式会社ディスコ ウェーハカセット
JP7467367B2 (ja) * 2021-02-19 2024-04-15 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
WO2024111256A1 (ja) 2024-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5715898B2 (ja) 基板収納容器
JP5269077B2 (ja) 支持体及び基板収納容器
JP4540529B2 (ja) 収納容器
US10535542B2 (en) Wafer box, method for arranging wafers in a wafer box, wafer protection plate and method for protecting a wafer
US11161648B2 (en) Panel storage container
JP5959302B2 (ja) 基板収納容器
JP6977215B2 (ja) パネル収納容器
JP2012004380A (ja) 基板収納容器
TWM654813U (zh) 面板收納容器
JP3201454U (ja) フォトマスクボックス
TWI818653B (zh) 基材容器
JP4459015B2 (ja) 基板収納容器
WO2022176244A1 (ja) パネル収納容器
CN219447766U (zh) 面板收纳容器
JP7541950B2 (ja) パネル収納容器
CN217970454U (zh) 面板收纳容器
JP2023040512A (ja) パネル収納容器
JP2005289436A (ja) ガラス基板搬送用ボックス
JP2023141949A (ja) パネル収納容器
CN219506549U (zh) 面板收纳容器
JP2023042916A (ja) パネル収納容器
JP7507116B2 (ja) パネル収納容器
CN219506547U (zh) 面板收纳容器
JP2012164720A (ja) 輸送箱
JP2022159782A (ja) パネル収納容器