WO2022176244A1 - パネル収納容器 - Google Patents

パネル収納容器 Download PDF

Info

Publication number
WO2022176244A1
WO2022176244A1 PCT/JP2021/033748 JP2021033748W WO2022176244A1 WO 2022176244 A1 WO2022176244 A1 WO 2022176244A1 JP 2021033748 W JP2021033748 W JP 2021033748W WO 2022176244 A1 WO2022176244 A1 WO 2022176244A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
peripheral surface
lid
flange
end portion
panel
Prior art date
Application number
PCT/JP2021/033748
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
和正 大貫
Original Assignee
信越ポリマー株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 信越ポリマー株式会社 filed Critical 信越ポリマー株式会社
Priority to KR1020237030263A priority Critical patent/KR20230147647A/ko
Priority to CN202180083606.4A priority patent/CN116601087A/zh
Publication of WO2022176244A1 publication Critical patent/WO2022176244A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/02—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage
    • B65D81/05—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents specially adapted to protect contents from mechanical damage maintaining contents at spaced relation from package walls, or from other contents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present disclosure relates to panel storage containers.
  • Patent Literature 1 describes a panel storage container that includes a container body that stores a panel and a lid that opens and closes an opening provided in the container body.
  • the peripheral edge of the lid When the lid is opened and closed, the peripheral edge of the lid may come into contact with the opening edge that defines the opening of the container body. At this time, at least one of the lid and the container body may be damaged.
  • the present disclosure describes a panel storage container capable of suppressing damage.
  • a panel storage container includes a flange that defines an opening, a container body for storing a plurality of panels, a lid for closing the opening, and a lid for closing the opening.
  • a convex protective member provided between the outer peripheral surface of the lid body and the inner peripheral surface of the flange facing each other in the state of being closed.
  • a convex protective member is provided between the outer peripheral surface of the lid and the inner peripheral surface of the flange facing each other when the lid closes the opening.
  • the outer peripheral surface of the lid may approach the inner peripheral surface of the flange due to tilting of the lid or the like.
  • the outer peripheral surface of the lid may contact the protective member before contacting the inner peripheral surface of the flange. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the outer peripheral surface of the lid contacts the inner peripheral surface of the flange.
  • the protective member is convex, the contact area between the outer peripheral surface of the lid and the protective member is smaller than the contact area when the outer peripheral surface of the lid and the inner peripheral surface of the flange are in contact with each other. . As a result, it becomes possible to suppress damage to the panel container.
  • the protective member may be provided on the inner peripheral surface of the flange, or may protrude from the inner peripheral surface of the flange toward the outer peripheral surface of the lid when the lid closes the opening. Since the protective member protrudes from the inner peripheral surface of the flange toward the outer peripheral surface of the lid, even when the outer peripheral surface of the lid approaches the inner peripheral surface of the flange, the outer peripheral surface of the lid does not reach the inner peripheral surface of the flange. It is more likely to contact the protective member before contacting the surface. Therefore, it becomes possible to further suppress damage to the panel container.
  • the protective member may be detachably provided on the flange. In this case, the protective member can be replaced. For example, when the protective member is damaged, it is possible to suppress damage to the panel container by replacing the protective member with a new protective member.
  • the protective member is provided on the outer peripheral surface of the lid, and may protrude from the outer peripheral surface of the lid toward the inner peripheral surface of the flange when the lid closes the opening. Since the protective member protrudes from the outer peripheral surface of the lid toward the inner peripheral surface of the flange, even when the outer peripheral surface of the lid approaches the inner peripheral surface of the flange, the outer peripheral surface of the lid does not reach the inner peripheral surface of the flange. It is more likely to contact the protective member before contacting the surface. Therefore, it becomes possible to further suppress damage to the panel container.
  • the protective member may be detachably provided on the lid. In this case, the protective member can be replaced. For example, when the protective member is damaged, it is possible to suppress damage to the panel container by replacing the protective member with a new protective member.
  • the flange may be a rectangular frame.
  • the protection member may include a first protection member and a second protection member.
  • the first protective member and the second protective member may be provided between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the lid at both ends of the frame forming one side of the frame.
  • the outer peripheral surface of the lid approaches the inner peripheral surfaces at both ends of the frame.
  • the outer peripheral surface of the lid contacts the inner peripheral surface of the flange before contacting the first protective member. Or it can come into contact with the second protection member. Therefore, it becomes possible to further suppress damage to the panel container.
  • the lid body may include a lid body including an outer peripheral surface.
  • the lid body may be made of a metal material.
  • the flange may be constructed of a resin material.
  • dust is generated and may enter the panel storage container. According to the above-described panel storage container, it is possible to reduce the possibility that the outer peripheral surface of the lid body will come into contact with the inner peripheral surface of the flange, so it is possible to suppress the generation of dust.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a panel storage container according to one embodiment.
  • 2 is a rear perspective view of the panel container of FIG. 1.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a portion of the container body of FIG. 1;
  • FIG. 4 is a diagram for explaining attachment of the flange.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the cover member.
  • 6 is a partially enlarged view of the panel container of FIG. 1.
  • FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII--VII of FIG. 8 is a bottom view of the panel container of FIG. 1.
  • FIG. 9 is an exploded perspective view of a portion of the container body of FIG. 1;
  • FIG. 10 is a cross-sectional view of the periphery of the air supply/exhaust mechanism.
  • 11 is a cross-sectional view taken along line XI--XI in FIG. 2.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG. 11.
  • the Y-axis direction is a direction that intersects (here, orthogonally) with the X-axis direction and the Z-axis direction.
  • the Z-axis direction is a direction that intersects (here, orthogonally) with the X-axis direction and the Y-axis direction.
  • the X-axis direction is the horizontal direction (width direction)
  • the Y-axis direction is the front-rear direction (depth direction)
  • the Z-axis direction is the vertical direction (height direction).
  • the terms “front”, “back”, “top”, “bottom”, “left”, and “right” are used, but are not limited to these directions.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of a panel storage container according to one embodiment.
  • 2 is a rear perspective view of the panel container of FIG. 1.
  • FIG. A panel storage container 1 shown in FIGS. 1 and 2 is a container for storing a plurality of panels.
  • the panel container 1 complies with, for example, SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) standards.
  • Examples of panels include glass substrates for liquid crystal panels and panels on which electronic components are mounted.
  • the panel has a rectangular shape. Examples of panel sizes include 510 mm x 515 mm and 600 mm x 600 mm.
  • the number of panels that can be stored in the panel storage container 1 is arbitrarily determined, and may be 6 or 12, for example.
  • the panel storage container 1 is used, for example, in a manufacturing device that manufactures electronic components.
  • electronic components for example, a process of mounting a large number of electronic components on a large carrier panel such as a glass plate or a stainless steel plate, a process of sealing these electronic components with epoxy resin or the like, and a process of converting the sealed electronic components into a panel form. and a step of individually cutting out panel-shaped electronic components.
  • the panel storage container 1 is used to transport the panels between these processes.
  • the panel storage container 1 includes a container body 2 and a lid body 3.
  • the container body 2 is a rectangular parallelepiped container with an open front surface (front surface).
  • the container body 2 is a front-open box-type container having an opening 2a on the front surface.
  • the container body 2 accommodates a plurality of panels. A panel is taken in and out of the container body 2 through the opening 2a. Details of the container body 2 will be described later.
  • the lid 3 is a member for closing the opening 2 a of the container body 2 .
  • the lid 3 airtightly closes the opening 2a of the container body 2 via a sealing member 34 (see FIG. 7) such as a gasket.
  • the lid 3 is detachably attached to a flange 25 defining the opening 2a.
  • the lid body 3 includes a lid body 31 and a locking mechanism 32 .
  • the lid body 31 is a body portion of the lid body 3 .
  • the lid body 31 is a rectangular plate material and includes the outer peripheral surface 3 a of the lid body 3 .
  • the outer peripheral surface 3a is a surface along the peripheral edge of the lid body 3 (lid main body 31).
  • the specific gravity of the constituent material of the lid body 31 is greater than the specific gravity of the constituent material of the flange 25, for example, 1.5 or more.
  • the lid body 31 is made of, for example, a metal material. Examples of metallic materials include aluminum and magnesium alloys.
  • a keyhole 33 is provided on the front surface of the lid body 31 . A key (not shown) is inserted into the keyhole 33 .
  • the locking mechanism 32 locks or unlocks the lid 3 by operating the key inserted into the keyhole 33 .
  • the locking mechanism 32 has a latch (not shown). With the lid 3 attached to the flange 25, the lid 3 is locked when the latch is fitted into the locking hole 25h provided in the flange 25 by operating the key. With the lid 3 locked, the lid 3 is unlocked by operating the key to pull out the latch from the locking hole 25h.
  • the container body 2 and the lid body 3 are configured by combining a plurality of parts molded from metal materials or resin materials.
  • Thermoplastic resins are examples of resins contained in molding materials of resin materials.
  • thermoplastic resins include acrylic resins such as polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, polyetheretherketone, polybutylene terephthalate, polyacetal, liquid crystal polymer, polymethyl methacrylate, and acrylonitrile-butadiene-styrene copolymer. polymers. These alloys may be used as the resin contained in the molding material of the resin material.
  • a conductive substance and various antistatic agents may be added to these resins.
  • the conductive material is made of, for example, carbon fiber, carbon powder, carbon nanotube, or conductive polymer.
  • antistatic agent anionic antistatic agents, cationic antistatic agents, and nonionic antistatic agents can be used.
  • Benzotriazole-based, salicylate-based, cyanoacrylate-based, oxalic acid anilide-based, and hindered amine-based UV absorbers may be added. Glass fiber, carbon fiber, or the like that improves rigidity may also be optionally added.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of a portion of the container body of FIG. 1;
  • FIG. FIG. 4 is a diagram for explaining attachment of the flange.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the cover member.
  • the container body 2 includes a top plate 21, a bottom plate 22, a pair of side walls 23, a rear wall 24, a flange 25, a frame 26, a pedestal 27, It has a pair of rail members 28, connecting plates 41 to 47, side plates 48, a pair of cover members C1, a pair of cover members C2, and a pair of cover members C3.
  • the top plate 21, the bottom plate 22, the side walls 23, and the back wall 24 are substantially rectangular plate members.
  • the top plate 21 and the bottom plate 22 face each other in the vertical direction and are arranged substantially parallel to each other.
  • the pair of side walls 23 face each other in the left-right direction and are arranged substantially parallel.
  • the left side wall 23 connects the left end of the top plate 21 and the left end of the bottom plate 22 .
  • the right side wall 23 connects the right end of the top plate 21 and the right end of the bottom plate 22 .
  • the rear wall 24 connects the rear ends of the top plate 21 and the bottom plate 22 and also connects the rear ends of the pair of side walls 23 .
  • a housing space 20 is defined by the top plate 21 , the pair of side walls 23 , the bottom plate 22 and the rear wall 24 .
  • the top plate 21, bottom plate 22, and side walls 23 are made of, for example, a metal material.
  • metallic materials include aluminum and stainless steel.
  • the rear wall 24 is made of, for example, a transparent resin material that allows the accommodation space 20 to be viewed from the outside of the container body 2 .
  • a portion of the rear wall 24 may be made of a transparent resin material.
  • transparent resin materials include acrylic resins, polycarbonates, vinyl chloride resins, and cycloolefin polymers.
  • the top plate 21 has a front end portion 21a, a rear end portion 21b, and a pair of side end portions 21c.
  • the front end portion 21 a is a portion along the front edge of the top plate 21 .
  • the rear end portion 21 b is a portion along the rear edge of the top plate 21 .
  • the pair of side end portions 21 c are portions along the left and right side edges of the top plate 21 .
  • the front end portion 21a and the pair of side end portions 21c are provided with a plurality of insertion holes for inserting screws.
  • the bottom plate 22 has a front end 22a, a rear end 22b, and a pair of side ends 22c.
  • the front end portion 22 a is a portion along the front edge of the bottom plate 22 .
  • the rear end portion 22 b is a portion along the rear edge of the bottom plate 22 .
  • the pair of side edges 22 c are portions along the left and right side edges of the bottom plate 22 .
  • the rear end portion 22b and the pair of side end portions 22c are provided with a plurality of insertion holes for inserting screws.
  • the bottom plate 22 is provided with a plurality of (four in the present embodiment) through holes 22h penetrating the bottom plate 22 in the vertical direction. An air supply/exhaust mechanism 55, which will be described later, is fitted into the through hole 22h.
  • Each side wall 23 has a shape in which the front end and the upper and lower ends are folded back to the outside of the container body 2 .
  • the side wall 23 has a body portion 23a, an upper end portion 23b, a lower end portion 23c, and a front end portion 23d.
  • the body portion 23a has a rectangular shape.
  • the body portion 23a has a rear end portion 23e.
  • the rear end portion 23e is a portion along the rear edge of the main body portion 23a.
  • the upper end portion 23b extends along the upper edge of the main body portion 23a and stands upright from the main body portion 23a toward the outside of the container main body 2 in the left-right direction.
  • the lower end portion 23c extends along the lower edge of the main body portion 23a and stands upright from the main body portion 23a toward the outside of the container body 2 in the left-right direction.
  • the front end portion 23d extends along the front edge of the main body portion 23a and stands upright from the main body portion 23a toward the outside of the container body 2 in the left-right direction.
  • the upper end portion 23b, the lower end portion 23c, the front end portion 23d, and the rear end portion 23e are provided with a plurality of insertion holes for inserting screws.
  • the body portion 23a is provided with a plurality of insertion holes for inserting screws.
  • the through hole of the body portion 23a is used to attach a support 65, which will be described later.
  • the rear wall 24 has an upper end 24a, a lower end 24b, and a pair of side ends 24c.
  • the upper end portion 24 a is a portion along the upper edge of the rear wall 24 .
  • the lower end portion 24 b is a portion along the lower edge of the rear wall 24 .
  • the pair of side ends 24c are portions along the left and right side edges of the rear wall 24 .
  • the lower end portion 24b is provided with a plurality of insertion holes for inserting screws.
  • the flange 25 is a rectangular frame and is provided across the front end of the top plate 21 , the front end of the bottom plate 22 , and the front ends of the pair of side walls 23 .
  • Flange 25 defines opening 2a.
  • the inner peripheral surface of the flange 25 is stepped in the front-rear direction, and the inner periphery of the flange 25 at the front end is longer than the inner periphery at the rear end.
  • the opening 2 a is closed by the lid 3 by placing the lid 3 on the step via the sealing member 34 . At this time, the front portion of the flange 25 in front of the step surrounds the lid 3 .
  • the flange 25 is made of, for example, the resin material described above.
  • the flange 25 has an upper frame member 25a, a lower frame member 25b, and a pair of side frame members 25c.
  • Each of the upper frame member 25a, the lower frame member 25b, and the side frame member 25c is a frame portion forming one side of the frame.
  • the upper frame member 25a and the lower frame member 25b are members extending in the left-right direction.
  • the upper frame member 25a and the lower frame member 25b are spaced apart from each other in the vertical direction and arranged substantially parallel to each other.
  • the pair of side frame members 25c are members extending in the vertical direction.
  • the pair of side frame members 25c are arranged substantially parallel while being separated from each other in the left-right direction.
  • the left end of the upper frame member 25a and the left end of the lower frame member 25b are connected by the left side frame member 25c, and the right end of the upper frame member 25a and the right end of the lower frame member 25b are connected by the right side frame member 25c.
  • Each of the upper frame member 25a and the lower frame member 25b is provided with two locking holes 25h spaced apart in the left-right direction.
  • the locking hole 25h of the upper frame member 25a and the locking hole 25h of the lower frame member 25b are provided at positions facing each other in the vertical direction.
  • the frame 26 is used to fix the top plate 21, the bottom plate 22, the pair of side walls 23, and the back wall 24.
  • the frame 26 is made of, for example, a metal material. Examples of metal materials include aluminum and stainless steel.
  • a frame 26 is provided on the front surface of the rear wall 24 .
  • the frame body 26 has an upper frame member 26a, a lower frame member 26b, a pair of side frame members 26c, a support 26d, and a pair of support 26e.
  • the upper frame member 26a and the lower frame member 26b are columnar members extending in the left-right direction.
  • the upper frame member 26a and the lower frame member 26b are spaced apart from each other in the vertical direction and arranged substantially parallel to each other.
  • the pair of side frame members 26c are columnar members extending in the vertical direction.
  • the pair of side frame members 26c are arranged substantially parallel while being separated from each other in the left-right direction.
  • Left ends of the upper frame member 26a and the lower frame member 26b are fixed to the left side frame member 26c with screws.
  • the right ends of the upper frame member 26a and the lower frame member 26b are fixed to the right side frame member 26c with screws. That is, the left end of the upper frame member 26a and the left end of the lower frame member 26b are connected by the left side frame member 26c, and the right end of the upper frame member 26a and the right end of the lower frame member 26b are connected by the right side frame member 26c.
  • the strut 26d and the pair of struts 26e are columnar members extending in the vertical direction.
  • the one support 26e, the support 26d, and the other support 26e are arranged in that order in the left-right direction and arranged substantially parallel to each other.
  • Upper ends of the pillar 26d and the pair of pillars 26e are fixed to the upper frame member 26a by screws.
  • the lower ends of the column 26d and the pair of columns 26e are fixed to the lower frame member 26b by screws.
  • the support 26d is provided at the center of the frame 26 in the left-right direction, and the pair of support 26e is provided near both ends of the frame 26 in the left-right direction.
  • the post 26d is provided with a plurality of recesses for mounting a shaft 61a, which will be described later. These recesses are recessed rearward from the front surface of the support 26d.
  • the post 26e is provided with a plurality of recesses for mounting a shaft 62a, which will be described later. These recesses are recessed rearward from the front surface of the post 26e.
  • the pedestal part 27 is a part that becomes the base of the container body 2 .
  • the pedestal portion 27 is made of, for example, a metal material. Examples of metallic materials include aluminum and stainless steel.
  • the pedestal portion 27 is provided on the lower surface of the bottom plate 22 .
  • the pedestal portion 27 has a support member 27a, a support member 27b, a pair of support members 27c, and a plurality of (three in this embodiment) support members 27d.
  • the support member 27a and the support member 27b are columnar members extending in the left-right direction.
  • the support member 27a and the support member 27b are spaced apart from each other in the front-rear direction and are arranged substantially parallel to each other.
  • the pair of support members 27c are L-shaped members extending in the front-rear direction.
  • the pair of support members 27c are spaced apart from each other in the left-right direction and arranged substantially parallel to each other.
  • Each support member 27c has a first portion 27e and a second portion 27f.
  • the first portion 27e is a plate-like portion along the bottom plate 22 (XY plane) and extends in the front-rear direction.
  • the second portion 27f extends in the front-rear direction along the inner edge in the left-right direction of the first portion 27e, and stands downward from the edge.
  • the first portion 27e and the second portion 27f are L-shaped.
  • the left ends of the support members 27a and 27b are fixed to the second portion 27f of the left support member 27c with screws.
  • the right ends of the support members 27a and 27b are fixed to the second portion 27f of the right support member 27c with screws. That is, the left end of the support member 27a and the left end of the support member 27b are connected by the left support member 27c, and the right end of the support member 27a and the right end of the support member 27b are connected by the right support member 27c.
  • the plurality of support members 27d are columnar members extending in the left-right direction.
  • the plurality of support members 27d are arranged in the front-rear direction and arranged substantially parallel to each other.
  • the left end of each support member 27d is fixed to the left support member 27c with a screw.
  • the right end of each support member 27d is fixed to the right support member 27c with a screw.
  • a pair of rail members 28 are portions for placing the container body 2 .
  • the pair of rail members 28 are placed on the conveyor, for example, when the panel storage container 1 is conveyed by the conveyor.
  • Each rail member 28 is a plate member extending in the front-rear direction.
  • the rail member 28 is made of, for example, the resin material described above.
  • Each rail member 28 is provided under the support member 27c and is connected to the support member 27c by a connection member 49.
  • the connecting member 49 is a member provided with a male screw at its lower end and a female screw (screw hole) at its upper end.
  • the support member 27c and the rail member 28 are connected to each other to form a U shape with an open outer side in the left-right direction.
  • the connecting plates 41-47 are members for connecting the top plate 21, the bottom plate 22, the side walls 23, the rear wall 24, and the flange 25.
  • the connecting plates 41 to 47 are elongate plate-like members.
  • the connecting plates 41-47 are made of, for example, a metal material. Examples of metal materials include aluminum and stainless steel.
  • the connection plates 41 to 44 and 47 are provided with insertion holes for inserting screws.
  • the connection plates 45 and 46 are provided with screw holes.
  • the side plate 48 is a member for attaching a support 65, which will be described later.
  • the side plate 48 is a plate-like member extending vertically.
  • the side plate 48 is made of, for example, a metal material. Examples of metal materials include aluminum and stainless steel.
  • the side plate 48 is provided on the outer surface of the body portion 23 a of the side wall 23 .
  • each side wall 23 is provided with two side plates 48 .
  • the two side plates 48 are arranged in the front-rear direction and arranged substantially parallel to each other.
  • One side plate 48 is provided near the center of the side wall 23 in the front-rear direction, and the other side plate 48 is provided near the front end of the side wall 23 in the front-rear direction.
  • the upper end of each side plate 48 is fixed to the upper end portion 23b by screws.
  • a lower end of each side plate 48 is fixed to the lower end portion 23c by a screw.
  • Each side plate 48 is provided with an insertion hole for inserting a screw.
  • the cover members C1 to C3 are members for preventing particles from entering the housing space 20 .
  • the cover members C1 to C3 are made of, for example, the resin material described above.
  • a pair of cover members C ⁇ b>1 are provided at corners formed by the top plate 21 , the side walls 23 and the flanges 25 .
  • a pair of cover members C ⁇ b>2 are provided at corners formed by the top plate 21 , side walls 23 and rear wall 24 .
  • a pair of cover members C3 are provided at corners formed by the bottom plate 22, the side walls 23, and the rear wall 24. As shown in FIG.
  • the rear wall 24 is superimposed on the frame 26 so that the rear surface of the lower frame member 26b and the inner surface of the lower end portion 24b of the rear wall 24 are in contact with each other in the front-rear direction.
  • the connecting plate 41 is superimposed on the outer surface of the lower end portion 24b.
  • the lower end portion 24b is sandwiched between the connecting plate 41 and the lower frame member 26b.
  • screws are inserted through the insertion holes of the connecting plate 41 and the insertion holes of the lower end portion 24b, and screwed into the screw holes of the lower frame member 26b.
  • the lower end portion 24b is sandwiched between the connecting plate 41 and the lower frame member 26b, and the rear wall 24 is fixed to the frame body 26. As shown in FIG.
  • the rear end portion 21b of the top plate 21 is placed on the upper surface of the upper frame member 26a, and the upper end portion 24a of the rear wall 24 is placed on the rear surface of the upper frame member 26a so as to cover the rear end portion 21b and the upper end portion 24a.
  • a connecting plate 42 is provided.
  • the connecting plate 42 has a shape that follows the outer shape of the upper frame member 26a.
  • the connection plate 42 has a portion that covers the rear end portion 21b, a portion that covers the upper end portion 24a, and a connection portion that connects these portions.
  • a screw is screwed into a threaded hole provided in the upper frame member 26 a through an insertion hole provided in the connecting portion of the connecting plate 42 .
  • the rear end portion 23e of the side wall 23 is placed on the side surface of the side frame member 26c, and the side end portion 24c of the rear wall 24 is placed on the rear surface of the side frame member 26c to cover the rear end portion 23e and the side end portion 24c.
  • a connecting plate 43 is provided.
  • the connecting plate 43 has a shape that follows the outer shape of the side frame member 26c.
  • the connection plate 43 has a portion that covers the rear end portion 23e, a portion that covers the side end portion 24c, and a connection portion that connects these portions.
  • a screw is screwed into a screw hole provided in the side frame member 26c through an insertion hole provided in the connection portion of the connection plate 43 .
  • a screw is inserted through an insertion hole provided in a portion covering the rear end portion 23e of the connecting plate 43 and an insertion hole provided in the rear end portion 23e, and is inserted into a screw hole provided in the side surface of the side frame member 26c. screws are screwed together. As a result, the rear end portion 23e and the side end portion 24c are held between the connecting plate 43 and the side frame member 26c, and the side wall 23 and the rear wall 24 are fixed to the frame 26. As shown in FIG. As a result, the side wall 23 and the rear wall 24 are connected.
  • the side end portion 21c of the top plate 21 is placed on the upper surface of the upper end portion 23b of the side wall 23, and the connecting plate 44 is superimposed on the upper surface of the side end portion 21c.
  • Two connecting plates 45 extending in the front-rear direction are provided on the lower surface of the upper end portion 23b so as to be spaced apart in the front-rear direction.
  • the side end portion 21c and the upper end portion 23b are overlapped with each other in the vertical direction, and the side end portion 21c and the upper end portion 23b are sandwiched between the connecting plate 44 and the connecting plate 45 in the vertical direction.
  • the rear end portion of the upper frame member 25a of the flange 25 is placed on the upper surface of the front end portion 21a of the top plate 21, and the connecting plate 46 is superimposed on the lower surface of the front end portion 21a.
  • the front end portion 21a is sandwiched between the upper frame member 25a and the connecting plate 46 in the vertical direction.
  • screws are inserted through the insertion holes of the upper frame member 25a and the insertion holes of the front end portion 21a, and screwed into the screw holes of the connecting plate 46.
  • the front end portion 21a is held between the upper frame member 25a and the connecting plate 46, and the top plate 21 and the flange 25 are connected.
  • the rear surface of the side frame member 25c of the flange 25 is overlaid on the front surface of the front end portion 23d of the side wall 23, and the connection plate 47 is overlaid on the rear surface of the front end portion 23d.
  • the front end portion 23d is sandwiched between the side frame member 25c and the connecting plate 47 in the front-rear direction.
  • a screw is inserted through the insertion hole of the connecting plate 47 and the insertion hole of the front end portion 23d, and screwed into the screw hole of the side frame member 25c.
  • the front end portion 23d is held between the side frame member 25c and the connecting plate 47, and the side wall 23 and the flange 25 are connected.
  • the rear end portion 22b is superimposed on the lower frame member 26b so that the lower surface of the lower frame member 26b of the frame body 26 and the upper surface of the rear end portion 22b of the bottom plate 22 are in contact with each other in the vertical direction. Further, the support member 27b of the pedestal portion 27 is superimposed on the lower surface of the rear end portion 22b. In other words, the rear end portion 22b is sandwiched between the lower frame member 26b and the support member 27b. In this state, screws are inserted through the insertion holes of the lower frame member 26b and the insertion holes of the rear end portion 22b, and screwed into the screw holes of the support member 27b. As a result, the rear end portion 22b is held between the lower frame member 26b and the support member 27b, and the bottom plate 22 is fixed to the frame body 26 and the base portion 27. As shown in FIG.
  • the male screw of the connecting member 49 is screwed into the screw hole provided in the rail member 28, and the rail member 28 is mounted so that the screw hole of the connecting member 49 and the insertion hole provided in the first portion 27e of the support member 27c overlap each other.
  • a support member 27c is arranged thereon.
  • the side end portion 22c of the bottom plate 22 is placed on the upper surface of the support member 27c, and the lower end portion is attached to the side end portion 22c so that the upper surface of the side end portion 22c and the lower surface of the lower end portion 23c of the side wall 23 are in contact with each other in the vertical direction. Part 23c is superimposed.
  • the length of the rear end portion of the upper frame member 25a in the left-right direction is shorter than the lengths of the front end portion 21a and the connecting plate 46 in the left-right direction. Therefore, both lateral ends of the front end portion 21a are not covered with the rear end portion of the upper frame member 25a.
  • a cover member C1 is placed on both ends in the left-right direction of the front end portion 21a. That is, both ends of the front end portion 21 a in the left-right direction are sandwiched between the cover member C ⁇ b>1 and the connecting plate 46 . In this state, screws are inserted through the insertion holes of the cover member C1 and the insertion holes of the front end portion 21a, and screwed into the screw holes of the connecting plate 46. As shown in FIG. Thereby, the cover member C1 is attached.
  • the connecting plate 44 and the connecting plate 45 do not extend to the rear end of the side end portion 21c and the rear end of the upper end portion 23b.
  • a cover member C2 is attached so as to sandwich the rear end of the side end portion 21c and the rear end of the upper end portion 23b. In this state, screws are inserted through the insertion holes provided in the upper portion of the cover member C2, the insertion holes of the side end portion 21c, and the insertion holes of the upper end portion 23b, and the screw holes provided in the lower portion of the cover member C2. A screw is screwed into the Thereby, the cover member C2 is attached.
  • the length of the connecting plate 41 in the left-right direction is shorter than the length of the lower end portion 24b in the left-right direction. Therefore, both lateral ends of the lower end portion 24 b are not covered with the connecting plate 41 .
  • a cover member C3 is attached so as to sandwich the rear end of the lower end portion 23c and the rear end of the first portion 27e and cover both ends in the left-right direction of the lower end portion 24b. Then, the cover member C3 is attached with screws.
  • the bottom plate 22 and the support member 27c extend further forward than the side wall 23. That is, the front end of the side end portion 22c is not covered with the lower end portion 23c.
  • the front end of the side end portion 22c is sandwiched between the side frame member 25c of the flange 25 and the front end of the first portion 27e.
  • the screws are inserted through the insertion holes of the first portion 27e and the insertion holes of the side end portion 22c, and screwed into the screw holes provided on the lower surface of the side frame member 25c.
  • the bottom plate 22 and the flange 25 are fixed to the pedestal portion 27, and the bottom plate 22 and the flange 25 are connected.
  • the front end portion 22a of the bottom plate 22 is inserted into a groove provided on the rear surface of the lower frame member 25b of the flange 25. As shown in FIG.
  • FIG. 6 is a partially enlarged view of the panel container of FIG. 1.
  • FIG. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line VII--VII of FIG.
  • the container body 2 further includes a plurality of protective members 29. As shown in FIGS.
  • the protective member 29 is a convex member for protecting the flange 25.
  • the protection member 29 is made of, for example, the resin material described above.
  • the constituent material of the protective member 29 may be the same as or different from the constituent material of the flange 25 .
  • the protective member 29 is provided between the outer peripheral surface 3a of the lid 3 and the inner peripheral surface 25s of the flange 25 facing each other when the lid 3 closes the opening 2a.
  • the protective member 29 is provided on the inner peripheral surface 25s of the flange 25, and protrudes from the inner peripheral surface 25s toward the outer peripheral surface 3a in a state where the lid 3 closes the opening 2a.
  • the protective member 29 is provided on the inner peripheral surface 25 s of the side frame member 25 c and protrudes toward the outer peripheral surface 3 a at the side end portion of the lid 3 .
  • Two protective members 29 are provided on each side frame member 25c. It is
  • the protective member 29 is detachably provided on the flange 25 .
  • the protection member 29 has a receiving portion 29a and a shaft portion 29b.
  • the receiving portion 29a is a portion protruding from the inner peripheral surface 25s of the flange 25 toward the outer peripheral surface 3a.
  • the receiving portion 29a has, for example, a disk shape.
  • the receiving portion 29a has a contact surface 29c facing the outer peripheral surface 3a.
  • the contact surface 29c is a surface with which the lid 3 can contact.
  • the area of the contact surface 29c is smaller than the area of the inner peripheral surface 25s of the side frame member 25c.
  • the contact surface 29c and the outer peripheral surface 3a are separated from each other in terms of design.
  • a distance D between the contact surface 29c and the outer peripheral surface 3a is designed to be approximately 0.5 mm, for example.
  • the shaft portion 29b is a portion for attaching the protective member 29 to the flange 25.
  • the shaft portion 29b is provided on the surface of the receiving portion 29a opposite to the contact surface 29c and extends in the direction opposite to the contact surface 29c.
  • the shaft portion 29b is fitted into a mounting hole 25t provided in the inner peripheral surface 25s of the side frame member 25c.
  • the protective member 29 is attached to the flange 25 (the side frame member 25c) by press-fitting the shaft portion 29b into the attachment hole 25t.
  • the protective member 29 may be attached to the flange 25 (the side frame member 25c) by joining the shaft portion 29b to the attachment hole 25t with an adhesive.
  • the shaft portion 29b may be a male screw, and the mounting hole 25t may be a female screw.
  • the protective member 29 is attached to the flange 25 (the side frame member 25c) by screwing the shaft portion 29b into the attachment hole 25t.
  • the protective member 29 may be attached to the flange 25 (side frame member 25c) by fixing the shaft portion 29b to the attachment hole 25t using a snap fit.
  • FIG. 8 is a bottom view of the panel container of FIG. 1.
  • FIG. 9 is an exploded perspective view of a portion of the container body of FIG. 1;
  • FIG. FIG. 10 is a cross-sectional view of the periphery of the air supply/exhaust mechanism. 8 and 9 omit illustration of screws for attaching the base substrate 51 and the like to the pedestal portion 27 for convenience of explanation.
  • the container body 2 further includes a base substrate 51, a mounting plate 52, a mounting plate 53, a positioning member 54, an air supply/exhaust mechanism 55, and a block member 56. ing.
  • the base substrate 51 is a substrate for mounting the positioning member 54, the air supply/exhaust mechanism 55, and the block member 56.
  • the base substrate 51 is a rectangular plate material.
  • the base substrate 51 is provided below the pedestal portion 27 and is fixed to the support members 27a and 27d with screws.
  • the base substrate 51 is provided over the support member 27a and the three support members 27d and does not extend to the rear end portion 22b. That is, the base substrate 51 is arranged near the front end portion 22a of the bottom plate 22 .
  • a front end portion 51 a of the base substrate 51 is positioned below the lower frame member 25 b of the flange 25 .
  • the front end portion 51a is provided with an insertion hole for inserting a screw. A screw is inserted through the insertion hole of the front end portion 51a and screwed into the screw hole of the lower frame member 25b.
  • the base substrate 51 is provided with a through hole 51g for attaching the positioning member 54 and a through hole 51h for attaching the air supply/exhaust mechanism 55. As shown in FIG. In this embodiment, three through holes 51g and four through holes 51h are provided. The three through holes 51g radially extend from the center of the base substrate 51. As shown in FIG. Two through-holes 51g are provided in the vicinity of both ends in the left-right direction of the front portion of the base substrate 51, and one through-hole 51g is provided in the vicinity of the center in the left-right direction of the rear portion of the base substrate 51. FIG. The four through holes 51h are provided near four corners of the base substrate 51 . A through hole for attaching an RF-ID (Radio Frequency Identification) tag is further provided at the rear end of the base substrate 51 .
  • RF-ID Radio Frequency Identification
  • the mounting plates 52 and 53 are members for mounting the positioning member 54 on the base board 51 .
  • the mounting plates 52 and 53 are plate-like members.
  • the mounting plates 52 and 53 are made of, for example, the resin material described above.
  • the mounting plate 52 is provided on the lower surface of the front portion of the base substrate 51 .
  • the mounting plate 52 is provided with two through holes 52g for exposing the positioning member 54.
  • the mounting plate 52 is further provided with a through-hole used for fixing the panel container 1 between the two through-holes 52g.
  • the mounting plate 53 is provided on the lower surface of the rear portion of the base substrate 51 .
  • the mounting plate 53 is provided with a through hole 53g for exposing the positioning member 54. As shown in FIG.
  • the positioning member 54 is a member used by an external device such as a conveying device or processing device to position the panel storage container 1 (container body 2).
  • the positioning member 54 is made of, for example, a metal material. Examples of metallic materials include aluminum and stainless steel.
  • the positioning member 54 is a V-shaped plate member. The positioning member 54 is fitted into the through hole 51g so as to be recessed (upward) toward the bottom plate 22 . A V-shaped groove is defined by the V-shaped surface of the positioning member 54 . A wear-resistant surface treatment is applied to the V-shaped surface.
  • the container body 2 has three positioning members 54 .
  • Two positioning members 54 are fitted into two through holes 51g provided in the front portion of the base substrate 51, and the mounting plate 52 is mounted on the base substrate 51 so that the V-shaped surfaces of the positioning members 54 are exposed from the through holes 52g. attached to the bottom of the Both ends of the positioning member 54 are sandwiched between the base substrate 51 and the mounting plate 52 .
  • one positioning member 54 is fitted into one through hole 51g provided in the rear portion of the base substrate 51, and the mounting plate 53 is positioned so that the V-shaped surface of the positioning member 54 is exposed from the through hole 53g. It is attached to the lower surface of the base substrate 51 . Both ends of the positioning member 54 are sandwiched between the base substrate 51 and the mounting plate 53 .
  • the panel storage container 1 is positioned by the pins of the external device coming into contact with the V-shaped surfaces of the positioning members 54 . Specifically, the pin is guided into the V-shaped groove by the V-shaped surface. Since the panel storage container 1 has three positioning members 54, the panel storage container 1 is supported at three points. Therefore, the position of the panel storage container 1 is determined with high accuracy. The number and arrangement of the positioning members 54 may be changed as appropriate.
  • the positioning member 54 is separated from the lower surface of the bottom plate 22 .
  • the force applied from the pin of the external device to the V-shaped surface of the positioning member 54 is transmitted to the base substrate 51 and is prevented from being applied to the bottom plate 22 . Therefore, deformation of the bottom plate 22 is suppressed.
  • the supply/exhaust mechanism 55 is a mechanism for supplying gas into the accommodation space 20 and discharging the gas from the accommodation space 20 in order to keep the inside (accommodation space 20) of the panel storage container 1 clean and low humidity. be.
  • An example of the gas supplied into the housing space 20 is an inert gas.
  • the container body 2 has four air supply/exhaust mechanisms 55 . Each air supply/exhaust mechanism 55 is provided between the bottom plate 22 and the base substrate 51 . Each supply/exhaust mechanism 55 supplies gas to the accommodation space 20 or exhausts gas from the accommodation space 20 through the through holes 22 h provided in the bottom plate 22 and the through holes 51 h provided in the base substrate 51 .
  • the two supply/exhaust mechanisms 55 provided at the front discharge gas from the accommodation space 20 and the two supply/exhaust mechanisms 55 provided at the rear supply gas to the accommodation space 20 .
  • the number, arrangement, and function of the air supply/exhaust mechanisms 55 may be changed arbitrarily.
  • the air supply/exhaust mechanism 55 has a filter 55a, a spacer 55b, and a sealing member 55c.
  • the filter 55a is a member that allows gas to pass through.
  • the spacer 55b is a member for holding the filter 55a.
  • the spacer 55b is a tubular (cylindrical) member whose upper and lower ends are open, and the filter 55a is accommodated in the internal space of the spacer 55b.
  • the inner peripheral surface of the spacer 55b is provided with a step, and the inner diameter at the upper end of the spacer 55b is smaller than the inner diameter at the lower end.
  • the spacer 55b is provided between the bottom plate 22 and the base substrate 51 so that the internal space of the spacer 55b communicates with the through hole 22h and the through hole 51h.
  • the filter 55a has a filter body 55d and a cover 55e.
  • the filter main body 55d has an annular claw portion 55f at its upper end, and a thread groove is provided on the outer peripheral surface of the lower end of the filter main body 55d.
  • the cover 55e covers the lower end of the filter body 55d and the outer peripheral surface of the lower end.
  • the cover 55e has an annular claw portion 55g on the outer peripheral surface, and a thread groove is provided on the inner peripheral surface of the cover 55e.
  • a method of mounting the air supply/exhaust mechanism 55 will be explained.
  • a lower end of the spacer 55b is fixed to the base substrate 51 by a screw, and an upper end of the spacer 55b is pressed against the lower surface of the bottom plate 22 via a sealing member 55c such as an O-ring.
  • the filter body 55d is inserted into the internal space of the spacer 55b through the through hole 22h.
  • the claw portion 55f is locked by the peripheral portion defining the through hole 22h.
  • the cover 55e is inserted into the internal space of the spacer 55b through the through hole 51h, and the outer peripheral surface of the filter main body 55d and the inner peripheral surface of the cover 55e are screwed together to integrate the filter main body 55d and the cover 55e. be done.
  • the claw portion 55g is engaged with the step on the inner peripheral surface of the spacer 55b. That is, the bottom plate 22 and the spacer 55b are sandwiched between the claw portions 55f and 55g.
  • the outer peripheral surface of the filter main body 55d and the inner peripheral surface of the cover 55e are further screwed together, so that the bottom plate 22 and the spacer 55b are brought into close contact and airtightly fixed.
  • the block material 56 is a member for suppressing deformation of the panel storage container 1 (container body 2).
  • the block material 56 is made of, for example, the resin material described above.
  • the block material 56 is provided on the bottom surface of the base substrate 51 .
  • the block 56 is provided behind the center of the base substrate 51 in the front-rear direction. More specifically, the block member 56 is provided behind the center in the front-rear direction of the two positioning members 54 provided in front and one positioning member 54 provided in the rear.
  • the container body 2 has two blocks 56 .
  • the two blocks 56 are provided at corners formed by the rear edge and the side edges of the base substrate 51, respectively.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view taken along line XI--XI in FIG. 2.
  • FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line XII-XII in FIG. 11.
  • the container body 2 further includes a panel support portion 60.
  • the panel support portion 60 is a portion for supporting the panel.
  • the panel support portion 60 includes a plurality of support portions 61 , a plurality of support portions 62 , a plurality of stoppers 63 , and a plurality of stoppers 64 .
  • the number of support portions 61, support portions 62, stoppers 63, and stoppers 64 is changed according to the number of panels that can be stored in the panel storage container 1.
  • the panel support portion 60 includes one support portion 61, two support portions 62, two stoppers 63, and two stoppers 64 per panel.
  • one supporting portion 61, two supporting portions 62, two stoppers 63, and two stoppers 64 form a storage step for storing one panel.
  • the support part 61 is a part for supporting the central part of the panel in the left-right direction.
  • the support portion 61 has a shaft 61a and a plurality of elastic bodies 61b.
  • the shaft 61a is a columnar (for example, columnar) member extending in the front-rear direction.
  • the rear end of the shaft 61a is fitted into the recess of the support 26d and fixed to the support 26d with a screw.
  • the shaft 61a is made of, for example, a material with high bending rigidity. Examples of constituent materials of the shaft 61a include metals such as stainless steel and aluminum, and carbon fiber reinforced plastics.
  • the elastic body 61b is an annular (for example, annular) member provided on the outer peripheral surface of the shaft 61a.
  • the elastic body 61b is provided to prevent the panel from slipping and improve the positioning accuracy of the panel. From the viewpoint of preventing the panel from slipping, the elastic body 61b may have a higher frictional force than the shaft 61a. From the viewpoint of preventing damage to the panel, the elastic body 61b may have higher elasticity (cushioning properties) than the shaft 61a.
  • the elastic body 61b is made of, for example, a rubber material. Examples of rubber materials include EPDM (ethylene propylene diene rubber), silicon rubber, and fluororubber.
  • the elastic body 61b is, for example, an O-ring.
  • the plurality of elastic bodies 61b are arranged at regular intervals in the extending direction of the shaft 61a. From the viewpoint of improving positioning accuracy, the interval between two elastic bodies 61b adjacent to each other may be in the range of 50 mm to 100
  • the support part 62 is a part for supporting both ends of the panel in the left-right direction.
  • the support portion 62 has a shaft 62a, a plurality of elastic bodies 62b, and a plurality of support bodies 65.
  • the shaft 62a is a columnar (for example, columnar) member extending in the front-rear direction.
  • the rear end of the shaft 62a is fitted into the recess of the post 26e and fixed to the post 26e by screws.
  • the shaft 62a is made of, for example, a material with high bending rigidity. Examples of constituent materials of the shaft 62a include metals such as stainless steel and aluminum, and carbon fiber reinforced plastics.
  • the length of the shaft 62a in the front-rear direction is slightly longer than the length of the panel in the front-rear direction and longer than the length of the shaft 61a in the front-rear direction.
  • the elastic body 62b is an annular (for example, annular) member provided on the outer peripheral surface of the shaft 62a.
  • the elastic body 62b is provided to prevent the panel from slipping and improve the positioning accuracy of the panel.
  • the material and arrangement of the elastic body 62b are the same as those of the elastic body 61b, so detailed description thereof will be omitted.
  • the support 65 is a member for supporting the shaft 62a. As shown in FIG. 12, the support 65 has a mounting portion 65a and a mounting portion 65b.
  • the mounting portion 65a is a portion on which the lateral end portion of the panel is mounted.
  • the mounting portion 65a has a substantially rectangular parallelepiped shape extending in the left-right direction. The left and right ends of the panel are placed on the upper surface of the placing portion 65a.
  • An insertion hole 65c for inserting the shaft 62a is provided at the tip of the mounting portion 65a. The insertion hole 65c penetrates the mounting portion 65a in the front-rear direction.
  • the attachment portion 65b is a portion for attaching the support 65 to the side plate 48.
  • the mounting portion 65b is provided at the proximal end of the mounting portion 65a.
  • the mounting portion 65b protrudes upward from the upper surface of the mounting portion 65a and has an inclined surface 65d that slopes downward from the proximal end of the support 65 toward the distal end.
  • the mounting portion 65b is provided with a screw hole extending in the left-right direction from the end face of the mounting portion 65b.
  • the stopper 63 is a member for preventing the panel from popping out and for determining the position of the front end of the panel.
  • the stopper 63 is made of, for example, the resin material described above.
  • the stopper 63 is provided at the front end of the shaft 62a.
  • the stopper 63 is attached to the shaft 62 a by fitting the front end of the shaft 62 a into an attachment hole provided in the stopper 63 .
  • the stopper 63 has a disk-shaped locking piece 63a having an outer diameter larger than that of the elastic body 62b.
  • the locking piece 63a has an inclined surface that is inclined rearward from the outer peripheral surface toward the center.
  • the stopper 64 is a member for determining the position of the rear end of the panel.
  • the stopper 64 is made of, for example, the resin material described above.
  • the stopper 64 is provided at the rear end of the shaft 62a.
  • the stopper 64 has a block-like shape.
  • the stopper 64 is provided with an insertion hole for inserting the shaft 62a in the front-rear direction. With the shaft 62a inserted through the insertion hole of the stopper 64, the rear surface of the stopper 64 is brought into contact with the front surface of the column 26e, and the stopper 64 is fixed to the column 26e by screws.
  • the stopper 64 has a sloped surface 64a that slopes forward as it goes downward from the top surface.
  • the mounting position where the panel is mounted is defined by the stopper 63, the stopper 64, and the support 65.
  • the stoppers 63 and 64 define the mounting position of the panel in the front-rear direction
  • the four supports 65 provided on the left and right define the mounting position of the panel in the left-right direction.
  • the panel is carried into the storage space 20 by a robot and placed on one of the storage stages.
  • the position of the panel may be slightly shifted due to an error or the like. For example, even if the front end of the panel rides on the inclined surface of the locking piece 63a of the stopper 63, the panel is guided to the mounting position along the inclined surface by its own weight.
  • the panel's own weight guides the panel along the sloped surface 64a to the mounting position.
  • the panel is guided to the mounting position along the inclined surface 65d by its own weight.
  • a convex protective member 29 is provided between the outer peripheral surface 3a of the lid 3 and the inner peripheral surface 25s of the flange 25 facing each other when the lid 3 closes the opening 2a.
  • the protective member 29 is provided on the inner peripheral surface 25s of the flange 25, and protrudes from the inner peripheral surface 25s toward the outer peripheral surface 3a in a state where the lid 3 closes the opening 2a.
  • the outer peripheral surface 3 a of the lid 3 can contact the protective member 29 before contacting the inner peripheral surface 25 s of the flange 25 . Therefore, the possibility that the outer peripheral surface 3a of the lid 3 contacts the inner peripheral surface 25s of the flange 25 can be reduced. Furthermore, since the protective member 29 has a convex shape, compared with the contact area when the outer peripheral surface 3a of the lid 3 and the inner peripheral surface 25s of the flange 25 contact each other, the outer peripheral surface 3a of the lid 3 and the protective member The contact area with 29 is small. As a result, damage to the panel storage container 1 can be suppressed.
  • the protective member 29 Since the protective member 29 is detachably attached to the flange 25, the protective member 29 can be replaced. For example, when the protection member 29 is damaged, the damage to the protection member 29 is repaired by replacing the protection member 29 with a new protection member 29 . Therefore, damage to the panel storage container 1 can be suppressed.
  • the lid body 31 is made of a metal material, and the flange 25 is made of a resin material. Therefore, when the outer peripheral surface 3 a of the lid 3 contacts the inner peripheral surface 25 s of the flange 25 , dust is generated and may enter the panel storage container 1 . According to the panel storage container 1, it is possible to reduce the possibility that the outer peripheral surface 3a of the lid 3 comes into contact with the inner peripheral surface 25s of the flange 25, so that dust generation can be suppressed.
  • the side end portion 21c and the upper end portion 23b are connected by screws without using the connecting plates 44 and 45, the side end portion 21c and the upper end portion 23b are sufficiently in close contact with each other in places where the screws are not provided. likely not.
  • the side end portion 21c and the upper end portion 23b are held between the connecting plate 44 and the connecting plate 45, and the top plate 21 and the side wall 23 are connected.
  • the adhesion between the side end portion 21c and the upper end portion 23b can be improved.
  • the side plate 48 is sandwiched between the upper end portion 23b and the lower end portion 23c. Therefore, since the position of the side plate 48 in the vertical direction can be aligned with high accuracy, the positional accuracy of the support body 65 in the vertical direction can be improved. Furthermore, the lower end portion 23c is fixed to a support member 27c of the base portion 27, and the support member 27c is connected to the support members 27a, 27b, and 27d. Therefore, when the panel is placed on the support 65 , the weight of the panel can be supported by the entire pedestal portion 27 . As a result, the panel can be stably supported.
  • the gaps between the members can be closed, and the possibility of particles entering the accommodation space 20 through these gaps can be reduced.
  • the positioning member 54 is made of a metal material, and the V-shaped surface is subjected to wear-resistant surface treatment. Therefore, the strength can be improved as compared with the case where the positioning member 54 is made of a resin material. Therefore, deformation of the positioning member 54 can be suppressed even when the weight of the panel storage container 1 is large. As a result, the position of the panel storage container 1 can be stabilized, and the positioning accuracy of the panel storage container 1 can be improved. Furthermore, the V-shaped surface of the positioning member 54 is exposed from the through holes 52g, 53g of the mounting plates 52, 53. As shown in FIG.
  • the mounting plates 52 and 53 are made of a resin material, even if the pins run on the rims defining the through holes 52g and 53g, the pins easily slip. Therefore, the pin can be guided into the V-shaped surface and guided into the V-shaped groove.
  • the panel storage container 1 is supported by contacting the tip of a pin of an external device such as a conveying device or processing device to the V-shaped surface of the positioning member 54 .
  • an external device such as a conveying device or processing device
  • two positioning members 54 are provided at the front and one positioning member 54 is provided at the rear.
  • the posterior portion also tends to drop downward.
  • the inclination of the panel storage container 1 is suppressed by the block material 56 abutting against the external device. As a result, deformation of the panel storage container 1 can be suppressed.
  • panel storage container according to the present disclosure is not limited to the above embodiments.
  • a screw is used as an example of the fixing member, but another fixing member may be used instead of the screw.
  • the flange 25 is configured by connecting the upper frame member 25a, the lower frame member 25b, and the pair of side frame members 25c, but the flange 25 may be an integrally molded product.
  • the protective member 29 is provided on the pair of side frame members 25c. It is sufficient if it is provided.
  • the protective member 29 may be provided not on the pair of side frame members 25c, but on the upper frame member 25a and the lower frame member 25b.
  • the protective member 29 may be provided on each of the upper frame member 25a, the lower frame member 25b, and the pair of side frame members 25c.
  • the number and installation positions of the protection members 29 in each frame member can be set arbitrarily.
  • the protection member 29 is detachably attached to the flange 25, but may be fixed to the flange 25.
  • the protective member 29 is a separate member from the flange 25 in the above embodiment, it may be configured integrally with the protective member 29 .
  • the protective member 29 may be provided on the outer peripheral surface 3a of the lid 3 as a separate member from the lid 3.
  • the protection member 29 may be configured integrally with the lid body 3 . In these cases, the protective member 29 protrudes from the outer peripheral surface 3a toward the inner peripheral surface 25s while the lid 3 closes the opening 2a. Therefore, even when the outer peripheral surface 3 a of the lid 3 approaches the inner peripheral surface 25 s of the flange 25 , the outer peripheral surface 3 a of the lid 3 contacts the protective member 29 before contacting the inner peripheral surface 25 s of the flange 25 . more likely to do so. Therefore, damage to the panel storage container 1 can be further suppressed.
  • the protective member 29 may be detachably provided on the lid 3. For example, when the protection member 29 is damaged, the damage to the protection member 29 is repaired by replacing the protection member 29 with a new protection member 29 . Therefore, damage to the panel storage container 1 can be suppressed.
  • the method of connecting each member of the container body 2 may be different from the above embodiment.
  • the container body 2 is configured by combining a plurality of parts, but it may be an integrally molded product.
  • the panel support portion 60 may have a configuration different from that of the above embodiment.
  • SYMBOLS 1 Panel storage container, 2... Container main body, 2a... Opening, 3... Lid body, 3a... Outer peripheral surface, 25... Flange, 25a... Upper frame material (frame part), 25b... Lower frame material (frame part), 25c .

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Rigid Containers With Two Or More Constituent Elements (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Packages (AREA)

Abstract

パネル収納容器は、開口を画定するフランジを有し、複数のパネルを収納するための容器本体と、開口を閉塞するための蓋体と、蓋体が開口を閉塞している状態で互いに向かい合う蓋体の外周面とフランジの内周面との間に設けられた凸状の保護部材と、を備える。

Description

パネル収納容器
　本開示は、パネル収納容器に関する。
　液晶パネル用ガラス基板等のパネルを扱う製造工程において、矩形形状のパネルを製造装置から別工程の製造装置に移送する際、及びパネルを一時的に保管する際に、複数のパネルを収納するパネル収納容器が用いられる。例えば、特許文献１には、パネルを収納する容器本体と、容器本体に設けられた開口部を開閉自在に覆う蓋体と、を備えるパネル収納容器が記載されている。
国際公開第２０１９／１３８９８２号
　蓋体が開閉される際に、蓋体の周縁が容器本体の開口部を画定する開口縁に接触することがある。このとき、蓋体及び容器本体の少なくとも一方が損傷するおそれがある。
　本開示は、損傷を抑制可能なパネル収納容器を説明する。
　本開示の一側面に係るパネル収納容器は、開口を画定するフランジを有し、複数のパネルを収納するための容器本体と、開口を閉塞するための蓋体と、蓋体が開口を閉塞している状態で互いに向かい合う蓋体の外周面とフランジの内周面との間に設けられた凸状の保護部材と、を備える。
　このパネル収納容器においては、蓋体が開口を閉塞している状態で互いに向かい合う蓋体の外周面とフランジの内周面との間に凸状の保護部材が設けられている。蓋体がフランジに取り付けられる際、又は蓋体がフランジから取り外される際に、蓋体の傾き等に起因して、蓋体の外周面がフランジの内周面に接近することがある。このような場合、蓋体の外周面は、フランジの内周面に接触する前に、保護部材に接触し得る。したがって、蓋体の外周面がフランジの内周面に接触する可能性を低減することができる。さらに、保護部材は凸状であるので、蓋体の外周面とフランジの内周面とが接触した場合の接触面積と比較して、蓋体の外周面と保護部材との接触面積は小さくなる。その結果、パネル収納容器の損傷を抑制することが可能となる。
　保護部材は、フランジの内周面に設けられてもよく、蓋体が開口を閉塞している状態でフランジの内周面から蓋体の外周面に向けて突出してもよい。保護部材がフランジの内周面から蓋体の外周面に向けて突出しているので、蓋体の外周面がフランジの内周面に接近した場合でも、蓋体の外周面が、フランジの内周面に接触する前に、保護部材に接触する可能性が高まる。したがって、パネル収納容器の損傷をさらに抑制することが可能となる。
　保護部材は、フランジに着脱可能に設けられてもよい。この場合、保護部材を交換することができる。例えば、保護部材が損傷した場合に、保護部材を新しい保護部材に交換することにより、パネル収納容器の損傷を抑制することが可能となる。
　保護部材は、蓋体の外周面に設けられ、蓋体が開口を閉塞している状態で蓋体の外周面からフランジの内周面に向けて突出してもよい。保護部材が蓋体の外周面からフランジの内周面に向けて突出しているので、蓋体の外周面がフランジの内周面に接近した場合でも、蓋体の外周面が、フランジの内周面に接触する前に、保護部材に接触する可能性が高まる。したがって、パネル収納容器の損傷をさらに抑制することが可能となる。
　保護部材は、蓋体に着脱可能に設けられてもよい。この場合、保護部材を交換することができる。例えば、保護部材が損傷した場合に、保護部材を新しい保護部材に交換することにより、パネル収納容器の損傷を抑制することが可能となる。
　フランジは、矩形状の枠体であってもよい。保護部材は、第１保護部材と、第２保護部材と、を含んでもよい。第１保護部材及び第２保護部材は、枠体の一辺を成す枠部の両端における内周面と蓋体の外周面との間に設けられてもよい。例えば、蓋体が傾いた場合、枠部の両端における内周面に向かって蓋体の外周面が接近する可能性が高い。上記構成によれば、いずれの端部における内周面に向かって蓋体の外周面が接近したとしても、蓋体の外周面は、フランジの内周面に接触する前に、第１保護部材又は第２保護部材に接触し得る。したがって、パネル収納容器の損傷をより一層抑制することが可能となる。
　蓋体は、外周面を含む蓋本体を備えてもよい。蓋本体は、金属材料で構成されてもよい。フランジは、樹脂材料で構成されてもよい。この場合、蓋体の外周面がフランジの内周面に接触すると、粉塵が発生し、パネル収納容器内に混入するおそれがある。上記パネル収納容器によれば、蓋体の外周面がフランジの内周面に接触する可能性を低減することができるので、粉塵の発生を抑制することが可能となる。
　本開示によれば、損傷を抑制することができる。
図１は、一実施形態に係るパネル収納容器の分解斜視図である。 図２は、図１のパネル収納容器の背面斜視図である。 図３は、図１の容器本体の一部の分解斜視図である。 図４は、フランジの取付を説明するための図である。 図５は、カバー部材を説明するための図である。 図６は、図１のパネル収納容器の部分拡大図である。 図７は、図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。 図８は、図１のパネル収納容器の底面図である。 図９は、図１の容器本体の一部の分解斜視図である。 図１０は、給排気機構の周辺の断面図である。 図１１は、図２のＸＩ－ＸＩ線に沿った断面図である。 図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。
　以下、図面を参照しながら本開示の実施形態が詳細に説明される。なお、図面の説明において同一要素には同一符号が付され、重複する説明は省略される。各図には、ＸＹＺ座標系が示される。Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と交差（ここでは、直交）する方向である。一例として、Ｘ軸方向は、左右方向（幅方向）であり、Ｙ軸方向は、前後方向（奥行方向）であり、Ｚ軸方向は、上下方向（高さ方向）である。説明の便宜上、「前」、「後」、「上」、「下」、「左」、及び「右」の用語が用いられるが、これらの方向に限定されない。
　図１及び図２を参照して、一実施形態に係るパネル収納容器を説明する。図１は、一実施形態に係るパネル収納容器の分解斜視図である。図２は、図１のパネル収納容器の背面斜視図である。図１及び図２に示されるパネル収納容器１は、複数のパネルを収納するための容器である。パネル収納容器１は、例えば、ＳＥＭＩ（Semiconductor　Equipment　and　Materials　International）規格に準拠している。パネルの例としては、液晶パネル用のガラス基板、及び電子部品を搭載したパネルが挙げられる。パネルは、矩形形状を有する。パネルのサイズの例としては、５１０ｍｍ×５１５ｍｍ及び６００ｍｍ×６００ｍｍが挙げられる。パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数は、任意に定められており、例えば、６枚でもよく、１２枚でもよい。
　パネル収納容器１は、例えば、電子部品を製造する製造装置に使用される。電子部品は、例えば、ガラス板及びステンレス板といった大型のキャリアパネル上に多数の電子部品を搭載する工程、これらの電子部品をエポキシ樹脂等で封止する工程、封止された電子部品をパネル形態でキャリアパネルから剥がす工程、及びパネル形態の電子部品を個別に切り出す工程等を経て製造される。パネル収納容器１は、これらの工程間でパネルを移送するために用いられる。
　パネル収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、を備えている。
　容器本体２は、正面（前面）が開放された直方体形状の容器である。言い換えると、容器本体２は、前面に開口２ａが設けられたフロントオープンボックス型の容器である。容器本体２は、複数のパネルを収納する。開口２ａを介してパネルが容器本体２に出し入れされる。容器本体２の詳細は後述する。
　蓋体３は、容器本体２の開口２ａを閉塞するための部材である。蓋体３は、ガスケット等の封止部材３４（図７参照）を介して容器本体２の開口２ａを気密に閉塞する。蓋体３は、開口２ａを画定するフランジ２５に着脱自在に取り付けられる。蓋体３は、蓋本体３１と、施錠機構３２と、を備えている。蓋本体３１は、蓋体３の本体部分である。蓋本体３１は、矩形状の板材であり、蓋体３の外周面３ａを含む。外周面３ａは、蓋体３（蓋本体３１）の周縁に沿った面である。蓋本体３１の構成材料の比重は、フランジ２５の構成材料の比重よりも大きく、例えば、１．５以上である。蓋本体３１は、例えば、金属材料で構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム、及びマグネシウム合金が挙げられる。蓋本体３１の前面には、鍵穴３３が設けられている。鍵穴３３には、不図示の鍵が挿入される。
　施錠機構３２は、鍵穴３３に挿入された鍵が操作されることによって、蓋体３を施錠又は解錠する。施錠機構３２は、不図示のラッチを備えている。蓋体３がフランジ２５に取り付けられた状態で、鍵の操作によりラッチがフランジ２５に設けられた施錠穴２５ｈに嵌入されることによって蓋体３が施錠される。蓋体３が施錠されている状態で、鍵の操作によりラッチが施錠穴２５ｈから引き抜かれることよって蓋体３が解錠される。
　容器本体２及び蓋体３は、金属材料又は樹脂材料で成形される複数の部品を組み合わせることによって構成される。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂の例としては、熱可塑性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂の例としては、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー、ポリメタクリル酸メチル等のアクリル樹脂、及びアクリロニトリルブタジエンスチレン共重合体が挙げられる。樹脂材料の成形材料に含まれる樹脂として、これらのアロイが用いられてもよい。
　これらの樹脂には、導電物質、及び各種帯電防止剤が添加されてもよい。導電物質は、例えば、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、又は導電性ポリマー等からなる。帯電防止剤としては、アニオン系、カチオン系、及び非イオン系等の帯電防止剤が用いられ得る。ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、及びヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されてもよい。剛性を向上させるガラス繊維又は炭素繊維等も選択的に添加されてもよい。
　次に、図３～図５を更に参照して、容器本体２を詳細に説明する。図３は、図１の容器本体の一部の分解斜視図である。図４は、フランジの取付を説明するための図である。図５は、カバー部材を説明するための図である。図３～図５に示されるように、容器本体２は、天板２１と、底板２２と、一対の側壁２３と、背面壁２４と、フランジ２５と、枠体２６と、台座部２７と、一対のレール部材２８と、連結プレート４１～４７と、サイドプレート４８と、一対のカバー部材Ｃ１と、一対のカバー部材Ｃ２と、一対のカバー部材Ｃ３と、を備えている。
　天板２１、底板２２、側壁２３、及び背面壁２４は、略矩形状の板材である。天板２１と底板２２とは、上下方向において互いに向かい合っており、略平行に配置されている。一対の側壁２３は、左右方向において互いに向かい合っており、略平行に配置されている。左側の側壁２３は、天板２１の左端と底板２２の左端とを連結している。右側の側壁２３は、天板２１の右端と底板２２の右端とを連結している。背面壁２４は、天板２１の後端と底板２２の後端とを連結するとともに、一対の側壁２３の後端を連結している。天板２１、一対の側壁２３、底板２２、及び背面壁２４によって、収容空間２０が画定される。
　天板２１、底板２２、及び側壁２３は、例えば、金属材料によって構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム及びステンレスが挙げられる。背面壁２４は、例えば、容器本体２の外部から収容空間２０を目視可能な透明の樹脂材料によって構成される。背面壁２４の一部が透明の樹脂材料で構成されてもよい。透明な樹脂材料の例としては、アクリル樹脂、ポリカーボネート、塩化ビニル樹脂、及びシクロオレフィンポリマーが挙げられる。
　天板２１は、前端部２１ａと、後端部２１ｂと、一対の側端部２１ｃと、を有している。前端部２１ａは、天板２１の前端縁に沿った部分である。後端部２１ｂは、天板２１の後端縁に沿った部分である。一対の側端部２１ｃは、天板２１の左右の側端縁に沿った部分である。前端部２１ａ、及び一対の側端部２１ｃには、ネジを挿通するための複数の挿通孔が設けられている。
　底板２２は、前端部２２ａと、後端部２２ｂと、一対の側端部２２ｃと、を有している。前端部２２ａは、底板２２の前端縁に沿った部分である。後端部２２ｂは、底板２２の後端縁に沿った部分である。一対の側端部２２ｃは、底板２２の左右の側端縁に沿った部分である。後端部２２ｂ、及び一対の側端部２２ｃには、ネジを挿通するための複数の挿通孔が設けられている。底板２２には、上下方向に底板２２を貫通する複数（本実施形態では４つ）の貫通孔２２ｈが設けられている。貫通孔２２ｈには、後述の給排気機構５５が嵌入される。
　各側壁２３は、前端及び上下端が容器本体２の外側に折り返された形状を有する。側壁２３は、本体部２３ａと、上端部２３ｂと、下端部２３ｃと、前端部２３ｄと、を有している。本体部２３ａは、矩形形状を有している。本体部２３ａは、後端部２３ｅを有している。後端部２３ｅは、本体部２３ａの後端縁に沿った部分である。上端部２３ｂは、本体部２３ａの上端縁に沿って延び、本体部２３ａから容器本体２の外側に向かって左右方向に立設されている。下端部２３ｃは、本体部２３ａの下端縁に沿って延び、本体部２３ａから容器本体２の外側に向かって左右方向に立設されている。前端部２３ｄは、本体部２３ａの前端縁に沿って延び、本体部２３ａから容器本体２の外側に向かって左右方向に立設されている。上端部２３ｂ、下端部２３ｃ、前端部２３ｄ、及び後端部２３ｅには、ネジを挿通するための複数の挿通孔が設けられている。本体部２３ａには、ネジを挿通するための複数の挿通孔が設けられている。本体部２３ａの挿通孔は、後述の支持体６５を取り付けるために用いられる。
　背面壁２４は、上端部２４ａと、下端部２４ｂと、一対の側端部２４ｃと、を有している。上端部２４ａは、背面壁２４の上端縁に沿った部分である。下端部２４ｂは、背面壁２４の下端縁に沿った部分である。一対の側端部２４ｃは、背面壁２４の左右の側端縁に沿った部分である。下端部２４ｂには、ネジを挿通するための複数の挿通孔が設けられている。
　フランジ２５は、矩形状の枠体であって、天板２１の前端、底板２２の前端、及び一対の側壁２３の前端に亘って設けられている。フランジ２５によって、開口２ａが画定される。フランジ２５の内周面には、前後方向に段差が設けられており、フランジ２５の前端における内周は後端における内周よりも長い。蓋体３が封止部材３４を介して段差に載置されることによって、開口２ａが蓋体３によって閉塞される。このとき、フランジ２５の段差よりも前の前部分は、蓋体３を囲んでいる。言い換えると、蓋体３の外周面３ａは、全周に亘ってフランジ２５の前部分の内周面２５ｓと離間して向かい合っている。フランジ２５は、例えば、上述の樹脂材料によって構成される。フランジ２５は、上枠材２５ａと、下枠材２５ｂと、一対の側枠材２５ｃと、を有している。上枠材２５ａ、下枠材２５ｂ、及び側枠材２５ｃのそれぞれは、枠体の一辺を成す枠部である。
　上枠材２５ａ及び下枠材２５ｂは、左右方向に延びる部材である。上枠材２５ａ及び下枠材２５ｂは、上下方向において互いに離間するとともに、略平行に配置されている。一対の側枠材２５ｃは、上下方向に延びる部材である。一対の側枠材２５ｃは、左右方向において互いに離間するとともに、略平行に配置されている。上枠材２５ａの左端と下枠材２５ｂの左端とが左側の側枠材２５ｃによって連結され、上枠材２５ａの右端と下枠材２５ｂの右端とが右側の側枠材２５ｃによって連結されている。上枠材２５ａ及び下枠材２５ｂのそれぞれには、左右方向に離間して配列された２つの施錠穴２５ｈが設けられている。上枠材２５ａの施錠穴２５ｈと下枠材２５ｂの施錠穴２５ｈとは上下方向において互いに向かい合う位置に設けられている。
　枠体２６は、天板２１、底板２２、一対の側壁２３、及び背面壁２４を固定するために用いられる。枠体２６は、例えば、金属材料によって構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム、及びステンレスが挙げられる。枠体２６は、背面壁２４の前面に設けられる。枠体２６は、上枠材２６ａと、下枠材２６ｂと、一対の側枠材２６ｃと、支柱２６ｄと、一対の支柱２６ｅと、を有している。上枠材２６ａ及び下枠材２６ｂは、左右方向に延びる柱状部材である。上枠材２６ａ及び下枠材２６ｂは、上下方向において互いに離間するとともに、略平行に配置されている。
　一対の側枠材２６ｃは、上下方向に延びる柱状部材である。一対の側枠材２６ｃは、左右方向において互いに離間するとともに、略平行に配置されている。上枠材２６ａ及び下枠材２６ｂの左端は、ネジによって左側の側枠材２６ｃに固定されている。上枠材２６ａ及び下枠材２６ｂの右端は、ネジによって右側の側枠材２６ｃに固定されている。つまり、上枠材２６ａの左端と下枠材２６ｂの左端とが左側の側枠材２６ｃによって連結され、上枠材２６ａの右端と下枠材２６ｂの右端とが右側の側枠材２６ｃによって連結されている。
　支柱２６ｄ及び一対の支柱２６ｅは、上下方向に延びる柱状部材である。一方の支柱２６ｅ、支柱２６ｄ、及び他方の支柱２６ｅは、左右方向においてその順に配列され、互いに略平行に配置されている。支柱２６ｄ及び一対の支柱２６ｅの上端は、ネジによって上枠材２６ａに固定されている。支柱２６ｄ及び一対の支柱２６ｅの下端は、ネジによって下枠材２６ｂに固定されている。支柱２６ｄは、枠体２６の左右方向における中心に設けられ、一対の支柱２６ｅは、枠体２６の左右方向における両端近傍に設けられる。支柱２６ｄには、後述するシャフト６１ａを取り付けるための複数の凹部が設けられている。これらの凹部は、支柱２６ｄの前面から後方に向けて窪んでいる。支柱２６ｅには、後述するシャフト６２ａを取り付けるための複数の凹部が設けられている。これらの凹部は、支柱２６ｅの前面から後方に向けて窪んでいる。
　台座部２７は、容器本体２のベースとなる部分である。台座部２７は、例えば、金属材料によって構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム及びステンレスが挙げられる。台座部２７は、底板２２の下面に設けられる。台座部２７は、支持部材２７ａと、支持部材２７ｂと、一対の支持部材２７ｃと、複数（本実施形態では３本）の支持部材２７ｄと、を有している。支持部材２７ａ及び支持部材２７ｂは、左右方向に延びる柱状部材である。支持部材２７ａ及び支持部材２７ｂは、前後方向において互いに離間するとともに、略平行に配置されている。
　一対の支持部材２７ｃは、前後方向に延びるＬ字状の部材である。一対の支持部材２７ｃは、左右方向において互いに離間するとともに、略平行に配置されている。各支持部材２７ｃは、第１部分２７ｅと、第２部分２７ｆと、を有している。第１部分２７ｅは、底板２２（ＸＹ平面）に沿った板状の部分であり、前後方向に延びている。第２部分２７ｆは、第１部分２７ｅの左右方向における内側の縁に沿って前後方向に延びており、当該縁から下方に向けて立設されている。第１部分２７ｅ及び第２部分２７ｆは、Ｌ字形状を成している。
　支持部材２７ａ及び支持部材２７ｂの左端は、ネジによって左側の支持部材２７ｃの第２部分２７ｆに固定されている。支持部材２７ａ及び支持部材２７ｂの右端は、ネジによって右側の支持部材２７ｃの第２部分２７ｆに固定されている。つまり、支持部材２７ａの左端と支持部材２７ｂの左端とが左側の支持部材２７ｃによって連結され、支持部材２７ａの右端と支持部材２７ｂの右端とが右側の支持部材２７ｃによって連結されている。
　複数の支持部材２７ｄは、左右方向に延びる柱状部材である。複数の支持部材２７ｄは、前後方向に配列され、互いに略平行に配置されている。各支持部材２７ｄの左端は、ネジによって左側の支持部材２７ｃに固定されている。各支持部材２７ｄの右端は、ネジによって右側の支持部材２７ｃに固定されている。
　一対のレール部材２８は、容器本体２を載置するための部分である。一対のレール部材２８は、例えば、パネル収納容器１がコンベアによって搬送される際にコンベアに載置される。各レール部材２８は、前後方向に延びる板状部材である。レール部材２８は、例えば、上述の樹脂材料によって構成されている。各レール部材２８は、支持部材２７ｃの下に設けられ、連結部材４９によって支持部材２７ｃに連結されている。連結部材４９は、下端に雄ネジが設けられ、上端に雌ネジ（ネジ穴）が設けられた部材である。支持部材２７ｃ及びレール部材２８は、互いに連結されることにより、左右方向の外側が開放されたＵ字形状を成している。
　連結プレート４１～４７は、天板２１、底板２２、側壁２３、背面壁２４、及びフランジ２５を連結するための部材である。連結プレート４１～４７は、長尺の板状部材である。連結プレート４１～４７は、例えば、金属材料によって構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム、及びステンレスが挙げられる。連結プレート４１～４４，４７には、ネジを挿通するための挿通孔が設けられている。連結プレート４５，４６には、ネジ穴が設けられている。
　サイドプレート４８は、後述の支持体６５を取り付けるための部材である。サイドプレート４８は、上下方向に延びる板状部材である。サイドプレート４８は、例えば、金属材料によって構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム、及びステンレスが挙げられる。サイドプレート４８は、側壁２３の本体部２３ａの外面に設けられる。本実施形態では、各側壁２３に２つのサイドプレート４８が設けられる。２つのサイドプレート４８は、前後方向に配列され、互いに略平行に配置されている。１つのサイドプレート４８は、側壁２３の前後方向における中心付近に設けられ、もう１つのサイドプレート４８は、側壁２３の前後方向における前端近傍に設けられる。各サイドプレート４８の上端は、ネジによって上端部２３ｂに固定されている。各サイドプレート４８の下端は、ネジによって下端部２３ｃに固定されている。各サイドプレート４８には、ネジを挿通するための挿通孔が設けられている。
　カバー部材Ｃ１～Ｃ３は、収容空間２０へのパーティクル（粒子）の侵入を防止するための部材である。カバー部材Ｃ１～Ｃ３は、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。一対のカバー部材Ｃ１は、天板２１と側壁２３とフランジ２５とによって形成される角部に設けられる。一対のカバー部材Ｃ２は、天板２１と側壁２３と背面壁２４とによって形成される角部に設けられる。一対のカバー部材Ｃ３は、底板２２と側壁２３と背面壁２４とによって形成される角部に設けられる。
　続いて、容器本体２の各部材間の連結方法を説明する。
　下枠材２６ｂの後面と背面壁２４の下端部２４ｂにおける内面とが前後方向に接触するように、枠体２６に背面壁２４が重ね合わせられる。さらに、下端部２４ｂの外面に連結プレート４１が重ね合わせられる。言い換えると、下端部２４ｂは連結プレート４１と下枠材２６ｂとに挟まれている。この状態で、連結プレート４１の挿通孔、及び下端部２４ｂの挿通孔にネジが挿通され、下枠材２６ｂのネジ穴にネジが螺合される。これにより、連結プレート４１と下枠材２６ｂとによって下端部２４ｂが挟持され、枠体２６に背面壁２４が固定される。
　天板２１の後端部２１ｂが上枠材２６ａの上面に載置され、背面壁２４の上端部２４ａが上枠材２６ａの後面に載置され、後端部２１ｂ及び上端部２４ａを覆うように、連結プレート４２が設けられる。連結プレート４２は、上枠材２６ａの外形に沿った形状を有している。具体的には、連結プレート４２は、後端部２１ｂを覆う部分と、上端部２４ａを覆う部分と、これらの部分を連結する連結部分と、を有している。連結プレート４２の連結部分に設けられた挿通孔を介して、ネジが上枠材２６ａに設けられたネジ穴に螺合される。これにより、連結プレート４２と上枠材２６ａとによって後端部２１ｂ及び上端部２４ａが挟持され、枠体２６に天板２１及び背面壁２４が固定される。その結果、天板２１と背面壁２４とが連結される。
　側壁２３の後端部２３ｅが側枠材２６ｃの側面に載置され、背面壁２４の側端部２４ｃが側枠材２６ｃの後面に載置され、後端部２３ｅ及び側端部２４ｃを覆うように、連結プレート４３が設けられる。連結プレート４３は、側枠材２６ｃの外形に沿った形状を有している。具体的には、連結プレート４３は、後端部２３ｅを覆う部分と、側端部２４ｃを覆う部分と、これらの部分を連結する連結部分と、を有している。連結プレート４３の連結部分に設けられた挿通孔を介して、ネジが側枠材２６ｃに設けられたネジ穴に螺合される。さらに、連結プレート４３の後端部２３ｅを覆う部分に設けられた挿通孔、及び後端部２３ｅに設けられた挿通孔にネジが挿通され、側枠材２６ｃの側面に設けられたネジ穴にネジが螺合される。これにより、連結プレート４３と側枠材２６ｃとによって後端部２３ｅ及び側端部２４ｃが挟持され、枠体２６に側壁２３及び背面壁２４が固定される。その結果、側壁２３と背面壁２４とが連結される。
　天板２１の側端部２１ｃが側壁２３の上端部２３ｂの上面に載置され、側端部２１ｃの上面に連結プレート４４が重ね合わせられる。上端部２３ｂの下面には、前後方向に延びる２枚の連結プレート４５が、前後方向に離間して設けられている。言い換えると、側端部２１ｃと上端部２３ｂとは上下方向において互いに重ね合わせられ、側端部２１ｃ及び上端部２３ｂは、連結プレート４４と連結プレート４５とによって上下方向に挟まれている。この状態で、連結プレート４４の挿通孔、側端部２１ｃの挿通孔、及び上端部２３ｂの挿通孔に順にネジが挿通され、連結プレート４５のネジ穴にネジが螺合される。これにより、連結プレート４４と連結プレート４５とによって側端部２１ｃ及び上端部２３ｂが挟持され、天板２１と側壁２３とが連結される。
　フランジ２５の上枠材２５ａの後端部が天板２１の前端部２１ａの上面に載置され、前端部２１ａの下面に連結プレート４６が重ね合わせられる。言い換えると、前端部２１ａは、上枠材２５ａと連結プレート４６とによって上下方向に挟まれている。この状態で、上枠材２５ａの挿通孔、及び前端部２１ａの挿通孔にネジが挿通され、連結プレート４６のネジ穴にネジが螺合される。これにより、上枠材２５ａと連結プレート４６とによって前端部２１ａが挟持され、天板２１とフランジ２５とが連結される。
　フランジ２５の側枠材２５ｃの後面が側壁２３の前端部２３ｄの前面に重ね合わせられ、前端部２３ｄの後面に連結プレート４７が重ね合わせられる。言い換えると、前端部２３ｄは、側枠材２５ｃと連結プレート４７とによって前後方向に挟まれている。この状態で、連結プレート４７の挿通孔、及び前端部２３ｄの挿通孔にネジが挿通され、側枠材２５ｃのネジ穴にネジが螺合される。これにより、側枠材２５ｃと連結プレート４７とによって前端部２３ｄが挟持され、側壁２３とフランジ２５とが連結される。
　枠体２６の下枠材２６ｂの下面と底板２２の後端部２２ｂの上面とが上下方向に接触するように、下枠材２６ｂに後端部２２ｂが重ね合わせられる。さらに、後端部２２ｂの下面に台座部２７の支持部材２７ｂが重ね合わせられる。言い換えると、後端部２２ｂは下枠材２６ｂと支持部材２７ｂとに挟まれている。この状態で、下枠材２６ｂの挿通孔、及び後端部２２ｂの挿通孔にネジが挿通され、支持部材２７ｂのネジ穴にネジが螺合される。これにより、下枠材２６ｂと支持部材２７ｂとによって後端部２２ｂが挟持され、底板２２が、枠体２６及び台座部２７に固定される。
　レール部材２８に設けられたネジ穴に連結部材４９の雄ネジが螺入され、連結部材４９のネジ穴と支持部材２７ｃの第１部分２７ｅに設けられた挿通孔とが重なるようにレール部材２８上に支持部材２７ｃが配置される。支持部材２７ｃの上面に底板２２の側端部２２ｃが載置され、さらに側端部２２ｃの上面と側壁２３の下端部２３ｃの下面とが上下方向において接触するように、側端部２２ｃに下端部２３ｃが重ね合わせられる。この状態で、下端部２３ｃの挿通孔、側端部２２ｃの挿通孔、及び第１部分２７ｅの挿通孔にネジが挿通され、連結部材４９のネジ穴にネジが螺合される。これにより、下端部２３ｃと支持部材２７ｃとによって側端部２２ｃが挟持され、底板２２及び側壁２３が台座部２７に固定される。その結果、底板２２と側壁２３とが連結され、台座部２７とレール部材２８とが連結される。
　なお、上枠材２５ａの後端部の左右方向における長さは、前端部２１ａ及び連結プレート４６の左右方向の長さよりも短い。したがって、前端部２１ａの左右方向における両端は、上枠材２５ａの後端部に覆われていない。前端部２１ａの左右方向における両端上にカバー部材Ｃ１が載置される。つまり、前端部２１ａの左右方向における両端は、カバー部材Ｃ１と連結プレート４６とによって挟まれている。この状態で、カバー部材Ｃ１の挿通孔、及び前端部２１ａの挿通孔にネジが挿通され、連結プレート４６のネジ穴にネジが螺合される。これにより、カバー部材Ｃ１が取り付けられる。
　連結プレート４４及び連結プレート４５は、側端部２１ｃの後端及び上端部２３ｂの後端まで延びていない。側端部２１ｃの後端と上端部２３ｂの後端とを挟むようにカバー部材Ｃ２が装着される。この状態で、カバー部材Ｃ２の上部分に設けられた挿通孔、側端部２１ｃの挿通孔、及び上端部２３ｂの挿通孔にネジが挿通され、カバー部材Ｃ２の下部分に設けられたネジ穴にネジが螺合される。これにより、カバー部材Ｃ２が取り付けられる。
　連結プレート４１の左右方向の長さは下端部２４ｂの左右方向の長さよりも短い。したがって、下端部２４ｂの左右方向における両端は、連結プレート４１に覆われていない。下端部２３ｃの後端と第１部分２７ｅの後端とを挟むとともに、下端部２４ｂの左右方向における両端を覆うようにカバー部材Ｃ３が装着される。そして、ネジによってカバー部材Ｃ３が取り付けられる。
　底板２２及び支持部材２７ｃは、側壁２３よりも前方に延びている。つまり、側端部２２ｃの前端は、下端部２３ｃに覆われていない。側端部２２ｃの前端は、フランジ２５の側枠材２５ｃと第１部分２７ｅの前端とによって挟まれている。この状態で、第１部分２７ｅの挿通孔、及び側端部２２ｃの挿通孔にネジが挿通され、側枠材２５ｃの下面に設けられたネジ穴にネジが螺合される。これにより、底板２２及びフランジ２５が台座部２７に固定されるとともに、底板２２とフランジ２５とが連結される。なお、底板２２の前端部２２ａは、フランジ２５の下枠材２５ｂの後面に設けられた溝に挿入されている。
　次に、図６及び図７を参照して、フランジ２５と蓋体３との関係を説明する。図６は、図１のパネル収納容器の部分拡大図である。図７は、図６のＶＩＩ－ＶＩＩ線に沿った断面図である。図６及び図７に示されるように、容器本体２は、複数の保護部材２９を更に備えている。
　保護部材２９は、フランジ２５を保護するための凸状の部材である。保護部材２９は、例えば、上述の樹脂材料によって構成される。保護部材２９の構成材料は、フランジ２５の構成材料と同じでもよく、異なっていてもよい。保護部材２９は、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で、互いに向かい合う蓋体３の外周面３ａとフランジ２５の内周面２５ｓとの間に設けられる。本実施形態では、保護部材２９は、フランジ２５の内周面２５ｓに設けられており、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で、内周面２５ｓから外周面３ａに向けて突出している。より具体的には、保護部材２９は、側枠材２５ｃにおける内周面２５ｓに設けられており、蓋体３の側端部における外周面３ａに向けて突出している。各側枠材２５ｃに２つの保護部材２９（第１保護部材、第２保護部材）が設けられており、２つの保護部材２９は、側枠材２５ｃの上端及び下端における内周面２５ｓに設けられている。
　保護部材２９は、フランジ２５に着脱可能に設けられている。保護部材２９は、受け部２９ａと、軸部２９ｂと、を有している。受け部２９ａは、フランジ２５の内周面２５ｓから外周面３ａに向けて突出している部分である。受け部２９ａは、例えば、円板形状を有している。受け部２９ａは、外周面３ａと向かい合う当接面２９ｃを有している。当接面２９ｃは、蓋体３が当接し得る面である。当接面２９ｃの面積は、側枠材２５ｃにおける内周面２５ｓの面積よりも小さい。当接面２９ｃと外周面３ａとは、設計上、離れている。当接面２９ｃと外周面３ａとの距離Ｄは、例えば、０．５ｍｍ程度に設計されている。
　軸部２９ｂは、保護部材２９をフランジ２５に取り付けるための部分である。軸部２９ｂは、受け部２９ａの当接面２９ｃとは反対側の面に設けられ、当接面２９ｃと反対方向に延びている。軸部２９ｂは、側枠材２５ｃにおける内周面２５ｓに設けられた取付穴２５ｔに嵌合されている。例えば、軸部２９ｂが取付穴２５ｔに圧入されることによって、保護部材２９がフランジ２５（側枠材２５ｃ）に取り付けられる。軸部２９ｂが接着材によって取付穴２５ｔに接合されることによって、保護部材２９がフランジ２５（側枠材２５ｃ）に取り付けられてもよい。軸部２９ｂが雄ネジであり、取付穴２５ｔが雌ネジであってもよい。この場合、軸部２９ｂが取付穴２５ｔに螺合されることによって、保護部材２９がフランジ２５（側枠材２５ｃ）に取り付けられる。軸部２９ｂがスナップフィットを用いて取付穴２５ｔに固定されることによって、保護部材２９がフランジ２５（側枠材２５ｃ）に取り付けられてもよい。
　次に、図８～図１０を参照して、容器本体２の底部に設けられる部材を説明する。図８は、図１のパネル収納容器の底面図である。図９は、図１の容器本体の一部の分解斜視図である。図１０は、給排気機構の周辺の断面図である。なお、図８及び図９では、説明の便宜上、ベース基板５１等を台座部２７に取り付けるためのネジの図示を省略している。図８及び図９に示されるように、容器本体２は、ベース基板５１と、取付プレート５２と、取付プレート５３と、位置決め部材５４と、給排気機構５５と、ブロック材５６と、を更に備えている。
　ベース基板５１は、位置決め部材５４、給排気機構５５、及びブロック材５６を取り付けるための基板である。ベース基板５１は、矩形状の板材である。ベース基板５１は、台座部２７の下方に設けられ、支持部材２７ａ及び支持部材２７ｄにネジによって固定されている。ベース基板５１は、支持部材２７ａ及び３つの支持部材２７ｄに亘って設けられ、後端部２２ｂまでは延びていない。つまり、ベース基板５１は、底板２２の前端部２２ａ寄りに配置されている。ベース基板５１の前端部５１ａは、フランジ２５の下枠材２５ｂの下に位置する。前端部５１ａには、ネジを挿通するための挿通孔が設けられている。前端部５１ａの挿通孔にネジが挿通され、下枠材２５ｂのネジ穴にネジが螺合される。
　ベース基板５１には、位置決め部材５４を取り付けるための貫通孔５１ｇと、給排気機構５５を取り付けるための貫通孔５１ｈと、が設けられている。本実施形態では、３つの貫通孔５１ｇと、４つの貫通孔５１ｈと、が設けられている。３つの貫通孔５１ｇは、ベース基板５１の中心から放射状に延びている。ベース基板５１の前部分の左右方向における両端付近に２つの貫通孔５１ｇが設けられ、ベース基板５１の後部分の左右方向における中心付近に１つの貫通孔５１ｇが設けられている。４つの貫通孔５１ｈは、ベース基板５１の四隅付近に設けられている。ベース基板５１の後端部には、ＲＦ－ＩＤ（Radio　Frequency　Identification）タグを取り付けるための貫通孔が更に設けられている。
　取付プレート５２，５３は、位置決め部材５４をベース基板５１に取り付けるための部材である。取付プレート５２，５３は、板状部材である。取付プレート５２，５３は、例えば、上述の樹脂材料によって構成されている。取付プレート５２は、ベース基板５１の前部分の下面に設けられる。取付プレート５２には、位置決め部材５４を露出させるための２つの貫通孔５２ｇが設けられている。取付プレート５２には、２つの貫通孔５２ｇの間に、パネル収納容器１を固定するために用いられる貫通孔が更に設けられている。取付プレート５３は、ベース基板５１の後部分の下面に設けられる。取付プレート５３には、位置決め部材５４を露出させるための貫通孔５３ｇが設けられている。
　位置決め部材５４は、搬送装置又は加工装置等の外部装置がパネル収納容器１（容器本体２）の位置決めを行うために用いられる部材である。位置決め部材５４は、例えば、金属材料によって構成されている。金属材料の例としては、アルミニウム及びステンレスが挙げられる。位置決め部材５４は、Ｖ字状の板材である。位置決め部材５４は、底板２２に向かって（上方に）窪むように、貫通孔５１ｇに嵌め合わされている。位置決め部材５４のＶ字面によってＶ字状の溝が画定される。Ｖ字面には、耐摩耗性の表面処理が施されている。本実施形態では、容器本体２は、３つの位置決め部材５４を備えている。
　ベース基板５１の前部分に設けられた２つの貫通孔５１ｇに、２つの位置決め部材５４が嵌め合わされており、位置決め部材５４のＶ字面が貫通孔５２ｇから露出するように取付プレート５２がベース基板５１の下面に取り付けられている。位置決め部材５４の両端がベース基板５１と取付プレート５２とによって挟持されている。同様に、ベース基板５１の後部分に設けられた１つの貫通孔５１ｇに、１つの位置決め部材５４が嵌め合わされており、位置決め部材５４のＶ字面が貫通孔５３ｇから露出するように取付プレート５３がベース基板５１の下面に取り付けられている。位置決め部材５４の両端がベース基板５１と取付プレート５３とによって挟持されている。
　外部装置が有するピンが各位置決め部材５４のＶ字面に当接することによって、パネル収納容器１が位置決めされる。具体的には、Ｖ字面によってＶ字状の溝にピンが誘導される。パネル収納容器１は３つの位置決め部材５４を備えているので、パネル収納容器１は３点で支持される。したがって、パネル収納容器１の位置が精度良く定まる。位置決め部材５４の数及び配置は、適宜変更されてもよい。
　なお、位置決め部材５４は、底板２２の下面から離間している。これにより、外部装置のピンから位置決め部材５４のＶ字面に加わる力は、ベース基板５１に伝わり、底板２２に加わることが回避される。したがって、底板２２の変形が抑制される。
　給排気機構５５は、パネル収納容器１の内部（収容空間２０）の清浄性及び低湿度を保つために、収容空間２０内にガスを供給し、収容空間２０からガスを排出するための機構である。収容空間２０内に供給されるガスの例としては、不活性ガスが挙げられる。本実施形態では、容器本体２は、４つの給排気機構５５を備えている。各給排気機構５５は、底板２２とベース基板５１との間に設けられている。各給排気機構５５は、底板２２に設けられた貫通孔２２ｈ及びベース基板５１に設けられた貫通孔５１ｈを介して、ガスを収容空間２０に供給し、又はガスを収容空間２０から排出する。本実施形態では、前方に設けられた２つの給排気機構５５が、収容空間２０からガスを排出し、後方に設けられた２つの給排気機構５５が、収容空間２０にガスを供給する。なお、給排気機構５５の数、配置、及び機能は、任意に変更され得る。
　図１０に示されるように、給排気機構５５は、フィルタ５５ａと、スペーサ５５ｂと、封止部材５５ｃと、を有している。フィルタ５５ａは、ガスを通過させる部材である。スペーサ５５ｂは、フィルタ５５ａを保持するための部材である。スペーサ５５ｂは、上下両端が開放された筒状（円筒状）の部材であり、スペーサ５５ｂの内部空間にフィルタ５５ａが収容される。スペーサ５５ｂの内周面には段差が設けられており、スペーサ５５ｂの上端における内径は下端における内径よりも小さい。スペーサ５５ｂは、貫通孔２２ｈ及び貫通孔５１ｈとスペーサ５５ｂの内部空間とが連通するように、底板２２とベース基板５１との間に設けられる。
　フィルタ５５ａは、フィルタ本体５５ｄと、カバー５５ｅと、を有している。フィルタ本体５５ｄは上端に環状の爪部５５ｆを有し、フィルタ本体５５ｄの下端の外周面にはネジ溝が設けられている。カバー５５ｅは、フィルタ本体５５ｄの下端及び下端の外周面を覆う。カバー５５ｅは外周面に環状の爪部５５ｇを有し、カバー５５ｅの内周面にはネジ溝が設けられている。
　給排気機構５５の取付方法を説明する。スペーサ５５ｂの下端がベース基板５１にネジによって固定され、スペーサ５５ｂの上端がＯリング等の封止部材５５ｃを介して底板２２の下面に押し付けられる。この状態で、フィルタ本体５５ｄが貫通孔２２ｈを介してスペーサ５５ｂの内部空間に挿入される。このとき、爪部５５ｆが貫通孔２２ｈを画定する周縁部によって係止される。そして、カバー５５ｅが貫通孔５１ｈを介してスペーサ５５ｂの内部空間に挿入され、フィルタ本体５５ｄの外周面とカバー５５ｅの内周面とが螺合されて、フィルタ本体５５ｄとカバー５５ｅとが一体化される。このとき、爪部５５ｇがスペーサ５５ｂの内周面の段差に係止される。つまり、爪部５５ｆと爪部５５ｇとによって、底板２２とスペーサ５５ｂとが挟み込まれる。そして、フィルタ本体５５ｄの外周面とカバー５５ｅの内周面とが更に螺合されることで、底板２２とスペーサ５５ｂとが密着し、気密に固定される。
　ブロック材５６は、パネル収納容器１（容器本体２）の変形を抑制するための部材である。ブロック材５６は、例えば、上述の樹脂材料によって構成されている。ブロック材５６は、ベース基板５１の下面に設けられる。ブロック材５６は、ベース基板５１の前後方向における中心よりも後方に設けられる。より具体的には、ブロック材５６は、前方に設けられた２つの位置決め部材５４と後方に設けられた１つの位置決め部材５４との前後方向における中心よりも後方に設けられる。本実施形態では、容器本体２は、２つのブロック材５６を備えている。２つのブロック材５６は、ベース基板５１の後端縁と側端縁とによって形成される角部にそれぞれ設けられている。
　次に、図１１及び図１２を参照して、収容空間２０内の構成を説明する。図１１は、図２のＸＩ－ＸＩ線に沿った断面図である。図１２は、図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ線に沿った断面図である。図１１に示されるように、容器本体２は、パネル支持部６０を更に備えている。パネル支持部６０は、パネルを支持するための部分である。パネル支持部６０は、複数の支持部６１と、複数の支持部６２と、複数のストッパ６３と、複数のストッパ６４と、を備えている。
　支持部６１、支持部６２、ストッパ６３、及びストッパ６４の数は、パネル収納容器１に収納可能なパネルの枚数に応じて変更される。本実施形態では、パネル支持部６０は、１枚のパネル当たり、１つの支持部６１と、２つの支持部６２と、２つのストッパ６３と、２つのストッパ６４と、を備えている。言い換えると、１つの支持部６１と、２つの支持部６２と、２つのストッパ６３と、２つのストッパ６４とによって、１枚のパネルを収納する収納段が形成される。
　支持部６１は、パネルの左右方向における中央部を支持するための部分である。支持部６１は、シャフト６１ａと、複数の弾性体６１ｂと、を有している。シャフト６１ａは、前後方向に延びる柱状（例えば、円柱状）の部材である。シャフト６１ａの後端が支柱２６ｄの凹部に嵌入され、ネジによって支柱２６ｄに固定される。シャフト６１ａは、例えば、曲げ剛性の高い材料によって構成されている。シャフト６１ａの構成材料の例として、ステンレス及びアルミニウム等の金属、並びにカーボン繊維強化プラスチックが挙げられる。
　弾性体６１ｂは、シャフト６１ａの外周面に設けられた環状（例えば、円環状）の部材である。弾性体６１ｂは、パネルの滑りを抑え、パネルの位置決め精度を向上させるために設けられる。パネルの滑り防止の観点から、弾性体６１ｂは、シャフト６１ａよりも高い摩擦力を有してもよい。パネルの損傷防止の観点から、弾性体６１ｂは、シャフト６１ａよりも高い弾力性（クッション性）を有してもよい。弾性体６１ｂは、例えば、ゴム材によって構成される。ゴム材の例としては、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）、シリコンゴム、及びフッ素ゴムが挙げられる。弾性体６１ｂは、例えばＯリングである。複数の弾性体６１ｂは、シャフト６１ａの延在方向に一定の間隔で配列されている。位置決め精度向上の観点から、互いに隣り合う２つの弾性体６１ｂの間隔は、５０ｍｍ～１００ｍｍの範囲であってもよい。
　支持部６２は、パネルの左右方向の両端部を支持するための部分である。支持部６２は、シャフト６２ａと、複数の弾性体６２ｂと、複数の支持体６５と、を有している。シャフト６２ａは、前後方向に延びる柱状（例えば、円柱状）の部材である。シャフト６２ａの後端が支柱２６ｅの凹部に嵌入され、ネジによって支柱２６ｅに固定される。シャフト６２ａは、例えば、曲げ剛性の高い材料によって構成されている。シャフト６２ａの構成材料の例として、ステンレス及びアルミニウム等の金属、並びにカーボン繊維強化プラスチックが挙げられる。シャフト６２ａの前後方向における長さは、パネルの前後方向における長さよりも僅かに長く、シャフト６１ａの前後方向における長さよりも長い。
　弾性体６２ｂは、シャフト６２ａの外周面に設けられた環状（例えば、円環状）の部材である。弾性体６２ｂは、パネルの滑りを抑え、パネルの位置決め精度を向上させるために設けられる。弾性体６２ｂの構成材料及び配列は、弾性体６１ｂの構成材料及び配列と同様であるので詳細な説明を省略する。
　支持体６５は、シャフト６２ａを支持するための部材である。図１２に示されるように、支持体６５は、載置部６５ａと、取付部６５ｂと、を有している。載置部６５ａは、パネルの左右方向における端部が載置される部分である。載置部６５ａは、左右方向に延びる略直方体形状を有している。載置部６５ａの上面にパネルの左右方向における端部が載置される。載置部６５ａの先端部分には、シャフト６２ａを挿通するための挿通孔６５ｃが設けられている。挿通孔６５ｃは、載置部６５ａを前後方向に貫通している。
　取付部６５ｂは、支持体６５をサイドプレート４８に取り付けるための部分である。取付部６５ｂは、載置部６５ａの基端に設けられている。取付部６５ｂは、載置部６５ａの上面よりも上方に突出しており、支持体６５の基端から先端に向かうにつれて下方に傾斜する傾斜面６５ｄを有している。取付部６５ｂには、取付部６５ｂの端面から左右方向に延びるネジ穴が設けられている。取付部６５ｂが側壁２３（本体部２３ａ）の内面に押し当てられた状態で、サイドプレート４８の挿通孔、及び本体部２３ａの挿通孔にネジが挿通され、取付部６５ｂのネジ穴にネジが螺合される。これにより、支持体６５とサイドプレート４８とによって側壁２３（本体部２３ａ）を挟み込んだ状態で、支持体６５がサイドプレート４８に固定される。
　ストッパ６３は、パネルの飛び出しを防止するとともにパネルの前端の位置を決めるための部材である。ストッパ６３は、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。ストッパ６３は、シャフト６２ａの前端に設けられている。例えば、シャフト６２ａの前端をストッパ６３に設けられた取付穴に嵌入することによって、ストッパ６３がシャフト６２ａに取り付けられる。ストッパ６３は、弾性体６２ｂの外径よりも大きい外径を有する円板状の係止片６３ａを有している。係止片６３ａは、外周面から中心に向かうにつれて後方に傾斜する傾斜面を有している。
　ストッパ６４は、パネルの後端の位置を決めるための部材である。ストッパ６４は、例えば、上述の樹脂材料で構成されている。ストッパ６４は、シャフト６２ａの後端部に設けられている。ストッパ６４は、ブロック状の形状を有している。ストッパ６４には、前後方向にシャフト６２ａを挿通するための挿通孔が設けられている。ストッパ６４の挿通孔にシャフト６２ａが挿通された状態で、ストッパ６４の後面が支柱２６ｅの前面に当接され、ネジによってストッパ６４が支柱２６ｅに固定される。ストッパ６４は、上面から下方に向かうにつれて前方に傾斜する傾斜面６４ａを有している。
　ストッパ６３、ストッパ６４、及び支持体６５によって、パネルが載置される載置位置が規定される。具体的には、ストッパ６３，６４によってパネルの前後方向における載置位置が規定され、左右に設けられた４つの支持体６５によってパネルの左右方向における載置位置が規定される。例えば、ロボットによってパネルが収容空間２０に搬入され、いずれかの収納段にパネルが載置される。このとき、誤差等によってパネルの位置が僅かにずれることがある。例えば、パネルの前端がストッパ６３の係止片６３ａの傾斜面上に乗り上げたとしても、パネルの自重によってパネルが当該傾斜面に沿って載置位置に誘導される。同様に、パネルの後端がストッパ６４の傾斜面６４ａ上に乗り上げたとしても、パネルの自重によってパネルが傾斜面６４ａに沿って載置位置に誘導される。同様に、パネルの側端が支持体６５の傾斜面６５ｄ上に乗り上げたとしても、パネルの自重によってパネルが傾斜面６５ｄに沿って載置位置に誘導される。
　以上説明したパネル収納容器１においては、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で互いに向かい合う蓋体３の外周面３ａとフランジ２５の内周面２５ｓとの間に凸状の保護部材２９が設けられている。具体的には、保護部材２９は、フランジ２５の内周面２５ｓに設けられており、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で、内周面２５ｓから外周面３ａに向けて突出している。蓋体３がフランジ２５に取り付けられる際、又は蓋体３がフランジ２５から取り外される際に、蓋体３の傾き等に起因して、蓋体３の外周面３ａがフランジ２５の内周面２５ｓに接近することがある。このような場合、蓋体３の外周面３ａは、フランジ２５の内周面２５ｓに接触する前に、保護部材２９に接触し得る。したがって、蓋体３の外周面３ａがフランジ２５の内周面２５ｓに接触する可能性を低減することができる。さらに、保護部材２９は凸状であるので、蓋体３の外周面３ａとフランジ２５の内周面２５ｓとが接触した場合の接触面積と比較して、蓋体３の外周面３ａと保護部材２９との接触面積は小さい。その結果、パネル収納容器１の損傷を抑制することが可能となる。
　保護部材２９はフランジ２５に着脱可能に設けられているので、保護部材２９を交換することができる。例えば、保護部材２９が損傷した場合に、保護部材２９を新しい保護部材２９に交換することにより、保護部材２９の損傷が修復される。したがって、パネル収納容器１の損傷を抑制することが可能となる。
　例えば、蓋体３が傾いた場合、側枠材２５ｃの両端における内周面２５ｓに向かって蓋体３の外周面３ａが接近する可能性が高い。これに対し、側枠材２５ｃの両端（上端及び下端）における内周面２５ｓに、保護部材２９が設けられている。この構成によれば、側枠材２５ｃの上端における内周面２５ｓ又は側枠材２５ｃの下端における内周面２５ｓに向かって蓋体３の外周面３ａが接近したとしても、蓋体３の外周面３ａは、フランジ２５の内周面２５ｓに接触する前に、保護部材２９に接触し得る。したがって、パネル収納容器１の損傷をより一層抑制することが可能となる。
　蓋本体３１は、金属材料で構成されており、フランジ２５は、樹脂材料で構成されている。したがって、蓋体３の外周面３ａがフランジ２５の内周面２５ｓに接触すると、粉塵が発生し、パネル収納容器１内に混入するおそれがある。上記パネル収納容器１によれば、蓋体３の外周面３ａがフランジ２５の内周面２５ｓに接触する可能性を低減することができるので、粉塵の発生を抑制することが可能となる。
　例えば、連結プレート４４，４５を用いることなく、側端部２１ｃと上端部２３ｂとがネジで連結された場合、ネジが設けられていない箇所では側端部２１ｃと上端部２３ｂとが十分に密着しないおそれがある。これに対し、パネル収納容器１では、連結プレート４４と連結プレート４５とによって側端部２１ｃ及び上端部２３ｂが挟持され、天板２１と側壁２３とが連結されている。この構成では、連結プレート４４と連結プレート４５とによって、側端部２１ｃ及び上端部２３ｂを挟み込むことによって、側端部２１ｃと上端部２３ｂとの密着性を向上させることができる。その結果、収容空間２０の気密性を向上させることが可能となる。
　サイドプレート４８は、上端部２３ｂと下端部２３ｃとによって挟まれている。したがって、サイドプレート４８の上下方向における位置を精度良く合わせることができるので、支持体６５の上下方向における位置精度を向上させることができる。さらに、下端部２３ｃは台座部２７の支持部材２７ｃに固定されており、支持部材２７ｃは支持部材２７ａ，２７ｂ，２７ｄに接続されている。このため、パネルが支持体６５に載置された場合に、パネルの重量を台座部２７全体で受けることができる。その結果、パネルを安定して支持することが可能となる。
　カバー部材Ｃ１～Ｃ３が容器本体２の角部に設けられることによって、各部材の隙間を塞ぐことができ、これらの隙間から収容空間２０にパーティクルが侵入する可能性を低減することができる。
　位置決め部材５４は、金属材料で構成されており、Ｖ字面には、耐摩耗性の表面処理が施されている。したがって、位置決め部材５４が樹脂材料で構成される場合と比較して、強度を向上させることができる。このため、パネル収納容器１の重量が大きい場合であっても、位置決め部材５４の変形を抑制することができる。その結果、パネル収納容器１の位置を安定させることができ、パネル収納容器１の位置決め精度を向上させることが可能となる。さらに、位置決め部材５４のＶ字面は取付プレート５２，５３の貫通孔５２ｇ，５３ｇから露出している。取付プレート５２，５３は樹脂材料で構成されているので、ピンが貫通孔５２ｇ，５３ｇを画定する周縁に乗り上げたとしても、ピンが滑りやすい。したがって、ピンがＶ字面に誘導され、Ｖ字状の溝に誘導され得る。
　搬送装置又は加工装置等の外部装置が有するピンの先端を位置決め部材５４のＶ字面に当接することによって、パネル収納容器１が支持される。パネル収納容器１では、前方に２つの位置決め部材５４が設けられ、後方に１つの位置決め部材５４が設けられているので、パネル収納容器１が支持されている状態ではパネル収納容器１の前部分よりも後部分が下方に下がる傾向がある。このとき、ブロック材５６が外部装置に当接することによって、パネル収納容器１の傾きが抑えられる。その結果、パネル収納容器１の変形を抑制することが可能となる。
　なお、本開示に係るパネル収納容器は上記実施形態に限定されない。
　上記実施形態では、固定部材の一例としてネジが用いられているが、ネジに代えて別の固定部材が用いられてもよい。
　上記実施形態では、フランジ２５は、上枠材２５ａ、下枠材２５ｂ、及び一対の側枠材２５ｃを連結することによって構成されているが、フランジ２５は、一体成形品であってもよい。
　上記実施形態では、保護部材２９は、一対の側枠材２５ｃに設けられているが、フランジ２５を構成する上枠材２５ａ、下枠材２５ｂ、及び一対の側枠材２５ｃの少なくとも１つに設けられていればよい。例えば、保護部材２９は、一対の側枠材２５ｃには設けられず、上枠材２５ａ及び下枠材２５ｂに設けられてもよい。保護部材２９は、上枠材２５ａ、下枠材２５ｂ、及び一対の側枠材２５ｃのそれぞれに設けられてもよい。各枠材における保護部材２９の数及び設置位置は任意に設定され得る。
　上記実施形態では、保護部材２９は、フランジ２５に着脱可能に構成されているが、フランジ２５に固定されてもよい。上記実施形態では、保護部材２９は、フランジ２５とは別部材であるが、保護部材２９と一体に構成されてもよい。
　保護部材２９は、蓋体３の外周面３ａに蓋体３とは別部材として設けられてもよい。保護部材２９は、蓋体３と一体に構成されてもよい。これらの場合、蓋体３が開口２ａを閉塞している状態で、保護部材２９は、外周面３ａから内周面２５ｓに向けて突出する。したがって、蓋体３の外周面３ａがフランジ２５の内周面２５ｓに接近した場合でも、蓋体３の外周面３ａが、フランジ２５の内周面２５ｓに接触する前に、保護部材２９に接触する可能性が高まる。したがって、パネル収納容器１の損傷をさらに抑制することが可能となる。
　さらに、保護部材２９は、蓋体３に着脱可能に設けられてもよい。例えば、保護部材２９が損傷した場合に、保護部材２９を新しい保護部材２９に交換することにより、保護部材２９の損傷が修復される。したがって、パネル収納容器１の損傷を抑制することが可能となる。
　容器本体２の各部材の連結方法は、上記実施形態と異なっていてもよい。上記実施形態では、容器本体２は、複数の部品を組み合わせることによって構成されているが、一体成形品であってもよい。パネル支持部６０は、上記実施形態とは異なる構成を有してもよい。
　１…パネル収納容器、２…容器本体、２ａ…開口、３…蓋体、３ａ…外周面、２５…フランジ、２５ａ…上枠材（枠部）、２５ｂ…下枠材（枠部）、２５ｃ…側枠材（枠部）、２５ｓ…内周面、２９…保護部材（第１保護部材、第２保護部材）、３１…蓋本体。

Claims (7)

  1. 　開口を画定するフランジを有し、複数のパネルを収納するための容器本体と、
    　前記開口を閉塞するための蓋体と、
    　前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で互いに向かい合う前記蓋体の外周面と前記フランジの内周面との間に設けられた凸状の保護部材と、
    を備える、パネル収納容器。
  2. 　前記保護部材は、前記フランジの前記内周面に設けられ、前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で前記内周面から前記外周面に向けて突出している、請求項１に記載のパネル収納容器。
  3. 　前記保護部材は、前記フランジに着脱可能に設けられている、請求項２に記載のパネル収納容器。
  4. 　前記保護部材は、前記蓋体の前記外周面に設けられ、前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で前記外周面から前記内周面に向けて突出している、請求項１に記載のパネル収納容器。
  5. 　前記保護部材は、前記蓋体に着脱可能に設けられている、請求項４に記載のパネル収納容器。
  6. 　前記フランジは、矩形状の枠体であり、
    　前記保護部材は、第１保護部材と、第２保護部材と、を含み、
    　前記第１保護部材及び前記第２保護部材は、前記枠体の一辺を成す枠部の両端における前記内周面と前記外周面との間に設けられる、請求項１～請求項５のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
  7. 　前記蓋体は、前記外周面を含む蓋本体を備え、
    　前記蓋本体は、金属材料で構成されており、
    　前記フランジは、樹脂材料で構成されている、請求項１～請求項６のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
PCT/JP2021/033748 2021-02-19 2021-09-14 パネル収納容器 WO2022176244A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020237030263A KR20230147647A (ko) 2021-02-19 2021-09-14 패널 수납 용기
CN202180083606.4A CN116601087A (zh) 2021-02-19 2021-09-14 面板收纳容器

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021025297A JP7467367B2 (ja) 2021-02-19 2021-02-19 パネル収納容器
JP2021-025297 2021-02-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2022176244A1 true WO2022176244A1 (ja) 2022-08-25

Family

ID=82931318

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2021/033748 WO2022176244A1 (ja) 2021-02-19 2021-09-14 パネル収納容器

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7467367B2 (ja)
KR (1) KR20230147647A (ja)
CN (1) CN116601087A (ja)
TW (1) TW202245094A (ja)
WO (1) WO2022176244A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024111256A1 (ja) * 2022-11-25 2024-05-30 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020005369A1 (en) * 1999-01-06 2002-01-17 Nyseth David L. Door guide for a wafer container
JP2004186293A (ja) * 2002-12-02 2004-07-02 Miraial Kk 薄板収納容器
JP2014022434A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2014116490A (ja) * 2012-12-11 2014-06-26 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
US8813990B1 (en) * 2012-06-26 2014-08-26 Metal Solutions Design & Fabrication, LLC Container for transporting hazardous material
JP2017004991A (ja) * 2015-06-04 2017-01-05 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2018120993A (ja) * 2017-01-26 2018-08-02 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその管理方法
JP2019031297A (ja) * 2017-08-07 2019-02-28 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7263673B2 (ja) 2018-01-12 2023-04-25 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020005369A1 (en) * 1999-01-06 2002-01-17 Nyseth David L. Door guide for a wafer container
JP2004186293A (ja) * 2002-12-02 2004-07-02 Miraial Kk 薄板収納容器
US8813990B1 (en) * 2012-06-26 2014-08-26 Metal Solutions Design & Fabrication, LLC Container for transporting hazardous material
JP2014022434A (ja) * 2012-07-13 2014-02-03 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2014116490A (ja) * 2012-12-11 2014-06-26 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2017004991A (ja) * 2015-06-04 2017-01-05 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2018120993A (ja) * 2017-01-26 2018-08-02 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその管理方法
JP2019031297A (ja) * 2017-08-07 2019-02-28 信越ポリマー株式会社 パネル収納容器

Also Published As

Publication number Publication date
JP7467367B2 (ja) 2024-04-15
TW202245094A (zh) 2022-11-16
CN116601087A (zh) 2023-08-15
JP2022127251A (ja) 2022-08-31
KR20230147647A (ko) 2023-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6273261B1 (en) Identification structure of a substrate storage container and method of identifying a substrate storage container
TWI776011B (zh) 面板收納容器
US10535542B2 (en) Wafer box, method for arranging wafers in a wafer box, wafer protection plate and method for protecting a wafer
WO2022176244A1 (ja) パネル収納容器
JP6977215B2 (ja) パネル収納容器
JP2019031297A (ja) パネル収納容器
WO2022215311A1 (ja) パネル収納容器
CN217158137U (zh) 面板收纳容器
CN219506549U (zh) 面板收纳容器
CN217970454U (zh) 面板收纳容器
JP2023144300A (ja) パネル収納容器
JP2019033145A (ja) パネル収納容器
JP2023042916A (ja) パネル収納容器
WO2024111256A1 (ja) パネル収納容器
TWM643434U (zh) 面板收納容器
WO2024105879A1 (ja) 収納容器及びアダプター部材
JP2023141839A (ja) パネル収納容器
JP2023141949A (ja) パネル収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 21926673

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202180083606.4

Country of ref document: CN

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20237030263

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020237030263

Country of ref document: KR

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 21926673

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1