CN110431658A - 晶圆收容容器 - Google Patents

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Abstract

一种晶圆收容容器(1)，具备：容器本体(10)，在一端具有开口部(11)，在另一端具有与开口部(11)对向且可供重叠收容晶圆的搭载部(12)；盖体(20)，用以堵塞开口部(11)；以及保持机构(30)，可开闭地将容器本体(10)与盖体(20)嵌合保持；保持机构(30)于至少两个部位具有：卡止构件(32)，从容器本体(10)的另一端朝一端延伸，并在一端部具备卡止爪部(31)；以及卡止孔部(33)，设置于盖体(20)，且被卡止爪部(31)卡止；于盖体侧壁部(21)设置有：引导构件(40)，于盖体(20)朝容器本体(10)嵌合时，一边接触卡止构件(32)一边保持同心状态地引导容器本体(10)与盖体(20)。

Description

晶圆收容容器
技术领域
本发明涉及一种晶圆收容容器。
背景技术
作为用以收容半导体晶圆的晶圆收容容器，例如有专利文献1所揭示的容器。
于专利文献1所揭示的晶圆收容容器设置有收容部，该收容部于容器本体上具备略筒状的本体侧壁部。于收容部的最上层与最下层配置有缓冲材料(cushion material)等。收容部使晶圆与层间片(interlayer sheet)(合成树脂制薄片(sheet)或无尘纸或合成树脂制成形品等)交替地夹设并收容于上下的缓冲材料之间。收容部以将具备略筒状的盖体侧壁部的盖体盖上的方式通过保持机构保持并收容成密闭状态。
[现有技术文献]
[专利文献]
专利文献1：日本特开2004－262545号公报。
发明内容
[发明所要解决的问题]
然而，在专利文献1的晶圆收容容器中，预先使用以收容晶圆的收容部的本体侧壁部配合晶圆的外径，并以将盖体侧壁部盖上本体侧壁部的外侧的方式作成密闭状态。因此，在以通过机器人等自动装置将盖体盖上时不会有什么问题。然而，在通过作业者将盖体盖上时容器本体的中心轴与盖体的中心轴偏离而无法以同心状态盖上的情形中，会有因为盖体侧壁部而对被收容的晶圆造成损伤之虞的问题。尤其是，在预先将收容部的本体侧壁部作成比晶圆的外侧还大且将盖体侧壁部配置于内侧并以盖体侧壁部按压晶圆的构造的晶圆收容容器中，盖体侧壁部所致使的晶圆的损伤问题会变得更显着。
本发明有鉴于此种现有技术的问题点而开发完成，目的在于提供一种能不会对已收容的晶圆造成损伤地将盖体盖上的晶圆收容容器。
[解决问题的技术手段]
为了达成所述目的，本发明的晶圆收容容器系具备：容器本体，在一端具有开口部，在另一端具有与所述开口部对向且可供重叠收容晶圆的搭载部；盖体，用以堵塞所述开口部；以及保持机构，可开闭地将所述容器本体与所述盖体嵌合保持；所述保持机构于至少两个部位具有：卡止构件，从所述容器本体的所述另一端朝所述一端延伸，并在一端部具备卡止爪部；以及卡止孔部，设置于所述盖体，且被所述卡止爪部卡止；于盖体侧壁部设置有：引导构件，于所述盖体朝所述容器本体嵌合时，一边接触所述卡止构件一边保持同心状态地引导所述容器本体与所述盖体。
优选为，所述容器本体于所述搭载部隔开间隔形成有：本体侧壁部，划分用以收容所述晶圆的收容部；所述卡止构件形成为比所述本体侧壁部还高。
优选为，所述引导构件由设置于所述盖体侧壁部的外侧的肋条(rib)所构成。
优选为，所述盖体具有用以堵塞所述开口部的盖体顶面部，于所述盖体顶面部的至少两个部位具有：按压构件，于所述盖体顶面部的中心方向摆动，按压已收容并重叠于所述容器本体的所述晶圆的外侧；所述按压构件设置有：按压面件，以面按压所述晶圆的外周；所述容器本体具有：导引(guide)槽，使所述按压构件的前端部从所述搭载部的外侧朝内侧移动，并导引至按压所述晶圆的外周的位置；所述导槽设置成比所述搭载部的表面还凹陷。
[发明的效果]
依据本发明的晶圆收容容器，能不对已收容的晶圆造成损伤地将盖体盖上。
附图说明
图1为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的容器本体的概略立体图。
图2中的(a)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的卡止构件片的后视图；图2中的(b)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的卡止构件片的剖视图。
图3为已将本发明的晶圆收容容器的一实施方式的盖体的上下反转的状态的概略立体图。
图4为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的图3的局部放大立体图。
图5中的(a)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的盖体的卡止孔部的前视图；图5中的(b)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的盖体的卡止孔部的中央剖视图。
图6中的(a)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的引导构件的动作的引导开始状态的说明图；图6中的(b)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的引导构件的动作的引导结束后的说明图。
图7中的(a)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的按压构件的动作的局部俯视图；图7中的(b)为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的按压构件的动作的局部剖视图。
图8为本发明的晶圆收容容器的一实施方式的分解状态的构略立体图。
具体实施方式
以下依据附图详细说明本发明的晶圆收容容器的一实施方式。
本发明的晶圆收容容器1具备：容器本体10，在一端具有开口部11，在另一端具有与开口部11对向且可供重叠收容晶圆W的搭载部12；盖体20，用以堵塞开口部11；以及保持机构30，可开闭地将容器本体10与盖体20嵌合保持。保持机构30于至少两个部位具有：卡止构件32，从容器本体10的另一端朝一端延伸，并在一端部具备卡止爪部31；以及卡止孔部33，设置于盖体20，且被卡止爪部31卡止。此外，于盖体侧壁部21设置有：引导构件40，于盖体20朝容器本体10嵌合时，一边接触卡止构件32一边保持同心状态地引导容器本体10与盖体20。
藉此，当将盖体20盖上容器本体10时，在至少两部位中，盖体侧壁部21的引导构件40接触设置于容器本体10的卡止构件32。引导构件40与卡止构件32一边接触一边保持同心状态并引导盖体20，藉此能以盖体侧壁部21不会对已收容的晶圆W造成损伤的方式盖上盖体20。
在本实施方式中，以容器本体10的开口部11朝向上方开口并将水平的晶圆W重叠收容于搭载部12上的情形作为例子进行说明。此外，也可在将晶圆W重叠收容至晶圆收容容器1并将盖体20盖上的收容完毕后，不论晶圆W在何种状态下皆可进行搬运等。晶圆W的朝向不论是例如水平或垂直等皆不会产生任何问题。
容器本体10具备成为底面板的搭载部12。如图1所示，搭载部12形成为四角隅作成圆弧状的略正方形形状的四角形。于搭载部12的上表面重叠收容有晶圆W。此外，搭载部12并未限定于四角形形状，也可为其他的形状。
此外，于搭载部12以朝向上方突出的方式形成有本体侧壁部14，该本体侧壁部14划分晶圆W的收容部13。本体侧壁部14形成为多个圆弧状，例如形成为四个圆弧状，该圆弧状配合晶圆W的形状并作为圆筒的一部分。本体侧壁部14沿着圆周隔开间隔L，并与搭载部12形成为一体。藉此，本体侧壁部14的上端部就成为容器本体10的开口部11，被本体侧壁部14划分的空间成为晶圆W的收容部13。
本体侧壁部14的内径形成为不妨碍晶圆W的收容或取出的大小。本体侧壁部14的内径比晶圆W的大小(直径)还大，例如比5吋、6吋、8吋、12吋等尺寸还大(例如直径大1mm至2mm左右)。本体侧壁部14的间隔L作为晶圆W取出时的机器手臂(robot arm)的插入口。
如图1以及图2中的(a)、(b)所示，于容器本体10的本体侧壁部14的下端部外周以朝向上方突出的方式形成有与盖体20(参照图3)之间呈圆弧状的密封(seal)面15。于搭载部12的外周的本体侧壁部14的间隔L部分经由段差部形成有直线状的密封面16。直线状的密封面16在两端部与圆弧状的密封面15连续且连结成环状并围绕容器本体10的全周。
藉此，当后面所述的盖体20盖上时，盖体20中的被分割成四个盖体侧壁部21的内侧面接触圆弧状的密封面15。进而，与盖体20的盖体侧壁部21连结的四边上的直线状的盖体外壁部22接触直线状的密封面16。通过这些接触而被密封，晶圆收容容器1能将收容部13内作成密闭状态。
将盖体20显示于图3、图4、图5中的(a)、(b)以及图8。盖体20以堵塞容器本体10的开口部11(参照图1)的方式盖上。盖体20具备：略正方形形状的盖体顶面部23，将外形与搭载部12为相同形状的四角隅作成圆弧状。将盖体顶面部23的内部中的位于比中央的环状部还低的位置的周缘部作为盖体顶面部23a予以图示。
于盖体顶面部23的四角隅以朝下方突出的方式形成有与容器本体10的本体侧壁部14对应且分割成四个的盖体侧壁部21。此外，于盖体顶面部23的直线状的四边上以朝下方突出的方式形成有盖体外壁部22。盖体外壁部22的两端部与盖体侧壁部21连结并围绕盖体20的全周。
藉此，当将盖体20盖上容器本体10时，如所述说明般，通过盖体侧壁部21的内侧面与圆弧状的密封面15之间的接触以及盖体外壁部22的内侧面与直线状的密封面16之间的接触而密封。结果，晶圆收容容器1变成能以密封状态密封收容部13的内部。
晶圆收容容器1具备：保持机构30，可开闭地将容器本体10与盖体20嵌合保持。保持机构30于至少两个部位具有：卡止构件32，从容器本体10的另一端朝一端延伸，并在一端部具备卡止爪部31；以及卡止孔部33，设置于盖体20，且被卡止爪部31卡止。
如图1以及图2中的(a)、(b)所示，于容器本体10中的搭载部12的四角隅中的本体侧壁部14的外侧的四个部位形成有卡止构件32。卡止构件32与搭载部12一体地朝向上方(一端的开口部11侧)突出地形成。于卡止构件32的前端内侧设置有卡止爪部31。卡止构件32的卡止爪部31卡止于盖体20的卡止孔部33，藉此能保持容器本体10与盖体20之间的连结状态。如图2中的(a)、(b)所示，卡止爪部31的前端部稍微从本体侧壁部14的缘部突出。
于盖体20中的与容器本体10的卡止构件32的配置对应的各个盖体顶面部23a分别形成有卡止孔部33。在容器本体10的卡止构件32的卡止爪部31越过卡止孔部33后，卡止爪部31的下端水平面被卡止而变成保持状态。
如图5中的(b)所示，卡止孔部33形成于凹部24内，该凹部24形成于盖体顶面部23a。凹部24具有卡止构件32的卡止爪部31不会从盖体20的表面突出的程度的深度或者如图6中的(b)所示般稍微突出的程度的深度。如图5中的(a)所示，被卡止爪部31卡止的卡止孔部33的卡止面34形成为下述面：在使中央部凹陷且卡止状态解放时，容易推回卡止爪部31。
当将盖体20盖上容器本体10时，四个部位的容器本体10侧的卡止构件32的卡止爪部31越过盖体20侧的卡止孔部33。已越过的卡止爪部31卡止于卡止面34。在该卡止状态中，通过容器本体10与盖体20，以晶圆W的收容部13在密封状态下被密封的状态进行保持。另一方面，已卡止的保持状态的解放利用盖体20的卡止面34的中央部的凹陷，藉此能确实且简单地将卡止构件32从中心侧压回至外侧。此外，保持构件30只要能将容器本体10与盖体20保持于卡止状态即可。于只要至少两个部位例如对角位置的两个部位设置保持机构30即可。
盖体20具备：按压构件25，抵接并按压至晶圆W的外侧部。按压构件25设置于成为晶圆W的外侧部的至少两个部位，例如设置于与容器本体10的本体侧壁部14的间隔L对应的四个部位。
按压构件25与盖体20一体性地形成为平板状。按压构件25从成为顶面的盖体顶面部23的内侧朝下方(与开口部11相反的侧)突出，并与盖体侧壁部21的中心方向正交。按压构件25形成为可以基端部的摆动轴部26作为中心摆动。由于按压构件25与盖体20为一体，因此摆动轴部26成为枢接(hinge)构造。
于摆动轴部26的内侧部分形成有槽部。通过槽部，枢接构造部分成为薄壁部。藉此，已将摆动轴部26作为中心的按压构件25的摆动变得容易。在按压构件25的内侧面(晶圆W的中心侧的面)中，以成为配合重叠收容的晶圆W的外径的位置的方式设定摆动轴部26的位置。
如图7中的(a)、(b)所示，于按压构件25的内侧面设置有按压面件27，该案压面件27以面按压晶圆W的外周。按压面件27例如与按压构件25形成为一体。此外，按压面件27也可与按压构件25为独立的个体，或也可为以其他素材形成且装设的物。即，按压面件27只要能确实地以面按压晶圆W的外周即可。
如图1以及图7中的(b)所示，容器本体10具备：导槽17，将按压构件25导引至用以按压晶圆W的外周的位置。导槽17形成于搭载部12的本体侧壁部14的间隔L的四个部位。导槽17以下述方式导引：以摆动轴部26使盖体20的按压构件25摆动，并使按压构件25的前端部从搭载部12的外侧朝内侧(中心侧)移动。
导槽17与成为底面板的搭载部12的中心方向正交且形成为直线状。此外，导槽17形成为从搭载部12的表面凹陷。导槽17具备：倾斜面17a，容器本体10的外侧高且中心侧低；以及垂直面17b，于倾斜面17a的中心侧连续。倾斜面17a与垂直面17b以组装后成为略V字状的剖面形状的方式形成。
此外，如图1以及图2中的(a)、(b)所示，为了补强或者在其他步骤中的装卸(handling)等，能因应需要于容器本体10中的搭载部12、本体侧壁部14等构件形成凹凸部或者肋条等。
按压构件25被导槽17导引。在用以将盖体20盖上容器本体10的动作的初期(参照图6中的(a))中，按压构件25的前端部(在附图的例子中为下端部)位于容器本体10的导槽17内。按压构件25的前端部被导槽17导引直至盖体20盖上完成为止。在已使盖体20完全地盖上的结束期间(参照图6中的(b))中，按压构件25的内侧面被导引直至成为接触导槽17的垂直面17b的状态为止。按压构件25的突出长度以适合导槽17所为的导引的方式制定。
即，在已将盖体20盖上容器本体10的保持状态中，按压构件25的前端部位于导槽17的底部，且通过倾斜面17a变成不会返回至外侧的状态。藉此，在保持状态中，四个部位的按压构件25被保持于与晶圆W的外径对应的位置。因此，能通过四个部位的按压构件25的按压面件27以面按压重叠的晶圆W的外周，藉此能确实地防止晶圆W的水平移动。
按压构件25位于成为盖体20的顶面的盖体顶面部23至于成为容器本体10的底面部的搭载部12凹陷的导槽17之间。因此，能以面按压积层重叠于搭载部12上的全部的晶圆W的外周，且即使为最下层的晶圆W也能确实地按压。
此外，按压构件25不存在于已取下盖体20的容器本体10。因此，晶圆W朝向容器本体10的收容不会被按压构件25干扰而能如以往般进行。
此外，如图3、图4以及图5中的(a)、(b)所示，为了补强或者其他步骤中的装卸等，因应需要于盖体20的盖体侧壁部21、盖体外壁部22、盖体顶面部23等构件形成有凹凸部或肋条等。此外，用以将收容于容器本体10的搭载部12的晶圆W上下地按压的上部按压部28形成为一体于盖体顶面部23。藉此，与以往同样地，重叠的晶圆W在上部按压部28与搭载部12之间被上下地按压。
将盖体20盖上容器本体10时，用以防止收容于收容部13的晶圆W的损伤的引导构件40设置于晶圆收容容器1的至少两个部位。引导构件40用以保持已使容器本体10的中心轴与盖体20的中心轴一致的同心状态并引导盖体20。在附图的例子中，引导构件40设置于盖体20的四角隅的四个部位的盖体侧壁部21。引导构件40一边接触设置于容器本体10的四个部位的卡止构件32，一边保持同心状态地引导容器本体10与盖体20。
各个引导构件40具备：两个肋条41，设置于盖体侧壁部21的外侧。如图4以及图6中的(a)所示，两个肋条41以位于各个卡止构件32的内侧的方式形成。此外，两个肋条41以与各个卡止构件32的宽度(与中心方向正交的方向的长度)对应并彼此隔开间隔朝中心方向外侧突出的方式形成。
肋条41具备前端部(在图6中的(a)中为下端部)成为圆弧状的先端较细的倾斜面。肋条41的倾斜面成为与卡止构件32的卡止爪部31的上端的倾斜面相同方向的倾斜面。此外，肋条41的倾斜面形成为从前端的倾斜面达至基端的盖体顶面部23的凹部24的卡止孔部33。肋条41的圆弧状的倾斜面与从圆弧状的倾斜面连续且从前端朝基端突出的宽度变大的倾斜面成为卡止构件32的引导面。
藉此，从盖体20开始盖上，容器本体10的卡止构件32保持与盖体20的引导构件40的肋条41同心状态并被肋条41引导。同心状态在盖体20盖上完成且容器本体10的卡止爪部31卡止至盖体20的卡止孔部33为止的期间内持续。此外，将肋条41的外侧形状作成倾斜面，藉此能提升成形时从模具离开的脱模性。
盖体20具备用以构成引导构件40的两个肋条41，藉此当将盖体20盖上容器本体10时，在四个部位中各两个肋条41的前端抵接至容器本体10的卡止构件32的卡止爪部31的上表面。在该状态下一边使倾斜面彼此接触一边以按入的方式将盖体20盖上时，通过肋条41与卡止爪部31之间的倾斜面彼此修正盖体20相对于容器本体10的中心轴的偏离而成为同心状态。
进而，当使四个部位的盖体20的肋条41与四个部位的卡止构件32的内侧表面以及卡止爪部31一边接触一边按入时，盖体20在与容器本体10同心状态下进行盖上。当盖体20盖上完成时，卡止爪部31卡止于盖体20的卡止孔部33。藉此，盖体20与容器本体10在同心状态下被密闭并成为保持状态。
依据本实施方式，在将盖体20盖上容器本体10的情形中，由于确保同心状态，因此防止盖体20的盖体侧壁部21碰撞到收容于容器本体10的晶圆W导致晶圆W损伤。
在本实施方式中，卡止构件32比容器本体10的本体侧壁部14还高。藉此，将盖体20盖上容器本体10的情形中，最初引导构件40的肋条41抵接至卡止构件32的卡止爪部31。此在以于盖体20的下方突出的按压构件25按压收容于比容器本体10的本体侧壁部14还低的位置的最上层的晶圆W的情形中也同样。因此，能进一步地从盖体20开始盖上起确实地防止收容部13的晶圆W的损伤。
此外，由于以同心状态将盖体20盖上，因此能防止按压构件25导致晶圆W的损伤。进而，按压构件25从朝外侧开放的状态被导槽17导引至封闭在预定位置的状态，藉此也能保持容器本体10与盖体20之间的同心状态。藉此，在晶圆收容容器1中，即使在不使用机器手臂等自动化装置而是通过作业者以手动方式将盖体20盖上的情形中，容器本体10与盖体20的中心轴也不会偏离而能确实地密闭。
优选为，在晶圆收容容器1中，容器本体10以及盖体20由导电性塑胶所形成。作为导电性塑胶，能例举添加有导电性填料的塑胶或者经过聚合混合体(polymer alloy)处理的塑胶等。作为导电性填料，能例举碳黑(carbon black)、石墨碳(graphite carbon)、石墨、碳纤维、金属粉末、金属纤维、金属氧化物的粉末、经过金属涂布的无机质微粉末、有机质微粉末或者纤维等。
如图8所示，在此种构成的晶圆收容容器1中，于被容器本体10的四个本体侧壁部14围绕的搭载部12上的收容部13配置有作为最下层的缓冲材料的环间隔物(ring spacer)51。于环间隔物51上交互地重叠有晶圆W与层间片52。于最上层配置有作为缓冲材料的环间隔物51。从最下层的环间隔物51至最上层的环间隔物51收容于收容部13。将预定片数的晶圆W重叠并收容于容器本体10后，以盖体20盖上。
如图6中的(a)所示，当将盖体20盖上容器本体10时，在晶圆收容容器1的四个部位(四角隅)中，各为两个肋条41的前端抵接至容器本体10的卡止构件32的卡止爪部31的上表面。当在此状态下一边使倾斜面彼此接触一边压入盖体20时，通过肋条41与卡止爪部31之间的倾斜面彼此修正盖体20相对于容器本体10的中心轴的偏离而成为同心状态。
进而，当使四个部位的盖体20的肋条41与四个部位的卡止构件32的内侧表面以及卡止爪部31一边接触一边压入时，在与容器本体10同心状态下将盖体20盖上。当盖体20盖上完成时，卡止爪部31卡止于盖体20的卡止孔部33，盖体20与容器本体10在同心状态下被密闭而成为保持状态。
此外，当使盖体20朝容器本体10盖上时，盖体20的盖体外壁部22的前端接触直线状的密封面16。此时，盖体20的按压构件25的前端部成为位于容器本体10的导槽17的上方的状态。
进而，当将盖体20朝容器本体10盖上时，按压构件25的前端部被容器本体10的导槽17的倾斜面17a导引并从外侧朝中心侧移动。按压构件25以基端部的摆动轴部26作为中心摆动。
接着，如图7中的(b)所示，在盖体20完全地盖上容器本体10的状态下，按压构件25成为接触导槽17的中心侧的垂直面17b的状态。此时，按压构件25的内侧面成为接触晶圆W的外径的位置。藉此，通过四个部位的按压构件25的按压面件27以面按压重叠的晶圆W的外周，防止水平方向的移动。
在此种晶圆收容容器1中，在晶圆W收容于容器本体10的状态下，即使将盖体20盖上，容器本体10与盖体20之间的中心轴也不会偏离而是成为同心状态。藉此，能防止盖体20的盖体侧壁部21或者按压构件25碰撞至晶圆W而对晶圆W造成损伤。
此外，重叠的晶圆W被容器本体10的搭载部12的上表面与盖体20的盖体顶面部23的上部按压部28按压，上下方向的移动也被按压。
进而，在已将盖体20完全地盖上容器本体10的状态下，盖体20的盖体侧壁部21以及盖体外壁部22成为已接触容器本体10的圆弧状的密封面15以及直线状的密封面16的密封状态。
将盖体20盖上后，收容于收容部13的晶圆W的上下方向以及左右方向被按压。因此，即使将晶圆收容容器1朝任意的方向搬运，晶圆W也不会移动。藉此，能防止晶圆W与直接接触的层间片等因为擦伤、割伤或者破裂等导致破损、产生灰尘或者化学性成分导致晶圆W的污染等问题。
本发明的晶圆收容容器1具备：容器本体10，在一端具有开口部11，在另一端具有与开口部11对向且可供重叠收容晶圆W的搭载部12；盖体20，用以堵塞开口部11；以及保持机构30，可开闭地将容器本体10与盖体20嵌合保持。保持机构30于至少两个部位具有：卡止构件32，从容器本体10的另一端朝一端延伸，并在一端部具备卡止爪部31；以及卡止孔部33，设置于盖体20，且被卡止爪部31卡止。此外，于盖体侧壁部21设置有：引导构件40，于盖体20朝容器本体10嵌合时，一边接触卡止构件32一边保持同心状态地引导容器本体10与盖体20。通过此种构成，当将盖体20盖上容器本体10时，在至少两个部位中盖体侧壁部21的引导构件40一边接触设置于容器本体10的卡止构件32一边保持同心状态地引导盖体20。因此，能以盖体侧壁部21不会对已收容的晶圆W造成损伤的方式将盖体20盖上。
在本发明的晶圆收容容器1中，容器本体10隔开间隔L于搭载部12形成有本体侧壁部14，该本体侧壁部14划分用以收容晶圆W的收容部13，卡止构件32形成为比本体侧壁部14还高。藉此，在将盖体20盖上容器本体10的情形中，引导构件40于最初接触并被引导至比本体侧壁部14还高的卡止构件32。因此，而确实地将盖体20盖上而不会因为盖体侧壁部21而对已收容的晶圆W造成损伤。
在本发明的晶圆收容容器1中，引导构件40由设置于盖体侧壁部21的外侧的肋条41所构成。藉此，仅设置肋条41即能作为引导构件40。因此，能将构造简单化，并变得容易确保用于同心状态的空间，且也能补强盖体侧壁部21。
在本发明的晶圆收容容器1中，盖体20具有用以堵塞开口部11的盖体顶面部23，于盖体顶面部23的至少两个部位具有：按压构件25，于盖体顶面部23的中心方向摆动，按压已收容并重叠于容器本体10的晶圆W的外侧。按压构件25设置有：按压面件27，以面按压晶圆W的外周。容器本体10具有：导槽17，使按压构件25的前端部从搭载部12的外侧朝内侧移动，并导引至按压晶圆W的外周的位置。导槽17设置成比搭载部12的表面还凹陷。藉此，能以按压构件25从两侧按压并防止收容于容器本体10的晶圆W的移动。
此外，由于以于搭载部12凹陷的导槽17导引按压构件25的前端部并以按压面件27按压，因此能以面按压搭载部12上的全部的晶圆W的外周。藉此，即使晶圆W的厚度较薄，也能确实地按压并防止移动。进而，通过以面按压，荷重不会集中于一点，故能防止晶圆W的损伤。
此外，在所述实施方式中，虽然以将按压构件25设置于四个部位的情形作为例子进行说明，但只要作成设置于至少对角位置的两个部位即可，也可通过于三个部位以上设置按压构件25而确实地按压晶圆W。
此外，虽然将按压构件25作成为于一个部位设置一个平板状的构件，但也可将一个部位的按压构件25作成分割构造并将多个平板状的构件相对于各者的中心正交地摆动。如此，能以分别被分割的按压构件25确实地按压晶圆W。
在所述实施方式中，虽然于盖体侧壁部21的外侧形成两个肋条41作为引导构件40，然而也可将肋条41的宽度加宽并以一个肋条41构成引导构件40。
此外，也可构成为去除两个肋条41之间的盖体侧壁部21，将盖体侧壁部21的一部分朝外侧突出而作为以壁面使肋条41的前端侧连续的剖面「コ」形状的引导构件40。引导构件40只要能与容器本体10的卡止构件32接触并以同心状态将盖体20盖上即可。
本发明在未脱离本发明的广义的精神和范围内，能够进行各种的实施方式及变化。又，上面所述的实施方式是用以说明本发明，而非是用以限定本发明的范围。即，本发明的范围并非是由实施方式所界定，而是由权利要求所界定。而且，在权利要求的范围内以及与该权利要求的范围内同等的发明的意义的范围内所实施的各种变化，被视为本发明的范围内。
本发明依据2017年3月31日于日本特许厅所提出的日本特愿2017－69918号。本说明参照日本特愿2017－69918号的说明书以及权利要求整体并援用于此。
(产业可利用性)
本发明的晶圆收容容器适用于作为例如半导体晶圆用的晶圆收容容器。
图中:
1 晶圆收容容器
10 容器本体
11 开口部
12 搭载部
13 收容部
14 本体侧壁部
15 圆弧状的密封面
16 直线状的密封面
17 导槽
17a 倾斜面
17b 垂直面
20 盖体
21 盖体侧壁部
22 盖体外壁部
23、23a 盖体顶面部
24 凹部
25 按压构件
26 摆动轴部
27 按压面件
28 上部按压部
30 保持机构
31 卡止爪部
32 卡止构件
33 卡止孔部
34 卡止面
40 引导构件
41 肋条
51 环间隔物
52 层间片
L 间隔
W 晶圆

Claims (4)

1.一种晶圆收容容器，具备：
容器本体，在一端具有开口部，在另一端具有与所述开口部对向且可供重叠收容晶圆的搭载部；
盖体，用以堵塞所述开口部；以及
保持机构，可开闭地将所述容器本体与所述盖体嵌合保持；
所述保持机构于至少两个部位具有：
卡止构件，从所述容器本体的所述另一端朝所述一端延伸，并在一端部具备卡止爪部；以及
卡止孔部，设置于所述盖体，且被所述卡止爪部卡止；
于盖体侧壁部设置有：引导构件，于所述盖体朝所述容器本体嵌合时，一边接触所述卡止构件一边保持同心状态地引导所述容器本体与所述盖体。
2.如权利要求1所述的晶圆收容容器，其特征在于，所述容器本体于所述搭载部隔开间隔形成有：本体侧壁部，划分用以收容所述晶圆的收容部；
所述卡止构件形成为比所述本体侧壁部还高。
3.如权利要求1或2所述的晶圆收容容器，其特征在于，所述引导构件由设置于所述盖体侧壁部的外侧的肋条所构成。
4.如权利要求1至3中任一权利要求所述的晶圆收容容器，其特征在于，所述盖体具有用以堵塞所述开口部的盖体顶面部，于所述盖体顶面部的至少两个部位具有：按压构件，于所述盖体顶面部的中心方向摆动，按压已收容并重叠于所述容器本体的所述晶圆的外侧；
所述按压构件设置有：按压面件，以面按压所述晶圆的外周；
所述容器本体具有：导槽，使所述按压构件的前端部从所述搭载部的外侧朝内侧移动，并导引至按压所述晶圆的外周的位置；
所述导槽设置成比所述搭载部的表面还凹陷。
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