JPH10189703A - 半導体ウェハ包装容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】構造が簡略化され、しかも蓋体との嵌合固定作
業が容易で、且つ密封性に優れ、更には強度的にも何ら
低下することのないボトムケース体を提供する。 【解決手段】ボトムケース体(12)と蓋体(14)とからなる
合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器にあって、前記ボト
ムケース体(12)の開放端部が、その全周にわたり連続し
て略同一の長さをもって外側に略逆Ｕ字状に屈曲した形
態に成形されてなり、その相対する一対の外側壁部分(2
6b) に前記蓋体(14)の対応する係着片(42a,42b) と係着
する嵌合膨出部(26c′) を有する。この嵌合膨出部(26
c′) を前記外側壁部分(26b) に形成するため、前記外
側壁部分(26b) はボトムケース体(12)の開放端部全周に
わたり連続して成形できるため、上記課題が一挙に解決
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハを破
損、汚染することなく保管し、安全に輸送するための蓋
体と本体ケースとを備えた半導体ウェハ包装容器に関
し、特に前記本体ケースの成形時における変形を防止し
且つ強靱性及び耐衝撃性が確保され、同時に前記蓋体と
の係着を確実にした半導体ウェハの包装容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体ウェハ包装容器は、複数の
半導体ウェハを収容するウェハキャリア、ウェハキャリ
アを収納保持するボトムケース体、蓋体、ウェハ押圧部
材等から構成されている。そして、前記ウェハキャリア
及びボトムケース体の一般的な材質としては、ポリプロ
ピレンが使われており、蓋体はポリプロピレン又はポリ
カーボネートから構成されている。また、前記ウェハ押
圧部材にはポリプロピレン、ポリエステル、又はポリエ
チレン等が使われる。

【０００３】前記半導体ウェハはシリコン等の単結晶を
薄くスライスして製造されるものであり、脆性が高い上
に汚染による物性への影響が大きいため、包装時はもと
より輸送中における破損や汚染を防止するための最大限
の努力が払われなければならない。前記半導体ウェハ包
装容器は、外部からの衝撃によるウェハの破損を防ぐば
かりでなく、容器内におけるウェハ押圧部材との摩擦な
どで発生するパーティクルによる汚染、或いは容器の内
外圧力差や変形による外気の侵入による汚染を避けるた
め、収容時のウェハ支持の安定性を確保するとともにウ
ェハ押圧部材等との接触摩擦を防ぐことや、ボトムケー
ス体及び蓋体からなる容器本体の強靱性、耐衝撃性及び
気密性を確保すること等が厳しく要求される。

【０００４】容器本体のうち、蓋体は上記特性の他に外
部からウェハを透視できるような透明素材であることが
必要であるため、高価ではあっても特に耐衝撃性、強靱
性及び耐熱性に優れた上述のポリカーボネートが多く使
われるが、ボトムケース体は透明である必要がないた
め、ポリカーボネートと比較して格段に廉価であるポリ
プロピレンが多用されている。しかして、ポリプロピレ
ンは耐衝撃性、強靱性、耐熱性等でポリカーボネートに
劣るため、同一肉厚で成形された蓋体とボトムケース体
とでは、その材質の違いが特に耐衝撃性や強靱性におい
てボトムケース体の方が蓋体よりも劣ることになる。
そこで、従来から、例えば国際公表WO 94/225980号公報
に開示されているように、ボトムケース体の開放側端縁
を外側に略逆Ｕ字状に屈曲した形態に成形するととも
に、その外側屈曲部分と本体部分とを複数のリブで連結
し、蓋体と同一肉厚でありながら、最も変形と破損のし
やすい開放側の端縁部を強化している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記国際公
表WO 94/225980号公報に開示された半導体ウェハ包装容
器にあっては、蓋体とボトムケース体との嵌合固定を別
体からなるクリップにより容器の４側面においてなされ
る。そのため、蓋体の開放側端縁に沿って外方に突出す
るフランジ部の４側面の各中央部に前記クリップの上端
係合部と係合する係合凹部が形成される共に、前記ボト
ムケース体に形成された逆Ｕ字状をなす開放側端縁部か
ら垂直に延在する外側屈曲部分の４側面の中央部に前記
クリップの下端係合部と係合する係合凹部が形成されて
いる。

【０００６】しかして、前記蓋体及びボトムケース体の
各係合凹部の部位では、蓋体の本体側壁とボトムケース
体の本体側壁の肉厚が残るだけとなり、前記係合凹部と
本体とをリブで連結はしているものの、強度的に他の部
分より弱いものとなっている。また、前述のように蓋体
とボトムケース体との嵌合固定に別体のクリップをしよ
うすることから、蓋体及びボトムケース体のクリップ係
合部における構造が複雑化するばかりでなく、両者の嵌
合固定作業が煩雑化されている。更には、前記係合凹部
の存在により、特に上記素材から成形されるボトムケー
ス体にあっては、その成形時に前記係合凹部の部分で波
打ち状態に変形しやすく、蓋体とボトムケース体との嵌
合固定にあたって密封性に難があり、外気が侵入する恐
れがある。

【０００７】本発明はこれらの課題を一挙に解決すべく
なされたものであり、具体的には構造が簡略され、しか
も蓋体との嵌合固定作業が容易で、且つ密封性に優れ、
更には強度的にも何ら低下することのないボトムケース
体を提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明の主
要な構成である内部に複数の半導体ウェハを起立状態で
並列支持するウェハキャリアが収納され、蓋体とボトム
ケース体とからなる合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器
にあって、前記ボトムケース体の開放端部が、その全周
にわたり連続して略同一の長さをもって外側に略逆Ｕ字
状に屈曲した形態に成形されてなり、その相対する一対
の外側壁部分に前記蓋体の相対する係着片と係着する係
着部を有してなることを特徴とする半導体ウェハ包装容
器により達成される。

【０００９】そして、更に前記ボトムケース体の略逆Ｕ
字状に形成された前記開放端部の強度を確保するため、
同開放端部の本体部分と外側屈曲部分とが全周にわたり
複数の補強リブにて連結されていることが望ましい。

【００１０】かかる構成から、本発明にあっては前記蓋
体及びボトムケース体が略矩形状をなしており、係着孔
を有する係着片が前記蓋体の少なくとも一組の対向する
側壁の開放端縁中央から同一平面上を延設され、同係着
片に対応する前記ボトムケース体の外側屈曲部分には前
記係着片の肉厚に相当する深さの凹みが形成されるとと
もに、同凹みの前記係着孔に対応する部位に前記係着孔
に嵌合する係着部としての嵌合膨出部を形成することを
可能にする。この場合、前記凹みと嵌合膨出部はボトム
ケース体の外側屈曲部分の一部から構成されており、従
って、前記外側屈曲部分が途中で欠落して開放端縁部が
ボトムケース体の本体部分のみとなることがなく、その
部分での強度の低下を生じさせることもない。

【００１１】また、前述の係着片と凹み及び嵌合膨出部
とは単純な構造からなり、成形時に同時に形成できるた
め、従来と比較するとクリップなどが不要となり、しか
も蓋体とボトムケース体とを嵌合固定する操作も簡単で
あって、蓋体をボトムケース体に被せて、蓋体を上方か
ら押圧するだけで、前記係着片が弾性変形しながら前記
嵌合膨出部に乗り上がりながら、同膨出部が前記係着片
に形成された係着孔に嵌合する。ここで、係着片は弾性
的に原形に戻り、前記膨出部が前記係着孔に嵌着係合す
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図示実施例により具体的に説明する。図１は本発明
の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包装容器の組付け
前の分解斜視図である。本発明のウェハ包装容器１０は
ウェハキャリアに整然と収容支持される多数の半導体ウ
ェハを保管、移動、輸送させる際に使用される。図１に
おいて、符号１２はボトムケース体、１３はウェハキャ
リア、１４は蓋体、１５はウェハ押圧部材、１６はガス
ケットである。

【００１３】前記ウェハ包装容器１０は、蓋体１４とボ
トムケース体１２とからなり、ボトムケース体１２は内
部にウェハキャリア１３を遊嵌状態で収納できるような
内面形状を有している。前記蓋体１４は前記ボトムケー
ス体１２に外側から嵌合させるとともに、係着手段によ
って係着固定する。

【００１４】図示例にあって、前記ボトムケース体１
２、蓋体１４及びウェハキャリア１３は、一部を除いて
上記国際公表公報に開示された構造と実質的に異なると
ころがないため、以下の説明では実質的に一致する構成
部分に関してはその概略を簡単に説明するに止め、本発
明の特徴部分に関して詳細に説明する。

【００１５】先ず、上記ウェハキャリア１３は従来の構
成と実質的に同じであり、その構造について図１を参照
しながら簡単に説明すると、左右側板３１，３２、背板
３３及び前記左右の側板３１，３２の前端の略中央部を
連結する連結バー３４からなる、上下及び前方が開放し
たケース体からなり、前記左右側板３１，３２は前記連
結バー３４から上方が鉛直面部３１ａ、３２ａを構成
し、前記連結バー３４の下方は下端に向けて左右側板３
１，３２が漸次接近するように下方に湾曲した円弧面部
３１ｂ、３２ｂを構成している。

【００１６】そして、前記左右側板３１，３２の対向面
に沿って下方に垂直に延びる多数のウェハ支持溝３１
ｂ′，３２ｂ′が多数並列して形成されており、各ウェ
ハ支持溝３１ｂ′，３２ｂ′に半導体ウェハが挿入され
て、互いに接触することなく起立状に保持される。ま
た、前記キャリア形態だけでは多数の半導体ウェハを保
持して単独に載置する場合に不安定であるため、前記左
右側板３１，３２の下端部から同側板３１，３２に直交
させてリブ３１ｃ，３２ｃを外方に突設させている。

【００１７】かかる要部形態を有するウェハキャリア１
３は、上述のようにボトムケース体１２にガタツキがな
いように収容される。そのため、ボトムケース体１２の
内面形状は前記ウェハキャリア１３の外形に適合させて
形成されている。経済性を考慮しなければ、ボトムケー
ス体１２の内面形状だけをウェハケース体１３の外形に
合わせるだけで、外形を矩形のケース体として成形すれ
ば足りるが、従来から材料費等が考慮されてボトムケー
ス体１２の外形も可能な限り前記ウェハキャリア１３の
外形に沿わせるような形状としている。すなわち、ボト
ムケース体１２の主要部の形態は、図１〜図４に示すよ
うにウェハキャリア１３の上記左右側板３１，３２の形
態に対応する対向する左右側壁部２１，２２の中央を前
記左右側板３１，３２と同様に、上半部中央が鉛直面部
２１ａ，２２ａとされ、下半部中央が内側に湾曲する湾
曲面部２１ｂ，２２ｂとされている。

【００１８】また、前壁部２３の中央を上端部を残して
下端まで連続する凹み部２３ａが形成されており、他の
壁部は前記鉛直面部２１ａ，２２ａを含めて、全てが鉛
直壁部とされて、外形全体としては略矩形の箱体形態を
なしており、上部が開放されている。ボトムケース体１
２の底部２５は、前記前壁部２３と後壁部２４の各下端
中央部を結ぶ帯状部分２５ａが段部を介して上方に凹ん
だ状態で成形されており、従って前記底部２５の左右側
端部は、外側に開いたコ字型の基部２５ｂ，２５ｂを構
成する。本実施例においては、更に前記帯状部分２５ａ
の中央部２５ａ′は下方に突出する円筒体の一部をなし
ている。一方、前壁部２３における前記凹み部２３ａの
上端位置は、上記ウェハキャリア１３をボトムケース体
１２に収容したとき、上記連結バー３４の下面が前記凹
み部２３ａの上端に当接する位置である。

【００１９】図示例にあっては、特に前記ボトムケース
体１２の前記開放端部が本発明の特徴部をなしており、
その全周にわたって略同一の長さをもって略３６０°外
側に折り曲げられて、本体部分２６ａと外側屈曲部分２
６ｂとが略逆Ｕ字状の形態となるよう成形される。前記
本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの間隔は本実施
例では約１１ｍｍに設定されており、この場合には、操
作の際に前記本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの
間に指を入れることができ操作性が向上すると共に、同
ボトムケース体１２の成形時に同部をヒートパイプなど
で冷却することができ成形の仕上がりが良好なものとな
る。また、本実施例では前記開放端部の全周にわたり、
その本体部分２６ａと外側屈曲部分２６ｂとの間を所要
の間隔をおいて複数の補強リブ２７，２７，…により連
結している。かかる開放端部の形態を採ることにより、
同端部の耐衝撃強度が増加するばかりでなく、成形時の
ひけ等による歪みが発生して同端部が波打ち状に変形す
ることも防止され、蓋体１４を被せたときに、蓋体１４
の開放端縁が全周にわたって嵌合し、後述するガスケッ
トと相まって外気の侵入を確実に阻止する。これらの機
能は、前記逆Ｕ字状の形態を開放端部の全周にわたって
連続して形成する場合には、特に有効である。

【００２０】かかる観点から、本実施例では、更に蓋体
１４及びボトムケース体１２の各開放端が略矩形をなし
ており、図５及び図６に示すように前記蓋体１４の左右
側壁４１ａ，４１ｂの開放端中央からそれぞれ一対の矩
形状の係着片４２ａ，４２ｂが、各開放端部と略同一平
面上を延設されており、各係着片４２ａ，４２ｂの中央
にはそれぞれに矩形状の係着孔４２ａ′，４２ｂ′が形
成され、各係着片４２ａ，４２ｂはコ字状をなしてい
る。一方、蓋体１４を嵌合させたときの前記係着片４２
ａ，４２ｂに対応する前記ボトムケース体１２の外側屈
曲部分２６ｂは、図２に示すように前記係着片４２ａ，
４２ｂの肉厚に相当する深さの凹み部２６ｃ，２６ｃを
構成するように屈曲して成形されている。

【００２１】そして、この凹み部２６ｃの前記係着孔４
２ａ′，４２ｂ′に対応する部位には、同係着孔４２
ａ′，４２ｂ′に嵌合係止するほぼ同一形状を有する嵌
合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′を僅かに膨出させている。
このようなボトムケース体１２と蓋体１４との嵌合固定
構造を採用することにより、ボトムケース体１２の逆Ｕ
字状断面からなる開放端部の外側屈曲部分を同開放端部
の全周にわたり欠落する部分がなく連続させて成形する
ことが可能である。このように、開放端部の全周にわた
り連続的に屈曲部分を成形するときは、局部的に歪みが
発生せず、波打ち上の変形をもたらすことがなく、蓋体
１４との嵌合にあたっても密着性が確保される。

【００２２】また、前述のようにボトムケース体１２の
開放端部の全周にわたり連続的に外方に屈曲させること
により、蓋体１４よりも衝撃性能に劣る材質を使って
も、十分な強度が確保されるとともに、前述のような蓋
体１２との係着固定構造を採用することで、蓋体１４を
上面からボトムケース体１２にに向けて押し付けるだけ
の簡単な操作で、係着片４２ａ，４２ｂが弾性変形して
係着孔４２ａ′，４２ｂ′に嵌合膨出部２６ｃ′，２６
ｃ′が嵌着したのち原形に復帰することで、嵌合固定を
確実に且つ容易になし得ることになる。また、蓋体１４
をボトムケース体１２から外すときも、前記係着片４２
ａ，４２ｂを弾性的に外方へ僅かに開きながら上方に引
き上げれば容易に外すことができる。

【００２３】前記蓋体１４は既述したように矩形箱状を
なしており、図５〜図８に示すように下方に開放端部を
有している。開放端部は段部を介した拡大フランジ部４
３から構成され、その左右フランジ部４３ａ，４３ｂか
らは略同一平面上を上記係着片４２ａ，４２ｂが垂設さ
れている。蓋体１４の天板部４４の上面は平坦ではな
く、その上面の複数部位には方形をなすブロック状の突
出部４４ａ〜４４ｃが突設され、本発明の包装容器１０
を積み重ねる際に、上記ボトムケース体１２の基部２５
ｂ，２５ｃなどの間に形成される嵌合凹部に嵌合する。
本実施例では、前記突出部４４ａは前記ボトムケース体
１２の底部中央の帯状部分２５ａに嵌合するため、同様
に帯状をなしており、その表面の更に中央部を帯状に円
筒体の一部をなす円弧状の凹み面４４ａ′としている。

【００２４】また、前記突出部４４ｂ，４４ｃは前記帯
状部分２５ａを挟んで左右の端部中央から上方に突設さ
れた方形ブロック状をなし、ボトムケース体１２の上記
左右の各コ字型基部２５ｂ，２５ｂの間に形成される空
間部２５ｂ′，２５ｂ′を本発明の嵌合凹部の一部とし
て利用し、同空間部２５ｂ′，２５ｂ′に遊嵌する。

【００２５】ボトムケース体１２及び蓋体１４に形成さ
れる嵌合凹部と突設部は、いずれも容器内部に収納され
るウェハの周縁と干渉しない部位であることが肝要であ
る。また、本実施例では前記嵌合凹部の一部としてボト
ムケース体１２の外形により形成される空間部２５
ｂ′，２５ｂ′を利用しているが、これに限るものでは
なく別途独立させて形成するようにしてもよいことは勿
論である。

【００２６】更に、蓋体１４の上記天板部４４の内面に
は、ウェハキャリア１３に保持されて容器内部に収納さ
れた各ウェハの上縁を弾性的に押圧するウェハ押圧部材
１５を嵌着固定する嵌着手段を有している。前記ウェハ
押圧部材１５は、例えば図１に示すように、矩形枠体１
５ａと、同矩形枠体５１の長辺を構成する一対の枠材５
２ａ，５２ａのそれぞれに多数の弾性片５３が各枠材５
２ａ，５２ａに直交して櫛歯状に延設される基本構造を
有している。これらのウェハ押圧部材１５はボトムケー
ス体１２と同様にポリプロピレンから成形されるが、他
の素材、例えばポリエステルエラストマー樹脂等も使わ
れる。いずれにしても、ウェハに直接接触するため、摩
耗が少なく揮発成分の発生が少ない材質を使用すること
が好ましい。

【００２７】図１に示すウェハ押圧部材１５は、従来か
ら一般的に採用されている形態であって、前記弾性片５
３，５３は各枠材５２ａ，５２ａに左右対称に配され、
それぞれが各枠材５２ａ，５２ａを挟んでほぼ直角をな
して左右に延設される第１弾性片５３ａと第２弾性片５
３ｂからなる。左右の枠材５２ａ，５２ａに直交して同
一直線上に配された左右の第１及び第２弾性片５３ａ，
５３ｂの各先端には、ウェハを４点で弾性的に押圧する
ウェハ押圧部５３ａ′，５３ｂ′が形成されており、前
記ウェハ押圧部５３ａ′は図示せぬウェハの円周面に接
触し、ウェハ押圧部５３ｂ′はウェハ上端のオリエンテ
ーションフラット部に接触する。

【００２８】このウェハ押圧部材１５は、ウェハの種類
により枠体５１自体の寸法が異なるばかりでなく、その
枠材５２ａ，５２ｃ及び弾性片５３ｃ，５３ｃの太さも
異なる。すなわち、ウェハの種類によりウェハ押圧部材
１５の形態及び機械的性質も変更される。

【００２９】しかして、従来は包装容器１０の天板部内
面に形成されるウェハ押圧部材の固定構造は、例えばウ
ェハ押圧部材の枠体を挟持し或いは係合させるべく、各
枠体とほぼ同一形態をもつ複数条のリブやフック片から
なり、しかも種類の異なる各ウェハに対応するように成
形された異なる形態や物性をもつウェハ押圧部材に適合
するウェハ押圧部材固定構造をもつ蓋体を個々に成形し
ている。従って、生産性に乏しく、当然にコストアップ
につながっていた。

【００３０】そこで、本実施例では多様な種類のウェハ
に同一構造の蓋体で対応できるように、異なる種類のウ
ェハ押圧部材に対する交換固定を可能にしている。図５
〜図８に示した実施例にあっては、上述の２種類のウェ
ハ押圧部材１５を同一の蓋体１４をもって嵌着固定でき
るように、上記長辺を構成する各一対の枠材５２ａ，５
２ａに対応する天板部４４の内面部位に、それぞれ前記
枠材５２ａ，５２ａのほぼ全長にわたって挟着する都合
４組の２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄを平行に突設して
いる。図示例では、左右側壁部４１ａ，４１ｂに近い各
一対の前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄのそれぞれ外
側に位置する挟着リブ４４ｄの一部が切り欠かれ、液体
流路４４ｄ′を形成している。こうして、液体流路４４
ｄ′を形成すると、ウェハを容器ごと洗浄・乾燥すると
き、前記２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に洗浄液が
滞留することなく、洗浄液の蒸発を促進させる。また、
その液体流路４４ｄ′間に挟まれる部分に相当する位置
に起立片４４ｅを突設し、同起立片４４ｅの先端部にウ
ェハ押圧部材１５を固着させたとき、前記枠材５２ａ，
５２ａの端縁に係止して押圧するための膨出係止部４４
ｅ′を形成している。

【００３１】そして本実施例では、更に前記長辺を構成
する各一対の枠材５２ａ，５２ａは同一の長さであるこ
とから、上記短辺を構成する各一対の枠材５２ｃ，５２
ｃに対応する天板部４４の内面部位には、各枠材５２
ｃ，５２ｃの外側面に当接するように短尺のリブ４４ｆ
と、同短尺リブ４４ｆに隣接させて前記各枠材５２ｃ，
５２ｃの上面の一部を押圧係止する係止突起４４ｇとを
突設している。この係止突起４４ｆの先端の各枠材５２
ｃ，５２ｃの上面を押圧する位置には略裁頭角錐台状を
なす膨出係止部４４ｇ′が形成されている。しかし、前
記短尺のリブ４４ｆ及び係止突起４４ｇは必ずしも必須
ではない。

【００３２】そして、前記各枠材５２ａ，５２ｃは、そ
の端部に向けて漸次肉薄に形成されるとともに、前記各
リブや起立片及び係止突起を先端に向けて肉厚を漸次増
加させている。しかも、図示例によれば前記各枠材５２
ａ，５２ｃの嵌着端の肉厚を前記リブ等のの基端の肉厚
より僅かに厚く設定してある。そのため、種類の異なる
ウェハ押圧部材１５であっても、容易に嵌着位置が決め
やすく、同時に嵌着操作を容易にし、矩形枠体５１の長
辺をなす枠材５２ａ，５２ａを対応する部位にある前記
２条の挟着リブ４４ｄ，４４ｄの間に押し込むととも
に、短辺をなす各枠材５２ｃ，５２ｃ；５２ｄ，５２ｄ
を各一対の短尺リブ４４ｆ及び係止突起４４ｇの内面に
沿わせて押し込むにつれて、挟着リブ４４ｄ，４４ｄに
よる挟持力が増加し、また短尺リブ４４ｅによる短辺を
なす各枠材５２ｃ，５２ｃに対する外側からの当接力が
増加し、同時に前記係止突起４４ｇの膨出頭部４４ｇ′
が同枠材５２ｃ，５２ｃに係合し、上記起立片４４ｅの
膨出係止部４４ｅ′による押圧係止と相まって枠体５１
を蓋体１４の天板部内面に強く押し付けて強力に固定す
る。

【００３３】ボトムケース体１２の開放端部及び上記蓋
体１４の各開放端部の頂部にはＵ字状のガスケット挿入
溝２８, ４５が全周にわたって形成されている。本実施
例にあっては、前記ガスケット挿入溝２７, ４５は互い
に同一の断面形状に形成されており、前記ボトムケース
体１２のガスケット挿入溝２８は前記蓋体１４のガスケ
ット挿入溝４５よりも深く形成されている。

【００３４】各ガスケット挿入溝２８, ４５に挿入され
るガスケット１６は、既述した従来の形態を有するガス
ケットであってもよいが、その材質は揮発性成分が非常
に少ない樹脂であることが好ましく、機械的性質並びに
成形性等からポリエステルエラストマー等が採用され
る。図９に示すガスケット１６は前記ボトムケース体１
２及び蓋体１４に形成された前記ガスケット挿入溝２
８, ４５の開放端と同一の矩形環状体からなり、その全
周にわたって外側面の中央部になだらかな膨出部１６ａ
を有すると共に、その内側面の中央部には略矩形断面を
有する突部１６ｂが同内側面に対して直角に突出してい
る。

【００３５】更に、前記ガスケット１６は、同図に破線
で示すようにガスケット１６の上下端縁部における前記
内側面はほぼ平坦面１６ｃを呈しているが、前記外側面
は内側面の端縁に向けて傾斜する円弧面１６ｄとされて
おり、各端縁部ともに先細状に形成され、上下対称の断
面形状をなしている。前記ガスケット１６の縦方向（上
下）の長さは、前記ボトムケース体１２及び蓋体１４に
形成された各ガスケット挿入溝２８, ４５の深さの和よ
りも大きく設定されており、同ガスケット１６の中央部
における膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚は略同一に
設定され、更に同膨出部１６ａ及び突部１６ｂの肉厚を
含む中央部の全肉厚は前記ボトムケース体１２のガスケ
ット挿入溝２８の溝幅よりも僅かに大きく設定されてい
る。

【００３６】このガスケット１６を前記ボトムケース体
１２のガスケット挿入溝２８に、前記突部１６ｂが同溝
２７内に完全に嵌着されるまで押し込む。このとき、同
ガスケット１６の中央部は前記溝２８の幅よりも僅かに
大きな厚みを有しているため多少の弾性抵抗を感じる。
そのため、ガスケット１６がボトムケース体１２のガス
ケット挿入溝２８内に保持され、容易に抜け出すことが
ない。そして、上述したように前記ガスケット１６は上
下対称の形状をなすため上下方向の確認が不要であるば
かりでなく、従来のようにボトムケース体と蓋体とのガ
スケット挿入溝の端面間で挟持される突条がないため、
前記ガスケット挿入溝２８の溝端面に係合させる必要も
なく、その挿入作業は格段に簡素化される。

【００３７】ところで、前記ガスケット挿入溝２８内に
嵌入されたガスケット１６は、上述のようにその上下の
高さが前記ボトムケース体１２及び蓋体１４の各ガスケ
ット挿入溝２８, ４５の深さの和よりも大きく設定され
ているため、同ガスケット１６の中央に形成された前記
膨出部１６ａ及び突条１６ｂが前記ガスケット挿入溝２
８内に完全に挿入されるまで同ガスケット１６を押し込
むと、図９に実線で示すように、その下端部１６ｃの円
弧面１６ｄがガスケット挿入溝２７の底面に沿って案内
され、必然的にボトムケース体１２の内側方向に湾曲す
る。

【００３８】上述のようにガスケット１６が装着された
前記ボトムケース体１２に半導体ウェハを起立して並列
支持されている前記ウェハキャリア１３を収容し、同ケ
ース体１２に蓋体１４を被せると、前記ガスケット１６
の上端部１６ｃが蓋体１４のガスケット挿入溝４５に嵌
入する。このとき、前記蓋体１４を上面からボトムケー
ス体１２に向けて強く押し付けると、蓋体１４の前後中
央部に垂設された係着片４２ａ，４２ｂが弾性変形しな
がらボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６
ｃ′に乗り上がり、更に押されると前記係着片４２ａ，
４２ｂに形成されている係着孔４２ａ′，４２ｂ′が前
記ボトムケース体１２の嵌合膨出部２６ｃ′，２６ｃ′
と嵌着して原形に復帰し、ボトムケース体１２と蓋体１
４との嵌合固定を更に強力なものとする。

【００３９】このとき、前記ガスケット１６の上端部１
６ｃは、前述のように前記蓋体１４のガスケット挿入溝
４５内に嵌入されるが、前記上端部１６ｃの厚みは前記
挿入溝４５の溝幅よりも小さいため、その嵌入に手間取
ることもなく確実に嵌入する。前記蓋体１４のガスケッ
ト挿入溝４５内に嵌入されたガスケット１６の上端部１
６ｃは、同上端部１６ｃの断面形状が下端部のそれと同
一であるため、前記ボトムケース体１２のガスケット挿
入溝２７内に嵌入された下端部１６ｃと同様に必然的に
内側に湾曲した状態となり、同挿入溝４５の底面に密着
する。また、本実施例ではガスケット１６の上記膨出部
１６ａ及び突条１６ｂの中央に上下端部１６ｃを延設さ
せているため、嵌入時の同ガスケット１６は各ガスケッ
ト挿入溝２８，４５の底部中央に嵌入させられ、上下端
部１６ｃが必ず容器内方に湾曲すする。この状態で、ウ
ェハ包装容器１０は、保管中に内外気圧の変化に伴って
容器内の気圧が外部に対して異常に上昇することがあ
る。このとき、図９に矢印で示す方向に内圧が作用し、
ボトムケース体１２と蓋体１４とが離間する方向に僅か
に移動するが、前記湾曲長さを十分に設定しておけば、
前記ガスケット１６の上端部１６ｃの湾曲側内面で前記
内圧を受けることになり、同上端部１６ｃはより強く前
記ガスケット挿入溝４５の底面に押し付けられ、その密
閉性を確保する。また、前述のように容器のない外圧の
変化に限らず、外部からウェハ包装容器１０に衝撃力が
加わって、容器が僅かに変形しても前記ガスケット１６
は前記ボトムケース体１２及び蓋体１４のガスケット挿
入溝３７, ４５の底部に接近分だけ大きく湾曲し、更に
密閉性を高めるため、外気の侵入による容器内の空気汚
染の恐れはない。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係る半導体ウェハ包装容器におけるボトムケース体
の構造によれば、その開放端部が全周にわたり連続して
外方に屈曲しているため、成形時の歪み等による変形を
もたらすことがなく、しかも所要の強度が確保される。
また、本発明は前述のように開放端部の外方への屈曲を
連続させることを可能にしているのは、蓋体から垂設さ
れる係着片に係着する係着部を前記屈曲部の外側屈曲部
分を膨出させるように成形するためであり、この係着構
造を採用することにより、構造が簡易化されるととも
に、蓋体との嵌合固定にあたっても、蓋体をボトムケー
ス体に外嵌させたのち上方から押し付けると、蓋体から
垂設された係着片が弾性変形しながらボトムケース体の
前記係着部に乗り上げ、続いて係着したのちに原形に復
帰して簡単に嵌着固定される。蓋体を外すときも、前記
係着片を弾性変形させながら斜め上方に引き上げれば簡
単に外すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の代表的な実施例を示す半導体ウェハ包
装容器の分解斜視図である。

【図２】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材であるボ
トムケース体の半部を断面で示す側面図である。

【図３】同正面図である。

【図４】同ボトムケース体の底面図である。

【図５】前記半導体ウェハ包装容器の構成部材である蓋
体の半部を断面で示す側面図である。

【図６】同正面図である。

【図７】同蓋体の上面図である。

【図８】同底面図である。

【図９】前記ボトムケース体と蓋体との間の密閉シール
構造を示す要部の断面図である。

【符号の説明】

１０ 半導体ウェハ包装容器 １２ ボトムケース体 １３ ウェハキャリア １４ 蓋体 １５ ウェハ押圧部材 １６ ガスケット １６ａ 膨出部 １６ｂ 突部 １６ｃ 上下端部 １６ｄ 円弧面 ２１，２２ 左右側壁部 ２１ａ，２２ａ 鉛直面部 ２１ｂ，２２ｂ 湾曲面部 ２３ 前壁部 ２３ａ 凹み部 ２４ 後壁部 ２５ 底部 ２５ａ 帯状部分 ２５ａ′ 中央部 ２５ｂ 基部 ２５ｂ′ 空間部 ２６ａ 本体部分 ２６ｂ 外側屈曲部分（外側面部
分） ２６ｃ 凹み部 ２６ｃ′ 嵌合膨出部 ２７ 補強リブ ２８ ガスケット挿入溝 ３１，３２ 左右側板 ３１ａ，３２ａ 鉛直面部 ３１ｂ，３２ｂ 円弧面部 ３１ｂ′，３２ｂ′ ウェハ支持溝 ３１ｃ，３２ｃ リブ ３３ 背板 ３４ 連結バー ４１ａ，４１ｂ 左右側壁 ４２ａ，４２ｂ 矩形状係着片 ４２ａ′，４２ｂ′ 矩形状係着孔 ４３ａ，４３ｂ 左右フランジ部 ４４ 天板部 ４４ａ〜４４ｃ ブロック状突出部 ４４ａ′ 凹み面 ４４ｄ 挟着リブ ４４ｄ′ 液体流路 ４４ｅ 起立片 ４４ｅ′ 膨出係止部 ４４ｆ 短尺リブ ４４ｇ 係止突起 ４４ｇ′ 膨出係止部 ４５ ガスケット挿入溝 ５１ 矩形枠体 ５２ａ，５２ｃ 枠材 ５３ 弾性片 ５３ａ，５３ｂ 第１及び第２弾性片 ５３ａ′，５３ｂ′ ウェハ押圧部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部に複数の半導体ウェハを起立状態で
   並列支持するウェハキャリアが収納される蓋体とボトム
   ケース体とからなる合成樹脂製の半導体ウェハ包装容器
   にあって、 前記ボトムケース体の開放端部が、その全周にわたり連
   続して略同一の長さをもって外側に略逆Ｕ字状に屈曲し
   た形態に成形されてなり、その相対する一対の外側壁部
   分に前記蓋体の対応する係着片と係着する係着部を有し
   てなることを特徴とする半導体ウェハ包装容器。
2. 【請求項２】 前記ボトムケース体の略逆Ｕ字状に形成
   された前記開放端部の本体部分と外側屈曲部分とが全周
   にわたり複数の補強リブにて連結されてなる請求項１記
   載の半導体ウェハ包装容器。
3. 【請求項３】 前記蓋体及びボトムケース体が略矩形状
   をなしており、係着孔を有する係着片が前記蓋体の少な
   くとも一組の対向する側壁の開放端中央から略同一平面
   上を延設され、同係着片に対応する前記ボトムケース体
   の外側屈曲部分には前記係着片の肉厚に相当する深さの
   凹み部が形成されるとともに、同凹み部の前記係着孔に
   対応する部位に前記係着孔に嵌合する嵌合膨出部が形成
   されてなる請求項１又は２記載の半導体ウェハ包装容
   器。