JP2006527919A - 動きを限定するウェファボックス - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 半導体ウェファを保持するための収納装置であって、
前記半導体ウェファを保持するための収納装置が、下部構造と蓋とを具備していて、
前記下部構造がそこから延伸する少なくとも一つの円筒形壁を含み、前記少なくとも一つの円筒形壁がその範囲にウェファ収納領域を形成し、前記少なくとも一つの円筒形壁の少なくとも一部分が分割されてその結果、前記少なくとも一つの円筒形壁の範囲内にスロットを形成し、前記スロットが前記ウェファ収納領域に延伸するスペーサ要素を受容しており、
前記蓋が、前記下部構造に係合するための手段を含んでいて、前記下部構造と前記蓋とが共に装着される場合に、前記収納装置の上部を形成する、半導体ウェファを保持するための収納装置。 - 前記少なくとも一つの円筒形壁が、前記下部構造から垂直に延伸する、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記下部構造を係合するための前記手段が、前記下部構造に形成される留め金を受容するスロットを含む、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記蓋が蓋の円筒形壁を含んでいて、前記下部構造と前記蓋とが共に装着される場合に、前記蓋の円筒形壁が前記下部構造の前記少なくとも一つの円筒形壁に外側から隣接するようになる、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スロットが、前記少なくとも一つの円筒形壁の周囲に周期的に形成される、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記少なくとも一つの円筒形壁が、前記スロットより大きな少なくとも一つの隙間を含む、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スペーサ要素が、前記スロットを形成する前記少なくとも一つの円筒形壁の端部を捕捉する溝を含んでいて、さらに前記ウェファ収納領域に伸長するフィンを含む、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スペーサ要素が、押出し成形によって形成される、請求項7に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スペーサ要素が、前記ウェファ収納領域で半導体ウェファのための緩衝体を形成するのに十分に柔軟である、請求項8に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記少なくとも一つの円筒形壁の前記スロットの周囲に形成されるアーチ型の遮蔽壁をさらに含む、請求項1に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 半導体ウェファを保持するための収納装置であって、
前記半導体ウェファを保持するための収納装置が、下部構造と蓋とを具備していて、
前記下部構造がそこから延伸する内側の同心円の円筒形壁及び外側の同心円の円筒形壁を含み、前記内側の同心円の円筒形壁がその範囲にウェファ収納領域を形成し、前記内側と外側の同心円の円筒形壁の少なくとも一部分が分割されてその結果、前記内側と外側の同心円の円筒形壁の範囲内にスロットを形成し、前記スロットが前記ウェファ収納領域に延伸するスペーサ要素を受容しており、
前記蓋が、前記下部構造に係合するための手段を含んでいて、前記下部構造と前記蓋とが共に装着される場合に、前記収納装置の上部を形成する、半導体ウェファを保持するための収納装置。 - 前記内側と外側の同心円の円筒形壁が、前記下部構造から垂直に延伸する、請求項11に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記下部構造を係合するための前記手段が、前記下部構造に形成される留め金を受容するスロットを含む、請求項11に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記蓋が蓋の円筒形壁を含んでいて、前記下部構造と前記蓋とが共に装着される場合に、前記蓋の円筒形壁が、前記下部構造の前記外側の同心円の円筒形壁に外側から隣接するようになる、請求項11に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スロットが、前記内側と外側の同心円の円筒形壁の周囲に周期的に形成される、請求項11に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記内側と外側の同心円の円筒形壁が、前記スロットより大きな少なくとも一つの隙間を含む、請求項11に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スペーサ要素が、円筒形の頭部及びそこから延伸する尾部を含む、請求項11に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記尾部が、そこから延伸する歯状突起を含む、請求項17に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記スペーサ要素が、前記ウェファ収納領域で半導体ウェファのための緩衝体を形成するのに十分に柔軟である、請求項18に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
- 前記円筒形頭部が、前記スロットを通過しないように十分に大きい、請求項17に記載の半導体ウェファを保持するための収納装置。
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