JP2012138551A - ロードロック装置および真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空槽の内外に真空槽内の減圧状態を維持したまま基板を搬入出可能なロードロック装置であって、基板を載置する凹部を有するトレイを支持することが可能な支持台と、基板を保持する蓋部と、を備え、真空槽には、基板を搬入出する開口が設けられ、真空槽の開口は、真空槽外部から蓋部によって閉塞され、真空槽内部より支持台によって閉塞することで、真空槽の壁、蓋部、および支持台によって真空槽の外部および内部から遮蔽された閉塞空間が形成され、閉塞空間を大気圧とする通気手段と、閉塞空間を減圧する排気手段と、を、さらに備え、蓋部は、閉塞空間を形成しているときに基板を載置するトレイの凹部より外側に位置する複数の保護部材を有するロードロック装置が提供される。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態に係るロードロック装置の要部図であり、(a)は、ロードロック装置の全体概要を表す要部断面模式図、(b)は、(a)の部分Aの拡大図である。
図1(a)に示すロードロック装置1は、真空槽21の内外に真空槽21内の減圧状態を維持したまま基板10を搬入出可能なロードロック装置である。ロードロック装置1は、大気圧下の外部から減圧下の真空槽21の内部へ、真空槽21内の減圧状態を維持したまま、被処理体である基板10の搬入出を可能にする。ロードロック装置1は、大気開放が可能であるとともに、真空ポンプおよび真空ライン等の排気機構を備え、大気圧よりも減圧した雰囲気を維持可能にする。
保護部材30は、支柱部31と、支柱部31によって軸支された円状の筒部32と、を有する。支柱部31は、蓋部22に設けられた凹部22rの底面22bに固定されている。
ロードロック空間26が大気開放された後、蓋部22は、蓋部22に設けられたチャック部22cがトレイ11の底面を保持し、基板10およびトレイ11ごと外部搬送手段によって持ち上げられる。この後、基板10およびトレイ11は、ロードロック装置1とは別の場所に搬送される。蓋部22を搬送する外部搬送手段については後述する。
図3は、真空処理装置の要部斜視図である。
図4は、真空処置装置の要部断面模式図である。
図4には、図3のX−X’線に沿った位置での断面が示されている。
真空槽21は、減圧チャンバであり、真空処理装置90の主容器である。真空槽21の内部は、搬送空間21sになっている。搬送空間21sは、排気機構によって減圧された雰囲気を維持している。搬送空間21sには、搬送アーム75が設置されている。搬送アーム75は、駆動機構76によって回転することができる。
先ず、基板10が載置されたトレイ11を保持した蓋部22が外部搬送手段71によって孔部21aに嵌合される。嵌合後においては、支持台20と、上壁部21uと、蓋部22と、によって取り囲まれたロードロック空間26が形成される。ロードロック空間26は、真空処理装置90の外部とも、真空槽21の搬送空間21sとも遮断されている。この際、チャック部22cに保持されていたトレイ11が支持台20に受け渡される。
トレイ14には、凹部14hが設けられている。凹部14hは、基板10Aを収容する領域14αと、保護部材30が接触可能な領域14βと、を有する。領域14αの底面14αbと、領域14βの底面14βbと、には、段差が設けられている。底面14βbは、底面14αbよりも深い。これにより、保護部材30の筒部32は、底面14αbよりも深い位置にまで挿入することができる。すなわち、複数の保護部材30のそれぞれは、トレイ14の凹部14hの底面14αbより深い位置において、トレイ14に接触可能である。なお、このような基板を載置する領域14αと、保護部材が接触可能な領域14βとに段差を設ける構造は、トレイ12、13に転用してもよい。これにより、基板10は、保護部材30とトレイ12、13、14との間により確実に挟まれ難くなる。
ロードロック装置1の作用効果を説明する前に、参考例に係るロードロック装置100の作用効果について説明する。
次に、保護部材の構造の変形例について説明する。
図10は、第2実施形態に係るロードロック装置の要部断面模式図である。図10には、保護部材付近の拡大図が示されている。
図10(a)に示すように、第2実施形態に係るロードロック装置2においては、保護部材40のそれぞれは、蓋部22に設けられた凹部22rの底面22bに固定された弾性体41と、弾性体41に直列状に接続されたピン部42と、を有する。弾性体41は、例えば、バネである。ピン部42は、例えば、金属製である。ピン部42は、弾性体41の伸縮により、ピン部42の長手方向に移動可能である。ピン部42は、突起部42aと、突起部42aに接続された板部42bと、を有する。板部42bは、凹部22rの入り口に設けられた掛止部22sによって掛止される。
図11は、第3実施形態に係るロードロック装置の要部断面模式図である。図11には、保護部材付近の拡大図が示されている。
図11(a)に示すように、第3実施形態に係るロードロック装置3においては、蓋部22に保護部材50が複数設けられている。保護部材50は、棒材または板部材であり、例えば、金属製、弾性体である。保護部材50が金属製の場合には、保護部材50は、単独部材でもよく、蓋部22の一部であってもよい。
図12は、第4実施形態に係るロードロック装置の要部断面模式図であり、(a)は、基板を載置したトレイおよび保護部材の要部平面図であり、(b)は、(a)のX−X’位置における蓋部、保護部材、およびトレイの要部断面模式図である。
図13は、第5実施形態に係るロードロック装置の要部断面模式図である。
第5実施形態のロードロック装置では、図13(a)に示すロードロック装置5aのように、保護部材30を、トレイ11の壁部11wの上面に接触させている。このような構成でも、ロードロック装置5aを急激に排気したり、通気したりしても、基板10の端が保護部材30によってトレイ11の凹部11hから外れることなく保護される。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
10、10A、10B、10C 基板
11、12、13、14、15 トレイ
11α、11β、12α、12β、13α、13β、14α、14β、15α、15β 領域
11αb、11βb、11b、12b、13b、14αb、14βb、22b 底面
11h、12h、13h、14h、15h、20r、22r 凹部
11w、12w、13w、14w 壁部
20 支持台
21 真空槽
21L 通気口
21V 排気口
21a、21b、75h 孔部
21s 搬送空間
21u 上壁部
22 蓋部
22c チャック部
22s 掛止部
25 シール部材
26 ロードロック空間
30、40、50 保護部材
31 支柱部
32 筒部
41 弾性体
42 ピン部
42a 突起部
42b 板部
70、77 プッシャー
71 外部搬送手段
72、76 駆動機構
75 搬送アーム
80 成膜装置
81 スパッタ源
82 蓋部
83 壁部材
84 防着板
85 排気機構
86 成膜空間
90 真空処理装置
Claims (10)
- 真空槽の内外に前記真空槽内の減圧状態を維持したまま基板を搬入出可能なロードロック装置であって、
前記基板を載置する凹部を有するトレイを支持することが可能な支持台と、
前記基板を保持する蓋部と、
を備え、
前記真空槽には、前記基板を搬入出する開口が設けられ、
前記真空槽の前記開口において、前記真空槽外部から前記蓋部によって閉塞され、前記真空槽内部より前記支持台によって閉塞させることで、前記真空槽の壁、前記蓋部、および前記支持台によって前記真空槽の外部および内部から遮蔽された閉塞空間が形成され、
前記閉塞空間を大気圧とする通気手段と、
前記閉塞空間を減圧する排気手段と、
を、さらに備え、
前記蓋部は、前記閉塞空間が形成されているときに、前記基板を載置する前記トレイの前記凹部より外側に位置する複数の保護部材を有していることを特徴とするロードロック装置。 - 前記複数の保護部材のそれぞれは、前記トレイに接触可能であることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記複数の保護部材のそれぞれは、前記トレイの前記凹部の底面において前記トレイに接触可能であることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記複数の保護部材のそれぞれは、前記トレイの前記凹部の底面より深い位置において前記トレイに接触可能であることを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記複数の保護部材のそれぞれは、前記トレイの前記凹部の底面より深く挿入可能であり、前記トレイには接触しないことを特徴とする請求項1記載のロードロック装置。
- 前記複数の保護部材のそれぞれは、前記蓋部に固定された支柱部と、前記柱部に軸支された筒部と、を有し、
前記筒部は、前記支柱部の長手方向にスライド可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のロードロック装置。 - 前記閉塞空間が形成されているときに、前記筒部は、前記基板の外縁の外側において前記トレイに接触可能であることを特徴とする請求項6記載のロードロック装置。
- 前記複数の保護部材のそれぞれは、前記蓋部に固定された弾性体と、前記弾性体に接続されたピン部と、を有し、前記ピン部は、前記ピン部の長手方向に移動可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のロードロック装置。
- 前記閉塞空間が形成されているときに、前記ピン部は、前記基板の外縁の外側において前記トレイに接触可能であることを特徴とする請求項8記載のロードロック装置。
- 請求項1〜9のいずれか1つのロードロック装置と、
前記真空槽にさらに内包され、前記ロードロック装置から搬送された前記基板に真空処理をすることが可能な成膜装置と、
を備えたことを特徴とする真空処理装置。
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