JP2014110375A - 前室アーム配置機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】小型製造装置100の装置前室120を、仕切り板201で気密に分離することにより、クリーン化室210と駆動室220とを設ける。アーム昇降モータ機構245は、搬送アーム123を昇降させる。搬送アーム123はクリーン化室210に配置され、アーム昇降モータ機構245は駆動室220に配置される。クリーン化室210と駆動室220とが気密に維持された状態で、アーム昇降モータ機構245が昇降軸244を昇降させることによって搬送アーム123を昇降させるので、モータ機構238で発生した微粒子が半導体ウェハ131を汚染しない。
【選択図】図6
Description
以下、この発明の実施の形態1について、本発明を半導体製造装置の前室アーム配置機構に適用する場合を例に採って説明する。
110 処理室
120 装置前室
121 容器載置台
123 搬送アーム
130 ウェハ搬送容器
131 半導体ウェハ
132 受渡底部
133 蓋部
201 仕切り板
210 クリーン化室
220 駆動室
230 ウェハ昇降機構
231 昇降体
231a 載置部
231b 突起
231c 突起の先端
231d Oリング
232 昇降軸
233 ウェハ昇降ベローズ
234 支持部材
235 ねじ軸
236 ナット
237 案内部材
238 ウェハ昇降モータ機構
240 水平搬送機構
241 スライド機構
242 昇降板
243a,243b アーム昇降ベローズ
244 昇降軸
245 アーム昇降モータ機構
246a,246b 支持台
248 駆動軸
249 アーム伸縮モータ機構
251 給気バルブ
252 排気バルブ
253 排気管
700 ベース板
701,702,711,712,721,722,731,732 プーリ
703,713,723,733 ベルト
704,714,724,734 スライド部材
705,715,725,735 ガイドレール
706,716,726,736 伝達部材
710 第1スライドアーム
720 第2スライドアーム
730 第3スライドアーム
740 第4スライドアーム
Claims (9)
- 処理基板に所望の処理を施す処理室と、
該処理室との間で前記処理基板の搬入及び搬出を行う装置前室と、
前記装置前室内に設けられ、複数段のスライドアームを相対移動させることにより水平方向に伸縮して、前記処理室と前記装置前室との間で前記処理基板を搬送する搬送アームとを備える小型製造装置の、前室アーム配置機構であって、
前記搬送アームを昇降させるアーム昇降モータ機構を備え、
前記装置前室は、前記処理基板が搬入されるクリーン化室が上側に設けられるとともに、該クリーン化室から気密に分離された駆動室が下側に設けられ、
前記搬送アームが前記クリーン化室内に配置され、且つ、前記アーム昇降モータ機構が前記駆動室内に配置された、
ことを特徴とする前室アーム配置機構。 - 前記装置前室を前記クリーン化室と前記駆動室とに分離する仕切り板と、
該仕切り板に設けられた第1の貫通孔と、
昇降台の下面に上端が気密に固着され、且つ、前記第1の貫通孔の外縁外側を囲むように前記仕切り板の上面に下端が気密に固着された、昇降方向に伸縮可能な第1のアーム昇降ベローズと、
前記第1の貫通孔及び前記第1のアーム昇降ベローズを貫通して前記昇降台の下面に連結固定された昇降軸とを備え、
該昇降軸を前記アーム昇降モータ機構が昇降させることにより、前記搬送アームを昇降させる、
ことを特徴とする請求項1に記載の前室アーム配置機構。 - 前記アーム昇降モータ機構は、駆動モータと、該駆動モータに連結されたカムとを備え、該カムの回転によるカム曲線に従って前記昇降軸を昇降させることを特徴とする請求項1又は2に記載の前室アーム配置機構。
- 前記搬送アームを略水平方向に伸縮させるアーム伸縮モータ機構を更に備え、
該アーム伸縮モータ機構が前記駆動室内に配置された、
ことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の前室アーム配置機構。 - 前記仕切り板に設けられた第2の貫通孔と、
前記昇降台の下面に上端が気密に固着され、且つ、前記第2の貫通孔の外縁外側を囲むように前記仕切り板の上面に気密に固着された、昇降方向に伸縮可能な第2のアーム昇降ベローズと、
前記第2の貫通孔及び前記第2のアーム昇降ベローズを貫通して前記搬送アームに連結された伸縮用駆動軸とを備え、
該伸縮用駆動軸を前記アーム伸縮モータ機構が回転させることにより、前記搬送アームを伸縮させる、
ことを特徴とする請求項4に記載の前室アーム配置機構。 - 前記搬送アームは、先端側の該スライドアームほど板厚が薄くなるように構成されたことを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載の前室アーム配置機構。
- 前記搬送アームは、それぞれの該スライドアームの両端部に設けられた一対のプーリと、該プーリに巻回されたベルトとを備え、
それぞれの前記プーリは、アルミニウムで形成され、且つ、
それぞれの前記ベルトはポリウレタンで形成された、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の前室アーム配置機構。 - 前記搬送アームは、いずれか1個以上の該スライドアームが、他の前記スライドアームの側面部を案内するガイド機構を備えることを特徴とする請求項1乃至7の何れかに記載の前室アーム配置機構。
- 前記処理基板が、径が20mm以下のウェハであることを特徴とする請求項1乃至8の何れかに記載の前室アーム配置機構。
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2012
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