JP2012138551A5 - - Google Patents

Description

本発明の一態様によれば、真空槽の内外に前記真空槽内の減圧状態を維持したまま基板を搬入出可能なロードロック装置であって、前記基板を載置する凹部を有するトレイを支持することが可能な支持台と、蓋部と、を備え、前記真空槽には、前記基板を搬入出する開口が設けられ、前記真空槽の前記開口において、前記真空槽外部から前記蓋部によって閉塞され、前記真空槽内部より前記支持台によって閉塞させることで、前記真空槽の壁、前記蓋部、および前記支持台によって前記真空槽の外部および内部から遮蔽された閉塞空間が形成され、前記閉塞空間を大気圧とする通気手段と、前記閉塞空間を減圧する排気手段と、を、さらに備え、前記蓋部は、前記閉塞空間が形成されているときに、前記基板を載置する前記トレイの凹部より外側に位置する複数の保護部材を有していることを特徴とするロードロック装置が提供される。

Claims (1)

1. 真空槽の内外に前記真空槽内の減圧状態を維持したまま基板を搬入出可能なロードロック装置であって、
   前記基板を載置する凹部を有するトレイを支持することが可能な支持台と、
   蓋部と、
   を備え、
   前記真空槽には、前記基板を搬入出する開口が設けられ、
   前記真空槽の前記開口において、前記真空槽外部から前記蓋部によって閉塞され、前記真空槽内部より前記支持台によって閉塞させることで、前記真空槽の壁、前記蓋部、および前記支持台によって前記真空槽の外部および内部から遮蔽された閉塞空間が形成され、
   前記閉塞空間を大気圧とする通気手段と、
   前記閉塞空間を減圧する排気手段と、
   を、さらに備え、
   前記蓋部は、前記閉塞空間が形成されているときに、前記基板を載置する前記トレイの前記凹部より外側に位置する複数の保護部材を有していることを特徴とするロードロック装置。