JP2015146347A5 - - Google Patents
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Description
すなわち、本発明のロードポートは、ウェーハ搬送室に隣接して設けられ、当該ウェーハ搬送室とウェーハ収納容器との間でのウェーハの出し入れを行うためのロードポートであって、前記ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、当該ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成された板状部と、前記開口を開閉するための扉部と、内部空間を開閉可能とする蓋部を前記扉部に対向させるようにウェーハ収納容器を載置して前記板状部に向かって進退可能とする載置台とを具備し、前記板状部が、前記ウェーハ収納容器に当接する窓枠部を有し、前記窓枠部に形成される前記開口は前記ウェーハ収納容器の前記蓋部の外周よりも大きく設けられ、前記ウェーハ収納容器と前記窓枠部との間に前記開口の周縁に沿って弾性材が設けられるウインドウユニットを有するものであり、前記載置台を板状部に向かって移動させることで、前記ウェーハ収納容器における前記蓋部の周囲に前記弾性材が弾接するように構成したことを特徴とする。
ウェーハ収納容器と弾性材との密着性を高めて、上記の効果をより高めるためには、前記クランプユニットは、前記ウェーハ収納容器において前記蓋部の周囲に設けられた鍔部に係合可能な係合片と、当該係合片を前記鍔部に係合させた状態で前記窓枠部側に引き込むシリンダとを備えるように構成することが好適である。
また、ウェーハ収納容器の接続・非接続にかかわらず開口からのガスの流出を抑制し、一層ガスの節約することを可能とするためには、前記ウインドウユニットは、前記開口の周縁に沿って前記板状部の前記扉部側に設けられた弾性材をさらに備えており、前記扉部によって前記開口を閉止することで、前記扉部側に設けられた弾性材と扉部とが弾接するように構成することが好適である。
前記ガス供給手段により、前記ウェーハ収納容器内の圧力が前記ウェーハ搬送室内の圧力よりも高められることが好適である。
そして、本発明のＥＦＥＭは、上記何れかのロードポートと、前記ロードポートと前記ウェーハを処理する処理装置との間に設けられる前記ウェーハ搬送室とを備えるＥＦＥＭにおいて、前記ウェーハを搬送する搬送ロボットを備え、前記ウェーハ搬送室は、前記ウェーハ搬送室内の気体を循環するための循環路と、ウェーハを搬送する為の搬送ロボットとを有し、前記ウェーハ搬送室の天井部には、前記搬送空間にダウンフローを形成するための前記ファンフィルタユニットが設けられ、前記循環路には前記処理から前記搬送空間へ流入する残留ガスを除去するためのケミカルフィルタが設けられ、前記ファンフィルタユニットは、前記ロードポートの前記開口よりも上方に設けられ前記ケミカルフィルタは前記ロードポートの前記開口よりも下方に設けられることを特徴とする。
Claims (9)
- ウェーハ搬送室に隣接して設けられ、当該ウェーハ搬送室とウェーハ収納容器との間でのウェーハの出し入れを行うためのロードポートであって、
前記ウェーハ搬送室の壁面の一部を構成し、当該ウェーハ搬送室内を開放するための開口を形成された板状部と、
前記開口を開閉するための扉部と、
内部空間を開閉可能とする蓋部を前記扉部に対向させるようにウェーハ収納容器を載置して前記板状部に向かって進退可能とする載置台とを具備し、
前記板状部が、前記ウェーハ収納容器に当接する窓枠部を有し、前記窓枠部に形成される前記開口は前記ウェーハ収納容器の前記蓋部の外周よりも大きく設けられ、前記ウェーハ収納容器と前記窓枠部との間に前記開口の周縁に沿って弾性材が設けられるウインドウユニットを有するものであり、
前記載置台を板状部に向かって移動させることで、前記ウェーハ収納容器における前記蓋部の周囲に前記弾性材が弾接するように構成したことを特徴とするロードポート。 - 前記ウインドウユニットは、前記蓋部を前記窓枠部側に引き込むクランプユニットを備えることを特徴とする請求項１記載のロードポート。
- 前記クランプユニットは、前記ウェーハ収納容器において前記蓋部の周囲に設けられた鍔部に係合可能な係合片と、当該係合片を前記鍔部に係合させた状態で前記窓枠部側に引き込むシリンダとを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。
- 前記ウインドウユニットは、前記開口の周縁に沿って前記板状部の前記扉部側に設けられた弾性材をさらに備えており、前記扉部によって前記開口を閉止することで、前記扉部側に設けられた弾性材と扉部とが弾接するように構成したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のロードポート。
- 前記ウェーハ収納容器に設けられたガス供給弁を介して当該ウェーハ収納容器内にガスを供給するためのガス供給手段を備えることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のロードポート。
- 前記ガス供給手段により、前記ウェーハ収納容器内の圧力が前記ウェーハ搬送室内の圧力よりも高められることを特徴とする請求項５記載のロードポート。
- 前記弾性材が板状に形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のロードポート。
- 請求項１〜７の何れかに記載のロードポートと、前記ロードポートと前記ウェーハを処理する処理装置との間に設けられる前記ウェーハ搬送室とを備えるＥＦＥＭにおいて、
前記ウェーハを搬送する搬送ロボットを備え、
前記ウェーハ搬送室は、前記ウェーハ搬送室内の気体を循環するための循環路と、ウェーハを搬送する為の搬送ロボットとを有し、
前記ウェーハ搬送室の天井部には、前記搬送空間にダウンフローを形成するための前記ファンフィルタユニットが設けられ、前記循環路には前記処理から前記搬送空間へ流入する残留ガスを除去するためのケミカルフィルタが設けられ、
前記ファンフィルタユニットは、前記ロードポートの前記開口よりも上方に設けられ前記ケミカルフィルタは前記ロードポートの前記開口よりも下方に設けられることを特徴とするＥＦＥＭ。 - 前記ウェーハ搬送室の内部に上方より下方に向かう気流を形成していることを特徴とする請求項８記載のＥＦＥＭ。
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