JP2006298607A - 基板処理方法、基板搬送装置及び搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被処理基板の撓みを抑えることができる基板処理方法を提供する。
【解決手段】 保持台2の上方の位置まで、被処理基板7を、被処理基板よりも撓みにくい支持板8に載せた状態で搬送する。複数のリフトピン4を保持面3から突出させた状態で、複数のリフトピン4により、被処理基板7が載った支持板8を支持する。被処理基板7が載った支持板8が保持面3に着地するように、複数のリフトピン4を下降させ、被処理基板7が載った支持板8を保持面3で保持する。被処理基板7が載った支持板8を保持面3で保持した状態で、被処理基板7にアニール処理を施す。複数のリフトピン4を保持面3から突出させて、処理済みの被処理基板7が載った支持板8を持ち上げ、処理済みの被処理基板7が載った支持板8を、保持台2の上方の位置から搬出する。
【選択図】 図2
【解決手段】 保持台2の上方の位置まで、被処理基板7を、被処理基板よりも撓みにくい支持板8に載せた状態で搬送する。複数のリフトピン4を保持面3から突出させた状態で、複数のリフトピン4により、被処理基板7が載った支持板8を支持する。被処理基板7が載った支持板8が保持面3に着地するように、複数のリフトピン4を下降させ、被処理基板7が載った支持板8を保持面3で保持する。被処理基板7が載った支持板8を保持面3で保持した状態で、被処理基板7にアニール処理を施す。複数のリフトピン4を保持面3から突出させて、処理済みの被処理基板7が載った支持板8を持ち上げ、処理済みの被処理基板7が載った支持板8を、保持台2の上方の位置から搬出する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、被処理基板を処理する基板処理方法、及び被処理基板を搬送する基板搬送装置に関する。
図6を参照し、従来の基板処理装置について説明する(特許文献1参照)。被処理基板61の厚さ方向をZ軸方向とするXYZ直交座標系を考える。図6(A)は、Z軸に平行な視線でみた平面図であり、図6(B)は、X軸に平行な視線でみた正面図である。
図6(A)に示すように、被処理基板61は、保持台62上に載置される。ロードアーム63及びアンロードアーム64が、保持台62からY方向に離間した位置で待機している。ロードアーム63及びアンロードアーム64は、Z軸方向に離間して配置されている。なお、図6(A)は、両者がXY面内方向に関して相互に重なった位置で待機した状態を示す。ロードアーム63及びアンロードアーム64は、被処理基板61のX方向両端部を支持した状態で、被処理基板61を搬送することができる。
図6(B)に示すように、保持台62は、昇降可能な複数のリフトピン62aを有する。リフトピン62aは、保持台62の表面から突出した状態で、被処理基板61を水平に支持することができるよう、図6(A)にも示すように、保持台62の表面内に分布している。
以下、この基板処理装置の動作を説明する。まず、未処理の被処理基板61を支持したロードアーム63が、保持台62の上方の位置に移動する。次に、保持台62の表面からリフトピン62aが上昇する。これにより、複数のリフトピン62aによって未処理の被処理基板61が支持される。その後、ロードアーム63は保持台62の位置から退く。次に、リフトピン62aが下降し、未処理の被処理基板61が保持台62の表面において保持される。この状態で、被処理基板61に露光処理が施される。
次に、リフトピン62aが上昇し、処理済みの被処理基板61が持ち上げられる。次に、アンロードアーム64が、持ち上げられた被処理基板61の裏面と、保持台62の表面との間に進入する。次に、複数のリフトピン62aが下降することにより、処理済みの被処理基板61が、アンロードアーム64に支持される。その後、アンロードアーム64が、処理済みの被処理基板61を保持台62の位置から搬出する。
図7(A)は、図6(A)及び(B)のロードアーム63(又はアンロードアーム64。以下同じ。)によって被処理基板61が支持されている様子を示す概略図である。ロードアーム63によってX軸方向両端部を支持された被処理基板61のX軸方向中央部が撓んでいる。将来、被処理基板61が大型化及び薄型化されると、被処理基板61の撓みは大きくなると考えられる。被処理基板61の撓みが大きくなると、搬送時等に被処理基板61が破損してしまうことも考えられる。
図7(B)は、図6(A)及び(B)のリフトピン62aによって被処理基板61が支持されている様子を示す概略図である。リフトピン62aによって支持されているときにも被処理基板61に撓みが生じている。被処理基板61の裏面と保持台62の上面との間に、ロードアーム63が進入するための隙間Cを確保することが必要である。被処理基板61の撓みが大きい程、隙間Cを確保するために必要なリフトピン62aの高さを高く設計する必要がある。例えば、保持台62をチャンバ内に配置する構成を採る場合には、リフトピン62aの高さが高くなる程、チャンバの高さも高く設計する必要があり、チャンバの大型化を招くことになる。
本発明の目的は、被処理基板の撓みを抑えることができる基板処理方法及び基板搬送装置を提供することにある。
本発明の一観点によれば、(A)保持面を画定するとともに、該保持面から突出するように上昇し、かつ下降することができる複数のリフトピンを備えた保持台の上方の位置まで、被処理基板を、該被処理基板よりも撓みにくい支持板に載せた状態で搬送する工程と、(B)前記複数のリフトピンを前記保持面から突出させた状態で、該複数のリフトピンにより、該被処理基板が載った支持板を支持する工程と、(C)前記被処理基板が載った支持板が前記保持面に着地するように、前記複数のリフトピンを下降させ、該被処理基板が載った支持板を前記保持面で保持する工程と、(D)前記被処理基板が載った支持板を前記保持面で保持した状態で、該被処理基板に処理を施す工程と、(E)前記複数のリフトピンを前記保持面から突出させて、処理済みの被処理基板が載った前記支持板を持ち上げ、該処理済みの被処理基板が載った支持板を、前記保持台の上方の位置から搬出する工程と
を有する基板処理方法が提供される。
を有する基板処理方法が提供される。
本発明の他の観点によれば、被処理基板を、貫通孔を有する支持板に載せた状態で支持し、かつ搬送することができる支持ハンドと、前記支持板を支持する基部、及び該基部から上方に突出し、前記支持板の貫通孔に挿通することができる突出部を有する着脱具と、前記被処理基板が、前記突出部の頂上部で支持され、前記貫通孔が前記突出部に貫かれた状態の支持板が、前記基部で支持されるように、前記着脱具と前記支持ハンドとの少なくとも一方を他方に対して上下方向に相対変位させる制御、及び前記被処理基板が前記支持板に載るように、前記基部で前記支持板を支持し、前記突出部の頂上部で前記被処理基板を支持している着脱具と前記支持ハンドとの少なくとも一方を他方に対して上下方向に相対変位させる制御を行う制御装置とを備えた基板搬送装置が提供される。
本発明の基板処理方法によれば、被処理基板を、被処理基板よりも撓みにくい支持板に載せた状態で搬送するので、搬送時に被処理基板に撓みが生じることを抑えることができる。また、リフトピンが、被処理基板が載った支持板を支持するので、リフトピンによって支持されている際に、被処理基板が撓むことを抑制できる。
本発明の基板搬送装置によれば、着脱具の位置において、被処理基板を支持板に載せることができ、かつ被処理基板が載った支持板から被処理基板を脱離させることができるので、被処理基板ごとに別の支持板を用意する必要がなくなる。即ち、1枚の支持板を用いながら、複数枚の被処理基板を順次処理することが可能となる。
図1に、実施例によるレーザアニール処理装置の概略図を示す。上下方向をZ軸方向とするXYZ直交座標系を考える。図1は、Z軸に平行な視線でみたレーザアニール処理装置の断面図である。気密構造を有するプロセスチャンバ1内に、保持台2が配置されている。保持台2は、その表面に保持面3を画定している。保持台2は、XYステージ11によりXY面に平行な方向に移動される。また、保持台2は、複数(ここでは7つ)のリフトピン4を有する。リフトピン4の各々は、保持面3から突出するように上昇し、かつ下降することができる。
図2(A)及び(B)に、図1の一点鎖線A−Aにおける保持台2の断面図を示す。図2(A)はリフトピン4が保持面3から突出している状態を示し、図2(B)はリフトピン4の先端が保持面3の位置又はそれよりも低い位置に没入している状態を示す。図2(A)及び(B)に示すように、保持台2には、各々保持面3に開口した複数の吸引用孔5が形成されている。各吸引用孔5の開口の直径は、例えば1mm以下である。真空ポンプ6が、各吸引用孔5の内部空洞を真空引きする。
図2(A)に示すように、複数のリフトピン4は、保持面3から突出した状態で、被処理基板7が載った支持板8を水平に支持することができる。被処理基板7は、ガラス板上に、アモルファスシリコン膜を形成したものである。被処理基板7のサイズは、平面視において、例えば730mm×920mmである。被処理基板7の厚さは、例えば0.7mmである。
支持板8は、被処理基板7よりも曲げ剛性が高く、被処理基板7よりも撓みにくい。また、支持板8は、その表裏面間を連通させる多数の微細な気孔を内部に有する多孔質体である。具体的には、支持板8は、例えばアルミナ等の金属からなる粉粒物を焼結して得ることができる。支持板8には、複数の貫通孔8aが形成されている。各貫通孔8aの開口の直径は、各リフトピン4の太さ(例えば、8mm)よりも小さい。具体的には、各貫通孔8aの開口の直径は、例えば5mmである。
図2(B)に示すように、保持台2は、リフトピン4を保持面3の下方に没入させた状態で、保持面3において被処理基板7が載った支持板8を保持する。支持板8がその表裏面間を連通させる多孔質構造を有するため、真空ポンプ6の吸引力によって、被処理基板7及び支持板8を保持面3に吸着させて保持することができる。
図3に、プロセスチャンバ1のXZ平面に平行な断面図を示す。保持面3において被処理基板7及び支持板8を保持している様子を示す。なお、図3では、図1のリフトピン4の図示、及び支持板8の貫通孔8aの図示を省略している。
プロセスチャンバ1に、ガス導入管12とガス排気管13とが接続されている。ガス導入管12からプロセスチャンバ1内に不活性ガス、具体的には例えばN2ガスが供給され、ガス排気管13からプロセスチャンバ1内のガスが排気される。また、プロセスチャンバ1の上壁の一部は、窓14で構成されている。窓14は、処理用レーザ光Lを透過させる材料からなる。
プロセスチャンバ1の外部に、レーザ出射装置15が配置されている。レーザ出射装置15は、例えばレーザ発振器とビームホモジナイザとを含んで構成される。レーザ出射装置15が処理用レーザ光Lを出射する。処理用レーザ光Lは、例えば紫外域の波長を有する。レーザ出射装置15から出射された処理用レーザ光Lが、窓14を透過して被処理基板7の表面に入射する。XYステージ11が、処理用レーザ光Lに対して保持台2を移動させる。
図1に戻って説明を続ける。トランスファチャンバ16が、第1のゲートバルブ17を介して、プロセスチャンバ1に接続されている。トランスファチャンバ16内に、搬送ロボット18が配置されている。搬送ロボット18は支持ハンド19を有する。支持ハンド19は、平面視において略U字状をなしている。搬送ロボット18は、支持ハンド19において、被処理基板7が載った支持板8を支持することができる。支持ハンド19の上面には、凸部20が複数設けられている。このため、支持ハンド19は、凸部20において支持板8の裏面と点接触した状態で、支持板8を支持することができる。
ロードロックチャンバ21が、第2のゲートバルブ22を介して、トランスファチャンバ16に接続されている。ロードロックチャンバ21内に、着脱具23が配置されている。着脱具23は、ベース面24を画定するとともに、各々ベース面24から上方に突出した複数(ここでは7つ)の固定ピン25を有する。
図4(A)〜(C)に、図1の一点鎖線B−Bにおける着脱具23の断面図を示す。固定ピン25の各々は、ベース面24よりも上方の位置に配置され、支持板8の貫通孔8aの開口よりも半径方向外方に大きく張り出したつば状部25aと、つば状部25aから上方に突出し、支持板8の貫通孔8aに挿通することができる突出部25bとを有する。上述したように、貫通孔8aの開口の直径は、例えば5mmであり、各突出部25bの太さは、例えば4mmである。なお、図示しないが、支持板8の貫通孔8aは、平面視において、各固定ピン25と対応するように分布している。即ち、本実施例では、支持板8には7つの貫通孔8aが形成されている。
図1に戻って説明を続ける。ロードロックチャンバ21の外部に、外部ハンド26が配置されている。外部ハンド26は、第3のゲートバルブ27を介して、ロードロックチャンバ21内に進入し、着脱具23に未処理の被処理基板7を渡すことができる。また、外部ハンド26は、着脱具23から処理済みの被処理基板7を取得することができる。
以下、上述したレーザアニール処理装置の動作を説明する。
図4(A)に示すように、予め着脱具23に支持板8が準備されている。準備された支持板8は、各貫通孔8aが突出部25bによって貫かれた状態で、つば状部25aで支持されている。
図4(B)に示すように、まず、外部ハンド26が、未処理の被処理基板7を着脱具23に渡す。具体的には、未処理の被処理基板7を支持した外部ハンド26が、着脱具23の上方の位置に移動し、次いで着脱具23に対して下方に変位する。これにより、未処理の被処理基板7が、着脱具23の突出部25bの先端に載る。その後、外部ハンド26は、図1のロードロックチャンバ21の外部に退く。
図4(C)に想像線(破線)で示すように、次に、支持ハンド19が、つば状部25bで支持された支持板8の裏面と、ベース面24との間の隙間に進入する。なお、図1にも、このときの支持ハンド19の進入位置を想像線(破線)で示している。次に、支持ハンド19が、突出部25bの頂上部よりも上方の位置まで変位する。これにより、未処理の被処理基板7が、支持板8ごと支持ハンド19によってすくい上げられる。即ち、未処理の被処理基板7が支持板8に載せられる。
図1を参照して説明を続ける。着脱具23から未処理の被処理基板7が載った支持板8(図4(C)参照)を取得した支持ハンド19が、ロードロックチャンバ21からトランスファチャンバ16内に移動する。そして、搬送ロボット18が180度旋回し、支持ハンド19が、プロセスチャンバ1内における保持台2の上方の位置まで移動する。図1では、このときの支持ハンド19の位置を想像線(破線)で示している。
図2(A)に示すように、次に、保持台2の複数のリフトピン4が上昇する。複数のリフトピン4は、支持ハンド19の凸部20よりも上方まで上昇する。これにより、複数のリフトピン4が、未処理の被処理基板7が載った支持板8を、支持ハンド20から取得する。即ち、複数のリフトピン4によって、未処理の被処理基板7が載った支持板8が支持される。なお、各リフトピン4の太さは、支持板8の貫通孔8aの開口直径よりも太いので、貫通孔8aがリフトピン4の頂上部に配置されても、リフトピン4により支持板8を支持することができる。
図2(B)に示すように、次に、未処理の被処理基板7が載った支持板8が保持面3に着地するように、複数のリフトピン4を下降させ、保持面3において被処理基板7が載った支持板8を保持する。上述したように、支持板8が多孔質構造を有するので、真空ポンプ6を作動させることにより、保持台2は被処理基板7及び支持板8の双方を吸着させて保持することができる。
図3に示すように、次に、レーザ出射装置15が、保持台2に保持された被処理基板7に処理用レーザ光Lを入射させる。これにより、処理用レーザ光Lが入射した領域のアモルファスシリコン膜が溶融する。溶融した領域の固化に伴なって、その領域内でシリコン結晶が成長する。XYステージ11が、処理用レーザ光Lに対して保持台2を移動させることにより、被処理基板7表面の所望領域を多結晶化することができる。このようにして、被処理基板7のレーザアニール処理を行う。なお、レーザアニール処理中は、プロセスチャンバ1内がN2ガスで満たされる。
図2(A)に示すように、次に、複数のリフトピン4が上昇することにより、処理済みの被処理基板7が載った支持板8を、保持面3の位置から持ち上げる。そして、持ち上げられた支持板8の裏面と、保持面3との間に支持ハンド19が進入する。その後、複数のリフトピン4が下降することにより、処理済みの被処理基板7が載った支持板8が、支持ハンド19に支持される。
図1を参照して説明を続ける。処理済みの被処理基板7が載った支持板8(図2(A)参照)を支持した支持ハンド19が、プロセスチャンバ1からトランスファチャンバ16内に移動する。そして、搬送ロボット18が180度旋回し、支持ハンド19が、ロードロックチャンバ21内に進入する。
図4(C)に示すように、支持ハンド19は、着脱具23の上方の位置に移動する。このとき、支持板8の各貫通孔8aが、突出部25bの直上に配置される。次に、支持ハンド19が、ベース面24に向かって下降する。具体的には、支持ハンド19は、図4(C)中、想像線で示したように、つば状部25aよりも下方まで下降する。
図4(B)に示すように、これにより、処理済みの被処理基板7が、突出部25bの頂上部で支持され、各々の貫通孔8aが対応する突出部25bによって貫かれた支持板8が、つば状部25aで支持される。即ち、着脱具23の位置(以下、着脱位置という。)において処理済みの被処理基板7が支持板8から脱離される。次に、外部ハンド26が、処理済みの被処理基板7と支持板8との隙間に進入し、着脱具23に対して上昇することにより、処理済みの被処理基板7を取得する。その後、外部ハンド26は、取得した処理済みの被処理基板7を、着脱位置からロードロックチャンバ21の外部に搬出する。
図4(A)に示すように、支持板8は、つば状部25aの位置に残されたままとされる。その後、再び、外部ハンド26が、未処理の被処理基板7を、突出部25bに載置し、以上説明してきた動作を繰り返す。このようにして、複数枚の被処理基板を順次アニール処理することができる。なお、本実施例のアニール結果物、即ち処理済みの被処理基板7は、例えば液晶表示パネルに用いられる。
本実施例のレーザアニール処理装置にれば、支持ハンド19が、被処理基板7を、被処理基板7よりも撓みにくい支持板8に載せた状態で支持するので、支持ハンド19による搬送時に、被処理基板7に撓みが生じることを抑制できる。
本実施例では、被処理基板7が載った支持板8が、第1及び第2のゲートバルブ17及び22の開口(以下、ゲート開口という。)を支持板8に平行な方向(X軸方向)に通過する。支持板8を用いない場合には、被処理基板7の撓みを考慮して、ゲート開口の上下方向の寸法を大きくしなければならない。これに対し本実施例では、被処理基板7に撓みが生じることを抑制できるので、ゲート開口の上下方向の寸法を大きくする必要がない。特に、被処理基板7が大型化され、又は薄型化されると、撓みが大きくなるため、支持板8を使用する効果が大きくなる。
本実施例では、保持台2のリフトピン4が、被処理基板7が載った支持板8を支持するので、リフトピン4によって被処理基板7を上下方向に移動させる時に、被処理基板7に撓みが生じることを防止できる。また、リフトピン4によって被処理基板7を上下方向に移動させる際に、慣性力によって被処理基板7が破損してしまうことを防止できるので、リフトピン4による被処理基板7の上下方向の移動の速度を従来よりもはやめることが可能となる。この結果、処理のスループットを高めることができる。
支持板8を用いない場合には、図2(A)において、リフトピン4の間の領域の被処理基板7が下方に撓む。保持面3と被処理基板7との間に、支持ハンド19を挿入するための充分な空間を確保するために、被処理基板7の撓みの量だけリフトピン4を高くしなければならない。これに対し本実施例では、支持板8により被処理基板7の撓みを抑制できるので、被処理基板7の撓みに起因してリフトピン4の高さを高く設計しなければならなくなる事態を回避できる。この結果、プロセスチャンバ1の大型化を防止できる。
本実施例では、着脱具23において、支持板8への被処理基板7の載置、及び被処理基板7が載った支持板8からの被処理基板7の脱離を行うことができるので、被処理基板7ごとに別の支持板8を準備する必要がなくなる。即ち、1枚の支持板8を使用しながら、複数枚の被処理基板7を順次処理することができる。
以下に、支持板8を多孔質構造としたことの効果について説明する。
図5(A)を参照して、まず従来技術の課題を説明する。図5(A)は、従来の真空チャックプレート51の吸引用孔52の周りを拡大して示した断面図である。真空ポンプによって吸引用孔52の内部空洞を真空引きした際、その吸引力により、吸引用孔52の位置において被処理基板7が変形し、被処理基板7の表面に窪みKが生じてしまうことがある。窪みKが生じると、例えば、被処理基板7に処理用レーザ光を入射させたときに、窪みKが生じている部分と、窪みKが生じていない部分とで、処理用レーザ光のパワー密度が異なってしまう事態を招く。
図5(B)は、本実施例による保持台2の吸引用孔5の周りを拡大した断面図である。既述のように、本実施例では、支持板8が多孔質構造を有するため、吸引用孔5の開口と被処理基板7との間に支持板8を介在させても、保持台2が、被処理基板7を吸着させて保持することができる。このため、吸引用孔5の位置において、被処理基板7を支持板8で支持することができる。従って、被処理基板7に窪みKが生じてしまうことを防止できる。この結果、被処理基板7の窪みに起因して、処理用レーザ光L(図3参照)のパワー密度が被処理基板7の表面内で異なってしまう事態を防止でき、レーザアニール処理の成果物の品質低下を防止できる。
以上、実施例について説明したが、本発明はこれに限られない。例えば、被処理基板7の厚さに対して吸引用孔5の開口の直径が充分に小さい場合等のように、吸引用孔5の位置における被処理基板5の窪みが特に問題とならない場合には、支持板8は必ずしも多孔質構造を有していなくてもよい。例えば、支持板8は、板状体に、吸引用孔5を被処理基板7の裏面まで延長させる延長用孔を形成したものであってもよい。この場合の板状体の材料としては、CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastics;炭素繊維強化プラスチック)や、GFRP(Glass FiberReinforced Plastics;ガラス繊維強化プラスチック)等のFRP材を用いることができる。また、支持板8は、ハニカム構造を有したものであってもよい。支持板8がハニカム構造を有する場合も、保持台2が被処理基板7及び支持板8の双方を保持面3に吸着させることができる。
また、実施例では、被処理基板7のサイズを730mm×920mmとしたが、これよりも大型の被処理基板、例えば1000mm×1200mm、さらには1500mm×1850mmのサイズの被処理基板を用いることができるのは勿論である。また、実施例では、被処理基板7の厚さを、0.7mmとしたが、これよりも薄型の被処理基板、例えば厚さ0.5mmの被処理基板を用いることができるのは勿論である。
また、実施例では、着脱具23が固定されていて、支持ハンド19及び外部ハンド26が着脱具23に対して上下方向に変位することとしたが、支持ハンド19及び外部ハンド26が着脱位置で静止していて、着脱具23が、支持ハンド19及び外部ハンド26に対して上下方向に変位するようにしてもよい。また、支持ハンド19及び外部ハンド26と、着脱具23との双方が相手方に対して上下方向に変位するようにしてもよい。
また、実施例では、支持ハンド19が保持台2の上方の位置に静止した状態で、複数のリフトピン4が支持ハンド19に対して上昇することとしたが、予め複数のリフトピン4を上昇させておいて、支持ハンド19が複数のリフトピン4に対して下方に変位するようにしてもよい。また、複数のリフトピン4が上昇し、かつ支持ハンド19が下降している過程で、被処理基板7が載った支持板8の受け渡しが行われるようにしてもよい。
また、実施例では、着脱具23において支持板8を支持する基部を、つば状部25aとして実現したが、基部は必ずしもつば状をなしていなくてもよい。基部は、その基部で支持された状態の支持板8を下方からすくい上げることができる形状、具体的には、支持板8を支持した状態で、その支持板8の裏面とベース面24との間に支持ハンド19の進入用隙間を確保することができる形状であればよい。より具体的には、基部は、例えば平面視において支持板8よりも小さな台であってもよい。この他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
1 プロセスチャンバ(チャンバ)
2 保持台
3 保持面
4 リフトピン
5 吸引用孔
6 真空ポンプ(真空引き装置)
7 被処理基板(第1の板状体)
8 支持板(第2の板状体)
8a 貫通孔
15 レーザ出射装置
19 支持ハンド
23 着脱具
25a つば状部(基部)
25b 突出部
26 外部ハンド
2 保持台
3 保持面
4 リフトピン
5 吸引用孔
6 真空ポンプ(真空引き装置)
7 被処理基板(第1の板状体)
8 支持板(第2の板状体)
8a 貫通孔
15 レーザ出射装置
19 支持ハンド
23 着脱具
25a つば状部(基部)
25b 突出部
26 外部ハンド
Claims (16)
- (A)保持面を画定するとともに、該保持面から突出するように上昇し、かつ下降することができる複数のリフトピンを備えた保持台の上方の位置まで、被処理基板を、該被処理基板よりも撓みにくい支持板に載せた状態で搬送する工程と、
(B)前記複数のリフトピンを前記保持面から突出させた状態で、該複数のリフトピンにより、該被処理基板が載った支持板を支持する工程と、
(C)前記被処理基板が載った支持板が前記保持面に着地するように、前記複数のリフトピンを下降させ、該被処理基板が載った支持板を前記保持面で保持する工程と、
(D)前記被処理基板が載った支持板を前記保持面で保持した状態で、該被処理基板に処理を施す工程と、
(E)前記複数のリフトピンを前記保持面から突出させて、処理済みの被処理基板が載った前記支持板を持ち上げ、該処理済みの被処理基板が載った支持板を、前記保持台の上方の位置から搬出する工程と
を有する基板処理方法。 - 前記工程(E)が、前記処理済みの被処理基板が載った支持板を着脱位置まで搬送し、該着脱位置において該処理済みの被処理基板を該支持板から脱離させ、該支持板を該着脱位置に残したまま、該処理済みの被処理基板を該着脱位置から搬出する工程を含み、
前記工程(A)が、予め前記支持板が配置された前記着脱位置に、未処理の被処理基板を準備し、該着脱位置において該未処理の被処理基板を該支持板に載せる工程を含み、
前記工程(A)〜(E)が繰り返し行われる請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記支持板に、貫通孔が形成されており、
前記着脱位置に、前記支持板を支持する基部と、該基部から上方に突出し、前記支持板の貫通孔に挿通することができる突出部とを有する着脱具が配置されており、
前記工程(E)では、処理済みの被処理基板が、前記突出部の頂上部で支持され、前記貫通孔が前記突出部に貫かれた支持板が、前記基部で支持されるように、該処理済みの被処理基板が載った支持板と該着脱具との少なくとも一方を他方に対して上下方向に相対変位させ、その後、該支持板を該基部に残したまま、該処理済みの被処理基板を前記着脱位置から搬出し、
前記工程(A)では、予め前記基部で前記支持板を支持している前記着脱具の前記突出部に、未処理の被処理基板を載置し、該未処理の被処理基板が該支持板に載せられるように、該着脱具から該被処理基板及び支持板を取得する請求項2に記載の基板処理方法。 - 前記保持台が、各々該保持面に開口した複数の吸引用孔と、該複数の吸引用孔の内部空洞を真空引きする真空引き装置とを有し、
前記支持板が、前記工程(C)において、前記真空引き装置の吸引力により、前記被処理基板及び支持板を前記保持面に吸着させることができる構造を有する請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理方法。 - 前記支持板が、多孔質構造を有する請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記支持板が、前記吸引用孔を前記被処理基板の裏面まで延長させる延長孔を有する請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記被処理基板の表層部が、アモルファス半導体からなり、
前記工程(C)では、前記被処理基板にレーザ光を入射させ、レーザ光が入射した領域のアモルファス半導体を結晶化する請求項1〜6のいずれかに記載の基板処理方法。 - (i)被処理基板よりも撓みにくい支持板が予め配置された着脱位置に、未処理の被処理基板を準備し、該着脱位置において該未処理の被処理基板を該支持板に載せる工程と、
(ii)前記被処理基板が載った支持板を保持台に渡す工程と、
(iii)前記保持台において前記被処理基板及び支持板を保持した状態で、該被処理基板に処理を施す工程と、
(iv)前記保持台から処理済みの被処理基板が載った前記支持板を取得して前記着脱位置まで搬送し、該着脱位置において該処理済みの被処理基板を該支持板から脱離させ、該支持板を該着脱位置に残したまま、該処理済みの被処理基板を該着脱位置から搬出する工程とを有し、
前記工程(i)〜(iv)が繰り返し行われる基板処理方法。 - 被処理基板を、貫通孔を有する支持板に載せた状態で支持し、かつ搬送することができる支持ハンドと、
前記支持板を支持する基部、及び該基部から上方に突出し、前記支持板の貫通孔に挿通することができる突出部を有する着脱具と、
被処理基板が、前記突出部の頂上部で支持され、前記貫通孔が前記突出部に貫かれた状態の支持板が、前記基部で支持されるように、前記着脱具と前記支持ハンドとの少なくとも一方を他方に対して上下方向に相対変位させる制御、及び被処理基板が支持板に載るように、前記基部で支持板を支持し、前記突出部の頂上部で被処理基板を支持している着脱具と前記支持ハンドとの少なくとも一方を他方に対して上下方向に相対変位させる制御を行う制御装置と
を備えた基板搬送装置。 - さらに、保持面を画定した保持台であって、該保持面の位置から突出するように上昇し、かつ下降することができ、前記保持面の位置から突出した状態で、被処理基板が載った支持板を支持することができる複数のリフトピンを有する保持台を備え、
前記支持ハンドが、前記保持面から突出した状態の複数のリフトピンとの間で、前記被処理基板が載った支持板の受け渡しを行うとともに、該保持台と前記着脱具との相互間で前記被処理基板が載った支持板を搬送する請求項9に記載の基板搬送装置。 - さらに、前記保持台に保持された被処理基板に、レーザ光を入射させるレーザ出射装置を備えた請求項9又は10に記載の基板搬送装置。
- 被処理基板よりも撓みにくい支持板と、
保持面を画定するとともに、該保持面の位置から突出するように上昇し、かつ下降することができ、前記保持面の位置から突出した状態で、前記被処理基板が載った支持板を支持することができる複数のリフトピンを有する保持台と、
前記保持面の位置から突出した状態の前記複数のリフトピンとの間で、被処理基板が載った前記支持板の受け渡しを行う支持ハンドと
を備えた基板搬送装置。 - 前記保持台が、各々前記保持面に開口した複数の吸引用孔と、該複数の吸引用孔の内部空洞を真空引きする真空引き装置とを有し、
前記支持板が、前記保持面において被処理基板が載った該支持板が保持されている際に、前記真空引き装置の真空吸引力によって、前記被処理基板及び支持板を前記保持面に吸着させることができる構造を有する請求項12に記載の基板搬送装置。 - 前記支持板が、多孔質構造を有する請求項13に記載の基板搬送装置。
- 前記支持板が、前記吸引用孔を前記被処理基板の裏面まで延長させる延長孔を有する請求項13に記載の基板搬送装置。
- 保持面を画定した保持台であって、該保持面の位置から突出するように上昇し、かつ下降することができ、該保持面の位置から突出した状態で、第1の板状体が載った第2の板状体を支持することができる複数のリフトピンを有する保持台と、
第1の板状体を第2の板状体に載せ、該第1の板状体が載った第2の板状体を前記保持面から突出した状態の複数のリフトピンに渡すことができ、かつ該保持面から突出した状態の複数のリフトピンから、該第1の板状体が載った第2の板状体を取得し、取得した該第2の板状体から該第1の板状体を脱離させることができる受け渡し装置と
を備えた搬送装置。
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