JP2003023058A - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
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Abstract
に対する結晶転位の発生を防止し、ウエハ品質上の信頼
性を高める。 【解決手段】 ウエハホルダHおよび半導体ウエハWを
保持する重ね合わせステージ10を把持手段4の移動領
域内に配設し、この重ね合わせステージ10におけるウ
エハ・ホルダ保持状態において、ウエハWがウエハホル
ダHのウエハ重ね合わせ面から上方に離間する位置に配
置されていることを特徴とする。
Description
ハをウエハボートに載置するのに好適なウエハ移載装置
に関する。
など多数の熱処理工程があり、半導体ウエハには種々の
熱処理が施される。これら熱処理にあっては、まず多数
の半導体ウエハがウエハボートに載置され、半導体ウエ
ハが載置されたウエハボートを熱処理炉内に収容し、該
半導体ウエハを加熱することによって行われる。
直接載置されず、一般的にはU字状のウエハホルダを介
してウエハボートに載置される。そしてまた、この半導
体ウエハの載置には、一般的にウエハ移載装置が用いら
れている。
ハをウエハボートに載置する場合、まずウエハ移載装置
によってウエハボートにU字状のウエハホルダが載置さ
れ、その後、該ウエハ移載装置によって前記U字状のウ
エハホルダ上に半導体ウエハが載置されていた。このよ
うに、ウエハ移載装置を用いて半導体ウエハをウエハホ
ルダに載置する場合、ウエハホルダと移載装置の把持機
構との衝突を避ける必要から、該ウエハホルダは前記し
たようにU字状に形成されていた。
うにウエハホルダがU字状に形成されているため、半導
体ウエハはその周縁部が保持されるに過ぎず、ウエハホ
ルダによるウエハ保持領域(接触)面を十分に確保する
ことができなかった。その結果、半導体ウエハに撓み等
が生じ、熱処理において半導体ウエハに結晶転位が発生
し易く、ウエハの品質上の信頼性が低下するという課題
があった。このことは、特に大径の半導体ウエハを保持
する場合に、ウエハ中央部の撓み量が一層大きくなって
顕著である。
たもので、ウエハ保持領域(接触)面を十分に確保でき
るウエハホルダを用いた場合にも、ウエハをウエハホル
ダに移載することができるウエハ移載装置を提供するこ
とを目的とする。
ためになされた本発明に係るウエハ移載装置は、ホルダ
入出ポートにおけるホルダキャリアからウエハホルダを
取り出すと共に、ウエハ入出ポートにおけるウエハキャ
リアからウエハを取り出し、ウエハボート外で前記ウエ
ハホルダ上に前記ウエハを重ね合わせてウエハボート内
に移載するウエハ移載装置であって、前記ウエハ移載装
置の把持手段の移動領域内に前記ウエハおよび前記ウエ
ハホルダを保持する、重ね合わせステージを配設し、前
記重ね合わせステージにおいて、前記ウエハが前記ウエ
ハホルダの上方に離間する位置に配置され、前記ウエハ
ホルダの下方から把持手段を上昇させることにより、ウ
エハとウエハホルダとを重ね合わせ、前記重ね合わせた
状態でウエハとウエハホルダとをウエハボート内に収納
することを特徴としている。
エハボートの外部で重ね合わせ、該重ね合わせられたウ
エハとウエハホルダとを、ウエハ移載装置を用いてウエ
ハボートに一度に載置、収納するため、従来のようにウ
エハボートをU字状になす必要がなく、いわゆる円板状
のものを使用できる。また、いわゆる円板状のウエハホ
ルダを用いることができるため、ウエハホルダによって
ウエハの全面が保持される。言い換えれば、ウエハ保持
領域面を十分に確保した状態でウエハが保持される。し
たがって、熱処理時などにおいて、ウエハの撓みに伴う
結晶転位を抑制することができ、ウエハ品質上の信頼性
を高めることができる。
が、前記ウエハボート上における重ね合わせ状態のウエ
ハ及びウエハホルダを前記重ね合わせステージに移載す
ることによって、ウエハとウエハホルダとを分離し、前
記重ね合わせステージ上のウエハを、前記把持手段によ
って前記ウエハキャリアに移載し、かつ前記重ね合わせ
ステージ上のウエハホルダを、前記把持手段によって前
記ホルダキャリアに移載することが望ましい。このよう
に構成されているため、ウエハの熱処理後にウエハボー
トからウエハをウエハキャリア内に、またウエハホルダ
をホルダキャリア内に、分離回収することができる。
保持部および第二保持部を有する突起が設けられ、前記
第一保持部はウエハホルダの貫通孔を挿通して、第二保
持部上面にウエハホルダを載置し、第一保持部の下端部
において該ウエハホルダの水平方向の位置決めを行うと
共に、前記第一保持部の先端部でウエハを保持するよう
に構成されていることが望ましい。このように、重ね合
わせステージ上に第一保持部および第二保持部を有する
突起を設けることにより、ウエハとウエハホルダを分離
して配置でき、ウエハホルダの下方から把持手段を上昇
させることにより、ウエハとウエハホルダとを重ね合わ
せ、前記重ね合わせた状態でウエハとウエハホルダとを
ウエハボート内に収納することができる。一方、重ね合
わせ状態のウエハとウエハホルダを前記重ね合わせステ
ージに移載することによって、ウエハとウエハホルダと
を分離し、前記重ね合わせステージ上のウエハを、前記
把持手段によって前記ウエハキャリアに移載し、かつ前
記重ね合わせステージ上のウエハホルダを、前記把持手
段によって前記ホルダキャリアに移載することができ
る。
ルダを保持する保持プレートと、前記保持プレート上の
ウエハ、ウエハホルダの周縁部を押圧して把持する把持
機構とを有し、前記重ね合わせステージ上に、前記突起
が3つ以上配置され、把持手段が進退する方向と対峙し
た突起の間隔が、前記保持プレートの幅寸法より大きい
寸法に設定されていることが望ましい。このように、把
持手段が進退する方向と対峙した突起の間隔が、前記保
持プレートの幅寸法より大きい寸法に設定されているた
め、前記突起に衝突することなく、把持手段を進退させ
ることができる。
られた、ウエハ、ウエハホルダを保持する保持プレート
と、前記保持プレート上のウエハ、ウエハホルダの周縁
部を押圧して把持する把持機構とを有し、かつ前記重ね
合わせステージが縦方向に複数配置され、複数枚のウエ
ハ、ウエハホルダを一度に重ね合わせ、あるいは重ね合
せ状態の複数のウエハ及びウエハホルダを一度に分離す
ることが望ましい。このように、複数枚のウエハ、ウエ
ハホルダを一度に移載することができるため、作業効率
を高めることができる。
ウエハホルダを保持する前記保持プレートの間隔が、調
整可能に構成されていることが望ましい。このように、
保持プレートの間隔が調整可能に構成されているため、
ホルダキャリアにおけるウエハホルダの収納間隔と、ウ
エハキャリアにおけるウエハの収納間隔が異なる場合で
あっても、重ね合わせステージに両者を移載することが
できる。またウエハボートにおけるウエハの収納間隔が
異なる場合であっても、重ね合わせられたウエハ、ウエ
ハホルダを移載することができる。
エハ入出ポートおよび前記ホルダ入出ポートのうちいず
れか一方のポートの上方に配置されていることが望まし
い。このように構成されているため、ウエハ入出ポート
あるいはホルダ入出ポートの上方に形成されるデッドス
ペースを有効利用することができ、装置全体を小型化す
ることができる。
が同一寸法に形成され、前記把持機構がウエハホルダお
よびウエハの周縁部を押圧して把持することが好まし
い。このように構成されているため、ウエハ径と同径の
ウエハホルダがウエハと重なり合った状態で把持され
る。したがって、ウエハとウエハホルダとを重ね合わせ
時に、ウエハホルダとウエハとの位置ずれを防止するこ
とができ、ウエハ移載上の信頼性を高めることができ
る。
置につき、図に示す実施の形態に基づいて説明する。図
1は、本発明が適用されたウエハ移載装置を示す平面
図、図2は図1のI−I矢視図である。図3(a)およ
び(b)は、図1に示されたウエハ移載装置の把持手段
を示す平面図と側面図である。図4(a)〜(c)は、
図1に示された、重ね合わせステージにおけるウエハ、
ホルダの保持状態を示す平面図,正面図および側面図で
ある。
載装置は、装置本体3と、前記装置本体3に対して回動
可能に取り付けられたアーム2と、前記アームの先端部
に取り付けられ、前記ウエハホルダH、ウエハWを移送
する把持手段4を有している。前記ウエハ移載装置1は
いわゆるスカラーロボットであり、多関節のアーム2を
備えている。前記アーム2は、回動可能に、かつ同一面
上を移動するこができるように構成されている。なお、
装置本体3は、熱処理炉20の側方に位置する領域A内
のほぼ中央部に設置されている。
び(b)に示すように、ウエハW、ウエハホルダHを保
持する保持プレート5と、この保持プレート5上におい
てウエハW、ウエハホルダHの周縁部を押圧して把持す
る把持機構6とを有している。
は、切り欠き幅L2 をもつ切り欠きGが形成され、左右
方向に並列する二つのフォーク部5Aが設けられてい
る。これらフォーク部5Aには、前記したウエハW、ウ
エハホルダHの外周部底面を載置する第一載置面5aが
設けられている。また、その後方端部には、左右方向に
並列し、同じくウエハW、ウエハホルダHの外周部底面
を載置する二つの第二載置5bが設けられている。これ
ら第二載置面5b上には、半導体ウエハW、ウエハホル
ダHを径方向に移動規制する立ち上がり部5Bが設けら
れている。
上においてウエハW、ウエハホルダHの周縁部を水平方
向(ウエハW、ウエハホルダHの重ね合わせ面方向)に
押圧して把持するための固定部(二つの突起)6aおよ
び移動部(二つの突起)6bを有している。前記固定部
6aは前記各第一載置面5a上に突設されている。一
方、前記移動部6bは前記保持プレート5の両側方に配
置されており、駆動シリンダ等のアクチュエータ7によ
って前記固定部6aに対し水平方向に進退し得るように
構成されている。
装置1の一方側にはホルダキャリア移載機8が配置され
ている。このホルダキャリア移載機8は、ウエハホルダ
Hが収納されているホルダキャリア9をホルダキャリア
待機位置(ホルダキャリアストッカ)dからホルダ入出
ポートcまで移動させると共に、ホルダ入出ポートcか
らホルダキャリア待機位置(ホルダキャリアストッカ)
dに移動させるものである。
ダキャリア9を載置し、ホルダ入出ポートc、ホルダキ
ャリア待機位置(ホルダキャリアストッカ)d間を移動
するキャリア載置台8aと、このホルダキャリア載置台
8aを水平・鉛直(左右,上下)方向に移動させるキャ
リア載置台の駆動手段8bとを有している。これによ
り、前記ホルダキャリア9がホルダ入出ポートcとホル
ダキャリア待機位置(ホルダキャリアストッカ)dとの
間を移動することができると共に、ホルダ入出ポートc
においてホルダキャリア9を鉛直(上下)方向に移動さ
せることができる。
ダ入出ポートc)の上方であって、前記把持手段4の移
動領域内には、図4(a)〜(c)に示すように、ウエ
ハW、ウエハホルダHを保持する突起(ピン)11を有
する重ね合わせステージ10が配設されている。
リア載置台8a(ホルダ入出ポートc)の昇降動作に同
期して(水平方向には同期せず)昇降する平面八角形状
のステージによって形成されている。
起11が、これらを結ぶ線が三角形状になるように配置
され、把持手段4が進退するB方向と対峙した突起11
A、11Bの間隔l1 は、前記保持プレート5の幅寸法
L1 より大きい寸法に設定されている。そしてまた、保
持プレート5が進入した際、切り欠きGに突起11Cが
入り込むように形成されている。
を保持する突起11は、第一保持部11aおよび第二保
持部11bを有している。前記第一保持部11aは、第
二保持部11bの上端部に連設されると共に、その外形
が截頭円錐状に形成されている。そして、第一保持部1
1aはウエハホルダHの貫通孔hを挿通して該ウエハホ
ルダHをその下端部において水平方向を位置決めを行う
と共に、第一保持部11aによってウエハWをその先端
部で保持するように構成されている。
ステージ10の基台10aに設けられ、その外形が円柱
状に形成されている。前記第二保持部11bの外径は、
前記第一保持部11aの最大外径(下端部の外径)より
大きい寸法に設定され、第二保持部11bの上面におい
て、ウエハホルダHを載置するように構成されている。
部11b、貫通孔hが形成されているため、前記重ね合
わせステージ10においてウエハWとホルダHを載置、
保持すると、半導体ウエハWがウエハホルダHの上方の
離間した位置に配置される。
リア移載機8の反対側には、ウエハキャリア移載機14
が配置されている。このウエハキャリア移載機14は、
ウエハWが収納されているウエハキャリア15をウエハ
キャリア待機位置(ウエハキャリアストッカ)fからウ
エハ入出ポートeまで移動させると共に、ウエハ入出ポ
ートeからウエハキャリア待機位置(ウエハキャリアス
トッカ)eに移動させるものである。
エハキャリア15を載置し、ウエハ入出ポートe、ウエ
ハキャリア待機位置(ウエハキャリアストッカ)f間を
移動するキャリア載置台14aと、このキャリア載置台
14aを水平・鉛直(左右,上下)方向に移動させるキ
ャリア駆動手段14bとを有している。これにより、前
記ウエハキャリア15がウエハ入出ポートeとウエハキ
ャリア待機位置(ウエハキャリアストッカ)fとの間を
移動することができると共に、ウエハ入出ポートeにお
いてウエハキャリア7を鉛直(上下)方向に移動させる
ことができる。
は領域Aの側方に設置され、その下端部が開口する炉本
体20aと、ウエハボート16を上面部に載置し、該炉
本体20aの開口部を閉じるキャップ20bとによって
形成されている。即ち、図2に示すように、前記キャッ
プ20を上昇させることによってウエハボート16を上
昇させて該炉本体20a内に挿入し、該ウエハボート1
6を炉本体20a内に収容するように構成されている。
また、熱処理後にはキャップ20bを下降させることに
よってウエハボート16を炉本体20a外に導出するよ
うに構成されている。
ハ移載装置1に対してウエハ、ウエハホルダを受け渡す
ウエハ、ウエハホルダ受け渡し位置aにおいて、昇降装
置17によって上下動可能に構成されている。また、ウ
エハボート16は、ウエハ、ウエハホルダを受け渡すウ
エハ、ウエハホルダ受け渡し位置aから前記熱処理炉2
0側にウエハボート9を引き渡すボート引渡し位置b1
との間を、図示しない搬送手段によって移動可能に構成
されている。更に、該ウエハボート16をボート引渡し
位置b1からボートを昇降させる昇降位置b2との間
を、移動可能に構成されている。このボート引渡し位置
b1とボートを昇降させる昇降位置b2との間における
ウエハボート16の移動は、図1に示す回転テーブルT
によって行われる。
による半導体ウエハの移載方法につき、図1〜図3を用
いて説明する。半導体ウエハの移載は、ホルダキャリア
9からウエハホルダWを取り出す「ウエハホルダの取り
出し」工程、ウエハキャリア15からウエハWを取り出
す「ウエハの取り出し」工程、該ウエハWとウエハホル
ダHとを重ね合わせる「ウエハ・ホルダの重ね合わせ」
工程、該重ね合わされたウエハW、ウエハホルダHをウ
エハボート16に載置する「半導体ウエハの移載」工程
の各工程が順次実施されるため、これら各工程を順次説
明する。
9(図2に二点鎖線で示す)をホルダキャリア移載機8
のキャリア載置台8aによってホルダキャリア待機位置
dから水平移動させ、さらにホルダ入出ポートcに上昇
させる。このとき、取り出されるウエハホルダHは、把
持手段4の移動面よりわずか上方に位置している。
この上昇動作に同期してウエハ・ホルダ重ね合わせステ
ージ10が待機位置から上昇する。前記ホルダキャリア
載置台8aと重ね合わせステージ10とは、同期して上
下動するため、両者の間の距離は、常に一定に保持され
る。
4をホルダ入出ポートcに移動させた後、把持機構6を
ウエハホルダの下方に位置させ、キャリア載置台8aを
わずかに下降させ、ウエハホルダHを保持プレート5上
に載置し、把持機構6によって、ウエハホルダHの周縁
部を把持する。その後、把持手段4によってホルダキャ
リア9からウエハホルダHを取り出し、該把持手段4を
水平移動させ、ホルダキャリア載置台8aと重ね合わせ
ステージ10の移動経路上から退避させる。
ジ10(第一保持部11a)を下降させ、ホルダ入出ポ
ートcに位置させる。その後、把持手段4を水平移動さ
せ、重ね合わせステージ12(第一保持部13a)の上
方に該ホルダHを位置させる。そして、重ね合わせステ
ージ10を上昇させ、該ステージ10の第一保持部11
aをウエハホルダHの貫通孔hを挿通させ、ウエハホル
ダHを位置決めする。
て、図4のB方向から把持手段4が進入するが、保持プ
レート5の幅L1 、突起11A,11Bの間隔l1 及び
切り欠き部Gの幅L2 が、所定の幅に形成されているた
め、突起11A、11B、11Cと干渉することなく、
把持手段4を進入させることができる。
によるウエハホルダHの把持を解除し、把持手段4を該
ステージ12から離脱させ、ウエハキャリア移載機14
の方向に移動させる。一方、重ね合わせステージ10を
下降させると共に、重ね合わせステージ10(第一保持
部11a)をホルダ入出ポートcに位置させ、ウエハW
の重ね合わせに工程の準備に入る。
が収容されたウエハキャリア15(図1に二点鎖線で示
す)をウエハキャリア移載機14のウエハキャリア載置
台14aによってウエハキャリア待機位置fから水平に
移動させ、さらにウエハ入出ポートe位置まで上昇させ
る。このとき、取り出されるウエハWは、把持手段4の
移動面よりわずか上方に位置している。
ウエハ入出ポートeに移動させ、取り出すウエハWの下
方に位置させる。その後、キャリア載置台14aをわず
かに下降させ、ウエハWを保持プレート5上に載置し、
把持機構6によって、ウエハWの周縁部を把持する。そ
の後、把持手段4はホルダキャリア9からウエハホルダ
Hを取り出すと共に、水平移動し、重ね合わせステージ
10方向に移動する。尚、キャリア載置台14aは、次
に取り出されるウエハWが把持手段4の移動面よりわず
かに上方の位置において、待機する。
ダHに重ね合わせるため、重ね合わせステージ10の第
一保持部11a上方に位置させる。その後、重ね合わせ
ステージ10を上昇させ、該ステージ10の第一保持部
11a上にウエハWを保持する。このときも、保持プレ
ート5の幅L1 、突起11A、11Bの間隔l1 及び切
り欠きGの幅L2 が、所定の幅に形成されているため、
保持プレート5が突起11A、11B、11Cと干渉す
ることはない。
うに、ウエハホルダHのウエハ重ね合わせ面から上方に
離間する位置に半導体ウエハWが配置される。その後、
ウエハ・ホルダ把持機構6によるウエハホルダHの把持
を解除し、重ね合わせステージ10を上昇させると共
に、把持手段4を該ステージ10から離脱させる。
ね合わせステージ10を上昇させ、把持手段4の移動面
が重ね合わせステージ10(基台10a)とウエハホル
ダH(第二保持部11b上のウエハホルダH)との間に
位置する高さで上昇を停止させる。その後、把持手段4
を水平移動させ、保持プレート5を重ね合わせステージ
10とウエハホルダH(第二保持部11b上のウエハホ
ルダH)との間に挿入する。
10a)とウエハホルダHとの間に保持プレート5を挿
入すると、保持プレート5と突起11とが干渉すること
なく、保持プレート5が重ね合わせステージ12上にお
ける三つの突起11のうち隣接する二つの突起11A、
11B間に配置されるとともに、他の突起11Cが保持
プレート5の切り欠きG内に配置される。
下降させて、保持プレート5上にウエハホルダHと半導
体ウエハWと載置し、両者を重ね合わせる。そして、図
3(a)および(b)に示すように、重ね合わされたウ
エハWとウエハホルダHの周縁部を、把持機構6の固定
部6aおよび移動部6bによって把持する。その後、重
ね合わせステージ10を下降させると共に、把持手段4
をウエハ・ホルダ受け渡し位置aに移動させる。また把
持手段4の移動後、キャリア載置台8aをホルダ入出ポ
ートcに上昇させ、即ち、ウエハホルダHが把持機構6
の移動面のわずか上方に位置するところで、待機させ、
次のウエハホルダHの取り出しに準備する。
エハボート9内に前記把持手段4を移動させ、ウエハW
をウエハホルダHと共にウエハボート16内に載置す
る。その後、把持機構6による半導体ウエハWとウエハ
ホルダHの把持状態を解除する。解除後、ウエハボート
9を昇降装置17によってわずかに上昇させると共に、
把持手段4をウエハボート16内部から離脱させる。こ
のように、半導体ウエハWとウエハホルダHとが把持さ
れながら、ウエハボート16に載置されるため、両者の
位置関係がずれるこなく、ウエハボート16内に移載さ
れる。なお、ウエハボート16内に移載後、前記昇降装
置17によりウエハボート16を上昇させ、その後のウ
エハWとウエハホルダHの移載に対して準備する。
エハホルダHの移載が終了すると、ホルダキャリア9か
らウエハホルダHを取り出す「ウエハホルダの取り出
し」工程、ウエハキャリア15からウエハWを取り出す
「ウエハの取り出し」工程、該ウエハHとホルダHとを
重ね合わせる「ウエハ・ホルダの重ね合わせ」工程、該
重ね合わされたウエハH、ホルダWをウエハボート16
に載置する「半導体ウエハの移載」工程の各工程が再び
繰り返される。
エハWおよびウエハホルダWが収容されると、ウエハボ
ート16をボート駆動手段(図示せず)によってウエハ
ホルダ受け渡し位置aからボート入出ポートb1 に移動
させた後、ボート入出ポートb1 から回転テーブルTな
どによってボート入出ポートb2 に移動させる。そし
て、予め熱処理炉20の炉本体20aからボート入出ポ
ートb2 に下降させたキャップ20b上にウエハボート
16を載置する。この後、キャップ20bを上昇させる
ことによって、ウエハボート16を炉本体20a内に収
容し、所定の熱処理がなされる。
ね合わされたウエハW、ウエハホルダHが取り出され、
重ね合わせステージ10においてウエハW、ウエハホル
ダHの重ね合わせ状態が解除される。その後、ウエハW
は所定のウエハキャリア15に収納され、またホルダH
は所定のキャリア9に収納される。これら工程は、前記
した工程における動作と逆の動作となるため、その説明
は省略する。このように前記した工程における動作と逆
の動作を行うことにより、ウエハの熱処理後にウエハボ
ート16からウエハWをウエハキャリア7内に、またウ
エハホルダHをホルダキャリア8内に回収することがで
きる。
でウエハとウエハホルダとを重ね合わせているために、
ウエハホルダHが円板状に形成されているものであって
も、ウエハWをウエハホルダHに移載することができ
る。そのため、ウエハホルダHによるウエハ保持領域
(接触)面を十分に確保することができる。その結果、
熱処理時のウエハの撓みに伴うウエハWの結晶転位を抑
制でき、ウエハ品質上の信頼性を高めることができる。
ステージ10がホルダ入出ポートcの上方に配置されて
いるため、ホルダ入出ポートcの上方に形成される所謂
デッドスペースを有効利用することができる。
がウエハホルダHおよびウエハWを重ね合わせ面方向に
押圧して把持する把持機構6を有している。そのため、
ウエハWとウエハホルダHが同径である場合、仮にウエ
ハWとウエハホルダHの位置がずれても、その位置ずれ
が修正され、完全に重なり合った状態で把持される。し
たがって、ウエハW、ホルダHの重ね合わせ時に、ウエ
ハホルダH上におけるウエハWの位置ずれを防止するこ
とができ、ウエハ移載上の信頼性を高めることができ
る。
ステージ10をホルダ入出ポートcの上方に配置する場
合について説明したが、本発明はこれに限定されず、ウ
エハ入出ポートeの上方に配置しても差し支えない。す
なわち要するに、把持手段4の移動領域内であってデッ
ドスペースを有効利用することができる部位であれば、
いかなる領域内に配置してもよい。
エハホルダHを把持する際、あるいはまた、把持を解除
した際等において、キャリア9,14、重ね合わせステ
ージ10、ウエハホルダ受け渡し位置aにおけるウエハ
ボート16を上下動させているが、これは把持手段4が
同一面上を移動すものであるため、把持機構6、突起1
1がウエハW、ウエハホルダHと干渉しないようにする
ため等の理由によるものである。したがって、アーム2
に昇降機能をもたせることにより、キャリア9,14、
重ね合わせステージ10等の昇降機能を除いても良い。
6に基づいて説明する。この実施形態にあっては、把持
手段を縦方向に複数設けると共に、重ね合わせステージ
を縦方向に複数配置し、複数枚のウエハ、ウエハホルダ
を一度に重ね合わせ、あるいは(及び)分離する点に特
徴がある。なお、図5、6において、図1乃至図4に示
した部材と同一あるいは相当する部材は、同一符号を符
し、その詳細な説明は省略する。
ジ10の構成について説明する。前記ホルダキャリア移
載機8(ホルダ入出ポートc)の上方であって、前記把
持手段4の移動領域内には、図5(a)(b)に示すよ
うに、ウエハW、ウエハホルダHを保持する突起(ピ
ン)11を有する重ね合わせステージ10が複数配設さ
れている。即ち、この実施形態にあっては複数枚のウエ
ハW、ウエハホルダHを一度に重ね合わせ、あるいは
(及び)分離する点に特徴を有する。
上には、突起11がこれらを結ぶ線が三角形状となるよ
うに配置され、把持手段4が進退するB方向と対峙した
突起11A、11Bの間隔l1 は、前記保持プレート5
の幅寸法L1 より大きい寸法に設定されている。そして
また、保持プレート5が進入した際、切り欠きGに突起
11Cが入り込むように形成されている。
を保持する突起11は、第一保持部11aおよび第二保
持部11bを有している。前記した第一の実施形態と同
様に、前記第一保持部11aは、第二保持部11bの上
端部に連設されると共に、その外形が截頭円錐状に形成
されている。そして、第一保持部11aによってウエハ
Wをその先端部で保持すると共に、ウエハホルダHの貫
通孔hを挿通して該ウエハホルダHをその下端部におい
て水平方向を位置決めするように構成されている。
ステージ10の基台10aに設けられ、その外形が円柱
状に形成されている。前記第二保持部11bの外径は、
前記第一保持部11aの最大外径(下端部の外径)より
大きい寸法に設定され、第二保持部11bの上面におい
て、ウエハホルダHを載置するように構成されている。
10a間にスペーサ10bを介して軸10cを挿通し、
前記軸10cの上下端を固定する。その結果、前記突起
11を有する基台10aが、複数積層された重ね合わせ
ステージ10が形成される。
ウエハホルダHを保持する前記保持プレート5の間隔
が、調整可能に構成されている把持手段4について図6
に基づいて説明する。この把持手段4は、下部基台4a
と、上部基台4bと、前記下部基台4aと上部基台4b
とを連結する支柱4cと、前記上部基台4aに配置され
たモータ4dと、前記モータ4dに接続されたボール螺
子4eと、前記ボール螺子4eの回転により前後に移動
するカムプレート4fと、前記カムプレート4fの溝4
gに移動可能に嵌入されたカムフォロア4hと、前記カ
ムフォロア4hが形成された把持機構ベース4iと、前
記把持機構ベース4iの先端部に取付けられた保持プレ
ート5と、前記把持機構ベース4iの上下方向の移動を
ガイドするガイド棒4jとから構成されている。
カムプレート4fが前進し所定の位置で停止する。この
カムプレート4fの前進に伴い、カムフォロア4hが溝
4g内を擦動する。その結果、把持機構ベース4iはガ
イド棒4jに案内されて、上方向に、また下方向に移動
し、保持プレート5の間隔は所定の間隔に調整される。
なお、中心に位置する把持機構ベース4iは固定され移
動することはない。また保持プレート5上にウエハW、
ウエハホルダHを載置した後、移動部6bを移動させる
ことによって、第一実施形態と同様、ウエハW、ウエハ
ホルダHを保持する。
可能に構成されているため、ホルダキャリア9における
ウエハホルダHの収納間隔と、ウエハキャリア14にお
けるウエハWの収納間隔が異なる場合であっても、重ね
合わせステージに両者を移載することができる。また、
重ね合わせステージ10における各基台10aの間隔
が、ホルダキャリア9におけるウエハホルダHの収納間
隔、ウエハキャリア14におけるウエハWの収納間隔と
異なる場合にも、重ね合わせステージにウエハW、ウエ
ハホルダHを移載することができる。
係るウエハ移載装置によると、ウエハ保持領域(接触)
面を十分に確保できるウエハホルダを用いた場合にも、
ウエハをウエハホルダに移載し、ウエハボートに収納す
ることができる。これによって、ウエハの移載後の熱処
理時等においてウエハに対する結晶転位の発生を防止
し、ウエハ品質上の信頼性を高めることができる。
ハ移載装置を示す平面図である。
ハ移載装置を示す正面図である。
機構を示す図であって、(a)は、その平面図、(b)
はその側面図である。
合わせステージによるウエハ・ホルダ保持状態を示す図
であって、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は
側面図である。
て、(a)はウエハ移載装置の重ね合わせステージによ
るウエハ・ホルダ保持状態を示す平面図,(b)はその
正面図、(c)は重ね合わせステージの要部斜視図であ
る。
て、(a)はウエハ移載装置の把持手段の間隔が狭い場
合を示す正面図、(b)はウエハ移載装置の把持手段の
間隔が広い場合を示す正面図である。
Claims (8)
- 【請求項1】 ホルダ入出ポートにおけるホルダキャリ
アからウエハホルダを取り出すと共に、ウエハ入出ポー
トにおけるウエハキャリアからウエハを取り出し、ウエ
ハボート外で前記ウエハホルダ上に前記ウエハを重ね合
わせてウエハボート内に移載するウエハ移載装置であっ
て、 前記ウエハ移載装置の把持手段の移動領域内に前記ウエ
ハおよび前記ウエハホルダを保持する、重ね合わせステ
ージを配設し、 前記重ね合わせステージにおいて、前記ウエハが前記ウ
エハホルダの上方に離間する位置に配置され、 前記ウエハホルダの下方から把持手段を上昇させること
により、ウエハとウエハホルダとを重ね合わせ、前記重
ね合わせた状態でウエハとウエハホルダとをウエハボー
ト内に収納することを特徴とするウエハ移載装置。 - 【請求項2】 前記ウエハ移載装置の把持手段が、前記
ウエハボート上における重ね合わせ状態のウエハおよび
ウエハホルダを前記重ね合わせステージに移載すること
によって、ウエハとウエハホルダとを分離し、 前記重ね合わせステージ上のウエハを、前記把持手段に
よって前記ウエハキャリアに移載し、 かつ前記重ね合わせステージ上のウエハホルダを、前記
把持手段によって前記ホルダキャリアに移載することを
特徴とする請求項1に記載されたウエハ移載装置。 - 【請求項3】 前記重ね合わせステージ上に、第一保持
部および第二保持部を有する突起が設けられ、 前記第一保持部はウエハホルダの貫通孔を挿通して、第
二保持部上面にウエハホルダを載置し、第一保持部の下
端部において該ウエハホルダの水平方向の位置決めを行
うと共に、 前記第一保持部の先端部でウエハを保持するように構成
されていることを特徴とする請求項1または請求項2に
記載されたウエハ移載装置。 - 【請求項4】 前記把持手段は、ウエハ、ウエハホルダ
を保持する保持プレートと、前記保持プレート上のウエ
ハ、ウエハホルダの周縁部を押圧して把持する把持機構
とを有し、 前記重ね合わせステージ上に、前記突起が3つ以上配置
され、把持手段が進退する方向と対峙した突起の間隔
が、前記保持プレートの幅寸法より大きい寸法に設定さ
れていることを特徴とする請求項3に記載されたウエハ
移載装置。 - 【請求項5】 前記把持手段は、縦方向に複数設けられ
た、ウエハ、ウエハホルダを保持する保持プレートと、
前記保持プレート上のウエハ、ウエハホルダの周縁部を
押圧して把持する把持機構とを有し、 かつ、前記重ね合わせステージが縦方向に複数配置さ
れ、複数枚のウエハ、ウエハホルダを一度に重ね合わ
せ、あるいは重ね合わせ状態のウエハ及びウエハホルダ
を一度に分離することを特徴とする請求項1または請求
項2に記載されたウエハ移載装置。 - 【請求項6】 縦方向に複数設けられた、ウエハ、ウエ
ハホルダを保持する前記保持プレートの間隔が、調整可
能に構成されていることを特徴とする請求項5に記載さ
れたウエハ移載装置。 - 【請求項7】 前記重ね合わせステージが、前記ウエハ
入出ポートおよび前記ホルダ入出ポートのうちいずれか
一方のポートの上方に配置されていることを特徴とする
請求項1または請求項2に記載されたウエハ移載装置。 - 【請求項8】 前記ウエハとウエハホルダの外径が同一
寸法に形成され、前記把持機構がウエハホルダおよびウ
エハの周縁部を押圧して把持することを特徴とする請求
項4または請求項5に記載されたウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001207994A JP2003023058A (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001207994A JP2003023058A (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | ウエハ移載装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003023058A true JP2003023058A (ja) | 2003-01-24 |
Family
ID=19043896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001207994A Pending JP2003023058A (ja) | 2001-07-09 | 2001-07-09 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003023058A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006298607A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 基板処理方法、基板搬送装置及び搬送装置 |
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2001
- 2001-07-09 JP JP2001207994A patent/JP2003023058A/ja active Pending
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