JPH0717629A - ウエハ整列機 - Google Patents

ウエハ整列機

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JPH0717629A
JPH0717629A JP16365693A JP16365693A JPH0717629A JP H0717629 A JPH0717629 A JP H0717629A JP 16365693 A JP16365693 A JP 16365693A JP 16365693 A JP16365693 A JP 16365693A JP H0717629 A JPH0717629 A JP H0717629A
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holding plates
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    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette
    • Y10S414/138—Wafers positioned vertically within cassette

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハを傷つけたり異物で汚すことなく容易
に複数のウエハを整列させることを目的とする。 【構成】 ウエハ保持板１８、１９がそれぞれ二枚のウ
エハ２を保持し、これらウエハ保持板１８、１９がロー
タリーアクチュエータ１５により板カム６、７の案内溝
に沿って移動され、これにより互いに隣接するウエハ保
持板１８、１９の配列ピッチが変化する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複数のウエハを整列
させるウエハ整列機に係り、特に複数のウエハを互いに
異なるピッチに並べ変えるウエハ整列機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウエハに例えば高温酸化膜
デポジション等の成膜処理を施す工程においては、以下
のような手順に従って作業が行われていた。図１１に示
されるように、カセット１に例えば２５枚のウエハ２が
収納されている。このとき、ウエハ２は同一ピッチで且
つそれぞれの表面２ａが同じ方向を向くように収納され
ている。作業者は、カセット１を手に持ち、真空ピンセ
ット３を１枚のウエハ２の裏面２ｂに当接させてこれを
吸引保持し、このウエハ２を整列ボート４上に載置した
状態で真空ピンセット３をウエハ２から離す。このよう
にして、カセット１に収納されている２５枚のウエハ２
を１枚ずつ整列ボート４に移し替える。ウエハ２の移し
替えが完了すると、整列ボート４は成膜機５内に運ば
れ、ここでウエハ２は高温状態下で反応ガスと接触さ
れ、これによりウエハ２への成膜処理が施される。
【０００３】成膜処理が完了すると、整列ボート４は成
膜機５から引き出され、ウエハ２が自然冷却される。そ
の後、作業者は、再び真空ピンセット３を用いて整列ボ
ート４上のウエハ２を１枚ずつ抜き取り、カセット１に
移し替える。
【０００４】ところで、図１２に示されるように、成膜
機５内には吸入口５ａから反応ガスが供給され、管状の
成膜機本体５ｂ内で整列ボート４に載置されているウエ
ハ２の表面に接触して反応した後、排出口５ｃから排出
される。このとき、各ウエハ２の表面に接触する反応ガ
スの濃度を均一にするために、互いに隣接するウエハ２
を所定値以上の間隔で配置する必要がある。すなわち、
隣接するウエハ２の間隔を狭め過ぎると、これらウエハ
２の間を反応ガスが円滑に流れることができず、各ウエ
ハ２の表面全面に均一に成膜することが困難になる。と
ころが、各ウエハ２の間隔を広げて整列させると、成膜
機本体５ｂ内に収容し得るウエハ２の枚数が減少するた
め、成膜機５の処理能力が低下してしまう。
【０００５】そこで、従来は、図１２に示されるよう
に、整列ボート４上に交互に逆向きにウエハ２を整列さ
せて、ウエハ２の表面２ａ同士が向き合うときのピッチ
Ｐ１を例えば９．５２ｍｍに設定する一方、ウエハ２の
裏面２ｂ同士が向き合うときのピッチＰ２を例えばＰ１
の１／２の４．７６ｍｍに設定する方法が採られてい
る。このようにすれば、ウエハ２の表面２ａ側を反応ガ
スが円滑に流れて均一な成膜を行うことができると共に
成膜機本体５ｂ内に多数のウエハ２を収容することがで
き、成膜機５の処理能力の低下を防止することができ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１２
に示したような整列の方法を採るためには、ウエハ２を
カセット１から整列ボート４へ移し替える際及び整列ボ
ート４からカセット１へ戻す際に、作業者が真空ピンセ
ット３を用いてウエハ２を１枚ずつ取り出すと共に交互
にウエハ２の向きを変えて整列ボート４あるいはカセッ
ト１に収納しなければならず、作業に多大の時間と労力
とを要するだけでなく、真空ピンセット３によりウエハ
２の表面を傷つけたり、作業者の手から異物がウエハ２
に付着する恐れがあるという問題点があった。
【０００７】この発明はこのような問題点を解消するた
めになされたもので、ウエハを傷つけたり異物で汚すこ
となく容易に複数のウエハを整列させることができるウ
エハ整列機を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係るウエハ整
列機は、それぞれ複数のウエハを保持する複数のウエハ
保持板と、前記複数のウエハ保持板を案内する案内手段
と、前記複数のウエハ保持板を前記案内手段に沿って移
動させる移動手段とを備え、前記複数のウエハ保持板が
前記案内手段の一端部に位置するときには互いに隣接す
るウエハ保持板が互いに第１のピッチで配列され且つ案
内手段の他端部に位置するときには前記第１のピッチと
は異なる第２のピッチで配列されるものである。
【０００９】
【作用】この発明においては、移動手段が複数のウエハ
保持板を案内手段に沿って移動させ、複数のウエハ保持
板が案内手段の一端部に位置するときと他端部に位置す
るときとで互いに隣接するウエハ保持板の配列ピッチが
異なる。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。図１はこの発明の一実施例に係るウエハ整
列機を示す斜視図である。カセット１を載置するための
カセット置き台３０が整列機の基台１００上に形成さ
れ、カセット置き台３０の下方にウエハ突き上げ部２０
０が、上方にクランプ部３００がそれぞれ配置されてい
る。クランプ部３００はクランプ移動部４００に連結さ
れている。また、基台１００上で且つカセット置き台３
０の近傍にエキスパンド部５００が配置されている。な
お、カセット置き台３０上に載置されるカセット１は、
例えば２５枚の５インチ径のウエハ２を同一ピッチＰ３
（４．７６ｍｍ）で収納し得るものである。
【００１１】ウエハ突き上げ部２００は、カセット置き
台３０に載置されたカセット１に収納されている複数の
ウエハ２をカセット１の上方に突き上げるためのもの
で、図２に示されるように、交互に配列された１３枚の
第１の突き上げ板１０及び１２枚の第２の突き上げ板１
２を有している。これらの突き上げ板１０及び１２はカ
セット１内のウエハ２の収納ピッチＰ３と同一のピッチ
で配列されており、第１の突き上げ板１０はそれぞれカ
セット置き台３０上のカセット１に収納された２５枚の
ウエハ２のうち奇数番目のウエハ２に対応しており、第
２の突き上げ板１２はそれぞれ偶数番目のウエハ２に対
応している。第１の突き上げ板１０は第１のロータリー
アクチュエータ１３の駆動によって上下動自在に設けら
れた第１の上下動板９に保持され、一方第２の突き上げ
板１２は第２のロータリーアクチュエータ１４の駆動に
よって上下動自在に設けられた第２の上下動板１１に保
持されている。各突き上げ板１０は、突き上げ板本体１
０ｂと、この突き上げ板本体１０ｂの上端部にロックレ
バー４０により着脱自在に装着される突き上げブロック
１０ｃとからなっている。突き上げブロック１０ｃは、
図３に示されるように、突き上げ板本体１０ｂに装着さ
れる基台部１０ｄと、この基台部１０ｄにネジ１０ｆに
より固定されたウエハ保持部材１０ｅとを有している。
例えば、基台部１０ｄはアルミニウムから、ウエハ保持
部材１０ｅはテフロンから形成される。ウエハ保持部材
１０ｅの上端部には、図３に示されるような溝１０ａが
形成されており、突き上げ板１０を上方に移動したとき
に、カセット１に収納されていたウエハ２の周縁部がこ
の溝１０ａ内に挿入され、これによりウエハ２が突き上
げ板１０に保持されてカセット１の上方に突き上げられ
る。このように、突き上げブロック１０ｃをロックレバ
ー４０により着脱自在に突き上げ板本体１０ｂに装着す
る構成とすることにより、突き上げブロック１０ｃを突
き上げ板本体１０ｂから取り外して定期的に洗浄するこ
とができる。また、第２の突き上げ板１２も上述した第
１の突き上げ板１０と全く同様の構造を有している。
【００１２】第１及び第２のロータリーアクチュエータ
１３と１４は互いに独立して駆動することができ、これ
によりカセット１内のウエハ２のうち奇数番目の１３枚
のウエハ２のみを突き上げたり、偶数番目の１２枚のウ
エハ２のみを突き上げたり、あるいは２５枚の全てのウ
エハ２を同時に突き上げることができる。
【００１３】クランプ部３００は、図１に示されるよう
に、複数のウエハ２を把持するためのチャック８０とこ
のチャック８０を開閉するための駆動部８１とを有して
いる。チャック８０は一対の腕部８２及び８３からな
り、各腕部８２及び８３の先端にそれぞれピッチＰ３で
形成された２５本の溝８２ａ及び８３ａが設けられてい
る。これらの溝８２ａ及び８３ａは、図３に示した突き
上げ板１０及び１２の溝１０ａ及び１２ａと同様の形状
を有し、溝８２ａ及び８３ａ内にウエハ２の周縁部を挿
入させると共に駆動部８１によってチャック８０を閉じ
ることにより同時に２５枚までのウエハ２を把持するこ
とができる。
【００１４】クランプ部３００の駆動部８１は、クラン
プ移動部４００に保持されている。クランプ移動部４０
０は、クランプ部３００を鉛直軸の回りに回転させるた
めのロータリーアクチュエータ１６、クランプ部３００
を上下動させるための上下動シリンダ２７、及びクラン
プ部３００を水平方向に移動させるためのロータリーア
クチュエータ１７を有している。また、基台１００の上
面に垂直に壁部５０が形成されており、この壁部５０上
に２本のレール５１及び５２が互いに平行で且つ水平に
設けられている。これらのレール５１及び５２にそれぞ
れ摺動ベアリング５３及び５４が取り付けられ、摺動ベ
アリング５３及び５４に鉛直方向にレール５５が固定さ
れている。さらに、レール５５に摺動ベアリング５６が
取り付けられ、この摺動ベアリング５６にロータリーア
クチュエータ１７によって回動される腕部５７の先端部
が取り付けられている。
【００１５】このような構造のクランプ移動部４００の
作用により、クランプ部３００はウエハ２を把持したま
ま鉛直軸の回りに回転し、上下動し、及び水平移動する
ことが可能となる。
【００１６】エキスパンド部５００は、基台１００上で
且つカセット置き台３０に隣接して配置されている。エ
キスパンド部５００は、互いに交互に配列された７個の
第１のウエハ保持板１８と６個の第２のウエハ保持板１
９とを有している。第１のウエハ保持板１８はそれぞれ
第１の板カム６に摺動自在に保持され、第２のウエハ保
持板１９はそれぞれ第２の板カム７に摺動自在に保持さ
れている。これら第１及び第２のウエハ保持板１８及び
１９はロータリーアクチュエータ１５の駆動により回転
軸２１及びアーム２６を介して上下動する。
【００１７】図４及び図５に示されるように、回転軸２
１にアーム２６が固定され、アーム２６に上下動板２０
が取り付けられている。上下動板２０には互いに平行で
且つ水平な２本の溝２０ａ及び２０ｂが形成されてお
り、これらの溝２０ａ及び２０ｂに各ウエハ保持板１８
及び１９にそれぞれ対応した複数の摺動ベアリング２４
が取り付けられている。摺動ベアリング２４にそれぞれ
取り付け板２３を介してウエハ保持板１８及び１９が固
定されている。取り付け板２３には上下動板２０と反対
方向に突出したロッド２５が設けられると共にロッド２
５の先端部にベアリング２２が取り付けられている。第
１のウエハ保持板１８に対応するベアリング２２は第１
の板カム６に形成された案内溝６ａに摺動自在に嵌合さ
れ、第２のウエハ保持板１９に対応するベアリング２２
は第２の板カム７に形成された案内溝７ａに摺動自在に
嵌合されている。
【００１８】また、図６に示されるように、第１のウエ
ハ保持板１８の上端部には２枚のウエハ２を保持するた
めの一対の溝１８ａ及び１８ｂが形成されている。これ
らの溝１８ａ及び１８ｂは、クランプ部３００のチャッ
ク８０に形成された複数の溝８２ａ及び８３ａと同一の
ピッチＰ３で形成されている。同様に、第２のウエハ保
持板１９の上端部にもピッチＰ３の一対の溝１９ａ及び
１９ｂが形成されている。なお、図６では簡略化のた
め、複数のウエハ保持板１８及び１９のうち、一つのみ
に溝が示され、他のウエハ保持板１８及び１９に溝が示
されていないが、全てのウエハ保持板１８及び１９に同
様の溝１８ａ及び１８ｂ、１９ａ及び１９ｂが形成され
ている。
【００１９】図７に第１の板カム６の平面図を示す。第
１の板カム６には７個の第１のウエハ保持板１８にそれ
ぞれ対応して７つの案内溝６ａが形成されており、互い
に隣接する案内溝６ａの間隔は板カム６の上部において
は短く、下部においては長く設定されている。図示しな
いが、第２の板カム７にも同様の形状を有する６つの案
内溝７ａが形成されている。このような第１及び第２の
板カム６及び７を用いることにより、ロータリーアクチ
ュエータ１５の作用に基づいて第１及び第２のウエハ保
持板１８及び１９を上昇させると、これらウエハ保持板
１８及び１９は板カム６及び７の案内溝６ａ及び７ａの
形状に対応して次第に互いの間隔が狭まり、一方ウエハ
保持板１８及び１９を下降させると、これらウエハ保持
板１８及び１９は次第に互いの間隔が広がることとな
る。
【００２０】この実施例においては、板カム６及び７の
案内溝６ａ及び７ａは次の状態を満たすように形成され
ている。すなわち、ウエハ保持板１８及び１９を最上部
まで上昇させたときには、図８に示されるように、互い
に隣接する第１のウエハ保持板１８の溝１８ｂと第２の
ウエハ保持板１９の溝１９ａとの間隔が、各ウエハ保持
板１８あるいは１９における一対の溝１８ａ及び１８ｂ
あるいは１９ａ及び１９ｂのピッチＰ３と同一の値Ｐ３
を有し、一方ウエハ保持板１８及び１９を最下部まで下
降させたときには、図９に示されるように、互いに隣接
する第１のウエハ保持板１８の溝１８ｂと第２のウエハ
保持板１９の溝１９ａとの間隔Ｐ４が上記ピッチＰ３の
２倍、９．５２ｍｍの値を有する。
【００２１】次に、この実施例の動作について説明す
る。まず、２５枚のウエハ２が収納されたカセット１を
カセット置き台３０上に載置する。図示しないスタート
スイッチを投入すると、第２のロータリーアクチュエー
タ１４が回転し、上下動板１１に固定された１２枚の第
２の突き上げ板１２が上昇してカセット１内のウエハ２
のうち偶数番目のウエハ２のみがカセット１の上方に突
き上げられる。
【００２２】クランプ部３００の駆動部８１によりチャ
ック８０が開かれ、カセット１の上方に突き上げられた
偶数番目のウエハ２の位置までクランプ移動部４００の
上下動シリンダ２７によりチャック８０が下降される。
駆動部８１の作用によってチャック８０が閉じられ、こ
れにより偶数番目のウエハ２がチャック８０に把持され
る。この状態で、チャック８０は駆動部８１と共に上昇
し、次いでクランプ移動部４００のロータリーアクチュ
エータ１６が作動してチャック８０が鉛直軸の回りに１
８０°回転する。すなわち、チャック８０に把持された
偶数番目のウエハ２の表裏が反転する。さらに、上下動
シリンダ２７によりチャック８０が下降され、駆動部８
１によりチャック８０が開かれて表裏が反転したウエハ
２が再びカセット１の上部で第２の突き上げ板１２に保
持される。
【００２３】その後、第１のロータリーアクチュエータ
１３が回転し、上下動板９に固定された１３枚の第１の
突き上げ板１０が上昇してカセット１内に残っている奇
数番目のウエハ２がカセット１の上方に突き上げられ
る。これにより、交互に表裏が反転した２５枚のウエハ
２がカセット１の上方に位置することとなる。上下動シ
リンダ２７によりチャック８０が下降されると共に駆動
部８１によりチャック８０が閉じられて、２５枚のウエ
ハ２全てがチャック８０に把持される。
【００２４】次に、チャック８０は上下動シリンダ２７
により上昇され、クランプ移動部４００のロータリーア
クチュエータ１７が作動してクランプ部３００はエキス
パンド部５００の直上に移動される。一方、エキスパン
ド部５００のロータリーアクチュエータ１５が作動し、
第１及び第２のウエハ保持板１８及び１９が最上部まで
上昇される。このとき、図８に示されるように、ウエハ
保持板１８及び１９の上端部の溝１８ａ、１８ｂ、１９
ａ及び１９ｂは全てチャック８０の溝８２ａ及び８３ａ
と同じピッチＰ３で配列されている。
【００２５】クランプ移動部４００の上下動シリンダ２
７によりチャック８０が下降されると共に駆動部８１に
よりチャック８０が開かれて、２５枚のウエハ２はエキ
スパンド部５００のウエハ保持板１８及び１９に保持さ
れる。チャック８０はクランプ移動部４００により上昇
されると共にカセット置き台３０の直上に戻される。そ
の後、エキスパンド部５００のロータリーアクチュエー
タ１５が作動して第１及び第２のウエハ保持板１８及び
１９が下降される。このとき、各ウエハ保持板１８及び
１９に対応するベアリング２２が板カム６及び７の案内
溝６ａ及び７ａに沿って摺動する。これにより、ウエハ
保持板１８及び１９は下降しながら次第に互いの間隔を
広げていく。そして、ウエハ保持板１８及び１９が最下
部まで下降したときには、図９に示されるように、互い
に隣接する第１のウエハ保持板１８の溝１８ｂと第２の
ウエハ保持板１９の溝１９ａとの間隔Ｐ４が当初のピッ
チＰ３の２倍の値を有するものとなる。
【００２６】このようにして、２５枚のウエハ２は、交
互に表裏が反転すると共に交互に短いピッチＰ３と長い
ピッチＰ４で配列され、裏面同士が向き合うウエハ２の
ピッチはＰ３に、表面同士が向き合うウエハ２のピッチ
はＰ４にそれぞれ設定される。
【００２７】これらの２５枚のウエハ２は、図１０に示
されるように、移し替え治具３１を用いて同時にエキス
パンド部５００から整列ボート４上に移される。なお、
移し替え治具３１及び整列ボート４には、このときのウ
エハ２の配列ピッチに等しいピッチで溝が形成されてお
り、２５枚のウエハ２はその配列ピッチのまま整列ボー
ト４上に移し替えられる。
【００２８】その後、整列ボート４は成膜機５内に運ば
れ、ここでウエハ２は高温状態下で反応ガスと接触さ
れ、これによりウエハ２への成膜処理が施される。この
とき、整列ボート４上において表面同士が向き合うウエ
ハ２は長いピッチＰ４で配列されているので、各ウエハ
２の表面を反応ガスが円滑に流れ、これにより均一な成
膜処理が可能になる。また、裏面同士が向き合うウエハ
２は短いピッチＰ３で配列されているので、２５枚のウ
エハ２を積載する整列ボート４の全長を短くすることが
でき、成膜機５内に多数の整列ボート４を搬入して同時
に多数のウエハ２を処理することが可能となる。
【００２９】成膜処理が完了すると、整列ボート４は成
膜機５から引き出され、移し替え治具３１によりウエハ
２がエキスパンド部５００のウエハ保持板１８及び１９
上に移し替えられる。そして、上述した動作と全く逆の
動作を経てカセット１内に戻される。すなわち、ウエハ
保持板１８及び１９を上昇させることにより各ウエハ２
の配列ピッチが全てＰ３とされる。さらに、ウエハ２は
クランプ部３００により把持され、クランプ移動部４０
０によりエキスパンド部５００からカセット１の上方に
移動され、ここでウエハ突き上げ部２００の第１及び第
２の突き上げ板１０及び１２上に移し替えられる。その
後、奇数番目のウエハ２のみが下降してカセット１内に
収納される一方、偶数番目のウエハ２がチャック８０に
把持される。これら偶数番目のウエハ２はチャック８０
に把持されたまま、上昇して鉛直軸の回りに１８０°回
転され、再び第２の突き上げ板１２上に保持される。第
２の突き上げ板１２が下降し、偶数番目のウエハ２がカ
セット１内に収納される。このようにして、２５枚のウ
エハ２が同一ピッチで且つ同一方向を向いてカセット１
内に戻される。
【００３０】このウエハ整列機を用いることにより、ウ
エハの表面に傷を付けたり異物を付着させることなく、
短時間でウエハの移し替えを行うことができるようにな
った。例えば、図１１に示した従来の方法では１分間に
２５枚のウエハの移し替えを行っていたものが、このウ
エハ整列機では３２秒間で２５枚のウエハの移し替えを
行うことができた。
【００３１】なお、上記実施例では、エキスパンド部５
００によりウエハ２をピッチＰ３＝４．７６ｍｍとピッ
チＰ４＝９．５２ｍｍで配列したが、これに限るもので
はなく、板カム６及び７の代わりに案内溝の形状の異な
る板カムを用いることにより容易にピッチを変更するこ
とができる。
【００３２】この発明は、５インチ径のウエハの整列に
限るものではなく、例えば４インチ径や６インチ径等の
他の大きさのウエハの整列にも適用できる。
【００３３】上記実施例では、ウエハ２が交互に表と裏
を向くように整列させたが、処理によっては同一方向を
向いてピッチのみを拡張することもできる。
【００３４】また、テフロン製のカセットとプラスチッ
ク製のカセットのように材質の異なるカセット間でウエ
ハを入れ替える場合にも、この発明の整列機を用いるこ
とができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るウ
エハ整列機は、それぞれ複数のウエハを保持する複数の
ウエハ保持板と、前記複数のウエハ保持板を案内する案
内手段と、前記複数のウエハ保持板を前記案内手段に沿
って移動させる移動手段とを備え、前記複数のウエハ保
持板が前記案内手段の一端部に位置するときには互いに
隣接するウエハ保持板が互いに第１のピッチで配列され
且つ案内手段の他端部に位置するときには前記第１のピ
ッチとは異なる第２のピッチで配列されるので、ウエハ
を傷つけたり異物で汚すことなく容易に複数のウエハの
配列ピッチを変えることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例に係るウエハ整列機を示す
斜視図である。
【図２】実施例のウエハ突き上げ部を示す図である。
【図３】突き上げ板の上端部を示す断面図である。
【図４】実施例のエキスパンド部の主要部を示す分解図
である。
【図５】エキスパンド部を示す側面図である。
【図６】エキスパンド部を示す正面図である。
【図７】エキスパンド部の板カムを示す図である。
【図８】通常時におけるエキスパンド部のウエハ保持板
の上端部を示す断面図である。
【図９】エキスパンド時におけるエキスパンド部のウエ
ハ保持板の上端部を示す断面図である。
【図１０】実施例のウエハ整列機で整列されたウエハを
成膜機で処理する際の作業を示す図である。
【図１１】従来のウエハの整列方法を示す図である。
【図１２】成膜機の内部を示す断面図である。
【符号の説明】
２ ウエハ ６、７ 板カム １８、１９ ウエハ保持板 ５００ エキスパンド部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のウエハ
整列機は、それぞれ複数のウエハを保持する複数のウエ
ハ保持板と、前記複数のウエハ保持板を案内する案内手
段と、前記複数のウエハ保持板を前記案内手段に沿って
移動させる保持板移動手段とを備え、前記複数のウエハ
保持板が前記案内手段の一端部に位置するときには互い
に隣接するウエハ保持板が互いに第１のピッチで配列さ
れ且つ案内手段の他端部に位置するときには前記第１の
ピッチとは異なる第２のピッチで配列されるものであ
る。請求項２に記載のウエハ整列機は、請求項１のウエ
ハ整列機において、前記案内手段が、前記複数のウエハ
保持板に対応して形成された複数の案内溝を有する板カ
ムと、前記板カムの複数の案内溝にそれぞれ摺動自在に
嵌合されると共に対応するウエハ保持板に設けられた複
数の案内ベアリングとを含み、前記保持板移動手段が、
ロータリーアクチュエータと、前記ロータリーアクチュ
エータにより回転される回転軸と、前記回転軸に固定さ
れたアームと、前記アームの先端部に連結されると共に
回転軸の回転に応じて上下動する上下動板と、前記上下
動板に前記回転軸と平行な方向に摺動自在に設けられる
と共に対応するウエハ保持板を支持する複数の摺動ベア
リングとを含むものである。請求項３に記載のウエハ整
列機は、請求項２に記載のウエハ整列機において、前記
板カムは交換自在に設けられたものである。請求項４に
記載のウエハ整列機は、請求項１に記載のウエハ整列機
において、さらに、カセットに収納された複数のウエハ
のうち奇数番目のウエハを同時にカセット上部に突き上
げる第１の突き上げ手段と、カセットに収納された複数
のウエハのうち偶数番目のウエハを同時にカセット上部
に突き上げる第２の突き上げ手段と、前記第１及び第２
の突き上げ手段により突き上げられた複数のウエハを把
持するクランプ手段と、前記クランプ手段を前記複数の
ウエハ保持板の上部に移動させるクランプ移動手段とを
備え、前記第１及び第２の突き上げ手段は、それぞれ、
突き上げ板本体と、この突き上げ板本体の上端部にロッ
クレバーにより着脱自在に装着されると共に一枚のウエ
ハを保持するための突き上げブロックとを有するもので
ある。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【作用】請求項１に記載のウエハ整列機においては、移
動手段が複数のウエハ保持板を案内手段に沿って移動さ
せ、複数のウエハ保持板が案内手段の一端部に位置する
ときと他端部に位置するときとで互いに隣接するウエハ
保持板の配列ピッチが異なったものとなる。請求項２に
記載のウエハ整列機においては、請求項１のウエハ整列
機において、保持板移動手段を構成するロータリーアク
チュエータにより回転軸が回転されると、アームを介し
て上下動板が上下動し、ウエハ保持板に設けられた案内
ベアリングが案内手段を構成する板カムの案内溝に沿っ
て移動すると共に摺動ベアリングが回転軸と平行な方向
に摺動し、これにより互いに隣接するウエハ保持板の配
列ピッチが異なったものとされる。請求項３に記載のウ
エハ整列機においては、請求項２のウエハ整列機におい
て、板カムを他の板カムと交換することにより配列ピッ
チを変更することができる。請求項４に記載のウエハ整
列機においては、請求項１のウエハ整列機において、カ
セットに収納された複数のウエハが第１及び第２の突き
上げ手段によりカセット上部に突き上げられ、クランプ
手段により把持され、クランプ移動手段によりクランプ
手段と共に複数のウエハ保持板の上部に移動させる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
ウエハ整列機は、それぞれ複数のウエハを保持する複数
のウエハ保持板と、前記複数のウエハ保持板を案内する
案内手段と、前記複数のウエハ保持板を前記案内手段に
沿って移動させる保持板移動手段とを備え、前記複数の
ウエハ保持板が前記案内手段の一端部に位置するときに
は互いに隣接するウエハ保持板が互いに第１のピッチで
配列され且つ案内手段の他端部に位置するときには前記
第１のピッチとは異なる第２のピッチで配列されるの
で、ウエハを傷つけたり異物で汚すことなく容易に複数
のウエハの配列ピッチを変えることが可能となる。請求
項２に記載のウエハ整列機は、請求項１のウエハ整列機
において、前記案内手段が、前記複数のウエハ保持板に
対応して形成された複数の案内溝を有する板カムと、前
記板カムの複数の案内溝にそれぞれ摺動自在に嵌合され
ると共に対応するウエハ保持板に設けられた複数の案内
ベアリングとを含み、前記保持板移動手段が、ロータリ
ーアクチュエータと、前記ロータリーアクチュエータに
より回転される回転軸と、前記回転軸に固定されたアー
ムと、前記アームの先端部に連結されると共に回転軸の
回転に応じて上下動する上下動板と、前記上下動板に前
記回転軸と平行な方向に摺動自在に設けられると共に対
応するウエハ保持板を支持する複数の摺動ベアリングと
を含むので、ロータリーアクチュエータで回転軸を回転
させるだけで複数のウエハの配列ピッチを変えることが
できる。請求項３に記載のウエハ整列機は、請求項２に
記載のウエハ整列機において、前記板カムが交換自在に
設けられているので、容易に第２のピッチを変更するこ
とができる。請求項４に記載のウエハ整列機は、請求項
１に記載のウエハ整列機において、さらに、カセットに
収納された複数のウエハのうち奇数番目のウエハを同時
にカセット上部に突き上げる第１の突き上げ手段と、カ
セットに収納された複数のウエハのうち偶数番目のウエ
ハを同時にカセット上部に突き上げる第２の突き上げ手
段と、前記第１及び第２の突き上げ手段により突き上げ
られた複数のウエハを把持するクランプ手段と、前記ク
ランプ手段を前記複数のウエハ保持板の上部に移動させ
るクランプ移動手段とを備え、前記第１及び第２の突き
上げ手段は、それぞれ、突き上げ板本体と、この突き上
げ板本体の上端部にロックレバーにより着脱自在に装着
されると共に一枚のウエハを保持するための突き上げブ
ロックとを有するので、カセットから複数のウエハを取
り出してその配列ピッチを変えることができると共に、
ウエハを保持する突き上げブロックがロックレバーによ
り着脱自在に設けられているので、容易に突き上げブロ
ックを突き上げ板本体から取り外して洗浄することもで
き、また容易に突き上げ板本体に再び装着し位置決めす
ることができる。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 それぞれ複数のウエハを保持する複数の
    ウエハ保持板と、 前記複数のウエハ保持板を案内する案内手段と、 前記複数のウエハ保持板を前記案内手段に沿って移動さ
    せる移動手段とを備え、 前記複数のウエハ保持板が前記案内手段の一端部に位置
    するときには互いに隣接するウエハ保持板が互いに第１
    のピッチで配列され且つ案内手段の他端部に位置すると
    きには前記第１のピッチとは異なる第２のピッチで配列
    されることを特徴とするウエハ整列機。
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