JPH04190867A - ガラス基板のディッピング方法及び装置 - Google Patents
ガラス基板のディッピング方法及び装置Info
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- JPH04190867A JPH04190867A JP32468590A JP32468590A JPH04190867A JP H04190867 A JPH04190867 A JP H04190867A JP 32468590 A JP32468590 A JP 32468590A JP 32468590 A JP32468590 A JP 32468590A JP H04190867 A JPH04190867 A JP H04190867A
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- glass substrates
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 110
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 4
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 title claims description 45
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 35
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は液晶セル等として用いるガラス基板をディッピ
ング槽に浸漬する方法及び装置に関する。
ング槽に浸漬する方法及び装置に関する。
（従来の技術）
処理液やコーテイング液を満たしたディッピング槽にガ
ラス基板を浸漬するには従来から複数枚のガラス基板を
カセットに収納したままディッピング槽に浸していたた
め、カセットの汚れでガラス基板か汚れたり、コーティ
ングむらが生じていた。
ラス基板を浸漬するには従来から複数枚のガラス基板を
カセットに収納したままディッピング槽に浸していたた
め、カセットの汚れでガラス基板か汚れたり、コーティ
ングむらが生じていた。
そこで、実公昭６２−３４６３５号公報に開示される装
置にあっては、ケース内に収納した複数枚のガラス基板
をガイＦ体に沿って引き出し、このガラス基板の一側端
をチャッキング手段の固定保持部と可動保持部とで挟持
し、挟持した部分と反対側の側端からガラス基板をディ
ッピング槽に浸漬せしめるようにしている。
置にあっては、ケース内に収納した複数枚のガラス基板
をガイＦ体に沿って引き出し、このガラス基板の一側端
をチャッキング手段の固定保持部と可動保持部とで挟持
し、挟持した部分と反対側の側端からガラス基板をディ
ッピング槽に浸漬せしめるようにしている。
（発明が解決しようとする課題）
上述した従来のディッピング装置によると、チャッキン
グ手段によって把持する部分の面積か大きいｔ：め、ガ
ラス基板のうち利用できない部分か多くなり歩留まりか
悪くなる。またガラス基板を把持する際にチャッキング
手段かガラス基板に当たるとガラス基板が破損する不利
かある。
グ手段によって把持する部分の面積か大きいｔ：め、ガ
ラス基板のうち利用できない部分か多くなり歩留まりか
悪くなる。またガラス基板を把持する際にチャッキング
手段かガラス基板に当たるとガラス基板が破損する不利
かある。
また、従来のディッピング装置にあっては、チャッキン
グ手段の固定保持部と可動保持部とてガラス基板を把持
するようにしているが、一方の保持部しか動かないため
、把持する時に必すガラス基板が動いて欠けが生じやす
く、また移動時にガラス基板が動き、治具への収納かス
ムーズにいかなくなる。
グ手段の固定保持部と可動保持部とてガラス基板を把持
するようにしているが、一方の保持部しか動かないため
、把持する時に必すガラス基板が動いて欠けが生じやす
く、また移動時にガラス基板が動き、治具への収納かス
ムーズにいかなくなる。
更に、従来のディッピング装置にあってはガラス基板の
形状及び寸法が変更された時の対応か効果的ではない。
形状及び寸法が変更された時の対応か効果的ではない。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決すへく本願の第１発明は、複数枚の矩形
状ガラス基板を平行且つ１つの角部が上端となるように
セットし、この状態で矩形状ガラス基板または搬送装置
のチャッキング機構のいずれかを横方向に移動せしめて
チャッキング機構の爪間に矩形状ガラス基板の上端角部
を臨ませ、この後チャッキング機構によって矩形状ガラ
ス基板の上端角部を把持し、搬送装置によりディッピン
グ槽までガラス基板を搬送するようにした。
状ガラス基板を平行且つ１つの角部が上端となるように
セットし、この状態で矩形状ガラス基板または搬送装置
のチャッキング機構のいずれかを横方向に移動せしめて
チャッキング機構の爪間に矩形状ガラス基板の上端角部
を臨ませ、この後チャッキング機構によって矩形状ガラ
ス基板の上端角部を把持し、搬送装置によりディッピン
グ槽までガラス基板を搬送するようにした。
また本願の第２発明は、ガラス基板をディッピング槽ま
で搬送する搬送装置のチャッキング機構が互いに反対方
向に往復動する一対のスライド部材を有し、これら一対
のスライド部材の一方にはガラス基板の一面側に当接す
るクランプ爪を、他方には前記クランプ爪と対向する位
置にてガラス基板の他面側に当接するクランプ爪を設け
るようにした。
で搬送する搬送装置のチャッキング機構が互いに反対方
向に往復動する一対のスライド部材を有し、これら一対
のスライド部材の一方にはガラス基板の一面側に当接す
るクランプ爪を、他方には前記クランプ爪と対向する位
置にてガラス基板の他面側に当接するクランプ爪を設け
るようにした。
また本願の第３発明は、ガラス基板をディッピング槽ま
で搬送する搬送装置のチャッキング機構が、ガラス基板
の一面側に当接するクランプ爪と、前記クランプ爪と対
向する位置にてガラス基板の他面側に当接するクランプ
爪とを有し、これらクランプ爪のうち一方のクランプ爪
のガラス基板と当接する面を平坦面とし、他方のクラン
プ爪の周囲には弾性リングを巻回した。
で搬送する搬送装置のチャッキング機構が、ガラス基板
の一面側に当接するクランプ爪と、前記クランプ爪と対
向する位置にてガラス基板の他面側に当接するクランプ
爪とを有し、これらクランプ爪のうち一方のクランプ爪
のガラス基板と当接する面を平坦面とし、他方のクラン
プ爪の周囲には弾性リングを巻回した。
更に本願の第４発明は、ガラス基板をセットするセット
治具の基台に対し一対のアングル状アームを傾斜角調整
可能に支持し、これら一対のアーム間にガラス基板の下
縁部か嵌り込む溝を形成したロッドを架設した。
治具の基台に対し一対のアングル状アームを傾斜角調整
可能に支持し、これら一対のアーム間にガラス基板の下
縁部か嵌り込む溝を形成したロッドを架設した。
（作用）
１つの角部が上端となるように治具上にセットされた複
数のガラス基板は、搬送装置のチャッキング機構により
その上端角部を把持され、搬送装置に吊り下げられた状
態でディッピング槽上まで搬送され、次いでガラス基板
は上端角部を除いてディッピング槽内に浸漬される。
数のガラス基板は、搬送装置のチャッキング機構により
その上端角部を把持され、搬送装置に吊り下げられた状
態でディッピング槽上まで搬送され、次いでガラス基板
は上端角部を除いてディッピング槽内に浸漬される。
（実施例）
以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係るガラス基板のディッピング装置の
正面図、第２図は同ガラス基板のディッピング装置の平
面図、第３図は同ガラス基板のディッピング装置の側面
図である。
正面図、第２図は同ガラス基板のディッピング装置の平
面図、第３図は同ガラス基板のディッピング装置の側面
図である。
ディッピング装置は中央部をディッピングステーション
Ｓ１、正面から見て右側を投入ステーションＳ２、左側
を取り出しステーションＳ３とし、これら各ステーショ
ン間における矩形状ガラス基板Ｇの搬送及び受は渡しを
搬送装置１にて行なうようにしている。
Ｓ１、正面から見て右側を投入ステーションＳ２、左側
を取り出しステーションＳ３とし、これら各ステーショ
ン間における矩形状ガラス基板Ｇの搬送及び受は渡しを
搬送装置１にて行なうようにしている。
搬送装置１はレール２に沿って左右方向に移動可能とさ
れた移動体３にシリンダユニット等によって昇降動する
アーム４を設け、このアーム４にチャッキング機構５を
取り付けている。
れた移動体３にシリンダユニット等によって昇降動する
アーム４を設け、このアーム４にチャッキング機構５を
取り付けている。
チャッキング機構５は平面図である第４図、側面図であ
る第５図及び正面図である第６図に示すように、アーム
４先端に下向きコ字状の支持板６を取付け、この支持板
６に前後方向のガイドロッド７．８を架設し、ガイドロ
ッド７にスライド部材９を、ガイドロッド８にスライド
部材１０をそれぞれ摺動自在に係合している。
る第５図及び正面図である第６図に示すように、アーム
４先端に下向きコ字状の支持板６を取付け、この支持板
６に前後方向のガイドロッド７．８を架設し、ガイドロ
ッド７にスライド部材９を、ガイドロッド８にスライド
部材１０をそれぞれ摺動自在に係合している。
これらスライド部材９．１０は複数のプレート９ａ・・
・、１０ａ・・・間にクランプ爪１１・・・、１２・・
・を挟持してなり、スライド部材９のクランプ爪１１の
周囲には弾性リング１３を巻回し、スライド部材１ｏの
クランプ爪１２はガラス基板Ｇと当接する面を平坦面と
している。このような構成とすることにより、複数のガ
ラス基板Ｇ・・・をピッチ間隔を狭くし且つガラス基板
Ｇの１つの上端角部を把持するようにしてもガラス基板
同士が接触したり落下することがなくなる。
・、１０ａ・・・間にクランプ爪１１・・・、１２・・
・を挟持してなり、スライド部材９のクランプ爪１１の
周囲には弾性リング１３を巻回し、スライド部材１ｏの
クランプ爪１２はガラス基板Ｇと当接する面を平坦面と
している。このような構成とすることにより、複数のガ
ラス基板Ｇ・・・をピッチ間隔を狭くし且つガラス基板
Ｇの１つの上端角部を把持するようにしてもガラス基板
同士が接触したり落下することがなくなる。
またスライド部材９，１０の上面略中央にはブラケット
１４．１５を固設し、これらブラケット１４．１５間に
スプリング１６．１６を張設し、更にブラケット１４．
１５上面の対向位置にローラ１７，１８を取り付け、こ
れらローラ１７，１８をロータリアクチュエータ１９に
て回転するカム２０に当接せしめ、楕円状カム２０の回
転によリスライト部材９，１０が互いに反対方向に摺動
するようにし、この摺動によりクランプ爪１１゜１２が
開閉しガラス基板Ｇのクランプ及びアンクランプを行な
うようにしている。
１４．１５を固設し、これらブラケット１４．１５間に
スプリング１６．１６を張設し、更にブラケット１４．
１５上面の対向位置にローラ１７，１８を取り付け、こ
れらローラ１７，１８をロータリアクチュエータ１９に
て回転するカム２０に当接せしめ、楕円状カム２０の回
転によリスライト部材９，１０が互いに反対方向に摺動
するようにし、この摺動によりクランプ爪１１゜１２が
開閉しガラス基板Ｇのクランプ及びアンクランプを行な
うようにしている。
一方、ガラス基板の投入ステーションＳ２には前後方向
のレール２１を配置し、このレール２１に第１テーブル
２２を係合し、スクリューシャフト２３をモータ２４で
回転させることで第１テーブル２２を前後に移動せしめ
るようにし、また第１テーブル２２上には左右方向のレ
ール２５を配置し、このレール２５に第２テーブル２６
を係合し、スクリューシャフト２７をモータ２８で回転
させることで第２テーブル２６を左右に移動せしめるよ
うにしている。尚、第２テーブル２６の移動量は第１テ
ーブル２２の移動量に比べて極めて少なくて足りる。
のレール２１を配置し、このレール２１に第１テーブル
２２を係合し、スクリューシャフト２３をモータ２４で
回転させることで第１テーブル２２を前後に移動せしめ
るようにし、また第１テーブル２２上には左右方向のレ
ール２５を配置し、このレール２５に第２テーブル２６
を係合し、スクリューシャフト２７をモータ２８で回転
させることで第２テーブル２６を左右に移動せしめるよ
うにしている。尚、第２テーブル２６の移動量は第１テ
ーブル２２の移動量に比べて極めて少なくて足りる。
また、ガラス基板の取り出しステーションＳ３には前後
方向のレール３１を配置し、このレール３１にテーブル
３２を係合し、スクリューシャフト３３をモータ３４で
回転させることでテーブル３２を前後に移動せしめるよ
うにしている。更に装置中央のディッピング槽りよりも
下方位置にはダクト３５を配置し、埃等を排除するよう
にしている。
方向のレール３１を配置し、このレール３１にテーブル
３２を係合し、スクリューシャフト３３をモータ３４で
回転させることでテーブル３２を前後に移動せしめるよ
うにしている。更に装置中央のディッピング槽りよりも
下方位置にはダクト３５を配置し、埃等を排除するよう
にしている。
一方、ガラス基板Ｇはセット治具４０に１つの角部が上
端となるよう複数枚が平行にセットされ、この治具４０
ごと前記第２テーブル２６上に載置される。そして、セ
ット治具４０は第６図及び第７図に示すように、基台４
１に対し一対のアングル状アーム４２．４２を軸４２ａ
を中心に揺動自在に支持し、これら一対のアーム間４２
．４２にガラス基板Ｇの下縁部が嵌り込む溝４３ａを形
成したロッド４３を架設し、更に基台４１とアーム４２
間にナツトとスクリューシャフトからなるアームの角度
調整機構４４を設け、矩形状ガラス基板Ｇの形状が変更
されてもアーム４２の角度を調整するだけで常にガラス
基板Ｇの１つの角部が一定の位置に来るようにし、搬送
装置１の変更なくディッピング作業を行なえるようにし
ている。
端となるよう複数枚が平行にセットされ、この治具４０
ごと前記第２テーブル２６上に載置される。そして、セ
ット治具４０は第６図及び第７図に示すように、基台４
１に対し一対のアングル状アーム４２．４２を軸４２ａ
を中心に揺動自在に支持し、これら一対のアーム間４２
．４２にガラス基板Ｇの下縁部が嵌り込む溝４３ａを形
成したロッド４３を架設し、更に基台４１とアーム４２
間にナツトとスクリューシャフトからなるアームの角度
調整機構４４を設け、矩形状ガラス基板Ｇの形状が変更
されてもアーム４２の角度を調整するだけで常にガラス
基板Ｇの１つの角部が一定の位置に来るようにし、搬送
装置１の変更なくディッピング作業を行なえるようにし
ている。
以上において、複数枚のガラス基板Ｇをセット治具４０
に１つの角部が上端となるようにセットし、このセット
治具４ｏを前端位置まで移動している第２テーブル２６
上に載置する。この後、第１テーブル２２をモータ２４
の駆動により装置の奥の方に移動せしめる。この時、搬
送装置１は投入ステーションＳ２側に移動してきており
、第１テーブル２２が最も後退した位置において、各ガ
ラス基板Ｇは側方から見てチャッキング機構５の各クラ
ンプ爪１１．１２間に位置する。しかし、各ガラス基板
Ｇの上端角部は第６図のＧ′に示すように左右方向にお
いてクランプ爪１１．１２の位置からずれている。
に１つの角部が上端となるようにセットし、このセット
治具４ｏを前端位置まで移動している第２テーブル２６
上に載置する。この後、第１テーブル２２をモータ２４
の駆動により装置の奥の方に移動せしめる。この時、搬
送装置１は投入ステーションＳ２側に移動してきており
、第１テーブル２２が最も後退した位置において、各ガ
ラス基板Ｇは側方から見てチャッキング機構５の各クラ
ンプ爪１１．１２間に位置する。しかし、各ガラス基板
Ｇの上端角部は第６図のＧ′に示すように左右方向にお
いてクランプ爪１１．１２の位置からずれている。
この後、第２テーブル２６を移動させることで、各ガラ
ス基板Ｇの上端角部を第６図に示すようにクランプ爪１
１．１２間に臨ませ、次いで前記したようにロータリア
クチュエータ１９にて楕円状カム２０を回転せしめクラ
ンプ爪１１．１２を閉じ方向に移動せしめてガラス基板
Ｇの上端角部をクランプ爪１１．１２にて挟持する。こ
こで、ガラス基板Ｇの上端角部を下方からクランプ爪１
１゜１２間に臨ませず側方から臨ませるようにしたのは
、下方から臨ませる際に万一クランプ爪にガラス基板Ｇ
の上端角部が当るとガラス基板の逃げ場がないため、ガ
ラス基板が破損するか、側方から挿入するようにすれば
ガラス基板が傾くことによりこれを回避できるからであ
る。またクランプ爪１２はそのクランプ爪１１側を短辺
とする台形状としておけば、ガラス基板がクランプ爪１
１，１２の間に円滑に入り易いので好都合である。
ス基板Ｇの上端角部を第６図に示すようにクランプ爪１
１．１２間に臨ませ、次いで前記したようにロータリア
クチュエータ１９にて楕円状カム２０を回転せしめクラ
ンプ爪１１．１２を閉じ方向に移動せしめてガラス基板
Ｇの上端角部をクランプ爪１１．１２にて挟持する。こ
こで、ガラス基板Ｇの上端角部を下方からクランプ爪１
１゜１２間に臨ませず側方から臨ませるようにしたのは
、下方から臨ませる際に万一クランプ爪にガラス基板Ｇ
の上端角部が当るとガラス基板の逃げ場がないため、ガ
ラス基板が破損するか、側方から挿入するようにすれば
ガラス基板が傾くことによりこれを回避できるからであ
る。またクランプ爪１２はそのクランプ爪１１側を短辺
とする台形状としておけば、ガラス基板がクランプ爪１
１，１２の間に円滑に入り易いので好都合である。
このようにして搬送装置１のチャッキング機構５にてガ
ラス基板Ｇの上端角部を把持したならば、搬送装置１を
上昇せしめ、セット治具４０からガラス基板Ｇを取り上
げ、そのままの状態で、搬送装置１によりガラス基板Ｇ
をディッピングステーションＳ１のディッピング槽り上
まで搬送し、而る後、搬送装置のアーム４を下降せしめ
、ガラス基板Ｇを上端角部を除いてディッピング槽り内
に浸漬せしめる。
ラス基板Ｇの上端角部を把持したならば、搬送装置１を
上昇せしめ、セット治具４０からガラス基板Ｇを取り上
げ、そのままの状態で、搬送装置１によりガラス基板Ｇ
をディッピングステーションＳ１のディッピング槽り上
まで搬送し、而る後、搬送装置のアーム４を下降せしめ
、ガラス基板Ｇを上端角部を除いてディッピング槽り内
に浸漬せしめる。
そして、所定時間か経過したならば、アーム４を上昇せ
しめ、さらに搬送装置１によりガラス基板Ｇを取り出し
ステーションＳ３まで搬送して取り出し一連のディッピ
ング作業を終了する。
しめ、さらに搬送装置１によりガラス基板Ｇを取り出し
ステーションＳ３まで搬送して取り出し一連のディッピ
ング作業を終了する。
（効果）
以上に説明したように本発明によれば、ガラス基板をデ
ィッピング槽に浸漬するにあたり、その上端角部を把持
して行なうようにしたので、ガラス基板を無駄なく利用
することができ歩留まりが向上するとともに、ガラス基
板の把持及び受は渡しが円滑に行われる。
ィッピング槽に浸漬するにあたり、その上端角部を把持
して行なうようにしたので、ガラス基板を無駄なく利用
することができ歩留まりが向上するとともに、ガラス基
板の把持及び受は渡しが円滑に行われる。
また、互いに反対方向に往復動する一対のスライド部材
に設けたクランプ爪にてガラス基板を把持するようにし
たので、把持する際にガラス基板の傾きが小さく、欠は
等が生じにくい。 −また、一対のクランプ爪のうち
一方のクランプ爪のガラス基板と当接する面を平坦面と
し、他方のクランプ爪の周囲に弾性リングを巻回したの
で、隣接するガラス基板同士が接触したり落下すること
がない。
に設けたクランプ爪にてガラス基板を把持するようにし
たので、把持する際にガラス基板の傾きが小さく、欠は
等が生じにくい。 −また、一対のクランプ爪のうち
一方のクランプ爪のガラス基板と当接する面を平坦面と
し、他方のクランプ爪の周囲に弾性リングを巻回したの
で、隣接するガラス基板同士が接触したり落下すること
がない。
更に、ガラス基板をセットするセット治具の構造を、基
台に対し一対のアングル状アームを傾斜角調整可能に支
持し、これら一対のアーム間にガラス基板の下縁部が嵌
り込む溝を形成したロッドを架設するようにしたので、
ガラス基板の形状や寸法が変わっても簡単に対処できる
。
台に対し一対のアングル状アームを傾斜角調整可能に支
持し、これら一対のアーム間にガラス基板の下縁部が嵌
り込む溝を形成したロッドを架設するようにしたので、
ガラス基板の形状や寸法が変わっても簡単に対処できる
。
第１図は本発明に係るガラス基板のディッピング装置の
正面図、第２図は同ガラス基板のディッピング装置の平
面図、第３図は同ガラス基板のディッピング装置の側面
図、第４図はチャッキング機構の平面図、第５図はチャ
ッキング機構の側面図、第６図はチャッキング機構によ
ってセット冶具にセットされているガラス基板を把持し
ている状態を示す正面図、第７図はセット治具のロッド
を示す図である。 尚、図面中１は搬送装置、４はアーム、５はチャッキン
グ機構、９，１０はスライド部材、１１゜１２はクラン
プ爪、１３は弾性リング、２０はカム、２２は第１テー
ブル、２６は第２テーブル、４０はセット治具、４２は
アングル状アーム、４３はロッド、４４は角度調整機構
、Ｄはディッピング槽、Ｇはガラス基板、Ｓｌはディッ
ピングステーション、Ｓ２は投入ステーション、Ｓ３は
取り出しステーションである。 特 許 出 願 人 東京応化工業株式会社同
株式会社アイデイテクノ代理人 弁理士
下 １）容 一部代理人 弁理士 大 橋
邦 彦代理人 弁理士 小 山 有第３図 第７図
正面図、第２図は同ガラス基板のディッピング装置の平
面図、第３図は同ガラス基板のディッピング装置の側面
図、第４図はチャッキング機構の平面図、第５図はチャ
ッキング機構の側面図、第６図はチャッキング機構によ
ってセット冶具にセットされているガラス基板を把持し
ている状態を示す正面図、第７図はセット治具のロッド
を示す図である。 尚、図面中１は搬送装置、４はアーム、５はチャッキン
グ機構、９，１０はスライド部材、１１゜１２はクラン
プ爪、１３は弾性リング、２０はカム、２２は第１テー
ブル、２６は第２テーブル、４０はセット治具、４２は
アングル状アーム、４３はロッド、４４は角度調整機構
、Ｄはディッピング槽、Ｇはガラス基板、Ｓｌはディッ
ピングステーション、Ｓ２は投入ステーション、Ｓ３は
取り出しステーションである。 特 許 出 願 人 東京応化工業株式会社同
株式会社アイデイテクノ代理人 弁理士
下 １）容 一部代理人 弁理士 大 橋
邦 彦代理人 弁理士 小 山 有第３図 第７図
Claims (4)
- （１）平行にセットした複数枚の矩形状ガラス基板をチ
ャッキング機構を備えた搬送装置によりディッピング槽
まで搬送して浸漬せしめるようにしたディッピング方法
において、前記複数枚の矩形状ガラス基板のセットは１
つの角部が上端となるようにし、この状態で矩形状ガラ
ス基板またはチャッキング機構のいずれかを横方向に移
動せしめてチャッキング機構の爪間に矩形状ガラス基板
の上端角部を臨ませ、この後チャッキング機構によって
矩形状ガラス基板の上端角部を把持するようにしたこと
を特徴とするガラス基板のディッピング方法。 - （２）平行にセットした複数枚のガラス基板をチャッキ
ング機構を備えた搬送装置によりディッピング槽まで搬
送して浸漬せしめるようにしたディッピング装置におい
て、前記チャッキング機構は互いに反対方向に往復動す
る一対のスライド部材を有し、これら一対のスライド部
材の一方にはガラス基板の一面側に当接するクランプ爪
を、他方には前記クランプ爪と対向する位置にてガラス
基板の他面側に当接するクランプ爪を設けたことを特徴
とするガラス基板のディッピング装置。 - （３）平行にセットした複数枚のガラス基板をチャッキ
ング機構を備えた搬送装置によりディッピング槽まで搬
送して浸漬せしめるようにしたディッピング装置におい
て、前記チャッキング機構はガラス基板の一面側に当接
するクランプ爪と、前記クランプ爪と対向する位置にて
ガラス基板の他面側に当接するクランプ爪とを有し、こ
れらクランプ爪のうち一方のクランプ爪のガラス基板と
当接する面は平坦面とし、他方のクランプ爪の周囲には
弾性リングを巻回したことを特徴とするガラス基板のデ
ィッピング装置。 - （４）平行にセットした複数枚のガラス基板をチャッキ
ング機構を備えた搬送装置によりディッピング槽まで搬
送して浸漬せしめるようにしたディッピング装置におい
て、前記ガラス基板をセットするセット治具は、基台に
対し一対のアングル状アームを傾斜角調整可能に支持し
、これら一対のアーム間にガラス基板の下縁部が嵌り込
む溝を形成したロッドを架設したことを特徴とするガラ
ス基板のディッピング装置。
Priority Applications (1)
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| JP2324685A JP3059210B2 (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | ガラス基板のディッピング方法及び装置 |
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