JP2000183135A - 端面研磨装置における搬送部材の支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハの受取り、および受渡しを行うととも
に、水平方向に搬送する搬送部材を、水平方向に円滑
に、かつ、短時間で移動させることができる端面研磨装
置における搬送部材の支持機構を提供する。 【解決手段】 基板に、上下方向に間隔を置くととも
に、水平方向に延びる突出部と、ねじ軸とを配設し、可
動板に、この突出部と係合する係合部と、前記ねじ軸に
螺合するねじ孔を有するねじ部材と配設し、駆動源で前
記ねじ軸を回転した時前記可動板は突出部および係合部
の作用によって水平方向に移動するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は端面研磨装置にお
ける搬送部材の支持機構に関し、特に、ウエハを供給部
内および研磨部内において搬送するための搬送部材を支
持するための端面研磨装置における搬送部材の支持機構
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シリコンウエハのような半導体
ウエハは、エッジのチッピング防止やエピタキシャル成
長時のクラウン防止等のために、その周縁部に面取り加
工が施されている。この面取り加工は、ダイヤモンド砥
石で研削することにより行われるが、研削後に加工歪層
が残り易く、このような加工歪層が残っていると、ディ
バイスプロセスにおいて熱処理を繰り返した時に結晶欠
陥が発生することがある。このために通常は、上記加工
歪層をエッチングにより除去しているが、エッチング処
理した表面は波状や鱗状の凹凸になって汚れが残り易
く、この汚れがディバイスプロセスにおいてウエハ全体
に拡散し、特性を劣化させる大きな原因となる。

【０００３】そこで、近年では、ウエハの面取り加工し
たエッジを鏡面研磨により平滑化するための技術がウエ
ハの表面の研磨とは全く別の技術として確立されてお
り、ウエハのエッジを鏡面研磨する装置として種々の端
面研磨装置が提案されている。

【０００４】そして、ウエハの端面研磨装置にあって
は、複数のダブルアームからなる搬送部材が設けられて
いる。すなわち、それらは、まず、供給部に、内部に複
数のウエハを積層状態で収納したカセットを配設し、搬
送部材によってこのカセットの内部からウエハを排出し
てノッチの位置決めを行うためのアライナに搬送するた
めの搬送部材である。さらに、こののちウエハは、ノッ
チ研磨部でノッチが研磨され、さらに、ノッチが研磨さ
れたウエハを周面研磨部に搬送し、この周面研磨部にお
いては、表面側を上にして周面を研磨し、さらに、表裏
面を反転して、今度は裏面を上にして周面の研磨を行う
ようになっているので、ノッチが研磨されたウエハを受
け取るとともに、表面を上にして周面を研磨する周面研
磨装置に搬送するための搬送部材と、裏面を上にして周
面が研磨された周面研磨装置からウエハを受け取るため
の搬送部材とが設けられている。そして、各搬送部材は
横方向に移動可能に配設されている。

【０００５】この発明の目的は、供給部および研磨部に
おいてウエハを水平方向に搬送するための搬送部材を、
水平方向に、かつ、円滑に移動させることができる端面
研磨装置における搬送部材の支持機構を提供することに
ある。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、カセット内のウエハを搬送部材で
受け取ってアライナに搬送し、こののちノッチ研磨装置
で研磨したウエハを搬送部材で順次受け取って周面研磨
部の周面研磨装置に搬送し、また、周面研磨部で周面を
研磨したウエハを搬送部材で順次受け取って排出部に搬
送するようにした端面研磨装置において、前記搬送部材
を水平方向に移動させる支持機構を配設し、該支持機構
は、水平方向に延びる突出部と、該突出部と平行となっ
ているとともに、駆動源によって回転駆動されるねじ軸
とが配設された基板を有し、さらに、前記突出部と係合
する係合部と、ねじ軸と螺合するねじ孔を有するねじ部
材とを有する可動板を具え、該可動板に前記搬送部材が
取付けられる構成を有している。そして、前記基板に設
けられた突出部は上下方向に平行に一対設けられている
とともに、前記可動板の係合部も一対配設されている構
成を有している。

【０００７】

【作用】この発明は上記の手段を採用したことにより、
供給部においてはカセット内に収納されたウエハを受け
取ってアライナ搬送する搬送部材を水平方向に確実に移
動させることができる。また、周面研磨部においても、
ノッチ研磨済みのウエハを最初の周面研磨装置に搬送す
るための搬送部材を水平方向に確実に移動させ、また、
最後の周面研磨装置で周面が研磨されたウエハを受け取
って排出部に移動するための搬送部材を水平方向に確実
に移動させることができることとなる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図面にはこの発明による搬送
部材の支持機構が採用されているウエハの端面研磨装置
（エッジポリッシャ）の全体が示されている。

【０００９】この端面研磨装置は、内部にウエハを積層
して収納したカセットからウエハを取り出して一定の向
きに整列させ、さらに前後を反転してつぎの工程に搬送
する供給部１０と、この供給部１０からのウエハを受け
取ってウエハに設けたノッチを研磨するノッチ研磨部２
０と、このノッチ研磨部２０でノッチを研磨されたウエ
ハを受け取って、まず表面側を上にした状態でウエハの
周面の研磨を行い、さらに、ウエハの表裏を反転させた
状態で同様にウエハの周面の研磨を行う周面研磨部５０
と、ノッチおよび周面の研磨が終了したウエハを収納す
るカセットを有している排出部１００とを具えている。

【００１０】そして、この発明による搬送部材の支持機
構１１１、１１２は前記供給部１０および周面研磨部５
０とに設けられている。すなわち、この搬送部材の支持
機構１１１、１１２は、端面研磨装置における配置状態
が図１、図２、図３、図６および図１２に示されてお
り、詳細が図１３、図１４および図１５に示されてい
る。

【００１１】この支持機構１１１は、前記供給部１０の
載置台１１０に沿って直立状態で取付けられるととも
に、側面に上下方向に所定の間隔をおいて水平方向に延
びる２つの突出部１２１が設けられた基板１２０を有
し、さらに、前記基板１２０には前記突出部１２１間に
おいて水平方向に延びるとともに、軸受け１２２によっ
て回転可能に支持され、一方の端部にモータ等の回転駆
動源１２３が一体に連結されているねじ軸１２４が取付
けられている。

【００１２】また、前記ねじ軸１２４に螺合するねじ孔
が設けられたねじ部材１２５が裏面に取付けられた可動
板１２６は、裏面に前記両突出部１２１を受け入れる係
合部１２７がそれぞれ配設され、これによって、回転駆
動源１２３の駆動によるねじ軸１２４の回動時に、前記
可動板１２６は係合部１２７が基板１２０の突出部１２
１と係合していることにより、水平方向に移動可能とな
っている。さらに、前記可動板１２６の表面側にはカセ
ット１１内のウエハＷをアライナ１２に配送するための
多関節アーム１３を有している搬送部材１４が取付けら
れている。

【００１３】一方、前記周面研磨部５０においても、搬
送部材の支持機構１１２が設けられており、このものに
あっては、前記供給部１０に配設された支持機構１１１
が２つ連続して配設された形状をなしている。すなわ
ち、長尺な基板１２０に外側に上下方向に所定の間隔を
おいて水平方向に延びる２つの突出部１２１が一体に形
成されるとともに、この突出部１２１間において水平方
向に延びるとともに、２つの部分で構成され、各部分は
軸受け１２２によってそれぞれ回転可能に支持され、そ
れぞれの部分の一方の端部にモータ等の回転駆動源１２
３がそれぞれ一体に連結されているねじ軸１２４が配設
されている。

【００１４】そして、各ねじ軸１２４には裏面に、螺合
するねじ孔を有するねじ部材１２５を有する可動板１２
６がそれぞれ取付けられ、さらに、可動板１２６の裏面
に設けた係合部１２７は前記突出部１２１に係合した状
態となっている。これによって、回転駆動源１２３の駆
動によるねじ軸１２４の回動時に、前記各可動板１２６
はそれぞれ水平方向に移動可能となっている。そして、
一方の可動板１２６には搬送部材５１が、他方の可動板
１２６には搬送部材５２がそれぞれ配設されている。

【００１５】この発明の支持機構１１１、１１２は上記
のように構成されており、上記のように構成されたこの
発明による支持機構１１１、１１２が前記供給部１０お
よび周面研磨部５０とに設けられた端面研磨装置を説明
する。

【００１６】まず、前記供給部１０について説明する
と、前記供給部１０は、その詳細を図１２に示すよう
に、内部にウエハＷを積層して収納する２つのカセット
１１、１１と、このカセット１１内のウエハＷを順次取
り出して周面に形成されたノッチが一定の位置となるよ
うに整列させるアライナ１２と、前記カセット１１から
アライナ１２にウエハを伝達するとともに、アライナ１
２から取り出して整列されたウエハを水平状態で１８０
°回転して前後を反転させ、この前後が反転した状態で
次のノッチ研磨工程に搬送するための多関節アーム１３
を具えた搬送部材１４とから構成されており、前記搬送
部材１４は載置台１１０の側部に設けた支持機構１１１
に取付けられている。

【００１７】前記２つのカセット１１、１１と、アライ
ナ１２とは載置台１１０に載置されており、一方、前記
搬送部材１４は前記載置台１１０に沿って移動するよう
に載置台１１０の側面に取付けられた支持機構１１１に
取付けられている。そして、前記搬送部材１４は図示の
実線の位置と２点鎖線の位置との間を往復移動可能であ
り、先端部に二股部１５が配設された多関節アーム１
３、１３を２つ有しており、この搬送部材１４の２つの
二股部１５の上面にはそれぞれウエハＷが載置されて多
関節アーム１３の伸縮に応じてウエハＷを搬送可能とな
っている。

【００１８】なお、前記搬送部材１４の外側で２点鎖線
で示す円は二股部１５の回動域を示している。さらに、
前記アライナ１２は、たとえば特許第２７２９２９７号
公報に示されており、搬送部材１４の多関節アーム１３
の二股部１５で搬送されたウエハＷを受け取って、ウエ
ハＷの周縁部に設けたノッチが多関節アーム１３の二股
部１５に対して所定の位置として整列させるようになっ
ている。

【００１９】したがって、前記搬送部材１４は、カセッ
ト１１からウエハＷを取り出して支持機構１１１によっ
て水平方向に移動してアライナ１２に搬送し、また、ア
ライナ１２で整列されたウエハＷを受け取ってこのウエ
ハの前後位置を反転し、すなわち、ノッチの位置を前後
逆にしてアライナ１２側としてウエハ渡し部２１、２１
に伝達する。この場合、ウエハ渡し部２１、２１は後述
するノッチ研磨部２０に設けられたノッチ研磨装置２２
に対応するように２点鎖線で示すように２か所に形成さ
れている（図１参照）。

【００２０】また、前記供給部１０に連続してノッチ研
磨部２０が設けられている。このノッチ研磨部２０は、
図１に示すように前記２つのウエハ渡し部２１、２１を
挟んで対向する一対のノッチ研磨装置２２、２２と、図
２に示すように前記両ノッチ研磨装置２２、２２の上方
にそれぞれ位置するとともに、昇降可能、かつウエハ渡
し部２１とノッチ研磨装置２２との間をＸ方向に配設さ
れた軌条２９に沿って移動可能であり、下降位置の時に
前記ウエハ渡し部２１において前記ウエハＷを受け取っ
て上昇し、さらに、Ｘ方向に移動してノッチ研磨装置２
２の上方に位置し、こののち下降してノッチ研磨装置２
２の吸着盤３６に渡すようになっているウエハ掴持機構
２３が設けられている。

【００２１】そして、前記ウエハ掴持機構２３の爪部２
４の３つの爪によって、ウエハＷを掴持して搬送するも
のである。

【００２２】そして、前記爪部２４は昇降可能であると
ともに、Ｘ方向に移動可能、かつ、水平を保持したまま
で回動可能に構成されており、Ｘ方向に移動した時には
図４に示すようなノッチ研磨装置２２、２２の吸着盤３
６の上方にそれぞれ位置するようになっている。

【００２３】前記ノッチ研磨装置２２は、図４、５に示
すように、ウエハ掴持機構２３の爪部２４の下降位置に
位置し、かつ、上面にウエハを吸着するとともに、水平
状態を基準として上下方向に傾斜可能な吸着部３０と、
この吸着部３０に吸着されたウエハに接離可能であると
ともに、ノッチに対向する部位が開放しているカバー３
１と、このカバー３１の内部に位置してノッチに当接す
るように表出しているノッチ研磨用パッド３２と、この
ノッチ研磨用パッド３２を回動する駆動源３３等からな
る研磨部３４とから構成されている。

【００２４】前記吸着部３０は、円盤をなす上面に円周
状の吸着孔３５が形成され、さらに、図５の２点鎖線で
示す状態に、研磨部３４側の端部、すなわちノッチ側を
中心として傾斜可能となっている吸着盤３６を有し、こ
の吸着盤３６には真空源が接続されている。

【００２５】前記研磨部３４は、ノッチ研磨装置２２の
機台３７に、吸着部３０を向いて配設された主軸３８が
貫通した状態で基盤３９が設けられ、この基盤３９には
基板４０が起立状態で配設され、この基板４０の上部に
は内部にノッチ研磨用パッド３２が位置するカバー３１
が取付けられ、下方には駆動源３３が設けられて駆動源
３３とノッチ研磨用パッド３２の回転軸との間にはベル
ト４１が張設されている。

【００２６】一方、前記基盤３９には連結部材４２が設
けられ、この連結部材４２にはワイヤ４３が連結されて
ワイヤ４３には機台に設けたプーリ４４を介して重り４
５が吊り下げられている。したがって、重り４５によっ
て主軸３８に沿って基盤３９が移動して基盤３９に設け
た基板４０に設けたノッチ研磨用パッド３２が吸着盤３
６に吸着されたウエハＷのノッチに押圧されるようにな
っている。なお、４６は、作動部４６ａが前記重り４５
に抗して基盤３９を移動させるシリンダであり、シリン
ダ４６によってノッチから離れた位置に可動部を位置さ
せることができる。

【００２７】そして、ノッチ研磨部２０には上記のよう
に構成されているノッチ研磨装置２２がウエハ渡し部２
１を挟んで２つ設けられている。

【００２８】さらに、前記ノッチ研磨部２０に連続して
周面研磨部５０が設けられている。この周面研磨部５０
には、直列に配設された周面研磨装置５３、５３の横側
にこの発明による支持機構１１２が配設されており、こ
の支持機構１１２で支持された状態で搬送部材５１、５
２が配設されている。したがって、周面研磨部５０に
は、中央部にＹ方向に連続して配設されるとともに、直
列に設けられて、それぞれＹ方向に往復移動可能な２つ
の多関節アームを具えた２つの搬送部材５１、５２と、
この２つの搬送部材５１、５２を挟んで対向していると
ともに、Ｙ方向にそれぞれ直列に２つ配設された周面研
磨装置５３とが設けられ、さらに、ウエハ反転部材８０
が設けられている。

【００２９】このウエハ反転部材８０は、周面研磨部５
０の上部に沿ってそれぞれ設けられた軌条８２に沿って
Ｙ方向に移動可能であるとともに、ウエハを反転可能な
一対のウエハ反転機構８１を具えている。

【００３０】そして、このウエハ反転機構８１にはウエ
ハチャック機構８３が設けられている。すなわち、この
ウエハチャック機構８３は、前記一方の搬送部材５１の
各多関節アーム１３の上面に載置したウエハＷを受け取
るようになっている。この場合、一方の多関節アーム１
３が載置したウエハを一方の周面研磨装置５３の片側の
吸着盤５４に、また、他方の多関節アーム１３が載置し
ているウエハを前記一方の周面研磨装置５３の他の片側
の吸着盤５４にそれぞれ受け渡す。さらに、前記供給部
１０側の周面研磨装置５３による端面の研磨後に吸着盤
５４の両ウエハを受け取って上昇するとともに、反転を
行って、他方の周面研磨装置５３の両吸着盤５４に受け
渡し、この他方の周面研磨装置５３による周端面の研磨
後に他方の搬送部材５２の両多関節アーム１３、１３に
受け渡すようになっている。

【００３１】なお、前記中央部にＹ方向に連続して配設
された２つの搬送部材５１、５２は、供給部１０で用い
た搬送部材１４と同様の構成である。

【００３２】一方、前記周面研磨装置５３は、中央部に
位置してドラムパッド５５ａがそれぞれ巻かれている一
対の研磨ドラム５５を有し、この研磨ドラム５５の両側
のＹ方向にはそれぞれウエハ押圧機構６０が配設されて
いる。この場合、各ウエハ押圧機構６０は、平面から見
てＹ方向に対して所定角度だけ傾斜した方向（Ａ方向）
で配設されており（図１０参照）、また、上部には水平
状態と傾斜状態との間を垂直方向に揺動可能な吸着盤５
４が配設されている。

【００３３】このウエハ押圧機構６０は図７、図８およ
び図９に示すように、ウエハをバキューム吸着するため
の吸着盤５４を保持する第１ボディ６１と、この第１ボ
ディ６１を支軸６２を中心に揺動可能に保持する第２ボ
ディ６３とを有し、第２ボディ６３が支持機構６５によ
って回転テーブル６４の半径方向、すなわち、研磨ドラ
ム５５に接離する方向と、この研磨ドラム５５の半径方
向と直交する方向、すなわち、隣接する２つの研磨ドラ
ム５５の中心を結ぶ線と平行な方向とに移動可能に支持
されている。

【００３４】前記支持機構６５は、回転テーブル６４の
下面に固定された台板６６に研磨ドラム５５に接離する
方向（Ａ方向）に設けられた第１レール６７と、この第
１レール６７に沿って移動自在の第１スライド部材６８
と、第１スライド部材６８の上部に前記第１レール６７
と直交する向き（Ｂ方向）に設けられた第２レール６９
と、第２レール６９に沿って移動可能な第２スライド部
材７０とを有し、第２スライド部材７０の上部に前記第
２ボディ６３が脚７１により取付けられている。

【００３５】また、前記台板６６の下面にはプーリ７２
が取付けられ、このプーリ７２にワイヤ７２ａが張設さ
れており、ワイヤ７２ａの後端は前記第１スライド部材
６８から下向きに延出するアーム７３に固定され、ワイ
ヤ７２ａの先端には重り７４が吊り下げられている。そ
して、この重り７４によって第１スライド部材６８が第
１レール６７上を研磨ドラム５５側に向けて常時付勢さ
れている。

【００３６】また、前記第２スライド部材７０にはプー
リ９０を介して端部に重り９１が取付けられたワイヤ９
２が取付けられ、この重り９１によって吸着盤５４が付
勢されて吸着したウエハが２つの研磨ドラム５５、５５
に対して略均一に当接するように構成されている。

【００３７】これは、回転する研磨ドラム５５、５５に
対してウエハが当接した時にウエハ自体が回転すること
により生じる両研磨ドラム５５、５５に対する不均一な
当接力を略均一にするためのものである。

【００３８】前記台板６６の下面にはエアシリンダ７５
が取付けられ、このエアシリンダ７５のロッド７５ａの
先端がアーム７３に当接し、エアシリンダ７５により第
１スライド部材６８が重り７４に抗して研磨ドラム５５
から離間する方向に付勢されるように構成されている。

【００３９】なお、図９に示すように前記吸着盤５４
は、その表面に複数の吸着孔が穿設され、それらの吸着
孔が第１ボディ６１および第２ボディ６３等に設けられ
たポートや配管７７を介して真空源（図示せず）に接続
されている。この吸着盤５４は、第１ボディ６１に設け
た駆動源で研磨時には非常にゆっくりとした速度で回転
される。

【００４０】また、前記のように前記第１ボディ６１
は、ロータリアクチュエータ７８で吸着盤５４が水平を
向いた状態と、傾斜した状態との間を支軸６２を中心と
して揺動可能であり、水平状態の時は研磨ドラム５５か
ら離間してウエハの受渡し、あるいは受取りを行なう。
そして、吸着盤５４が傾斜した状態では重り７４の作用
力によって両研磨ドラム５５、すなわち、２つの研磨ド
ラム５５に巻き付けたドラムパッド５５ａにそれぞれ押
圧接触し、これにより、ウエハは周面の２か所が同時に
研磨されるようになっている。

【００４１】なお、第１ボディ６１は非研磨位置にある
水平状態の時はシリンダ７５により重り７４に抗して研
磨ドラム５５から離間する方向に後退されている。ま
た、前記研磨ドラム５５は研磨装置の機台に設けた駆動
源７６によって回転可能に構成されている。さらに、吸
着盤５４に取付けたウエハＷの研磨時には研磨剤（スラ
リー）が噴出されるとともに、この研磨剤は回収されて
再利用されるようになっている。

【００４２】ウエハ反転部材８０は、図２、図６に示
し、前述したように一方の側の２つの周面研磨装置５３
の上方を移動可能に設けられている。すなわち、ウエハ
反転部材８０は、一方の側の２つの周面研磨装置５３の
上方にＹ方向に設けられた軌条８２と、この軌条８２に
取付けられるとともに、前記研磨ドラム５５を挟んで対
向する一対の吸着盤５４に対応する間隔を有している一
対のウエハ反転機構８１とを有している。

【００４３】このウエハ反転部材８０のウエハ反転機構
８１は、周面研磨装置５３の研磨ドラム５５を挟んで対
向している水平状態の吸着盤５４に対応する位置の上方
にそれぞれ位置している。そして、ウエハ反転機構８１
は、駆動源によりウエハＷを掴持可能、かつ、垂直方向
に回転可能であり、ウエハを掴持した状態で回転するこ
とでウエハの表裏面を反転可能となっている一対の湾状
アームからなるウエハチャック機構８３と、このウエハ
チャック機構８３をシリンダ等の部材によって昇降可能
な昇降アーム８４と、この昇降アーム８４を固定してい
る移動機台８５とを有している。

【００４４】前記移動機台８５は、それに設けた駆動源
によって前記軌条８２に沿ってＹ方向に移動可能となっ
ている。

【００４５】したがって、図２に示すようにそれぞれウ
エハチャック機構８３を有しているウエハ反転機構８１
（８１ａ、８１ｂ）は、供給部１０側の周面研磨装置５
３の研磨ドラム５５を挟んで対向している水平状態の吸
着盤５４、５４の上方から、他の周面研磨装置５３の研
磨ドラム５５を挟んで対向する水平状態の吸着盤５４、
５４の上方に位置する位置までの間を、上方に配設され
た軌条８２に沿ってＹ方向に移動可能となっている。

【００４６】この場合、両周面研磨装置５３の吸着盤５
４のうちの供給部１０側の吸着盤５４ａの上方に対向す
るのは同一のウエハ反転機構８１（８１ａ）であり、し
たがって、両周面研磨装置５３の吸着盤５４のうちの供
給部１０側と反対側の吸着盤５４ｂの上方に対向するの
も同一のウエハ反転機構８１（８１ｂ）である。これに
よって、両周面研磨装置５３の供給部１０側の吸着盤５
４ａ、および供給部１０側と反対側の吸着盤５４ｂには
それぞれ同一のウエハＷが供給されるようになってい
る。なお、前記軌条８２およびウエハ反転部材８０は、
前記２つの搬送部材５１、５２を境にして対向して配設
されている他の２つの周面研磨装置５３の上方にも配設
されている。

【００４７】これによって、周面研磨部５０は、搬送部
材５１、５２を共用としてＹ方向に連続する２つの周面
研磨装置５３およびウエハ反転部材８０からなるものが
２組形成されることになる。

【００４８】また、前記周面研磨部５０に隣接して、研
磨後のウエハをカセットに収納する排出部１００が配設
されている。この排出部１００は、前記供給部１０に設
けられたカセット１１と同様なカセット１１が２つ配設
されており、このカセット１１の挿入方向先側は閉塞さ
れていて、それ以上の挿入は阻止されている。

【００４９】また、この各カセット１１の配設された部
位は前記周面研磨部５０に配設された搬送部材５２の両
多関節アームによって研磨後のウエハＷが収納可能な位
置である。さらに、この両カセット１１は基台１０１に
取付けられているとともに、この基台１０１は駆動源１
０２によって水平位置と垂直位置との間を上下方向に揺
動可能な基板１０３の上面に固定されており、しかも、
この基板１０３が垂直位置となった時は上面に設けたカ
セット１１が水没するように、排出部１００には水の貯
溜部１０４が形成されている（図２参照）。

【００５０】なお、前記両カセット１１のウエハの挿入
方向先側にはそれ以上のウエハの挿入を阻止するように
閉塞されているので、カセット１１の挿入方向先側が下
方になるように駆動源１０２で基板１０３が回動されて
水没した場合であっても、カセット１１内のウエハが飛
び出したりする恐れはない。

【００５１】このカセット１１が水没する時に、内部に
収納した研磨後のウエハはその端面から水没することに
なり、水の抵抗が作用することがなく円滑に水没できる
とともに、水没時および引き上げ時には水によって表面
が洗われるような作用を受けるものである。

【００５２】つぎに、前記のように構成されている端面
研磨装置の動作について説明する。ウエハを収納したカ
セットを載置台１１０に載置すると支持機構１１１に沿
って水平方向に移動可能となっている搬送部材１４によ
ってウエハＷが搬出されてアライナ１２に伝達され、こ
のアライナ１２でノッチが所定の位置となるようにウエ
ハＷの位置決めを行う。

【００５３】こののち、搬送部材１４の多関節アーム１
３がウエハＷを搬送してウエハＷの前後を反転し、一
方、ウエハ掴持機構２３の爪部２４がウエハＷを掴持し
て移動してノッチ研磨装置２２の吸着盤３６に渡し、ノ
ッチ研磨装置２２でノッチの研磨を行う。また、ノッチ
の研磨が終了したウエハは図１の実線に示す位置となっ
ている搬送部材５１が、その両多関節アーム１３、１３
でウエハＷをそれぞれ受取ると、一方の周面研磨装置５
３の片側の吸着盤５４に受渡し、また、搬送部材５１は
回転駆動源１２３によって回転されるねじ軸１２４の作
用によって水平方向に右方に移動して鎖線に示す位置と
なって前記一方の周面研磨装置５３の反対側の吸着盤５
４にそれぞれウエハを渡すようになっている。そして、
前記一方の周面研磨装置５３において２つの研磨ドラム
５５で周面を研磨される。

【００５４】また、この研磨は水平に対して垂直方向に
所定角度だけ傾斜した状態で行われるので、まず、始め
の周面研磨装置５３で研磨され、こののちウエハは次の
周面研磨装置５３に運ばれる。そして、始めの周面研磨
装置５３と次の周面研磨装置５３との間の上方にはウエ
ハ反転部材８０が設けられているので、始めの周面研磨
装置５３で研磨されたウエハはウエハ反転部材８０で反
転されて次の周面研磨装置５３に搬送されて再び研磨さ
れる。すなわち、ウエハＷの端面は傾斜状態で２回研磨
ドラム５５に押圧されて研磨されることになる。

【００５５】この研磨時にウエハの端面は面取りされて
いるので表面側の研磨時に端面の中央部および表面側の
面取り端面が、そして裏面側の研磨時に端面の中央部お
よび裏面側の面取り端面がそれぞれ研磨されることにな
る。

【００５６】そして表裏面でそれぞれ研磨されたウエハ
Ｗは、まず、実線の位置となっている搬送部材５２の一
方の多関節アーム１３によって他方の周面研磨装置５３
の片側の吸着盤５４からのウエハＷを受取り、また、搬
送部材５２は回転駆動源１２３によって回転されるねじ
軸１２４の作用によって水平方向に右方に移動して鎖線
に示す位置となって他方の多関節アーム１３によって前
記他方の周面研磨装置５３の反対側の吸着盤５４からの
ウエハＷを受け取るようになっている。そして、両多関
節アーム１３に受け取られて研磨されたウエハＷは、排
出部１００に搬送されてそこに位置するカセット１１に
収納されるようになっている。したがって、排出部１０
０のカセット１１の内部にはノッチおよび周端面が研磨
されたウエハＷが積層された状態で収納されることとな
り、端面研磨装置における研磨作業は終了するものであ
る。

【００５７】上記のように搬送部材１４は駆動源で回転
されるねじ軸によって水平方向に移動される可動板に取
付けられ、しかも、可動板自体が、それに設けた係合部
が突出部に係合しているので、自重も作用して上下方向
の変位なしに円滑に移動することができる。したがって
搬送部材自体も円滑に移動することができる。さらに、
搬送部材５１、５２とは、上記のような可動板を直列に
配設して、それぞれに取付けて構成してあるので、すな
わち、２分割した状態で配設してあるので、分割しない
で２つの搬送部材を並列に配設した場合と比較して図１
のＸ方向の幅を狭く構成できるとともに、移動する範囲
を分割したので移動に要する時間を短縮することができ
る。

【００５８】

【発明の効果】この発明は前記のように構成したことに
より、可動板自体が、それに設けた係合部が突出部に係
合することと、自重が作用することとが相俟って駆動源
の起動時に上下方向に変位することなしに円滑に移動す
ることができ、したがって搬送部材自体も円滑に移動す
ることができ、搬送途中でウエハの載置位置をずらした
り、あるいは落下させたりして後工程に悪い影響を与え
る恐れは確実に防止できる。また、２分割してそれぞれ
を単独で移動可能としてそれぞれに搬送部材を取付ける
ことで搬送部材を直列に配設すると移動する時間を短く
することができて作業時間を短縮することができるとと
もに、２つの搬送部材を並列に配設した場合と比較して
図１のＸ方向の幅を狭く構成できて取付ける装置全体を
小型とすることができるという効果を有している。さら
に、前記突出部を上下方向に平行に一対配設するととも
に、係合部を一対配設することで係合時に作用する力を
分散することができるので耐久性も良好になるという効
果を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による搬送部材の支持機構が設けられ
ている端面研磨装置の全体を示す概略平面図である。

【図２】端面研磨装置の全体を示す概略正面図である。

【図３】図１のＣ−Ｃ線に沿って見た概略図である。

【図４】ノッチ研磨装置の概略平面図である。

【図５】ノッチ研磨装置の概略正面図である。

【図６】図１のＤ−Ｄ線に沿って見た概略図である。

【図７】周面研磨装置の概略正面図である。

【図８】周面研磨装置の概略側面図である。

【図９】周面研磨装置の吸着部の近傍を示す概略正面図
である。

【図１０】周面研磨部の片側を示す概略平面図である。

【図１１】周面研磨部の片側を示す概略正面図である。

【図１２】供給部を示す概略平面図である。

【図１３】この発明による搬送部材の支持機構を示す概
略正面図である。

【図１４】この発明による搬送部材の支持機構を示す概
略側面図である。

【図１５】この発明による搬送部材の支持機構の他の形
状を示す概略正面図である。

【符号の説明】

１０……供給部 １１……カセット １２……アライナ １３……多関節アーム １４、５１、５２……搬送部材 １５……二股部 ２０……ノッチ研磨部 ２１……ウエハ渡し部 ２２……ノッチ研磨装置 ２３……ウエハ掴持機構 ２４……爪部 ２９、８２……軌条 ３０……吸着部 ３１……カバー ３２……ノッチ研磨用パッド ３３、７６、１０２……駆動源 ３４……研磨部 ３５……吸着孔 ３６、５４（５４ａ、５４ｂ）……吸着盤 ３７……機台 ３８……主軸 ３９……基盤 ４０、１０３、１２０……基板 ４１……ベルト ４２……連結部材 ４３、７２ａ、９２……ワイヤ ４４、７２、９０……プーリ ４５、７４、９１……重り ４６、７５……シリンダ ４６ａ……作動部 ５０……周面研磨部 ５３……周面研磨装置 ５５……研磨ドラム ５５ａ……ドラムパッド ６０……ウエハ押圧機構 ６１……第１ボディ ６２……支軸 ６３……第２ボディ ６４……回転テーブル ６５……支持機構 ６６……台板 ６７……第１レール ６８……第１スライド部材 ６９……第２レール ７０……第２スライド部材 ７１……脚 ７３……アーム ７５ａ……ロッド ７７……配管 ７８……ロータリアクチュエータ ８０……ウエハ反転部材 ８１（８１ａ、８１ｂ）……ウエハ反転機構 ８３……ウエハチャック機構 ８４……昇降アーム ８５……移動機台 １００……排出部 １０１……基台 １０４……貯溜部 １１０……載置台 １１１、１１２……支持機構 １２１……突出部 １２２……軸受け １２３……回転駆動源 １２４……ねじ軸 １２５……ねじ部材 １２６……可動板 １２７……係合部 Ｗ……ウエハ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C049 AA07 AA12 AA16 AA18 AB01 AB08 AC01 AC04 BB04 CA01 CB03 5F031 CA02 DA01 DA17 FA01 FA11 FA12 FA20 FA22 GA08 GA10 GA13 GA44 GA47 GA48 GA49 MA22

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット内のウエハを搬送部材で受け取
   ってアライナに搬送し、こののちノッチ研磨装置で研磨
   したウエハを搬送部材で順次受け取って周面研磨部の周
   面研磨装置に搬送し、また、周面研磨部で周面を研磨し
   たウエハを搬送部材で順次受け取って排出部に搬送する
   ようにした端面研磨装置において、前記搬送部材を水平
   方向に移動させる支持機構を配設し、該支持機構は、水
   平方向に延びる突出部と、該突出部と平行となっている
   とともに、駆動源によって回転駆動されるねじ軸とが配
   設された基板を有し、さらに、前記突出部と係合する係
   合部と、ねじ軸と螺合するねじ孔を有するねじ部材とを
   有する可動板を具え、該可動板に前記搬送部材が取付け
   られることを特徴とする端面研磨装置における搬送部材
   の支持機構。
2. 【請求項２】 前記基板に設けられた突出部は上下方向
   に平行に一対設けられているとともに、前記可動板の係
   合部も一対配設されている請求項１記載の端面研磨装置
   における搬送部材の支持機構。