JP2000202750A - 端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ揺動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウエハのノッチを研磨するときにノッチを中
心にして上下動させてノッチの厚み方向を幅広く研磨す
るようにした端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウ
エハ揺動機構を提供する。 【解決手段】 上面にウエハを吸着する吸着部と、回転
可能なノッチ研磨用パッドが設けられた研磨部とから構
成され、ノッチをノッチ研磨用パッドで研磨する時に、
吸着盤を、それに吸着したノッチを中心として上下方向
に揺動可能にして、ノッチをその厚み方向に幅広く研磨
できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は端面研磨装置にお
けるノッチ研磨装置のウエハ揺動機構に関し、特に、ウ
エハを、ノッチ研磨用パッド側を中心として上下方向に
揺動させたり、あるいは、所定の揺動状態に停止してノ
ッチを研磨する端面研磨装置におけるノッチ研磨装置の
ウエハ揺動機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シリコンウエハのような半導体
ウエハは、エッジのチッピング防止やエピタキシャル成
長時のクラウン防止等のために、その周縁部に面取り加
工が施されている。この面取り加工は、ダイヤモンド砥
石で研削することにより行われるが、研削後に加工歪層
が残り易く、このような加工歪層が残っていると、ディ
バイスプロセスにおいて熱処理を繰り返した時に結晶欠
陥が発生することがある。このために通常は、上記加工
歪層をエッチングにより除去しているが、エッチング処
理した表面は波状や鱗状の凹凸になって汚れが残り易
く、この汚れがディバイスプロセスにおいてウエハ全体
に拡散し、特性を劣化させる大きな原因となる。

【０００３】そこで、近年では、ウエハの面取り加工し
たエッジを鏡面研磨により平滑化するための技術がウエ
ハの表面の研磨とは全く別の技術として確立されてお
り、ウエハのエッジを鏡面研磨する装置として種々の端
面研磨装置が提案されている。

【０００４】そして、端面研磨装置におけるノッチ研磨
装置にあっては、順次搬送されてくるウエハのノッチを
回転するパッドによって研磨するようになっており、回
転時にパッドは多少外方に膨らむようになるので、回転
方向手前側と先方側とではパッドの当接力に差が生じて
いた。しかも、ウエハは常に水平状態となっているので
パッドの当接に対しての制限が加えられてしまってノッ
チの厚み方向側に幅広く当接しないこととなってしまっ
ていた。したがって、パッド自体の弾性およびウエハが
水平状態になっていることによってノッチの全表面に対
して研磨の均一性を確保することができないという問題
点を有していた。

【０００５】この発明の目的は、端面研磨装置における
ノッチ研磨装置において、ノッチの表面を厚み方向に十
分に幅広く研磨できるとともに、その幅広の範囲におい
て均一に研磨することができる端面研磨装置におけるノ
ッチ研磨装置のウエハ揺動機構を提供することにある。
この発明の他の目的はウエハを所定の揺動状態に保持す
ることにより、その揺動状態に対応するノッチの部位を
十分に研磨することができる端面研磨装置におけるノッ
チ研磨装置のウエハ揺動機構を提供することにある。こ
の発明のさらに他の目的はウエハのノッチを、十分に研
磨でき、しかも研磨むらが生じない端面研磨装置におけ
るノッチ研磨装置のウエハ揺動機構を提供することにあ
る。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、カセットに収納されたウエハを供
給する供給部と、供給されたウエハのノッチを研磨する
ノッチ研磨部と、ウエハの周面を研磨する研磨部と、こ
の研磨部で研磨されたウエハを収納するカセットを有す
る排出部とからなる端面研磨装置において、前記ノッチ
研磨部に、供給されたウエハを吸着保持する吸着部と、
垂直状態で回転するノッチ研磨用パッドを有するととも
に、前記吸着部に対して接離可能な研磨部とを具えたノ
ッチ研磨装置を配設し、該ノッチ研磨装置は、前記吸着
部が、揺動用駆動源によって前記ノッチ研磨用パッド側
を中心として上下方向に揺動可能にした手段を有してい
る。また、前記吸着部は、前記揺動用駆動源によってノ
ッチ研磨用パッド側を中心として揺動可能であるととも
に、任意の揺動位置で停止可能であり、前記ノッチ研磨
用パッドは、正逆回転用駆動源によって正逆回転可能と
した構成を有している。さらに、前記ノッチ研磨用パッ
ドは、前記正逆回転用駆動源自体が正逆回転することで
正逆回転可能としたり、あるいは前記正逆回転用駆動源
と前記ノッチ研磨用パッドとの間に配設した正逆回転機
構によって正逆回転可能とした手段を有している。

【０００７】

【作用】この発明は上記の手段を採用したことにより、
ノッチ研磨時にウエハを、そのノッチを中心として上下
方向に揺動するようにしたことにより、ノッチを厚み方
向に幅広く研磨することができる。さらに、パッドがあ
る程度の柔軟性を有していたとしてもパッドを正逆回転
可能としたことで回転の前後において研磨のむらが生じ
ないようにできて研磨の均一性を確保でき、研磨むらが
生じることがなく、したがって、研磨の均一性を確保す
ることができることになる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図面にはこの発明によるノッ
チ研磨装置のウエハ揺動機構が採用されているウエハの
端面研磨装置（エッジポリッシャ）の全体が示されてい
る。

【０００９】この端面研磨装置は、内部にウエハを積層
して収納したカセットからウエハを取り出して一定の向
きに整列させ、さらに前後を反転してつぎの工程に搬送
する供給部１０と、この供給部１０からのウエハを受け
取ってウエハに設けたノッチを研磨するノッチ研磨部２
０と、このノッチ研磨部２０でノッチを研磨されたウエ
ハを受け取って、まず表面側を上にした状態でウエハの
端面の研磨を行い、さらに、表裏を反転させた状態で同
様にウエハの端面の研磨を行う端面研磨部５０と、ノッ
チおよび端面の研磨が終了したウエハを収納するカセッ
トを有している排出部１００とを具えている。

【００１０】つぎに、この発明によるウエハ揺動機構が
採用されているノッチ研磨部２０に配設されたノッチ研
磨装置２２について説明する。まず、前記ノッチ研磨部
２０は、図１に示すように前記２つのウエハ渡し部２
１、２１を挟んで対向する一対のノッチ研磨装置２２、
２２が配設され、さらに、図２に示すように前記両ノッ
チ研磨装置２２、２２の上方にそれぞれ位置するととも
に、昇降可能、かつウエハ渡し部２１とノッチ研磨装置
２２との間をＸ方向に配設された軌条２９に沿って移動
可能であり、下降位置の時に前記ウエハ渡し部２１にお
いて前記ウエハＷを受け取って上昇し、さらに、Ｘ方向
に移動してノッチ研磨装置２２の上方に位置し、このの
ち下降してノッチ研磨装置２２の吸着盤３６に渡すよう
になっている３爪部材２３が設けられている。

【００１１】そして、前記ノッチ研磨装置２２は、図
４、５、１３、１４に示すように、吸着部３０と、研磨
部３４とから構成され、前記吸着部３０は、上面にウエ
ハを吸着可能である円盤をなす吸着盤３６を有してい
る。さらに、前記吸着部３０は、前記吸着盤３６の上面
に円周状の吸着孔３５が形成され、この吸着盤３６には
真空源が接続されている。

【００１２】一方、前記研磨部３４は、吸着部３０に吸
着されたウエハに接離可能であるとともに、ノッチに対
向する部位が開放しているカバー３１と、このカバー３
１の内部に位置してノッチに当接するように表出してい
るノッチ研磨用パッド３２と、このノッチ研磨用パッド
３２を回動する駆動源３３等とから構成されている。

【００１３】さらに、前記研磨部３４は、ノッチ研磨装
置２２の機台３７に、吸着部３０を向いて配設された主
軸３８が貫通した状態で基盤３９が設けられ、この基盤
３９には基板４０が起立状態で配設され、この基板４０
の上部には内部にノッチ研磨用パッド３２が位置するカ
バー３１が取付けられ、下方には駆動源３３が設けられ
て駆動源３３とノッチ研磨用パッド３２の回転軸との間
にはベルト４１が張設されている。

【００１４】一方、前記基盤３９には連結部材４２が設
けられ、この連結部材４２にはワイヤ４３が連結されて
ワイヤ４３には機台に設けたプーリ４４を介して重り４
５が吊り下げられている。したがって、重り４５によっ
て主軸３８に沿って基盤３９が移動して基盤３９に設け
た基板４０に設けたノッチ研磨用パッド３２が吸着盤３
６に吸着されたウエハＷのノッチに押圧されるようにな
っている。

【００１５】なお、４６は、作動部４６ａが前記重り４
５に抗する基盤３９を移動させるシリンダであり、シリ
ンダ４６によってノッチから離れた位置に可動部を位置
させることができる。

【００１６】さらに、前記吸着部３０は以下のように構
成されている。すなわち、前記ノッチ研磨装置２２の機
台３７には、一対の側板１２０が起立して配設され、こ
の側板１２０の間には前記吸着盤３６の端部に位置する
支軸１２１がそれぞれ枢着されて、この支軸１２１を中
心として吸着盤３６が揺動可能に配設され、一方の支軸
１２１の端部にはプーリ１２２が取付けられるととも
に、駆動源１２３の駆動軸に設けたプーリ１２４との間
にベルト１２５が張設されている。

【００１７】この駆動源１２３は回転方向が正逆回転可
能であり、したがって、ベルト１２５を介して回転され
る支軸１２１は、駆動源１２３の回転方向に応じて正逆
回転し、これによって、支軸１２１に取付けられている
吸着盤３６は、その支軸１２１の取付け部を中心として
回動可能となっている。そして、この実施の形態の場合
には吸着盤３６に対する支軸１２１の取付け位置は、上
面に吸着されるウエハのノッチの位置に合致しているの
で、結果としてウエハＷはノッチを中心に上下方向に回
動可能となっている。

【００１８】そして、ノッチ研磨部２０には上記のよう
に構成されているノッチ研磨装置２２がウエハ渡し部２
１を挟んで２つ設けられている。

【００１９】上記のようなノッチ研磨装置２２にウエハ
を供給する３爪部材２３は下方に垂下する爪部２４を有
し、図３には図１のＣ−Ｃ線に沿って見た状態が示され
ている。前記爪部２４は３つの爪を有し、ウエハＷを掴
持した時に１つの爪が前記ウエハのノッチに入るととも
に、他の２つの爪はウエハの周端面を押圧している。そ
して、この各爪が駆動源によって掴持、拡開可能であ
り、また、掴持時には１つの爪がノッチに位置すること
でウエハの回動は阻止される。

【００２０】また、前記爪部２４は駆動源によって昇降
可能であるとともに、Ｘ方向に移動可能、かつ、水平を
保持したままで回動可能に構成されており、Ｘ方向に移
動した時には図４に示すようなノッチ研磨装置２２、２
２の吸着盤３６の上方にそれぞれ位置するようになって
いる。

【００２１】つぎに前記のように構成されているノッチ
研磨装置２２の作動について説明する。まず、後述する
供給部１０の搬送部材１４の多関節アーム１３がその上
面にウエハを位置した状態でウエハ渡し部２１、２１に
位置する。すると、３爪部材２３の爪部２４がウエハを
掴持して吸着部３０に搬送して吸着盤３６に位置する。
そして、シリンダ４６を不作動とすると、基盤３９は重
り４５の作用によって主軸３８に沿って移動して基盤３
９に設けた基板４０のノッチ研磨用パッド３２が吸着盤
３６に吸着されたウエハＷのノッチに押圧されることに
なる。

【００２２】そして、このようにしてウエハＷのノッチ
にカバー３１から表出しているノッチ研磨用パッド３２
を押圧するとともに、駆動源３３を起動する。すると、
駆動源３３の駆動力はベルト４１を介してノッチ研磨用
パッド３２に伝達されるので、ノッチ研磨用パッド３２
がウエハＷのノッチに当接した状態で回転を開始する。

【００２３】この回転時に、図５および図１３に示すよ
うに駆動源１２３が起動して、プーリ１２２、ベルト１
２５、およびプーリ１２２を介して支軸１２１に伝達さ
れ、しかも、駆動源によって支軸１２１は正逆回転され
るので、支軸１２１に支持されている吸着盤３６は所定
の範囲において、支軸１２１を中心として上下方向に揺
動する。そして吸着盤３６にはウエハＷが吸着され、し
かも、ウエハＷのノッチは駆動源３３で回転されるノッ
チ研磨用パッド３２に当接しているので、ウエハＷのノ
ッチは厚み方向に幅広く研磨されることになる。

【００２４】さらに、このノッチ研磨用パッド３２の回
転時に、図１３に示すようにノッチ研磨用パッド３２自
体はある程度弾性を有しているので、回転時に膨らんで
ノッチとの当接部を境にして回転方向手前側の部位はノ
ッチに十分に当接するが、回転方向先方側の部位はノッ
チから離れる方向に変位する。

【００２５】つまり、ノッチ研磨用パッド３２はノッチ
との当接部を境にして回転方向手前側の部位は膨らみ、
先方の部位は凹むことになるので、ノッチは常に当接部
の手前側が良好に研磨される。そして、このような条件
において、前記ノッチ研磨用パッド３２は駆動源３３が
正回転および逆回転するのでノッチはどの部位であって
も良好に研磨されることになる。

【００２６】また、ウエハＷに設けたノッチは平面から
見ると入口側がノッチ研磨用パッド３２の厚みとほぼ同
一の幅となっていて、内方に行くほど幅が狭くなる碗状
をなしているが、ノッチ研磨用パッド３２が前記と同様
に正回転および逆回転することでノッチのどの部位であ
っても確実、かつ、均一に研磨されることになる。

【００２７】なお、前記駆動源３３は、それ自体が正回
転および逆回転する可逆性を有している駆動源であって
も、あるいは、駆動源３３と、このベルト４１を介して
回転されるノッチ研磨用パッド３２との間に可逆可能な
機構を介して正回転および逆回転可能としても良いもの
である。さらに、前記駆動源１２３による前記吸着盤３
６の上下方向の揺動は連続的に上下動を繰り返しても、
あるいは、駆動源１２３が停止し、あるいは、支軸１２
１への回転力の伝達が停止して、ウエハを所定の角度に
保持した状態で研磨を行っても良いものである。

【００２８】次に上記のように構成されているノッチ研
磨部２０にウエハを供給する供給部１０について以下に
説明する。すなわち、図１２に示すように、内部にウエ
ハＷを積層して収納する２つのカセット１１、１１と、
このカセット１１内のウエハＷを順次取り出して周面に
形成されたノッチが一定の位置となるように整列させる
アライナ１２と、前記カセット１１からアライナ１２に
ウエハを伝達するとともに、アライナ１２から取り出し
て整列されたウエハをノッチ研磨工程に搬送するための
多関節アーム１３を具えた搬送部材１４とから構成され
ている。

【００２９】前記２つのカセット１１、１１と、アライ
ナ１２とは載置台１１０に載置されており、一方、前記
搬送部材１４はロボット１１１によって前記載置台１１
０に沿って移動するように構成されている。そして、前
記搬送部材１４は図示の実線の位置と２点鎖線の位置と
の間を往復移動可能であり、先端部に二股部１５が配設
された多関節アーム１３、１３を２つ有しており、この
搬送部材１４の２つの二股部１５の上面にはそれぞれウ
エハＷが載置されて多関節アーム１３の伸縮に応じてウ
エハＷを搬送可能となっている。

【００３０】なお、前記搬送部材１４の外側で２点鎖線
で示す円は二股部１５の回動域を示している。さらに、
前記アライナ１２は、たとえば特許第２７２９２９７号
公報に示されており、搬送部材１４の多関節アーム１３
の二股部１５で搬送されたウエハＷを受け取って、ウエ
ハＷの周縁部に設けたノッチが多関節アーム１３の二股
部１５に対して所定の位置として整列させるようになっ
ている。

【００３１】したがって、前記搬送部材１４は、カセッ
ト１１からウエハＷを取り出してアライナ１２に搬送
し、また、アライナ１２で整列されたウエハＷを受け取
ってウエハ渡し部２１、２１に伝達する。この場合、ウ
エハ渡し部２１、２１は後述するノッチ研磨部２０に設
けられたノッチ研磨装置２２に対応するように２点鎖線
で示すように２か所に形成されている（図１参照）。

【００３２】一方、前記ノッチ研磨部２０に連続してウ
エハの周面を研磨するための端面研磨部５０が設けられ
ている。この端面研磨部５０は、中央部にＹ方向に連続
して配設されるとともに、直列に設けられて、それぞれ
Ｙ方向に往復移動可能な２つの多関節アームを具えた２
つの搬送部材５１、５２と、この２つの搬送部材５１、
５２を挟んで対向しているとともに、Ｙ方向にそれぞれ
直列に２つ配設された周面研磨装置５３とを具え、さら
に、ウエハ反転部材８０を具えている。

【００３３】このウエハ反転部材８０は、端面研磨部５
０の上部に沿ってそれぞれ設けられた軌条８２に沿って
Ｙ方向に移動可能であるとともに、ウエハを反転可能な
一対のウエハ反転機構８１を具えている。

【００３４】そして、このウエハ反転機構８１は、前記
一方の搬送部材５１の各多関節アーム１３の上面に載置
したウエハを、受け取って一方の多関節アーム１３が載
置したウエハを一方の周面研磨装置５３の片側の吸着盤
５４に、また、他方の多関節アーム１３が載置している
ウエハを前記一方の周面研磨装置５３の他の片側の吸着
盤５４にそれぞれ受け渡す。さらに、前記供給部１０側
の周面研磨装置５３による端面の研磨後に吸着盤５４の
両ウエハを受け取って上昇するとともに、反転を行っ
て、他方の周面研磨装置５３の両吸着盤５４に受け渡
し、この他方の周面研磨装置５３による周端面の研磨後
に他方の搬送部材５２の両多関節アームに受け渡すよう
になっている。

【００３５】なお、前記中央部にＹ方向に連続して配設
された２つの搬送部材５１、５２は、供給部１０で用い
た搬送部材１４と同様の構成である。

【００３６】一方、前記周面研磨装置５３は、中央部に
位置してドラムパッド５５ａがそれぞれ巻かれている一
対の研磨ドラム５５を有し、この研磨ドラム５５の両側
のＹ方向にはそれぞれウエハ押圧機構６０が配設されて
いる。この場合、各ウエハ押圧機構６０は、平面から見
てＹ方向に対して所定角度だけ傾斜した方向（Ａ方向）
で配設されており（図１０参照）、また、上部には水平
状態と傾斜状態との間を垂直方向に揺動可能な吸着盤５
４が配設されている。

【００３７】このウエハ押圧機構６０は図７、図８およ
び図９に示すように、ウエハをバキューム吸着するため
の吸着盤５４を保持する第１ボディ６１と、この第１ボ
ディ６１を支軸６２を中心に揺動可能に保持する第２ボ
ディ６３とを有し、第２ボディ６３が支持機構６５によ
って回転テーブル６４の半径方向、すなわち、研磨ドラ
ム５５に接離する方向と、この研磨ドラム５５の半径方
向と直交する方向、すなわち、隣接する２つの研磨ドラ
ム５５の中心を結ぶ線と平行な方向とに移動可能に支持
されている。

【００３８】前記支持機構６５は、回転テーブル６４の
下面に固定された台板６６に研磨ドラム５５に接離する
方向（Ａ方向）に設けられた第１レール６７と、この第
１レール６７に沿って移動自在の第１スライド部材６８
と、第１スライド部材６８の上部に前記第１レール６７
と直交する向き（Ｂ方向）に設けられた第２レール６９
と、第２レール６９に沿って移動可能の第２スライド部
材７０とを有し、第２スライド部材７０の上部に前記第
２ボディ６３が脚７１により取付けられている。

【００３９】また、前記台板６６の下面にはプーリ７２
が取付けられ、このプーリ７２にワイヤ７２ａが張設さ
れており、ワイヤ７２ａの後端は前記第１スライド部材
６８から下向きに延出するアーム７３に固定され、ワイ
ヤ７２ａの先端には重り７４が吊り下げられている。そ
して、この重り７４によって第１スライド部材６８が第
１レール６７上を研磨ドラム５５側に向けて常時付勢さ
れている。

【００４０】また、前記第２スライド部材７０にはプー
リ９０を介して端部に重り９１が取付けられたワイヤ９
２が取付けられ、この重り９１によって吸着盤５４が付
勢されて吸着したウエハが２つの研磨ドラム５５、５５
に対して略均一に当接するように構成されている。

【００４１】これは、回転する研磨ドラム５５、５５に
対してウエハが当接した時にウエハ自体が回転すること
により生じる両研磨ドラム５５、５５に対する不均一な
当接力を略均一にするためのものである。

【００４２】前記台板６６の下面にはエアシリンダ７５
が取付けられ、このエアシリンダ７５のロッド７５ａの
先端がアーム７３に当接し、エアシリンダ７５により第
１スライド部材６８が重り７４に抗して研磨ドラム５５
から離間する方向に付勢されるように構成されている。

【００４３】なお、図９に示すように前記吸着盤５４
は、その表面に複数の吸着孔が穿設され、それらの吸着
孔が第１ボディ６１および第２ボディ６３等に設けられ
たポートや配管７７を介して真空源（図示せず）に接続
されている。この吸着盤５４は、第１ボディ６１に設け
た駆動源で研磨時には非常にゆっくりとした速度で回転
される。

【００４４】また、前記のように前記第１ボディ６１
は、ロータリアクチュエータ７８で吸着盤５４が水平を
向いた状態と、傾斜した状態との間を支軸６２を中心と
して揺動可能であり、水平状態の時は研磨ドラム５５か
ら離間してウエハの受渡し、あるいは受取りを行なう。
そして、吸着盤５４が傾斜した状態では重り７４の作用
力によって両研磨ドラム５５、すなわち、２つの研磨ド
ラム５５に巻き付けたドラムパッド５５ａにそれぞれ押
圧接触し、これにより、ウエハは周面の２か所が同時に
研磨されるようになっている。

【００４５】なお、第１ボディ６１は非研磨位置にある
水平状態の時はシリンダ７５により重り７４に抗して研
磨ドラム５５から離間する方向に後退されている。ま
た、前記研磨ドラム５５は研磨装置の機台に設けた駆動
源７６によって回転可能に構成されている。さらに、吸
着盤５４に取付けたウエハＷの研磨時には研磨剤（スラ
リー）が噴出されるとともに、この研磨剤は回収されて
再利用されるようになっている。

【００４６】ウエハ反転部材８０は、図２、図６に示
し、前述したように一方の側の２つの周面研磨装置５３
の上方を移動可能に設けられている。すなわち、ウエハ
反転部材８０は、一方の側の２つの周面研磨装置５３の
上方にＹ方向に設けられた軌条８２と、この軌条８２に
取付けられるとともに、前記研磨ドラム５５を挟んで対
向する一対の吸着盤５４に対応する間隔を有している一
対のウエハ反転機構８１とを有している。

【００４７】このウエハ反転部材８０のウエハ反転機構
８１は、周面研磨装置５３の研磨ドラム５５を挟んで対
向している水平状態の吸着盤５４に対応する位置の上方
にそれぞれ位置している。そして、ウエハ反転機構８１
は、駆動源によりウエハＷを掴持可能、かつ、垂直方向
に回転可能であり、ウエハを掴持した状態で回転するこ
とでウエハの表裏面を反転可能となっている一対の湾状
アームからなる湾状爪部８３と、この湾状爪部８３をシ
リンダ等の部材によって昇降可能な昇降アーム８４と、
この昇降アーム８４を固定している移動機台８５とを有
している。

【００４８】前記移動機台８５は、それに設けた駆動源
によって前記軌条８２に沿ってＹ方向に移動可能となっ
ている。

【００４９】したがって、図２に示すようにそれぞれ湾
状爪部８３を有しているウエハ反転機構８１（８１ａ、
８１ｂ）は、供給部１０側の周面研磨装置５３の研磨ド
ラム５５を挟んで対向している水平状態の吸着盤５４、
５４の上方から、他の周面研磨装置５３の研磨ドラム５
５を挟んで対向する水平状態の吸着盤５４、５４の上方
に位置する位置までの間を、上方に配設された軌条８２
に沿ってＹ方向に移動可能となっている。

【００５０】この場合、両周面研磨装置５３の吸着盤５
４のうちの供給部１０側の吸着盤５４ａの上方に対向す
るのは同一のウエハ反転機構８１（８１ａ）であり、し
たがって、両周面研磨装置５３の吸着盤５４のうちの供
給部１０側と反対側の吸着盤５４ｂの上方に対向するの
も同一のウエハ反転機構８１（８１ｂ）である。これに
よって、両周面研磨装置５３の供給部１０側の吸着盤５
４ａ、および供給部１０側と反対側の吸着盤５４ｂには
それぞれ同一のウエハＷが供給されるようになってい
る。なお、前記軌条８２およびウエハ反転部材８０は、
前記２つの搬送部材５１、５２を境にして対向して配設
されている他の２つの周面研磨装置５３の上方にも配設
されている。

【００５１】これによって、端面研磨部５０は、搬送部
材５１、５２を共用としてＹ方向に連続する２つの周面
研磨装置５３およびウエハ反転部材８０からなる２組の
端面研磨部５０が形成されることになる。

【００５２】また、前記端面研磨部５０に隣接して、研
磨後のウエハをカセットに収納する排出部１００が配設
されている。この排出部１００は、前記供給部１０に設
けられたカセット１１と同様なカセット１１が２つ配設
されており、このカセット１１の挿入方向先側は閉塞さ
れていて、それ以上の挿入は阻止されている。

【００５３】また、この各カセット１１の配設された部
位は前記端面研磨部５０に配設された搬送部材５２の両
多関節アームによって研磨後のウエハＷが収納可能な位
置である。さらに、この両カセット１１は基台１０１に
取付けられているとともに、この基台１０１は駆動源１
０２によって水平位置と垂直位置との間を上下方向に揺
動可能な基板１０３の上面に固定されており、しかも、
この基板１０３が垂直位置となった時は上面に設けたカ
セット１１が水没するように、排出部１００には水の貯
溜部１０４が形成されている（図２参照）。

【００５４】なお、前記両カセット１１のウエハの挿入
方向先側はそれ以上のウエハの挿入を阻止するように閉
塞されているので、カセット１１の挿入方向先側が下方
になるように駆動源１０２で基板１０３が回動されて水
没した場合であっても、カセット１１内のウエハが飛び
出したりする恐れはない。

【００５５】このカセット１１が水没する時に、内部に
収納した研磨後のウエハはその端面から水没することに
なり、水の抵抗が作用することがなく円滑に水没できる
とともに、水没時および引き上げ時には水によって表面
が洗われるような作用を受けるものである。

【００５６】つぎに、前記のように構成されている端面
研磨装置の動作について説明する。まず、載置台１１０
上に載置されたカセット１１から搬送部材１４によって
ウエハＷが搬出されてアライナ１２に伝達され、このア
ライナ１２でノッチが一定の位置となるようにウエハＷ
の位置決めを行う。

【００５７】こののち、搬送部材１４の多関節アーム１
３がウエハＷを搬送してウエハＷの前後を反転し、一
方、３爪部材２３の爪部２４がウエハを掴持してノッチ
研磨装置２２の吸着盤３６に渡し、ノッチ研磨装置２２
でノッチの研磨を行う。このノッチの研磨に関しては既
述のようにノッチ研磨装置２２のノッチ研磨用パッド３
２が正回転および逆回転することでノッチは確実に研磨
される。また、ノッチの研磨が終了したウエハは搬送部
材５１によって、周面研磨装置５３の対向する吸着盤５
４に搬送されて、周面研磨装置５３において２つの研磨
ドラム５５で端面を研磨される。

【００５８】また、この研磨は水平に対して垂直方向に
所定角度だけ傾斜した状態で行われるので、まず、始め
の周面研磨装置５３で研磨され、こののちウエハは次の
周面研磨装置５３に運ばれる。そして、始めの周面研磨
装置５３と次の周面研磨装置５３との間の上方にはウエ
ハ反転部材８０が設けられているので、始めの周面研磨
装置５３で研磨されたウエハはウエハ反転部材８０で反
転されて次の周面研磨装置５３に搬送されて再び研磨さ
れる。すなわち、ウエハＷの端面は傾斜状態で２回研磨
ドラム５５に押圧されて研磨されることになる。

【００５９】この研磨時にウエハの端面は面取りされて
いるので表面側の研磨時に端面の中央部および表面側の
面取り端面が、そして裏面側の研磨時に端面の中央部お
よび裏面側の面取り端面がそれぞれ研磨されることにな
る。

【００６０】そして表裏面でそれぞれ研磨されたウエハ
Ｗは、搬送部材５２のアームによって排出部１００に搬
送されてそこに位置するカセット１１に収納されるよう
になっている。したがって、排出部１００のカセット１
１の内部にはノッチおよび周端面が研磨されたウエハＷ
が積層された状態で収納されることとなり、端面研磨装
置における研磨作業は終了するものである。

【００６１】

【発明の効果】この発明は前記のように構成したことに
より、吸着部が、その上面に吸着したウエハを、そのノ
ッチを中心として、上下方向に回動することにより、ノ
ッチ研磨用パッドがウエハの厚み方向に十分に幅広く当
接し、これによって、ウエハのノッチは厚み方向に十分
に幅広く研磨されることになる。また、揺動を停止する
こともできるので、その揺動が停止した状態に対応する
ノッチの部位を十分に研磨することができる。さらに、
ノッチ研磨用パッドは正逆回転可能となっているので、
ノッチ研磨用パッドの弾性による研磨ムラが生じる恐れ
を無くすことができるという効果を有している。さら
に、一方向回転の駆動源を用いた場合であっても、正逆
回転機構を設けることで確実にノッチ研磨用パッドを正
回転および逆回転することができるという効果を有して
いる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるノッチ研磨装置のウエハ揺動機
構が採用されている端面研磨装置の全体を示す概略平面
図である。

【図２】端面研磨装置の全体を示す概略正面図である。

【図３】図１のＣ−Ｃ線に沿って見た概略図である。

【図４】ノッチ研磨装置の概略平面図である。

【図５】ノッチ研磨装置の概略正面図である。

【図６】図１のＤ−Ｄ線に沿って見た概略図である。

【図７】端面研磨装置に配置された周面研磨装置の概略
正面図である。

【図８】端面研磨装置に配置された周面研磨装置の概略
側面図である。

【図９】端面研磨装置に配置された周面研磨装置の吸着
部の近傍を示す概略正面図である。

【図１０】端面研磨装置に配置された端面研磨部の片側
を示す概略平面図である。

【図１１】端面研磨装置に配置された端面研磨部の片側
を示す概略正面図である。

【図１２】供給部を示す概略平面図である。

【図１３】ノッチ研磨装置の概略正面図を示し、特に、
吸着盤と駆動源との関係を示す概略説明図である。

【図１４】図１３に示すものの概略側面図である。

【符号の説明】

１０……供給部 １１……カセット １２……アライナ １３……多関節アーム １４、５１、５２……搬送部材 １５……二股部 ２０……ノッチ研磨部 ２１……ウエハ渡し部 ２２……ノッチ研磨装置 ２３……３爪部材 ２４……爪部 ２９、８２……軌条 ３０……吸着部 ３１……カバー ３２……ノッチ研磨用パッド ３３、７６、１０２、１２３……駆動源 ３４……研磨部 ３５……吸着孔 ３６、５４（５４ａ、５４ｂ）……吸着盤 ３７……機台 ３８……主軸 ３９……基盤 ４０、１０３……基板 ４１……ベルト ４２……連結部材 ４３、７２ａ、９２……ワイヤ ４４、７２、９０……プーリ ４５、７４、９１……重り ４６、７５……シリンダ ４６ａ……作動部 ５０……端面研磨部 ５３……周面研磨装置 ５５……研磨ドラム ５５ａ……ドラムパッド ６０……ウエハ押圧機構 ６１……第１ボディ ６２……支軸 ６３……第２ボディ ６４……回転テーブル ６５……支持機構 ６６……台板 ６７……第１レール ６８……第１スライド部材 ６９……第２レール ７０……第２スライド部材 ７１……脚 ７３……アーム ７５ａ……ロッド ７７……配管 ７８……ロータリアクチュエータ ８０……ウエハ反転部材 ８１（８１ａ、８１ｂ）……ウエハ反転機構 ８３……湾状爪部 ８４……昇降アーム ８５……移動機台 １００……排出部 １０１……基台 １０４……貯溜部 １１０……載置台 １１１……ロボット １２０……側板 １２１……支軸 １２２、１２４……プーリ １２５……ベルト Ｗ……ウエハ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセットに収納されたウエハを供給する
   供給部と、供給されたウエハのノッチを研磨するノッチ
   研磨部と、ウエハの周面を研磨する研磨部と、この研磨
   部で研磨されたウエハを収納するカセットを有する排出
   部とからなる端面研磨装置において、前記ノッチ研磨部
   に、供給されたウエハを吸着保持する吸着部と、垂直状
   態で回転するノッチ研磨用パッドを有するとともに、前
   記吸着部に対して接離可能な研磨部とを具えたノッチ研
   磨装置を配設し、該ノッチ研磨装置は、前記吸着部が、
   揺動用駆動源によって前記ノッチ研磨用パッド側を中心
   として上下方向に揺動可能としたことを特徴とする端面
   研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ揺動機構。
2. 【請求項２】 前記吸着部は、前記揺動用駆動源によっ
   てノッチ研磨用パッド側を中心として揺動可能であると
   ともに、任意の揺動位置で停止可能である請求項１記載
   の端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ揺動機
   構。
3. 【請求項３】 前記ノッチ研磨用パッドは、正逆回転可
   能となっている請求項１記載の端面研磨装置におけるノ
   ッチ研磨装置のウエハ揺動機構。
4. 【請求項４】 前記ノッチ研磨用パッドは、前記正逆回
   転用駆動源自体が正逆回転することで正逆回転可能とな
   っている請求項３記載の端面研磨装置におけるノッチ研
   磨装置のウエハ揺動機構。
5. 【請求項５】 前記ノッチ研磨用パッドは、前記正逆回
   転用駆動源と前記ノッチ研磨用パッドとの間に配設した
   正逆回転機構によって正逆回転可能となっている請求項
   ３記載の端面研磨装置におけるノッチ研磨装置のウエハ
   揺動機構。