JP2000158281A - 端面研磨装置における端面研磨部の並列運転構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 周面研磨装置を２系統にして、一方が停止し
た場合であっても他方が運転を続けるようにした端面研
磨装置における端面研磨部の並列運転構造を提供する。 【解決手段】 共用する搬送部材を境にして両側にそれ
ぞれ２つの周面研磨装置を直列に配設し、片側のうちの
少なくとも一方の周面研磨装置が停止した場合には反対
側の周面研磨装置が運転を継続するようにしてウエハの
研磨作業を停止せざるを得ないという事態が発生するの
を防止した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は端面研磨装置にお
ける端面研磨部の並列運転構造に関し、特に、端面研磨
部を２組として一方の組のみを運転することができる端
面研磨装置における端面研磨部の並列運転構造に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シリコンウエハのような半導体
ウエハは、エッジのチッピング防止やエピタキシャル成
長時のクラウン防止等のために、その周縁部に面取り加
工が施されている。この面取り加工は、ダイヤモンド砥
石で研削することにより行われるが、研削後に加工歪層
が残り易く、このような加工歪層が残っていると、ディ
バイスプロセスにおいて熱処理を繰り返した時に結晶欠
陥が発生することがある。このために通常は、上記加工
歪層をエッチングにより除去しているが、エッチング処
理した表面は波状や鱗状の凹凸になって汚れが残り易
く、この汚れがディバイスプロセスにおいてウエハ全体
に拡散し、特性を劣化させる大きな原因となる。

【０００３】そこで、近年では、ウエハの面取り加工し
たエッジを鏡面研磨により平滑化するための技術がウエ
ハの表面の研磨とは全く別の技術として確立されてお
り、ウエハのエッジを鏡面研磨する装置として種々の端
面研磨装置が提案されている。

【０００４】そして、ウエハの端面研磨装置にあって
は、まず、ノッチを研磨した後に、周端面を研磨するよ
うになっている。この周端面を研磨する端面研磨部にお
ける研磨工程にあっては、直列に設けられた一対の周面
研磨装置を用いて、一方の周面研磨装置でウエハを表向
きにした状態で研磨を行い、この後反転して裏向きにし
て研磨を行うようになっている。すなわち、ウエハの周
端面を研磨するには２つの周面研磨装置が用いられてお
り、一方の周面研磨装置で表向きのウエハを、また、他
方の周面研磨装置で裏向きのウエハの周端面をそれぞれ
研磨するようになっている。したがって、使用によって
研磨パッドが摩損した場合の交換作業や故障等の場合
で、いずれか一方の周面研磨装置を停止した場合には、
端面研磨部自体が運転不能になってしまい、ウエハの研
磨作業の効率化が図れないという問題点を有していた。

【０００５】この発明の目的は、端面研磨装置の端面研
磨部において直列の２つの周面研磨装置からなる一対の
周端面研磨工程を有し、いずれかの周面研磨装置が停止
した場合であっても、端面研磨工程の全体が運転不能に
ならないようにして、ウエハの研磨作業の効率化を図る
ことができる端面研磨装置における端面研磨部の並列運
転構造を提供することを目的とする。

【０００６】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、積層した状態で複数のウエハを収
納したカセットを供給部に位置し、このカセット内のウ
エハを順次搬送してノッチ研磨部でウエハのノッチを、
また、端面研磨部でウエハの周端面を研磨した後に、排
出部のカセット内に収納するようにした端面研磨装置に
おいて、前記端面研磨部に、直列に配設された２つのも
のが２組配設された周面研磨装置と、ノッチが研磨され
たウエハを受け取って各組の最初の周面研磨装置側に搬
送する搬送部材と、この搬送部材で搬送されたノッチ研
磨後のウエハを受け取って各組の最初の周面研磨装置に
セットして研磨させ、最初の周面研磨装置で研磨後のウ
エハを受け取って表裏面を反転させて次の周面研磨装置
にセットして研磨させる反転部材とを配設し、前記端面
研磨部は、いずれか一方の組の周面研磨装置だけで前記
端面研磨装置を機能させる手段を採用したものである。
また、前記周面研磨装置は直列に２つが配設されている
とともに、各周面研磨装置は研磨ドラムを挟んだ両側で
２つのウエハの周端面を同時に研磨可能となっている構
成を有している。

【０００７】

【作用】この発明は上記の手段を採用したことにより、
ノッチの研磨が終了したウエハの周端面の研磨を行う時
に、ウエハを表向きおよび裏向きでそれぞれ周端面の研
磨を行うために２つの周面研磨装置を直列に配設して行
っているが、この２つの周面研磨装置を直列に配設した
ものを並列に設け、すなわち２つの直列に周面研磨装置
を一対設けたことにより、いずれか一方の周面研磨装置
が停止して周端面研磨工程が不能になった場合であって
もいずれか他方の周面研磨装置が運転して周端面研磨工
程を行うことができ、これによって端面研磨装置の全体
が停止するということは確実に防止できることなる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図面にはこの発明による端面
研磨部の並列運転構造が採用されているウエハの端面研
磨装置（エッジポリッシャ）の全体が示されている。

【０００９】この端面研磨装置は、内部にウエハを積層
して収納したカセットからウエハを取り出して一定の向
きに整列させ、さらに前後を反転して次の工程に搬送す
る供給部１０と、この供給部１０からのウエハを受け取
ってウエハに設けたノッチを研磨する一対のノッチ研磨
装置を有するノッチ研磨部２０と、このノッチ研磨部２
０でノッチを研磨されたウエハを受け取って、まず表面
側を上にした状態でウエハの端面の研磨を行い、さら
に、ウエハを表裏を反転させた状態で同様にウエハの端
面の研磨を行う端面研磨部５０と、ノッチおよび端面の
研磨が終了したウエハを収納するカセットを有している
排出部１００とを具えている。

【００１０】この発明による並列運転構造に形成されて
いる端面研磨部５０は、図１、図２に示されている。そ
して、中央部にＹ方向に直列に連続して配設されて、そ
れぞれＹ方向に往復移動可能な２つの多関節アームを具
えた２つの搬送部材５１、５２と、この２つの搬送部材
５１、５２を境にして対向しているとともに、Ｙ方向に
それぞれ直列に配設された一対の周面研磨装置５３とを
具え、さらに、ウエハ渡し部２１で受け取ったウエハを
周面研磨装置５３に伝達する一対のウエハ反転部材８０
とを有している。

【００１１】すなわち、前記２つの搬送部材５１、５２
を共有した状態で、一方側の一対の周面研磨装置５３、
５３または他方側の一対の周面研磨装置５３、５３とそ
の周面研磨装置５３、５３にウエハを搬送するウエハ反
転部材８０とで構成されている。

【００１２】つぎにまず、周面研磨装置５３について説
明する。この周面研磨装置５３は、図７〜図１１に示す
ように中央部に位置してドラムパッド５５ａ（図１１参
照）がそれぞれ巻かれている一対の研磨ドラム５５を有
し、この研磨ドラム５５の両側のＹ方向にはそれぞれウ
エハ押圧機構６０が配設されている。この場合、各ウエ
ハ押圧機構６０は、平面から見てＹ方向に対して所定角
度だけ傾斜した方向（Ａ方向）で配設されており（図１
０参照）、また、上部には水平状態と傾斜状態との間を
垂直方向に揺動可能（図７参照）な吸着盤５４が配設さ
れている。

【００１３】このウエハ押圧機構６０は図７、図８およ
び図９に示すように、ウエハをバキューム吸着するため
の吸着盤５４を保持する第１ボディ６１と、この第１ボ
ディ６１を支軸６２を中心に揺動可能に保持する第２ボ
ディ６３とを有し、第２ボディ６３が支持機構６５によ
って回転テーブル６４の半径方向、すなわち、研磨ドラ
ム５５に接離する方向と、この研磨ドラム５５の半径方
向と直交する方向、すなわち、隣接する２つの研磨ドラ
ム５５の中心を結ぶ線と平行な方向とに移動可能に支持
されている。

【００１４】前記支持機構６５は、回転テーブル６４の
下面に固定された台板６６に研磨ドラム５５に接離する
方向（Ａ方向）に設けられた第１レール６７と、この第
１レール６７に沿って移動自在の第１スライド部材６８
と、第１スライド部材６８の上部に前記第１レール６７
と直交する向き（Ｂ方向）に設けられた第２レール６９
と、第２レール６９に沿って移動可能の第２スライド部
材７０とを有し、第２スライド部材７０の上部に前記第
２ボディ６３が脚７１により取付けられている。

【００１５】また、前記台板６６の下面にはプーリ７２
が取付けられ、このプーリ７２にワイヤ７２ａが張設さ
れており、ワイヤ７２ａの後端は前記第１スライド部材
６８から下向きに延出するアーム７３に固定され、ワイ
ヤ７２ａの先端には重り７４が吊り下げられている。そ
して、この重り７４によって第１スライド部材６８が第
１レール６７上を研磨ドラム５５側に向けて常時付勢さ
れている。

【００１６】また、前記第２スライド部材７０にはプー
リ９０を介して端部に重り９１が取付けられたワイヤ９
２が取付けられ、この重り９１によって吸着盤５４が付
勢されて吸着したウエハが２つの研磨ドラム５５、５５
に対して略均一に当接するように構成されている。

【００１７】これは、回転する研磨ドラム５５、５５に
対してウエハが当接した時にウエハ自体が回転すること
により生じる両研磨ドラム５５、５５に対する不均一な
当接力を略均一にするためのものである。

【００１８】前記台板６６の下面にはエアシリンダ７５
が取付けられ、このエアシリンダ７５のロッド７５ａの
先端がアーム７３に当接し、エアシリンダ７５により第
１スライド部材６８が重り７４に抗して研磨ドラム５５
から離間する方向に付勢されるように構成されている。

【００１９】なお、図９に示すように前記吸着盤５４
は、その表面に複数の吸着孔が穿設され、それらの吸着
孔が第１ボディ６１および第２ボディ６３等に設けられ
たポートや配管７７を介して真空源（図示せず）に接続
されている。この吸着盤５４は、第１ボディ６１に設け
た駆動源で研磨時には非常にゆっくりとした速度で回転
される。

【００２０】また、前記のように前記第１ボディ６１
は、ロータリアクチュエータ７８で吸着盤５４が水平を
向いた状態と、傾斜した状態との間を支軸６２を中心と
して揺動可能であり、水平状態の時は研磨ドラム５５か
ら離間してウエハの受渡し、あるいは受取りを行なう。
そして、吸着盤５４が傾斜した状態では重り７４の作用
力によって両研磨ドラム５５、すなわち、２つの研磨ド
ラム５５に巻き付けたドラムパッド５５ａにそれぞれ押
圧接触し、これにより、ウエハは周面の２か所が同時に
研磨されるようになっている。

【００２１】なお、第１ボディ６１は非研磨位置にある
水平状態の時はシリンダ７５により重り７４に抗して研
磨ドラム５５から離間する方向に後退されている。ま
た、前記研磨ドラム５５は研磨装置の機台に設けた駆動
源７６によって回転可能に構成されている。さらに、吸
着盤５４に取付けたウエハＷの研磨時には研磨剤（スラ
リー）が噴出されるとともに、この研磨剤は回収されて
再利用されるようになっている。

【００２２】つぎに、前記ウエハ反転部材８０について
説明する。このウエハ反転部材８０は、直列に設けられ
た周面研磨装置５３の上部に沿ってそれぞれ設けられた
軌条８２に沿ってＹ方向に移動可能であるとともに、ウ
エハを反転可能な一対のウエハ反転機構８１を具えてい
る。

【００２３】そして、このウエハ反転機構８１にはウエ
ハチャック機構８３が設けられており、このウエハチャ
ック機構８３は、前記一方の搬送部材５１の各多関節ア
ーム１３の上面に載置したウエハＷを受け取るようにな
っている。この場合、搬送部材５１の一方の多関節アー
ム１３がウエハ渡し部２１に位置した時に載置されてい
るウエハを一方の周面研磨装置５３の片側の吸着盤５４
に、また、他方の多関節アーム１３が載置しているウエ
ハを前記一方の周面研磨装置５３の他の片側の吸着盤５
４にそれぞれ受け渡す。

【００２４】さらに、前記供給部１０側の周面研磨装置
５３による周端面の研磨後に吸着盤５４の両ウエハを受
け取って上昇するとともに、反転を行って、他方の周面
研磨装置５３の両吸着盤５４に受け渡し、この他方の周
面研磨装置５３による周端面の研磨後に他方の搬送部材
５２の両多関節アーム１３に受け渡すようになってい
る。

【００２５】なお、前記中央部にＹ方向に連続して配設
された２つの搬送部材５１、５２は、後述する供給部１
０で用いる搬送部材１４と同様の構成である。

【００２６】さらに、前記ウエハ反転部材８０について
周面研磨装置５３と関連付けて詳細に説明する。前記ウ
エハ反転部材８０は、図２、図６に示し、前述したよう
に一方の側の２つの周面研磨装置５３の上方を移動可能
に設けられている。ウエハ反転部材８０は、一方の側の
２つの周面研磨装置５３の上方にＹ方向に設けられた軌
条８２と、この軌条８２に取付けられるとともに、前記
研磨ドラム５５を挟んで対向する一対の吸着盤５４に対
応する間隔を有している一対のウエハ反転機構８１とを
有している。

【００２７】このウエハ反転部材８０のウエハ反転機構
８１は、周面研磨装置５３の研磨ドラム５５を挟んで対
向している水平状態の吸着盤５４に対応する位置の上方
にそれぞれ位置している。そして、ウエハ反転機構８１
は、駆動源によりウエハＷを掴持可能、かつ、垂直方向
に回転可能であり、ウエハを掴持した状態で回転するこ
とでウエハの表裏面を反転可能となっている一対のアー
ムからなるウエハチャック機構８３と、このウエハチャ
ック機構８３をシリンダ等の部材によって昇降可能な昇
降アーム８４と、この昇降アーム８４を固定している移
動機台８５とを有している。

【００２８】前記移動機台８５は、それに設けた駆動源
によって前記軌条８２に沿ってＹ方向に移動可能となっ
ている。

【００２９】したがって、図２に示すようにそれぞれウ
エハチャック機構８３を有しているウエハ反転機構８１
（８１ａ、８１ｂ）は、供給部１０側の周面研磨装置５
３の研磨ドラム５５を挟んで対向している水平状態の吸
着盤５４、５４の上方から、他の周面研磨装置５３の研
磨ドラム５５を挟んで対向する水平状態の吸着盤５４、
５４の上方に位置する位置までの間を、上方に配設され
た軌条８２に沿ってＹ方向に移動可能となっている。

【００３０】この場合、両周面研磨装置５３の吸着盤５
４のうちの供給部１０側の吸着盤５４ａの上方に対向す
るのは同一のウエハ反転機構８１（８１ａ）であり、し
たがって、両周面研磨装置５３の吸着盤５４のうちの供
給部１０側と反対側の吸着盤５４ｂの上方に対向するの
も同一のウエハ反転機構８１（８１ｂ）である。これに
よって、両周面研磨装置５３の供給部１０側の吸着盤５
４ａ、および供給部１０側と反対側の吸着盤５４ｂには
それぞれ同一のウエハＷが供給されるようになってい
る。なお、前記軌条８２およびウエハ反転部材８０は、
前記２つの搬送部材５１、５２を境にして対向して配設
されている他の２つの周面研磨装置５３の上方にも配設
されている。

【００３１】また、この発明による端面研磨部にウエハ
を供給する以前に配設された、研磨前のウエハを供給す
る前記供給部１０は、その詳細を図１２に示すように、
内部にウエハＷを積層して収納する２つのカセット１
１、１１と、このカセット１１内のウエハＷを順次取り
出して周面に形成されたノッチが一定の位置となるよう
に整列させるアライナ１２と、前記カセット１１からア
ライナ１２にウエハを伝達するとともに、アライナ１２
から取り出して整列されたウエハを水平状態で１８０°
回転して前後を反転させ、この前後が反転した状態で次
のノッチ研磨工程に搬送するための多関節アーム１３を
具えた搬送部材１４とから構成されている。

【００３２】前記２つのカセット１１、１１と、アライ
ナ１２とは載置台１１０に載置されており、一方、前記
搬送部材１４は前記載置台１１０に沿って移動するよう
に載置台１１０の側面に取付けられたロボット１１１に
取付けられている。そして、前記搬送部材１４は図示の
実線の位置と２点鎖線の位置との間を往復移動可能であ
り、先端部に二股部１５が配設された多関節アーム１
３、１３を２つ有しており、この搬送部材１４の２つの
二股部１５の上面にはそれぞれウエハＷが載置されて多
関節アーム１３の伸縮に応じてウエハＷを搬送可能とな
っている。

【００３３】なお、前記搬送部材１４の外側で２点鎖線
で示す円は二股部１５の回動域を示している。さらに、
前記アライナ１２は、たとえば特許第２７２９２９７号
公報に示されており、搬送部材１４の多関節アーム１３
の二股部１５で搬送されたウエハＷを受け取って、ウエ
ハＷの周縁部に設けたノッチが多関節アーム１３の二股
部１５に対して所定の位置として整列させるようになっ
ている。

【００３４】したがって、前記搬送部材１４は、カセッ
ト１１からウエハＷを取り出してアライナ１２に搬送
し、また、アライナ１２で整列されたウエハＷを受け取
ってこのウエハの前後位置を反転し、すなわち、ノッチ
の位置を前後逆にしてアライナ１２側としてウエハ渡し
部２１、２１に伝達する。この場合、ウエハ渡し部２
１、２１は後述するノッチ研磨部２０に設けられたノッ
チ研磨装置２２に対応するように２点鎖線で示すように
２か所に形成されている（図１参照）。

【００３５】つぎに、前記供給部１０に連続して配設さ
れたノッチ研磨部２０について説明する。このノッチ研
磨部２０は、図１に示すように前記２つのウエハ渡し部
２１、２１を挟んで対向する一対のノッチ研磨装置２
２、２２と、図２に示すように前記両ノッチ研磨装置２
２、２２の上方にそれぞれ位置するとともに、昇降可
能、かつウエハ渡し部２１とノッチ研磨装置２２との間
をＸ方向に配設された軌条２９に沿って移動可能であ
り、下降位置の時に前記ウエハ渡し部２１において前記
ウエハＷを受け取って上昇し、さらに、Ｘ方向に移動し
てノッチ研磨装置２２の上方に位置し、こののち下降し
てノッチ研磨装置２２の吸着盤３６に渡すようになって
いる３爪部材２３が設けられている。

【００３６】すなわち、図１のＣ−Ｃ線に沿って見た状
態が図３に示されていて、３爪部材２３は下方に垂下す
る爪部２４を有している。この爪部２４は３つの爪を有
し、ウエハＷを掴持した時に１つの爪が前記ウエハのノ
ッチに入るとともに、他の２つの爪はウエハの周端面を
押圧している。そして、この各爪が駆動源によって掴
持、拡開可能であり、また、掴持時には１つの爪がノッ
チに位置することでウエハの回動は阻止される。

【００３７】また、前記爪部２４は駆動源によって昇降
可能であるとともに、Ｘ方向に移動可能、かつ、水平を
保持したままで回動可能に構成されており、Ｘ方向に移
動した時には図４に示すようなノッチ研磨装置２２、２
２の吸着盤３６の上方にそれぞれ位置するようになって
いる。

【００３８】前記ノッチ研磨装置２２は、図４、５に示
すように、３爪部材２３の爪部２４の下降位置に位置
し、かつ、上面にウエハを吸着するとともに、水平状態
を基準として上下方向に傾斜可能な吸着部３０と、この
吸着部３０に吸着されたウエハに接離可能であるととも
に、ノッチに対向する部位が開放しているカバー３１
と、このカバー３１の内部に位置してノッチに当接する
ように表出しているノッチ研磨用パッド３２と、このノ
ッチ研磨用パッド３２を回動する駆動源３３等からなる
研磨部３４とから構成されている。

【００３９】前記吸着部３０は、円盤をなす上面に円周
状の吸着孔３５が形成され、さらに、図５の２点破線で
示す状態に、研磨部３４側の端部、すなわちノッチ側を
中心として傾斜可能となっている吸着盤３６を有し、こ
の吸着盤３６には真空源が接続されている。

【００４０】前記研磨部３４は、ノッチ研磨装置２２の
機台３７に、吸着部３０を向いて配設された主軸３８が
貫通した状態で基盤３９が設けられ、この基盤３９には
基板４０が起立状態で配設され、この基板４０の上部に
は内部にノッチ研磨用パッド３２が位置するカバー３１
が取付けられ、下方には駆動源３３が設けられて駆動源
３３とノッチ研磨用パッド３２の回転軸との間にはベル
ト４１が張設されている。

【００４１】一方、前記基盤３９には連結部材４２が設
けられ、この連結部材４２にはワイヤ４３が連結されて
ワイヤ４３には機台に設けたプーリ４４を介して重り４
５が吊り下げられている。したがって、重り４５によっ
て主軸３８に沿って基盤３９が移動して基盤３９に設け
た基板４０に設けたノッチ研磨用パッド３２が吸着盤３
６に吸着されたウエハＷのノッチに押圧されるようにな
っている。なお、４６は、作動部４６ａが前記重り４５
に抗して基盤３９を移動させるシリンダであり、シリン
ダ４６によってノッチから離れた位置に可動部を位置さ
せることができる。

【００４２】したがって、ノッチ研磨部２０には上記の
ように構成されているノッチ研磨装置２２がウエハ渡し
部２１を挟んで２つ設けられている。

【００４３】また、前記端面研磨部５０に隣接して、研
磨後のウエハをカセットに収納する排出部１００が配設
されている。この排出部１００は、前記供給部１０に設
けられたカセット１１と同様なカセット１１が２つ配設
されており、このカセット１１の挿入方向先側は閉塞さ
れていて、それ以上の挿入は阻止されている。

【００４４】また、この各カセット１１の配設された部
位は前記端面研磨部５０に配設された搬送部材５２の両
多関節アームによって研磨後のウエハＷが収納可能な位
置である。さらに、この両カセット１１は基台１０１に
取付けられているとともに、この基台１０１は駆動源１
０２によって水平位置と垂直位置との間を上下方向に揺
動可能な基板１０３の上面に固定されており、しかも、
この基板１０３が垂直位置となった時は上面に設けたカ
セット１１が水没するように、排出部１００には水の貯
溜部１０４が形成されている（図２参照）。

【００４５】なお、前記両カセット１１のウエハの挿入
方向先側はそれ以上のウエハの挿入を阻止するように閉
塞されているので、カセット１１の挿入方向先側が下方
になるように駆動源１０２で基板１０３が回動されて水
没した場合であっても、カセット１１内のウエハが飛び
出したりする恐れはない。

【００４６】このカセット１１が水没する時に、内部に
収納した研磨後のウエハはその端面から水没することに
なり、水の抵抗が作用することがなく円滑に水没できる
とともに、水没時および引き上げ時には水によって表面
が洗われるような作用を受けるものである。

【００４７】つぎに、前記のように構成されている端面
研磨装置の動作について説明する。ウエハを収納したカ
セットを載置台１１０に載置すると搬送部材１４によっ
てウエハＷが搬出されてアライナ１２に伝達され、この
アライナ１２でノッチが一定の位置となるようにウエハ
Ｗの位置決めを行う。

【００４８】こののち、搬送部材１４の多関節アーム１
３がウエハＷを搬送してウエハＷの前後を反転してウエ
ハ渡し部２１に伝達する。するとこのウエハ渡し部２１
において、３爪部材２３の爪部２４がウエハを掴持して
ノッチ研磨装置２２の吸着盤３６に渡し、ノッチ研磨装
置２２でノッチの研磨を行う。したがって、搬送部材１
４の２つの多関節アーム１３で伝達されたウエハは、一
方および他方のノッチ研磨装置２２にそれぞれ伝達され
て、ノッチの研磨が行われる。また、ノッチの研磨が終
了したウエハはそれぞれ３爪部材２３によってウエハ渡
し部２１において搬送部材５１の多関節アーム１３に載
置され、この搬送部材５１を介して、ウエハ反転部材８
０のウエハチャック機構８３で掴持されて周面研磨装置
５３の対向する吸着盤５４に搬送され、周面研磨装置５
３において２つの研磨ドラム５５で端面を研磨される。

【００４９】また、この研磨は水平に対して垂直方向に
所定角度だけ傾斜した状態で行われるので、まず、始め
の周面研磨装置５３で研磨され、こののちウエハは次の
周面研磨装置５３に運ばれる。そして、始めの周面研磨
装置５３と次の周面研磨装置５３との間の上方にはウエ
ハ反転部材８０が設けられているので、始めの周面研磨
装置５３で研磨されたウエハはウエハ反転部材８０で反
転されて次の周面研磨装置５３に搬送されて再び研磨さ
れる。すなわち、ウエハＷの端面は傾斜状態で２回研磨
ドラム５５に押圧されて研磨されることになる。

【００５０】この研磨時にウエハの端面は面取りされて
いるので表面側の研磨時に端面の中央部および表面側の
面取り端面が、そして裏面側の研磨時に端面の中央部お
よび裏面側の面取り端面がそれぞれ研磨されることにな
る。

【００５１】そして表裏面でそれぞれ研磨されたウエハ
Ｗは、搬送部材５２のアームによって排出部１００に搬
送されてそこに位置するカセット１１に収納されるよう
になっている。したがって、排出部１００のカセット１
１の内部にはノッチおよび周端面が研磨されたウエハＷ
が積層された状態で収納されることとなり、端面研磨装
置における研磨作業は終了するものである。

【００５２】上記のような運転時に、前記端面研磨部５
０においては周面研磨装置５３は、直列に接続された２
つの搬送部材５１、５２を境にして２つの周面研磨装置
５３、５３が直列に設けられたものが対向した状態で一
対、すなわち、搬送部材５１、５２を境にして両側に２
つの直列に並べられている周面研磨装置５３、５３が設
けられている。したがって、２つの搬送部材５１、５２
を境にした片側のいずれか一方の周面研磨装置５３のド
ラムパッド５５ａの交換や、何らかの事態で周面研磨装
置５３が停止した場合であっても、反対側の一対の周面
研磨装置５３、５３が運転することにより、端面研磨装
置の全体が停止するということはなく、ウエハの研磨を
続けることができるものである。

【００５３】

【発明の効果】この発明は前記のように構成したことに
より、ウエハを周面研磨装置で研磨する時に、搬送部材
を境にして両側に直列に一対の周面研磨装置を配設した
ので、一対のうちの一方の周面研磨装置に何らかの事態
が発生して片側の周面研磨装置による運転を停止せざる
を得ない場合であっても、反対側の周面研磨装置が運転
を行うことができ、これによって、端面研磨装置の全体
が運転を停止するということはなく、ウエハの研磨作業
の効率化を図ることができる。また、直列に２つが配設
されている前記周面研磨装置は、それぞれ研磨ドラムを
挟んだ両側で２つのウエハの周端面を同時に研磨可能と
なっているので作業効率が非常に高められるという効果
を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による端面研磨部の並列運転構造が採
用されている端面研磨装置の全体を示す概略平面図であ
る。

【図２】端面研磨装置の全体を示す概略正面図である。

【図３】図１のＣ−Ｃ線に沿って見た概略図である。

【図４】ノッチ研磨装置の概略平面図である。

【図５】ノッチ研磨装置の概略正面図である。

【図６】図１のＤ−Ｄ線に沿って見た概略図である。

【図７】端面研磨装置に配置された周面研磨装置の概略
正面図である。

【図８】端面研磨装置に配置された周面研磨装置の概略
側面図である。

【図９】端面研磨装置に配置された周面研磨装置の吸着
部の近傍を示す概略正面図である。

【図１０】端面研磨装置に配置された端面研磨部の片側
を示す概略平面図である。

【図１１】端面研磨装置に配置された端面研磨部の片側
を示す概略正面図である。

【図１２】供給部を示す概略平面図である。

【符号の説明】

１０……供給部 １１……カセット １２……アライナ １３……多関節アーム １４、５１、５２……搬送部材 １５……二股部 ２０……ノッチ研磨部 ２１……ウエハ渡し部 ２２……ノッチ研磨装置 ２３……３爪部材 ２４……爪部 ２９、８２……軌条 ３０……吸着部 ３１……カバー ３２……ノッチ研磨用パッド ３３、７６、１０２……駆動源 ３４……研磨部 ３５……吸着孔 ３６、５４（５４ａ、５４ｂ）……吸着盤 ３７……機台 ３８……主軸 ３９……基盤 ４０、１０３……基板 ４１……ベルト ４２……連結部材 ４３、７２ａ、９２……ワイヤ ４４、７２、９０……プーリ ４５、７４、９１……重り ４６、７５……シリンダ ４６ａ……作動部 ５０……端面研磨部 ５３……周面研磨装置 ５５……研磨ドラム ５５ａ……ドラムパッド ６０……ウエハ押圧機構 ６１……第１ボディ ６２……支軸 ６３……第２ボディ ６４……回転テーブル ６５……支持機構 ６６……台板 ６７……第１レール ６８……第１スライド部材 ６９……第２レール ７０……第２スライド部材 ７１……脚 ７３……アーム ７５ａ……ロッド ７７……配管 ７８……ロータリアクチュエータ ８０……ウエハ反転部材 ８１（８１ａ、８１ｂ）……ウエハ反転機構 ８３……ウエハチャック機構 ８４……昇降アーム ８５……移動機台 １００……排出部 １０１……基台 １０４……貯溜部 １１０……載置台 １１１……ロボット Ｗ……ウエハ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 積層した状態で複数のウエハを収納した
   カセットを供給部に位置し、このカセット内のウエハを
   順次搬送してノッチ研磨部でウエハのノッチを、また、
   端面研磨部でウエハの周端面を研磨した後に、排出部の
   カセット内に収納するようにした端面研磨装置におい
   て、前記端面研磨部に、直列に配設された２つのものが
   ２組配設された周面研磨装置と、ノッチが研磨されたウ
   エハを受け取って各組の最初の周面研磨装置側に搬送す
   る搬送部材と、この搬送部材で搬送されたノッチ研磨後
   のウエハを受け取って各組の最初の周面研磨装置にセッ
   トして研磨させ、最初の周面研磨装置で研磨後のウエハ
   を受け取って表裏面を反転させて次の周面研磨装置にセ
   ットして研磨させる反転部材とを配設し、前記端面研磨
   部は、いずれか一方の組の周面研磨装置だけで前記端面
   研磨装置を機能させることを特徴とする端面研磨装置に
   おける端面研磨部の並列運転構造。
2. 【請求項２】 前記周面研磨装置は直列に２つが配設さ
   れているとともに、各周面研磨装置は研磨ドラムを挟ん
   だ両側で２つのウエハの周端面を同時に研磨可能となっ
   ている請求項１記載の端面研磨装置における端面研磨部
   の並列運転構造。