JPH11204615A - ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構 - Google Patents
ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構Info
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- JPH11204615A JPH11204615A JP10007356A JP735698A JPH11204615A JP H11204615 A JPH11204615 A JP H11204615A JP 10007356 A JP10007356 A JP 10007356A JP 735698 A JP735698 A JP 735698A JP H11204615 A JPH11204615 A JP H11204615A
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ローディングロボットのローディングカセッ
トに収納されているポリッシング後のウェーハに塵芥が
付着しないようにしたウェーハローディング、アンロー
ディング機構を提供する。 【解決手段】 枚葉式片面ポリッシングマシーンを構成
するローディングロボットに設けられたローディングカ
セットを上下動させる機構をローディングカセットの下
方に配設し、駆動伝達時に発生する塵芥がポリッシング
後のウェーハに付着しないようにした。
トに収納されているポリッシング後のウェーハに塵芥が
付着しないようにしたウェーハローディング、アンロー
ディング機構を提供する。 【解決手段】 枚葉式片面ポリッシングマシーンを構成
するローディングロボットに設けられたローディングカ
セットを上下動させる機構をローディングカセットの下
方に配設し、駆動伝達時に発生する塵芥がポリッシング
後のウェーハに付着しないようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はウェーハローディ
ング、アンローディング機構に関し、特に、枚葉式片面
ポリッシングマシーンを構成するローディングロボット
に設けられて、ローディングカセットに挿入されたウェ
ーハを整列させるためのローディングロボットのウェー
ハローディング、アンローディング機構に関するもので
ある。
ング、アンローディング機構に関し、特に、枚葉式片面
ポリッシングマシーンを構成するローディングロボット
に設けられて、ローディングカセットに挿入されたウェ
ーハを整列させるためのローディングロボットのウェー
ハローディング、アンローディング機構に関するもので
ある。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】一般に、枚葉式片面ポリ
ッシングマシーンにあってはウェーハをポリッシングす
るためにバッファ装置に供給する以前に一旦ローディン
グロボットという装置に待機させるようになっている。
ッシングマシーンにあってはウェーハをポリッシングす
るためにバッファ装置に供給する以前に一旦ローディン
グロボットという装置に待機させるようになっている。
【０００３】このローディングロボットは上部に一対の
ローディングカセットというウェーハの収納部を有して
いる。そして、一対のローディングカセットのうちの一
方側にポリッシング前のウェーハを互いに接触しない状
態で複数枚積層収納しておき、このウェーハを順次掴持
部材によってバッファ装置に供給し、一方、ポリッシン
グ後のウェーハも掴持部材によって他方側に設けられロ
ーディングカセットに互いに積層しない状態で順次積層
収納するようになっている。
ローディングカセットというウェーハの収納部を有して
いる。そして、一対のローディングカセットのうちの一
方側にポリッシング前のウェーハを互いに接触しない状
態で複数枚積層収納しておき、このウェーハを順次掴持
部材によってバッファ装置に供給し、一方、ポリッシン
グ後のウェーハも掴持部材によって他方側に設けられロ
ーディングカセットに互いに積層しない状態で順次積層
収納するようになっている。
【０００４】これによって、一方側のローディングカセ
ットに積層収納されたポリッシング前のウェーハは、ポ
リッシングされた後に他方側のローディングカセットに
積層収納されるようになっている。
ットに積層収納されたポリッシング前のウェーハは、ポ
リッシングされた後に他方側のローディングカセットに
積層収納されるようになっている。
【０００５】上記のようなローディングロボットにあっ
ては、掴持部材による掴持を確実に行えるようにするた
めに、２つの作動部材を有しており、第１の作動部材に
よってローディングカセットを上下動させるとともに、
ローディングカセット内の各ウェーハを平面からみて同
一位置とするために、第２の作動部材によってローディ
ングカセットのウェーハの挿入側先方を支点として挿入
側後方を上方に揺動させるようになっている。
ては、掴持部材による掴持を確実に行えるようにするた
めに、２つの作動部材を有しており、第１の作動部材に
よってローディングカセットを上下動させるとともに、
ローディングカセット内の各ウェーハを平面からみて同
一位置とするために、第２の作動部材によってローディ
ングカセットのウェーハの挿入側先方を支点として挿入
側後方を上方に揺動させるようになっている。
【０００６】一般的にはローディングカセットを上下動
させる作動部材は駆動源の駆動力をベルトを介して伝達
する構成となっているので、駆動伝達時にどうしてもベ
ルトが摺動してベルトの微粉が発生したり、あるいは塵
芥が発生し、しかも、ウェーハよりも上方にベルトが位
置している。このために、ベルトの摺動時に発生する微
粉や塵芥がポリッシング後のウェーハに付着した場合に
はウェーハが不良品となり、このために生産効率が悪く
なるという問題点を有していた。
させる作動部材は駆動源の駆動力をベルトを介して伝達
する構成となっているので、駆動伝達時にどうしてもベ
ルトが摺動してベルトの微粉が発生したり、あるいは塵
芥が発生し、しかも、ウェーハよりも上方にベルトが位
置している。このために、ベルトの摺動時に発生する微
粉や塵芥がポリッシング後のウェーハに付着した場合に
はウェーハが不良品となり、このために生産効率が悪く
なるという問題点を有していた。
【０００７】この発明は、枚葉式片面ポリッシングマシ
ーンにおいてローディングロボットのローディングカセ
ットを上下動させるための駆動伝達機構をローディング
カセットの下方に配置することにより、ベルトが擦れて
微粉が発生したとしても、また、駆動伝達時に塵芥が発
生したとしても、この微粉や塵芥がポリッシング後のウ
ェーハに付着しないようにし、スループットを向上させ
ることができるローディングロボットのウェーハローデ
ィング、アンローディング機構を提供することを目的と
する。
ーンにおいてローディングロボットのローディングカセ
ットを上下動させるための駆動伝達機構をローディング
カセットの下方に配置することにより、ベルトが擦れて
微粉が発生したとしても、また、駆動伝達時に塵芥が発
生したとしても、この微粉や塵芥がポリッシング後のウ
ェーハに付着しないようにし、スループットを向上させ
ることができるローディングロボットのウェーハローデ
ィング、アンローディング機構を提供することを目的と
する。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、枚葉式片面ポリッシングマシーン
を構成するローディングロボットに設けられて、ローデ
ィングカセットを上下方向に揺動させるウェーハローデ
ィング、アンローディング機構であって、該ウェーハロ
ーディング、アンローディング機構は、基台と、該基台
に対して、ウェーハの挿入方向先側を支点として挿入方
向後側を上下方向に揺動可能であり、上部にウェーハの
ローディングカセットが設けられている揺動基台と、前
記基台の下部に設けられ、駆動源の駆動力がベルトを介
して伝達されるとともに、駆動伝達時に前記基台を上下
方向に移動させる第１作動部材と、前記基台の下部に設
けられ、作動時に前記揺動基台を上方に揺動させる第２
作動部材とを具え、該第２作動部材は、ローディングカ
セットにウェーハを挿入し終えた後に前記第２作動部材
が作動して各ウェーハをローディングカセットの奥側に
位置させる構成を有している。
るためにこの発明は、枚葉式片面ポリッシングマシーン
を構成するローディングロボットに設けられて、ローデ
ィングカセットを上下方向に揺動させるウェーハローデ
ィング、アンローディング機構であって、該ウェーハロ
ーディング、アンローディング機構は、基台と、該基台
に対して、ウェーハの挿入方向先側を支点として挿入方
向後側を上下方向に揺動可能であり、上部にウェーハの
ローディングカセットが設けられている揺動基台と、前
記基台の下部に設けられ、駆動源の駆動力がベルトを介
して伝達されるとともに、駆動伝達時に前記基台を上下
方向に移動させる第１作動部材と、前記基台の下部に設
けられ、作動時に前記揺動基台を上方に揺動させる第２
作動部材とを具え、該第２作動部材は、ローディングカ
セットにウェーハを挿入し終えた後に前記第２作動部材
が作動して各ウェーハをローディングカセットの奥側に
位置させる構成を有している。
【０００９】
【作用】上記の手段を採用したことにより、枚葉式片面
ポリッシングマシーンにおけるウェーハローディング、
アンローディング機構において、駆動時に発生したベル
ト等の摺動摩耗粉がポリッシング後のウェーハに付着す
るのを確実に防止できることになる。
ポリッシングマシーンにおけるウェーハローディング、
アンローディング機構において、駆動時に発生したベル
ト等の摺動摩耗粉がポリッシング後のウェーハに付着す
るのを確実に防止できることになる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１にはこの発明によるウェ
ーハローディング、アンローディング機構が採用されて
いるローディングロボットが設けられた枚葉式片面ポリ
ッシングマシーンの概略平面図が示されている。
の形態について説明する。図１にはこの発明によるウェ
ーハローディング、アンローディング機構が採用されて
いるローディングロボットが設けられた枚葉式片面ポリ
ッシングマシーンの概略平面図が示されている。
【００１１】この枚葉式片面ポリッシングマシーン１
は、上面の一方の側部の一端側には一対のローディング
カセット２、３を有するローディングロボット４が配設
され、このローディングロボット４の一方のローディン
グカセット２はポリッシング前のウェーハが互いに接触
しない状態で複数枚収納され、また、他端側にはポリッ
シング後のウェーハが互いに接触しない状態で複数枚収
納される他方のローディングカセット３が配設されてい
る。
は、上面の一方の側部の一端側には一対のローディング
カセット２、３を有するローディングロボット４が配設
され、このローディングロボット４の一方のローディン
グカセット２はポリッシング前のウェーハが互いに接触
しない状態で複数枚収納され、また、他端側にはポリッ
シング後のウェーハが互いに接触しない状態で複数枚収
納される他方のローディングカセット３が配設されてい
る。
【００１２】このローディングロボット４の他方の側部
側には、ポリッシング前のウェーハをローディングロボ
ット４の一方のローディングカセット２から取り出し、
あるいは、ポリッシング後のウェーハを他方のローディ
ングカセット３に収納する掴持部材５が設けられ、さら
に、この掴持部材５に隣接する他方の側部側の中央部側
には上面に４つのバッファ６が等配で設けられているバ
ッファ装置７が設けられている。
側には、ポリッシング前のウェーハをローディングロボ
ット４の一方のローディングカセット２から取り出し、
あるいは、ポリッシング後のウェーハを他方のローディ
ングカセット３に収納する掴持部材５が設けられ、さら
に、この掴持部材５に隣接する他方の側部側の中央部側
には上面に４つのバッファ６が等配で設けられているバ
ッファ装置７が設けられている。
【００１３】そして、このバッファ装置に隣接する他方
の側部側には一対の定盤装置８、８が設けられ、この両
定盤装置８、８に隣接してドレッサ装置９、９がそれぞ
れ設けられている。この両ドレッサ装置９、９のドレッ
サアーム１０、１０は、対応する定盤装置８、８の定盤
８ａの上面に当接する位置と、上面の上方から外れた待
機位置との間をそれぞれ揺動可能になっている。
の側部側には一対の定盤装置８、８が設けられ、この両
定盤装置８、８に隣接してドレッサ装置９、９がそれぞ
れ設けられている。この両ドレッサ装置９、９のドレッ
サアーム１０、１０は、対応する定盤装置８、８の定盤
８ａの上面に当接する位置と、上面の上方から外れた待
機位置との間をそれぞれ揺動可能になっている。
【００１４】さらに、２つのプレッシャープレート装置
１１、１１が、前記バッファ装置７および一対の定盤装
置８、８の上方に位置して設けられ、この両プレッシャ
ープレート装置１１、１１は両側に設けられた駆動機構
１２、１２によってバッファ装置７、一対の定盤装置
８、８の上方を水平方向に移動可能であり、しかも、両
プレッシャープレート装置１１、１１は互いに他のプレ
ッシャープレート装置１１、１１によって移動を制限さ
れることなく自由に移動可能である。そして、両プレッ
シャープレート装置１１、１１はそれぞれ２つのプレッ
シャープレート１３、１３が上下動可能に設けられてい
る。
１１、１１が、前記バッファ装置７および一対の定盤装
置８、８の上方に位置して設けられ、この両プレッシャ
ープレート装置１１、１１は両側に設けられた駆動機構
１２、１２によってバッファ装置７、一対の定盤装置
８、８の上方を水平方向に移動可能であり、しかも、両
プレッシャープレート装置１１、１１は互いに他のプレ
ッシャープレート装置１１、１１によって移動を制限さ
れることなく自由に移動可能である。そして、両プレッ
シャープレート装置１１、１１はそれぞれ２つのプレッ
シャープレート１３、１３が上下動可能に設けられてい
る。
【００１５】なお、このプレッシャープレート装置１
１、１１の２つのプレッシャープレート１３、１３の間
隔は、前記バッファ装置７の対角線上の２つのバッファ
６と同一の間隔であるとともに、定盤装置８、８の定盤
８ａの直径内に位置し得るようになっている。
１、１１の２つのプレッシャープレート１３、１３の間
隔は、前記バッファ装置７の対角線上の２つのバッファ
６と同一の間隔であるとともに、定盤装置８、８の定盤
８ａの直径内に位置し得るようになっている。
【００１６】上記のように構成されている枚葉式片面ポ
リッシングマシーンにおいて、前記ローディングロボッ
トのウェーハローディング、アンローディング機構は、
図２に示すように構成されている。
リッシングマシーンにおいて、前記ローディングロボッ
トのウェーハローディング、アンローディング機構は、
図２に示すように構成されている。
【００１７】すなわち、後端部を支点として揺動基台２
１が上下方向に揺動可能に取付けられている基台２０の
下部中心部にはボールネジ２２が上下方向を向いた状態
で固定されている。すなわち、筒部２３の上端が前記基
台２０に下向きに固定されるとともに、この筒部２３の
下端はナット部２４で固定され、ねじ軸２５は前記ナッ
ト部２４を貫通した状態で前記筒部２３の内部に延出し
ているとともに、筒部２３の下端にも突出している。ま
た、前記筒部２３はねじ２６を介してローディングロボ
ットの機台２７に固定され、一方、上下方向を向く第１
作動部材である回転駆動源２８はその駆動軸が下端に突
出した状態で同様にローディングロボットの機台２７に
固定されている。
１が上下方向に揺動可能に取付けられている基台２０の
下部中心部にはボールネジ２２が上下方向を向いた状態
で固定されている。すなわち、筒部２３の上端が前記基
台２０に下向きに固定されるとともに、この筒部２３の
下端はナット部２４で固定され、ねじ軸２５は前記ナッ
ト部２４を貫通した状態で前記筒部２３の内部に延出し
ているとともに、筒部２３の下端にも突出している。ま
た、前記筒部２３はねじ２６を介してローディングロボ
ットの機台２７に固定され、一方、上下方向を向く第１
作動部材である回転駆動源２８はその駆動軸が下端に突
出した状態で同様にローディングロボットの機台２７に
固定されている。
【００１８】一方、ボールネジ２２のねじ軸２５の下端
と、前記駆動源２８の駆動軸とにはプーリー２９、２９
がそれぞれ取付けられ、両プーリー２９、２９間には回
転駆動伝達用のベルト３０が張設されている。
と、前記駆動源２８の駆動軸とにはプーリー２９、２９
がそれぞれ取付けられ、両プーリー２９、２９間には回
転駆動伝達用のベルト３０が張設されている。
【００１９】また、前記基台２０を平面方向から見た時
にボールネジ２２に対して揺動基台２１との枢着箇所Ａ
と反対側の基台２０の下面には、駆動源３１によって作
動部３３が出没する第２作動部材３２が設けられてい
る。
にボールネジ２２に対して揺動基台２１との枢着箇所Ａ
と反対側の基台２０の下面には、駆動源３１によって作
動部３３が出没する第２作動部材３２が設けられてい
る。
【００２０】上記のように構成された枚葉式片面ポリッ
シングマシーンにおいて、作業者が前記ローディングロ
ボット４の一方のローディングカセット２に複数のポリ
ッシング前のウェーハを積載して収納する。
シングマシーンにおいて、作業者が前記ローディングロ
ボット４の一方のローディングカセット２に複数のポリ
ッシング前のウェーハを積載して収納する。
【００２１】こののち、掴持部材５がポリッシング前の
ウェーハを掴持してバッファ装置７のバッファ６に搬送
載置し、こののちプレッシャープレート装置１１の一対
のプレッシャープレート１３、１３によってポリッシン
グ前のウェーハが定盤装置８、８に伝達されてポリッシ
ングされ、再びバッファ装置７に戻され、掴持部材５に
よって他方のローディングカセット３に収納されるよう
になっている。
ウェーハを掴持してバッファ装置７のバッファ６に搬送
載置し、こののちプレッシャープレート装置１１の一対
のプレッシャープレート１３、１３によってポリッシン
グ前のウェーハが定盤装置８、８に伝達されてポリッシ
ングされ、再びバッファ装置７に戻され、掴持部材５に
よって他方のローディングカセット３に収納されるよう
になっている。
【００２２】上記のようなウェーハの搬送過程におい
て、まず、一方のローディングカセット２にあっては、
第１作動部材２８によって段階的に順次上昇あるいは下
降してローディングカセット２内の各棚にポリッシング
前のウェーハを挿入載置する。そして、この上昇あるい
は下降時においては第２作動部材３２も一体に上昇ある
いは下降する。
て、まず、一方のローディングカセット２にあっては、
第１作動部材２８によって段階的に順次上昇あるいは下
降してローディングカセット２内の各棚にポリッシング
前のウェーハを挿入載置する。そして、この上昇あるい
は下降時においては第２作動部材３２も一体に上昇ある
いは下降する。
【００２３】この基台２０、揺動基台２１、およびロー
ディングカセット２は第１作動部材２８の回転駆動力が
ベルト３０を介してボールネジ２２に伝達されることで
上昇および下降を行うようになっているが、第１作動部
材２８の回転駆動力を伝達するベルト３０はウェーハが
収納されるローディングカセット２よりも下方に位置し
ているので、回転駆動力の伝達時に発生するベルト３０
の摺動により発生した微粉や塵芥がウェーハに付着する
恐れが無いものである。
ディングカセット２は第１作動部材２８の回転駆動力が
ベルト３０を介してボールネジ２２に伝達されることで
上昇および下降を行うようになっているが、第１作動部
材２８の回転駆動力を伝達するベルト３０はウェーハが
収納されるローディングカセット２よりも下方に位置し
ているので、回転駆動力の伝達時に発生するベルト３０
の摺動により発生した微粉や塵芥がウェーハに付着する
恐れが無いものである。
【００２４】そして、一方のローディングカセット２の
各棚内へのウェーハの載置収納が完了すると、第２作動
部材３２が作動してその作動部３３が突出状態となり、
揺動基台２１はそのウェーハの挿入方向先方の枢着箇所
Ａが基台２０と枢着されているのでウェーハの挿入方向
後方が上昇され、これによって、各棚に載置されている
ウェーハは先方に滑動してその先端がローディングカセ
ット２の奥面に当接した状態で保持される。したがっ
て、ローディングカセット２を平面からみると、収納さ
れている各ウェーハは同一位置に載置されることにな
る。
各棚内へのウェーハの載置収納が完了すると、第２作動
部材３２が作動してその作動部３３が突出状態となり、
揺動基台２１はそのウェーハの挿入方向先方の枢着箇所
Ａが基台２０と枢着されているのでウェーハの挿入方向
後方が上昇され、これによって、各棚に載置されている
ウェーハは先方に滑動してその先端がローディングカセ
ット２の奥面に当接した状態で保持される。したがっ
て、ローディングカセット２を平面からみると、収納さ
れている各ウェーハは同一位置に載置されることにな
る。
【００２５】一方、ポリッシング後の各ウェーハも同様
にローディングカセット３内に積載された状態、かつ、
平面からみて同一位置に収納されることになる。このウ
ェーハに対しても回転駆動力を伝達するベルト３０はロ
ーディングカセット３の下方に位置しているのでベルト
３０の微粉や駆動伝達時に発生する塵芥がウェーハに付
着する恐れは無いものである。
にローディングカセット３内に積載された状態、かつ、
平面からみて同一位置に収納されることになる。このウ
ェーハに対しても回転駆動力を伝達するベルト３０はロ
ーディングカセット３の下方に位置しているのでベルト
３０の微粉や駆動伝達時に発生する塵芥がウェーハに付
着する恐れは無いものである。
【００２６】
【発明の効果】この発明は上記のように構成したことに
より、ローディングカセットを上下動させるための駆動
伝達機構をローディングカセットの下方に配置すること
により、ベルトが擦れて微粉が発生したとしても、ま
た、駆動伝達時に塵芥が発生したとしても、この微粉や
塵芥がポリッシング後のウェーハに付着することがな
く、これによって、スループットが向上するとともに、
ポリッシング後のウェーハの品質を良好とすることがで
き、ウェーハの製造コストを安価とすることができる。
より、ローディングカセットを上下動させるための駆動
伝達機構をローディングカセットの下方に配置すること
により、ベルトが擦れて微粉が発生したとしても、ま
た、駆動伝達時に塵芥が発生したとしても、この微粉や
塵芥がポリッシング後のウェーハに付着することがな
く、これによって、スループットが向上するとともに、
ポリッシング後のウェーハの品質を良好とすることがで
き、ウェーハの製造コストを安価とすることができる。
【図１】この発明による枚葉式ポリッシングマシーンの
概略平面図である。
概略平面図である。
【図２】図１に示す枚葉式ポリッシングマシーンに設け
られているローディングロボットのウェーハローディン
グ、アンローディング機構を示す概略図である。
られているローディングロボットのウェーハローディン
グ、アンローディング機構を示す概略図である。
１……枚葉式片面ポリッシングマシーン ２、３……ローディングカセット ４……ローディングロボット ５……掴持部材 ６……バッファ ７……バッファ装置 ８……定盤装置 ８ａ……定盤 ９……ドレッサ装置 １０……ドレッサアーム １１……プレッシャープレート装置 １２……駆動機構 １３……プレッシャープレート ２０……基台 ２１……揺動基台 ２２……ボールネジ ２３……筒部 ２４……ナット部 ２５……ねじ軸 ２６……ねじ ２７……機台 ２８……第１作動部材（回転駆動源） ２９……プーリー ３０……ベルト ３１……駆動源 ２……第２作動部材 Ａ……枢着箇所
Claims (1)
- 【請求項１】 枚葉式片面ポリッシングマシーンを構成
するローディングロボットに設けられて、ローディング
カセットを上下方向に揺動させるウェーハローディン
グ、アンローディング機構であって、該ウェーハローデ
ィング、アンローディング機構は、基台と、該基台に対
して、ウェーハの挿入方向先側を支点として挿入方向後
側を上下方向に揺動可能であり、上部にウェーハのロー
ディングカセットが設けられている揺動基台と、前記基
台の下部に設けられ、駆動源の駆動力がベルトを介して
伝達されるとともに、駆動伝達時に前記基台を上下方向
に移動させる第１作動部材と、前記基台の下部に設けら
れ、作動時に前記揺動基台を上方に揺動させる第２作動
部材とを具え、該第２作動部材は、ローディングカセッ
トにウェーハを挿入し終えた後に前記第２作動部材が作
動して各ウェーハをローディングカセットの奥側に位置
させることを特徴とするローディングロボットのウェー
ハローディング、アンローディング機構。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP10007356A JPH11204615A (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10007356A JPH11204615A (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構 |
Publications (1)
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|---|---|
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Family
ID=11663692
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10007356A Withdrawn JPH11204615A (ja) | 1998-01-19 | 1998-01-19 | ローディングロボットのウェーハローディング、アンローディング機構 |
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