JPH0897268A - カセットステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カセット自動搬送機等を待たせることなく、
カセットを連続的に受け取ってカセットローダに渡す。 【構成】 ウェーハを成膜，加熱処理する半導体製造装
置のカセットローダとの間でカセットの受け渡しを行う
ためのカセットステージ１において、供給されるカセッ
ト２を、順次保持して上方へ移動させ一時的に収納する
カセット連続収納機構５を備えてなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハを成膜，加熱
処理する半導体製造装置のカセットステージに関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来のカセットステージを用いた
半導体製造装置の１例の要部の構成を示す斜視図であ
る。従来のカセットステージ１は、２個のカセット２を
人又はカセット自動搬送機から同時に受け取り、これを
カセットローダ３に渡すことができる構成になってい
る。カセット２を受け取ったカセットローダ３はカセッ
ト棚４にカセット２を搬送してストックし、このカセッ
ト棚４内のカセットからウェーハを取出して、該ウェー
ハを成膜，加熱処理することになる。処理済みのウェー
ハは、カセット棚４内のカセット２に収め、該カセット
２をカセットローダ３によりカセットステージ１に搬送
し、カセットステージ１より人又はカセット自動搬送機
により処理済みウェーハ入りカセットを取出すことにな
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、カセットを一時的に収納する機構を備えていないの
で、カセットローダ３とのカセット受け渡しが完了する
まで、次のカセットを受け取ることができないばかりで
なく、製造ラインのカセット自動搬送機は、カセットを
４個、同時に搬送してくるタイプのものもあるが、従来
のカセットステージでは、カセット２を２個、カセット
ローダ３に受け渡すまで、カセット自動搬送機を待機さ
せておくことになるという課題がある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するためになされたものであって、カセット自動搬
送機等を待たせることなく、カセットを連続的に収納
し、順次カセットローダに受け渡すことができるカセッ
トステージを提供しようとするものである。即ち、本発
明カセットステージは、図１に示すようにウェーハを成
膜，加熱処理する半導体製造装置のカセットローダとの
間でカセットの受け渡しを行うためのカセットステージ
１において、供給されるカセット２を、順次保持して上
方へ移動させ一時的に収納するカセット連続収納機構５
を備えてなる。

【０００５】

【作 用】上記のような構成であるから、カセットステ
ージ１上で、人又はカセット自動搬送機により供給され
たカセット２を受け取った後、カセット連続収納機構５
によりカセット２を保持して受け渡し位置から上方へ移
動して一時的に収納し、空いているカセットステージ１
上に次のカセット２を連続して受け取り、人又はカセッ
ト自動搬送機を待たせることはない。

【０００６】

【実施例】図１は本発明のカセットステージの第１実施
例の構成説明図である。まず、第１実施例の構成を説明
する。この第１実施例は、図４に示す半導体製造装置の
カセットステージ１の上方位置に、半導体製造装置内の
カセットローダ３との間でカセット受け渡しが行われ、
人又は半導体製造装置外のカセット自動搬送機（ＡＧ
Ｖ，図示せず）により供給されるカセット２を、順次保
持して上方へ移動させて一時的に収納するカセット連続
収納機構５を具備せしめる。

【０００７】このカセット連続収納機構５は、例えば、
左右に移動されカセット２を掴んで保持する１対の鈎形
保持具６を２対分（複数カセット分）、有する保持板７
よりなる保持部５Ａと、この保持板７の一端部を上下方
向に案内するガイド軸８及び該保持板７の他端部を上下
動する上下動用ボールネジ軸９及び該ネジ軸９の駆動モ
ータ１０よりなる上下動部５Ｂとで構成されている。

【０００８】次に第１実施例の動作を説明する。図２
（Ａ）〜（Ｃ）は第１実施例の動作説明図である。カセ
ットステージ１上で、図１に示すように人又はカセット
自動搬送機により供給されたカセット２を受け取った
後、図２（Ａ）に示すように駆動モータ１０により上下
動用ボールネジ軸９を回転して、保持板７をガイド軸８
に案内されて下動する。次に図２（Ｂ）に示すように鈎
形保持具６を左右に移動してカセット２を上方より掴み
保持し、次いで、図２（Ｃ）に示すように駆動モータ１
０により上下動用ボールネジ軸９を上記とは逆の方向に
回転して、保持板７をガイド軸８に案内されて上動し、
一時的にこの上動位置にカセット２を収納する。

【０００９】そして空いているカセットステージ１上
に、カセット自動搬送機等を待たせることなくカセット
２を連続的に受け取り、カセットローダ３に渡すことが
できることになる。次いで鈎形保持具６で保持され，上
方の収納位置に一時的に収納されているカセット２（図
２（Ｃ）参照）をカセットローダ３に渡す。

【００１０】本発明におけるカセット連続収納機構５
は、図１に示す構成に限定されるものではなく、例えば
上下動用ボールネジ軸９及びその駆動モータ１０の代り
にエアシリンダ等の上下動用アクチュエータを用いても
よい。図３は第２実施例の構成説明図である。この第２
実施例は、保持具６としてカセット２を側方から押え付
けて保持する１対のアーム形保持具を用いた保持板７，
７よりなる保持部５Ａを、左右に垂設した上下動部５Ｂ
にそれぞれ対向して取付けてなる構成となっており、そ
の動作は、上記第１実施例と同様で、カセット自動搬送
機等を待たせることなくカセット２を連続的に受け取
り、カセットローダ３に渡すことができるものである。

【００１１】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、カセット
ステージに、供給されるカセットを順次保持して上方へ
移動させ一時的に収納するカセット連続収納機構を具備
しているので、カセット自動搬送機等を待たせることな
く、カセットを連続的に受け取ってカセットローダに渡
すことができ、稼動率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカセットステージの第１実施例の構成
説明図である。

【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は第１実施例の動作説明図であ
る。

【図３】第２実施例の構成説明図である。

【図４】従来のカセットステージを用いた半導体製造装
置の１例の要部の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ カセットステージ ２ カセット ３ カセットローダ ４ カセット棚 ５ カセット連続収納機構 ５Ａ 保持部 ５Ｂ 上下動部 ６ （鈎形，アーム形）保持具 ７ 保持板 ８ ガイド軸 ９ 上下動用ボールネジ軸 １０ 駆動モータ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハを成膜，加熱処理する半導体製
   造装置のカセットローダとの間でカセットの受け渡しを
   行うためのカセットステージにおいて、供給されるカセ
   ットを、順次保持して上方へ移動させ一時的に収納する
   カセット連続収納機構を備えてなることを特徴とするカ
   セットステージ。
2. 【請求項２】 カセット連続収納機構は、カセットを掴
   んで保持する保持部と、この保持部を上下動する上下動
   部よりなることを特徴とするカセットステージ。