JPS6384043A

JPS6384043A - ウエハ移載装置

Info

Publication number: JPS6384043A
Application number: JP61228681A
Authority: JP
Inventors: Yoshitsugu Nabeshima; 鍋島　可継
Original assignee: KOYO RINDOBAAGU KK
Current assignee: KOYO RINDOBAAGU KK
Priority date: 1986-09-26
Filing date: 1986-09-26
Publication date: 1988-04-14
Anticipated expiration: 2009-04-20
Also published as: JPH0630373B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、ウェハを熱処理、化学処理する炉に挿入す
る際に用いられるウェハ移載装置に関する。

〈従来の技術〉従来より、ウェハにＣＶＤ（化学的気相析出法）処理を
を施すにあたり、キャリアカセットに収納したウェハを
石英、ＳｉＣ，または金属製のボートに移しかえるウェ
ハ移載装置としては枚葉式と一括式がある。この枚葉式
ウェハ移載装置は、直交型ロボットまたはこれに類似す
る機構で構成された装置でロボットのハンドに真空チャ
ックを取り付け、ウェハを一枚ずつキャリアカセットか
らボートに移しかえるものがある。一方、−括式つエバ
移載装置は、キャリアカセットに収納されている枚数分
を一括してボートに移載するものである。

しかしながら、上記二つのウェハ移載装置のいずれの場
合でも、第１７図に示すように、ウェハ１．１・・・の
処理面である表面１ａを同じ方向に向けてボートに移載
するため、１枚当たりのウェハ１゜ｌ・・・の占めるス
ペースが大きくなって、所定スペース内で一度に処理す
るウェハ１，１・・・の枚数に制限があるという問題が
ある。

また、ウェハｌをＣＶＤ処理する場合、処理する必要の
ないウェハ１の背面ｔｂまで処理され、背面１ｂに酸化
膜、絶縁膜が被覆されるため、後工程で背面エツチング
の工程が加わって工程数が多くなるという問題がある。

〈発明の目的〉そこで、この発明の目的は、ウェハをボートに移載する
場合、１度に多くのウェハを背合わせに自動的かつ迅速
に背合わせしてウェハを安全に移載でき、かつ、ウェハ
の後工程数を削減できるウェハ移載装置を提供すること
にある。

〈発明の構成〉上記目的を達成するため、この発明のウェハ移載装置は
、ボートを載置して一方向に移動するテーブルと、ウェ
ハを収納したカセットを載置して上記一方向に移動する
テーブルと、上記ウェハを収納したカセットから上記ウ
ェハのみを持ち上げて１８０度回転し得ろ回転手段と、
両端部が回転自在に支持されると共に、両端部が駆動手
段に連結されて上記カセットから持ち上げられた上記ウ
ェハを保持する保持手段と、両端部が回転自在に支持さ
れると共に、駆動手段に連結されて上記保持手段より受
け取った上記ウェハを背合わせに互いに密着させる密着
手段と、上記保持手段および上記密着手段を取り付けた
台を上記カセット上から上記ボートの上に移動させる台
移動手段とを備えたことを特徴としている。

く作用〉空のボートが載置されたテーブルおよび順方向に配列さ
れたウェハが収納された複数のカセットを載置したテー
ブルが所定位置まで運ばれる。上記カセットのうち半数
のカセット内に収納されたウェハは、順次回転手段によ
りカセットよりも主に持ち上げられ、１８０度方向変換
される。ウェハはカセット内に逆方向に配列した状態で
収納される。保持手段および密着手段を取り付けた台が
台移動手段によりウェハが順方向に配列されたカセット
上まで移動される。回転手段により、ウェハがカセット
から持ち上げられ、舎内の所定レベルで停止する。持ち
上げられたウェハは駆動手段により駆動する保持手段に
保持される。台は、順方向に配列されたウェハを保持手
段で保持したまま、台移動手段によりウェハが逆方向に
配列されたカセット上まで移動される。逆方向のウェハ
は回転手段により持ち上げられて順方向のウェハの間に
夫々入り込む。そして、順方向のウェハと逆方向のウェ
ハが互いに背合わせの状態で配列される。駆動手段の作
動により、順方向のウェハと逆方向のウェハは保持手段
から密着手段に移される。

密着手段の作動で、ウェハは背合わせに互いに密着され
る。２枚１組のウェハが作られる。ウェハは台移動手段
によりボートの上まで移動される。

ウェハはボートに収納される。

〈実施例〉以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１．２．３図において、１１はケーシング、１２はケ
ーシング１１の上面に取り付けられ、ボート１４を載置
してＸ方向に沿って移動するボートテーブル、１５はケ
ーシング１１の上面に取り付けられ、円板状のウェハ１
６，１６・・・を収納した８台のカセット１７．１７・
・・を４台づつ二列並行に載置してＸ方向に沿って移動
するカセットテーブル、Ｉ８はウェハ１６，１６・・・
を収納したカセッ１−１７からウェハ１６，１６・・・
のみを持ち上げて１８０度方向変換させる回転手段、２
１はケーシング１１に取り付けた台２２をカセット１７
上からボート１４上に移動させる台移動手段としての駆
動モータ、３０はコントロールボックスである。

上記ボートテーブル１２は、第２図に示すように、長方
形状の板材であり、ボートテーブル１２の底面の４隅に
は、両側のレールｌ　３，１９に嵌合され、ケーシング
１１の端から端までボートテーブル１２を案内する連結
部材３４．３４を固定している。ボートテーブル１２に
は、ボート１４が載置した箇所に矩形の穴２０を形成し
ている。

上記ボート１４は、第２．３図に示すように、長方形状
の板材である。このボート１４の内部には、上半分を切
欠いた円柱状の凹部２３を形成し、凹部２３にＸ方向に
沿って一定間隔をあけて溝２４゜２４・・・を複数個形
成している。上記ボート１４の谷溝２４．２４・・・に
背面同志を重ね合わせた２枚１組のウェハ１６，１６の
外周端部が嵌り込み、ウェハ１６，１６・・・をボート
１４内に収納するようにしている。ボート１４の底面に
は矩形の穴２５を形成し、この穴２５とボートテーブル
Ｉ２の穴２０とが一致するようになっている。

一方、上記カセットテーブル１５は、第１．２図に示す
ように、長方形状の板材であり、カセットテーブル１５
の底面の４隅には、両側のレール３６．３７に沿ってケ
ーシング１１の端から端までカセットテーブル１５を案
内する連結部材（図示せず）を固定している。カセット
テーブル１５には、カセット１７が載置された箇所に矩
形の穴２６を形成している。カセット１７は、第３図に
示すように、上面が解放した箱型をなし、内部にはウェ
ハ１６，１６・・・の外周端部が嵌まり込む溝２７を２
５個形成している。カセット１７の底面には、矩形の穴
２８を形成し、この穴２８とカセットテーブル１５の穴
２６とが一致するようになっている。ボート１４をボー
トテーブル１２に載置し、８台のカセット１７，１７・
・・をカセットテーブル１５の所定位置に載置すると、
ボート１４の両側の１Ｍ２４．２４と両側のカセット１
７．１７・・・の両端の溝２７，２７．２７．２７とが
Ｙ方向において同一線上に略一致するようになり、８台
のカセット＋　７．１７・・・に収納されたすべてのウ
ェハ１６．１６・・・を２枚重ねにしてボート１４内に
収納できるようになっている。

上記ケーシング１１の後端部の内側には、駆動モータ３
１を設け、この駆動モータ３１にケーシング１１の略前
端部まで延在するネジ棒３２を連結している。ネジ棒３
２の先端部を支持部材３３で回転自在に支持している′
。このネジ棒３２にボートテーブル１２およびカセット
テーブル１５を同時に移動させる連結部材３５を螺合し
ている。

上記回転手段１８は、矩形のウェハサポート４２とロー
タリアクチュエータ４３と駆動モータ４５とから構成し
、ケーシングｌｌ内であってカセットテーブル１５のカ
セットｌ　７，１７の各列の移動ライン上の略中央部に
設けられている。上記ロータリアクチュエータ４３には
、棒材４６を連結している。この棒材４６の先端にウェ
ハサポート４２．４２を固定している。上記ウェハサポ
ート４２の上面には、ウェハ１６，１６・・・を支持す
る■溝２９．２９・・・とウェハｌ　６，１６・・・の
外周端部が嵌り込む溝５５．５５・・・を交互に一定間
隔をあけて各２５個設けている。上記駆動モータ４５に
は、プーリ４７を取り付けている。棒材４６に隣接して
立設したネジ捧４８の基部に別のプーリ５１を取り付け
、両プーリ４７，５１間をベルト５２で連結している。

棒材４６に回転自在に取り付けた連結部材５４をネジ棒
４８に螺合し、かつ、案内棒５３に案内している。駆動
モータ４５の駆動により、ネジ棒４８が回転し、連結部
材５４および棒材４６を介して、ウェハサポート４２が
上下動するようにしている。一方、ボートテーブル１２
の移動ライン上の略中央部のケーシング１１内には、図
示しない駆動モータを設けている。この駆動モータの回
転により、ネジ棒を介して上下動されるウェハサポート
３９を設けている。ウェハサポート３９の上面には、２
枚重ねのウェハ１６．１６が嵌り込む溝４０を互いに一
定間隔をあけて２５個設けている。

上記固定手段１８の近傍のケーシング１１には、縦長の
箱形状のケーシングｌｌａを設けている。

このケーシングｌｌａの上部には、第１．４図に示すよ
うに、保持手段５６と密着手段５７を取り付けた箱状の
台２２を設けている。台２２は中央部のウェハ保持部６
１と両側の駆動部６２．６２からなる。

上記保持手段５６は、駆動手段としての第１駆動シリン
ダ５８と第２駆動シリンダ６３と第１ホルダ６５と第２
ホルダ６６と上、中、下部ホールド部材６７，６８．７
１とから構成する。上記第１゜２駆動シリンダ５８．６
３および第１．２ホルダ６５．６６は両側の駆動部６２
．６２に夫々対をなして設け、上、中、下部ホールド部
材６７．６８．７１は中央部のウェハ保持部６１に設け
ている。両側の第１ホルダ６５．６５の下端部で上、下
部ホールド部材６７．７１の両端を支持している。第１
ホルダ６５の上端部は第１駆動シリンダ５８のピストン
の先端に取り付けている。第１駆動シリンダ５８の先端
は対向する別の台２２の第１ホルダ６５の上端部に取り
付けている。第１ホルダ６５の中間部は中間軸７２にブ
ツシュを介して回転自在に支持している。中間軸７２．
７２は両側の駆動部６２．６２に横方向に延在して、中
間軸７２の両端を軸受により支持している。第１ホルダ
６５は、第５図に示すように、中間にウェハ側に屈曲し
たコ字状の屈曲部を有する長い板材である。上部ホール
ド部材６７は、第６．７図に示すように、長い板材であ
り、上部ホールド部材６７には、ウェハＩ６が嵌まり込
む溝７３とウェハ１６の外周端部が保持されるＶＦ４７
４とを交互に一定間隔あけて軸方向に沿って各２５個設
けている。一方、下部ホールド部材７１は、第８．９図
に示すように、長い板材であり、下部ホールド部材７１
には、上部ホールド部材６７の溝７３およびＶｉ７４と
同一ピッチの溝７５およびＶ溝７６を形成している。ウ
ェハ１６が嵌り込む下部ホールド部材７１の溝７５の深
さは、上部ホールド部材６７の溝７３よりも深くしてい
る。一方、第２ホルダ６６゜６６の下端部で上、下部ホ
ールド部材６７．７１の中間に位置する中部ホールド部
材６８の両端を支持している。第２ホルダ６６の上端部
は、第２駆動シリンダ６３のピストンの先端に取り付け
ている。第２駆動シリング６３の基端は対向する別の台
２２の第２ホルダ６６の上端部に取り付けている。第２
ホルダ６６の中間部は中間軸７２にブツシュを介して回
転自在に支持している。第２ボルダ６６は、第５図に示
すように、中間にウェハ側に屈曲したコ字状の屈曲部を
有する板材である。

中部ホールド部材６８には、第ｔｏ、ｔ　を図に示すよ
うに、ウェハ１６が嵌まり込む溝７７とウェハ１６の外
周端部を保持するＶＷＩＩ７８とを交互に上、下部ホー
ルド部材６７．７１の溝７３．７５のピッチおよびＶＮ
７４．７６のピッチと夫々同一ピッチで軸方向に沿って
各２５個形成している。

そして、第５図に示すように、上、中、下部ホールド部
材６７，６８．７１のＶ溝７４．７８．７６の上下方向
の位置関係は次のようになる。すなわち、上、下部ホー
ルド部材６７．７１の■溝７４．７６は中部ホールド部
材６８の溝７７に対応する位置にあり、中部ホールド部
材６８のＶ溝７８は、上。

下部ホールド部材６７．７１のｉ７３．７５に対応する
位置にあるようになっている。また、上、中。

下部ホールド部材６７，６８．７１のＶ溝７４．７８．
７６でウェハ１６の外周に沿い得る形状の円弧が形成さ
れるようになっている。

上記密着手段５７は、第４図に示すように、駆動手段と
しての駆動モータ８１と上、下部円筒溝カムホルダ８２
．８３と上、下部円筒溝カム軸８５゜８６と上、下部円
筒溝カム８７．８８と第３駆動シリンダ９１とで構成す
る。上、下部円筒溝カムホルダ８２．８３と上、下部円
筒溝カム軸８５．８６と第３駆動シリンダ９１とは台２
２の両側の駆動部６２．６２に対をなして設けている。

一方、駆動モータ８１と上、下部円筒溝カム８７．８８
は中央部のウェハ保持部６１に設けている。両側の下部
円筒溝カムホルダ８３．８３の下端部で下部円筒溝カム
袖８６の両端部をスリーブを介して支持している。両側
の下部円筒溝カム軸１１！６．８６の間に下部円筒溝カ
ム８８の両端を連結している。

下部円筒溝カムホルダ８３の上端は、第３駆動シリンダ
９１のピストンの先端に取り付けている。

第３駆動シリンダ９１の基端は対向する別の台２２の下
部円筒溝カムホルダ８３の上端に取り付けている。下部
円筒溝カムホルダ８３の中間部は、中間軸７２にブツシ
ュを介して回転自在に支持している。下部円筒溝カムポ
ルグ８３の上部には、第４．５図に示すように、角状の
突部９３を何する矩形板からなる連結部材９５を固定し
ている。

下部円筒溝カムホルダ８３の内側に位置する上部円筒溝
カムホルダ８２の上端の穴に連結部材９５の突部９３を
嵌合して下部円筒溝カムホルダ８３に上部円筒溝カムホ
ルダ８２を連結している。両側の上部円筒溝カムホルダ
８２．８２の下端部で上部円筒溝カム軸８５．８５の両
端部をスリーブを介して支持している。両側の上部円筒
溝カム軸８５．８５の間に上部円筒溝カム８７の両端を
連結している。上部円筒溝カムホルダ８２の中間部は、
中間軸７２にブツシュを介して回転自在に支持している
。第５図に示すように、上、下部円筒溝カムホルダ８２
．８３の間にスプリング１００を縮装し、このスプリン
グ１００のバネ力により、上部円筒溝カムホルダ８２は
下部円筒溝カムホルダ８３に引張られている。第４図に
示すように、駆動モータ８１と中間軸７２のスリーブと
の間にベルト９８を掛け、中間軸７２のスリーブと上部
円筒溝カム軸８５のスリーブとの間にベルト９８を掛け
、中間軸７２のスリーブと下部円筒溝カム軸８６のスリ
ーブとの間にベルト９８を掛けて、駆動モータ８１の回
転力を中間軸７２を介して上。

下部円筒溝カム軸８５．８６に同時に伝達して、上、下
部円筒溝カム８７．８８を所定角度回転させるようにし
ている。上部円筒溝カムホルダ８２は、第５図に示すよ
うに、長方形の板材であり、下部円筒溝カムホルダ８３
は、略中央部で上部と下部で軸線が変位した長方形の板
材からなっている。

一方、上、下部円筒溝カム８７．８８は、ともに同一形
状をなしており、上部円筒溝カム８７のみについて次に
説明する。上部円筒溝カム８７の外周には、第１２．１
３．１４図に示すように７字形状のＶ溝１０２を長手方
向に互いに一定間隔をあけて５０個形成している。上記
Ｖ７］１０２は二叉部分１０３と合流部分１０４からな
っている。上記■溝１０２の二叉部分１０３は円周の略
１／２を占め、残りの合流部分１０４は円周の略１／２
を占めている。上記上、下部円筒溝カム８７．８８のＶ
溝１０２の二叉部分１０３と上、中、下部ホールド部材
６７．６８．７１の■溝７４，７８．７６の位置関係は
次のようになる。すなわち、上、下部円筒溝カム８７．
８８のＶ７Ｆ１１０２，１０２の二叉部分１０３，１０
３のツーピッチが上、中、下部ホールド部材６７，６８
．７１のＶ溝７’４，７８．７６のワンピッチに対応す
るようになっている。

第１．２図に示すように、上記ケーシングｌｌａ内の上
部には、台２２と同レベルに台用の駆動モータ２１を配
置している。この駆動モータ２１にネジ棒１０５を連結
し、このネジ棒１０５の先端をケーシング１１内の支持
部材１０６に回転自在に支持している。ネジ棒１０５に
は、連結部材１０８を螺合している。連結部材１０８は
台２２の背面に固定され、ケーシングｌｌａ内に突出し
た突出部材１０７に固定している。

第３図に示すように、ケーシング１１内には、ローラ２
１を有する駆動モータ１１２を設けている。駆動モータ
１１２のローラ１１１はカセット１７内のウェハ１６，
１６・・・の外周に当接している。この駆動モータ１１
２によるローラｌｉｔの回転により、カセット１７内の
ウェハ１６，１６・・・のフラット部を所定の方向に位
置決めしてウェハＩ　６．１６・・・をカセット１７内
に正しく配列するようになっている。

上記構成のウェハ移載装置において、カセット１７．１
７・・・に収納したウェハ１６，１６・・・をＣｖＤ処
理を行うため、ウェハ１６，１６・・・をカセット１７
．１７・・・からボー）−１４に移載するとする。

第１．２図に示すように、ウェハ１６，１６・・・を順
方向、つまり表面を一方向に向けて配列して収納した８
台（図には３台のみ示す）のカセット１７゜１７・・・
をケーシング２の上面のカセットテーブル１５の所定位
置に配置する。コントロールボックス３０のボタンを押
して駆動モータ３１を作動させる。ボートテーブル１２
およびカセットテーブル１５がＸ方向に沿って移動する
。図中１番左側のカセット１７．１７が、カセット１７
のＹ方向の軸線とウェハサポート４２のＹ方向の軸線が
一致する位置まで移動して停止する。２列目のカセット
１７のウェハサポート４２が、駆動モータ４５の駆動に
より、プーリ４７、ベルト５２、別のプーリ４８、ネジ
棒４８、連結部材５４、案内棒５３および棒材４６を介
して上動する。このとき、ウェハサポート４２は連結部
材５４を案内棒５３で案内させて上動するので、安定し
た動きをすることができる。ウェハサポート４２がカセ
ットテーブルＩ５の穴２６お上びカセット１７の穴２８
を通り、ウェハ１６，１６・・・のみをカセット１７よ
りも上に持上げて停止する。ウェハ１６゜１６・・・の
外周端部がウェハサポート４２の溝２つに保持される。

ロークリアクチュエータ４３が駆動してウェハサポート
４２を１８０度方向転換させ、ウェハ１６，１６・・・
の向きは逆方向になる。

ロークリアクチュエータ４３が停止し、駆動モータ４５
が駆動する。ウェハサポート４２が、逆方向に配列した
ウェハｌ　６，１６・・・を載せて下動し、カセット１
７の穴２８、カセットテーブル１５の穴２６を通り、ケ
ーシング１１内で停止する。このときも、案内棒５３に
よりウェハサポート４２は安定して下動する。ウェハ１
６，１６・・・は逆方向に配列した状態でカセット１７
内に収納される。

カセットテーブル１５は、駆動モータ３１により１番左
側のカセット１７．１７の、Ｙ方向の軸線とウェハサポ
ート４２のＹ方向の軸線とが一致するまで移動して停止
する。台２２用の駆動モータ２１が駆動する。台２２は
ネジ捧１０５および連結部材１０８を介してＹ方向に沿
って移動し、１列目の１番左側のカセット１７のＸ方向
の軸線と台２２のＸ方向の軸線が一致する位置で停止す
る。

ウェハサポート４２の駆動モータ４５が駆動する。

ウェハサポート４２がカセットテーブル１５の穴２６お
よびカセット１７の穴２８を通って上動する。ウェハサ
ポート４２の溝２９にカセット１７内の順方向に配列し
たウェハ１６．＋　６・・・の外周端部か嵌まり込み、
ウェハ１６，１６・・・は保持される。ウェハサポート
４２の上動によりウェハ１６、Ｉ６・・・は上昇し、台
２２内の所定位置で駆動モータ４５の停止により停止す
る。第４図に示す両側の第１駆動シリンダ５８．５８が
同時に伸長作動する。第１ホルダ６５．６５が中間軸７
２，７２を中心として揺動する。各両端を第１ホルダ６
５．６５の下端部で固定された上、下部ホールド部材６
７．７１がウェハ１６，１６・・・を両側から挟む。

第５図に示すように上、下部ホールド部材６７．７１の
Ｖ溝７４．７６がウェハ１６，１６・・・の下部両側の
外周端部を保持する。このように、ウェハ１６．１６・
・・を支持する上、下部ホールド部材６７゜７１の両端
が第１ホルダ６５．６５に固定されているので、上、下
部ホールド部材６７．７１は強度的に強く、確実かつ安
定してウェハｌ　６，１６・・・を保持できる。また、
ウェハ１６，１６・・・は第１駆動シリンダ５８．５８
の駆動により第１ホルダ６５．６５を介して上、下部ホ
ールド部材６７．７１で保持されるので、ウェハ１６，
１６・・・を精度よく保持できる。次に、第２図に示す
ように、台２２用の駆動モータ２１が駆動する。台２２
はＹ方向に沿って移動し、２列目の１番左側のカセット
１７のＸ方向の軸線と台２２のＸ方向の軸線とが一致す
る位置で停止する。ウェハサポート４２の駆動モータ４
５が駆動する。ウェハサポート４２は、カセットテーブ
ル１５の穴２６およびカセッ）１７の穴２８を通り、カ
セット１７内で逆方向に配列されたウェハ１６，１６・
・・を載せて上動する。第５図に示すように、逆方向の
各ウェハ１６゜１６・・・は、上、下部ホールド部材６
７．７１に支持されている順方向のウェハ１６．１６・
・・の間の隙間および上、下部ホールド部材６７．７１
のＴＲ７３゜７５を通って、上昇し、逆方向のウェハ１
６．１６・・・の軸線と順方向のウェハ１６，１６・・
・の軸線とが一致する位置でウェハサポート４２の停止
により停止する。次に、第２駆動シリンダ６３，６３が
同時に伸張作動してウェハを挾み、ウェハサポート４２
が下降する。こうして、順方向のウェハ１６．１６・・
・と逆方向のウェハＩ　６，１６・・・とが交互に配列
される。第１５図に示すように、密着手段５７の第３駆
動シリンダ９１．９１が同時に伸長作動する。両側の下
部円筒溝カムホルダ８３゜８３は中間軸７２．７２を中
心として揺動して、第１．２ホルダ６５．６６の屈曲部
の空間を通る。

下部円筒溝カムホルダ８３．８３に両端が支持されてい
る下部円筒溝カム８８．８８のＶ溝１０２゜１０２・・
・は順方向と逆方向が交互に背面を対向させて配列して
いるウェハ１６，１６・・・の下部両側の外周端部を保
持する。一方、両側の上部円筒溝カムホルダ８２．８２
は、下部円筒溝カムホルダ８３．８３の揺動により、連
結部材９５．９５を介して中間軸７２．７２を中心とし
て揺動する。両端が支持されている上部円筒溝カム８７
．８７の■溝１０２．１０２・・・がスプリング１００
のバネ力でウェハ１６，１．６・・・を押え付けてウェ
ハ１６゜１６・・・の上部両側の外周端部を支持する。

第１゜２ホルダ６５，６５．６６．６６が揺動してウェ
ハ保持を解く。次に、第５図に示す密着手段５７の駆動
モータ８１が駆動する。両側の中間軸７２゜７２・・・
がベルト９８を介して所定角度回転する。

各上、下部円筒溝カム８７，８７．８８．８８がベルト
９８を介して所定角度回転する。順方向と逆方向に順次
配列されたウェハ１６，１６・・・を７字形状の二叉部
分のＶ溝１０２，１０２・・・から合流部分の溝１０４
，１０４・・・に案内されて、第１６図に示すように、
ウェハＩ　６，１６・・・の背面１６ａ。

１６ａ・・・どうしが密着されて２枚１組のウェハ１６
．１６・・・が作られる。このように、上、下部円筒溝
カム８７．８８の両端を上、下部円筒溝カムホルダ８２
，８２．８３．８３で固定しているので、強度的に強く
、１度に多くのウェハ１６，１６・・・を確実に処理で
きる。

次に、台２２用の駆動モータ２１が駆動する。

台２２はウェハ１６，１６・・・を上、下部円筒溝カム
８７．８７．８８．８８で保持した状態でＹ方向に沿っ
て移動し、台２２のＸ方向の軸線とボート１４用のウェ
ハサポート３９のＸ方向の軸線とが一致する位置で停止
する。ウェハサポート３９の駆動モータが駆動する。ウ
ェハサポート３９は、ネジ棒の回転により上昇し、ボー
トテーブルＩ２の穴２０およびボート１４の穴２５を通
り、上、下部円筒溝カム８７．８７．８８．８８で保持
した２枚重ねのウェハ１６，１６．１６．１６・・・を
下方より支持して駆動モータの停止により停止する。第
３駆動シリンダ９１が収縮作動する。上、下部円筒溝カ
ムホルダ８２，８２．８３．８３が中間軸７２．７２を
中心として揺動する。上、下部円筒溝カム８７．８７．
８８．８８がウェハｌ　６，１６．１６．１６・・・か
ら離れる。ウェハ１６，１６は、下方の外周端部をウェ
ハサポート３９の溝４０．４０・・・に嵌め込んでウェ
ハサポート３９に支持される。

駆動モータが駆動する。ウェハサポート３９は、ネジ棒
の上述と反対方向への回転により下降し、ボート１４の
穴２５およびボートテーブル１２の穴２０を通り、ケー
シング１１内で停止する。ウェハサポート３９に支持さ
れていた背面同志を密着した２枚で１組のウェハ１６，
１６．１６．１６・・・はボート１４の溝２４．２４・
・・に下方の両側の外周端部を嵌め込んでボート１４内
に収納される。

上述の動作を各カセット１７．１７・・・について順次
繰り返して行ない、カセットｌ　７，１７・・・内のウ
ェハ１６，１６・・・をすべてボート１４に移載する。

このように、ウェハ１６，１　Ｇ・・・の背面同志の密
着を台２２に取り付けた上、下部円筒溝カム８７．８８
で行ない、かつ、重ね合ったウェハ１６．１６．１６．
１６・・・を上、下部円筒溝カム８７゜８８で保持して
カセット１７．１７・・・からボート１４に移載するの
で、簡単な構造でウェハ１６゜１６・・の移載ができ、
コストダウンが図れる。また、両端が上、下部円筒溝カ
ム軸８５，８５．８６゜８６および上、下部円筒溝カム
ホルダ８２，８２．８３．８３に固定された上、下部円
筒溝カム８７゜８７．８８．８８でウェハ１６，１６・
・・を移載するので、強度的に強く、ウェハｌ　６，１
６・・・の安定した移載を得ることができる。また、ウ
ェハ１６゜１６・・・の移載を自動的に行なうので、迅
速かつ大量のウェハ移載が可能となる。また、ボート１
４内のウェハｌ　６，１６・・・は２枚１組の状態で配
置されるので、ウェハ１６．１６・・・の占めるスペー
スが小さくなって一度に処理できるウェハ１６゜１６・
・・の数を増加させることができる。また、処理されな
いウェハ１６の背面どうしを合わせているので、ウェハ
１６の背面に酸化膜や絶縁膜が被覆されることはない。

したがって、後工程でウェハ１６の背面エツチングの工
程を省略できる。ウェハ１６のボート１４への移載を自
動的に行うので、移載作業を迅速かつ簡単にでき、かつ
ゴミの発生量を削減できる。

次に、ボート１４上の処理済みのウェハ１６゜１６．１
６．１６・・・をカセット１７．１７・・・に収納する
とする。第１．２図において、駆動モータ３１が駆動す
る。処理済のウェハＩ　６，１６、＋６゜１６・・・を
載せたボートテーブル１２および空のカセット１７．１
７・・・載せたカセットテーブル１５がＸ方向に沿って
移動し、図中１番左側のカセット１７．１７がウェハサ
ポート４２．４２の上にきたときに停止する。台２２用
の駆動モータ２１が駆動する。台２２かＹ方向に移動し
て、ボート１４用のウェハサポート３９の上で停止する
。ウェハサポート３９が上動し、ボート１４内の２枚重
ねのウェハ１６，１６．１６．１６・・・を持ち上げる
。

第４図に示す台２２内の第３駆動シリンダ９１が伸長作
動する。上、下部円筒溝カムホルダ８２，８２．８３．
８３が揺動する。上、下部円筒溝カム８７．８７．８８
．８８の合流部分の溝１０４，１０４・・・が２枚１組
のウェハｌ　６，１６．１６．１６・・・を保持する。

ウェハサポート３９が下降する。駆動モータ８１が駆動
する。上、下部円筒溝カム軸８５．８６がベルト９８の
伝達により所定角度回転される。２枚１組のウェハ１６
，１６．１６．１６・・・は、第１２図に示す合流部分
の溝１０４，１０４・・・から二叉部分のＶ）１ｍ９１
０２．１０２・・・に案内されて１枚づつに分離される
。つまり、順方向のウェハ１６．＋６・・・と逆方向の
ウェハ１６，１６・・・とが交互に配列された状態で分
離される。台２２用の駆動モータ２！か駆動する。台２
２は、第２図に示すように、ウェハ１６，１６・・・を
上、下部円筒溝カム８７．８７．８８．８８で保持した
ままＹ方向に沿って移動し、カセットテーブルＩ５のカ
セット１７の上で停止する。第１．２駆動シリンダ５８
，５８．６３．６３が伸長作動する。第１゜２ホルダ６
５，６５．６６．６６が中間軸７２，７２を中心として
揺動する。上、中、下部ボールド部材６７．６７．６８
．６Ｂ、７１．７１　ノＶｉ７４　。

７５．７６が上、下部円筒溝カム８７．８７．８８゜８
８に保持されているウェハ１６，１６・・・を保持する
。上、下部円筒溝カムホルダ８２，８２．８３゜８３の
揺動により、上、下部円筒溝カム８７．８７．８８．８
８はウェハ１６，１６・・・から離れる。順方向のウェ
ハ１６，１６・・・は中部ホールド部材６８゜６８に保
持される一方、逆方向のウェハ１６，１６・・・は上、
下部ホールド部材６７，６７．７１，７１に保持される
。次に、カセットテーブル１５の２列用のウェハサポー
ト４２が駆動モータ４５により上動する。ウェハサポー
ト４２のＶ溝２９゜２９・・・に逆方向のウェハＩ　６
，１６・・・の外周端部が嵌合する。台２２の第３駆動
シリンダ９１が収縮作動する。ウェハサポート４２が上
昇する。第２駆動シリンダ６３．６３が収縮し、中部ホ
ールド部材６８．６８がウェハ１６，１６・・・の保持
を解く。ウェハ１６，１６・・・はウェハサポート４２
に保持される。ウェハサポート４２は、駆動モータ４５
の駆動により下動する。逆方向のウェハ１６゜１６・・
・はカセットテーブル１５の２列目ｅ１番左側のカセッ
ト１７内に収納される。台２２の駆動モータ２１が駆動
する。台２２はさらにＹ方向に移動し、１列目の１番左
側のカセット１７の上で停止する。ウェハサポート４２
が駆動モータ４５の駆動により上動する。上、下部ホー
ルド部材６７．６７．７１．７１に保持されている順方
向のウェハ１６，１６・・・がウェハサポート４２の溝
５５゜５５・・・に嵌合する。第１駆動シリンダ５８．
５８が収縮作動する。第１ホルダ６５．６５の揺動によ
り、上、下部ホールド部材６７．６７．７１，７１はウ
ェハ１６．１６・・・から離れる。ウェハ１６゜＋６・
・・は上、下部ホールド部材６７．６７．７１゜７１か
らウェハサポート４２に移って保持される。

ウェハサポート４２の駆動モータ４５が駆動する。

ウェハサポート４２は下降し、カセット１７の穴２８お
よびカセットテーブル１５の穴２６を通り、ケーシング
１１内で停止する。順方向のウェハ１６．１６・・・は
ボート１４からカセットＩ７の溝２７．２７・・・に嵌
り込でカセット１７内に収納される。こうして順次処理
済みのウェハＩ　６，１６・・・はカセット１７，１７
・・・に収納される。このようにウェハ１６．１６・・
・の移載は自動的に行なわれるので、迅速かつ安全にウ
ェハをボートＩ４からカセット１７へ移載できる。

〈発明の効果〉以上述べたように、この発明のウェハ移載装置は、ボー
トを載置して一方向に移動するテーブルと、ウェハを収
納したカセットを載置して上記−方向に移動するテーブ
ルと、上記ウェハを収納したカセットから上記ウェハの
みを持ち上げて１８０度回転し得る回転手段と、両端部
が回転自在に支持されると共に、両端部が駆動手段に連
結されて上記カセットから持ち上げられた上記ウェハを
保持する保持手段と、両端部が回転自在に支持されると
共に、駆動手段に連結されて上記保持手段より受け取っ
た上記ウェハを背合わせに互いに密着させる密着手段と
、上記保持手段および上記密着手段を取り付けた台を上
記カセット上から上記ボートの上に移動させる台移動手
段とを備えたので、保持手段と密着手段の簡単な構造で
２枚のウェハを背合わせに密着できる。また、この発明
によれば、２枚のウェハを背合わせに密着して処理する
ので、ボート内に多くのウェハを収納できて、−度に処
理するウェハの数を増加できる。また、この発明によれ
ば、両端部が駆動手段に連結された保持手段と、両端部
が回転自在に支持されると共に、保持手段より受け取っ
たウェハを背合わせに互いに密着させる密着手段とを備
えたので、強度的に強くウェハを精度よく、かつ、確実
に保持できる。また、この発明によれば、処理の不要な
背面は互いに密着されているので、背面に酸化膜や絶縁
膜が被覆されることはなく、従来例の如く背面の酸化膜
等をエツチングする工程を省略することができる。加え
て、ウェハをカセットからボートに自動的に搬送するこ
とができろ。ウェハの移載を簡単かつ迅速かつ安全に行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例の正面図、第２図は上記実施
例の平面図、第３図は上記実施例の側面図、第４図は台
移動手段の台を示す図、第５図は作動説明図、第６図は
保持手段の上部ホールド部材を示す図、第７図は第６図
の■−■線矢視図、第８図は保持手段の下部ボールド部
材を示す図、第９図は第８図のＩＸ　−ＩＩ線矢視図、
第１Ｏ図は保持手段の中部ホールド部材を示す図、第１
１図は第１０図のＸ［−ＸＩ線矢視図、第１２図は密着
手段の円筒溝カムを示す図、第１３図は円筒溝カムの要
部拡大図、第１４図は第１２図のＸＩＶ−ＸＩＩ／線断
面図、第１５図は作動説明図、第１６図はウェハを背合
わせに密着して配置した図、第１７図は従来例のウェハ
の配置図である。１２．１５・・・テーブル、１４・・・ボート、１６・
・・ウェハ、１７・・・カセット、１８・・・回転手段
、２１・・・台移動手段、２２・・・台、５６・・・保
持手段、５７・・・密着手段、５８，６３．９１・・・
駆動手段。特　許　出　願　人　　光洋リンドバーグ株式会社代　理　人　弁理士　　青白　葆　ほか２名第１２図第１６図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ボートを載置して一方向に移動するテーブルと、
ウェハを収納したカセットを載置して上記一方向に移動
するテーブルと、上記ウェハを収納したカセットから上
記ウェハのみを持ち上げて１８０度回転し得る回転手段
と、両端部が回転自在に支持されると共に、両端部が駆
動手段に連結されて上記カセットから持ち上げられた上
記ウェハを保持する保持手段と、両端部が回転自在に支
持されると共に、駆動手段に連結されて上記保持手段よ
り受け取った上記ウェハを背合わせに互いに密着させる
密着手段と、上記保持手段および上記密着手段を取り付
けた台を上記カセット上から上記ボートの上に移動させ
る台移動手段とを備えたことを特徴とするウェハ移載装
置。