JP2841606B2 - ウエハ移載装置 - Google Patents
ウエハ移載装置Info
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- JP2841606B2 JP2841606B2 JP169390A JP169390A JP2841606B2 JP 2841606 B2 JP2841606 B2 JP 2841606B2 JP 169390 A JP169390 A JP 169390A JP 169390 A JP169390 A JP 169390A JP 2841606 B2 JP2841606 B2 JP 2841606B2
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- Japan
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- wafer
- holding jig
- wafer holding
- holding
- jig
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用範囲］ 本発明は、半導体製造工程のウエハ移載装置に関す
る。
る。
［従来の技術］ 従来の技術としては実開昭63−188947に記載されたも
のがある。これは回転可能にしたウエハ取り出し機（プ
ッシャ）と該ウエハ取り出し機にテーパ状溝を有するロ
ーラを具備し、２枚ウエハ裏面同士を密着、あるいは分
離するウエハ保持機構（ホルダ）を構成したものであ
る。
のがある。これは回転可能にしたウエハ取り出し機（プ
ッシャ）と該ウエハ取り出し機にテーパ状溝を有するロ
ーラを具備し、２枚ウエハ裏面同士を密着、あるいは分
離するウエハ保持機構（ホルダ）を構成したものであ
る。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、かかる従来のウエハ移載装置のウエハ保持機
構は、ウエハ裏面同志を密着・分離する際に下方に支持
手段がなく、ウエハの落下、破損の危険性がある。ま
た、テーパ状溝を有するローラの回転時に発生する塵が
ウエハ表面に付着する可能性がある。さらに、ウエハの
収納ピッチの変更の際は、ローラ上のテーパ状溝とウエ
ハ取り出し機の形状を変更しなければならないという課
題を有していた。
構は、ウエハ裏面同志を密着・分離する際に下方に支持
手段がなく、ウエハの落下、破損の危険性がある。ま
た、テーパ状溝を有するローラの回転時に発生する塵が
ウエハ表面に付着する可能性がある。さらに、ウエハの
収納ピッチの変更の際は、ローラ上のテーパ状溝とウエ
ハ取り出し機の形状を変更しなければならないという課
題を有していた。
［課題を解決するための手段］ 本発明のウエハ移載装置は、第１のウエハ収納容器か
ら第２のウエハ収納容器へウエハの移載を行うウエハ移
載装置であって、 １枚のウエハを保持可能な第１のウエハ保持治具と、 前記第１のウエハ保持治具と対称な形状を有し、前記
第１のウエハ保持治具と対称な形状を有し、前記第１の
ウエハ保持治具で保持されるウエハと背面で向き合うウ
エハ１枚を両ウエハの少なくとも一部が接するように保
持可能な第２のウエハ保持治具と、 前記第１のウエハ保持治具よりも下方に設置され、前
記第１のウエハ保持治具を前記第２のウエハ保持治具に
対して上下方向に移動させる直線駆動手段と、 １枚あるいは複数枚のウエハを挟持して移動させ、前
記第１及び第２のウエハ保持治具に対して搬出入するウ
エハ挟持手段と、 を有することを特徴とする。
ら第２のウエハ収納容器へウエハの移載を行うウエハ移
載装置であって、 １枚のウエハを保持可能な第１のウエハ保持治具と、 前記第１のウエハ保持治具と対称な形状を有し、前記
第１のウエハ保持治具と対称な形状を有し、前記第１の
ウエハ保持治具で保持されるウエハと背面で向き合うウ
エハ１枚を両ウエハの少なくとも一部が接するように保
持可能な第２のウエハ保持治具と、 前記第１のウエハ保持治具よりも下方に設置され、前
記第１のウエハ保持治具を前記第２のウエハ保持治具に
対して上下方向に移動させる直線駆動手段と、 １枚あるいは複数枚のウエハを挟持して移動させ、前
記第１及び第２のウエハ保持治具に対して搬出入するウ
エハ挟持手段と、 を有することを特徴とする。
［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において被保持ウエハ下部の円周を保持するための
ウエハ保持溝6aを有する第１のウエハ保持治具１と、該
ウエハ保持治具１と対称な形状で、ウエハ保持溝6bを有
する第２のウエハ保持治具２が、ウエハ保持溝6a、6bを
合わせる向きで配置されている。このとき、第２のウエ
ハ保持治具２は固定位置にあり、第１のウエハ保持治具
１は駆動軸４を介して直線駆動手段５に固定され、該直
線駆動手段５によって第２のウエハ保持治具２に対して
移動方向Z1,Z2に任意量の移動をする。第２図（ａ）〜
第２図（ｆ）に本発明の動作例を断面図で示す。第２図
（ａ）は、初期状態を示す。第２図（ｂ）で、第１のウ
エハ保持治具１は、該ウエハ保持治具１に固着した駆動
軸４と直線駆動手段５によりZ2方向に任意量の移動をす
る。第２図（ｃ）で、第１のウエハ10の上方円周部をウ
エハ挟持手段７で挟持し、任意位置より、第１のウエハ
保持治具１のウエハ保持溝6aに挿入する。このとき第１
のウエハ10の表面はX1方向を向かせた状態とする。な
お、ウエハ挟持手段７は１枚ないし複数枚のウエハを同
時に狭持し、任意位置間を移動する。同様に、第２図
（ｄ）で第２のウエハ11の上方円周部をウエハ挟持手段
７で挟持し、任意位置より第２のウエハ保持治具２のウ
エハ保持溝6bに、前記第１のウエハ10と背面合わせの状
態（第２のウエハ11の表面をX2方向に向かせた状態）で
挿入する。このとき第１のウエハ10は、第２のウエハ11
の下方に位置しており、第２のウエハ11の上方円周部を
挟持するウエハ挟持手段７と第１のウエハ10は直接干渉
しない。第２図（ｅ）で第１のウエハ保持治具１は駆動
軸４と直線駆動手段５によりZ1方向に第１のウエハ10と
第２のウエハ11が重なり合う位置（初期状態の位置）ま
で移動する。ここで、第１のウエハ保持持具１を駆動す
る駆動軸４ならびに直線駆動手段５は第１のウエハ10と
第２のウエハ11の下方に位置しているため駆動時に発生
する塵がウエハ表面に付着する可能性は低い。また、ウ
エハ保持溝6a、6bは被保持ウエハ下部円周部を保持する
ためウエハの落下、破損の危険性も低い。第２図（ｆ）
において、ウエハ狭持手段７で、第１のウエハ10と第２
のウエハ11の上方円周部を２枚のウエハの裏面同士を密
着させた状態で同時に狭持し任意位置へ移動する。以上
の手順により、第１のウエハ10と第２のウエハ11の裏面
同士の密着・移動が終了する。また２枚のウエハの分離
・移動は、以上の手順を逆に実施することにより可能で
ある。
１図において被保持ウエハ下部の円周を保持するための
ウエハ保持溝6aを有する第１のウエハ保持治具１と、該
ウエハ保持治具１と対称な形状で、ウエハ保持溝6bを有
する第２のウエハ保持治具２が、ウエハ保持溝6a、6bを
合わせる向きで配置されている。このとき、第２のウエ
ハ保持治具２は固定位置にあり、第１のウエハ保持治具
１は駆動軸４を介して直線駆動手段５に固定され、該直
線駆動手段５によって第２のウエハ保持治具２に対して
移動方向Z1,Z2に任意量の移動をする。第２図（ａ）〜
第２図（ｆ）に本発明の動作例を断面図で示す。第２図
（ａ）は、初期状態を示す。第２図（ｂ）で、第１のウ
エハ保持治具１は、該ウエハ保持治具１に固着した駆動
軸４と直線駆動手段５によりZ2方向に任意量の移動をす
る。第２図（ｃ）で、第１のウエハ10の上方円周部をウ
エハ挟持手段７で挟持し、任意位置より、第１のウエハ
保持治具１のウエハ保持溝6aに挿入する。このとき第１
のウエハ10の表面はX1方向を向かせた状態とする。な
お、ウエハ挟持手段７は１枚ないし複数枚のウエハを同
時に狭持し、任意位置間を移動する。同様に、第２図
（ｄ）で第２のウエハ11の上方円周部をウエハ挟持手段
７で挟持し、任意位置より第２のウエハ保持治具２のウ
エハ保持溝6bに、前記第１のウエハ10と背面合わせの状
態（第２のウエハ11の表面をX2方向に向かせた状態）で
挿入する。このとき第１のウエハ10は、第２のウエハ11
の下方に位置しており、第２のウエハ11の上方円周部を
挟持するウエハ挟持手段７と第１のウエハ10は直接干渉
しない。第２図（ｅ）で第１のウエハ保持治具１は駆動
軸４と直線駆動手段５によりZ1方向に第１のウエハ10と
第２のウエハ11が重なり合う位置（初期状態の位置）ま
で移動する。ここで、第１のウエハ保持持具１を駆動す
る駆動軸４ならびに直線駆動手段５は第１のウエハ10と
第２のウエハ11の下方に位置しているため駆動時に発生
する塵がウエハ表面に付着する可能性は低い。また、ウ
エハ保持溝6a、6bは被保持ウエハ下部円周部を保持する
ためウエハの落下、破損の危険性も低い。第２図（ｆ）
において、ウエハ狭持手段７で、第１のウエハ10と第２
のウエハ11の上方円周部を２枚のウエハの裏面同士を密
着させた状態で同時に狭持し任意位置へ移動する。以上
の手順により、第１のウエハ10と第２のウエハ11の裏面
同士の密着・移動が終了する。また２枚のウエハの分離
・移動は、以上の手順を逆に実施することにより可能で
ある。
この様にするとウエハの裏面同士を密着させたBack T
o Backのウエハ移載ができる。さらに、ウエハ収納容器
等における収納ピッチの変更、あるいは収納ピッチが異
なるウエハ収納容器間のウエハ移載にも柔軟かつ容易に
対応することができる。
o Backのウエハ移載ができる。さらに、ウエハ収納容器
等における収納ピッチの変更、あるいは収納ピッチが異
なるウエハ収納容器間のウエハ移載にも柔軟かつ容易に
対応することができる。
［発明の効果］ 本発明のウエハ移載装置は、以上説明したように、ウ
エハ下部の円周を保持する簡単なウエハ保持治具の上下
動作によって安全かつ容易に２枚のウエハ裏面同士（Ba
ck To Back）の密着・分離・移動を可能にし、ウエハ収
納容器のピッチ変更に柔軟に対応した移載作業を可能に
する効果がある。
エハ下部の円周を保持する簡単なウエハ保持治具の上下
動作によって安全かつ容易に２枚のウエハ裏面同士（Ba
ck To Back）の密着・分離・移動を可能にし、ウエハ収
納容器のピッチ変更に柔軟に対応した移載作業を可能に
する効果がある。
第１図（ａ）は、本発明のウエハ保持機構の正面図。 第１図（ｂ）は、本発明のウエハ保持機構の側面図。 第１図（ｃ）は、本発明のウエハ保持機構の上面図。 第２図（ａ）〜第２図（ｆ）は、本発明のウエハ移載装
置の動作の説明図。 １…第１のウエハ保持持具 ２…第２のウエハ保持持具 ４…駆動軸 ５…直線駆動手段 6a,6b…ウエハ保持溝 ７…ウエハ挟持手段 10…第１のウエハ 11…第２のウエハ X1,X2…ウエハの表面方向 Z1,Z2…直線駆動方向
置の動作の説明図。 １…第１のウエハ保持持具 ２…第２のウエハ保持持具 ４…駆動軸 ５…直線駆動手段 6a,6b…ウエハ保持溝 ７…ウエハ挟持手段 10…第１のウエハ 11…第２のウエハ X1,X2…ウエハの表面方向 Z1,Z2…直線駆動方向
Claims (1)
- 【請求項１】第１のウエハ収納容器から第２のウエハ収
納容器へウエハの移載を行うウエハ移載装置であって、 １枚のウエハを保持可能な第１のウエハ保持治具と、 前記第１のウエハ保持治具と対称な形状を有し、前記第
１のウエハ保持治具で保持されるウエハと背面で向き合
うウエハ１枚を両ウエハの少なくとも一部が接するよう
に保持可能な第２のウエハ保持治具と、 前記第１のウエハ保持治具よりも下方に設置され、前記
第１のウエハ保持治具を前記第２のウエハ保持治具に対
して上下方向に移動させる直線駆動手段と、 １枚あるいは複数枚のウエハを挟持して移動させ、前記
第１及び第２のウエハ保持治具に対して搬出入するウエ
ハ挟持手段と、 を有することを特徴とするウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP169390A JP2841606B2 (ja) | 1990-01-09 | 1990-01-09 | ウエハ移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP169390A JP2841606B2 (ja) | 1990-01-09 | 1990-01-09 | ウエハ移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03206640A JPH03206640A (ja) | 1991-09-10 |
| JP2841606B2 true JP2841606B2 (ja) | 1998-12-24 |
Family
ID=11508610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP169390A Expired - Fee Related JP2841606B2 (ja) | 1990-01-09 | 1990-01-09 | ウエハ移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2841606B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-09 JP JP169390A patent/JP2841606B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03206640A (ja) | 1991-09-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081023 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091023 Year of fee payment: 11 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |