JPS63173338A - ウエハ移載方式 - Google Patents
ウエハ移載方式Info
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- JPS63173338A JPS63173338A JP62005670A JP567087A JPS63173338A JP S63173338 A JPS63173338 A JP S63173338A JP 62005670 A JP62005670 A JP 62005670A JP 567087 A JP567087 A JP 567087A JP S63173338 A JPS63173338 A JP S63173338A
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- JP
- Japan
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- wafer
- wafers
- storage container
- holder
- gears
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000011295 pitch Substances 0.000 abstract description 36
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造工程に使用される半導体ウェハをウ
ェハ収納容器から他のウェハ収納容器へ移載するウェハ
移載方式、特に収納容器間のウェハ受は溝のピッチが異
なる場合のウェハ移載方式％式％ 〔従来の技術〕 従来、この種のウェハ移載装置はウェハ収納容器からウ
ェハを上方に突き上げて、一時他の収納容器に保持させ
た後、何らかの方法でウェハ間のピッチを変えて移載し
たい収納容器にウェハを移載するという方式が一般的で
あった。
ェハ収納容器から他のウェハ収納容器へ移載するウェハ
移載方式、特に収納容器間のウェハ受は溝のピッチが異
なる場合のウェハ移載方式％式％ 〔従来の技術〕 従来、この種のウェハ移載装置はウェハ収納容器からウ
ェハを上方に突き上げて、一時他の収納容器に保持させ
た後、何らかの方法でウェハ間のピッチを変えて移載し
たい収納容器にウェハを移載するという方式が一般的で
あった。
第５図（ａ）、（ｂ）は従来のウェハ移載装置の概念図
、第６図（ａ）、（ｂ）はウェハ間のピッチを変える機
構の構造図である。以下図面に従って詳細に説明する。
、第６図（ａ）、（ｂ）はウェハ間のピッチを変える機
構の構造図である。以下図面に従って詳細に説明する。
第５図（ｂ）に示すようにウェハ収納容器１の中に収納
されたウェハ２の下方からプッシャー１８が上昇しウェ
ハ収納容器１と等ピッチに溝が設けられた保持具４ａヘ
ウエハが運ばれる。２つの保持具４ａは後述の機構を用
いてウェハ間隔を変えて保持具４ｂの状態でウェハを保
持する。この間隔はもう一方のウェハ収納容器６のそれ
と等しくなっており、第５図（ａ）に示すようにこのも
う一方のウェハ収納容器６の下方からプッシャー１９が
上昇しウェハ２を支える。支持後、保持具４ｂはウェハ
２の保持を解き、プッシャー１９が下降しもう一方のウ
ェハ収納容器６ヘウエハ２を搬入してウェハ２の移載を
完了させる。
されたウェハ２の下方からプッシャー１８が上昇しウェ
ハ収納容器１と等ピッチに溝が設けられた保持具４ａヘ
ウエハが運ばれる。２つの保持具４ａは後述の機構を用
いてウェハ間隔を変えて保持具４ｂの状態でウェハを保
持する。この間隔はもう一方のウェハ収納容器６のそれ
と等しくなっており、第５図（ａ）に示すようにこのも
う一方のウェハ収納容器６の下方からプッシャー１９が
上昇しウェハ２を支える。支持後、保持具４ｂはウェハ
２の保持を解き、プッシャー１９が下降しもう一方のウ
ェハ収納容器６ヘウエハ２を搬入してウェハ２の移載を
完了させる。
ウェハ間隔の変換機構を第６図（ａ）、（ｂ）に示す。
治具２０には上端と下端にリンク２１が回転自由な支点
２２によって接続されている。このため第６図（ａ）に
おいて矢印２３の方向に力を加えると、第６図（ｂ）に
示すようにウェハ間隔が小さくなる。
２２によって接続されている。このため第６図（ａ）に
おいて矢印２３の方向に力を加えると、第６図（ｂ）に
示すようにウェハ間隔が小さくなる。
上述した従来のウェハ移載装置は、収納容器からウェハ
を突き上げ一時他の保持具に保持させ、この保持具のウ
ェハ間隔を回転自由な支点によって接続されたリンクを
用いて保持具を長方形から平行四辺形に変形させて変え
、この後保持具下方からウェハを保持し保持具のウェハ
保持を解放してウェハを下方へ移動させ、保持具下に設
置されたもう一方の収納容器ヘウェハを移載する構造と
なっているため、ウェハ間隔の変換が大きい程リンクの
長方形から平行四辺形への回転角度が大きく、もう一方
の収納容器と保持具との間隔は左右の間隔が大きく異な
るため、ウェハがガイドなしで移載される距離が長くな
る。このため移載中のウェハがガイドから外へ出てしま
い、ウェハの割れ、欠けといったウェハの破壊やこのウ
ェハ破壊の際発生する塵埃が他のウェハ上へ付着し、半
導体製造工程での歩留りを低下させるといった種々の欠
点を有していた。
を突き上げ一時他の保持具に保持させ、この保持具のウ
ェハ間隔を回転自由な支点によって接続されたリンクを
用いて保持具を長方形から平行四辺形に変形させて変え
、この後保持具下方からウェハを保持し保持具のウェハ
保持を解放してウェハを下方へ移動させ、保持具下に設
置されたもう一方の収納容器ヘウェハを移載する構造と
なっているため、ウェハ間隔の変換が大きい程リンクの
長方形から平行四辺形への回転角度が大きく、もう一方
の収納容器と保持具との間隔は左右の間隔が大きく異な
るため、ウェハがガイドなしで移載される距離が長くな
る。このため移載中のウェハがガイドから外へ出てしま
い、ウェハの割れ、欠けといったウェハの破壊やこのウ
ェハ破壊の際発生する塵埃が他のウェハ上へ付着し、半
導体製造工程での歩留りを低下させるといった種々の欠
点を有していた。
本発明の目的は前記問題点を解消したウェハの移載方式
を提供することにある。
を提供することにある。
上述した従来のウェハ移載装置に対して、本発＝３−
明はピッチ変換機構部に等差数列的に径が大きくなって
いる歯車を列状に設置した少なくとも一つの歯車群、各
歯車に接し歯車の回転により移動するラック、前記ラッ
クを同一方向に移動すべく設置したガイド、前記ラック
に法線方向に張り出させるべく設置させたウェハ支持板
を具備したウェハ保持具と、歯車の回転角を制御する機
構とを有し、歯車の回転角を同一に制御するように回転
させることによりウェハ支持板を具備したラックを移動
させピッチ変換するという独創的内容を有する。
いる歯車を列状に設置した少なくとも一つの歯車群、各
歯車に接し歯車の回転により移動するラック、前記ラッ
クを同一方向に移動すべく設置したガイド、前記ラック
に法線方向に張り出させるべく設置させたウェハ支持板
を具備したウェハ保持具と、歯車の回転角を制御する機
構とを有し、歯車の回転角を同一に制御するように回転
させることによりウェハ支持板を具備したラックを移動
させピッチ変換するという独創的内容を有する。
本発明のウェハ移載方式は、等差数列的に径が大きくな
っている歯車を列状に設置した少なくとも一つの歯車群
及び各歯車に接し歯車の回転により移動するラック及び
前記ラックを同一方向に移動すべく設置したガイド並び
に前記ラックに法線方向に張り出させるべく設置させた
ウェハ支持板とを具備したウェハ保持具と、歯車の回転
角を制御する機構とを有し、ウェハ収納容器の溝ピッチ
−４＝ に保持具のウェハ支持板のピッチを合わせ、ウェハを搬
出し保持具に搬入後、保持具にてウェハを支持し、等差
数列的に径が大きくなる歯車を同一回転角だけ回転させ
、ラックを移動させることによりウェハ間のピッチを変
換し、もう一方のウェハ収納容器の溝ピッチに合わせ、
保持具からウェハをもう一方のウェハ収納容器へ搬入し
、ウェハを移載することを特徴とするものである。
っている歯車を列状に設置した少なくとも一つの歯車群
及び各歯車に接し歯車の回転により移動するラック及び
前記ラックを同一方向に移動すべく設置したガイド並び
に前記ラックに法線方向に張り出させるべく設置させた
ウェハ支持板とを具備したウェハ保持具と、歯車の回転
角を制御する機構とを有し、ウェハ収納容器の溝ピッチ
−４＝ に保持具のウェハ支持板のピッチを合わせ、ウェハを搬
出し保持具に搬入後、保持具にてウェハを支持し、等差
数列的に径が大きくなる歯車を同一回転角だけ回転させ
、ラックを移動させることによりウェハ間のピッチを変
換し、もう一方のウェハ収納容器の溝ピッチに合わせ、
保持具からウェハをもう一方のウェハ収納容器へ搬入し
、ウェハを移載することを特徴とするものである。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
（実施例１）
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明の第１の実施例の概念
図、第２図（ａ）、（ｂ）はウェハ間隔の変換機構の構
造図であり、（ａ）はピッチが小さい状態、（ｂ）はピ
ッチが大きい状態を示す。また第３図は変換機構の断面
図である。
図、第２図（ａ）、（ｂ）はウェハ間隔の変換機構の構
造図であり、（ａ）はピッチが小さい状態、（ｂ）はピ
ッチが大きい状態を示す。また第３図は変換機構の断面
図である。
第１図（ａ）に示すようにウェハ収納容器１に収納され
ているウェハ２は、プッシャー３によって押し上げられ
、保持具４ａに収納される。ウェハ収納後、保持具４ａ
は後述の機構を用いてウェハ間隔を変換し、図面右方へ
移動し、第１図（ｂ）に示すようにピッチ変換後の状態
で保持具４ｂはウェハ２を保持する。この後プッシャー
５が上昇し、ウェハを保持し、保持具４ｂの保持を解き
、プッシャー５を下降させ、ウェハ収納容器６にウェハ
２を搬入し、ウェハの移載を終了する。
ているウェハ２は、プッシャー３によって押し上げられ
、保持具４ａに収納される。ウェハ収納後、保持具４ａ
は後述の機構を用いてウェハ間隔を変換し、図面右方へ
移動し、第１図（ｂ）に示すようにピッチ変換後の状態
で保持具４ｂはウェハ２を保持する。この後プッシャー
５が上昇し、ウェハを保持し、保持具４ｂの保持を解き
、プッシャー５を下降させ、ウェハ収納容器６にウェハ
２を搬入し、ウェハの移載を終了する。
ウェハ間隔の変換機構は第２図（ａ）、 （ｂ）、第３
図に示す。（ａ）は保持具４のピッチが小さい状態、（
ｂ）は保持具４のピッチが大きい状態を表している。
図に示す。（ａ）は保持具４のピッチが小さい状態、（
ｂ）は保持具４のピッチが大きい状態を表している。
保持具４ａ、 ４ｂは歯車７、ラック８、支持板９、ガ
イド１０を具備し、モーター１１による回転をベルト１
２、シャフト１３で各歯車７に伝達し、回転角を制御す
ることにより、ある回転角だけ歯車７を回転させ、歯車
７に接し、歯車７の回転により移動するラック８を同一
方向に移動すべく設置したガイド１０に沿って横移動さ
せる。従って第２図（ｂ）のように、支持板９のピッチ
をウェハ収納容器１の溝ピッチと等しくするようにモー
ター１１の回転角を求め、かつ第２図（ａ）のように支
持板９のピッチをウェハ収納容器６の溝ピッチと等しく
するようにモーター１１の回転角を制御することにより
、支持板９のピッチをウェハ収納容器１の溝ピッチと等
しくし、ウェハ２を搬出後、モーター１１を回転させ歯
車７の回転角を決め、ラック８がガイド１０に沿って横
移動させることにより、ウェハ２のピッチをウェハ収納
容器６の溝ピッチと等しくし、ウェハ収納容器６にウェ
ハ２を搬入させ移載を完了させるものである。
イド１０を具備し、モーター１１による回転をベルト１
２、シャフト１３で各歯車７に伝達し、回転角を制御す
ることにより、ある回転角だけ歯車７を回転させ、歯車
７に接し、歯車７の回転により移動するラック８を同一
方向に移動すべく設置したガイド１０に沿って横移動さ
せる。従って第２図（ｂ）のように、支持板９のピッチ
をウェハ収納容器１の溝ピッチと等しくするようにモー
ター１１の回転角を求め、かつ第２図（ａ）のように支
持板９のピッチをウェハ収納容器６の溝ピッチと等しく
するようにモーター１１の回転角を制御することにより
、支持板９のピッチをウェハ収納容器１の溝ピッチと等
しくし、ウェハ２を搬出後、モーター１１を回転させ歯
車７の回転角を決め、ラック８がガイド１０に沿って横
移動させることにより、ウェハ２のピッチをウェハ収納
容器６の溝ピッチと等しくし、ウェハ収納容器６にウェ
ハ２を搬入させ移載を完了させるものである。
（実施例２）
第４図は本発明の別の実施例を示す概念図である。ウェ
ハ収納容器１内のウェハ２はプッシャー１４により図中
左方へ押され、保持具４ａに挿入される。プッシャー１
４が右方へ逃げた後、保持具４ａは前述の方法でピッチ
変換を行い、図中下方へ移動する。更に保持具４ｂ内の
ウェハ２をプッシャー１５によって図中左方へ移載し、
ウェハ収納容器６へ移載を完了させる。また逆の移載の
場合はプッシャー１６及びプッシャー１７を用いてウェ
ハ収納容器６からウェハ収納容器１へのウェハ２の移載
を上記同様に行う。
ハ収納容器１内のウェハ２はプッシャー１４により図中
左方へ押され、保持具４ａに挿入される。プッシャー１
４が右方へ逃げた後、保持具４ａは前述の方法でピッチ
変換を行い、図中下方へ移動する。更に保持具４ｂ内の
ウェハ２をプッシャー１５によって図中左方へ移載し、
ウェハ収納容器６へ移載を完了させる。また逆の移載の
場合はプッシャー１６及びプッシャー１７を用いてウェ
ハ収納容器６からウェハ収納容器１へのウェハ２の移載
を上記同様に行う。
以上説明したように本発明はウェハ収納容器からウェハ
を搬出し、ウェハ保持具に搬入した後、保持具にてウェ
ハを支持し、等差数列的に径が大きくなる歯車を同一回
転だけ回転させ、ラックを移動させることによりウェハ
間のピッチを変換し、もう一方のウェハ収納容器ヘウェ
ハを搬入するため、歯車の回転角を変えることにより、
各歯車に接し歯車の回転により移動するラックの移動量
が変わり、前記ラックに設置したウェハ支持板のピッチ
を任意に設定し、溝ピッチの異なるウェハ収納容器間の
ウェハ移載が容易にでき、またウェハのピッチが変換さ
れた後、ウェハの下端が一直線にそろっているので、プ
ッシャー等でウェハを受けてウェハ収納容器へ搬入でき
、ウェハ移載が従来までの方式に比べて確実であり、し
かもウェハの割れ、フラッフ等に起因する塵埃の再付着
によるウェハ汚染を低減し、ひいてはＬＳＩ製造工程の
製品歩留りを向上できる効果を有するものである。
を搬出し、ウェハ保持具に搬入した後、保持具にてウェ
ハを支持し、等差数列的に径が大きくなる歯車を同一回
転だけ回転させ、ラックを移動させることによりウェハ
間のピッチを変換し、もう一方のウェハ収納容器ヘウェ
ハを搬入するため、歯車の回転角を変えることにより、
各歯車に接し歯車の回転により移動するラックの移動量
が変わり、前記ラックに設置したウェハ支持板のピッチ
を任意に設定し、溝ピッチの異なるウェハ収納容器間の
ウェハ移載が容易にでき、またウェハのピッチが変換さ
れた後、ウェハの下端が一直線にそろっているので、プ
ッシャー等でウェハを受けてウェハ収納容器へ搬入でき
、ウェハ移載が従来までの方式に比べて確実であり、し
かもウェハの割れ、フラッフ等に起因する塵埃の再付着
によるウェハ汚染を低減し、ひいてはＬＳＩ製造工程の
製品歩留りを向上できる効果を有するものである。
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明の第１の実施例を示す
概念図、第２図（ａ）、 （ｂ）はウェハ間隔の変換機
構の構造図、第３図は変換機構の断面図、第４図は本発
明の第２の実施例を示す概念図、第５図（ａ）、（ｂ）
は従来のウェハ移載装置の概念図、第６図（ａ）、（ｂ
）はウェハ間のピッチを変える機構の構造図である。
概念図、第２図（ａ）、 （ｂ）はウェハ間隔の変換機
構の構造図、第３図は変換機構の断面図、第４図は本発
明の第２の実施例を示す概念図、第５図（ａ）、（ｂ）
は従来のウェハ移載装置の概念図、第６図（ａ）、（ｂ
）はウェハ間のピッチを変える機構の構造図である。
Claims (1)
- （１）等ピッチの溝を有するウェハ収納容器から前記ウ
ェハ収納容器の溝ピッチと異なるピッチを有するもう一
方のウェハ収納容器へウェハを移載するウェハ移載装置
において、等差数列的に径が大きくなっている歯車を列
状に設置した少なくとも一つの歯車群及び各歯車に接し
歯車の回転により移動するラック及び前記ラックを同一
方向に移動すべく設置したガイド並びに前記ラックに法
線方向に張り出させるべく設置させたウェハ支持板を具
備したウェハ保持具と、歯車の回転角を制御する機構と
を有し、前記ウェハ収納容器の溝ピッチに前記保持具の
ウェハ支持板のピッチを合わせ、ウェハを搬出し保持具
に搬入後、保持具にてウェハを支持し、等差数列的に径
が大きくなる前記歯車を同一回転角だけ回転させ、ラッ
クを移動させることによりウェハ間のピッチを変換し、
もう一方のウェハ収納容器の溝ピッチに合わせ、保持具
からウェハをもう一方のウェハ収納容器へ搬入しウェハ
移載することを特徴とするウェハ移載方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005670A JPS63173338A (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | ウエハ移載方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62005670A JPS63173338A (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | ウエハ移載方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63173338A true JPS63173338A (ja) | 1988-07-16 |
Family
ID=11617536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62005670A Pending JPS63173338A (ja) | 1987-01-13 | 1987-01-13 | ウエハ移載方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63173338A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228949A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Tel Sagami Ltd | ピッチ変換機及びそれを用いたピッチ変換方法 |
| US5382128A (en) * | 1993-03-03 | 1995-01-17 | Takahashi; Kiyoshi | Wafer transfer device |
-
1987
- 1987-01-13 JP JP62005670A patent/JPS63173338A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228949A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Tel Sagami Ltd | ピッチ変換機及びそれを用いたピッチ変換方法 |
| US5382128A (en) * | 1993-03-03 | 1995-01-17 | Takahashi; Kiyoshi | Wafer transfer device |
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