JPH03209845A - ウエハ移し換え装置のピツチ変換装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ピッチ変換装置に係り、特に、互いに収容ピ
ッチが異なる第一収容治具から第二収容治具及び第二収
容治具から第一収容治具へ、多数のウェハを同時に移し
換えることに好適なウェハ移し換え装置のピッチ変換装
置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、ウェハの加工処理プロセスでは、各工程ごとに
それに適した治具を用いる必要があり、その処理工程に
応じてその都度、ウェハをある治具から別の治具へ移さ
なければならない。

例えば、拡散等の高熱処理では、ウェハの洗浄処理をし
た後、ウェハをカセット治具から拡散用の石英ガラス治
具に移す必要がある。

この場合、カセット治具と石英治具とのウェハ収容溝の
ピッチが同一であれば、同一ハント等を用いて、一方か
ら他方への治具へ一括して移し換えられるので問題はな
いが、実際には、特性制御等のためからウェハの収容ピ
ッチを広くしたり、あるいは狭くしたりすることが多い
。

従来、互いに収容ピッチが異なる治具間でのウェハのハ
ンドリングは、ピンセット等により個々に移し換えるか
、あるいはロボット等の自動機を用いて一枚ずつ移し換
えるということが行われていた。

また、ウェハの収容ピッチを一括して変換する装置とし
ては、特開昭６３−１７２４４０号公報に記載のように
、ウェハを一枚ずつ保持する支持部材と、この支持部材
間にコイルばね等の弾性部材を配置して、支持部材を押
圧することにより、コイルばね等の弾性部材を伸縮させ
て、収容ピッチを変換することが行われていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、一方の収容治具から他方の収容治具へ、ピンセ
ットで一枚ずつ保持しなからウェハを移し換えるには、
人手を要すると共に、ウェハを損傷。

汚染させる等の問題があった。また、自動機で一枚ずつ
移し換える装置では、多数枚のウェハを各種収容治具に
移し換えるにはスループットが悪いという問題があった
。

一方、特開昭６３−１７２４４０号公報に記載の装置で
は、コイルばね等のばね材の伸縮を利用してピッチ変換
を行っているが、全てのばね材のばね特性が均一なもの
を選択しなければならず、効率が悪いという問題があっ
た。

本発明の目的は互いに収容ピッチが異なる収容治具間に
ウェハを一括して移し換える処理能力に優れたピッチ変
換装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は複数の被収容物を
収容する第一収容治具及び第二収容治具と、被収容物を
第一収容治具と第二収容治具間で移し換える移換手段と
を備え、移換手段はロボットとロボットに設けたピッチ
変換装置、及び、ハンドとから構成し、ピッチ変換装置
は、ガイド軸に摺動自在に支えられる多数の支持部材を
、互いにあるピッチ間隔で配置し、この多数の支持部材
に各々被収容物を保持するハンドを結合すると共に、多
数の支持部材間をそれぞれ二等辺三角形状、または、平
行四辺形状で構成したリンク部材で結合し、このリンク
部材を変位してリンク部材の姿勢を加減することで支持
部材のピッチを変化させる駆動手段を備えた。

〔作用〕

本発明における移し換え装置のピッチ変換装置は、ウェ
ハを保持しているハンドを有した支持部材の相互間に設
けたリンク部材が、駆動手段によって伸縮するため、そ
の支持部材のピッチが自在に増減する。それによって、
第−収容治具及び第二収容治具の収容ピッチにウェハを
一括して変換することができる。

なお、第一収容治具及び第二収容治具間におけるウェハ
の搬送、ローディング等の動作はロボットによって行わ
れる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図により説明
する。まず、本発明に係る装置の実施例の構成を第１図
により説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すピッチ変換装置の正面
図であり、開口部（第２図及び第３図）をもつケーシン
グ１で略密閉されたピッチ変換装置２はロボットアーム
３に取り付けられており、ピッチ変換装置２の内容は、
ウェハ４を一枚ずつ保持するハンド５が支持部材６にそ
れぞれ結合され、支持部材６は一方の最側部の支持部材
６Ａをケーシング１に固定した以外は、ガイド７に直動
自在に支持されると匹に、互いにあるピッチ間隔で配列
され、他方の最側部の支持部材６Ｂとケーシング１間に
は復帰ばね８が設けられている。また、ケーシング１に
固定したエアーシリング９のプランジャ１０にはレール
部１１をもつブロック１２が結合されており、ブロック
１２はリニアベアリング等１３により、二つのシャフト
１４゜１５に沿って直動可能に構成され、レール部１１
上には多数のテーブル部材１６が、レール部１１上で直
動自在に支持されており、互いにあるピッチ間隔で配列
されている。これら多数のテーブル部材１６と多数の支
持部材６の相互間で、各々二等辺三角形の二辺を構成す
るようリンク部月１７がピン１８により摺動可能に結合
されている。

なお、ウェハ４は垂直状態より数度傾いた状態で保持さ
れ、ハンド５はウェハ４をひっかけて保持する構造とな
っている。

次に、本実施例の動作について説明する。

まず、一方のパイプ９Ａに空気を入れるとプランジャ１
０が押し出されて、ブロック１２が下降すると共に、テ
ーブル部材１６がレール部１１を走行し、復帰ばね８を
圧縮させ、リンク部材１７が長手方向に伸び、支持部材
６のピッチ間隔が拡大される。逆に、他方のパイプ９Ｂ
に空気を入れるとプランジャ１０が引き戻されると共に
、復帰ばね８が支持部材６Ｂを押圧して、リンク部材１
７が縮むことにより、支持部材６のピッチ間隔を狭くす
ることができる。このため、プランジャ１０の突き出し
距離を決めておけば、ウェハ４を一括して任意のピッチ
にすることができる。

次に、各種の収容治具との移し換え動作について第２図
及び第３図を用いて説明する。

本実施例の移し換え装置はロボット３と、ロボット３に
取り付けたピッチ変換装置２、及び、ハンド５で構成さ
れており、例えば、カセット治具２０から石英治具２１
へ、あるいは、石英治具２１からカセット治具２０へ移
載するためのものであり、カセット治具２０と石英治具
２１は各ウェハ４間の間隔を規定するため、互いに異な
る所定のピッチで溝２２が形成されている。なお、ピッ
チ変換装置２はハンド５が移動するための開口部１９を
もっている。ところで、収容治具との移し換え動作は、
カセット治具２０の上方にロボット３が移動し、ハンド
５をカセット治具２０内に下降させ、続いて、ハンド５
を微速横行、微速」二昇させることにより、ウェハ４は
すくい上げられるようにして、ハンド５に保持される。

ハンド５を更に上昇させた後、ウェハ４を石英治具２１
の手前まで移送し、ピッチ変換装置２のピッチを拡大す
る。その後、ウェハ４を乗せたハンド５は、石英治具２
１内に前進して入り、終点まぎわでは微速前進とした後
、微速下降によってウェハ４を石英治具２１上に置き去
られるように載置し、ハンド５は空となって後退する。

なお、石英治具２１からカセット治具２１への移し換え
は逆の動作を行えばよい。

このような実施例によれば、互いに収容ピッチが異なる
収容治具間にウェハを一括して移し換えることができる
と共に、直接、収容治具内のウェハをすくい上げられる
ので、移し換えの簡素化が図れ、その結果、スループッ
トが向上する。

また、この実施例では、ハンドがウェハをひっかけて保
持する構造であるため、すくい取るような保持あるいは
置き去るような移載が可能となり、ウェハを損傷するこ
となく移し換えることができる。

第４図及び第５図は、本発明に係る装置の他の実施例を
示す。

第４図は本発明の他の実施例を示すピッチ変換装置の正
面図、第５図は第４図のＡ−Ａ矢視図であり、ケーシン
グ１で略密閉されたピッチ変換装置２はロボット３に取
り付けられており、ピッチ変換装置２の内部は、ウェハ
４を一枚ずつ保持するハンド５が支持部材６にそれぞれ
結合され、多８− 数の支持部材６は最側部の支持部材６Ａをケーシング１
に固定した以外は、ガイド７に直動自在に支持されると
共に、互いにあるピッチ間隔で配列されている。また、
ケーシング１に固定したモータ等２３によって、プーリ
２４Ａ、タイミングベルト２５．プーリ２４Ｂを介して
ボールねじ２６を回転させ、ナツト２７が直動するよう
に構成されている。このナラ１−２７と最側部の支持部
材６Ｂ間から他方の最側部の支持部材６Ａまでを、各々
が平行四辺形を構成するようにリンク部材１７で結合す
ると共に、リンク部材１７をガイド７上にある支持部材
６にそれぞれ結合させる。なお、リンク部材１７はピン
１８により摺動可能なように結合されている。

次に、本実施例の動作について説明する。

まず、モータ２３を正方向に回転させるとプーリ２４Ａ
、タイミングベルｌ−２５、プーリ２４．　Ｂを介して
ボールねじ２６が正方向に回転し、ナツト２７が右方向
に移動し、ナツト２７に結合されたリンク部材１７が長
手方向に伸び、その結果、支持部材６のピッチ間隔が拡
大される。逆に、モータ２３を逆方向に回転させるとナ
ツト２７が左方向に移動することになり、リンク部材１
７が縮められて、支持部材６のピッチ間隔を狭くするこ
とができる。よって、ウェハ４を一括して任意のピッチ
に変換することができる１゜ このような実施例によれば、リンク部材の一端だけに駆
動手段を設ければよく、機構の簡素化がはかれる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ハンドをもつ支持部材間を、それぞれ
二等辺三角形状、または、平行四辺形状に構成したリン
ク部材で結合し、このリンク部材の姿勢を変化させるこ
とで、ウェハの収容ピッチを一括して変換することがで
きるので、移し換え動作が容易になる。

また、ロボットにピッチ変換装置を取りつけているため
、直接、収容治具間の移し換えを行うことができ、移し
換えの簡素化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のピッチ変換装置の正面図、
第２図及び第３図はそれぞれ本発明の一適用例の斜視図
、第４図は本発明の他の実施例のピッチ変換装置の正面
図、第５図は第４図のＡＡ矢視図である。 ２・・・ピッチ変換装置、３・・・ロボット、４　・ウ
ェハ、５・ハント、６・・・支持部材、１７・・リング
部利、２０・・カセット治具、２１　・石英治具。 ２ χ 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数のウェハを収容する第一収容治具及び第二収容
   治具と、前記ウェハを前記第一収容治具と前記第二収容
   治具間で移し換える移換手段とを備えた移し換え装置に
   おいて、 前記移換手段はロボットと前記ロボットに設けられたピ
   ッチ変換装置及びハンドとから成り、前記ピッチ変換装
   置は、支持体に直動自在に支持される多数の支持部材を
   、互いに離間して配列し、前記支持部材に夫々前記ウェ
   ハを保持するハンドを結合し、前記支持部材間を二等辺
   三角形状、または、平行四辺形状で構成したリンク部材
   で結合し、前記リンク部材を変位させ、前記支持部材の
   ピッチを変化させる駆動手段を備えたことを特徴とする
   ウェハ移し換え装置のピッチ変換装置。