JPH05315373A - 薄板フレームの搬送及び位置決め方法、並びにその装置 - Google Patents

薄板フレームの搬送及び位置決め方法、並びにその装置

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JPH05315373A
JPH05315373A JP4114704A JP11470492A JPH05315373A JP H05315373 A JPH05315373 A JP H05315373A JP 4114704 A JP4114704 A JP 4114704A JP 11470492 A JP11470492 A JP 11470492A JP H05315373 A JPH05315373 A JP H05315373A
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plate frame
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秀二 青木
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英孝 山崎
Kazuhisa Hiroshige
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H05K13/0417Feeding with belts or tapes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/0061Tools for holding the circuit boards during processing; handling transport of printed circuit boards

Abstract

(57)【要約】 【目的】 異なる寸法を有する複数種類の薄板フレーム
の搬送及び位置決めを効率よく行う。 【構成】 供給されるリードフレーム1の短手方向Xの
幅に応じて下案内レール301a、301bの位置を幅
決め装置400によって変更、調整することができる。
搬送装置600、係止装置500はリードフレーム1の
長手方向の幅に応じて、それぞれ搬送方向Yへの搬送距
離、及び係止位置を調整。変更することができる。 【効果】 薄板フレームの様々な寸法に応じた搬送及び
位置決めが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体装置の
製造工程において、樹脂封止された半導体装置を有した
リードフレームを1の工程から他の1の工程へ移送する
際に使用される、薄板フレームの搬送及び位置決めの技
術に関する。
【0002】
【従来の技術】<従来の装置の構成>半導体装置の製造
工程において、リードフレームに載置された半導体チッ
プを樹脂で封止する工程と、後続するリードフレームを
成型する工程とがある。これら2つの工程の間におい
て、前記リードフレームを前者の工程から後者の工程へ
と搬送すると同時に、所定の位置に位置決めする必要が
ある。図13及び図14はそれぞれ、この目的に使用さ
れる従来の薄板フレームの搬送及び位置決め装置の平面
図及び正面図である。
【0003】図において、所定の幅及び長さを有するリ
ードフレーム1が薄板フレームの搬送及び位置決め装置
2に設けられた下レール21に載荷される。リードフレ
ーム1には樹脂封止が終了した半導体装置1aが組み込
まれている。下レール21にはガイド棒21aが固定的
に取り付けられている。1対の上レール22a、22b
が、ガイド棒21aに摺動自在に支持され、水平の1方
向であるリードフレーム1の短手方向Xに可動である。
下レール21の上には1対の固定上レール23a、23
bが上レール22a、22bに隣接して設けられてい
る。互いに最接近した状態(閉状態)における1対の上
レール22a、22bと下レール21の間に、リードフ
レーム1を案内するための隙間である案内空間24が形
成される。同様の案内空間24は1対の固定上レール2
3a、23bと下レール21の間にも形成されている。
【0004】装置2には1対の駆動装置25が設けられ
ており、これは各々1対の上レール22a、22bを短
手方向Xに駆動し、これらを必要に応じて互いに離隔し
た状態(開状態)又は閉状態にする。装置2は更に、案
内空間24内にその端部が収納されているリードフレー
ム1を、水平方向の他の1方向であってリードフレーム
1の長手方向の1である搬送方向Y(図中の片方向矢
印)に所定の距離をもって搬送する搬送具26、搬送具
26を駆動する駆動装置27、搬送されるリードフレー
ム1を所定の位置で係止するストッパー28、及びスト
ッパー28を上方向及び下方向に駆動する駆動装置29
を備えている。
【0005】<従来の装置の動作>従来の装置2は以下
のように動作する。まず駆動装置25が作動して、1対
の上レール22a、22bが、ガイド棒21aに案内さ
れて短手方向Xに沿って、互いに離隔する方向(開方
向)に摺動して、開状態となる。次に、供給装置(図示
しない)の働きで、リードフレーム1が下レール21の
上方向の宙空より下レール21の上に載荷される。その
後、上レール22a、22bは、短手方向Xに沿って互
いに接近する方向(閉方向)に摺動し、閉状態となる。
このとき、上レール22a、22bは下レール21とと
もに案内空間24を形成し、その中にリードフレーム1
の幅方向における両端部が保持される。
【0006】つづいて、駆動装置27に駆動される搬送
具26により、リードフレーム1が搬送方向Yに向かっ
て所定の距離をもって搬送される。上方向に位置したス
トッパー28により、リードフレーム1は所定の位置で
係止される。このときリードフレーム1は、固定上レー
ル23a、23bと下レール21の間にも同じく形成さ
れている案内空間24に、その幅方向の両端部が保持さ
れることにより、短手方向Xの位置が定まり、同時にス
トッパー28に係止されることにより、長手方向の位置
が定まる。このように、リードフレーム1が所定の位置
に位置決めされて後、リードフレーム1は移送装置(図
示しない)により保持され、ストッパー28は駆動装置
29の作動により下降し、リードフレーム1の係止状態
は解除される。リードフレーム1が前記移送装置により
次の製造工程へと移送された後、ストッパー28は上昇
して再び元の上方向に位置し、更に搬送具26も元の位
置に復帰する。以上の工程を反復することにより、複数
のリードフレーム1の搬送及び位置決めが実行される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】<従来の装置の問題点
>従来の装置2においては、下レール21は一定の位置
に固定されたものであり、ストッパー28の搬送方向Y
方向の移動距離も一定である。このため、様々の寸法を
有するリードフレーム1を搬送及び位置決めする場合に
は、1つの装置2のみでは対応できず、寸法に応じた個
々の装置を用意する必要がある。すなわち、従来の装置
2では、複数種類のリードフレーム1を搬送及び位置決
めする場合には、作業性、経済性が阻害されるという問
題点があった。リードフレーム1の種類が多く、かつ各
種類に属するリードフレーム1の個数が少数である、い
わゆる多品種少量生産の現場においてはこの問題は特に
顕著である。
【0008】また装置2では、上レール22a、22b
は短手方向Xに摺動するので、リードフレーム1が短手
方向Xの端部が案内空間24に納まりきれないほどの変
形が当該端部に生じている場合には、上レール22a、
22bが閉方向に摺動するときに、当該変形部と上レー
ル22a、22bとが干渉して、リードフレーム1を損
傷するという問題点があった。
【0009】<この発明の目的>この発明は上記のよう
な問題点を解消するためになされたもので、第1に複数
種類の寸法を有するリードフレームなどの薄板フレーム
の搬送及び位置決めができる薄板フレームの搬送及び位
置決め技術を提供することを目的とする。
【0010】この発明は第2に、案内空間に納まりきれ
ないほどの薄板フレームの変形があっても、当該薄板フ
レームを損傷することなく搬送及び位置決めできる薄板
フレームの搬送及び位置決め技術を提供することを目的
とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の薄板フ
レームの搬送及び位置決め方法は、実質的に平板形状の
薄板フレームを、当該薄板フレームの主面内の第1の軸
の方向に、所定の距離だけ搬送し、かつ所定の位置に保
持する、薄板フレームの搬送及び位置決め方法であっ
て、(a)前記第1の軸の方向に摺動自在に、前記薄板
フレームを支持する案内工程と、(b)前記第1の軸に
垂直で前記主面内の第2の軸方向の前記薄板フレームの
第1の幅に対応して、前記工程(a)で前記薄板フレー
ムを支持する位置を、前記第2の方向に調整する幅決め
工程と、(c)前記第1の方向の前記薄板フレームの第
2の幅に対応して、所定の距離だけ前記薄板フレームを
前記第1の方向へ搬送する搬送工程と、(d)前記第2
の幅に対応して、所定の位置に前記薄板フレームを係止
する係止工程と、を備えるものである。
【0012】請求項2に記載の薄板フレームの搬送及び
位置決め方法は、請求項1に記載の薄板フレームの搬送
及び位置決め方法において、前記案内工程(a)が、
(a−1)前記第2の軸の方向に存在する前記薄板フレ
ームの端部ないし当該端部近傍における前記薄板フレー
ムの第1の主面を前記第1の方向に案内する工程と、
(a−2)前記端部ないし当該端部近傍における前記薄
板フレームの第2の主面を前記第1の方向に案内する工
程と、(a−3)前記端部における前記薄板フレームの
縁面を前記第1の方向に案内する工程と、を備えるもの
である。
【0013】請求項3に記載の薄板フレームの搬送及び
位置決め方法は、請求項2に記載の薄板フレームの搬送
及び位置決め方法において、前記工程(a−1)が、
(a−1−1)以下の手段(a−1−1−1)及び(a
−1−1−2)を準備する工程と、(a−1−2)前記
手段(a−1−1−1)を前記第1の主面に略対向する
方向から接近させる工程と、(a−1−3)前記手段
(a−1−1−1)を用いて、前記薄板フレームの前記
第1の主面を前記第1の方向に案内する工程と、(a−
1−4)前記手段(a−1−1−2)を用いて、前記薄
板フレームの前記第1の主面を前記第1の方向に案内す
る工程と、を備えるものである。ここで、手段(a−1
−1−1)及び(a−1−1−2)は、(a−1−1−
1)前記端部ないし当該端部近傍における前記薄板フレ
ームの前記第1の主面を前記第1の方向に案内する第1
の手段、及び(a−1−1−2)前記手段(a−1−1
−1)に対して前記第1の方向に隣接して設けられ、前
記端部ないし当該端部近傍における前記薄板フレームの
前記第1の主面を前記第1の方向に案内する第2の手
段、である。
【0014】請求項4に記載の薄板フレームの搬送及び
位置決め方法は、請求項3に記載の薄板フレームの搬送
及び位置決め方法において、前記工程(a)が、前記工
程(a−1)に先だって、(a−5)前記工程(a−
2)を実施する位置へ前記薄板フレームを案内する工
程、を更に備えるものである。
【0015】請求項5に記載の薄板フレームの搬送及び
位置決め方法は、請求項1に記載の薄板フレームの搬送
及び位置決め方法において、(e)以下の工程(e−
1)〜(e−3)を有する制御工程、を更に備え、ここ
で、前記工程(e−1)〜(e−3)は、(e−1)前
記薄板フレームの前記第1の幅に基づいて、前記工程
(a)で前記薄板フレームを支持する位置を演算し、そ
の結果に対応する第1の信号を送出する工程、(e−
2)前記薄板フレームの前記第2の幅に基づいて、前記
薄板フレームを前記第1の方向へ搬送する距離を演算
し、その結果に対応する第2の信号を送出する工程、及
び(e−3)前記薄板フレームの前記第2の幅に基づい
て、前記薄板フレームを係止する位置を算出し、その結
果に対応する第3の信号を送出する工程、であり、前記
工程(b)が、(b−1)前記第1の信号に応答して、
前記工程(a)において前記薄板フレームを支持する位
置を、前記第2の方向に調整する工程、を備え、前記工
程(c)が、(c−1)前記第2の信号に応答して、所
定の距離だけ前記薄板フレームを前記第1の方向へ搬送
する工程、を備え、前記工程(d)が、(d−1)前記
第2の信号に応答して、所定の位置に前記薄板フレーム
を係止する工程、を備えるものである。
【0016】請求項6〜請求項9に記載の薄板フレーム
の搬送及び位置決め装置は、それぞれ請求項1〜請求項
4に記載の薄板フレームの搬送及び位置決め方法を実施
するのに適した構成を備えたものである。
【0017】請求項10に記載の薄板フレームの搬送及
び位置決め装置は、請求項8に記載の薄板フレームの搬
送及び位置決め装置において、前記手段(a−1−2)
が、(a−1−2−1)前記薄板フレームに摩擦力を付
加することにより、当該薄板フレームを静止状態に保持
する手段、を備えるものである。
【0018】請求項11に記載の薄板フレームの搬送及
び位置決め装置は、請求項5に記載の薄板フレームの搬
送及び位置決め方法を実施するのに適した構成を備えた
ものである。
【0019】
【作用】この発明における薄板フレームの搬送及び位置
決め技術では、薄板フレームを摺動自在に支持する位置
を調節することができ、更に薄板フレームを搬送する距
離、及び薄板フレームを係止する位置を調節することが
できるために、様々な幅を有する薄板フレームを任意に
搬送及び位置決めすることができる(請求項1〜1
1)。
【0020】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの端部ないしその近傍
を支持して搬送時の案内をする。このため、薄板フレー
ムが例えばリードフレームであって、その中心部近傍に
樹脂封止を行った半導体装置などを有していても、薄板
フレームを案内することができる(請求項2、請求項
7)。
【0021】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの第1の主面を案内す
る手段が、まず当該第1の主面に対向する方向から接近
した後に当該第1の主面を案内する。このため、案内空
間に納まりきれないほどの薄板フレームの変形があって
も、当該薄板フレームを損傷することなく搬送及び位置
決めすることができる(請求項3、請求項8)。
【0022】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、第2の主面を案内する所定の位置へ
薄板フレームを設置する際に薄板フレームを案内手段の
所定の位置へ案内する。このため、薄板フレームが正し
く所定の位置へ設置される(請求項4、請求項9)。
【0023】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの幅に応じて薄板フレ
ームを支持する位置、搬送する距離、係止する位置を算
出し、これに基づいて、薄板フレームを支持し、搬送
し、係止する。このため、さまざまの幅を有する薄板フ
レームを、より適切に搬送及び位置決めすることができ
る(請求項5、請求項11)。
【0024】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームが搬送された後、摩擦
力により静止状態を保つので、搬送後に直ちに搬送手段
を元の状態に復帰させることができる。このため、搬送
後の薄板フレームを案内手段に残したまま、次の新たな
薄板フレームの搬送を実行することができる(請求項1
0)。
【0025】
【実施例】[実施例1.] <装置100とシステム800の全体構成>図1はこの
発明の一実施例における薄板フレームの搬送及び位置決
め装置100の全体斜視図である。装置100は、基台
200、案内レール300、案内レール300(案内手
段)の幅決めを行う幅決め装置400(幅決め手段)、
リードフレーム1を任意の位置で係止する係止装置50
0(係止手段)、及びリードフレーム1を任意の搬送距
離で搬送する搬送装置600(搬送装置)を備えてい
る。装置100を主要部として制御装置700を更に備
えることにより、薄板フレームの搬送及び位置決めシス
テム800が構成される。
【0026】<案内レール300の構成>図2は、装置
100の部分正面図であり、特に案内レール300及び
幅決め装置400の構成を図示する。図3は案内レール
300の主要部の分解斜視図である。以下において、図
1ないし図3を用いて案内レール300の構成を説明す
る。
【0027】案内レール300は、半導体装置1aを組
み込んだリードフレーム1を、その上面に載荷し案内す
る1対の下案内レール301a、301bを備えてい
る。リードフレーム1は略矩形であり、かつ主面1b
(第1の主面)及び主面1c(第2の主面)を有する平
板形状である。下案内レール301a、301bは、そ
の上面において、リードフレーム1の短手方向X(第2
の軸の方向)の端部1d付近における主面1cを摺動自
在に案内する。これら下案内レール301a、301b
には、各々2対の保持具302a、302bが固定的に
連結されている。保持具302a、302bは基台20
0の上面に固定されたガイドレール303により、水平
の1方向Xに摺動自在に支持される。下案内レール30
1a、301bの上面には、対の各1の間の間隔が上部
におけるほど広くなっている2対の傾斜状突起304
a、304bが設けられている。傾斜状突起304a、
304bは、リードフレーム1を供給する過程におい
て、リードフレーム1を下案内レール301a、301
bの所定の位置へ案内する。
【0028】案内レール300は更に、1対の上案内レ
ール310a、310bを備えている。上案内レール3
10a、310bは、回転支点311a、311bを介
して、下案内レール301a、301bに回転自在に支
持されている。保持具302a、302bの上面には1
対の駆動装置312a、312bが固定的に取り付けら
れている。駆動装置312a、312bは溝を有する伝
達具313a、313bを短手方向Xに駆動する。伝達
具313a、313bの溝には、上案内レール310
a、310bの下端付近に回転自在に取り付けられたロ
ーラ314a、314bが、僅かの隙間を保って挿入さ
れている。駆動装置312a、312bによって伝達具
313a、313bが短手方向Xに駆動されることによ
り、上案内レール310a、310bが回転支点311
a、311bを支点として回動する。
【0029】上案内レール310a、310bが閉じた
状態(閉状態)、すなわち上案内レール310a、31
0bの先端部310c、310dが、下案内レール30
1a、301bの上端面に最接近した状態において、先
端部310c、310dと下案内レール301a、30
1bの上端部との間に案内空間30が形成される。この
とき、上案内レール310a、310bはリードフレー
ム1の端部1dにおける縁面1e及び端部1d付近の主
面1bを摺動自在に案内する。案内空間30はリードフ
レーム1の端部1dを、ある程度の隙間を残して収納す
る。このため、リードフレーム1は短手方向X方向の所
定の位置に支持されるとともに、下案内レール301
a、301b、上案内レール310a、310bに沿っ
てリードフレーム1の長手方向(第1の軸の方向)であ
る搬送方向Yに摺動が可能である。
【0030】上案内レール310a、310bは、先端
部310c、310dが下案内レール301a、301
bから最も遠い位置にある開状態と前記閉状態の間で回
動する。
【0031】下案内レール301a、301bの上面に
は、上案内レール310a、310bに隣接して上固定
案内レール315a、315bが設けられている。図4
は上案内レール310aと、その上面に設置された上固
定案内レール315aの正面断面図である。上固定案内
レール315aと下案内レール301aの間には、上案
内レール310a、310bと下案内レール301a、
301bの間に形成される案内空間30と同一形状の案
内空間30aが形成される。上固定案内レール315b
と下案内レール301bの間においても同様である。こ
のため、案内空間30の中に端部1dを収納されたリー
ドフレーム1は、搬送の過程で同じ形状の案内空間30
aの中に円滑に移動する。案内空間30aのために、リ
ードフレーム1は短手方向X方向の所定の位置を保持し
つつ、下案内レール301a、301bと上固定案内レ
ール315a、315bに沿って搬送方向Yに摺動が可
能である。
【0032】下案内レール301a、301b、上案内
レール310a、310b、及び上固定案内レール31
5a、315bは、上述のようにリードフレーム1の端
部1dを支持する。このため、案内レール300はリー
ドフレーム1の中央付近に半導体装置1aが組み込まれ
ていてもリードフレーム1を支持することができる。
【0033】基台200の上面には1対のレール駆動モ
ータ316a、316bが設置されている。これらのレ
ール駆動モータ316a、316bは下案内レール30
1a、301bを駆動して短手方向Xに移動させる。
【0034】<幅決め装置400の構成>図5は幅決め
装置400の斜視図である。以下に、図1、図2、及び
図5を用いて、幅決め装置400の構成を説明する。幅
決め装置400は案内レール300の幅、すなわち1対
の対向した下案内レール301a、301bの間の間隔
を、リードフレーム1の短手方向Xの幅(第1の幅)に
応じて調整する装置である。案内レール300の幅は、
案内レール300がリードフレーム1を支持する位置に
対応する。
【0035】幅決め装置400は、カム(多面体ブロッ
ク)401a、401bを備えている。カム401a、
401bは対称軸の周りに点対称をなす2次元図形を底
面とする2種類の柱体を、その対称軸が互いに一致する
ように2段に固定的に重ね合わせたものである。各柱体
は方向によって異なる複数の直径を有する。
【0036】幅決め装置400は更にモータ402を備
えている。モータ402の回転運動はカップリング40
3及び駆動軸404を介してカム401aに伝達され
る。駆動軸404はカム401aの対称軸に沿ってカム
401aに取り付け固定されている。一方カム401b
には、その対称軸に沿って従動軸405が固定的に取り
付けられている。駆動軸404は保持具406により回
転自在かつ垂直方向には固定的に支持され、これにより
カム401aの垂直方向の位置が一定に保たれる。同様
に保持具407により従動軸405が回転自在かつ垂直
方向には固定的に支持され、これによりカム401bの
垂直方向の位置が一定に保たれる。駆動軸404及び従
動軸405にはそれぞれプーリ408a、408bが固
定的に取り付けられている。プーリ408a、408b
には伝達ベルト409が掛け渡されている。モータ40
2の回転運動は、駆動軸404、プーリ408a、伝達
ベルト409、プーリ408b、及び従動軸405を順
に介してカム401bにも伝達され、その結果2つのカ
ム401a、401bは互いに同一の姿勢を保ちつつ同
期して回転する。
【0037】カム401a、401bがその回転位置と
鉛直方向の位置とを変えることにより、これらカム40
1a、401bを間に挟む1対の下案内レール301
a、301bの相互の間の間隔を様々に設定することが
できる。
【0038】駆動軸404には、円盤形状であってその
外縁付近にマーキングが施された検出体410が固定的
に取り付けられており、一方ロータリーエンコーダなど
の回転検出器411が保持具406に設置されている。
回転検出器411は検出体410のマーキングを読み取
ることにより、カム401a、401bの回転方向の位
置を検出する。
【0039】基台200の底面に取り付けられたブロッ
ク412には、保持具406を鉛直方向に駆動する駆動
装置413、及び保持具406の鉛直方向の位置を検出
する位置検出器413aが設けられている。位置検出器
413aには、例えばリードスイッチを用いる。保持具
406の鉛直方向の動きは、基台200の底面に固定的
に取り付けられ、保持具406を摺動自在に支持する2
個の案内具414によって案内される。
【0040】<係止装置500の構成>図6は係止装置
500の斜視図である。以下において、図1及び図6を
用いて係止装置500の構成について説明する。係止装
置500は、リードフレーム1の長手方向の幅(第2の
幅)に応じて、搬送方向Yの所定の位置に、リードフレ
ーム1を係止する装置である。
【0041】係止装置500は、リードフレーム1の搬
送方向Yの縁面に触れることによりリードフレーム1を
係止するストッパー501を備えている。ストッパー5
01は取付けアーム502の一端に固定的に取り付けら
れており、取付けアーム502の他の一端にはローラ5
02aが回転自在に取り付けられている。案内ロッド5
03は取付けアーム502を搬送方向Y及びその逆方向
Yaに摺動自在に支持すると同時にシャフト503の軸
周りの回転方向には固定的に支持する。すなわち、取付
けアーム502は、シャフト503の回転にともなって
シャフト503と一体となって回転するとともに、シャ
フト503の軸方向には自在に摺動する。取付けアーム
502の回転にともなってストッパー501が上昇又は
下降する。
【0042】僅かの隙間を保ってローラ502aが挿入
される溝を有する移動ブロック504は、雄ネジを有す
るネジ軸505に螺合して支持され、ネジ軸505の回
転に伴って搬送方向Y又は逆方向Yaに移動する。移動
ブロック504の移動に伴って、取付けアーム502が
シャフト503に案内されつつ同様に移動する。ローラ
502aと移動ブロック504の間に存在する僅かの隙
間のために、取付けアーム502の回転の際にはローラ
502aが移動ブロック504の溝の面上を転がるの
で、移動ブロック504は取付けアーム502の回転運
動を妨げない。プーリ506a、506b、及び伝達ベ
ルト507を介して、モータ508の回転運動がネジ軸
505に伝達される。
【0043】シャフト503の一端にはアーム509が
固定的に設けられ、更にアーム509の先端にはローラ
509aが回転自在に取り付けられている。僅かの隙間
を保ってローラ509aを挿入する溝を有した伝達ブロ
ック510は、ロッド510aを介して駆動装置511
に連接しており、当該駆動装置511の働きで短手方向
Xに移動する。ロッド510aは案内ブロック510b
に摺動自在に支持され、伝達ブロック510の短手方向
X方向への移動が案内される。
【0044】基板512は係止装置500全体の支持台
であり、基台200の上面に固定的に設置される。基板
512には板状の支持板512a、512bが垂直に固
定的に設けられており、シャフト503、及びネジ軸5
05はこれらの支持板512a、512bに回転自在に
支持されている。モータ508は支持板512aに固定
的に設置されている。駆動装置511及び案内ブロック
510bは基板512の上面に固定的に支持されてい
る。
【0045】<搬送装置600の構成>図7は装置10
0の部分正面図である。以下において、図1と図7を用
いて搬送装置600の構成を説明する。搬送装置600
は、案内レール300の案内空間30、30aに保持さ
れたリードフレーム1を、第2の幅に応じた所定の距離
をもって搬送方向Yに搬送する装置である。
【0046】搬送装置600はリードフレーム1を搬送
方向Yに押し進める搬送具601を備えている。搬送具
601は雄ネジを有するネジ軸602に螺合する移動ブ
ロック601aと、移動ブロック601aに固定的に接
続され、その先端部がリードフレーム1に接触してこれ
を押し出すアーム601bとを有している。ネジ軸60
2は、基台200に立設されている支持板602aと支
持板602bに回転自在に支持される。支持板602a
と602bの間にはネジ軸602と平行に案内軸603
が架け渡されており、移動ブロック601aは当該案内
軸603に摺動自在に支持されている。このため、ネジ
軸602が回転することにより、搬送具601は回転す
ることなく一定の姿勢を保ったまま搬送方向Y又は逆方
向Yaへ平行移動する。ネジ軸602の一端には従動プ
ーリ604aが取り付けられており、基台200に設置
された搬送駆動モータ605の回転が駆動プーリ604
b、ベルト606、及び従動プーリ604aを介してネ
ジ軸602に伝達される。
【0047】なお図1は、ネジ軸602と案内軸603
について、便宜上その一部を切断して図示している。
【0048】<装置100とシステム800の動作>装
置100とシステム800は以下の工程に沿って動作す
る。制御装置700は、マイクロコンピュータ及び記憶
回路を内蔵した回路で構成され、先産対象に関する情報
(生産情報)を記憶しており、この生産情報の中には、
リードフレーム1の長手方向及び短手方向の幅に関する
情報が含まれる。
【0049】{第1工程}制御装置700は、まずレー
ル駆動モータ316a、316bへ所定の制御信号を送
出する。レール駆動モータ316a、316bはこの信
号に基づいて動作し、1対の下案内レール301a、3
01bを互いから後退する方向に移動させ、これら同士
の間隔を十分に広げる。
【0050】{第2工程}つぎに、制御装置700はリ
ードフレーム1の短手方向Xの幅に相応した1対の上案
内レール310a、310b同士の間隔を算出し、この
算出値に対応する制御信号をモータ402及び駆動装置
413に送出する。これらのモータ402及び駆動装置
413は、この信号に応答して動作し、カム401a、
401bの鉛直方向の位置、及び回転方向の位置を設定
する。所定の位置に設定されているかどうかは、回転検
出器411及び位置検出器413aによって検知され、
その検出信号は制御装置700にフィードバックされ
る。制御装置700は検出信号が所定の位置に対応する
信号に一致するようにモータ402及び駆動装置413
に制御信号を送出する。
【0051】{第3工程}つぎに、制御装置700はレ
ール駆動モータ316a、316bへ所定の制御信号を
送出する。レール駆動モータ316a、316bは、こ
れに応答して動作し、1対の下案内レール301a、3
01bを相互に接近する方向へ移動させ、これらの相互
に対向する鉛直面をカム401a、401bの外周面に
押し当てる。このことにより、1対の下案内レール30
1a、301bの相互の間隔が、リードフレーム1の短
手方向の幅に対応した大きさに設定される。図8は案内
レール300の部分正面図であり、一例としてカム40
1a、401bの上の段の外周面に下案内レール301
bの鉛直面が押し当てられている様子を模式的に描いて
いる。
【0052】{第4工程}つぎに、制御装置700はリ
ードフレーム1の長手方向の幅に関する情報をもとに、
搬送距離を算出し、更にこれに対応したリードフレーム
1の係止位置を算出する。算出された係止位置に対応す
る制御信号をモータ508へ送出する。モータ508は
この制御信号に応答して所定の回転方向、及び所定の回
転量で回転する。この回転に伴って移動ブロック504
が所定の距離をもって移動することにより、ストッパー
501が係止位置に設定される。ストッパー501の鉛
直方向の位置は、上昇した位置に保持されている。
【0053】{第5工程}つぎに、制御装置700は所
定の信号を駆動装置312a、312bへ送出する。駆
動装置312a、312bは、この制御信号に基づいて
伝達具313a、313bを押し出す。その結果、上案
内レール310a、310bが回転支点311a、31
1bを支点として回動して開状態となる。
【0054】{第6工程}装置100が、この状態にあ
るときに、装置100の外部に用意されるロボット等の
供給装置SPを用いることにより、リードフレーム1が
下案内レール301a、301bの上方空間から略水平
の姿勢を保って落下され、下案内レール301a、30
1bの上面に載置される。リードフレーム1は、落下の
過程でローラ314a、314bに案内されることによ
り、下案内レール301a、301bの上面の所定の位
置に納まる。
【0055】{第7工程}つぎに、制御装置700は所
定の信号を駆動装置312a、312bへ送出する。駆
動装置312a、312bは、この制御信号に基づいて
伝達具313a、313bを引き込む。その結果、上案
内レール310a、310bが回転支点311a、31
1bを支点として回動して閉状態となる。このため、リ
ードフレーム1は短手方向X方向の所定の位置に保持さ
れるとともに、下案内レール301a、301b、上案
内レール310a、310bに沿って摺動が可能であ
る。
【0056】{第8工程}つぎに制御装置700は、先
に算出した搬送距離に対応する制御信号を搬送駆動モー
タ605へ送出する。搬送駆動モータ605は、この制
御信号に応答して、所定の回転方向、及び所定の回転量
で回転する。この回転に伴って搬送具601が搬送方向
Yに所定の距離だけ移動する。このとき、案内空間30
a及び隣接する案内空間30aに案内されつつ、アーム
601bの先端部によって押し出されることにより、リ
ードフレーム1が搬送方向Yに所定の距離だけ搬送され
る。搬送は、リードフレーム1の搬送方向Y方向の縁面
がストッパー501に略接触する位置で終了する。この
とき、リードフレーム1の短手方向Xの両方の端部1d
は、案内空間30を離れて隣接する案内空間30aに収
納されている。この状態において、リードフレーム1
は、短手方向には上固定案内レール315a、315b
で所定の間隙をもって拘束され、鉛直方向には下案内レ
ール301a、301bと上固定案内レール315a、
315bとで所定の間隙をもって拘束され、長手方向に
はストッパー501と搬送具601とにより拘束されて
いる。これによりリードフレーム1は、所定の位置に位
置決めされた状態で保持される。
【0057】図9は、この状態におけるリードフレーム
1と、これを支持する上固定案内レール315a、31
5bの部分平面図である。上固定案内レール315a、
315bには、搬送方向Yの端部からある長さのスリッ
ト317a、317bが設けられている。リードフレー
ム1の短手方向X方向の両方の縁の近傍には所定の間隔
をもって孔1fが設けられている。リードフレーム1の
搬送方向Yの端部付近において孔1fの一部は、スリッ
ト317a、317bによって上固定案内レール315
a、315bから露出している。
【0058】{第9工程}つづいて、リードフレーム1
の成型工程を実施する装置が有する移送装置(図示を略
する)が所定の位置に移動し、移送装置に備わる突起
(図示を略する)が前記の露出した孔1bに係合する。
【0059】{第10工程}その後、制御装置700は
駆動装置511に所定の制御信号を送出する。駆動装置
511が当該制御信号に応答して所定の方向へ回転する
ことにより、ストッパー501が下降し、リードフレー
ム1はストッパー501による係止状態から解放され
る。つぎに、上述の移送装置が搬送方向Y方向に移動す
ることにより、リードフレーム1が案内レール300を
離れて、後続の成型工程へと移送される。
【0060】{第11工程}リードフレーム1が案内レ
ール300の外部に搬出されると、制御装置700は所
定の制御信号を駆動装置511へ送出する。駆動装置5
11が、この制御信号に応答して所定の方向に回転する
ことにより、ストッパー501が上昇し、新たなリード
フレーム1を係止し得る位置に復帰する。
【0061】{第12工程}つづいて、制御装置700
が所定の制御信号を搬送駆動モータ605へ送出する。
搬送駆動モータ605は、この制御信号に応答して所定
の方向に所定の量だけ回転する。これにより搬送具60
1が、搬送を実行する前の所定の位置に復帰する。
【0062】{第13工程}つづいて供給されるリード
フレーム1が、前回に搬送及び位置決めしたリードフレ
ーム1と同一種類のものであれば、上記の工程4から以
下を反復する。つづいて供給されるリードフレーム1
が、前回に搬送及び位置決めしたリードフレーム1と寸
法が異なる別種類のものであれば、上記の工程1から以
下を反復する。
【0063】<装置100、システム800の利点>こ
の実施例の装置100、システム800では、1対の下
案内レール301a、301bの相互の間隔が可変であ
る。このため短手方向の幅が異なる多様なリードフレー
ム1の取扱が可能である。更に、ストッパー501の位
置及び搬送具601による搬送の距離が可変である。こ
のため、長手方向の幅が異なる多様なリードフレーム1
の取扱が可能である。すなわち、この実施例の装置を用
いると、短手方向、長手方向のいずれにも一般に異なる
寸法を有する多様なリードフレーム1に対応して処理を
行うことができる。
【0064】また、案内レール300において、上案内
レール310a、310bが開閉する機構を備えてお
り、上案内レール310a、310bはリードフレーム
1の端部1dを抑える際にリードフレーム1の面に略垂
直な方向に沿って接近する。このため、案内空間30に
納まりきれないほどの変形がリードフレーム1にあって
も、リードフレーム1を損傷することなく、リードフレ
ーム1の端部1dを案内空間30に収納することができ
る。
【0065】[実施例2.]リードフレーム1を適当な
圧力をもって抑える押え具を、上固定案内レール315
a、315bに設けてもよい。図10は、この第2の実
施例の装置の部分側面断面図であり、図11は部分正面
断面図である。押え具90が、ネジ91によって上固定
案内レール315a、315bに取り付けられている。
押え具90は弾性に優れた、例えば燐青銅の板を曲げ加
工することにより得られる。上固定案内レール315
a、315bには孔92が設けられており、押え具90
はこの孔92を貫通して、上案内レール310a、31
0bの上面に、適度な強さの圧力を及ぼしつつ接触して
いる。このため、リードフレーム1が上固定案内レール
315a、315bの下へ搬送されると、リードフレー
ム1は押え具90の下にもぐり込む形になる(図1
0)。その結果、押え具90がリードフレーム1に適度
な圧力を及ぼして適度な摩擦力を生じることにより、搬
送具601等の拘束手段が解放されてもリードフレーム
1はその位置を安定に保持する。
【0066】したがって、この第2の実施例の装置で
は、上述の第8工程終了後、直ちに第12工程を実行す
ることができる。このため、第12工程から反復後の第
7工程までを、第9工程〜第11工程と同時に並行して
実行し得る。その結果、この実施例の装置では、従来の
装置に比べて更に高い作業効率で、処理を実行すること
ができる。
【0067】[実施例3.]カム401a、401bは
図5に示すような多面体を2段に積み重ねた構造の代わ
りに、1段のみの構造、あるいは図12に案内レール3
00の部分正面図を示すように3段以上に積み重ねた構
造であってもよい。製造工程における必要性に相応して
これらの中から選択すればよい。
【0068】[実施例4.]以上の実施例の装置では、
上案内レール310a、310bが回転支点311a、
311bを軸として回動する構成であった。上案内レー
ル310a、310bは、リードフレーム1の略鉛直上
方から下降してリードフレーム1の縁を保持する機構で
あれば、他の構成であってもよい。例えば、鉛直方向或
は鉛直方向に近い斜め方向からリードフレーム1の縁に
接近する機構であってもよい。このような構成において
も、実施例1と同様に、案内空間30に納まりきれない
ほどの変形がリードフレーム1にあっても、リードフレ
ーム1を損傷することなく、リードフレーム1の縁を案
内空間30に収納することができる。
【0069】
【発明の効果】この発明における薄板フレームの搬送及
び位置決め技術では、薄板フレームを摺動自在に支持す
る位置を調節することができ、更に薄板フレームを搬送
する距離、及び薄板フレームを係止する位置を調節する
ことができるために、様々な幅を有する薄板フレーム
を、任意に搬送及び位置決めすることができる(請求項
1〜10)。
【0070】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの端部ないしその近傍
を支持して搬送時の案内をする。このため、薄板フレー
ムが例えばリードフレームであって、その中心部近傍に
樹脂封止を行った半導体装置などを有していても、薄板
フレームを案内することができる(請求項2、請求項
7)。
【0071】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの第1の主面を案内す
る手段が、まず当該第1の主面に対向する方向から接近
した後に当該第1の主面を案内する。このため、案内空
間に納まりきれないほどの薄板フレームの変形があって
も、当該薄板フレームを損傷することなく搬送及び位置
決めすることができる(請求項3、請求項8)。
【0072】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、第2の主面を案内する所定の位置へ
薄板フレームを設置する際に薄板フレームを案内手段の
所定の位置へ案内する。このため、薄板フレームが正し
く所定の位置へ設置される(請求項4、請求項9)。
【0073】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの幅に応じて薄板フレ
ームを支持する位置、搬送する距離、係止する位置を算
出し、これに基づいて、薄板フレームを支持し、搬送
し、係止する。このため、さまざまの幅を有する薄板フ
レームを、より適切に搬送及び位置決めすることができ
る(請求項5、請求項10)。
【0074】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームが搬送された後、摩擦
力により静止状態を保つので、搬送後に直ちに搬送手段
を元の状態に復帰させることができる。このため、搬送
後の薄板フレームを案内手段に残したまま、次の新たな
薄板フレームの搬送を実行することができるので、効率
の良い搬送及び位置決めが可能である(請求項10)。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例における薄板フレームの搬
送及び位置決め装置の全体斜視図である。
【図2】この発明の一実施例における薄板フレームの搬
送及び位置決め装置の部分正面図である。
【図3】この発明の一実施例における案内レールの主要
部の分解斜視図である。
【図4】この発明の一実施例における上案内レールと、
上固定案内レールの正面断面図である。
【図5】この発明の一実施例における幅決め装置の斜視
図である。
【図6】この発明の一実施例における係止装置の斜視図
である。
【図7】この発明の一実施例における薄板フレームの搬
送及び位置決め装置の部分正面図である。
【図8】この発明の一実施例における案内レールの部分
正面図である。
【図9】この発明の一実施例におけるリードフレームと
上固定案内レールの部分平面図である。
【図10】この発明の第2の実施例における薄板フレー
ムの搬送及び位置決め装置の部分側面断面図である。
【図11】この発明の第2の実施例における薄板フレー
ムの搬送及び位置決め装置の部分正面断面図である。
【図12】この発明の第3の実施例における案内レール
の部分正面図である。
【図13】従来の薄板フレームの搬送及び位置決め装置
の平面図である。
【図14】従来の薄板フレームの搬送及び位置決め装置
の正面図である。
【符号の説明】
1 薄板フレーム 1b 主面(第1の主面) 1c 主面(第2の主面) 1d 端部 1e 縁面 X 短手方向(第2の軸の方向) Y 搬送方向(第1の軸の方向) 100 装置(薄板フレームの搬送及び位置決め装置) 300 案内レール(案内手段) 301a、301b 下案内レール 304a、304b 傾斜状突起 310a、310b 上案内レール 400 幅決め装置(幅決め手段) 401a、401b カム(多面体ブロック) 500 係止装置(係止手段) 501 ストッパー 600 搬送装置(搬送手段) 601 搬送具
【手続補正書】
【提出日】平成4年10月22日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0023
【補正方法】変更
【補正内容】
【0023】この発明における薄板フレームの搬送及び
位置決め技術では、薄板フレームの幅に応じて薄板フレ
ームを支持する位置、搬送する距離、係止する位置を算
出し、これに基づいて、薄板フレームを支持し、搬送
し、係止する。このため、さまざまの幅及び長さを有す
る薄板フレームを、より適切に搬送及び位置決めするこ
とができる(請求項5、請求項11)。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】
【実施例】[実施例1.] <装置100とシステム800の全体構成>図1はこの
発明の一実施例における薄板フレームの搬送及び位置決
め装置100の全体斜視図である。装置100は、基台
200、案内レール300、案内レール300(案内手
段)の幅決めを行う幅決め装置400(幅決め手段)、
リードフレーム1を任意の位置で係止する係止装置50
0(係止手段)、及びリードフレーム1を任意の搬送距
離で搬送する搬送装置600(搬送手段)を備えてい
る。装置100を主要部として制御装置700を更に備
えることにより、薄板フレームの搬送及び位置決めシス
テム800が構成される。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0031
【補正方法】変更
【補正内容】
【0031】下案内レール301a、301bの上面に
は、上案内レール310a、310bに隣接して上固定
案内レール315a、315bが設けられている。図4
案内レール301aと、その上面に設置された上固
定案内レール315aの正面断面図である。上固定案内
レール315aと下案内レール301aの間には、上案
内レール310a、310bと下案内レール301a、
301bの間に形成される案内空間30と同一形状の案
内空間30aが形成される。上固定案内レール315b
と下案内レール301bの間においても同様である。こ
のため、案内空間30の中に端部1dを収納されたリー
ドフレーム1は、搬送の過程で同じ形状の案内空間30
aの中に円滑に移動する。案内空間30aのために、リ
ードフレーム1は短手方向X方向の所定の位置を保持し
つつ、下案内レール301a、301bと上固定案内レ
ール315a、315bに沿って搬送方向Yに摺動が可
能である。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0033
【補正方法】変更
【補正内容】
【0033】基台200の上面には1対のレール駆動
316a、316bが設置されている。これらのレー
ル駆動装置316a、316bは下案内レール301
a、301bを駆動して短手方向Xに移動させる。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0049
【補正方法】変更
【補正内容】
【0049】{第1工程}制御装置700は、まずレー
ル駆動装置316a、316bへ所定の制御信号を送出
する。レール駆動装置316a、316bはこの信号に
基づいて動作し、1対の下案内レール301a、301
bを互いから後退する方向に移動させ、これら同士の間
隔を十分に広げる。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0051
【補正方法】変更
【補正内容】
【0051】{第3工程}つぎに、制御装置700はレ
ール駆動装置316a、316bへ所定の制御信号を送
出する。レール駆動装置316a、316bは、これに
応答して動作し、1対の下案内レール301a、301
bを相互に接近する方向へ移動させ、これらの相互に対
向する鉛直面をカム401a、401bの外周面に押し
当てる。このことにより、1対の下案内レール301
a、301bの相互の間隔が、リードフレーム1の短手
方向の幅に対応した大きさに設定される。図8は案内レ
ール300の部分正面図であり、一例としてカム401
a、401bの上の段の外周面に下案内レール301b
の鉛直面が押し当てられている様子を模式的に描いてい
る。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0054
【補正方法】変更
【補正内容】
【0054】{第6工程}装置100が、この状態にあ
るときに、装置100の外部に用意されるロボット等の
供給装置SPを用いることにより、リードフレーム1が
下案内レール301a、301bの上方空間から略水平
の姿勢を保って落下され、下案内レール301a、30
1bの上面に載置される。リードフレーム1は、落下の
過程で傾斜状突起304a、304bに案内されること
により、下案内レール301a、301bの上面の所定
の位置に納まる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0056
【補正方法】変更
【補正内容】
【0056】{第8工程}つぎに制御装置700は、先
に算出した搬送距離に対応する制御信号を搬送駆動モー
タ605へ送出する。搬送駆動モータ605は、この制
御信号に応答して、所定の回転方向、及び所定の回転量
で回転する。この回転に伴って搬送具601が搬送方向
Yに所定の距離だけ移動する。このとき、案内空間30
及び隣接する案内空間30aに案内されつつ、アーム6
01bの先端部によって押し出されることにより、リー
ドフレーム1が搬送方向Yに所定の距離だけ搬送され
る。搬送は、リードフレーム1の搬送方向Y方向の縁面
がストッパー501に略接触する位置で終了する。この
とき、リードフレーム1の短手方向Xの両方の端部1d
は、案内空間30を離れて隣接する案内空間30aに収
納されている。この状態において、リードフレーム1
は、短手方向には上固定案内レール315a、315b
で所定の間隙をもって拘束され、鉛直方向には下案内レ
ール301a、301bと上固定案内レール315a、
315bとで所定の間隙をもって拘束され、長手方向に
はストッパー501と搬送具601とにより拘束されて
いる。これによりリードフレーム1は、所定の位置に位
置決めされた状態で保持される。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0059
【補正方法】変更
【補正内容】
【0059】{第10工程}その後、制御装置700は
駆動装置511に所定の制御信号を送出する。駆動装置
511が当該制御信号に応答して所定の方向へ回転する
ことにより、ストッパー501が下降し、リードフレー
ム1はストッパー501による係止状態から解放され
る。つぎに、上述の移送装置が搬送方向Y方向に移動す
ることにより、リードフレーム1が案内レール300を
離れて、後続の成形工程へと移送される。
【手続補正10】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
【手続補正11】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図13
【補正方法】変更
【補正内容】
【図13】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣重 和寿 福岡市西区今宿東1丁目1番1号 三菱電 機エンジニアリング株式会社エル・エス・ アイ設計センター福岡支所内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 実質的に平板形状の薄板フレームを、当
    該薄板フレームの主面内の第1の軸の方向に、所定の距
    離だけ搬送し、かつ所定の位置に保持する、薄板フレー
    ムの搬送及び位置決め方法であって、 (a)前記第1の軸の方向に摺動自在に、前記薄板フレ
    ームを支持する案内工程と、 (b)前記第1の軸に垂直で前記主面内の第2の軸方向
    の前記薄板フレームの第1の幅に対応して、前記工程
    (a)で前記薄板フレームを支持する位置を、前記第2
    の方向に調整する幅決め工程と、 (c)前記第1の方向の前記薄板フレームの第2の幅に
    対応して、所定の距離だけ前記薄板フレームを前記第1
    の方向へ搬送する搬送工程と、 (d)前記第2の幅に対応して、所定の位置に前記薄板
    フレームを係止する係止工程と、 を備える薄板フレームの搬送及び位置決め方法。
  2. 【請求項2】 前記案内工程(a)が、 (a−1)前記第2の軸の方向に存在する前記薄板フレ
    ームの端部ないし当該端部近傍における前記薄板フレー
    ムの第1の主面を前記第1の方向に案内する工程と、 (a−2)前記端部ないし当該端部近傍における前記薄
    板フレームの第2の主面を前記第1の方向に案内する工
    程と、 (a−3)前記端部における前記薄板フレームの縁面を
    前記第1の方向に案内する工程と、 を備える請求項1に記載の薄板フレームの搬送及び位置
    決め方法。
  3. 【請求項3】 前記工程(a−1)が、 (a−1−1)以下の手段(a−1−1−1)及び(a
    −1−1−2)を準備する工程と、 (a−1−2)前記手段(a−1−1−1)を前記第1
    の主面に略対向する方向から接近させる工程と、 (a−1−3)前記手段(a−1−1−1)を用いて、
    前記薄板フレームの前記第1の主面を前記第1の方向に
    案内する工程と、 (a−1−4)前記手段(a−1−1−2)を用いて、
    前記薄板フレームの前記第1の主面を前記第1の方向に
    案内する工程と、 を備える請求項2に記載の薄板フレームの搬送及び位置
    決め方法。ここで、手段(a−1−1−1)及び(a−
    1−1−2)は、 (a−1−1−1)前記端部ないし当該端部近傍におけ
    る前記薄板フレームの前記第1の主面を前記第1の方向
    に案内する第1の手段、及び(a−1−1−2)前記手
    段(a−1−1−1)に対して前記第1の方向に隣接し
    て設けられ、前記端部ないし当該端部近傍における前記
    薄板フレームの前記第1の主面を前記第1の方向に案内
    する第2の手段、 である。
  4. 【請求項4】 前記工程(a)が、 (a−5)前記工程(a−1)に先だって、前記工程
    (a−2)を実施する位置へ前記薄板フレームを案内す
    る工程、 を更に備える請求項3に記載の薄板フレームの搬送及び
    位置決め方法。
  5. 【請求項5】 (e)以下の工程(e−1)〜(e−
    3)を有する制御工程、 を更に備え、 ここで、前記工程(e−1)〜(e−3)は、 (e−1)前記薄板フレームの前記第1の幅に基づい
    て、前記工程(a)で前記薄板フレームを支持する位置
    を演算し、その結果に対応する第1の信号を送出する工
    程、 (e−2)前記薄板フレームの前記第2の幅に基づい
    て、前記薄板フレームを前記第1の方向へ搬送する距離
    を演算し、その結果に対応する第2の信号を送出する工
    程、及び (e−3)前記薄板フレームの前記第2の幅に基づい
    て、前記薄板フレームを係止する位置を算出し、その結
    果に対応する第3の信号を送出する工程、 であり、 前記工程(b)が、 (b−1)前記第1の信号に応答して、前記工程(a)
    で前記薄板フレームを支持する位置を、前記第2の方向
    に調整する工程、 を備え、 前記工程(c)が、 (c−1)前記第2の信号に応答して、所定の距離だけ
    前記薄板フレームを前記第1の方向へ搬送する工程、 を備え、 前記工程(d)が、 (d−1)前記第2の信号に応答して、所定の位置に前
    記薄板フレームを係止する工程、 を備える請求項1に記載の薄板フレームの搬送及び位置
    決め方法。
  6. 【請求項6】 実質的に平板形状の薄板フレームを、当
    該薄板フレームの主面内の第1の軸の方向に、所定の距
    離だけ搬送し、かつ所定の位置に保持する、薄板フレー
    ムの搬送及び位置決め装置であって、 (a)前記第1の軸の方向に摺動自在に、前記薄板フレ
    ームを支持する案内手段と、 (b)前記第1の軸に垂直で前記主面内の第2の軸方向
    の前記薄板フレームの第1の幅に対応して、前記手段
    (a)が前記薄板フレームを支持する位置を、前記第2
    の方向に調整する幅決め手段と、 (c)前記第1の方向の前記薄板フレームの第2の幅に
    対応して、所定の距離だけ前記薄板フレームを前記第1
    の方向へ搬送する搬送手段と、 (d)前記第2の幅に対応して、所定の位置に前記薄板
    フレームを係止する係止手段と、 を備える薄板フレームの搬送及び位置決め装置。
  7. 【請求項7】 前記案内手段(a)が、 (a−1)前記第2の軸の方向に存在する前記薄板フレ
    ームの端部ないし当該端部近傍における前記薄板フレー
    ムの第1の主面を前記第1の方向に案内する手段と、 (a−2)前記端部ないし当該端部近傍における前記薄
    板フレームの第2の主面を前記第1の方向に案内する手
    段と、 (a−3)前記端部における前記薄板フレームの縁面を
    前記第1の方向に案内する手段と、 を備える請求項6に記載の薄板フレームの搬送及び位置
    決め装置。
  8. 【請求項8】 前記手段(a−1)が、 (a−1−1)前記端部ないし当該端部近傍における前
    記薄板フレームの前記第1の主面を前記第1の方向に案
    内する第1の手段と、 (a−1−2)前記手段(a−1−1)に対して前記第
    1の方向に隣接して設けられ、前記端部ないし当該端部
    近傍における前記薄板フレームの前記第1の主面を前記
    第1の方向に案内する第2の手段と、 (a−1−3)前記手段(a−1−1)を前記第1の主
    面に略対向する方向から接近させる手段と、 を更に備える請求項7に記載の薄板フレームの搬送及び
    位置決め装置。
  9. 【請求項9】 前記手段(a)が、 (a−5)前記薄板フレームを前記手段(a−2)へ案
    内する手段、 を更に備える請求項8に記載の薄板フレームの搬送及び
    位置決め装置。
  10. 【請求項10】 前記手段(a−1−2)が、 (a−1−2−1)前記薄板フレームに摩擦力を付加す
    ることにより、当該薄板フレームを静止状態に保持する
    手段、 を備える請求項8に記載の薄板フレームの搬送及び位置
    決め装置。
  11. 【請求項11】 (e)以下の手段(e−1)〜(e−
    3)を有する制御手段、 を更に備え、 ここで、前記手段(e−1)〜(e−3)は、 (e−1)前記薄板フレームの前記第1の幅に基づい
    て、前記手段(a)が前記薄板フレームを支持する位置
    を演算し、その結果に対応する第1の信号を送出する手
    段、 (e−2)前記薄板フレームの前記第2の幅に基づい
    て、前記薄板フレームを前記第1の方向へ搬送する距離
    を演算し、その結果に対応する第2の信号を送出する手
    段、及び (e−3)前記薄板フレームの前記第2の幅に基づい
    て、前記薄板フレームを係止する位置を算出し、その結
    果に対応する第3の信号を送出する手段、 であり、 前記手段(b)が、 (b−1)前記第1の信号に応答して、前記手段(a)
    が前記薄板フレームを支持する位置を、前記第2の方向
    に調整する手段、 を備え、 前記手段(c)が、 (c−1)前記第2の信号に応答して、所定の距離だけ
    前記薄板フレームを前記第1の方向へ搬送する手段、 を備え、 前記手段(d)が、 (d−1)前記第2の信号に応答して、所定の位置に前
    記薄板フレームを係止する手段、 を備える請求項1に記載の薄板フレームの搬送及び位置
    決め装置。
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