JP2010067871A - 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 - Google Patents
基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010067871A JP2010067871A JP2008234274A JP2008234274A JP2010067871A JP 2010067871 A JP2010067871 A JP 2010067871A JP 2008234274 A JP2008234274 A JP 2008234274A JP 2008234274 A JP2008234274 A JP 2008234274A JP 2010067871 A JP2010067871 A JP 2010067871A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- hand
- holding
- substrates
- batch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】搬出入機構4は、複数枚の基板Wを積層状態で一括して保持するバッチハンド40と、このバッチハンド40を進退させるバッチハンド進退機構と、1枚の基板Wを保持する枚葉ハンド39と、この枚葉ハンド39を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース41と、保持ベース41を上下動させる昇降ブロック43と、前記保持ベース41を鉛直方向に沿う旋回ブロック42とを含む。
【選択図】図2B
Description
キャリヤ載置部は、複数枚の基板を水平姿勢で垂直方向に積層した状態で保持するキャリヤ(収容器)を載置できるようになっている。
プッシャは、上下動および水平移動が可能なホルダを備え、姿勢変換機構との間で垂直姿勢の複数枚の基板を一括して受け渡しでき、主搬送機構との間で垂直姿勢の複数枚の基板を一括して受け渡しすることができる。
基板処理部は、主搬送機構の移動方向に沿って配置された複数の処理槽を有する。処理槽には、薬液槽、水洗槽、および乾燥槽が含まれる。薬液槽は、垂直姿勢の複数枚の基板を槽内に貯留された薬液中に浸漬させ、複数枚の基板に対して一括して薬液処理を施すものである。水洗槽は、垂直姿勢の複数枚の基板を槽内に貯留された純水(脱イオン水)中に浸漬して、複数枚の基板に対して一括して水洗(リンス)処理を施すものである。乾燥槽は、有機溶剤(たとえば、イソプロピルアルコール)を供給したり、液成分を振り切ったりする処理を、複数枚の基板に対して一括して施すものである。
しかも、垂直多関アーム節型ロボットによって基板を水平方向に移動させるためには、複数の駆動軸を同期駆動する必要がある。そのため、基板を高速で搬送しようとすると、ハンドに振動が生じてしまい、搬送不良が生じるおそれがある。したがって、基板搬送速度を上げることが難しく、それに応じて、基板処理装置の生産性を向上することが難しいという問題もある。
なお、バッチハンドの進退方向と枚葉ハンドの進退方向とは、異なっていてもよいが、平行であることが好ましい。
請求項2記載の発明は、前記バッチハンドおよび前記枚葉ハンドがそれぞれの後退位置にあるとき、これらのバッチハンドおよび枚葉ハンドが上下方向に積層配置されるようになっている、請求項1記載の基板搬送装置である。この構成によれば、バッチハンドおよび枚葉ハンドを後退させた状態での旋回半径を小さくすることができるので、基板搬送装置の設置スペースを縮小することができる。
この構成によれば、収容器保持部に保持された収容器と基板保持部との間の基板搬送を、バッチハンドを用いた一括搬送によって行ったり、枚葉ハンドを用いた枚葉搬送によって行ったりすることができる。一括搬送と枚葉搬送との切換えの際に、ハンド交換のための時間などは必要ではなく、その切換えは速やかに行うことができる。これにより、基板搬送を高速化できるので、それに応じて基板処理速度の向上を図ることができる。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体構成を説明するための図解的な平面図である。この基板処理装置10は、フープ(FOUP)保持部1、基板処理部2、主搬送機構3、搬出入機構4、姿勢変換機構5、プッシャ6、受け渡し機構7、チャック洗浄ユニット8、およびコントローラ9(制御ユニット)を備えている。
チャック洗浄ユニット8は、基板受け渡し位置Pと処理部20との間に配置されている。チャック洗浄ユニット8は、一対の基板チャック30がそれぞれ差し入れられる一対の開口が上面に形成された洗浄槽35を有している。この洗浄槽35内において、基板チャック30(とくに支持ガイド31)が、洗浄液を用いて洗浄される。主搬送機構3は、乾燥処理部25での乾燥処理を終えた処理済み基板Wを搬送する前に、基板チャック30をチャック洗浄ユニット8の洗浄槽35に差し入れる。そして、洗浄槽35内で基板チャック30が洗浄された後に、主搬送機構3は、乾燥処理部25から処理済み基板Wを一括して受け取るように動作する。主搬送機構3は、基板チャック30の下端に備えられた一対の支持ガイド31の間隔を狭めることができる。そこで、支持ガイド31の間隔を狭めた状態で洗浄槽35における洗浄処理を行うこととすれば、洗浄槽35を小型化できるので、基板処理装置10の専有面積を抑制できる。
搬出入機構4の基板受け渡し位置P側に、姿勢変換機構5が配置されている。また、姿勢変換機構5の基板受け渡し位置P側にプッシャ6が配置されている。そして、基板受け渡し位置Pには、受け渡し機構7が配置されている。受け渡し機構7は、プッシャ6の位置である基板移載位置Sと、基板受け渡し位置Pとの間で基板Wを搬送するように動作する。
搬出入機構4は、この発明の一実施形態に係る基板搬送装置であり、1枚の基板Wを保持することができる枚葉ハンド39と、複数枚の基板Wを積層状態で一括して保持することができる複数枚保持ハンドであるバッチハンド40と、これらのハンド39,40を共通に保持する保持ベース41と、旋回ブロック42と、旋回ブロック42を鉛直軸線周りの回動が可能なように支持する昇降ブロック43と、この昇降ブロック43を昇降自在に支持する基台部44とを備えている。保持ベース41には、枚葉ハンド39およびバッチハンド40を独立して進退させるためのハンド進退機構(図示せず)が内蔵されている。旋回ブロック42は、保持ベース41を支持し、内蔵された旋回機構(図示せず)の働きによって鉛直軸線まわりに旋回し、これによって、保持ベース41とともにハンド39,40を鉛直軸線まわりに旋回させる。この旋回により、ハンド39,40をフープFに対向させたり、基板保持部の一例としての姿勢変換機構5に対向させたりすることができる。基台部44には、昇降ブロック43をZ方向に沿って昇降させるための昇降機構(図示せず)が内蔵されている。この昇降機構の働きによって、ハンド39,40を上下動させることができる。この上下動と前記ハンド進退機構による進退動作とによって、ハンド39,40は、フープFに対する基板Wの搬入および搬出、ならびに姿勢変換機構5との間での基板Wの受け渡しを行うことができる。
回動ブロック50は、ベース49に対して回動軸50aまわりの回動が可能であるように取り付けられている。回動軸50aは、その軸線方向が水平方向に沿っており、この軸線方向は搬送経路TP1に直交する平面内にある。ベース49には回動ブロック50を回動軸50aまわりに回動させるためのモータ55がギヤヘッド54を介して取り付けられている。したがって、モータ55を駆動することによって、第1および第2保持機構51,52の姿勢を変更することができる。
プッシャ6は、姿勢変換機構5から垂直姿勢で水平方向に積層された複数枚の基板Wを一括して受け取る昇降保持部105を有する昇降機構である。プッシャ6は、基板移載位置Sにおいて、昇降保持部105をZ方向に上下動させることができ、鉛直軸線まわりに回転させることができ、X方向に沿って微小距離(たとえば、5mm)だけ直線移動させることができる。より具体的には、昇降保持部105は、原点高さH10と、原点高さよりも高い第1移載高さH11と、第1移載高さH11よりも高い第2移載高さH12とに高さを変更することができる。
プッシャ6から姿勢変換機構5に基板Wを渡すときは、昇降保持部105に保持された、たとえば50枚の基板Wのうちの25枚が姿勢変換機構5に渡され、この25枚の基板Wが水平姿勢に姿勢変換された後に、搬出入機構4に渡される。その後、昇降保持部105の180度旋回またはハーフピッチ分の水平移動を行う。その状態で、昇降保持部105上の残りの25枚の基板Wが姿勢変換機構5に渡され、水平姿勢に姿勢変換された後、搬出入機構4によって払い出される。こうして、50枚の基板Wが25枚ずつの2つの基板群に分離される。
払出機構70のチャック73(以下「払出チャック73」という。)は、搬入機構71のチャック74(以下「搬入チャック74」という。)よりも上方に配置されている。払出機構70は、払出高さH0に設定された第1横行経路101に沿って、第1横行保持部としての払出チャック73をX方向に沿って横行(水平移動)させることによって、基板Wを基板受け渡し位置Pから基板移載位置S(プッシャ6の位置)まで搬送する第1横行機構である。すなわち、払出チャック73は、処理済みの基板Wを基板受け渡し位置Pの払出高さH0において主搬送機構3から受け取り、それらの基板Wを払出高さH0で基板移載位置Sまで払い出す。プッシャ6は、昇降保持部105を第2移載高さH12まで上昇させることによって、その基板Wを払出チャック73から受け取る。
この構成により、モータ161を駆動すると、その駆動力がギヤヘッド162を介して昇降ブロック43に伝達される。昇降ブロック43は非回転状態で基台部44に結合されているので、この昇降ブロック43からの反力によって、ギヤヘッド162およびこれに結合された旋回ブロック42が鉛直軸線まわりに回動することになる。
枚葉ハンド39は、バッチハンド40のハンド要素176と同様なハンド要素186を有している。すなわち、ハンド要素186は、水平方向に延びており、その延在方向と直交する別の水平方向に対向するように一対設けられている。この一対のハンド要素186は、1枚の基板Wを水平姿勢で下方から支持することができる。一方のハンド要素186は左ハンド支持部材187に片持ち支持されており、他方のハンド要素186は右ハンド支持部材188に片持ち支持されている。これらの左右のハンド支持部材187,188は、ハンド開閉機構190に結合されている。ハンド開閉機構190は、進退ブラケット189を介して保持ベース41に結合されている。
進退駆動機構47は、枚葉ハンド39を進退させるための枚葉ハンド進退機構201と、バッチハンド40を進退させるためのバッチハンド進退機構202とを有している。
枚葉ハンド進退機構201は、リニアガイド205と、ベルト駆動機構206とを備えている。リニアガイド205は、ハンド要素186の延在方向と平行に延びて配置されており、保持ベース41の内底面に立設された板状の支持部材207の上端面に固定されている。ベルト駆動機構206は、モータ208と、駆動プーリ209と、従動プーリ210と、ベルト211と、アイドルプーリ212とを有している。モータ208は、保持ベース41の下面側に固定されている。駆動プーリ209は、保持ベース41の底面壁の上面に配置されており、モータ208からの駆動力が与えられるようになっている。従動プーリ210は、駆動プーリ209に対してリニアガイド205と平行な方向に対向するように配置されている。ベルト211は、これらの駆動プーリ209および従動プーリ210の間に巻き掛けられている。アイドルプーリ212は、ベルト211に対して張力を付与するように、ベルト211に外周側から接している。枚葉ハンド39のための進退ブラケット189は、リニアガイド205に結合され、このリニアガイド205によって案内されることにより、直線移動できるようになっている。進退ブラケット189の下端部にはベルト固定部189aが設けられている。このベルト固定部189aは、ベルト押さえ213とともにベルト211を挟持している。
水平方向に対向配置された一対のハンド要素186を、「左ハンド要素186L」および「右ハンド要素186R」と区別して呼ぶことにする。左ハンド要素186Lは左ハンド支持部材187に片持ち支持されており、右ハンド要素186Rは右ハンド支持部材188に片持ち支持されている。
基板ガイド225〜228は、平面視円形(ただし、先端側の基板ガイド225,226は半円形)に形成されており、図7に示すように、中央部には円柱状の突出部240が形成されている。この突出部の周囲は、外方に向かうに従って低くなる円錐面状傾斜面241となっている。この傾斜面241上に基板Wの周端縁が点接触するようになっている。そして、基板Wの水平移動が、突出部240の周面によって規制されるようになっている。
この構成により、シリンダ232L,232Rを駆動することで、ハンド支持部材187,188が開閉ガイド部231によって案内されながら互いに接近または離反する。これにより、左右のハンド要素186L,186Rの間隔を狭めて枚葉ハンド39を閉状態としたり、これらの間隔を広げて枚葉ハンド39を開状態としたりすることができる。
バッチハンド40のハンド要素群175は、一対ずつが水平方向に対向配置されている。これらの水平方向に対向配置された一対のハンド要素176を、「左ハンド要素176L」および「右ハンド要素176R」と区別して呼ぶことにする。左ハンド要素176Lは左支持ブロック177に片持ち支持されており、右ハンド要素176Rは右支持ブロック178に片持ち支持されている。
この構成により、シリンダ252L,252Rを駆動することで、支持ブロック177,178が開閉ガイド部251によって案内されながら互いに接近または離反する。これにより、左右のハンド要素176L,176Rの間隔を広げてバッチハンド40を開状態としたり、ハンド要素176L,176Rの間隔を狭めてバッチハンド40を閉状態としたりすることができる。
第1の動作例として、フープFに25枚の未処理基板Wが収容されており、これらを姿勢変換機構5に一括して搬送する動作(一括搬送)を説明する。
搬出入機構4は、旋回機構45によって保持ベース41を旋回させ、バッチハンド40を姿勢変換機構5に対向させる。その状態で、バッチハンド進退機構202は、バッチハンド40を姿勢変換機構5に向かって前進させて、各ハンド要素176を第1保持機構51の各保持溝に保持された各基板Wの下方に進入させる。このとき、一対の第1保持機構51は未処理基板用の保持溝群を互いに対向させている。また、バッチハンド40は開状態(内側基板ガイド245,247で基板Wを支持する状態)となっている。次に、昇降機構46の働きによって、保持ベース41が微小距離(たとえば、第1保持機構51における保持溝のピッチに等しい。)だけ上昇させられることにより、バッチハンド40が上昇し、第1保持機構51に保持されている25枚の基板Wが一括してすくい取られる。その状態でバッチハンド進退機構202は、バッチハンド40を後退させる。これにより、第1保持機構51から25枚の基板Wが一括して搬出される。
搬出入機構4は、旋回機構45によって保持ベース41を旋回させ、枚葉ハンド39をフープFに対向させる。また、昇降機構46の働きによって保持ベース41が昇降されることにより、フープF内の搬送対象基板Wの収容位置よりも微小距離(フープF内の基板収容位置の間隔よりも短い距離)だけ下方の高さとなるように、枚葉ハンド39の高さが制御される。その状態で、枚葉ハンド進退機構201は、枚葉ハンド39をフープFに向かって前進させて、枚葉ハンド39を搬送対象基板Wの下方に進入させる。このとき、枚葉ハンド39は閉状態(外側基板ガイド226,228で基板Wを支持する状態)となっている。次に、昇降機構46の働きによって、保持ベース41が微小距離(たとえば、フープF内における基板保持位置のピッチに等しい。)だけ上昇させられることにより、枚葉ハンド39が上昇し、フープF内の1枚の搬送対象基板Wがすくい取られる。その状態で枚葉ハンド進退機構201は、枚葉ハンド39を後退させる。これにより、フープF内の1枚の搬送対象基板Wが搬出される。
次いで、枚葉ハンド進退機構201は、枚葉ハンド39を姿勢変換機構5に向けて前進させ、1枚の基板Wを第1保持機構51の複数の保持溝のいずれか(枚葉ハンド39の高さに対応する保持溝)に進入させる。このとき、一対の第1保持機構51は、未処理基板用の保持溝群を対向させた姿勢に制御されている。
搬出入機構4は、旋回機構45によって保持ベース41を旋回させ、枚葉ハンド39を姿勢変換機構5に対向させる。また、昇降機構46の働きによって保持ベース41が昇降されることにより、姿勢変換機構5の第1保持機構51に保持された搬送対象基板Wの収容位置よりも微小距離(第1保持機構51の保持溝の間隔よりも短い距離)だけ下方の高さとなるように、枚葉ハンド39の高さが制御される。その状態で、枚葉ハンド進退機構201は、枚葉ハンド39を姿勢変換機構5に向かって前進させて、枚葉ハンド39を搬送対象基板Wの下方に進入させる。このとき、一対の第1保持機構51は、処理済み基板用の保持溝群を対向させた姿勢に制御されている。また、枚葉ハンド39は開状態(内側基板ガイド225,227で基板Wを支持する状態)となっている。
次いで、枚葉ハンド進退機構201は、枚葉ハンド39をフープFに向けて前進させ、1枚の基板WをフープF内の複数の基板保持棚のいずれか(枚葉ハンド39の高さに対応する基板保持棚)に進入させる。
たとえば、一つのフープFから25枚の未処理基板Wを取り出して姿勢変換機構5へと搬送し、別のフープFから1枚の未処理基板W(たとえばテスト用のダミー基板)を取り出して姿勢変換機構5に搬送して、姿勢変換機構5に合計26枚の基板Wが保持させられる場合がある。
また、別の動作例として、一つのフープFから25枚の未処理基板Wをバッチハンド40で一括搬出し、別のフープFから1枚の未処理基板Wを枚葉ハンド39で搬出することにより、合計26枚の未処理基板Wを搬出入機構4に保持させることもできる。そして、旋回機構45によって枚葉ハンド39およびバッチハンド40を姿勢変換機構5に対向するまで旋回させた後に、バッチハンド40で25枚の基板Wを姿勢変換機構5に一括搬入し、さらに枚葉ハンド39で残り1枚の基板Wを姿勢変換機構5に搬入すればよい。
この場合には、まず、前記第2の動作例で説明したバッチハンド40を用いた一括搬送によって、25枚の処理済み基板Wが姿勢変換機構5から一つのフープFへと搬送される。次に、前記第4の動作例で説明した枚葉ハンド39を用いた枚葉搬送によって、姿勢変換機構5から別のフープFへと残り1枚の基板Wが搬送される。
さらに、枚葉ハンド39は、水平方向に離れて配置された2つのハンド要素186の間隔を変更することによって、未処理基板Wと処理済み基板Wとで基板ガイド225,227;226,228を使い分けることができる。したがって、ハンドの交換を要しないから、基板処理の高速化に寄与できる。
また、前述の実施形態では、フープFと姿勢変換機構5との間で基板Wを搬送する搬出入機構4にこの発明が適用された例について説明したが、これら以外の搬送対象場所間での基板搬送にこの発明を適用してもよい。
2 基板処理部
3 主搬送機構
4 搬出入機構
5 姿勢変換機構
6 プッシャ
7 受け渡し機構
8 チャック洗浄ユニット
9 コントローラ
10 基板処理装置
13 基板方向整列機構
20 処理部
39 枚葉ハンド
40 バッチハンド
41 保持ベース
42 旋回ブロック
43 昇降ブロック
44 基台部
45 旋回機構
46 昇降機構
47 進退駆動機構
175 ハンド要素群
176 ハンド要素
176L 左ハンド要素
176R 右ハンド要素
177 左支持ブロック
178 右支持ブロック
179 進退ブラケット
180 ハンド開閉機構
186 ハンド要素
186L 左ハンド要素
186R 右ハンド要素
187 左ハンド支持部材
188 右ハンド支持部材
189 進退ブラケット
190 ハンド開閉機構
201 枚葉ハンド進退機構
202 バッチハンド進退機構
206 ベルト駆動機構
216 ベルト駆動機構
225 内側基板ガイド
226 外側基板ガイド
227 内側基板ガイド
228 外側基板ガイド
231 開閉ガイド部
232L 左シリンダ
232R 右シリンダ
233 ガイドベース
234 ガイド軸
245 内側基板ガイド
246 外側基板ガイド
247 内側基板ガイド
248 外側基板ガイド
251 開閉ガイド部
252L 左シリンダ
252R 右シリンダ
253 ガイドベース
254 ガイド軸
W 基板
Claims (4)
- 複数枚の基板を積層状態で一括して保持するバッチハンドと、
このバッチハンドを進退させるバッチハンド進退機構と、
1枚の基板を保持する枚葉ハンドと、
この枚葉ハンドを進退させる枚葉ハンド進退機構と、
前記バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベースと、
この保持ベースを上下動させる昇降機構と、
前記保持ベースを鉛直方向に沿う旋回軸線周りに旋回させる旋回機構とを含む、基板搬送装置。 - 前記バッチハンドおよび前記枚葉ハンドがそれぞれの後退位置にあるとき、これらのバッチハンドおよび枚葉ハンドが上下方向に積層配置されるようになっている、請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記枚葉ハンドが、水平方向に離れて配置された2つのハンド要素を備え、
各ハンド要素は、高さの異なる第1および第2基板支持部を有し、
前記基板搬送装置は、前記2つのハンド要素をそれぞれ水平方向に駆動することにより開閉するハンド開閉機構をさらに含み、
前記枚葉ハンドは、前記2つのハンド要素を開いた状態では、当該2つのハンド要素の前記第1基板支持部によって第1の高さで基板を保持し、前記2つのハンド要素を閉じた状態では、当該2つのハンド要素の前記第2基板支持部によって第2の高さで基板を保持する、請求項1または2記載の基板搬送装置。 - 複数枚の基板を積層状態で収容する収容器を保持する収容器保持部と、
複数枚の基板を保持する基板保持部と、
前記収容器保持部に保持された収容器と、前記基板保持部との間で基板を搬送する請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板搬送装置とを含む、基板処理装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008234274A JP2010067871A (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 |
KR1020090080652A KR101181560B1 (ko) | 2008-09-12 | 2009-08-28 | 기판처리장치 및 그것에 사용되는 기판반송장치 |
TW098130024A TWI426044B (zh) | 2008-09-12 | 2009-09-07 | 基板處理裝置及使用於其之基板搬送裝置 |
US12/557,097 US8851821B2 (en) | 2008-09-12 | 2009-09-10 | Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same |
CN2009101691415A CN101673665B (zh) | 2008-09-12 | 2009-09-11 | 基板处理装置 |
KR1020110091977A KR101181597B1 (ko) | 2008-09-12 | 2011-09-09 | 기판처리장치 및 그것에 사용되는 기판반송장치 |
US14/482,656 US9624046B2 (en) | 2008-09-12 | 2014-09-10 | Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008234274A JP2010067871A (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012204752A Division JP5490860B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010067871A true JP2010067871A (ja) | 2010-03-25 |
Family
ID=42193184
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008234274A Pending JP2010067871A (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010067871A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013158895A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 板状部材を搬送するエンドエフェクタ及び該エンドエフェクタを備える基板搬送用ロボット |
KR101416978B1 (ko) | 2012-12-28 | 2014-07-09 | 주식회사 선익시스템 | 기판 상하역장치 및 인라인 증착 시스템 |
KR20180024069A (ko) * | 2016-08-25 | 2018-03-08 | 피에스케이 주식회사 | 반송 로봇 및 이를 가지는 기판 처리 장치 |
KR101863475B1 (ko) | 2014-01-28 | 2018-05-31 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 기판 반송 시스템 및 방법 |
CN112018012A (zh) * | 2014-12-02 | 2020-12-01 | 应用材料意大利有限公司 | 在生产太阳能电池基板上印刷的装置及传输该基板的方法 |
WO2022049787A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177224A (ja) * | 1992-12-10 | 1994-06-24 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ移載装置 |
JPH07106402A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Tokyo Electron Ltd | 板状体搬送装置 |
JPH11354604A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板移載装置およびそれを用いた基板処理装置 |
JP2007251087A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置における移載機構の制御方法 |
-
2008
- 2008-09-12 JP JP2008234274A patent/JP2010067871A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177224A (ja) * | 1992-12-10 | 1994-06-24 | Kokusai Electric Co Ltd | ウェーハ移載装置 |
JPH07106402A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Tokyo Electron Ltd | 板状体搬送装置 |
JPH11354604A (ja) * | 1998-06-05 | 1999-12-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板移載装置およびそれを用いた基板処理装置 |
JP2007251087A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-09-27 | Tokyo Electron Ltd | 縦型熱処理装置及び縦型熱処理装置における移載機構の制御方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013158895A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 板状部材を搬送するエンドエフェクタ及び該エンドエフェクタを備える基板搬送用ロボット |
KR101416978B1 (ko) | 2012-12-28 | 2014-07-09 | 주식회사 선익시스템 | 기판 상하역장치 및 인라인 증착 시스템 |
KR101863475B1 (ko) | 2014-01-28 | 2018-05-31 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 기판 반송 시스템 및 방법 |
CN112018012A (zh) * | 2014-12-02 | 2020-12-01 | 应用材料意大利有限公司 | 在生产太阳能电池基板上印刷的装置及传输该基板的方法 |
KR20180024069A (ko) * | 2016-08-25 | 2018-03-08 | 피에스케이 주식회사 | 반송 로봇 및 이를 가지는 기판 처리 장치 |
KR101882397B1 (ko) | 2016-08-25 | 2018-07-27 | 피에스케이 주식회사 | 반송 로봇 및 이를 가지는 기판 처리 장치 |
WO2022049787A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
JPWO2022049787A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | ||
JP7427796B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-02-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5054218B2 (ja) | 基板処理装置 | |
US9624046B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same | |
JP4744426B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US8504194B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate transport method | |
US6769855B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
KR101760552B1 (ko) | 기판 세정 장치, 기판 세정 방법 및 기억 매체 | |
US6345947B1 (en) | Substrate arranging apparatus and method | |
US8033288B2 (en) | Substrate treatment apparatus | |
JP5290890B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7246147B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2010067871A (ja) | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
KR20190038363A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP5279554B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5490860B2 (ja) | 基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置 | |
JPH11165863A (ja) | 基板搬送装置 | |
KR101181597B1 (ko) | 기판처리장치 및 그것에 사용되는 기판반송장치 | |
JP5330031B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2008198883A (ja) | 基板処理装置 | |
JPH05175179A (ja) | ウエハ処理方法およびその装置 | |
JPH1041369A (ja) | 基板移替え装置およびそれを用いた基板処理装置ならびにそれらに使用可能な基板挟持機構 | |
JPH11345854A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2022159601A (ja) | 基板処理装置、及び基板処理方法 | |
JPH11214470A (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2024047292A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110606 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120719 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120719 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121115 |