JPH0249716Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

産業上の利用分野 本考案は半導体ウエーハ立替装置に関し、詳し
くは半導体装置の製造に使用され、複数の半導体
ウエーハをキヤリアとボート間で一括して移し替
える装置に関するものである。 従来の技術 半導体装置の製造は、多数の半導体素子を形成
した半導体ウエーハ〔以下単にウエーハと称す〕
を種々の処理工程にて加工処理することにより行
われる。この各種処理工程のうち、例えば不純物
拡散等の熱処理工程では、上記ウエーハの片面の
みを処理するため、第１３図に示すように、複数
のウエーハ１，１……を二枚ずつその裏面同士を
密着させて植立させた状態でウエーハ専用保持治
具（後述のボート）上に定ピツチで整列保持する
Back to Back方式が採用されている。この
Back to Back方式を採用した熱処理工程とその
前後工程間では、２つのウエーハ専用保持治具、
即ち、複数のウエーハ１，１……を一枚ずつ定ピ
ツチでウエーハ収納溝２，２……に整列収納する
第１４図に示すような枠状で、材質が例えばテフ
ロン製のキヤリア３と、複数のウエーハ１，１…
…を二枚ずつその裏面同士を密着させて植立させ
た状態でウエーハ保持溝４，４……に定ピツチで
整列保持する第１５図に示すような、台状の石英
ガラス製のボート５との間で、上記ウエーハ１，
１……を一括して移し替える必要がある。 上記キヤリア３とボート５間でのBack to
Back方式によるウエーハ移し替えは、作業者が
ピンセツト等の専用治具を使用したり、キヤリア
３或いはボート５から取り出したウエーハ１，１
……をホルダ〔図示せず〕に一旦移し替え、その
ホルダにて上記ウエーハ１，１……を密着或いは
分離させた後、ボート５或いはキヤリア３に自動
的に移し替えることにより行われる。 考案が解決しようとする課題 ところで、前述したようにピンセツト等の専用
治具を使用してウエーハ１，１……を移し替える
と、上記専用治具によりウエーハ１，１……に傷
がついたりして破損する虞もあつて好ましい手段
ではなかつた。またキヤリア３或いはボート５か
ら移し替えられたウエーハ１，１……をホルダに
て自動的に密着あるいは分離させようとしても非
常に困難であり、特に密着したウエーハ１，１…
…を分離するのは容易なことではなかつた。 そこで本考案の目的は、上記問題点を適切な手
段で改善した半導体ウエーハ立替装置を提供する
ことにある。 課題を解決するための手段 本考案は前記問題点に鑑みて提案されたもの
で、複数の半導体ウエーハを一枚ずつ定ピツチで
整列収納するキヤリアと、上記半導体ウエーハを
二枚ずつその裏面同士を密着させて定ピツチで整
列保持するボートとの間に配設されたホルダに
て、半導体ウエーハをその整列状態を変更させて
キヤリア及びボート間で移し替える装置であつ
て、上記ホルダは、キヤリア或いはボートから移
送されて定位置に保持された各半導体ウエーハを
ガイド溝により誘導しながら密着或いは分離する
ウエーハ整列方向に沿う長尺な二対の上下回転ロ
ーラを有し、上記上回転ローラを半導体ウエーハ
の中心を通る垂線を境界として両側位置に相互に
逆回転するように固定配置し、上記下回転ローラ
を上回転ローラの下方位置で上回転ローラに対し
て逆回転するように回動自在に配置したことによ
り前記したとおりのウエーハの分離あるいは密着
を達成した半導体ウエーハ立替装置である。 作 用 本考案によれば、上下回転ローラのウエーハに
対する配置関係により上記ウエーハが上下回転ロ
ーラのガイド溝に嵌まり込まない場合、ウエーハ
が上方へ逃げることが可能でウエーハの破損が防
止できる。また上記上下回転ローラの回転方向の
相関関係により上下回転ローラの回転時、上記ウ
エーハに作用する力が一方向に偏することなく、
均等に分散されてウエーハを定位置にて密着或い
は分離する整列状態の変更が容易となる。更に上
記下回転ローラを上回転ローラの下方で回動自在
に配置したから、上記下回転ローラの閉状態で下
回転ローラにてウエーハを支持することが可能と
なる。 実施例 本考案に係る半導体ウエーハ立替装置の一実施
例を第１図乃至第１２図を参照しながら説明す
る。尚、第１図乃至第４図は上記半導体ウエーハ
立替装置の全体構成を、第５図乃至第９図は半導
体ウエーハ立替装置のホルダ部の構成を、第１０
図乃至第１２図は上記ホルダ部の上下回転ローラ
のガイド溝形状を説明するためのものである。 第１図乃至第４図に示す半導体ウエーハ立替装
置１０は、複数のウエーハ１，１……を一枚ずつ
定ピツチでその表面を同一方向に向けてウエーハ
収納溝２，２……に整列収納する枠状のテフロン
製キヤリア３〔第１４図参照〕が位置決め載置さ
れた、水平動自在なキヤリアベース１１を有する
キヤリア部１２と、複数のウエーハ１，１……を
二枚ずつその裏面同士を密着させて定ピツチでウ
エーハ保持溝４，４……に植立させて整列保持す
る石英ガラス製ボート５〔第１５図参照〕が位置
決め載置された、水平動自在なボートベース１３
を有し、上記キヤリア部１２に並設されたボート
部１４と、上記キヤリア部１２とボート部１４の
中間ポジシヨンP₀上方に配置され、上記キヤリ
ア３或いはボート５から移し替えられたウエーハ
１，１……を一時的に収容保持し、二対の上下回
転ローラ１５，１６，１７，１８を使用して上記
ウエーハ１，１……を密着或いは分離させてその
整列状態を変更する上下動自在なホルダ１９を有
するホルダ部２０とでその主要部が構成される。
尚、上述したキヤリア部１２、ボート部１４及び
ホルダ部２０の各部は制御部〔図示せず〕によつ
て後述の如く駆動制御される。 上記キヤリア部１２及びボート部１４には、キ
ヤリアベース１１及びボートベース１３を、初期
位置である待機ポジシヨンP₁，P₂と、キヤリア
部１２とボート部１４の中間ポジシヨンP₀間で、
夫々移送するベース移送機構２１，２２がその直
下方に配設される。また、キヤリアベース１１及
びボートベース１３の下部には、中間ポジシヨン
P₀に配置されたキヤリアベース１１及びボート
ベース１３上のキヤリア３及びボート５とホルダ
１９との間でウエーハ１，１……を移し替える上
下動自在なプツシヤ〔図示せず〕を有するプツシ
ヤ機構２３，２４を一体的に装設する。図示しな
いが、上記プツシヤの上端部にはウエーハ１，１
……を整列保持するためのＶ字状のウエーハ受け
溝が設けられている。 尚、上記ボート部１４のボートベース１３は、
第４図に示すようにボート５上にウエーハ１，１
……を微小角度傾倒させて整列保持しているた
め、装置全体から見て上記ウエーハ１，１……が
略垂直保持されるように上記微小角度傾斜させて
配置される。 上記ホルダ部２０には、ホルダ１９を上下動さ
せるためのホルダ昇降機構２５が設けられ、装置
本体にモータ２６を駆動源とするボールネジ軸２
７を回転自在に立設し、このボールネジ軸２７に
螺合すると共に、上記ボールネジ軸２７の両側方
に立設されたガイド軸２８，２８に摺動自在に挿
通した昇降ブロツク２９にホルダベース３０を介
して前記ホルダ１９が固着される。 本考案の特徴は上記ホルダ部２０のホルダ１９
にある。以下、上記ホルダ１９の具体的構造につ
いて説明する。 第５図乃至第７図に示すホルダ１９において、
３１，３２はホルダベース３０の開口窓孔３３の
前後周縁部上に立設されて対向配置した軸受フレ
ーム、３４及び３５は上記軸受フレーム３１，３
２の左右両側部にホルダベース３０の前後方向に
沿つて回転可能に橋架軸支された主駆動軸及び従
駆動軸、１５，１６は上記軸受フレーム３１，３
２の左右両側部で上記主及び従駆動軸３４，３５
の内側に、主及び従駆動軸３４，３５と平行して
回転可能に橋架軸支された前後方向に沿う長尺な
一対のテフロン製上回転ローラ〔以下左右上回転
ローラと称す〕で、その全周面に亘つて後述の複
数のガイド溝が軸方向に沿つて定ピツチで刻設さ
れる。１７，１８は上記左右上回転ローラ１５，
１６の下方で若干内側に配置された前後方向に沿
う長尺な一対のテフロン製下回転ローラ〔以下左
右下回転ローラと称す〕で、上記左右上回転ロー
ラ１５，１６と同様、その全周面に亘つて後述の
複数のガイド溝が軸方向に沿つて定ピツチで刻設
される。 ３６，３７，３８，３９は上記主及び従駆動軸
３４，３５と左右下回転ローラ１７，１８とを連
結したスイングアームで、その基端部は軸受フレ
ーム３１，３２の前後外側で主及び従駆動軸３
４，３５の前後軸端部３４ａ，３４ｂ，３５ａ，
３５ｂに回転可能に装着され、且つ、その遊端部
には上記左右下回転ローラ１７，１８の前後軸端
部１７ａ，１７ｂ，１８ａ，１８ｂが回転可能に
軸支される。４０は上記主駆動軸３４を回転させ
る駆動源であるモータで、前記ホルダベース３０
上に固着され、その出力軸４０ａがカツプリング
４１を介して主駆動軸３４の後方軸端部３４ｂに
連結される。４２，４３は、主駆動軸３４及び右
上回転ローラ１５の前方軸端部３４ａ及び１５ａ
に、それぞれ同軸的に装着された歯車で、この歯
車４２，４３が噛合して上記主駆動軸３４と右上
回転ローラ１５とを連結する。４４，４５は主駆
動軸３４及び右下回転ローラ１７の後方軸端部３
４ｂ，１７ｂに同軸的に固着したプーリで、この
プーリ４４，４５間にテンシヨンローラ４６〔第
８図及び第９図参照〕を介してタイミングベルト
４７を纏掛けて、主駆動軸３４と右下回転ローラ
１７とを連結する。４８，４９は、主駆動軸３４
及び左上回転ローラ１６の前方軸端部３４ａ，１
６ａに同軸的に固着したプーリで、このプーリ４
８，４９間にテンシヨンローラ５０を介してタイ
ミングベルト５１を纏掛けて主駆動軸３４と左上
回転ローラ１６とを連結する。５２，５３は、左
上回転ローラ１６及び従駆動軸３５の前方軸端部
１６ａ，３５ａに、同軸的に装着した歯車で、こ
の歯車５２，５３が噛合して上記左上回転ローラ
１６と従駆動軸３５とを連結する。５４，５５
は、従駆動軸３５及び左下回転ローラ１８の後方
軸端部３５ｂ，１８ｂに同軸的に固着したプーリ
で、このプーリ５４，５５間にテンシヨンローラ
〔図示せず〕を介してタイミングベルト５６を纏
掛けて上記従駆動軸３５と左下回転ローラ１８と
を連結する。５７は軸受フレーム３２の後方に設
けた左右下回転ローラ開閉機構で、駆動源である
シリンダ５８と連結された開閉用バー５９をホル
ダベース３０上に上下動自在に架設し、左右方向
に張り出した両腕部５９ａ，５９ａの下面に、ス
イングアーム３８，３９に回転自在に装着された
カムフオロワ６０，６０を引張りバネ６１，６１
の弾性力により常時当接させる。６２，６２は左
右上回転ローラ１５，１６の下方位置で軸受フレ
ーム３１，３２の左右両側に突出退入自在に配置
した複数のウエーハチヤツク爪６３，６３……を
定ピツチで突設したチヤツクベースで、これはホ
ルダベース３０上に固着されたシリンダ６４，６
４のシリンダロツド先端に平行バー６５，６５を
連結し、この平行バー６５，６５と上記チヤツク
ベース６２，６２とをガイドロツド６６，６６，
６６，６６で連結し、引張りバネ６７，６７でチ
ヤツク爪６３，６３………をその突出方向に付勢
している。６８，６８は、ホルダベース３０の下
方位置で、その左右両側に回転自在に前後方向に
沿つて架設された回転ガイドで、上記ホルダベー
ス３０上に固設された駆動源であるモータ６９，
６９の出力軸と、上記回転ガイド６８，６８の後
方軸端部とにプーリ７０，７１を同軸的に固着
し、このプーリ７０，７１間にタイミングベルト
７２を纏掛けて連結する。 上記構成からなる半導体ウエーハ立替装置１０
におけるウエーハローデイング及びアンローデイ
ング時での移し替え動作を以下説明する。 まず、ウエーハローデイング時には、複数のウ
エーハ１，１……を一枚ずつその表面を同一方向
に向けて整列収納したキヤリア３を、キヤリア部
１２のキヤリアベース１１上に位置決め載置す
る。そして上記キヤリアベース１１をベース移送
機構２１により待機ポジシヨンP₁から中間ポジ
シヨンP₀まで水平移動させ、その間にホルダ部
２０のホルダ１９をホルダ昇降機構２５により下
降させて中間ポジシヨンP₀に配置されたキヤリ
アベース１１のキヤリア３の上方近傍位置に位置
決め停止させる。その後、上記キヤリアベース１
１下方のプツシヤ機構２３によりキヤリア３内の
ウエーハ１，１……を一括して突上げ、ホルダ１
９下方の回転ガイド６８，６８に沿つて開口窓孔
３３を通過させて上記ホルダ１９内の左右上回転
ローラ１５，１６間の定位置に配置する。この
時、ホルダ１９では、シリンダ５８の突出作動に
より開閉用バー５９を下降させ、この開閉用バー
５９に当接するカムフオロワ６０，６０を引張り
バネ６１，６１の弾性力に抗して押下げてスイン
グアーム３６〜３９を主及び従駆動軸３４，３５
を中心に外側へ揺動させて左右下回転ローラ１
７，１８を開放しておく。 次に上記キヤリアベース１１を待機ポジシヨン
P₁に復帰させた後、複数のウエーハ１，１……
を前記キヤリア３の場合とはその表面を逆方向に
向けて整列収納した次のキヤリア３を、キヤリア
部１２のキヤリアベース１１上に前記キヤリア３
の場合よりも半ピツチずらして位置決め載置す
る。そして前記キヤリア３の場合と同様の手順に
て上記ウエーハ１，１……をホルダ１９内の左右
上回転ローラ１５，１６間の定位置に配置する。
この時、このウエーハ１，１……は先行したウエ
ーハ１，１……間に挿入配置され、これらウエー
ハ１，１……は、二枚ずつその裏面同士を半ピツ
チで対向配置した状態となる。その後、シリンダ
５８の退入作動により開閉用バー５９を上昇さ
せ、引張りバネ６１，６１の弾性力によりスイン
グアーム３６〜３９を内側へ揺動させて左右下回
転ローラ１７，１８を閉じ、チヤツク爪６３，６
３……を開放することによつて上記左右下回転ロ
ーラ１７，１８にて分離状態にある上記ウエーハ
１，１……を整列保持する。 次にウエーハアンローデイング時には、複数の
ウエーハ１，１……を二枚ずつその裏面同士を密
着させた状態で植立させて整列保持したボート５
を、ボート部１４のボートベース１３上に位置決
め載置する。そして上記ボートベース１３をベー
ス移送機構２２により待機ポジシヨンP₂から中
間ポジシヨンP₀まで水平移動させ、その間にホ
ルダ部２０のホルダ１９をホルダ昇降機構２５に
より下降させて中間ポジシヨンP₀に配置された
ボートベース１３のボート５の上方近傍位置に位
置決め停止させる。その後、上記ボートベース１
３下方のプツシヤ機構２４によりボート５上のウ
エーハ１，１……を一括して突上げ、ホルダ１９
下方の回転ガイド６８，６８に沿つて開口窓孔３
３を通過させて、上記ホルダ１９内の左右上回転
ローラ１５，１６間の定位置に配置する。この
時、前述したようにホルダ１９の左右下回転ロー
ラ１７，１８は開放状態にあり、上記ウエーハ
１，１……の挿入配置後、前述した場合と同様に
上記左右下回転ローラ１７，１８を閉じてこの左
右下回転ローラ１７，１８で密着状態にあるウエ
ーハ１，１……を保持する。 上記ウエーハローデイング或いはアンローデイ
ング時に、ホルダ１９の左右上回転ローラ１５，
１６間の定位置に配置された分離或いは密着状態
のウエーハ１，１……が左右下回転ローラ１７，
１８の閉動作によりその左右下回転ローラ１７，
１８のガイド溝（後述）に嵌まり込まない場合で
も、左右上回転ローラ１５，１６が上記ウエーハ
１，１……の水平中心線上の両側方位置に固定配
置されているので、上記ウエーハ１，１……を上
方へ逃がすことも可能となつてウエーハ１，１…
…の破損が発生する虞はない。 次に上記ウエーハローデイング或いはアンロー
デイング時に、ホルダ１９内で左右上下回転ロー
ラ１５〜１８により保持された分離或いは密着状
態のウエーハ１，１……を上記左右上下回転ロー
ラ１５〜１８の回転によりその整列状態を変更し
て密着或いは分離する。上記左右上下回転ローラ
１５〜１８の回転は次のようにして行われる。即
ち、モータ４０の作動により主駆動軸３４を第５
図Ａ矢印方向に回転させ、歯車４２，４３を介し
て右上回転ローラ１５を上記主駆動軸３４とは反
対の第５図Ｂ矢印方向に回転させる。そして、上
記主駆動軸３４の回転をプーリ４８，４９及びタ
イミングベルト５１を介して左上回転ローラ１６
に伝達し、この左上回転ローラ１６を主駆動軸３
４と同一の第５図Ａ矢印方向に回転させる。一
方、上記主駆動軸３４の回転プーリ４４，４５及
びタイミングベルト４７を介して右下回転ローラ
１７に伝達し、この右下回転ローラ１７を主駆動
軸３４と同一の第５図Ａ矢印方向に回転させる。
また、前述した左上回転ローラ１６の回転を歯車
５２，５３を介して従駆動軸３５に伝達し、更に
この従駆動軸３５の回転をプーリ５４，５５及び
タイミングベルト５６を介して左下回転ローラ１
８に伝達してこの左下回転ローラ１８を主駆動軸
３４とは反対の第５図Ｂ矢印方向に回転させる。 このように上記左右上下回転ローラ１５〜１８
を第５図Ａ，Ｂ矢印で示すように相互に逆回転さ
せることにより左右上下回転ローラ１５〜１８の
ガイド溝〔後述〕に沿つてその整列状態が変更さ
れて密着或いは分離するウエーハ１，１……に作
用する力は、一方向に集中することなく、均等に
分散されて上記ウエーハ１，１……を定位置にて
確実に密着或いは分離することが容易となる。 上記左右上下回転ローラ１５〜１８には複数の
ガイド溝ｍ……ｎ……が、その軸方向に沿つて定
ピツチで周方向に形成され、その１つのガイド溝
ｍ，ｎについて説明すると、左右上回転ローラ１
５，１６のガイド溝ｍの形状は、第１０図及び第
１１図と下表に示す通りである。但し、ウエーハ
１，１……の厚みは、例えば0.5mmとする。

【表】 上記ガイド溝ｍにおいて、ウエーハローデイン
グ時、ウエーハ１が侵入する中間ポイントは180゜
位置で、またウエーハアンローデイング時、ウエ
ーハ１が侵入する中心ポイントは0゜（360゜）位置
である。上記中心ポイント近傍ではウエーハ１の
侵入を確実にするため、180゜位置の前後30゜位置
で0.3mm、0゜（360゜）位置の前後30゜位置で0.5mmとな
るように溝幅を拡げる。 次に左右下回転ローラ１７，１８のガイド溝ｎ
の形状は、第１０図及び第１２図と下表に示す通
りである。但し、左右下回転ローラ１７，１８は
左右上回転ローラ１５，１６に対して逆回転する
ため、以下に示す角度は第１０図のカツコ内に示
すものである。

【表】 上記ガイド溝ｎにおいて、ウエーハローデイン
グ時、ウエーハ１が侵入する中心ポイントは180゜
位置で、またウエーハアンローデイング時、ウエ
ーハ１が侵入する中心ポイントは0゜（360゜）位置
である。尚、この左右下回転ローラ１７，１８で
は、左右上回転ローラ１５，１６よりもウエーハ
１，１……下部に近く、そのウエーハ１，１……
下部がウエーハローデイング或いはアンローデイ
ング時にプツシヤのウエーハ受け溝で定ピツチに
位置決めされているので、ガイド溝ｎに確実に侵
入し易く、上記中心ポイント前後で溝幅を拡げる
必要はない。これに対して、左右上回転ローラ１
５，１６は、上記ウエーハ１，１……下部から離
隔しており、ウエーハローデイング或いはアンロ
ーデイング時にプツシヤで保持したウエーハ１，
１……が若干傾倒するため、前述したように中心
ポイント前後で溝幅を拡げる必要がある。 上記ウエーハローデイング時、左右上下回転ロ
ーラ１５〜１８のガイド溝ｍ……ｎ……の18゜位
置にウエーハ１，１……が侵入し、上記左右上下
回転ローラ１５〜１８を同期して回転させること
により、ガイド溝ｍ……ｎ……に沿つて上記ウエ
ーハ１，１……が接近して315゜位置にて密着す
る。またウエーハアンローデイング時、左右上下
回転ローラ１５〜１８のガイド溝ｍ……ｎ……の
0゜（360゜）位置にウエーハ１，１……が侵入し、
左右上下回転ローラ１５〜１８の同期回転によ
り、60゜〜75゜位置でしぼり込まれたウエーハ１，
１……が、120゜位置にかかると、この位置でのエ
ツジ部ｅ，ｅでウエーハ１，１……の分離が開始
し、この開始直後に、75゜位置ではガイド溝ｍ…
…ｎ……が1.1mmから3.38mmへと一挙に拡がるた
め、上記ウエーハ１，１……の分離が確実且つ速
やかに行われる。このエツジ部ｅ，ｅ……の角度
は、本出願人の実験結果によれば、60゜程度が消
耗度が少なく、且つウエーハ分離が確実となつて
最適であつた。 上述のようにしてホルダ１９にてウエーハ１，
１……の密着或いは分離が完了すれば、ボート部
１４のボートベース１３或いはキヤリア部１２の
キヤリアベース１１をベース移送機構２２，２１
により中間ポジシヨンP₀に移送し、この間にホ
ルダ部２０のホルダ１９をホルダ昇降機構２５に
より下降させて空のボート５或いはキヤリア３の
上方近傍位置に配置する。この後各プツシヤ機構
２４，２３のプツシヤを上昇させた上で、ホルダ
１９の左右下回転ローラ１７，１８を開放し、ウ
エーハ１，１……をボート５或いはキヤリア３上
に移し替え、この後ボートベース１３或いはキヤ
リアベース１１を待機ポジシヨンP₂，P₁に復帰
させて、ウエーハ移し替え動作を完了する。 考案の効果 本考案によれば、キヤリアとボート間での
Back to Back方式によるウエーハ移し替えが、
ウエーハに傷をつけたり、ウエーハを破損するこ
となく、確実且つ迅速に行えて、特に、ウエーハ
の分離が容易に行えるので信頼性の高い実用的価
値大なる半導体ウエーハ立替装置を提供できると
共に製品歩留まりも大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る半導体ウエーハ立替装置
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図の平面
図、第３図は第１図の側面図、第４図はボート部
を示す側面図、第５図はホルダ部のホルダを示す
拡大正面図、第６図は第５図の平面図、第７図は
第５図の側面図、第８図はホルダのスイングアー
ムを示す拡大正面図、第９図は第８図の断面図、
第１０図は左右上下回転ローラを示す正面図、第
１１図は左右下回転ローラのガイド溝を示す展開
図、第１２図は左右下回転ローラのガイド溝を示
す展開図である。第１３図はボート上でのBack
to Back方式によるウエーハを示す側面図、第１
４図はウエーハを整列収納したキヤリアを示す斜
視図、第１５図はウエーハを整列保持したボート
を示す斜視図である。 １……半導体ウエーハ、３……キヤリア、５…
…ボート、１５〜１８……上下回転ローラ、１９
……ホルダ、ｍ，ｎ……ガイド溝。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハを一枚ずつ定ピツチで整
   列収納するキヤリアと、上記半導体ウエーハを二
   枚ずつその裏面同士を密着させて定ピツチで整列
   保持するボートとの間に配設されたホルダにて、
   半導体ウエーハをその整列状態を変更させてキヤ
   リア及びボート間で移し替える装置であつて、 上記ホルダは、キヤリア或いはボートから移送
   されて定位置に保持された各半導体ウエーハをガ
   イド溝により誘導しながら密着或いは分離するウ
   エーハ整列方向に沿う長尺な二対の上下回転ロー
   ラを有し、上記上回転ローラを半導体ウエーハの
   中心を通る垂線を境界として両側位置に相互に逆
   回転するように固定配置し、上記下回転ローラを
   上回転ローラの下方位置で上回転ローラに対して
   逆回転するように回動自在に配置したことを特徴
   とする半導体ウエーハ立替装置。