JPS6270437U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6270437U JPS6270437U JP16157385U JP16157385U JPS6270437U JP S6270437 U JPS6270437 U JP S6270437U JP 16157385 U JP16157385 U JP 16157385U JP 16157385 U JP16157385 U JP 16157385U JP S6270437 U JPS6270437 U JP S6270437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- link mechanism
- holders
- telescoping link
- drive mechanism
- telescoping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案実施例のピツチ変換装置を示す
概略平面図で、同図の左半分は保持体の相互間隔
が押し拡げられた状態を示し、同図の右半分は保
持体の相互間隔が縮められた状態を示す。第２図
は対象物を払出す作用を説明するための正面図で
ある。 １……保持体、１１……溝部、２……伸縮リン
ク機構、２ｂ……伸縮リンク機構の折曲部、３…
…駆動機構、１０……ウエハ。
概略平面図で、同図の左半分は保持体の相互間隔
が押し拡げられた状態を示し、同図の右半分は保
持体の相互間隔が縮められた状態を示す。第２図
は対象物を払出す作用を説明するための正面図で
ある。 １……保持体、１１……溝部、２……伸縮リン
ク機構、２ｂ……伸縮リンク機構の折曲部、３…
…駆動機構、１０……ウエハ。
Claims (1)
- 対象物を受入れる溝部を各別に有する複数の保
持体のそれぞれに、伸縮リンク機構に具備された
複数の折曲部を各別に取り付け、この伸縮リンク
機構を駆動機構に連結すると共に、伸縮リンク機
構の伸縮によつて各保持体の溝部同士が等ピツチ
を保つたまま複数の保持体が平行移動するように
構成したことを特徴とするピツチ変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16157385U JPS6270437U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16157385U JPS6270437U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6270437U true JPS6270437U (ja) | 1987-05-02 |
Family
ID=31088008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16157385U Pending JPS6270437U (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6270437U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228949A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Tel Sagami Ltd | ピッチ変換機及びそれを用いたピッチ変換方法 |
| JPH0717629A (ja) * | 1993-07-01 | 1995-01-20 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ整列機 |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP16157385U patent/JPS6270437U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0228949A (ja) * | 1988-07-19 | 1990-01-31 | Tel Sagami Ltd | ピッチ変換機及びそれを用いたピッチ変換方法 |
| JPH0717629A (ja) * | 1993-07-01 | 1995-01-20 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ整列機 |