KR0129405B1 - 배열된 판형상체의 상호 피치간격을 변환하는 피치변환장치 및 피치변환방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

배열된 판형상체의 상호 피치간격을 변환하는 피치변환장치 및 피치변환방법

제1도는 종래의 피치 변환 장치를 나타낸 개략적인 도면.

제2도는 본 발명에서의 웨이퍼 이동 교체 장치의 전체 사시도.

제3도는 본 발명에서의 웨이퍼 이동 교체 장치를 측면쪽에서 보아서, 동작시에 있어서의 웨이퍼를 사이에 두고 잡는 기구와 웨이퍼 리프트 기구와의 위치관계를 나타낸 도식적인 도면.

제4도는 본 발명에서의 웨이퍼 이동 교체 장치를 측면쪽에서 보아서, 웨이퍼를 사이에 두고 잡는 기구와 보우트와의 위치관계를 나타낸 도식적인 도면.

제5a도는 본 발명의 제1실시예에 관한 피치 변환 장치의 요부를 절결하여 나타낸 정면도.

제5b도는 본 발명의 제1실시예에 관한 피치 변환 장치의 요부를 절결하여 나타낸 측면도.

제5c도는 본 발명의 제1실시예에 관한 피치 변환 장치의 요부를 절결하여 나타낸 평면도.

제6도는 본 발명에서 코일 스프링에 대한 이동 부재의 연결상태를 설명하기 위한 횡단면도.

제7a,b,c도는 각각 코일 스프링을 도식적으로 나타낸것으로서, 압축 코일 스프링과 지지편과를 자유도를 갖고서 결합한 이유를 설명하기 위한 도식적인 도면.

제8도는 본 발명에서 먼지의 침입 방지를 도모하도록 한 제1실시예의 변형예를 나타낸 것으로서, 코일 스프링 및 지지핀이 수납된 가이드 축을 나타낸 사시도.

제9도는 본 발명의 제1실시예의 변형예의 가이드축을 나타낸 횡단면도.

제10도는 본 발명의 제1실시예의 변형예를 나타낸것으로서, 이동부재 사이에 압축 코일 스프링을 배치한 기구를 나타낸 사시도.

제11a도는 상기 제10도에 나타낸 기구의 종단면도.

제11b도는 상기 제10도에 나타낸 기구의 횡단면도.

제12a,b도는 상기 제10도에 나타낸 기구의 가이드 레일 및 슬라이드 보올 베어링을 나타낸 사시도.

제12c도는 상기 제10도에 나타낸 기구의 이동부재를 절결하여 가이드 레일 및 슬라이드 보올 베어링을 나타낸 정면도.

제13도는 상기 제10도에 나타낸 기구의 이동부재를 나타낸 평면도.

제14도는 상기 제10도에 나타낸 기구의 압축코일 스프링을 나타낸 평면도.

제15도는 본 발명의 제1실시예의 변형예를 나타낸 것으로서, 폴리·벨트 방식으로 탄성체를 신축 구동 하는 기구를 나타낸 사시도.

제16도는 상기 제15도에 나타낸 기구에서 모우터를 공통화하기 위한 모우터 부분을 나타낸 사시도.

제17도는 상기 제15도에 나타낸 기수의 탄성체 및 이들을 신축 구동하기 위한 1개의 에어 실린더를 나타낸 사시도.

제18도는 본 발명의 제2실시예에 관한 피치 변환 장치의 일부를 절결하여 나타낸 평면도.

제19도는 본 발명의 제2실시예의 장치를 측면쪽에서 보아서 도식적으로 나타낸 단면도.

제20a,b도는 각각 제2실시예의 장치에 구비된 벨로우즈 기구를 나타낸 것으로서, 벨로우즈기구의 신축 동작을 설명하기 위한 정면도.

제21도는 상기 벨로우즈 기구의 부분 종단면도.

제22a도는 본 발명의 제3실시예에 관한 피치 변환 장치의 일부를 절결하여 나타낸 정면도.

제22b도는 본 발명의 제3실시예의 장치를 측면쪽에서 보아서 (제22a도에서 화살표 A)나타낸 도면.

제22c도는 본 발명의 제3실시예의 장치의 처크 부재의 피치 간격을 확대한 부분을 설명하기 위하여, 장치의 일부를 절결하여 나타낸 정면도.

제23a,e도는 각각 처크부, 카세트, 웨이퍼 등을 측면쪽에서 보아서 나타낸 것으로서, 웨이퍼를 카세트에서 보우트에로 이동 교체하는 경우에 대하여 설명 하기 위한 도면.

제24도는 본 발명에서 처크부, 보우트, 웨이퍼 등을 위쪽에서 보아서 나타낸 것으로서 종형로에서 웨이퍼를 이동 교체하는 경우에 대하여 설명 하기 위한 도면.

제25도는 본 발명의 제3실시예에 변형예를 나타낸 것으로서, 이동부재 사이에 압축 코일 스프링을 배치한 기구를 나타낸 사시도.

제26도는 본 발명에서 종형로용의 보우트를 일으켜 세운 상태대로, 핸들러에 의하여 웨이퍼를 이동 교체하는 경우에 대하여 설명하기 위한 평면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 웨이퍼 2 : 처크 기구

2a: 처크 3: 링크부재

3a : 지지점 위치 4 : 구동기구

10: 웨이퍼 이동 교체 장치 20 : 웨이퍼 카세트

20a : 홈 22 : 카세트 스테이지

24 : 끼워져 통하는 입구 30 : 보우트

30a : 홈 32 : 보우트 스테이지

40 : 처크 기구 41 : 승강 실린더

41a : 로드 42 : 이동 홈

44 : 헤드 44a : 모우터

46 : 아암 46a : 모우터

48 : 처크 50 : 가이드 레일

52 : 슬라이더 53 : 너트

54 : 보올 스크루우 60 : 리프트 기구

61 : 승강 실린더 62 : 레이블 부재

80 : 처크부 81 : 처크 부재

81a : 홈 81b : 연결부

82 : 이동부재 82a : 구멍

100 : 피치 변화 구동 101 : 코일 스프링

102 : 가이드 축 102a : 홈

102b : 흡인 구멍 102c : 중공부

103 : 지지핀 103a : 구멍

103b : 지지핀의 한쪽끝단 103c : 지지핀의 다른쪽 끝단

104 : 커버 104a : 슬리트

110 : 보올 스크루우 111 : 너트

112 : 부시 113 : 스톱퍼

114 : 이동 플에이트 115 : 슬라이드 가이드 축

116 : 베어링 120 : 회전축

121 : 스폴라인 130 : 회전 방향 변환부

131 : 제1의 베벨기어 132 : 제2의 베벨기어

133 : 수직축 133a : 베어링

134 : 제3의 베벨기어 135 : 제4의 베벨기어

140 : 커버 141 : 절결부

142 : 도어 150 : 이동부재

150a : 구멍 150b : 도피구멍

150c : 스포트 구멍 150d : 스포트 구멍

151 : 측면판 152 : 지지기등

153 : 가이드 레일 154 : 슬라이드 보올 베어링

159 : 압축 코일 스프링 160 : 벨트

161 : 이이들 풀리 162 : 구동풀리

163 : 모우터 164 : 브래 키트

165 : 2단 폴리 170 : 에어 실린더

201 : 케이스 체 202 : 베로우즈 기구

203 : 벨로우즈 203a : 벨로우즈의 골짜기부

204 : 벨로우즈 가이드 축 205 : 슬라이드 축

206 : 구동나사 207 : 연결판

208 : 보올너트 209 : 구동 모우터

211 : 웨이퍼 픽 (pick) 300 : 이동 교체 장치의 본체

301 : 폐닐 302 : 키이보오드

330 : 보우트 330a : 지지로드

350 : 이동부재 350a : 구멍

350c : 스포트 구멍 350d : 스토트 구멍

351 : 케이스체 352 : 측면판

353 : 가이드 축 354 : 슬라이드 보올 베어링

355 : 에어 실린더 356 : 구동부재

357 : 스톱퍼 357a : 시이트(seat)

358a, 358b,358c,358d : 위치 359 : 압축 코일 스프링

360 : 보올나사 362 : 너트

364 : 이동판 370 : 핸들러

370a : 흡착면 380 : 웨이퍼 스탠드

380a : 지지홈 W : 웨이퍼

본 발명은 용기에 배열된 판형상체의 상호 간격을 변환하는 피치 변화 장치 및 피치 변환 방법에 관한 것으로서, 특히, 다수매의 반도체 웨이퍼를 카세트 및 보우트의 사이에서 이동 교체 할때에 , 웨이퍼의 배열 간격을 변환하는 피치 변환 장치 및 피치 변환 방법에 관한 것이다. 일반적으로, 반도체 소자의 제조 장치에서는, 1개의 반송용 웨이퍼 카세트에 수납된 25매의 반도체 웨이퍼를 처리, 예를 들면 열처리로에 웨이퍼를 반입하는 석영제 보우트에 옮겨싣고, 이것 (예를들면 150매의 웨이퍼)을 열처리로내에 반입하여, 다스매의 웨이퍼를 종합하여 열처리한다. 열처리로의 로입구 앞에는 웨이퍼의 이동교체 장치가 형성되고, 이 이동교체 장치에 의하여 카세트내의 반도체 웨이퍼가 보우트에 순차적으로 이동교체 된다. 이동 교체 장치는, 웨이퍼를 사이에 두오 잡기 위한 1쌍의 사이에 두고 잡는 부재인 처크(chuck)를 갖는다.

이 사이에 두고 잡는 부재의 웨이퍼를 사이에 두고 잡는면에는 다수개의 홈이 카세트 또는 보우트의 홈 간격과 같은 간격으로 형성되어 있고, 이들 홈에 각 웨이퍼의 에지가 꽂아넣어짐으로써 웨이퍼가 호울드 된다. 통상적으로, 상기 사이에 두고 잡는 부재의 홈은, 카세트 안쪽면의 홈과 동일한 피치 간격, 즉, 3/16인치의 피치 간격으로 형성되어 있다. 일반적으로 1개의 카세트 마다 최대 25매까지의 웨이퍼가 수용된다. 이걸에 대하여, 일반적으로 1개의 보우트에는 1로트 (lot)에 최대 200매까지의 웨이퍼가 적재된다. 이 경우에 보우트위에서의 웨이퍼의 배열은 열처리 조건이 각 챠아지(charge)마다 여러종류로 변화되기 때문에, 카세트에서의 3/16인치의 피치 간격의 배열과는 다른 처리에 대응한 배열이 요구되는 경우가 있다. 예를 들면, 보우트 위에서는 6/16인치, 9/16인치 또는 1/8인치등의 피치 간격으로 웨이퍼가 배열된다. 또한 사용자에 따라서는 우에이퍼 배열의 피치 간격의 단위로서, 인치에 대신하여 밀리미터를 지정하는 경우도 있다. 이와같이 카세트와 보우트에서 웨이퍼의 피치 간격이 변경되는 경우에는 종래의 이동교체 장치의 사이에 두고 잡는 부재로서는, 피치 간격을 변경 할 수가 없는 고정된 홈이 형성되어 있기 대문에 이것에 대응 할 수가 없다.

일본국 실개소 61-66944호 공보에 의하면, 제1도에 나타낸 바와같이 이동교체 장치의 사이에 두고 잡는 부재로서 복수개의 처크(2a)의 상호 간격을 가변할 수 있도록 형성된 처크기구(2)가 개시되어 있다. 즉, 복수매의 웨이퍼(1)를 각각의 면이 서로 평행으로 되도록 보호 지지하는 복수개의 처크(2a)를 구비한 처크 기구(2)와, 이 처크(2a)를 각각 독립적으로 동작 시켜서 웨이퍼(1)사이의 피치를 가변하는 복수개의 링크 부재(3)와, 이들 링크 부재(3)를 동시에 구동하는 구동기구(4)와로 구성되어 있다. 링크 부재(3) 지지점 위치(3a)는 각각 다르게 되어 있다. 이 장치에서는 구동기구(4)를 회전 시키면, 링크부재(3)의 한쪽 끝단이 각각 같은 거리만큼 이동하여 링크부재(3)의 다른쪽 끝단에 형성된 처크부재(2a)가 지지점 위치에 따라 각각 다른 거리만큼 이동하므로, 결과적으로 처크부재(2a)의 상호간의 피치가 변환된다. 그러나 상기한 종래의 장치에서는 각 처크부재(2a)마다 링크부재(3)를 필요로 하고, 또한, 각 링크부재(3)의 지지점(3a)이 각각 다르기 때문에, 장치가 복잡하여지고, 또한 대형화 된다는 결점이 있었다. 또한 상기의 장치에서는 링크부재(3)의 한쪽 끝단을 같은 거리만큼 이동 시켰을 경우에, 링크부재(3)의 다른쪽 끝단의 궤적은 엄밀하게는 원호 형상으로 된다. 이로인하여, 다른쪽 끝단에 연결된 처크부재(2a)는 가이드에 의하여 직선적인 상태로 슬라이드 하도록 안내되고 있음에도 불구하고 원호 형상으로 이동하려고 하는 것이어서, 이동저항이 커져서 원활한 이동을 할 수가 없다. 또한 일본국 특개소 61-24404호 공보 및 특개소 54-161881호 공보에도, 피치 가변의 사이에 두고 잡는 부재를 구비하는 웨이퍼 이동교체 장치가 개시되어 있지만 이중의 어느 것이라도 그의 구조가 복잡하고 취급이 번잡한 것등의 이유로 인하여 실용화에 이르지 못하고 있다. 또한 상기한 종래의 장치에서는 1쌍의 사이에 두고 잡는 부재에 의하여 웨이퍼를 사이에 두고 잡는 상태에서 웨이퍼의 피치간격을 일제히 변경하면, 모든 피치변환이 완전하게 동기 되지 않으므로 웨이퍼에 남은 힘이 가해져서 웨이퍼가 파손되는 경우가 있다. 본 발명의 목적은 간단하고 용이한 구조로서 취급이 간편하고 또한 소형의 피치 변환 장치를 제공하는데에 있다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 피치 변환시에 있어서의 웨이퍼를 사이에 두고 잡는 부재의 이동 저항이 작아서, 웨이퍼의 피치간격을 원활하게 변환 할 수가 있는 피치 변환 장치를 제공 하는데에 있다. 또한, 본 발명의 또다른 목적은, 웨이퍼를 파손 시키는 일이 없이 피치를 변환 할 수가 있는 피치 변환 장치 및 그의 방법을 제공 하는데에 있다. 본 발명에 의하면 배열된 판형상체의 상호 피치간격을 변환하기 위한 피치 변환 장치는; 판형상체 수납 수단에 소정의 피치 간격으로 배열된 복수매의 판형상체를 그의 배열 피치 간격 그대로의 상태로 수납 수단으로부터 언로우딩하는 수단과, 이 언로우딩된 판형상체를 그의 배열 피치 간격 그대로의 상태로 호올드하는 호올드 수단과를 갖고, 상기 호올드 수단이 각각의 판형상체의 끝단부가 꼭맞게 끼워 넣어지도록 흠이 형성된 사이에 두고 잡는체와 이들 사이에 두고잡는체에 연결되고 판형상체의 배열 방향으로 신축이 가능하게 형성된 적어도 1쌍의 탄성체와, 이들 탄성체를 신축 시키는 구동 수단과를 구비하고 있고, 상기 탄성체가 상기 구동 수단에 의하여 신축되면, 상기 사이에 두고 잡는체와 함께 판형상체 상호간의 배열 간격이 변경된다. 탄성체는 , 그의 탄성 한도내에서는 후크의 법칙에 따라 신축되기 때문에 탄성체 위의 각 점의 위치는 작용력의 크기에 비례하여 일률적으로 결정된다. 또한 탄성체의 신축 동작은 반복 재현성을 갖는다. 이로 인하여, 각 웨이퍼를 사이에 두고 잡는체(처크부재)를 탄성체의 길이를 따라 같은 간격으로 형성하여, 탄성체에 힘을 작용시키면, 후크의 법칙에 따라 각 처크 부재의 상호 간격은 같은 길이 만큼 신축된다. 즉 각 처크 부재는 탄성체와 함께 항상 같은 간격을 유지하면서 탄성체의 길이를 따라 직선 이동하므로, 피치 변환 동작중에서도 처크부재의 상호 간격이 각각에 동일하게 유지된다. 그 결과, 처크부재에 의하여 사이에 두고 잡은 상태에서 판형상체(반도체 웨이퍼)의 상호 간격이 연속적으로 변경된다. 또한 처크부재의 사이에 탄성체(예를 들면, 코일 스프링)를 배치한 경우에는 그의 자유로운 길이 및 스프링 정수가 같은것인한은 인장력 또는 압축력을 작용 시켰을 경우의 스프링 길이가 모두 같게 된다. 이로 인하여 처크부재사이의 거리를 같은 간격으로 유지하면서 가변할 수가 있으므로, 웨이퍼 상호 간격의 피치 변환을 확실하게 실행 할 수가 있다. 또한 웨이퍼를 사이에 두고 잡는체(처크부재) 그 자체를 탄성체로 구성하여도 좋다, 즉 사이에 두고 잡는체를 신축이 자유로운 벨로우즈 기구로 하고, 이 베로우즈 기구 표면의 요입부를 이용하여 그의 배열 피치를 보호지지 한다. 벨로우즈 기구의 용입부의 상호 간격은 작용력에 비례하여 신축된다. 이경우에 벨로우즈 기구는 데플론제인 것이 바람직하다. 또한 본 발명에 의하면, 배열된 판형상체의 상호 산격을 변환 하기 위한 피치 변환 장치는; 판형상체 수납수단에 소정의 피치 간격으로 배열된 복수매의 판형상체를 그의 피치 간격 그대로의 상태로 수납 수단으로부터 들어 올리는 핸들러 수단과 들어 올려진 판형상체를 사이에 두고 잡는 호울드 수단과를 갖고, 상기 핸들러 수단이 각 판형상체를 지지하는 지지부재의 피치간격을 가변하는 지지부재 구동수단을 구비하고 있다, 또한 본 발명에 의하면, 배열된 판형상체의 상호 간격을 변환하기 위한 피치 변환 방법은; 판형상체를, 그의 배열 수납된 피치간격 그대로의 상태로 핸들러 수단에 의하여 수납 수단으로부터 들어 올리고, 핸들러 수단으로 들어올려 지지 하고 있는 사이에 지지부재와 함께 판형상체를 같은 간격으로 이동시켜, 판형상체의 배열 피치 간격을 변경한다. 상기한 장치 및 방법에서는 핸들러 수단의 지지부재에 의하여 한 형상체의 아래쪽 끝단 또는 아래면만을 지지하고, 웨이퍼의 위쪽 끝단은 자유로운 상태로 있는 것이어서, 피치 변환시에 지지부재에 의하여 웨이퍼에 남은 힘이 가해지지 않게 된다. 이로 인하여, 피치 변환시에 웨이퍼가 파손되지 않으므로, 안전하고도 확실하게 웨이퍼의 피치 간격을 변환 할 수가 있다. 다음에 본 발명의 여러 가지 실시예에 대하여 첨부한 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.

(제1실시예)

실리콘 웨이퍼를 산화·확산 처리 하기 위한 횡형 4단로(도시않됨)가 설치되고, 로의 앞쪽에 웨이퍼 이동교체 장치가 설치되어 있다. 제2도에 도시한 바와같이, 웨이퍼 이동교체 장치(10)는 복수개의 웨이퍼 카세트(20)가 얹어놓여지는 카세트 스테이지(22)및 보우트(30)가 얹어놓여지는 보우트 스테이지(32)를 갖는다. 이들의 스테이지(22),(32)는 동일 선상이고 또한 동일 높이에 있으며, 그의 길이가 X축을 따르도록 직렬로 설치되어 있다. 카세크(20) 및 보우트(30)는, 웨이퍼(W)의 패턴 형성면이 Y축을 따르도록 각각 스테이지(22) 및 스테이지(32)위에 얹어 놓여진다. 또한 카세트(20) 및 보우트(30)의 웨이퍼(W)를 적재하는 부분에는, 3/16인치의 피치 간격으로 또한, 웨이퍼(W)의 에지커브를 따르도록, 각각 다수개의 홈(20a),(30a)이 형성되어 있다. 처크 기구(40)가, 각 스테이지(22),(32)를 따라 형성된 이동 홈(42)의 속에 설치되어 있다. 이동 교체 장치의 본체(300)의 내부는 실질적으로 중공 상태이며, 이 중공부에 도시하지 아니한 X축 이동 기구가 형성되어, 처그 기구(40)가 X축 방향으로 슬라이드 이동 하도록 되어 있다. 또한 이 웨이퍼 이동 교체 장치(10)는 컴퓨터 시스템에서 백업된 패널(301)을 구비하고 있으므로, 필요한 데이터를 패널(301)에 접속된 키이 보오드(302)로서 키이 입력 할 수 있는 구성으로 되어 있다. 제3도에 나타낸 바와같이 본체(300)의 중공부내에는, 서로 평행한 1쌍의 가이드 레일(50)및 1개의 보올 스크루우(54)가 X축을 따라 뻗어 있다. 슬라이더(52)가 1쌍의 가이드 레일(50)에 걸쳐지도록 형성되어 있다. 슬라이더(52)에는 승강실린더(41) 및 너트(53)가 얹어 실려져 있다. 너트(53)와 보올 스크루우(54)와는 서로 나사맞춤 되고, 보올 스크루우(54)의 한쪽 끝단이 펄스 모우터(도시안됨)의 구도축에 연결되어 있다. 이 펄스 모우터는 컴퓨터 시스템에 의하여 백업된 콘트 로울러에 접속되어 있다. 승강 실린더(41)의 로드(41a)의 윗쪽 끝단은 헤드(44)에 접속되어 있다. 헤드(44)네에는 복수개의 모우터 및 복수개의 감속 기어가 내장되어 있으며, 각 기어의 축이 서로 연동하여 튀어 나오거나 들어가도록 , 기어 기구가 컴퓨터 제어되고 있다. 이들 기어축은 2쌍이며 각각의 앞쪽 끝단이 각각 아암(46)에 접속되어 있다. 또한, 각 1쌍의 아암(46)의 앞쪽 끝단에는 각각 피치 변환 구동부(100)가 형성되어 있다. 즉 헤드(44)내의 기어를 구동 시키면, 1쌍의 피치 변환 구동부(100)가 서로 근접 또는 멀어지도록 되어있다. 다음에 제3도 및 제4도를 참조하면서, 웨이퍼를 들어 올리기 위한 리프트 기구(60)에 대하여 설명한다. 복수개의 리프트 기구(60)가, 카세트 스테이지(22)의 아래쪽에 형성되어 있다. 각 리프트 기구(60)는, 스테이지(22)위에 얹어 놓여진 각 카세트(20)의 바로 아래에 위치하고 있다. 카세트(20)의 하부는 개구되어 있으며, 이 하부 개구되는 스테이지(22)의 끼워져 통하는 입구(24)가 서로 연이어 통하고 있다. 리프트 기구(60)의 승강 실린더(61)의 로드 윗쪽 끝단에, 테이블 부재(62)가 형성되어 있다. 이 테이블 부재(62)의 윗면에는, 카세트(20)안쪽면의 홈(20a)과 같은 피치의 홈이 형성되어 있다. 제5c도에 나타낸 바와같이 처크 기구(40)의 1쌍의 처크(48)는 웨이퍼(W)를 1매씩 사이에 두고 잡을수가 있는 처크부(80)로 분할되어 있다. 피치 변환 구동부(100)의 각각에 처크부(80)가 착설되고, 이들 처크부(80)상호의 인접 간격(피치간격)이 피치 변환 구동부(100)에 의하여 변환된다. 또한 , 처크부(80)의 처크 부재(81)는, 웨이퍼 (W)의 에지가 꼭맞게 끼워 넣어지도록 홈 (81a)이 앞쪽 끝단에 형성되어 있다. 처크 부재 (81)는, 예를 들면 다이플튼(등록 상표명 임)으로 만들어져 있다. 이들 처크 부재(81)는 25쌍이며 각각이 이동부재(82)에 지지되어 있다. 또한 처크 부재(81)는 이동 부재(82)의 한쪽면에 접시머리 나사 등에 의하여 고정되어 있다. 제5b도에 나타낸 바와 같이 처크부재(81)상호간의 최소피치를 보다 더 작게하기 위하여, 처크부재(81)의 이동부재(82)에 대한 연결부에서, 위쪽의 영역에 연결부(81b)를 갖는 것과, 아래쪽의 영역에 연결부(81b)를 갖는 것이 교호로 배열 되어 있다. 여기에서, 처크 개폐용 아암(46)에 있어서는, 서로 인접하는 2개의 아암(46)의 대항면에 랙크가 형성되고, 양쪽 랙크에 이 맞물림되도록 피니언 기어(도시않됨)가 형성되어 있다. 이들 피니언 기어는, 헤드(44)에 내장된 모우터(46a)의 구동축에 연결되어 있으므로, 피니언 기어가 회전 구동되면, 피치 변환 구동부(100)의 상호간의 거리가 변경된다. 제5a도에 나타낸 바와같이 피치변환 구동부(100)는 탄성체로서의 스테인레스등 제의 압축 코일 스프링(101)과, 가이드 축(102)과 가이드 축(102)에 연결된 보올 스크루우(100)와를 갖는다. 이 제1실시예에서는, 제5b도에 나타낸 바와같이 스프링(101)이 3개의 가이드축(102)에 각각 끼워져 통하고 있다. 즉 , 위쪽 2개의 가이드 축(102)및 아래쪽 1개의 가이드 축(102)의 각각에 스프링(101)이 끼워져 통하고 있다. 또한 가이드 축(102)의 외부 직경은, 압축 코일 스프링(101)이 가장 늘어난 상태에서의 내부 직경에 따라 설정된다. 다음에, 제5b도를 참조하면서 3개의 가이드 축(102)의 상대 위치 관계에 대하여 설명한다. 3개의 가이드 축(102)은 다음에 설명하는 보올 스크루우(11)가 3개의 가이드 축을 합계로한 중심(G)에 위치 하도록 배치된다. 3개의 가이드 축(102)의 중심(G)은, 다음과 같이하여 구한다. 우선 위쪽 2개의 가이드 축(102)의 각 중심과 아래쪽 가이드축(102)의 각 중심과를 각각 연결하는 선의 2등분점(P)를 구한다. 이들 점(P)과 위쪽 2개의 가이드 축(102)의 각 중심과를 각각 연결하는 선의 교차점이 중심(G)으로 된다. 제6도에 나타낸 바와같이 스프링(101)의 각 터언(스프링의 하나의 권수를 터언(turn)이라 칭함)에는 지지핀(103)이 끼워져 통하게 되고, 지지핀(103)에 의하여 이동부재(82)와 스프링(101)의 각 터언이 연결되어 있다. 지지핀(103)의 중간부에는, 스프링(101)을 끼워 통하기 위한 구멍(103a)이 형성되어 있다. 지지핀의 한쪽 끝단부(103b)는, 가이드 축(102)의 홈(102a)에 끼워져 통하고 있다. 한편, 지지핀의 다른쪽 끝단(103c)은 이동부재(82)의 끝단면에 형성된 구멍(82a)에 끼워져 통하고 있다. 상기한 바와 같이 이동부재(82) 및 스프링(101)을 서로 자유도를 갖고서 연결하고 있는 이유에 대하여, 제7a 내지 제7c도를 참조하면서 설명한다. 제1의 이유는 이동부재(82)의 회전을 방지하기 위함이다. 즉, 압축하였을 경우의 중심선에 대한 코일선의 기울기(θ1)와, 압축 코일 스프링(101)을 압축하였을 경우의 중심선에 대한 코일선의 기울기(θ2)가 다르기 때문에 제7도의 (c)에 나타낸 바와같이 지지핀(103)이 축둘레로 약간 회전하지만, 이동부재(82)와 지지핀(103)이 서로 자유도를 갖고 있는 것이어서, 지지핀(103)과 함께 이동부재(82)가 회전하지 않는다 . 제2의 이유는 조립사으이 편의 때문이다. 각 지지핀(103)을 이동부재(82)에 코오킹 또는 용접에 의하여 고정하면, 동일 모선상에 정확하게 나열하는 것, 및 스프링의 끝단에서 지지핀(103)까지의 거리를 용이하게 함과 동시에, 가이드 축(102)의 홈(102a)에 의하여 스프링(101)에 착설되는 지지핀(103)을 동일 모선상에 보호 지지할 수 있도록 하고 있다. 다음에 제5a도를 참조하면서, 스프링(101)을 사용하여 처크부재(81)상호의 피치 간격을 변환하는 기구에 대하여 설명한다. 구동축으로서의 보올 스크루우(110)가 너트(111)에 나사 맞춤되어 있다. 너트(111)는 이동 플에이트(114)에 고정되고, 이동 플레이트(114)의 위쪽 끝단과 아래쪽 끝단에는 슬라이드 가이드 축(115)을 따라 이동이 가능한 1쌍의 베어링(116)이 배치되어 있다. 이동 플레이트(114)는, 가이드 축(102)에 끼워져 통하는 부시(112)를 갖고, 이부시(112)가 스프링(101)의 끝단면에 맞닿고 있다. 또한 스프링(101)의 다른쪽 끝단측의 끝단면은 스톱퍼(113)에 맞닿고 있다. 따라서, 상기 보올 스크루우(110)를 회전 시켜서 너트(111)를 이동시키면, 부시(112)에 의하여 스프링(101)이 신축된다. 다음에, 제5c도를 참조하면서, 보올 스크루우(110)에 구동력을 전달하기 위한 기구에 대하여 설명한다. 회전축(120)이 모우터(44a)의 구동축에 연결되어 있다. 이 회전축(120)의 길이는 1쌍의 피치 변환 구동부(100)의 최대로 사이가 떨어지 거리를 보충하기에 충분한 길이 이다. 회전축(120)에는 스플라인(121)이 형성되어 있다. 스플라인(121)의 길이는 피치 변환 구동부(100)의 이동 스크로우크에 상당하는 것이다. 한편, 피치 변환 구동부(100)에는 회전 방향 변환부(130)가 형성되어 있다. 회전방향 변환부(130)는 스플라인(121)에 끼워 맞추어져 축(120)과 함께 일체적으로 회전이 가능하고, 또한, 미끄럼 운동이 자유롭게 되어 있다. 이 회전 방향 변환부(130)는 제1의 베벨기어(131)를 갖는다. 제5a도에 나타낸 바와같이 제1의 베벨기어(131)에는 제2의 베벨기어(132)가 이맞물림되고, 이 제2의 베벨기어(132)는 베어링(133a)으로 지지된 수직축(133)의 한쪽 끝단에 고정 부착되어 있다. 수직축(133)의 다른쪽 끝단에는 제3의 베벨기어(134)가 고정부착 되어 있다. 제3의 베벨기어(134)는, 보올 스크루우(110)의 한쪽 끝단측에 고정 부착된 제4의 베벨기어(135)와 이맞물림 되도록 되어 있다. 본 실시예에서는 상기한 바와같은 각종 구동부를 갖는 피치 변환 구동부(100)를 커버(140)로 덮어, 먼지등의 이물질이 웨이퍼(W)에 부착되는 것을 방지하고 있다. 이 경우에, 커버(140)내를 배기 하도록 한 구성으로 하는 것이 바람직하다. 또한 커버(140)에는 적결부(141)가 형성되고, 절결부(141)를 통하여 처크 부재(81)의 연결부(81b)가 보올 스크루우(110)의 축방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 너트(111)에 도어(142)가 착설되고, 도어(142)로서 절결부(141)가 부분적으로 커버되므로, 커버(140)의 절결폭이 최소가 되도록 하고 있다. 다음에, 상기의 장치를 사용하여 웨이퍼(W)의 3/16인치 피치 간격에서 1/8인치 피치 간격으로 변환하는 경우에 대하여 설명한다 . 처크 기구 (40)를 카세트(20)의 앞쪽에 위치 시킨다. 리프트 기구(60)에 의하여 카세트(20)내의 웨이퍼(W)를 일괄하여 리프트 한다. 헤드(44)에서 1쌍의 아암(46)을 돌출시키는 한편, 다른 1쌍의 아암(46)을 후퇴시켜서 처크(48)의 각 1쌍의 처크부(80)에 의하여 각 웨이퍼(W)를 사이에 두고 잡는다. 이 때에 , 각 처크부(80)의 인접 간걱은 3/16인치 이다. 다음에 모우터(44a)에 의하여 회전축(120)을 소정의 회전수 만큼 회전 시킨다. 이것에 의하여 제1의 베벨기어(131) 및 제2의 베벨기어(132)를 통하여 축(120)으로부터 수직축(133)으로 회전력이 전달되어, 보올 스크루우(110)가 회전 하므로, 너트(111)가 축 방향으로 이동한다. 그 결과, 너트(111)와 함께 가이드 축(102)을 따라 이동하는 부시(112)에 의하여 스프링(101)의 끝단면이 밀어 눌려진다. 스프링(101)이 압축되면, 후크의 법칙에 따라 스프링(101)의 각점이 같은 길이 만큼 변위된다. 이로 인하여, 스프링(101)의 터언 피치는 각각 같은 관계를 유지한 그대로의 상태로 그의 배열 피치가 가변된다. 각 터언에 지지핀 (103)을 끼워 통하게 하고 있을 경우에는 이 지지핀(103)의 배열 피칙 같은 관계를 유지한 상태 그대로 이것이 가변된다. 특히 이 제1실시예의 경우에는 3개소에 배치된 스프링(101)은 중심(G)에 배치된 보올 스크루우(110)에 의하여 이동되게 되는 것이어서, 밀어 누르는 힘이 균형있게 분산되므로, 효율이 좋고 확실하게 웨이퍼(W)의 피치 변환을 할 수가 있다. 또한 상기 실시예의 장치를 반도체 소자의 제조 장치로서 사용하는 경우에는 가동부에서 발생하는 먼지 등이 웨이퍼(W)에 부착되면 웨이퍼(W)의 생산성이 저하 되는 것이어서 가동 부분을 커버(140)로 덮어, 가동 부분에서의 먼지의 날아흩어짐을 확실하게 방지 할 수가 있다. 또한 상기 제1실시예에서는 커버(140)내를 배기하여, 가동부분에서 발생하는 먼지를 배출 함으로써 클린룸의 내부를 맑고 깨끗한 상태로 보호 할 수가 있다. 이 경우에, 커버(140)의 절결부(141)는 처크부(80)의 피치 간격에 따라 최소의 개구폭으로 되도록, 도어(142)에 의하여 나머지의 개구를 커버하도록 하고 있는 것이어서, 웨이퍼(W)에 대한 먼지의 부착을 보다 더 격감 시킬 수 있다. 먼지 발생원이라고 생각되는 것은 압축 코일 스프링(101)과, 가이드 축(102)및 지지핀(103)과의 미끄럼운동 부분이다. 이들 미끄럼운동 부분에서 발생하는 먼지를 효과적으로 배출하기 위하여, 제8도 및 제9도에 나타낸 바와같이 가이드 축(102)을 변형하여도 좋다. 이 변형예에서는 압축코일 스프링(101)의 주위에 통형상의 커버(104)를 형성하고, 지지핀(103)의 이동 경로를 따라 슬리트(104a)를 형성하여 둔다. 가이드 축(102)에는 축 방향으로 연이어 통하는 중공부(102c)가 형성되어 있다. 이 중공부(102c)에 연이어 통하도록, 가이드 축(102)의 홈(102a)에 흡인 구멍(102b)이 복수개가 형성되어 있다. 각 흡인구멍(103b)은 배기 장치(도시않됨)에 연이어 통하고 있다 . 상기한 변형예에서는 중공부(102c)내를 배기 함으로써 , 미끄럼 운동부에서 발생한 먼지를 효과적으로 배출 할 수가 있다. 또한 가이드 축(102)및 스프링(101)을 강화 알루미늄 합금으로 레플론 코우팅한 재료로 만들 수도 있다. 또한 상기 제1실시예에서는 탄성체로서 압축 코일 스프링(101)을 채용 하였지만, 이것에 한정되는 것만은 아니고, 코일 끝단에 후크를 갖는 인장 코일 스프링을 탄성체로서 채용하여도 좋다. 이 경우에, 코일 스프링의 단면을 원형만이 아니고, 4각형으로 하여도 좋다. 다음에 제10도 내지 제14도를 참조하여, 제1실시예의 변형예에 대하여 설명한다. 제10도는 피치 변환 장치의 대략 절반으로 나누어진 부분을 나타낸 도면으로서, 이것에 나타낸 바와같이, 각 이동부재(150)상호간에 각각 8개씩의 압축 코일 스프링(159)이 형성되어 있다. 제11a도에 나타낸 바와같이, 1쌍의 측면판(151)사이에 이동 플레이트(114)가 보올 스크루우(110)을 따라 이동이 가능하게 형성되고, 또한, 이동 플레이트114)와 한쪽의 측면판(151)사이에 25매의 이동부재(150)가 같은 간격으로 배열되어 있다. 1쌍의 측면판(151)은 2개의 지지기등(152)에 의하여 연결되어 있으며 이 사이에 결쳐서 윗쪽에 4개, 아래쪽에 4개인 합계 8개의 가이드 레일(153)이 형성되어 있다. 이동부재(150)는 위, 아래에 각각 1개씩 슬라이드 보올 베어링(154)이 형성되고, 상, 하 가이드 레일(153)에 의하여 각각의 이동부재(150)가 미끄럼 운동 하도록 되어 있다. 이 경우에, 베어링(154)은 그의 길이가 12mm로서, 이동부재(150)의 두께 3mm보다도 길기 때문에 단일의 가이드 레일(153)에 이 베어링(154)을 구비한 이동부재(150)를 지지 하였을 경우에, 제12b도에 나타낸 바와 같이 이동부재(150)의 길이를 최소 피치 간격으로 할 수가 없으므로 웨이퍼(W)의 일반적인 최소 피치 간격을 실현 할 수가 없다. 그리하여, 위, 아래의 각각에 가이드 레일(153)을 4개 씩 사용하여, 제12c도에 나타낸 바와 같이, 이동부재(150)의 1매마다 다른 가이드 레일(153)을 사용하도록 하고 있다. 이로 인하여, 제12도의 (C)에 나타낸 바와같이, 서로 인접하는 이동부재(150)사이에서 슬라이드 보올 베어링(154)을 고정 부착하기 위한 위, 아래 각 1개씩의 구멍(150a)이외에, 베어링 간섭 방지용이 도피 구멍(150b)을 위, 아래에 각각 3개소씩 형성하고 있다. 제13도에 나타낸 바와같이, 이동부재(150)의 측면에는 위, 아래에 4개씩의 스프링 지지용의 스포트 구멍(150c)이 형성되고, 이것과 반대쪽의 면에는 상기 스포트 구멍(150c)과는 위치를 변경하여 동일 개수의 스포트 구멍(150c)이 형성되고, 이것과 반대쪽의 면에는 상기 스포트 구멍(150c)과는 위치를 변경하여 동일 개수의 스포트 구멍(150d)이 형성되어 있다. 이들 스포트 구멍(150c), (150d)에 의하여 지지되는 스프링(159)은 예를 들면 스테인레스동(SUS304)으로 만들어져 있다. 제14도에 나타낸 바와 같이, 압축 코일 스프링(159)은 유효 감는수가 3터언, 총 감는수가 5터언, 선재의 직경이 1mm, 코일의 평균 직경이 7mm, 자요로운 길이가 7mm, 스프링 정수가 0.9kg/mm이다. 이 경우에 스프링(159)의 착설시의 하중이 0.9kg, 압축시의 길이가 6mm이며, 최대 하중인 2.7kg 일 때의 압축된 길이가 4mm이다. 여기에서, 두께가 3mm, 이동부재(150)의 스코트 구멍(150c),(150d)의 깊이를 2mm 이상으로 하여두며, 최대 하중시의 길이 4mm의 스프링(159)을 스포트 구멍(150c), (150d)에 의하여 완전하게 흡수 할 수가 있으므로. 이동 부재(150)를 밀착시킨 상태에서 최소 피치 간격으로 된다. 또한 제11a도에 나타낸 바와같이 보올 스크루우(110)의 회전 구동에 의하여 이동 플레이트(114)를 오른쪽에로 이동 시키면, 각 이동부재(150)사이의 압축 코일 스프링(159)은 각각 같은힘을 받아, 동일하게 압축되는 것이어서, 이동부재(150)상호의 피치 간격을 같은 간격으로 유지하면서 피치 간격이 변경된다. 또한, 상기 변형예에서는 웨이퍼(W)의 피치 변환을 실행하는 구동계로서, 공통의 모우터(44a)를 헤드(44)에 설치하고, 3개의 이동부의 중심(G)에 배치된 보올 스크루우(110)까지의 이 회전을 전달하는 방식을 채용하였다. 이와같은 구동계에 대신하여 제15도에 나타낸 바와같이 피치변환 구동부(100)의 보올 스크루우(110)의 한쪽 끝단에 모우터를 직접 연결하고, 2개의 피치 변환 구동부(100)에서 동기 시켜서 모우터를 회전 시키도록 하여도 좋다. 즉, 위,아래의 2개의 가이드 축(102)을 배열 설치하고, 이것에 압축 코일 스프링을(101)을 감아붙이고, 또한, 이동끝단쪽의 처크부(80)에 이동 플레이트(114)를 고정한다. 처크부(80)의 배열 방향으로 경로를 갖는 벨트(160)를, 아이들 풀리(161)와 구동 풀리(162)와의 사이에 걸치고 있다. 또한, 구동풀리(162)를 모우터(163)에 의하여 구동시킴과 동시에, 이동 플레이트(114)와 벨트(160)의 한점과를 정지 브레키트(164)로서 고정하고 있다. 이와같은 기구를 좌, 우의 피치 변환 구동부(100)에 각각 형성하고, 모우터(163)를 각각 동기하여 회전 시킴으로써 피치 변환을 할 수가 있다. 또한 제16도에 나타낸 바와같이 벨트(160)를 모우터(163)의 구동축의 2단 폴리(165)에 각각 감고, 1대의 모우터(163)를 좌, 우의 피치변화 구동부(100)로서 공유화하여, 좌, 우의 처크부(80)를 연동시켜도 좋다. 또한 제17도에 나타낸 바와 같이, 이동 플레이트(114)를 좌,우의 피치 변환 구동부(100)의 이동 끝단쪽에서 공통화하고, 이공통의 이동 플레이트(114)에 에어 실린더(170)의 로드를 연결하여, 좌, 우의 추크부(80)를 연동 시켜도 좋다, 또한 상기 한 실시예와 같이, 탄성체로서 복수개의 코일 스프링(101)을 사용 하였을 경우에는, 가이드 축(102)에 대한 각 스프링(101)을 감기 시작하는 위치가 서로 다르면, 지지핀(103)의 피치가 각 스프링(101)마다 서로 다르므로, 웨이퍼(W)를 평행하게 지지 할 수가 없는 경우가 있다. 이와같은 문제점을 해소하기 위하여, 스프링(101)의 한쪽 끝단과 접촉하는 스톱퍼(113)를 가이드 축(102)에 대하여 회전이 가능하게 형성하고, 스톱퍼(113)의 회전에 의하여 스프링(101)을 회전시켜, 감기 시작하는 위치를 각 축마다 같게 조정 할 수가 있도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실시예에서는, 회전 출력 전달 계통을로 베벨기어의 기어 배열을 사용 하는 것이어서, 정전시에 스프링(101)의 탄성력에 의하여 자유로운 길이까지 급격히 압축될 염려가 있다. 이것을 해소하기 위하여, 감속용의 워엄 기어를 게재 시킨다던가, 또는 모우터(44a)자체에 비상시용의 브레이크 기구를 착설하는 것이 바람직하다. 이상에서 설명한 바와같이 본 발명에 의하면, 탄성체를 신축시킨다는 간단하고 용이한 구동 기구에 의하여, 처크부와 함께 반도체 웨이퍼(W)의 배열 피치 간격을 무단계로 변환 할 수가 있다.

(제2실시예)

다음에, 본 발명의 제2실시예에 대하여 설명한다. 또한, 제2실시예가 상기 제1실시예와 공통되는 부분에 대하여는 설명을 생략한다. 제18도에 나타낸 바와같이, 제2실시예의 피치 변환 장치에서는 탄성체로서 벨로우즈 기구(202)를 사용한다. 처크 본체로 되는 절단면이 초생달 형상인 케이스체(201)가, 그의 곡면 형상인 안쪽벽을 서로 대향시켜서 배치되어 있다. 케이스체(201)의 안쪽벽에는 각각 2개의 벨로우즈 기구(202)가 케이스체(201)의 길이 방향으로 평행하게 착설되어 있다. 각 벨로우즈 기구(202)는 케이스체(201)의 대략 중앙부에 배치되고, 예를 들면 두께가 0.3 내지 0.5mm 인 테플론(상품명 임)이나 다이플론(상품명임)으로 만들어진 벨로우즈(203)를 갖는다. 가이드 축(204)이 이 벨로우즈(203)에 끼워져 통하고, 그의 양쪽 끝단이 케이스체(201)의 끝단부에 고정되어 있다. 즉, 상기 벨로우즈(203)는 이 벨로우즈 가이드 축(204)을 따라 신축되도록 구성되어 있다. 벨로우즈 가이드 축(204)의 케이스체(201)의 안쪽 벽면측에는 이 벨로우즈 가이드 축(204)와 평행하게 슬라이드 축(205), 구동 나사(206)순차적으로 배열 설치되어 있다. 또한 상기 벨로우즈(203)의 길이 방향 양쪽 끝단면과 슬라이드 축(205) 및 구동나사(206)는 연결판(207)에 의하여 연결되어 있다. 연결판(207)과 벨로우즈(203)의 끝단면과의 맞닿는 부는 고정되어 있다. 연결판(207)과 슬라이드 축(205)과는, 연결판(207)이 축방향으로 이동이 가능한 구조로서, 예를 들면 연결판(207)에 뚫려진 개구부에 슬라이드 축(205)이 삽입된 구조로 착설되어 있다. 또한, 구동나사(206)와 연결판(207)과는 보올 너트(208)에 의하여 연결되어 있다. 이 구동나사(206)는 나사산이 좌, 우측으로 분리되어, 서로 반대의 피치로 형성되어 있다. 또한, 구동나사(206)는, 구동모우터(209)에 접속되어 있다. 즉, 이 구동 모우터(209)의 회전에 의하여 구동나사(206)가 회전하여 연결판(207)이 서로 접근 또는 사이가 떨어짐으로써, 벨로우즈(203)가 신축된다. 제19도 나타낸 바와같이 , 웨이퍼(W)는 2쌍 벨로우즈기구(202)에 의하여 사이에 두고 잡아진다. 다음에, 제20a,b도를 참조하면서, 상기 제2실시예의 장치에 의하여 반도체 웨이퍼의 배열피치 간결을 좁게하는 경우에 대하여 설명한다. 도시를 생략한 웨이퍼 캐리어에 수용된 복수매 예를 들면, 25매의 반도체 웨이퍼(W)를, 캐리어의 아래면에서 웨이퍼 승강대 예를 들면 주걱 형상의 웨이퍼 픽(pick)(211)에 의하여 캐리어 상부에로 상승시킨다. 그리고, 각 케이스체(201)를 도시를 생략한 구동기구에 의하여, 반도체 웨이퍼(W)의 배열방향의 측면 양쪽에로 접근시킨다. 이 때에 제20a도에 나타낸 바와같이 각 반도체 웨이퍼(W)가 벨로우즈(203)의 골짜기부(203a)에 삽입되도록 벨로우즈(203)의 골과산의 피치를 미리 예를 들면 3/16인치 피치로 구동 모우터(209) 및 구동나사(206)를 동작시켜서 조정하여 둔다. 이와같이 하여 각 반도체 웨이퍼(W)를 각 벨로우즈(203)의 골짜기부(203a)에서 사이에 두고 잡은후에, 구동모우터9209)에 의하여 구동나사(206)를 회전시켜서 연결판(207)의 간격을 접근시킨다. 구동나사(206)은 연결판 사이의 중심을 사이에 두고 반대의 나사로 되어 있기 때문에, 각 연결판(207)은 각각 같은 간격으로 중심방향으로 접근한다. 이 연결판(207)의 접근과 동시에 각 벨로우즈(203)은 수축되므로, 제20b도에 나타낸 바와같이 벨로우즈(203)로서 사이에 두고 잡은 반도체웨이퍼(W)의 배열 피치도 예를 들면 1/8인치 간격으로 좁아진다. 이와같이 하여 웨이퍼(W)의 배열피치의 변환을 종료한 후에, 이 배열 피치와 마찬가지의 피치를 갖는 웨이퍼 캐리어에로 승강픽 등을 사용하여 옮겨 실어서, 옮겨 싣는 작업을 완료한다. 또한 반도체 웨이퍼(W)의 배열 피치를 좁은 피치에서 넓은 피치에로 변환하는 동작은 상기에서 설명한 동작과 반대의 동작으로 하는 것이 바람직하다. 또한 벨로우즈(203)의 부재로서는 내열성, 내부식성, 그리고 반도체 웨이퍼(W)에 손상을 주는 일이 없는 비교적 연질인 부재이면 어느 것이 라도 좋고, 벨로우즈(203)의 형상으로서는 제21도에 나타낸 바와같이 반도체 웨이퍼(W)를 보호 지지하는 벨로우즈(203)의 골짜기부(203a)에 반도체 웨이퍼를 보호 지지 하기가 쉽도록 평탄부를 형성한 구조의 것이 좋다. 이 제2실시예에서는 , 피치 변환기구로 벨로우즈를 사용함으로써, 피치 변환을 위한 신축 기구와 웨이퍼 보호지지 기구와를 일체화 하는 것이 가능하게 되므로, 장치 전체의 구조를 대폭적으로 간략화 할 수가 있다. 이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 제2실시예에 관한 반도체 웨이퍼의 배열 피치 변환 장치에 의하면, 간소한 기구로서 피치가 다른 캐리어 사이에서도 짧은 시간내에 옮겨실을수가 있고, 또한, 작업도 용이하며 또한 완전 자동화에 대응하는 피치 변환 장치를 실현하여, 반도체 웨이퍼의 옮겨싣는 작업의 대폭적인 효율을 도모 할 수가 있다.

(제3실시예)

다음에, 본 발명의 제3실시예에 대하여 설명한다. 이 제3실시예에서, 웨이퍼(W)를 핸들러에 의하여 아래쪽에서 지지한 상태에서 웨이퍼(W)의 배열 피치 간격을 변경한다. 또한, 제3실시예가 , 상기 제1실시예와 공통되는 부분에 대하여는 설명을 생략한다. 제3실시예의 장치에 사용되는 핸들로로서는, 첫째, 카세트의 내부에서, 수직 상태로서 가로방향으로 소정의 피치로 일으켜 세워져 있는 복수매의 웨이퍼(W)의 아래 끝단을 지지하고, 카세트의 아래쪽에서 위쪽으로 핸들러를 밀어올려, 카세트에서 완전히 웨이퍼(W)를 이탈시켜서 처크에 주고 받을 것, 둘째 카세트의 위쪽에서 처크에 지지되어 있는 판형상체의 아래쪽 끝단을 지지하도록 맞이하고, 핸들러를 하강시켜, 카세트내에 웨이퍼(W)를 얹어 놓을것, 셋째, 카세트내에서 수평상태로서 세로방향으로 소정의 피치로 배열지지 되어 있는 웨이퍼(W)의 아래면을 지지하고, 핸들러의 이동에 의하여 카세트에서 웨이퍼를 이탈시켜, 보우트로 이동 전환할 것등이 있다. 제3도에 나타낸 바와같이, 그의 테이블 부재(62)가 끼워져 통하는 입구(24)를 통하여 스테이지(22)의 윗쪽을 향하여 이동할 수 있도록 형성되어 있다. 상기 테이블 부재(62)의 승강기구로서는 , 에어 실린더, 보올너트와 같은 직선 구동 기구를 채용 할 수가 있고, 또한 폴리와 벨트에 의하여 계단 형상의 이동부재를 위, 아래로 운동 시키는 기국을 채용할 수도 있다. 이 테이블 부재(62)에는, 상기 카세트(20)의 수납 홈(20a)의 피치 간격에 맞추어서 다음에 설명하는 바와 같이 피치가 가변되는 25매의 웨이퍼 스탠드(380)(상세한 설명은 다음에 설명함)가 형성되어, 웨이퍼(W)를 그의 아래쪽 끝단부측에서 소정의 피치 간격으로 지지가 가능하게 하고 있다. 핸들러(370)는 이들 웨이퍼 스탠드(380)와, 이동부재(350)와를 갖는다. 따라서, 제3도에 나타낸 바와같이 끼워져 통하는 입구(24)를 통하여 테이블 부재(62)를 윗쪽으로 이동시킴으로써, 카세트(20)내에 수납되는 복수매의 웨이퍼(W)는 테이블 부재(62)에 의하여 그의 아래쪽 끝단이 지지된 상태로서 위쪽에로 이송된다. 드리고, 위쪽의 소정 위치까지 이송된 웨이퍼(W)는 웨이퍼를 사이두고 잡는 수단으로 기능을 행하는 처크기구(40)를 사용하여 사이에 두고 잡아서, 소정의 이동경로를 거쳐 보우트(30)를 향하여 옮겨 싣게 된다. 다음에 상기 웨이퍼(W)를 애리쪽에서 밀어올리는 상기 테이블 부재(62)에 대하여 상세히 설명한다. 제22a 및 22b도에 나타낸 바와같이 상부가 개구된 상기 테이블 부재(62)의 케이스체(351)주에는 , 위쪽에 4개, 아래쪽에 4개의 합계 8개인 가이드 축(353)이 걸쳐져 있다. 상기 케이스체(351)의 한쪽의 측면판(352)(제22도의 U면쪽)에는, 상기 웨이퍼 스탠드(380)가 고정되고, 1쌍의 측면판(352)의 상호간에는 예를 들면 24개의 상기 웨이퍼 스탠드(380)가 배치되고, 이들은 각각 상기 가이드 축(353)을 따라 이동이 가능한 이동부재(350)에 고정 부착되어 있다. 그리고, 이 웨이퍼 스탠드(380)는 예를 들면 다이플론(상품명임)으로 형성되고, 웨이퍼(W)를 지지하는 지지홈(380a)이 앞쪽 끝단에 형성되어 있다. 또한, 일반적으로 이 리프트 기구(60)와 카세트(20)와는 웨이퍼(W)를 주고 받을때의 클리어런스(clearance)가 적고, 특히 카세트(20)의 H면 쪽은 견고한 것이어서, 상기 웨이퍼 스탠드(380)의 H면쪽을 특히 얇은 프레임으로 형성하고 있다. 상기 이동부재(350)에는 위, 아래에 각각 1개씩의 슬라이드 보올 베어링 (354)이 있으며, 위, 아래 1쌍의 가이드축(353)에 의하여 각각 미끄럼 운동이 자유롭게 되어 있다. 또한, 본 실시예의 경우에는 , 상기 슬라이드 보올 베어링(354)은 제12a도에 나타낸 바와 같이 그의 길이가 12mm로 길고, 상기 이동부재(350)의 두께(본 실시예에서는 1/8인치)보다도 길기 때문에 단일의 가이드 축(353)에 슬라이드 보올 베어링(354)을 구비한 이동부재(350)를 지지 하였을 경우에는, 제12b도에 나타낸 바와 같이 슬라이드 보올 베어링(354)의 길이를 최소피치로 할 수가 없으므로, 웨이퍼(W)의 일반적인 최소피치를 실현 할 수가 없다. 그리하여 이 제3실시예에서는 상기에서 설명한 바와같이 위, 아래에 각각 가이드 축(353)을 4개 사용하여, 제12c도에 나타낸 바와 같이 이동부재(350)의 1때마다 다른 가이드 축(353)을 사용하도록 하고 있다. 이로 인하여 제12c도에서 명백한 바와 같이 인접하는 이동부재(350)사이에서 상기 슬라이드 보올 베어링(354)이 간섭하지 않도록 할 필요가 있으므로 상기 이동부재(350)에는 슬라이드 보올 베어링 (354)을 고정 부착하기 위한 위, 아래 각 1개씩의 구명(350a)이외에, 베어링 간섭 방지용의 도피구멍(350b)이 위, 아래의 각각 3개씩 형성되어 있다. 다음에 상기 이동부재(350)및 웨이퍼 스탠드(380)의 피치를 예를 들면 1/8인치와 3/16인치인 2종류의 피치로 가변하는 구동기구에 대하여 설명한다. U면쪽의 상기 측면판(352)에 에어실린더(355)가 고정부착되고, 이 에어 실린더(355)에 의하여 제22a도중에서 좌, 우 방향으로 이동이 자유로운 구동부재(356)가 가장 H면쪽의 상기 이동부재(350)에 고정 부착되어 있다. 그리고, 상기 에어실린더(355)의 구동에 의하여 각 이동부재(350)가 밀착됨으로써(제22a도 상태), 상기 1/8인치 피치를 실현할 수 있도록 되어 있다. 제22c도에 나타낸 바와같이, 각 이동부재(350)사이의 3/16인치 피치는, 스톱퍼(357)에 의하여 실현이 가능하게 되어있다. 이 스톱퍼(357)는 각 이동부재(350)의 위, 아래 2개소에 예를들면 나사멈춤에 의하여 고정된 시이트(357a)를 갖는 나사로 구성되고, 스톱퍼(357)를 고정 부착한 이동부재(350) 인근의 이동부재(350)가 , 상기 스톱퍼(357)의 시이트(357a)에 의하여 이동이 규제되고, 이 위치에서 각 이동부재(350)사이의 피치가 3/16인치로 되도록 되어 있다. 또한 이 스톱퍼(357)를 1개를 배치 함으로써 스톱퍼의 도피 등을 위하여 그의 축방향에서 4매분의 이동부재(350)에 공간을 필요로 한다. 이로 인하여, 제22b도에 나타낸 바와같이 1,5,9,... 매째의 이동부재(350)에 대하여서는 제22b도의 358a의 위치에 스톱퍼(357)를 고정하고, 2,6,10....매째의 이동부재(350)는 358c의 위치에 3,7,11.....매째의 이동부재(350)는 358c의 위치에 4,8,12.....매째의 이동부재(350)는 358d의 위치에 스톱퍼(357)를 고정하도록 하여, 서로 스톱퍼(357)가 간섭하지 않도록 되어 있다. 또한 이와같이 이동부재(350)가 이동하는 상기 케이스체(351)의 내부는 반도체 웨이퍼(W)의 맑고 깨끗한 환경을 해치지 않도록 , 예를 들면 진공흡인하여 먼지 등이 외부로 날아 흩어지지 않도록 하고 있다. 다음에 작용에 대하여 제23a 내지 23e를 참조하여 설명한다. 본 실시예의 경우 당초에 웨이퍼(W)가 얹어 실어져 있는 카세트(20)의 배열피치는, 3/16인치이며, 이 핑치의 상태 그대로 보우트(30)에 얹어싣는 경우에는 피치 변환은 불필요하다. 그러나, 프로세스의 종류등에 따라 웨이퍼(W)의 배열 피치를 변환하는 경우도 있으며 예를 들면 1회의 처리에 사용되는 처리매수를 많게하여 드루프트를 향상 시키는 경우에는 이 피치로서는 1/8인치가 채용 될 수가 있다. 이와같이 카세트에서의 배열피치(예를 들면 1/16인치)와는 다른 피치(예를 들면 1/8인치)로 보우트(30)위에 웨이퍼(W)를 얹어싣는 경우에는 다음의 공정에 따라 피치 변환이 실행된다. 우선, 리프트 기구(60)로서 카세트(20)내의 웨이퍼(W)를 일괄하여 밀어 올려서, 카세트(20)의 피치와 리프트 기구(60)의 웨이퍼 스텐드(380)의 피치와를 동일 하게 하여둘 필요가 있다. 그리하여 에어 실린더(355)의 구동에 의하여 제22c도에 나타낸 바와 같이 가장 H면쪽의 이동부재(350)를 제22c의 오른쪽으로 이동시키고, 또한 스톱퍼(357)에 의하여 각 이동부재(350)사이의 거리가 규제되는 위치까지 이동시킴으로써. 이동부재(350)사이, 즉, 웨이퍼 스텐드(380)사이의 피치가 3/16인치로 설정되게 한다. 이와같은 상태로 설정한 후에 테이블 부재(62)를 상승시켜, 카세트(20)내의 웨이퍼(W)를 각 이동부재(350)의 위쪽 끝단에 형성된 웨이퍼 스텐드(380)에 의하여 지지하고 , 더욱더 상승 시킴으로서 카세트(20)내의 웨이퍼(W)를 카세트(20)에서 위쪽으로 이탈시킬수가 있으므로 제23a도에 나타낸 바와같이 1쌍의 처크(48)사이에 배치되는 위치까지 상승된 곳에서 정지한다. 그리고, 이와같이 웨이퍼(w)를 카세트(20)에서 이탈시키고 또한, 이 웨이퍼(W)를 1쌍의 처크(48)에 의하여 사이에 두고 잡기 전에, 상기 웨이퍼 스텐드(380)의 피치 변환을 실행한다. 즉 , 에어 실린더(355)의 구동에 의하여 가장 H면쪽의 이동부재(350)를 제22도 C의 오른쪽으로 이동 시키고, 또한, 스톱퍼(357)에 의하여 각 이동부재(350)사이의 거리가 규제되는 위치까지 이동 시킴으로써 이동부재(350)사이, 즉 웨이퍼스탠드(380)사이의 피치가 3/16인치로 설정되게 된다. 이와같은 상태로 설정한 후에 테이블 부재(62)를 상승시켜, 카세트(20)내의 웨이퍼(W)를 각 이동부재(350)의 위쪽 끝단에 형성된 웨이퍼 스탠드(380)에 의하여 지지하고, 더욱 더 상승 시킴으로써 카세트(20)내의 웨이퍼(W)를 카세트(20)에서 윗쪽으로 이탈시킬수가 있으므로, 제23a도에 나타낸 바와 같이 1쌍의 처크(48)사이에 배치되는 위치까지 상승된 곳에서 정지한다. 그리고, 이와같이 웨이퍼(w)를 카세트(20)에서 이탈 시키고 또한 이 웨이퍼(W)를 1쌍의 처크(48)에 의하여 사이에 두고 잡기 전에 상기 웨이퍼 스텐드(380)의 피치 변환을 실행한다. 즉 , 에어 실린더(355)의 구동에 의하여 가장 H면쪽의 이동부재(350)를 제22C도의 도시에서 왼쪽으로 이동하여, 각 이동부재(350)가 서로 밀착되는 위치까지 이동한다. 그 결과, 제22a도에 나타낸 바와같이, 웨이퍼 스탠드(380)사이의 피치가 1/8인치로 설정된다. 이와같은 피치 변환에 있어서, 웨이퍼 스탠드(380)는 웨이퍼(W)의 아래쪽 끝단을 지지하고만 있는 것이어서, 피치변환과정에 각 웨이퍼 스탠드(380)사이의 피치가 달라지게 되어도 웨이퍼(W)의 지지에 지장은 발생하지 않는다. 즉, 이와같은 피치변환을 1쌍의 처크(48)로 행하도록한 제1실시예의 경우와 비교하면, 1쌍의 처크(48)의 의하여웨이퍼(W)의 양쪽 끝단을 사이에 두고 잡게 되는 것이어서, 양쪽의 처크(48)를 동기하여 이동 시키지 않으면 웨이퍼(W)를 변형 시키도록한 부하가 작용하는 문제가 있지만 리프트 기구(60)로서 피치변환을 실행하는 경우에는 피치 변환의 이동시에 그와같은 요구가 없이 간편하고 용이하게 실시 할 수가 있다. 이와같이 제23b도에 나타낸 바와같이 1/8인치 피치로 변환된 웨이퍼(W)는 1쌍의 처크(480사이의 대향간의 거리를 좁아지도록 헤드(44)를 구동함으로써, 1쌍의 처크(48)에서 사이에 두고 잡게된다. 이어서, 제23c도에 나타낸 바와같이, 리프트 기구(60)의 테이블 부재(62)를 초기 위치까지 하강시킴으로써, 웨이퍼(W)는 1쌍의 처크(48)에 의하여서만 지지된다. 또한 제23d도에 나타낸 바와 같이 1쌍의 처크(48)를 보우트(30)의 위쪽까지 이동하여, 1쌍의 처크(48)를 아래쪽으로 이동시키고, 또한, 1쌍의 처크(48)사이의 대향간의 거리를 넓히는 구동을 실행한다. 이것에 의하여 제23e도에 나타낸 바와같이 웨이퍼(W)(웨이퍼 지지용의 홈 피치는 1/8인치임)를 1쌍의 처크(48)에서 보우트(30)로 주고 받을수가 있다. 또한 상기 보우트(30)는 그후에 열처리로내에 반입되어, 보우트(30)에 얹어 놓여진 웨이퍼(W)의 열처리후에 반출되지만, 이 열처리후의 웨이퍼(W)를 보우트(30)에서 피치 변환하여 상기 카세트(20)로 되돌려 반송하는 경우에는, 상기한 공저의 반대공정을 실시함으로써 실현 할 수가 있다. 또한, 상기 실시예의 경우에는 보우트(30)과 1쌍의 처크(48)의 웨이퍼 지지홈 피치는 같게 하여둘 필요가 있다. 이 경우에 처크(48)의 피치가 다른 것을 복수개를 준비하여 두는 것도 좋지만 상기에서 설명한 피치 변환 구동부(100)를 형성하여, 1쌍의 처크(48)를 가변 피치로 두는 것도 좋다. 다음에 제24도를 참조하면서, 보우트(330)를 종형로에 대응한 것으로 한경우에 대하여 설명한다. 이와같은 보우트(330)는 수평으로 놓여진 경우에 위쪽 2개의 지지로드(웨이퍼 지지용의 홈이 형성되어 있음)(330a)가 웨이퍼(W)의 중심보다도 높은 위치에 배치된다. 이로 인하여 , 보우트(330)를 수직으로 세워서 사용하는 경우에도 안정하게 웨이퍼(W)를 지지할 수 있도록 되어 있다. 이와같은 종형로에 대응한 보우트(330)에 웨이퍼(W)를 이동전환하는 경우에 있어서 제23a도 내지 제23e도에 나타낸 동작공정으로서 달라지는 점에 대하여 설명한다. 리프트 기구(60)의 테이블 부재(62)를 상승시켜서 웨이퍼(W)를 맞이하고 제24도에 나타낸 바와같이 웨이퍼 스텐드(380)로서 웨이퍼(W)를 지지한 후에 이것을 하강시켜, 보우트(330)로 웨이퍼(W)를 이동 전환한다. 그 이유는 1상의 처크(48)를 하강시키면 보우트(330)의 지지로드(330a)와 간섭하여 버리기 때문이다. 따라서, 이와같은 종형로에 대응한 보우트(330)에 웨이퍼(W)를 이동 전환하는 경우에는, 이와같이 보우트(330)로 이동 전환하기 직전에 상기 피치변환이 가능하다. 그리고 이와같이 보우트(330)이동 전환하기 직전에 피치변환을 실행 할 수가 있는 것이라면, 처크(48)의 홈 피치는 보우트(330)의 것과 맞출 필요가 없고 카세트(20)의 홈 피치와 동일하게 하여두면 양호한 점에서 유리하게 된다. 또한, 제25도에 나타낸 실시예와 같이, 이동부재(350)의 상호간에 복수개의 스프링(359)을 각각 배치하여도 마찬가지로 피치 변환이 가능하다. 상기 이동부재(350)사이의 거리가 항상일정하게 설정되도록 압축 코일 스프링(359)이 각각 이동부재(350)의 상호간에 8개소가 배치되도록 되어 있 다. 이로 인하여, 상기 이동부재(350)의 한쪽면에는, 위,아래에 각각 4개씩 스프링 지지용의 스포트 구멍(350c)이 형성되고, 그의 다른쪽며네도 상기의 한쪽면과는 위치를 변경하여 마찬가지로 숫자의 스포트 구멍(350d)이 형성하고 있다. 이 스포트 구멍(350c) 및 (350d)에 지지되는 상기 압축코일 스프링(359)운, 제1실시예의 것과 동일한 것이다. 또한, 이동부재(350)의 구동원은, 이경우에 보올나사(360)를 채용하고, 제22도의 (A)의 가장H면쪽에 형성된 이동판(364)에는 상기 보올나사(360)에 나사맞춤하는 너트(362)가 배치되어 있다. 이와같은 구성에 있어서도, 보올나사(360)의 회전구동에 의하여 이동판(364)을 예를들면 제25도의 왼쪽으로 이동시키면각 이동부재(350) 상호간의 코일 스프링(359)은 각각 같은 힘을 받아서 동일하게 압축 되는 것이어서, 이동부재(350) 상호간의 같은 피치를 유지하여 그의 피치폭을 가변 할 수가 있다. 그리고, 이경우에는 이동부재(350)상호간의 피치를 무단계로 변환 할수 있는 점에서 우수하다. 또한, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되는 것만은 아니고, 발명의 요지의 범위내에서 여러 가지의 변형 실시가 가능하다. 예를 들면 종형로에 대응한 보우트(330)르 세운 상태 그대로, 카세트(20)과의 웨이퍼(W)의 이동전환을 실시하는 것으로서 제26도에 나타낸 바와같이 한쪽면에 흡착면(370a)을 형성한 핸들러(370)를 수평상태로 하여 보우트(30)의 가 웨이퍼(W)사이에 삽입하여 웨이퍼(W)를 흡착하여 인출하고,이 태에서 상기에서 설명한 각 기구에 의하여 각 핸들러(370)사이의 피치 변환을 실시하고 그후에 90°회전시켜서 수직상태에서 카세트(20)로 웨이퍼(W)를 이동 전환하는 구성을 채용할 수 있다. 또한 90°회전후에 상기 피치 변환을 실시하는 것이어도 좋다. 또한 카세트(20)에서 보우트(30)로 웨이퍼(W)를 이동전환하는 경우에 있어서는, 상기의 반대 공정을 실시하면 좋다. 또한, 본 발명은 반도체 웨이퍼의 제조장치에만 적용되는 것에 한정하지 않고, 그 밖의 여러종류의 판형상체의 피치변환에도 적용할 수가 있다.

Claims (8)

1. 수납 수단에 소정의 피치 간격으로 배열된 여러장의 판형상체를 그의 배열피치 간격 그대로의 상태로 수납 수단으로부터 언로우딩하는 수단과 상기 언로우딩 판형상체를 , 그의 배열 피치간격 그대로의 상태로 호올드하는 호올드 수단을 가지며, 상기 호올드 수단이, 각 판형상체를 각각 지지하여, 판형상체의 배열방향으로 이동이 가능하게 형성된 가동부재와, 판형사체의 배열방향으로 신축이 가능하게, 상기 기동부재에 형성된 탄성체와 상기 탄성체를 신축시키는 구동수단을 구비하여 상기 탄성체가 상기 구동수단에 의하여 신축되면 호울드된 상태에서 판형상체의 배열 피치 간격이 변경되도록 구성하는 배열된 판형상체의 배열 피치 간격을 변환하는 피치변환장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 탄성체가 압축 코일 스프링(159)인 배열된 판형상체의 상호 피치 간격을 변환하는 피치 변환장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 압축 코일 스프링(159)이 각 기동부재의 상호간에 각각형성되어 있는 배열된 판형상체의 상호 피치 간격을 변환하는 피치 변환장치.
4. 수납 수단에 소정의 피치 간격으로 배열된 여러자의 판형상체를 그의 배열피치 간격 그대로의 상태로 수납 수단으로부터 언로우딩하는 수단과, 상기 언로우딩된 판형상체를, 그의 배열 피치간격 그대로의 상태로 호올드하는 호올드 수단을 가지며, 상기 호올드 수단이, 판형상체의 배열 방향으로 신축이 가능하게 형성되어, 각 판형상체를 각각 지지하기 위한 요입부가 형성된 벨로우즈 수단과, 상기 벨로우즈 수단을 신축시키는 구동수단을 구비하며, 상기 벨로우즈 수단이 상기 구동수단에 의하여 신축되면, 호울드된 상태로 판형상체의 배열 피치 간격이 변경되도록 구성하는 배열된 판형상체의 상호 피치 간격을 변환하는 피치변환장치.
5. 제 4항에 있어서, 상기 벨로우즈 수단이, 폴리 플루오로 카아본 수지 또는 폴리 클로로 플루오로 카아본수지로 만들어진 통형상의 벨로우즈인 배열된 판형상체 상호 피치 간격을 변환하는 피치 변환장치.
6. 수납 수단에 소정의 피치 간격으로 배열된 여러장의 판형상체를 그의 배열피치 간격 그대로의 상태로 수납 수단으로부터 들어올리는 핸들러 수단과, 들어 올려진 판형상체를 사이에 두고 잡는 호울드 수단을 가지며, 상기 핸들러 수단이, 각 판형상체를 각각 지지하는 지지부재와 상기 지지부재를 판형상체의 배열 방향으로 각각 이동시키는 지지부재 구동수단을 구비하고, 상기 지지부채를 지지부재 구동수단으로 구동시키면, 들어 열려진 그대로의 상태로 판형상제 상호간의 배열 피치 간격이 변경되도록 구성하는 배열된 판형상체의 상호 피치 간격을 변환하는 피치변환장치.
7. 제 6항에 있어서, 상기 지지부재 구동수단이, 슬라이드 보올베어링(154)을 가지는 배열된 판형상체의 상호피치 간격을 변환하는 피치변환장치.
8. 수납 수단에 소정의 피치 간격으로 배열된 여러장의 판형상체를, 핸들러 수단에 의하여 들어 올리고, 들어 올려진 상태에서 판형상체의 피치 간격을 변경하고, 있어서, 호울드 수단에 의하여 판형상체를 호울드하여 다른 수납수단에 로우딘하는 배열된 판형상체의 상호 피치 간격을 변환하는 피치변환장치.

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