JPH0555352A - 半導体ウエーハ立替機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ウェーハの整列ピッチが異なるキャリアとボ
ート間又はキャリアとキャリア間でウェーハを整列ピッ
チを変換しながら一括して自動的に移し替える。 【構成】 ウェーハ１を第１整列ピッチで収納するキャ
リア２を配置したローダ部12と、ウェーハを第２整列ピ
ッチｂで保持するボート４を配置したアンローダ部15
と、ローラピッチ変換部13及びプッシャピッチ変換部14
とからなり、ローラピッチ変換部は、ウェーハをブロッ
クに分割し、ブロックのセンターにあるウェーハを中心
にその両側のウェーハをピッチ変換するカム溝を刻設し
た回転自在なピッチ変換ローラ27ａ〜27ｄを有し、プッ
シャピッチ変換部は、第２整列ピッチのウェーハをブロ
ック単位で移動させるプッシャ26を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハ立替機に
関し、詳しくは、半導体装置の製造に使用され、半導体
ウェーハの整列ピッチが異なるキャリアとボート間又は
キャリアとキャリア間で多数の半導体ウェーハをその整
列ピッチを変換しながら一括して移し替える装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置は、多数の半導体素子を形成
した半導体ウェーハ〔以下単にウェーハと称す〕を種々
の処理工程にて加工処理することにより製造される。こ
の各種の処理工程のうち、例えば、洗浄などの薬液処理
工程では、図10に示すように複数のウェーハ（１）をキ
ャリアと称する枠状のウェーハ専用保持治具（２）〔以
下、キャリアと称す〕に整列状態で保持し、そのキャリ
ア（２）ごとウェーハ（１）に対して所定の処理を行な
っている。キャリア（２）は、例えば、テフロン製のも
ので、定ピッチで刻設されたウェーハ収納溝（３）にウ
ェーハ（１）を嵌入させた状態で保持する。一方、不純
物拡散などの熱処理工程では、図11に示すように複数の
ウェーハ（１）をボートと称する筏状のウェーハ専用保
持治具（４）〔以下、ボートと称す〕上に整列状態で保
持し、そのボート（４）ごとウェーハ（１）に対して所
定の処理を行なっている。ボート（４）は、例えば、石
英ガラス製のもので、定ピッチで刻設されたウェーハ保
持溝（５）にウェーハ（１）を植立させた状態で保持す
る。

【０００３】例えば、薬液処理工程と熱処理工程との間
では、上述したキャリア（２）とボート（４）との間で
ウェーハ（１）を一括して移し替える必要がある。一
方、薬液処理工程や熱処理工程では、キャリア（２）或
いはボート（４）でのウェーハ（１）の整列ピッチにつ
いてその処理条件等により最適なピッチがあるため、そ
のキャリア（２）に保持されたウェーハ（１）の整列ピ
ッチ（ａ）とボート（４）に保持されたウェーハ（１）
の整列ピッチ（ｂ）とが異なる場合がある。そこで、熱
処理工程と薬液処理工程間でのウェーハ移し替え時、ウ
ェーハ（１）の整列ピッチを変換しなければならない。

【０００４】従来、このウェーハ（１）の移し替え時で
の整列ピッチ変換は、作業者がピンセットや吸着ペン等
を利用してウェーハ（１）を一枚一枚キャリア（２）と
ボート（４）間で移し替えることにより行なっていたの
が現状である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うにウェーハ（１）の移し替え時での整列ピッチ変換
を、作業者による手作業で一枚一枚について行なう枚葉
処理に依存していたのでは非常に作業時間がかかってイ
ンデックスの向上を図ることが困難であった。しかも、
ピンセットや吸着ペン等でもってウェーハ（１）を移し
替えるためにウェーハ（１）に傷がついたり、塵が発生
し易いという問題があった。

【０００６】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、ウェーハの整
列ピッチが異なるキャリアとボート間又はキャリアとキ
ャリア間で多数のウェーハをその整列ピッチを変換しな
がら一括して自動的に移し替える半導体ウェーハ立替機
を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明における上記目的
を達成するための技術的手段は、多数のウェーハを第１
の整列ピッチで収納するキャリアを位置決め配置するロ
ーダ部と、そのウェーハを第２の整列ピッチで保持する
ボートを位置決め配置するアンローダ部と、ローダ部と
アンローダ部との間に介設されたローラピッチ変換部及
びプッシャピッチ変換部とからなり、上記ローラピッチ
変換部は、多数のウェーハを複数のブロックに分割し、
各ブロックの整列センター位置にあるウェーハを中心に
その両側に位置するウェーハを第１と第２の整列ピッチ
間で移行させてピッチ変換する軌跡を描くカム溝を刻設
した回転自在なピッチ変換ローラを有し、上記プッシャ
ピッチ変換部は、第２の整列ピッチで保持されたウェー
ハを各ブロック単位で移動させてピッチ変換するプッシ
ャを有することである。

【０００８】

【作用】本発明に係る半導体ウェーハ立替機では、ま
ず、ローダ部のキャリアからアンローダ部のボートにウ
ェーハを移し替える場合、ローダ部からローラピッチ変
換部に移送されたウェーハを第１の整列ピッチから第２
の整列ピッチに変換する。このローラピッチ変換部で
は、回転するピッチ変換ローラに刻設されたカム溝に嵌
まり込んだウェーハがそのカム溝の軌跡に沿ってその整
列方向に移動する。この時、上記ウェーハは複数のブロ
ックに分割され、各ブロックの整列センター位置にある
ウェーハを中心にその両側に位置するウェーハを移行さ
せて各ブロックについて第１の整列ピッチから第２の整
列ピッチへ変換する。このローラピッチ変換部で第２の
整列ピッチに変換されたウェーハをプッシャピッチ変換
部に移送する。このプッシャピッチ変換部では、プッシ
ャを上記ブロック単位で移動させることにより各ブロッ
ク間のウェーハ間隔を第２の整列ピッチに変換する。こ
れにより全てのウェーハが第２の整列ピッチに変換され
たことになり、プッシャピッチ変換部からアンローダ部
に上記ウェーハを移送することによりそのウェーハが第
２の整列ピッチでもってボートに保持される。尚、アン
ローダ部のボートからローダ部のキャリアにウェーハを
移し替える場合は上述とは逆動作になる。

【０００９】

【実施例】本発明に係る半導体ウェーハ立替機の実施例
を図１乃至図９を参照しながら説明する。尚、図１は半
導体ウェーハ立替機の全体概略構成を示す正面図、図２
は図１の平面図、図３は図１の側面図、図４乃至図６は
ローラピッチ変換部でのピッチ変換ローラ、図７乃至図
８はプッシャピッチ変換部でのプッシャを示す。

【００１０】本発明の半導体ウェーハ立替機は、図１乃
至図３に示すように基台（11）上に装設されたローダ部
（12）、ローラピッチ変換部（13）、プッシャピッチ変
換部（14）、及びアンローダ部（15）で構成される。

【００１１】まず、上記ローダ部（12）は、基台（11）
上に、所定枚数、例えば、25枚のウェーハ（１）を第１
の整列ピッチ（ａ）で収納するキャリア（２）が位置決
め載置される。尚、この実施例では、25枚のウェーハ
（１）を収納した二つのキャリア（２）から50枚のウェ
ーハ（１）を保持する一つのボート（４）にウェーハ
（１）を移し替えるため、ローダ部（12）では二つのキ
ャリア（２）をウェーハ整列方向に沿って配列させてい
る。ローダ部（12）とローラピッチ変換部（13）間に
は、両者間で移し替えられるウェーハ（１）を一旦保持
し、その状態でローダ部（12）とローラピッチ変換部
（13）間を移動するホルダ（16）が配設されている。こ
のホルダ（16）には、後述するローダ部（12）又はロー
ラピッチ変換部（13）のプッシャで移し替えられてきた
ウェーハ（１）を抱持するように下方に向けて開閉自在
なチャック（17）が支点（18）を中心として回転可能に
軸支されている。このチャック（17）には、キャリア
（２）と同様、第１の整列ピッチ（ａ）でもってウェー
ハ収納溝〔図示せず〕が刻設されている。一方、キャリ
ア（２）の下方位置には、キャリア（２）とホルダ（1
6）間でウェーハ（１）を移し替えるためのプッシャ（1
9）が昇降動自在に配設されており、このプッシャ（1
9）にも、キャリア（２）及びホルダ（16）のチャック
（17）と同様、第１の整列ピッチ（ａ）でもってウェー
ハ収納溝〔図示せず〕が刻設されている。

【００１２】また、アンローダ部（15）は、基台（11）
上に、所定枚数、例えば、50枚のウェーハ（１）を第２
の整列ピッチ（ｂ）〔ａ＞ｂ〕で収納する一つのボート
（４）が位置決め載置される。プッシャピッチ変換部
（14）とアンローダ部（15）間には、両者間で移し替え
られるウェーハ（１）を一旦収納保持し、その状態でプ
ッシャピッチ変換部（14）とアンローダ部（15）間を移
動するホルダ（20）が配設されている。このホルダ（2
0）には、ローダ部（12）のホルダ（16）と同様、後述
するプッシャピッチ変換部（14）又はアンローダ部（1
5）のプッシャで移し替えられてきたウェーハ（１）を
抱持するように下方に向けて開閉自在なチャック（21）
が支点（22）を中心として回転可能に軸支されている。
このチャック（21）には、ボート（４）と同様、第２の
整列ピッチ（ｂ）でもってウェーハ収納溝〔図示せず〕
が刻設されている。一方、ボート（４）の下方位置に
は、ボート（４）とホルダ（20）間でウェーハ（１）を
移し替えるためのプッシャ（23）が昇降動自在に配設さ
れており、このプッシャ（23）にも、ボート（４）及び
ホルダ（20）のチャック（21）と同様、第２の整列ピッ
チ（ｂ）でもってウェーハ収納溝〔図示せず〕が刻設さ
れている。

【００１３】次に、本発明の特徴であるローラピッチ変
換部（13）とプッシャピッチ変換部（14）とを説明す
る。

【００１４】まず、ローラピッチ変換部（13）及びプッ
シャピッチ変換部（14）には、両変換部（13）（14）間
を移動するステージ（24）が配設されており、上記ロー
ラピッチ変換部（13）での下方位置には、ローダ部（1
2）のホルダ（16）とローラピッチ変換部（13）でのピ
ッチ変換ローラ〔後述〕との間でウェーハ（１）を移し
替えるためのプッシャ（25）が昇降動自在に配設され、
また、プッシャピッチ変換部（14）での下方位置には、
プッシャピッチ変換部（14）でのピッチ変換ローラとア
ンローダ部（15）のホルダ（20）との間でウェーハ
（１）を移し替えるためのプッシャ（26）が昇降動自在
に配設されている。ローラピッチ変換部（13）でのプッ
シャ（25）には第１の整列ピッチ（ａ）でウェーハ収納
溝〔図示せず〕が刻設され、プッシャピッチ変換部（1
4）でのプッシャ（26）には第２の整列ピッチ（ｂ）で
ウェーハ収納溝〔図示せず〕が刻設されている。

【００１５】ステージ（24）上には、図４及び図５に示
すようにウェーハ（１）の下半分を受けてそのウェーハ
（１）を抱持するように四本のピッチ変換ローラ（27
ａ）〜（27ｄ）がウェーハ整列方向に沿って正逆回転自
在に軸支されている。このピッチ変換ローラ（27ａ）〜
（27ｄ）は、ウェーハ（１）を支持した状態での回転に
よりウェーハ（１）自体が回転しないように隣り合うピ
ッチ変換ローラ（27ａ）〜（27ｄ）同士をそれぞれ逆方
向〔図５矢印〕に回転させるように駆動源である二つの
モータ（28ａ）（28ｂ）に連結されている。尚、ピッチ
変換ローラ（27ａ）〜（27ｄ）は、二つのキャリア
（２）に対してウェーハ（１）のピッチ変換を行なうた
めに同軸的に二つずつ軸支されている。各ピッチ変換ロ
ーラ（27ａ）〜（27ｄ）には、図６に示すようにその周
方向に沿って一周するカム溝（29）が刻設される。この
カム溝（29）は、そのローラ軸方向に沿って開始点０°
において第１の整列ピッチ（ａ）で、終了点180°にお
いて第２の整列ピッチ（ｂ）で配設され、その開始点０
°から終了点180°までの軌跡は、すべてのカム溝（2
9）をローラ軸方向に複数〔三つ〕のブロック（Ａ）〜
（Ｃ）に分割し、各ブロック（Ａ）〜（Ｃ）についてセ
ンター位置Ｓにあるカム溝（29）を中心としてその両側
に位置するカム溝（29）がセンター位置Ｓのカム溝（2
9）に徐々に接近するように形成され、上記終了点180°
から復帰点360°〔開始点０°〕までの軌跡は、上述と
は逆に、各ブロック（Ａ）〜（Ｃ）についてセンター位
置Ｓにあるカム溝（29）を中心としてその両側に位置す
るカム溝（29）がセンター位置Ｓのカム溝（29）に徐々
に離隔するように形成される。このようにカム溝（29）
を三つのブロック（Ａ）〜（Ｃ）に分割し、各ブロック
（Ａ）〜（Ｃ）でセンター位置Ｓのカム溝（29）を中心
とした上記軌跡を描くように配設したことにより、開始
点０°から終了点180°までのローラ軸方向に沿う移動
量が少なくてすみ、大きな移動量による急激な軌跡を描
く場合よりも、ウェーハ（１）がカム溝（29）に追従し
やすくなっている。尚、後述するように整列ピッチ
（ａ）であるブロック（Ａ）〜（Ｃ）は、カム溝（29）
によるピッチ変換後、図４に示すように整列ピッチ
（ｂ）であるブロック（Ａ'）〜（Ｃ'）となる。

【００１６】プッシャピッチ変換部（14）でのプッシャ
（26）は、図７及び図８に示すように上述したピッチ変
換ローラ（27ａ）〜（27ｄ）と同様、二つのキャリア
（２）に対してウェーハ（１）のピッチ変換を行なうた
めにウェーハ整列方向に沿って二つ配設され、各プッシ
ャ（26）は上述したようにピッチ変換ローラ（27ａ）〜
（27ｄ）のカム溝（29）によるピッチ変換で分割された
ブロック（Ａ'）〜（Ｃ'）に対応させて三つのプッシャ
ヘッド（30ａ）〜（30ｃ）を有する。前述したようにこ
のプッシャヘッド（30ａ）〜（30ｃ）には第２の整列ピ
ッチ（ｂ）でウェーハ収納溝〔図示せず〕が刻設されて
いる。プッシャヘッド（30ａ）〜（30ｃ）のうち、中央
に位置するプッシャヘッド（30ａ）は上部支持フレーム
（31）に固定されているのに対して、その両側に位置す
るプッシャヘッド（30ｂ）（30ｃ）は上部支持フレーム
（31）にガイド（32）を介してウェーハ整列方向に沿っ
てスライド自在に取り付けられ、そのＬ字状アーム（33
ｂ）（33ｃ）の先端にラック（34ｂ）（34ｃ）を形成
し、上部支持フレーム（31）に固着された上部モータ
（35）の出力軸にラック（34ｂ）（34ｃ）と噛合するピ
ニオン（36）を同軸的に装着する。これにより、二つの
プッシャヘッド（30ｂ）（30ｃ）は相互に逆方向に移動
して中央のプッシャヘッド（30ａ）に対して近接離隔可
能に配置される。また、上部支持フレーム（31）は下部
支持フレーム（37）にガイド（38）を介してウェーハ整
列方向に沿ってスライド自在に取り付けられ、上部支持
フレーム（31）から延びるＬ字状アーム（39）の先端に
ラック（40）を形成し、下部支持フレーム（37）に固着
された下部モータ（41）の出力軸にラック（40）と噛合
するピニオン（42）を同軸的に装着する。これにより、
二つのプッシャ（26）は相互に逆方向に移動して近接離
隔可能に配置される。この下部支持フレーム（37）はそ
の下方位置に配置されたシリンダ（43）に連結され、そ
のシリンダ（43）の両側に位置するガイド軸（44）でも
って案内されながらシリンダ（43）の突出退入により上
下動する。

【００１７】上記構成からなる半導体ウェーハ立替機の
動作を説明すると次の通りである。以下、ローダ部（1
2）のキャリア（２）からアンローダ部（15）のボート
（４）へのウェーハ移し替えを、キャリア（２）からボ
ート（４）へのピッチ変換を中心に図９の（ａ）（ｂ）
を参照しながら詳述する。

【００１８】まず、ローダ部（12）にて、ウェーハ
（１）を25枚ずつ第１の整列ピッチ（ａ）で収納した二
つのキャリア（２）を基台（11）上に位置決め載置する
と共に、アンローダ部（15）にて、50枚のウェーハ
（１）を第２の整列ピッチ（ｂ）で保持する空のボート
（４）を基台（11）上に位置決め配置する。そして、ロ
ーダ部（12）では、第１の整列ピッチ（ａ）でウェーハ
受け溝が刻設されたプッシャ（19）を上昇させてキャリ
ア（２）内を挿通させることにより、キャリア（２）内
に収納されたウェーハ（１）をプッシャ（19）に移し替
え、更に、そのプッシャ（19）をホルダ（16）まで上昇
させた上でチャック（17）を支点（18）を中心とした回
転で閉動作させることによりウェーハ（１）を第１の整
列ピッチ（ａ）のままで保持する。次に、ホルダ（16）
を移動させてウェーハ（１）を保持したチャック（17）
をローラピッチ変換部（13）の上方に配置し、その時点
で第１の整列ピッチ（ａ）でウェーハ受け溝が刻設され
たプッシャ（25）をそのホルダ（16）まで上昇させた上
で、チャック（17）を開動作させることによりプッシャ
（25）にウェーハ（１）を受け渡す。その後、プッシャ
（25）を初期位置まで下降させ、プッシャ（25）上のウ
ェーハ（１）をステージ（24）上のピッチ変換ローラ
（27ａ）〜（27ｄ）に移し替える。

【００１９】ここで、ローラピッチ変換部（13）では、
モータ（28ａ）（28ｂ）の作動によりピッチ変換ローラ
（27ａ）〜（27ｄ）をそれぞれ回転させることによって
ウェーハ（１）を第１の整列ピッチ（ａ）から第２の整
列ピッチ（ｂ）となるように位置修正する。即ち、プッ
シャ（25）から移し替えられたウェーハ（１）はピッチ
変換ローラ（27ａ）〜（27ｄ）のカム溝（29）の開始点
０°位置に嵌まり込んだ状態にあり、このピッチ変換ロ
ーラ（27ａ）〜（27ｄ）の回転により、カム溝（29）の
開始点０°から始まり終了点180°まで至る軌跡に沿っ
てウェーハ（１）が移動する。このウェーハ（１）の移
動では、前述のカム溝（29）で説明したように一つのキ
ャリア（２）から移送されてきた25枚のウェーハ（１）
について、例えば、９枚、７枚及び９枚のウェーハ
（１）からなる三つのブロック（Ａ）〜（Ｃ）に分割さ
れ、各ブロック（Ａ）〜（Ｃ）についてセンター位置Ｓ
にあるウェーハ（１）を中心としてその両側に位置する
ウェーハ（１）がセンター位置Ｓのウェーハ（１）に徐
々に接近するようにウェーハ（１）がカム溝（29）での
嵌合状態を維持しながら移動し、最終的に終了点180°
に達した時点でウェーハ（１）が第２の整列ピッチ
（ｂ）で配置されることになる。この時、中央に位置す
るブロック（Ａ'）とその両側に位置するブロック
（Ｂ'）（Ｃ'）との間で対向するウェーハ（１）同士の
間隔（ｍ）が形成される。

【００２０】そこで、これを位置修正するため、カム溝
（29）が終了点180°位置にあるピッチ変換ローラ（27
ａ）〜（27ｄ）でウェーハ（１）をブロック（Ａ'）〜
（Ｃ'）ごとに第２の整列ピッチ（ｂ）で保持した状態
で、ステージ（24）を移動させてプッシャピッチ変換部
（14）に配置する。

【００２１】このプッシャピッチ変換部（14）ではピッ
チ変換ローラ（27ａ）〜（27ｄ）上のウェーハ（１）を
プッシャ（26）に移し替える。即ち、シリンダ（43）の
作動によりプッシャ（26）を上昇させ、ピッチ変換ロー
ラ（27ａ）〜（27ｄ）で分割されたブロック（Ａ'）〜
（Ｃ'）と対応するように配置され、第２の整列ピッチ
（ｂ）でウェーハ受け溝が刻設されたプッシャヘッド
（30ａ）〜（30ｃ）にピッチ変換ローラ（27ａ）〜（27
ｄ）上にあったウェーハ（１）を移し替える。そして、
ウェーハ（１）がピッチ変換ローラ（27ａ）〜（27ｄ）
から離脱した時点で、上部モータ（35）を作動させてラ
ック（34ｂ）（34ｃ）及びピニオン（36）を介して中央
に位置するプッシャヘッド（30ａ）に対してその両側に
位置するプッシャヘッド（30ｂ）（30ｃ）を接近させ、
中央に位置するブロック（Ａ'）とその両側に位置する
ブロック（Ｂ'）（Ｃ'）との間で対向するウェーハ
（１）同士の間隔（ｍ）を第２の整列ピッチ（ｂ）とな
るように位置修正する。また、これと共に、下部モータ
（41）を作動させることにより、ラック（40）及びピニ
オン（42）を介して上部支持フレーム（31）を接近さ
せ、二つのキャリア（２）から移送されてきて二つのプ
ッシャ（26）に保持されていたウェーハ（１）同士の間
隔（ｎ）を第２の整列ピッチ（ｂ）となるように位置修
正する。これにより、二つのキャリア（２）から移送さ
れてきた25枚ずつ計50枚のウェーハ（１）がすべて第２
の整列ピッチ（ｂ）で配置されることになる。

【００２２】一方、プッシャピッチ変換部（14）の上方
にホルダ（20）を配置しておき、プッシャ（26）により
上昇してくるウェーハ（１）をホルダ（20）に移し替え
る。このホルダ（20）ではチャック（21）を支点（22）
を中心とした回転で閉動作させることによりウェーハ
（１）を第２の整列ピッチ（ｂ）のままで保持する。次
に、ホルダ（20）をプッシャピッチ変換部（14）から移
動させてアンローダ部（15）の上方に配置し、その時点
で第２の整列ピッチ（ｂ）でウェーハ受け溝が刻設され
たプッシャ（23）をそのホルダ（20）まで上昇させ上
で、チャック（21）を開動作させることによりプッシャ
（23）にウェーハ（１）を受け渡す。その後、プッシャ
（23）を初期位置まで下降させることにより、プッシャ
（23）上のウェーハ（１）を基台（11）上に位置決め載
置されたボート（４）上に移し替えることによってウェ
ーハ立替を完了する。

【００２３】以上では、ローダ部（12）のキャリア
（２）からアンローダ部（15）のボート（４）へのウェ
ーハ移し替えについて説明したが、これとは逆にアンロ
ーダ部（15）のボート（４）からローダ部（12）のキャ
リア（２）へウェーハ移し替えでは上述した場合と逆動
作となる。

【００２４】また、上記実施例では、二つのキャリアと
一つのボートとの間でのウェーハ移し替えについて説明
したが、本発明はこれに限定されることなく、基本的に
は一つのキャリアと一つのボートとの間でのウェーハ移
し替えに適用できるものであり、その他、複数のキャリ
アとボート同士間でのウェーハ移し替えに適用可能であ
るのは勿論である。

【００２５】

【発明の効果】本発明に係る半導体ウェーハ立替機によ
れば、半導体ウェーハを整列ピッチが異なるキャリアと
ボート間で移し替えるに際し、多数の半導体ウェーハを
一括してバッチ処理でもって自動的にピッチ変換するこ
とができ、作業インデックスが大幅に向上すると共に、
従来のようなピンセットや吸着ペンを使用することもな
いので、半導体ウェーハに傷を付けたり、塵が発生した
りすることもない。即ち、信頼性の高い良品質の半導体
ウェーハを提供でき製品の歩留まりの向上が図れてその
実用的価値は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体ウェーハ立替機の実施例を
示す正面図

【図２】図１の平面図

【図３】図１の側面図

【図４】半導体ウェーハ立替機のピッチ変換ローラを示
す平面図

【図５】半導体ウェーハ立替機のピッチ変換ローラを示
す正面図

【図６】ピッチ変換ローラのカム溝を示す展開図

【図７】プッシャピッチ変換部のプッシャを示す正面図

【図８】プッシャピッチ変換部のプッシャを示す側面図

【図９】（ａ）（ｂ）はローラピッチ変換部及びプッシ
ャピッチ変換部によるピッチ変換要領を示す模式図

【図10】キャリアに半導体ウェーハを保持した状態を示
す斜視図

【図11】ボートに半導体ウェーハを保持した状態を示す
斜視図

【符号の説明】

１ 半導体ウェーハ ２ キャリア ４ ボート 12 ローダ部 13 ローラピッチ変換部 14 プッシャピッチ変換部 15 アンローダ部 26 プッシャ 27ａ ピッチ変換ローラ 27ｂ ピッチ変換ローラ 27ｃ ピッチ変換ローラ 27ｄ ピッチ変換ローラ 29 カム溝 Ａ ブロック Ｂ ブロック Ｃ ブロック ａ 第１の整列ピッチ ｂ 第２の整列ピッチ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数の半導体ウェーハを第１の整列ピッ
   チで収納するキャリアを位置決め配置するローダ部と、
   その半導体ウェーハを第２の整列ピッチで保持するボー
   トを位置決め配置するアンローダ部と、ローダ部とアン
   ローダ部との間に介設されたローラピッチ変換部及びプ
   ッシャピッチ変換部とからなることを特徴とする半導体
   ウェーハ立替機。
2. 【請求項２】 請求項１において、上記ローラピッチ変
   換部は、多数の半導体ウェーハを複数のブロックに分割
   し、各ブロックの整列センター位置にある半導体ウェー
   ハを中心にその両側に位置する半導体ウェーハを第１と
   第２の整列ピッチ間で移行させてピッチ変換する軌跡を
   描くカム溝を刻設した回転自在なピッチ変換ローラを有
   し、 上記プッシャピッチ変換部は、第２の整列ピッチで保持
   された半導体ウェーハを各ブロック単位で移動させてピ
   ッチ変換するプッシャを有することを特徴とする半導体
   ウェーハ立替機。