JP2015012284A - 基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の周縁部の四方のうち、三方を支持することで基板を立てた状態で収容し、基板の残りの一方から当該基板を出し入れする収容部3aを、収容される基板の板面と交差する交差方向に所定ピッチで複数設けたカセット3への基板の収容を補助する基板収容体への基板収容補助装置1であって、螺旋状のねじ溝が外周面に形成され、正逆回転駆動されることによりカセットの一方の側から交差方向に沿って前進後進可能に設けられたボールねじ軸13bを備え、ボールねじ軸は、基板が収容部に順次収容されるときに回転しつつ前進して、基板をねじ溝で保持する。
【選択図】図4
Description
2 基板
3 カセット
3a 収容部
3c 側壁部
3d 凹部
4 ベルトコンベヤー
5 ホルダー
5a 受け溝
5b ピン
6 搬送保持具
7 ケーシング
8 本体フレーム
9 リニアガイド
9a リニアブロック
9b リニアレール
10 台座
11 モーター
11a モーター軸
12 固定金具
13 ボールねじ
13a ボールナット
13b ボールねじ軸
13c ねじ溝
14 カップリング
15 基板保持機構
23 真空チャック
Claims (5)
- 基板の周縁部の四方のうち、三方を支持することで該基板を立てた状態で収容し、該基板の残りの一方から当該基板を出し入れする収容部を、収容される該基板の板面と交差する交差方向に所定ピッチで複数設けた基板収容体への基板の収容を補助する基板収容体への基板収容補助装置であって、
螺旋状の溝部が外周面に形成され、正逆回転駆動されることにより上記基板収容体の一方の側から交差方向に沿って前進後進可能に設けられたシャフトを備え、
上記シャフトは、上記基板が上記収容部に順次収容されるときに回転しつつ前進して、該基板を上記溝部で保持することを特徴とする基板収容体への基板収容補助装置。 - 上記収容部の上記所定ピッチは、上記シャフトの上記記溝部のピッチの正の整数倍であることを特徴とする請求項1に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 上記基板収容体は、上記基板の残りの一方の周縁部を着脱自在に保持する保持部材を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 上記シャフトは、上記基板の板面に沿う方向に互いに間隔を隔てて複数設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 請求項1から4のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置が上記基板収容体に設けられていることを特徴とする基板収容装置。
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-
2013
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