KR101964672B1 - 기판 적재 장치 및 이를 이용한 기판 이동 시스템 - Google Patents
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Abstract
기판 적재 장치 및 이를 이용한 기판 이동 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치는, 복수의 기판이 적재될 수 있는 기판 수용함; 상기 기판 수용함의 일측면 측에 위치되는 고정 걸쇠; 상기 기판 수용함의 상측에서 상기 일측면과 상기 일측면에 대향하는 타측면의 사이를 이동할 수 있는 이동 걸쇠; 및 상기 고정 걸쇠에 일단이 고정되고, 상기 이동 걸쇠에 감겨 있는 받침줄로서, 적재되는 각각의 상기 기판의 반입 전에, 상기 이동 걸쇠의 상기 이동에 따라 풀리게 되어 상기 복수의 기판 사이에 위치될 수 있는 받침줄을 포함한다.
Description
본 발명의 실시예들은 기판을 효율적으로 적재시키고, 이동시키는 기술에 관한 것이다.
최근 들어, 액정표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP), 전계 발광 표시 장치(Electroluminiscent display : ELD), 진공 형광 표시 장치(Vacuum Fluorescent Display) 등의 평판 디스플레이 장치에 대한 사용이 증가하고 있다. 특히, 액정표시장치는 저전력이 소비되고, 무게가 가볍기 때문에 그 수요가 점차 증가하는 추세이다. 이러한 평판 디스플레이 장치는 그 제조 과정에 있어서 다수의 공정을 거치게 되는데, 핵심부품인 유리 기판을 안정적으로 적재 및 운반하는 작업이 필요하다. 일반적으로, 유리 기판은 유리 용해로(Glass Melting Furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되고, 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되며, 컨베이어 시스템에 의해 가공라인으로 운반된다. 이 과정에서, 유리 기판은 카세트 또는 트레이 등에 적재되어 다음 공정으로 운반된다. 즉, 종래에는 유리 기판의 적재를 위해 다수의 슬롯 및 스토퍼 바 등이 구비된 적재 전용 카세트 또는 트레이 등이 사용되었다. 이와 같은 적재 전용 카세트 또는 트레이 등은 제작 비용이 많이 들고, 유리 기판의 적재를 위해 로봇 또는 컨베이어 등과 같은 별도의 반입 장치가 필요하다는 문제점이 있었다. 또한, 유리 기판의 적재를 위해 일반 박스를 이용할 경우, 박스에 연속적으로 적재되는 유리 기판은 상호 간의 마찰력이 크기 때문에 서로 들러붙게 되는 문제점이 있었다.
본 발명의 실시예들은 이동 걸쇠와 받침줄의 움직임을 통해 기판을 안전하고 효율적으로 적재시키고, 적재된 기판을 경사진 컨베이어를 통해 효율적으로 운반하기 위한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치는, 복수의 기판이 적재될 수 있는 기판 수용함; 상기 기판 수용함의 일측면 측에 위치되는 고정 걸쇠; 상기 기판 수용함의 상측에서 상기 일측면과 상기 일측면에 대향하는 타측면의 사이를 이동할 수 있는 이동 걸쇠; 및 상기 고정 걸쇠에 일단이 고정되고, 상기 이동 걸쇠에 감겨 있는 받침줄로서, 적재되는 각각의 상기 기판의 반입 전에, 상기 이동 걸쇠의 상기 이동에 따라 풀리게 되어 상기 복수의 기판 사이에 위치될 수 있는 받침줄을 포함한다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이동 시스템은, 상기 기판 적재 장치를 이용한 기판 이동 시스템으로서, 일정한 각도로 경사지게 형성되며, 상기 기판 적재 장치를 운반하는 컨베이어; 및 상기 컨베이어 상에서 운반되는 상기 기판 적재 장치의 이동을 가이드하는 스토퍼를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 의하면 현수된 받침줄을 이용하여 기판 수용함 내부로 기판을 안전하게 반입하도록 함으로써 별도의 반입 장치가 불필요하게 된다.
또한, 본 발명의 실시예들에 의하면 이동 걸쇠의 움직임을 통해 받침줄이 각 기판 사이에 위치되기 때문에, 각 기판은 받침줄과의 마찰력 및 받침줄의 탄성력으로 인해 기판 수용함 내부에서 안전하게 적재될 수 있다. 이에 따라, 기판 수용함은 별도의 슬롯 또는 스토퍼 등의 구성이 불필요하게 된다.
아울러, 본 발명의 실시예들에 의하면 이동 걸쇠에 감긴 받침줄을 당김으로써 기판 수용함 내부에 적재된 각 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 걸쇠를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정 걸쇠를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 걸쇠를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 가이드암을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 상측에서 바라본 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 이용한 기판 이동 시스템을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 걸쇠를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정 걸쇠를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 걸쇠를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 가이드암을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 상측에서 바라본 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치를 이용한 기판 이동 시스템을 나타내는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시적 실시예에 불과하며 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 진보적인 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치(100)를 나타내는 도면이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치(100)는 기판 수용함(102), 받침줄(104), 고정 걸쇠(106), 이동 걸쇠(108), 제 1 가이드암(110) 및 제 2 가이드암(112)를 포함한다.
기판 수용함(102)은 복수의 기판을 적재하기 위한 장치로서, 기판을 수용할 수 있을 정도의 공간을 구비하고 있다. 여기서, 기판은 예를 들어 LCD, OLED 등의 제조에 사용되는 유리기판이 될 수 있다. 기판은 그 종류에 따라 수 mm2 ~ 수백만 mm2 크기의 면적을 가질 수 있다. 기판 수용함(102)은 적재되는 기판의 크기에 따라 그 부피가 달라질 수 있다. 기판 수용함(102)은 상면이 개방되며, 하면 및 각 측면들이 밀폐될 수 있다. 이 경우 기판 수용함(102)은 개방된 상면을 통해 내부로 기판을 반입할 수 있다. 여기서는 기판 수용함(102)이 상면이 개방된 직육면체 형상인 것으로 도시하였으나, 이는 하나의 예시에 불과하며 기판 수용함(102)의 형태가 이에 한정되는 것은 아니다.
받침줄(104)은 기판 수용함(102)에 적재되는 각 기판이 상호 들러붙지 않도록 각 기판 사이에 위치된다. 만약, 각 기판이 받침줄(104) 없이 연속되어 기판 수용함(102)에 적재되는 경우, 기판 간의 마찰력이 크지 않기 때문에 기판들은 서로 들러붙을 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 기판 수용함(102)에 적재되는 각 기판 사이에 받침줄(104)이 위치되도록 구성함으로써 각 기판이 서로 들러붙지 않도록 하였다. 또한, 받침줄(104)이 각 기판 사이에 위치됨으로써 각 기판은 일정 거리만큼 상호 이격되어 위치된다. 받침줄(104)은 각 기판을 상호 이격시킴으로써 종래 기술의 슬롯 역할을 수행하게 된다. 즉, 기판 수용함(102)에 적재되는 각 기판은 받침줄(104)로 인해 손쉽게 구별되며, 이에 따라 각 기판의 반출 작업 또한 수월하게 이루어질 수 있다.
받침줄(104)의 일단은 후술할 고정 걸쇠(106)에 고정되며, 이동 걸쇠(108)에 감겨져 있다. 후술할 바와 같이, 고정 걸쇠(106)는 기판 수용함(102)의 일측면 측에 위치되며, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 타측면의 상측에서 상기 일측면과 상기 일측면에 대향하는 타측면의 사이를 이동한다. 고정 걸쇠(106) 및 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 하면을 사이에 두고 대향하고 있기 때문에, 받침줄(104)은 기판 수용함(102)의 내부에서 상기 일측면과 타측면 사이에 현수된다. 이때, 받침줄(104)은 기판을 기판 수용함(102)으로 안전하게 반입할 수 있도록, 기판 수용함(102)의 하면과 일정 거리 이격되어 현수되어야 하며, 일정 크기 이상의 장력을 구비하여야 한다. 받침줄(104)과 기판 수용함(102)의 하면과의 거리 및 받침줄(104)의 장력 크기는 기판의 종류 및 크기 등에 따라 달라질 수 있다. 기판은 후술할 컨베이어(114)에 의해 소정의 각도만큼 기울어져서 중력에 의해 현수된 받침줄(104) 위로 낙하하게 되며, 받침줄(104)의 장력에 의해 기판 수용함(102) 내부로 안전하게 반입될 수 있다. 한편, 여기서는 두 개의 받침줄(104)이 각 기판 사이에서 평행하게 위치되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 네 개의 받침줄(104)이 각 기판 사이에서 평행하게 위치될 수도 있다. 즉, 받침줄(104)의 개수가 많아질수록 장력의 크기가 커지게 되므로 기판은 기판 수용함(102)에 보다 더 안전하게 반입될 수 있다. 이에 대해서는 도 4를 참조하여 구체적으로 설명하기로 한다.
제 1 가이드암(110)은 고정 걸쇠(106)를 고정시키는 장치로서, 고정 걸쇠(106)가 기판 수용함(102)의 일측면 측에 위치될 수 있도록 고정 걸쇠(106)를 지지한다. 제 1 가이드암(110)의 일단은 고정 걸쇠(106)와 연결되며, 제 1 가이드암(110)의 타단은 기판 수용함(102)의 일측면과 연결된다. 제 1 가이드암(110)의 일단은, 이동 걸쇠(108)가 고정 걸쇠(106)를 회전하는데 방해가 되지 않도록 고정 걸쇠(106)의 하면에 부착될 수 있다. 이때, 제 1 가이드암(110)의 일단은 고정 걸쇠(106) 상의 받침줄(104)이 감기는 위치와 일정 간격 이격되어 고정 걸쇠(106)의 하면에 부착되어야 한다. 후술할 바와 같이, 제 2 가이드암(112)의 일단이 이동 걸쇠(108)의 원통 형상의 바깥쪽 양 측면에 부착되는 경우, 제 1 가이드암(110)의 일단은 고정 걸쇠(106)에 감기는 두 개의 받침줄(104) 사이에서 고정 걸쇠의 하면에 부착될 수 있다. 다만, 이는 하나의 실시예에 불과하며, 제 1 가이드암(110)의 일단은 이동 걸쇠(108)의 회전을 방해하지 않는 한 고정 걸쇠(106)의 다른 위치에 부착될 수도 있다. 또한, 제 1 가이드암(110)의 타단은 기판 수용함(102)의 일측면에 부착될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 기판 수용함(102)의 타측면에 부착될 수도 있다. 상술한 제 1 가이드암(110)은 하나의 실시예로서, 기판 수용함(102)의 이동시에는 기판 수용함(102)에서 분리가 가능하도록 구성될 수 있다.
고정 걸쇠(106)는 기판 수용함(102)에 적재된 각 기판 사이에 위치되는 받침줄(104)을 고정시키는 장치이다. 고정 걸쇠(106)는 제 1 가이드암(110)의 일단과 연결되며, 기판 수용함(102)의 일측면 측에 위치된다. 이동 걸쇠(108)가 고정 걸쇠(106)를 회전하는 경우, 고정 걸쇠(106)는 고정 걸쇠(106)와 기판 수용함(102)의 일측면 사이를 통과할 수 있도록, 기판 수용함(102)의 일측면과 일정 거리 이격되어 위치될 수 있다. 고정 걸쇠(106)는 받침줄(104)의 일단이 고정되어 있다. 상술한 바와 같이, 받침줄(104)은 기판 수용함(102)에 기판이 적재될 수 있도록 기판 수용함(102)의 내부에서 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이에 현수된다. 기판은 현수된 받침줄(104) 위로 반입되어 기판 수용함(102)에 적재된다. 기판이 적재된 후 다음 기판이 반입되기 전에, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 대향하는 일측면과 타측면 사이를 이동한다. 즉, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 타측면의 상측에서 상기 일측면의 상측으로 이동하여 고정 걸쇠(1026)를 회전한 후, 기판 수용함(102)의 타측면의 상측으로 되돌아온다. 이동 걸쇠(108)가 이동할 때마다 이동 걸쇠(108)에 감긴 받침줄(104)이 풀리게 되므로, 이동 걸쇠(108)가 고정 걸쇠(106)를 회전하는 경우 받침줄(104)은 고정 걸쇠(106)에 감긴 후, 적재된 기판 사이에 위치된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고정 걸쇠(106)를 나타낸 도면이다. 도시된 바와 같이, 고정 걸쇠(106)는 복수 개의 원통 형상이 분리된 채로 일정 거리 이격되어 형성될 수 있다. 이 경우 제 1 가이드암(110)은 각 원통 형상의 고정 걸쇠(106)에 부착될 수 있다. 이때, 제 1 가이드암(110)의 일단은 고정 걸쇠(106)에 감기는 두 개의 받침줄(104) 사이에서 고정 걸쇠(106)의 하면에 부착될 수 있다. 또한, 고정 걸쇠(106)는 받침줄(104)이 삽입될 수 있도록 외면에 일정 크기의 제 1 걸림홈(106a)을 복수 개 구비할 수 있다. 이동 걸쇠(108)가 고정 걸쇠(106)를 회전함에 따라 이동 걸쇠(108)에서 풀린 받침줄(104)은 제 1 걸림홈(106a)에 삽입될 수 있다. 제 1 걸림홈(106a)은 고정 걸쇠(106)를 회전하는 받침줄(104)의 위치에 대응되도록 고정 걸쇠(106)의 외면에 형성될 수 있다. 제 1 걸림홈(106a)은 고정 걸쇠(106)의 안쪽 방향으로 일정 두께만큼 형성되며, 상기 두께는 기판 수용함(102)에 최대 적재 가능한 기판의 개수 및 기판의 두께 등에 따라 달라질 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정 걸쇠(106)를 나타낸 도면이다. 도시된 바와 같이, 고정 걸쇠(106)는 하나의 원통 형상으로 이루어질 수도 있다. 고정 걸쇠(106)의 반경(d)은 적재되는 기판의 종류 및 크기에 따라 달라질 수 있다. 고정 걸쇠(106)가 하나의 원통 형상으로 이루어질 경우, 고정 걸쇠(106)의 세로 방향 길이(l1)는 이동 걸쇠(108)에 의해 고정 걸쇠(106)를 감는 받침줄(104)의 간격(l2) 길이보다 길어야 한다. 또한, 상술한 바와 같이 고정 걸쇠(106)는 받침줄(104)이 삽입될 수 있도록 외면에 일정 크기의 제 1 걸림홈(106a)을 복수 개 구비할 수 있으며, 이동 걸쇠(108)에서 풀린 받침줄(104)은 제 1 걸림홈(106a)에 삽입될 수 있다.
다시 도 1로 돌아오면, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)에 적재되는 각 기판 사이에 받침줄(104)이 위치되도록 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이를 이동하는 장치이다. 즉, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 타측면의 상측에서, 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이를 왕복 운동한다. 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 타측면의 상측에서 상기 일측면의 상측으로 이동하여 고정 걸쇠(106)를 회전한 후, 기판 수용함(102)의 타측면의 상측으로 되돌아온다. 이때, 이동 걸쇠(108)는 고정 걸쇠(106)의 안쪽으로 돌아 들어간 후, 고정 걸쇠(106)를 회전할 수도 있다. 이동 걸쇠(108)가 1회 왕복 운동하는 경우, 기판 수용함(102)에 적재된 기판의 상면에는 받침줄(104)이 이중으로 위치된다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 의하면 이동 걸쇠(108)의 움직임을 통해 받침줄(104)이 각 기판 사이에 이중으로 위치되기 때문에, 각 기판은 받침줄(104)과의 마찰력 및 받침줄(104)의 탄성력으로 인해 기판 수용함(102) 내부에서 안전하게 적재될 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 이동 걸쇠(108)를 나타내는 도면이다. 도시된 바와 같이, 이동 걸쇠(108)는 복수 개의 원통 형상이 일정 거리 이격되어 구성될 수 있다. 이때, 이동 걸쇠(108)는 받침줄(104)이 삽입될 수 있도록 외면에 일정 크기의 제 2 걸림홈(108a)을 복수 개 구비할 수 있다. 이동 걸쇠(108)의 원통 형상은 바깥 양 측면에 힌지(108b)를 구비한다. 이에 따라, 이동 걸쇠(108)는 이동과 동시에 자체적으로 회전 운동을 하게 된다. 즉, 이동 걸쇠(108)가 움직이면 제 2 걸림홈(108a)에 삽입된 받침줄(104)은 풀리게 된다. 제 2 걸림홈(108a)은 이동 걸쇠(108)의 안쪽 방향으로 일정 두께만큼 형성되며, 상기 두께는 기판 수용함(102)에 최대 적재 가능한 기판의 개수 및 기판의 두께 등에 따라 달라질 수 있다. 여기서는, 이동 걸쇠(108)의 원통 형상에 한 개의 제 2 걸림홈(108a)이 형성되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 이동 걸쇠(108)의 원통 형상에는 두 개의 제 2 걸림홈(108a)이 각각 형성될 수도 있으며, 이 경우 이동 걸쇠(108)가 움직이면 평행한 네 개의 받침줄(104)이 풀리게 된다. 상술한 바와 같이, 이동 걸쇠(108)의 왕복 운동으로 인해 받침줄(104)은 기판 수용함(102)에 적재되는 각 기판 사이에 위치되게 된다. 이때, 받침줄(104)의 개수가 많아질수록 장력의 크기가 커지게 되므로 기판은 기판 수용함(102)에 보다 더 안전하게 반입될 수 있다. 한편, 이동 걸쇠(108)는 제 2 가이드암(112)의 일단과 연결되며, 제 2 가이드암(112)의 이동에 따라 이동 걸쇠(108)가 이동하게 된다. 여기서는 제 2 가이드암(112)의 일단이 이동 걸쇠(108)의 원통 형상의 바깥 양 측면에 부착되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 가이드암(112)을 나타내는 도면이다. 상술한 바와 같이, 제 2 가이드암(112)의 일단은 이동 걸쇠(108)와 연결된다. 제 2 가이드암(112)의 타단은 기판 수용함(102)의 일면에 형성되는 이동홈(112a)과 연결된다. 이동홈(112a)은 이동 걸쇠(108)가 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이를 이동하기 위한 제 2 가이드암(112)의 이동로 및 이동 걸쇠(108)가 고정 걸쇠(106)를 회전하기 위한 제 2 가이드암(112)의 이동로를 제공한다. 이동 걸쇠(108)와 이동홈(112a)이 연결되는 지점에는 힌지가 배치된다. 이동 걸쇠(108)는 이동홈(112a)을 따라 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이를 왕복할 뿐 아니라 상기 힌지를 이용하여 기판 수용함(102)의 일측면 측에서 고정 걸쇠(106)를 회전한다. 기판 수용함(102)에 기판이 적재된 후 다음 기판이 반입되기 전에, 제 2 가이드암(112)은 이동홈(112a)에서 왕복 운동하며, 기판이 새롭게 적재되지 않는 경우에는 동작하지 않도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 이동 걸쇠(108)에 감긴 받침줄(104)이 기판 수용함(102)에 적재된 각 기판 사이에 이중으로 위치된다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치(100)를 상부에서 바라본 단면도이다. 도시된 바와 같이, 기판 수용함(102)의 양측면에는 이동홈(112a)형성되며, 제 2 가이드암(112)은 이동홈(1112a)의 이동로에서 왕복 운동을 수행한다. 제 2 가이드암(112)의 일단은 이동 걸쇠(108)와 연결된다. 이동 걸쇠(108)는 제 2 가이드암(112)의 이동에 따라 함께 이동하며, 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이를 왕복 운동하게 된다. 이때, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 타측면의 상측에서 기판 수용함(102)의 일측면의 상측으로 이동하여 고정 걸쇠(106)를 회전한 후, 기판 수용함(102)의 타측면 상측으로 되돌아온다. 이에 따라, 이동 걸쇠(108)가 1회 왕복 운동하는 경우, 받침줄(104)은 기판 수용함(102)에 적재된 기판에 이중으로 위치된다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 방법을 설명하기 위한 도면이다.
기판이 기판 수용함(102)에 적재되기 전, 받침줄(104)은 기판 수용함(102) 내부에서 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이에 현수된다(S702). 상술한 바와 같이, 받침줄(104)의 일단은 고정 걸쇠(106)에 고정되며, 이동 걸쇠(108)에 감겨져 있다. 고정 걸쇠(106)는 기판 수용함(102)의 일측면 측에 위치되며, 기판이 기판 수용함(102)에 적재되기 전, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 일측면과 대향하는 타측면에 위치된다. 이에 따라, 받침줄(104)은 기판 수용함(102)에 기판이 적재될 수 있도록 상기 일측면과 타측면 사이에서 현수된다. 받침줄(104)은 장력에 의해 기판을 안전하게 기판 수용함(102) 내부로 반입시킨다. 이때, 받침줄(104)은 기판을 안전하게 반입할 수 있도록, 기판 수용함(102)의 하면과 소정 거리 이격되어 현수되어야 하며, 일정 크기 이상의 장력을 구비하여야 한다.
기판은 컨베이어(114)에 의해 기판 수용함(102) 내부로 반입된다(S704). 컨베이어(114)는 기판 수용함(102) 내부로 기판을 반입시키기 위한 장치이다. 컨베이어(114)는 기판 수용함(102)의 상부에서 경사지게 형성될 수 있다. 또한, 컨베이어(114)는 하면에 이를 지지하는 지지대(114a)가 형성될 수 있다.
다음으로, 이동 걸쇠(108)는 적재된 기판을 사이에 두고 고정 걸쇠(106) 방향으로 이동한다(S706). 상술한 바와 같이, 이동 걸쇠(108)는 제 2 가이드암(112)의 일단과 연결되어 있으며, 제 2 가이드암(112)의 이동에 따라 함께 이동한다. 이동 걸쇠(108)가 기판 수용함(102)의 타측면 상측으로 이동하는 경우, 이동 걸쇠(108)에 감긴 받침줄(104)이 풀리게 되어 기판 수용함(102)에 적재된 기판의 상면에 놓이게 된다.
이후, 이동 걸쇠(108)는 고정 걸쇠(106)를 회전한다(S708). 이동 걸쇠(108)는 적재된 기판에 놓인 받침줄(104)을 고정시키기 위해 고정 걸쇠(106)를 회전하며, 받침줄(104)은 고정 걸쇠(106)의 제 1 걸림홈(106a)에 삽입되어 고정된다.
이동 걸쇠(108)가 고정 걸쇠(106)를 회전한 후, 이동 걸쇠(108)는 다시 원래의 위치로 이동한다(S710). 즉, 이동 걸쇠(108)는 기판 수용함(102)의 일측면과 대향하는 타측면으로 되돌아오게 되며, 이에 따라 받침줄(104)이 기판 수용함(102)에 적재된 기판 사이에 놓이게 된다. 이동 걸쇠(108)가 단계 S706 내지 S710을 거치면서 기판 수용함(102)의 일측면과 타측면 사이를 왕복 운동하는 경우, 받침줄(104)이 적재된 기판 상에 이중으로 놓이게 된다. 또한, 단계 S710 이후, 기판 수용함(102) 내부에는 단계 702와 같이 받침줄(104)이 현수된 상태로 위치되게 된다.
이동 걸쇠(108)의 1회 왕복 운동 이후, 기판은 단계 S704와 마찬가지로 컨베이어(114)에 의해 기판 수용함(102) 내부로 반입된다(S712). 이후, 단계 704 내지 710과 동일한 과정을 반복적으로 수행한다. 이에 따라, 기판 수용함(102) 내부에 적재되는 기판 사이에는 받침줄(104)이 위치되며, 각 기판은 받침줄(104)과의 마찰력 및 받침줄(104)의 탄성력으로 인해 기판 수용함(102) 내부에서 안전하게 적재될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예들에 의하면, 이동 걸쇠(108)에 감긴 받침줄(104)을 당김으로써 적재된 각 기판을 손쉽게 외부로 반출할 수 있다. 즉, 이동 걸쇠(108)가 기판을 적재할 때 회전하는 방향과 반대 방향으로 제자리에서 회전 운동하는 경우, 적재된 기판 상에 위치한 받침줄(104)이 이동 걸쇠(108) 쪽으로 당겨지게 되며, 적재된 기판 상에 위치한 받침줄(104)이 다시 이동 걸쇠(108)에 감기게 된다. 이에 따라, 기판 수용함(102)에 적재된 기판 중 가장 위쪽에 위치한 기판 상의 받침줄(104)이 제거되며, 가장 위쪽에 위치한 기판이 소정 각도로 기울어지게 된다. 이 경우, 기울어진 기판을 중력을 이용하여 기판 수용함(102) 외부로 반출할 수 있다. 즉, 기판 수용함(102)의 일측면을 개방하고, 컨베이어(114)를 기울어진 기판의 방향과 대응되도록 기판 수용함(102)의 일측면에 위치시켜 기판을 손쉽게 반출할 수 있다. 컨베이어(114)는 지지대(114a)의 일단과 연결되며, 지지대(114a)가 상하로 움직임에 따라 기판을 반입하거나 반출시킬 수 있다. 또한, 컨베이어(114)는 지지대(114a)와 연결되는 부분에서 각도를 조정할 수 있도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 기판 반입시에는 기판 수용함(102) 내부를 향하는 방향으로 아래로 기울어 질 수 있으며, 기판 반출시에는 기판 수용함(102) 외부를 향하는 방향으로 아래로 기울어 질 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재 장치(100)를 이용한 기판 이동 시스템(800)을 나타내는 도면이다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이동 시스템(800)은 기판 적재 장치(100), 컨베이어(802) 및 스토퍼(804)를 포함한다.
기판 적재 장치(100)는 이동 걸쇠(108)와 받침줄(104)의 움직임을 통해 기판을 적재시키는 장치로서, 앞에서 설명하였는 바 여기서는 그 상세한 설명을 생략하도록 한다. 기판 적재 장치(100)의 이동시에는 기판 수용함(102)을 제외한 나머지 구성, 예를 들어 고정 걸쇠(106), 이동 걸쇠(108) 등을 기판 수용함(102)에서 분리시킬 수 있다.
컨베이어(802)는 기판 적재 장치(100)를 운반하는 장치로서, 경사지게 형성되어 있다. 기판 적재 장치(100)는 경사진 컨베이어(802) 상에서 중력에 의해 낮은 지점으로 낙하하게 된다. 컨베이어(802)의 경사는 기판 적재 장치(100)의 무게에 따라 달라질 수 있다.
스토퍼(804)는 컨베이어(802) 상에서 운반되는 기판 적재 장치(100)의 이동을 제어하는 장치로서, 컨베이어(802) 상에서 돌출될 수 있다. 스토퍼(804)는 바 형상으로 이루어 질 수 있으며, 경사진 컨베이어(802) 상에서 낙하하는 기판 적재 장치(100)를 정지시키거나 이동을 다시 재개시킬 수 있다. 스토퍼(804)는 컨베이어(802) 상의 일 지점에서 돌출됨으로써 기판 적재 장치(100)를 정지시킬 수 있으며, 컨베이어(802) 내부로 삽입됨으로써 정지된 기판 적재 장치(100)의 이동을 다시 재개시킬 수 있다. 즉, 스토퍼(804)는 컨베이어(802) 상의 일 지점에서 상하로 움직임으로써 기판 적재 장치(100)의 이동을 제어할 수 있다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 전술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100 : 기판 적재 장치 102 : 기판 수용함
104 : 받침줄 106 : 고정 걸쇠
106a : 제 1 걸림홈 108 : 이동걸쇠
108a : 제 2 걸림홈 108b : 힌지
110 : 제 1 가이드암 112 : 제 2 가이드암
112a : 이동홈 114, 802 : 컨베이어
114a : 지지대 800 : 기판 이동 시스템
804 : 스토퍼
104 : 받침줄 106 : 고정 걸쇠
106a : 제 1 걸림홈 108 : 이동걸쇠
108a : 제 2 걸림홈 108b : 힌지
110 : 제 1 가이드암 112 : 제 2 가이드암
112a : 이동홈 114, 802 : 컨베이어
114a : 지지대 800 : 기판 이동 시스템
804 : 스토퍼
Claims (13)
- 복수의 기판이 적재될 수 있는 기판 수용함;
상기 기판 수용함의 일측면 측에 위치되는 고정 걸쇠;
상기 기판 수용함의 상측에서 상기 일측면과 상기 일측면에 대향하는 타측면의 사이를 이동할 수 있는 이동 걸쇠; 및
상기 고정 걸쇠에 일단이 고정되고, 상기 이동 걸쇠에 감겨 있는 받침줄로서, 적재되는 상기 기판의 반입 전에, 상기 이동 걸쇠의 상기 이동에 따라 풀리게 되어 상기 복수의 기판 사이에 위치될 수 있는 받침줄을 포함하는, 기판 적재 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 받침줄은,
상기 이동에 따라, 상기 기판 수용함의 내부에서 상기 일측면과 타측면 사이에 현수되고,
상기 기판은,
상기 현수된 상기 받침줄 위로 반입되어 적재되는, 기판 적재 장치.
- 제1항에 있어서,
일단이 상기 고정 걸쇠와 연결되고, 타단이 상기 기판 수용함의 일측면과 연결됨으로써 상기 고정 걸쇠를 지지하는 제 1 가이드암을 더 포함하는, 기판 적재 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 이동 걸쇠는,
적재되는 상기 기판의 반입 전에, 상기 타측면의 상측에서 상기 일측면의 상측으로 이동하여 상기 고정 걸쇠를 회전한 후 상기 타측면의 상측으로 되돌아오는, 기판 적재 장치.
- 제4항에 있어서,
일단이 상기 이동 걸쇠와 연결되고, 타단이 기판 수용함의 일면에 형성되는 이동홈과 연결됨으로써 상기 이동 걸쇠의 이동을 가이드하는 제 2 가이드암을 더 포함하는, 기판 적재 장치.
- 제5항에 있어서,
상기 이동홈은, 상기 이동 걸쇠가 상기 일측면과 타측면 사이를 이동하기 위한 상기 제 2 가이드암의 이동로 및 상기 이동 걸쇠가 상기 고정 걸쇠를 회전하기 위한 상기 제 2 가이드암의 이동로를 제공하는, 기판 적재 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 고정 걸쇠 및 상기 이동 걸쇠는,
하나 이상의 원통 형상으로 이루어지는, 기판 적재 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 고정 걸쇠는,
상기 받침줄이 삽입될 수 있도록 외면에 하나 이상의 제 1 걸림홈이 형성되는, 기판 적재 장치.
- 제1항에 있어서,
상기 이동 걸쇠는,
상기 받침줄이 삽입될 수 있도록 외면에 하나 이상의 제 2 걸림홈이 형성되는, 기판 적재 장치.
- 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 기판 적재 장치를 이용한 기판 이동 시스템으로서,
소정 각도로 경사지게 형성되며, 상기 기판 적재 장치를 운반하는 컨베이어; 및
상기 컨베이어 상에서 운반되는 상기 기판 적재 장치의 이동을 제어하는 스토퍼를 포함하는, 기판 이동 시스템.
- 제10항에 있어서,
상기 기판 적재 장치는,
상기 컨베이어가 경사지게 형성됨에 따라, 중력에 의해 상기 컨베이어 상에서 운반되는, 기판 이동 시스템.
- 제10항에 있어서,
상기 스토퍼는,
상기 컨베이어의 일 지점에서, 외부로 돌출되거나 내부로 삽입됨으로써 상기 기판 적재 장치의 이동을 제어하는, 기판 이동 시스템.
- 제12항에 있어서,
상기 스토퍼는,
바(bar) 형상으로 이루어지는, 기판 이동 시스템.
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