JP6108991B2 - 基板収容体への基板収容補助装置及び基板収容装置 - Google Patents
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Description
1a カバー
2 基板
3 カセット
3a 収容部
3c 側壁部
3d 凹部
4 ベルトコンベヤー
5 上部ホルダー
5a 受け溝
5b ピン
6 搬送保持具
7 取付ベース
7a ベース壁部
8 本体フレーム
8a 対向フレーム部
8b 上フレーム部
8c 下フレーム部
8d 上固定部
8e 下固定部
8f 補強リブ
8g 垂設ブロック
9 リニアガイド
9a リニアレール
9b リニアブロック
10 ボールねじ
10a ボールねじ軸
10b ボールナット
11 ボールねじ用モーター
11a モーター軸
12 保持ユニット
13 軸受
14 カップリング
15 台座
16 支柱
17 保持フレーム
17a 対向壁部
17b 連結フレーム部
17c 軸受支持部
18 軸受
19,19s,19t 保持シャフト
19a 保持軸部
19b 基板保持片
19c 基板保持片の形態を規定する線分
19d 線分の先端
19e 対向面
20 シャフト回転モーター
20a モーター軸
21 カップリング
22 基板保持機構
23 真空チャック
O 保持軸部の中心
P,Q 保持軸部の円周上の点
Claims (7)
- 基板の周縁部の四方のうち、三方を支持することで該基板を立てた状態で収容し、該基板の残りの一方から当該基板を出し入れする収容部を、収容される該基板の板面と交差する交差方向に所定ピッチで複数設けた基板収容体への基板の収容を補助する基板収容体への基板収容補助装置であって、
上記基板収容体の一方の側から上記交差方向に沿って進退可能に設けられ、上記板面に沿う方向に互いに間隔を隔てて配置されて、各々独立して回転可能な対をなすシャフトと、
対をなす該シャフト各々の外周に、該シャフトの長手方向に沿って上記所定ピッチで設けられ、該シャフトの回転により、上記収容部に収容された基板を保持する保持位置と、基板の保持を解除する解除位置とに移動可能な複数の基板保持片とを備え、
対をなす上記シャフト各々は、順次基板が上記収容部に収容される度に、交互に、該収容部に収容した基板を上記基板保持片で保持するために、該基板保持片を上記解除位置に移動してから交差方向に進行させた後に回転して上記保持位置に移動する基板保持動作を行うことを特徴とする基板収容体への基板収容補助装置。 - 上記対をなすシャフトは、上記基板の上記板面に沿う方向に、間隔を隔てて複数設けられることを特徴とする請求項1に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 上記各シャフトに設けられた複数の上記基板保持片のうち、隣り合う上記基板保持片は互いに対向する対向面を有し、
これら対向面同士は、上記シャフトが上記解除位置から上記保持位置に移動する際に、それらの間隔が漸次狭まるように形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板収容体への基板収容補助装置。 - 上記基板保持片は、上記シャフトの周方向における四半円部分に設けられ、上記シャフトが90°回転することにより、上記保持位置と上記解除位置との間を移動することを特徴とする請求項3に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 上記各シャフトの上記基板保持片は、上記解除位置において、対をなす他方のシャフトの反対側に位置され、上記保持位置に移動する際に上記他方のシャフトへ向かって接近するように移動されることを特徴とする請求項1から4のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 上記基板収容体は、上記基板の残りの一方の周縁部を保持する保持部材を備え、上記対をなすシャフトの間隔は、上記保持部材により基板が保持される幅よりも広いことを特徴とする請求項1から5のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置。
- 請求項1から6のいずれかの項に記載の基板収容体への基板収容補助装置が上記基板収容体に設けられていることを特徴とする基板収容装置。
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