JPH0558429A - 連続処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 第一の載置部材６Ａ、６Ｂ、６Ｃと、駆動手
段を用いて移動可能な第二の載置部材９Ａ、９Ｂ、９Ｃ
との夫々に、板状被処理物Ｗを傾斜状態で支持するため
の係止部25を板状被処理物１枚について複数設けられた
ことを特徴とする連続処理装置。 【効果】 板状被処理物を傾斜状態にて支持することに
より、処理装置の長さを増大させることなく処理能力を
大幅に増大させることができる。また、同じ処理能力で
処理装置の長さを大幅に縮小させてその占有面積を小さ
くすることもできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、連続処理装置に関し、
例えば、熱処理その他の処理を連続的に施す連続処理装
置に関する。

【０００２】

【従来技術】半導体部品や、セラッミックス基板にスク
リーン印刷によって所定の回路パターンを形成し、焼成
してなる厚膜集積回路、或いは配向膜や偏向膜が形成さ
れた液晶表示装置用ガラス基板等の電子部品の熱処理に
あっては、塵埃の付着によって電子部品の品質が甚だし
く劣化するので、清浄な雰囲気中で熱処理がなされる必
要がある。

【０００３】上記電子部品の熱処理を塵埃のない清浄な
雰囲気中で連続的に行う熱処理炉として、炉内に摺動す
る部分がなく、従って塵埃の発生しない所謂ウォーキン
グビーム式搬送機構を用いた連続熱処理炉の採用が考え
られる。

【０００４】このウォーキングビーム搬送機構は、長形
の炉本体の長さ方向の一端側入口から他端側出口に亘っ
て炉本体内を貫通する複数本の位置固定された平行棒材
からなる固定ビームと、この固定ビームに平行して上記
と同様に炉本体内を貫通する複数本の平行棒材からなり
かつ前記固定ビームに対する関係位置が上下及び長さ方
向の前後に変位可能に設けられた移動ビームとを備えて
いる。そして、駆動装置によって前記移動ビームを駆動
して、この移動ビームを前記固定ビームに対して上昇、
前進、下降、後退の順に反復して周期的に変位運動させ
ることにより、炉本体内で被加熱物を前記両ビームに交
互に載置させるようにしながら炉本体の長さ方向に漸次
搬送するように構成されている。このような搬送機構を
備えた連続熱処理炉は、通常、鋼片や鋼管等の熱処理に
も使用されている。

【０００５】上記の連続熱処理装置を更に詳細に説明す
る。

【０００６】図12及び図13はウォーキングビーム式搬送
機構を備えた連続熱処理炉を示し、図12は搬送方向に沿
う断面図、図13は右側面図である。

【０００７】炉壁、天井、炉床は断熱材３からなってい
て、これらは鋼板製外殻５に覆われ、天井と炉床との内
側には平板状の赤外線ヒータ２が配置され、炉内周面は
ヒータ２をも含めてセラミックス又は石英からなる被覆
層４によって被覆されている。これらによって筒状の炉
本体１が構成され、支持台23を介して基台８に据付けら
れる。また、炉本体１の一端には開口１ａによって装入
口が形成され、他端には開口１ｂによって排出口が形成
されている。

【０００８】炉本体１内を貫通して、複数（この例では
２本）の位置固定された固定ビーム６と、固定ビーム６
と平行にかつ上下動時に固定ビーム６に当接又は接触し
ないように配設された移動可能な複数（この例では２
本）の移動ビーム９とが位置し、固定ビーム６と移動ビ
ーム９とは、いずれも２本を１組として互いに平行に設
けられている。

【０００９】また、固定ビーム６と移動ビーム９とは、
いずれも開口１ａ、１ｂを通って炉外へ突出している。
固定ビーム６及び移動ビーム９は、いずれも石英製と
し、被加熱物の当接による発塵を防止するようにしてい
る。固定ビーム６は、基台８上に立設された支柱７、７
によって炉本体外で支持されている。移動ビーム９は、
上下及び長さ方向の前後に運動可能な移動架枠11に固定
された支柱10、10に炉本体外で支持されている。

【００１０】移動ビーム９は次のようにして上下及び長
さ方向の前後に駆動するようにしてある。

【００１１】即ち、炉本体１の両端近くにはリンク支持
部材12、12が基台８上に立設され、リンク支持部材12、
12にはＬ字形のリンク13、13が回動可能に軸支され、リ
ンク13、13の先端にはローラ14、14が回動可能に軸支さ
れ、ローラ14、14上に移動架枠11が載置される。

【００１２】リンク13、13の後端はリンクバー15によっ
て互いに連続されていて、一方のリンク13のリンクバー
15との連結部は、基台８上に支持部材16を介して回動可
能に取付けられた油圧シリンダ17のピストンロッド端部
に連結させてある。これらによって上下動駆動機構24Ａ
が構成される。

【００１３】図示しない駆動源によって油圧シリンダ17
を作動させ、リンク13、13を時計方向に回動させるとロ
ーラ14、14が時計方向に公転しながら下降し、ローラ1
4、14に載置された移動架枠11が下降して移動ビーム９
は破線矢印Ｄのように下降し、固定ビーム６よりも下方
に位置する。

【００１４】この状態から油圧シリンダ17を駆動させて
リンク13、13を反時計方向に回動させると、ローラ14、
14は反時計方向に公転しながら上昇し、移動ビーム９は
実線矢印Ｕで示すように上昇して固定ビーム６よりも上
方に位置し、固定ビーム６に載置されていた被加熱物Ｗ
は移動ビーム９に載置される。

【００１５】基台８には軸受20ａを備えた２枚の駆動軸
支持板20、20が立設され、雄ねじが螺刻された駆動軸19
が、軸受20ａ、20ａによって駆動軸支持板20、20に回動
可能に支持され、モータ18によって回動するようになっ
ている。

【００１６】駆動軸19には、その雄ねじに螺合する雌ね
じが螺設された往復動駆動部材22が組合わされていて、
往復動駆動部材22は駆動軸支持板20、20間に固定された
案内軸21に案内され、モータ18の駆動による駆動軸19の
回動によって往復動駆動部材22が前進、後退するように
なっている。

【００１７】往復動駆動部材22は移動架枠11から延設さ
れた延設部11ａの図示しない貫通孔を貫通して上方に突
出していて、往復動駆動部材22の上記前進、後退に伴っ
て移動架枠11が前進、後退するようにしてある。これら
によって前進、後退駆動機構24Ｂが構成される。

【００１８】前進、後退駆動機構24Ｂの上記駆動によ
り、移動架枠11はローラ14、14を回動させながらこれら
の上を前進又は後退し、これに伴って支柱10、10を介し
て移動架枠11に取付けられた移動ビーム９が前進又は後
退する。

【００１９】次に、前記の上下動駆動機構24Ａ及び前
進、後退駆動機構24Ｂによって被加熱物を炉本体内で搬
送し、熱処理を施す方法を説明する。

【００２０】まず、ヒータ２に給電して炉本体１内を所
定の温度分布に加熱する。次に、図12のように移動ビー
ム９を固定ビーム６の下方に位置させる。それには、図
示しない駆動源により油圧シリンダ17を駆動してリンク
バー15により連動するリンク13、13を時計方向に回動さ
せることにより、ローラ14、14を下降させて移動架枠11
を下降させる。また、モータ18を比較的高速で運転して
往復動駆動部材22を駆動することにより移動架枠11を矢
印Ｒの向きに速やかに移動させて、移動ビーム９を被加
熱物搬送方向に対して所定位置まで後退させておく。

【００２１】以上の準備態勢をとってから、被加熱物
（この例では厚さ１mm程度の液晶表示装置用ガラス基
板）Ｗを炉の入口１ａ側の固定ビーム６の上に載置す
る。そして、油圧シリンダ17を上記と逆に駆動して、リ
ンク13、13を反時計方向に回動させローラ14、14を上昇
させることにより、移動ビーム９を矢印Ｕの方向に上昇
させる。この上昇過程で、固定ビーム６の上に載ってい
た被加熱物Ｗは移動ビーム９により押し上げられて固定
ビーム６から離れる。

【００２２】その後、モータ18を所定の時間だけ低速運
転して往復動駆動部材22を前記と逆に駆動することによ
り、移動ビーム９を矢印Ｆの方向に所定の距離だけ徐々
に移動させる。これにより、被加熱物Ｗが搬送方向に所
定距離だけ緩やかに搬送される。

【００２３】次に、最初のようにシリンダ17を駆動し
て、リンク13、13を介してローラ14、14を下降させる。
（図12の矢印Ｄ）ことにより、移動ビーム９を始めの低
位置に下降させる。この下降過程で、被加熱物Ｗは前記
と逆に移動ビーム９の上から固定ビーム６の上に移し変
えられる。

【００２４】この後、最初に述べたようにモータ18を高
速で運転して往復動駆動部材22を駆動し、移動ビーム９
を速やかに始めの所定位置まで後退させる。

【００２５】上記のようにして、移動ビーム９は固定ビ
ーム６に対して移動変位するのを１サイクルとして繰り
返し駆動させる。この駆動で、前進を緩速、後退を急速
にするのは、時間的な加熱特性曲線が段階状にならない
よう、緩やかに温度変化させるためである。

【００２６】このように前進と後退とで移動速度を変え
るには、例えば回転数を容易に変化させられる直流モー
タが、駆動用モータ18として便利に使用できる。また、
通常の交流誘導モータを使用し、自動車の変速に於ける
と同様にシフトフォークによるギアチェンジで駆動軸19
の回転数を変えるようにしても良い。

【００２７】前述した移動ビーム９の周期的な変位運動
により、被加熱物Ｗは炉本体１内を前記の所定距離ずつ
徐々に搬送方向に搬送されて、所定の温度領域を所定の
時間で通過し、所要の熱処理が施される。

【００２８】上記のウォーキングビーム搬送機構を備え
た熱処理炉では、固定ビームと移動ビームとの１対ずつ
のビーム間で被加熱物を交互に載置しながら搬送してい
るので、処理量を大きくするには、炉長を長くして搬送
速度を速めるか、同種の熱処理炉を複数台設置するかし
なければならず、熱処理炉設置のために広いスペースを
必要とするようになり、工場内のスペースの制約から、
生産量の増大を図ることが困難な場合が多い。

【００２９】従って、熱処理炉の占有面積又は占有容積
を甚だしく大きくせずに処理量を増大することができる
連続熱処理炉の開発が望まれている。

【００３０】また、処理量が同じであっても、熱処理炉
の占有面積又は占有容積を小さくできれば、これも好都
合である。このようなことは、冷却処理、雰囲気処理等
熱処理以外の連続処理についても同様である。

【００３１】

【発明の目的】本発明の目的は、連続処理装置の処理能
力を増大すること及び／又はこの装置の設置面積の低減
を図ることにある。

【００３２】

【発明の構成】本発明は、処理装置本体と；この処理装
置本体内に設けられかつ第一の載置部材及び移動可能な
第二の載置部材からなる被処理物載置手段と；前記第二
の載置部材を前記第一の載置部材に対し反復して変位運
動させ、これによりこれら第一及び第二の載置部材間で
板状被処理物を交互に載置しながらこの板状被処理物を
搬送する駆動手段とを具備する連続処理装置において、
前記第一の載置部材と前記第二の載置部材との夫々に、
前記板状被処理物を傾斜状態で支持するための係止部が
前記板状被処理物１枚について複数設けられていること
を特徴とする連続処理装置に係るものである。

【００３３】上記「傾斜状態」は、鉛直方向に対して、
５〜45度の傾斜の状態とするのが好ましく、10〜30度の
傾斜の状態とするのが更に好ましい。このようにするこ
とにより、搬送中に板状被処理物がぐらつかず、かつ、
処理能力が高められる。

【００３４】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。

【００３５】図１は、本発明に基づく連続熱処理装置の
搬送方向に沿う断面図である。ここにおいて炉本体42に
ついては、板状被処理物Ｗ（この例では厚さ約1.1mm 、
縦300 mm、横400 mmの長方形状の液晶表示装置用ガラス
基板）を傾斜（図６の傾斜角θを10度）して支持した場
合に充分に対応できる内高並びに装入口及び排出口を有
することが必要であるが、他の構成及び機構は従来例の
ものと同じであって良い。

【００３６】また、ウォーキングビーム搬送機構につい
ては、固定ビーム及び移動ビームが夫々３本ずつ支柱10
又は支柱30によって支えられている。これら固定ビーム
及び移動ビームは夫々一定間隔に設けられた係止部25を
複数持っている。図１では、各３本の固定ビーム６Ａ、
６Ｂ、６Ｃ及び移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｃのうち、夫
々最上部のビーム６Ａ、９Ａのみの係止部25を示した
が、他の全てのビームにも係止部25が設けられている。

【００３７】図３は板状被処理物Ｗを正面から見た様子
を示す図である。板状被処理物Ｗは、各辺が重力方向に
対して斜めとなるように固定ビーム６Ａ、６Ｂ、６Ｃ又
は移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｃの係止部25によって支持
される。このような斜め支持の方法によれば、ビームの
本数を固定ビーム、移動ビーム共に３本ずつと少なくし
てもずれが生じず安定である。

【００３８】図10は本実施例に係る固定ビームの斜視図
である。最も高い位置にある固定ビーム６Ａ、中間の位
置にある固定ビーム６Ｂ及び最も低い位置にある固定ビ
ーム６Ｃは、夫々支柱30Ａ、30Ｂ及び30Ｃによって支え
られており、これらの固定ビーム及び支柱は２本の結合
部材29Ａ及び29Ｂによって一体化されている。同図に括
弧を付して示したように、移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｃ
についても同様であり、図１に示すように支柱10Ａ、10
Ｂ、10Ｃと共にブラケット50によって一体化されてい
る。但し、本装置に用いるブラケット50総数は２以上で
あること、ブラケット50に連設して、移動ビーム９を上
下及び前後に移動させるための駆動源33（後述）が設置
されている点が固定ビームとは異なっている。

【００３９】図３においては、３本の固定ビーム９Ａ、
９Ｂ、９Ｃのうち、中間の位置にある固定ビーム６Ｂと
最も低い位置にある固定ビーム６Ｃとの２本によって板
状被処理物Ｗの左斜辺が支持されるように構成されてお
り、また板状被処理物Ｗを移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｃ
に支持させた場合には最も高い位置にある移動ビーム９
Ａと最も低い位置にある移動ビーム９Ｃの２本によって
今度は右斜辺が支持されるように各ビームが配置されて
いる。

【００４０】本実施例に示すような比較的正方形に近い
板状被処理物Ｗを処理する場合には、上記のように２点
支持する辺を固定ビーム６と移動ビーム９とで変えるこ
とにより、板状被処理物Ｗの前記斜め支持状態を維持し
易くなる。即ち、徐々にずれて係止部25から外れる等の
トラブルが生じることが殆どなくなる。

【００４１】一方、板状被処理物Ｗが図４（固定ビーム
６Ａ、６Ｂ、６Ｃによって支持された状態を示す。）及
び図５（移動ビーム９によって支持された状態を示
す。）に表すように縦横比の比較的大きい長方形である
場合には、上記２点支持する辺を固定ビーム６Ａ、６
Ｂ、６Ｃ及び移動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｃ共に同一辺と
するほうが安定性の面で好ましい。

【００４２】図７及び図８は係止部25の様子を示す図で
あり、図７は固定ビーム６の一部分の正面図、図８は同
じく固定ビーム６の一部分の斜視図である。これらの図
に示すように、固定ビーム６（移動ビーム９についても
全く同様である。）の上部には傾斜部31が設けられ、こ
の傾斜部31上に係止部25が垂直に近い傾斜状態（図７参
照）で一定のピッチＰをもって配置されている。

【００４３】各係止部25のピッチＰは、支障のない範囲
でできるだけ狭くすることが設置面積の低減を図る上で
好ましい。傾斜部31は、板状被処理物Ｗを前記のように
斜め支持する場合に、この辺にビーム材の角が当って損
傷することを避けるため及び板状被処理物Ｗの支持状態
を安定化するために設けたものである。また係止部25を
上記のように傾斜状態とした理由も、図６の側面図に示
すように板状被処理物Ｗを垂直に近い傾斜状態に支持す
る際に係止部25の角に当って損傷することを避けるため
であり、また板状被処理物Ｗの支持状態を安定化するこ
とを目的としたためである。この例では傾斜角θを10度
としている。

【００４４】図９は移動ビームの動作を表わす図であ
る。本実施例においては同図（ａ）に示す如く、基底状
態イから垂直上昇させ、固定ビームに支持されている複
数の板状被処理物Ｗを持ち上げてロの状態とする。次
に、この上昇状態のまま距離ｌだけ前進させ、ハの位置
に到達した時点で垂直下降を行う。この下降の途中で乗
せていた複数の板状被処理物Ｗは固定ビームに再び支持
されるが、各板状被処理物Ｗは結局距離ｌだけ前進した
ことになる。最後に、板状被処理物Ｗを降ろしてニの位
置にまで下降した移動ビームは後退して元のイの位置に
戻される。

【００４５】移動ビームの上記動作は、従来例に挙げた
ようにリンク13、油圧シリンダ17、モータ18等によって
行うことができるが、本実施例では図11に示す複数の連
動された駆動源33を用いた。

【００４６】図９（ａ）のイの位置に移動ビーム９があ
る場合、ブラッケット50を支えるプランジャー34はカム
駆動部35に内蔵されるカム（図示せず）によってＤ方向
の最も低い位置に置かれている。また前後方向について
は、前方向に図９に示す距離ｌを充分にとれるＲ方向の
位置に置かれている。

【００４７】図９（ａ）のロの位置へ移動ビームを動か
す場合には、上記カムによってプランジャー34をＵ方向
へ上昇させて所定位置で停止させる。カムはモータ37Ａ
からベルト38によって伝えられた動力によって作動する
が、カム駆動部35及びモータ37Ａはスプラインボールナ
ット（図示せず）を内蔵するカバー39に固定されている
ため、図９（ｂ）のように上下方向への移動と前後方向
への移動を同時に行う（即ち、板状被処理物Ｗの傾斜に
沿う方向の上下動を行う）ようにすることも可能であ
る。

【００４８】図９（ａ）のハの位置への移動は、スプラ
インシャフト（ボールスプラインのシャフト）36上のカ
バー39を距離ｌだけＦ方向へ動かすことによって移動ビ
ームを動かして行う。モータ37Ｂは雄ねじ40によって、
動力をねじ駆動部42に内蔵される雌ねじ（図示せず）に
伝える。ねじ駆動部42は、モータ37Ａの台座41を介して
カバー39と固着されているため、モータ37Ｂの動力は結
局移動ビームを前後に動かす動力となる。

【００４９】図９（ａ）のニの位置への移動は、前記イ
からロへの移動を反対に行えば良く、またニからイへの
移動も前記ロからハへの移動を反対に行えば良い。

【００５０】なお、駆動源33と移動ビームとの間は次の
ような機構で接続されている。即ち、図１及び、接続部
分の拡大断面図である図２に示す如く、支柱10Ａ、10
Ｂ、10Ｃは炉本体１を支持する支持台23及び断熱材３を
貫通する貫通孔１ｃ及び炉殻貫通孔１ｄを経由して炉外
下方に突出させてある。更に支柱10Ａ、10Ｂ、10Ｃを支
持するブラケット50を介してプランジャ34（図11参照）
に固定させ、支柱10Ａ、10Ｂ、10Ｃが上下方向と長さ方
向の前後とに往復動可能としている。

【００５１】ここで炉本体１内の雰囲気は支持台23に設
けられた鋼板51ａ及び51ｂとプランジャ34との間にベロ
ー52を取付板53を用いて設けることによってシールされ
ている。即ち、炉本体１内の雰囲気が機械的に伸縮自在
なベロー52でシールされている。

【００５２】上記一連の操作を繰返すことによって、板
状被処理物Ｗは垂直に近い傾斜状態を維持したまま、炉
本体１内を通過し、熱処理が施される。本実施例によれ
ば、この熱処理に必要な時間は従来の板状被処理物Ｗを
伏せた状態で処理する場合と変わらないため、全体の処
理量を大幅に増やすことができる。本実施例では、処理
能力が、図12、図13に示した従来の連続熱処理のそれに
対して約５倍であった。

【００５３】また、固定ビーム６Ａ、６Ｂ、６Ｃ及び移
動ビーム９Ａ、９Ｂ、９Ｃに傾斜部31を設け、係止部25
については板状被処理物Ｗの傾斜状態に合わせて傾斜さ
せ、更に、板状被処理物Ｗを正面から見た場合、重力方
向に対して各辺が斜めとなるように保持しながら処理を
行うため、炉内を移動する際に板状被処理物Ｗがぐらつ
いたり損傷を受けることが少なく高品質の製品を得るこ
とができる。

【００５４】以上、本発明を実施例によって説明した
が、この実施例は本発明の技術的思想に基づいて更に変
形が可能である。

【００５５】例えば、板状被処理物Ｗに対する各ビーム
の支持位置は前記の他、必要に応じてどのように変えて
もよい。

【００５６】傾斜部31については、板状被処理物Ｗの形
態によっては設ける必要がない場合もある。

【００５７】固定ビーム６Ａ、６Ｂ、６Ｃ及び移動ビー
ム９Ａ、９Ｂ、９Ｃの本数は、板状被処理物Ｗの形状
（例えば円盤状、多角形、凸部、凹部等を有する特殊形
状等）によって支持点の最適数が変わるため一概に決め
ることはできないが、少なくとも各２本は必要である。

【００５８】図９（ｂ）は移動ビームの動作を示す他の
例である。この例において、移動ビームは上昇及び下降
の際に板状被処理物Ｗの傾斜に合わせて僅かに前進しな
がら上昇しまた僅かに後退しながら下降する。これらの
動作は、同図（ａ）の動作と比較して、板状被処理物Ｗ
に対する移動ビーム及びその係止部25の接触が起るおそ
れがなくなる利点がある。

【００５９】本発明に基づく連続処理装置は、前記の熱
処理の他、熱風等による塗装板の乾燥、アミンガスによ
るウレタン塗料の硬化等、他の連続処理に適用できる。

【００６０】

【発明の効果】本発明の連続処理装置は、第一の載置部
材と第二の載置部材との夫々に、板状被処理物を傾斜状
態で支持するための係止部が前記板状被処理物１枚につ
いて複数設けられているため、従来の板状被処理物を伏
せた状態で処理する場合に比較して著しく処理能力を高
めることができる。また、単位時間当たりの処理能力が
大きいため、この装置の設置面積を小さくすることも可
能である。更に、前記板状被処理物は、傾斜状態を維持
するために前記係止部で支持してあるため、ぐらつき等
によって前記被処理物が損傷を受けるおそれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による連続処理装置の一例を示す断面図
である。

【図２】シール部の例を示す拡大断面図である。

【図３】本発明による板状被処理物の固定ビーム若しく
は移動ビームによる支持状態の一例を示す正面図であ
る。

【図４】同じく、固定ビームに支持された他の例を示す
正面図である。

【図５】同じく、図４の板状被処理物が移動ビームに支
持された例を示す正面図である。

【図６】同じく、他の例を示す側面図である。

【図７】本発明における係止部の一例を示す正面図であ
る。

【図８】同、斜視図である。

【図９】移動ビームの動きを示す例である。

【図10】固定ビームの一例を示す斜視図である。

【図11】駆動源の一例を示す斜視図である。

【図12】連続処理装置の従来例を示す断面図である。

【図13】同、側面図である。

【符号の説明】

１、42 炉本体 ６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ 固定ビーム ９、９Ａ、９Ｂ、９Ｃ 移動ビーム 10、10Ａ、10Ｂ、10Ｃ、30、30Ａ、30Ｂ、30Ｃ、30Ｄ、
30Ｅ、30Ｆ支柱 25 係止部 29、29Ａ、29Ｂ 結合部材 31 傾斜部 32 プランジャ 33 駆動源 Ｗ 板状被処理物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｅ 8518−4Ｍ 21/324 Ｄ 8617−4Ｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理装置本体と；この処理装置本体内に
   設けられかつ第一の載置部材及び移動可能な第二の載置
   部材からなる被処理物載置手段と；前記第二の載置部材
   を前記第一の載置部材に対し反復して変位運動させ、こ
   れによりこれら第一及び第二の載置部材間で板状被処理
   物を交互に載置しながらこの板状被処理物を搬送する駆
   動手段とを具備する連続処理装置において、 前記第一の載置部材と前記第二の載置部材との夫々に、
   前記板状被処理物を傾斜状態で支持するための係止部が
   前記板状被処理物１枚について複数設けられていること
   を特徴とする連続処理装置。