JP3461434B2 - ガラス基板の冷却装置 - Google Patents
ガラス基板の冷却装置Info
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- JP3461434B2 JP3461434B2 JP21555997A JP21555997A JP3461434B2 JP 3461434 B2 JP3461434 B2 JP 3461434B2 JP 21555997 A JP21555997 A JP 21555997A JP 21555997 A JP21555997 A JP 21555997A JP 3461434 B2 JP3461434 B2 JP 3461434B2
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B27/00—Tempering or quenching glass products
- C03B27/004—Tempering or quenching glass products by bringing the hot glass product in contact with a solid cooling surface, e.g. sand grains
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造ライン等において用いられるガラス基
板の冷却装置に関するものである。
レイパネルの製造ライン等において用いられるガラス基
板の冷却装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、周知のように、プラズマディスプ
レイパネルの製造ラインにおいては、プラズマディスプ
レイパネルの前面体若しくは背面体として用いられるガ
ラス基板上に、スクリーン印刷等により、電極や隔壁や
誘電体等を次々と積層することが行われているが、その
際、ガラス基板は、加熱と冷却が繰り返される。例え
ば、電極等をスクリーン印刷した後、加熱乾燥せしめ、
次いで、この加熱状態のガラス基板を所定温度に冷却せ
しめてから後工程へ搬送している。
レイパネルの製造ラインにおいては、プラズマディスプ
レイパネルの前面体若しくは背面体として用いられるガ
ラス基板上に、スクリーン印刷等により、電極や隔壁や
誘電体等を次々と積層することが行われているが、その
際、ガラス基板は、加熱と冷却が繰り返される。例え
ば、電極等をスクリーン印刷した後、加熱乾燥せしめ、
次いで、この加熱状態のガラス基板を所定温度に冷却せ
しめてから後工程へ搬送している。
【０００３】なお、かかる基板冷却は、精密な位置関係
に層間パターンを形成する為に不可欠であって、所定に
冷却せしめないと、熱膨脹係数の大きいソーダーガラス
で構成されているガラス基板上に高精度に層間パターン
を形成することが困難になる。それ故、所定時間内に均
一に冷却することが要求されるが、図５〜７において示
されている従来の冷却装置は、十分に満足し得るもので
はなかった。
に層間パターンを形成する為に不可欠であって、所定に
冷却せしめないと、熱膨脹係数の大きいソーダーガラス
で構成されているガラス基板上に高精度に層間パターン
を形成することが困難になる。それ故、所定時間内に均
一に冷却することが要求されるが、図５〜７において示
されている従来の冷却装置は、十分に満足し得るもので
はなかった。
【０００４】すなわち、平面図である図５及び図５の縦
断面図である図６，７において、図示されていない架台
に、１枚の冷却パネル１が水平に装着されていると共に
冷却パネル１の下面に冷媒管２が蛇行された姿に装着さ
れ、かつ、それの一端側２ａから冷媒（水）が供給され
て他端側２ｂへ流れる。
断面図である図６，７において、図示されていない架台
に、１枚の冷却パネル１が水平に装着されていると共に
冷却パネル１の下面に冷媒管２が蛇行された姿に装着さ
れ、かつ、それの一端側２ａから冷媒（水）が供給され
て他端側２ｂへ流れる。
【０００５】その為、その間において冷却パネル１との
熱交換が行われて冷却パネル１が冷却され、よって、図
６において示されているように（図５においては鎖線で
示されているように）、左側の前工程側から搬送されて
来た加熱状態のガラス基板３を冷却パネル１で支持せし
めて所定温度に冷却することができるが、その際、ガラ
ス基板３は、吸気ノズル４で吸引されて冷却パネル１に
密着せしめられる。
熱交換が行われて冷却パネル１が冷却され、よって、図
６において示されているように（図５においては鎖線で
示されているように）、左側の前工程側から搬送されて
来た加熱状態のガラス基板３を冷却パネル１で支持せし
めて所定温度に冷却することができるが、その際、ガラ
ス基板３は、吸気ノズル４で吸引されて冷却パネル１に
密着せしめられる。
【０００６】なお、吸気ノズル４は、管路５及び真空ポ
ンプ６を介して吸気することができるように、その上端
を冷却パネル１の上面に開口４ａさせており、そして、
ガラス基板３の冷却を終えると、図７において示されて
いるように、搬送ローラ７，８が一緒に上方へ移動さ
れ、従って、ガラス基板３が水平に持ち上げられて冷却
パネル１と離別され、次いで、搬送ローラ７，８が駆動
回転されてガラス基板３が冷却ゾーンから右側（後工程
側）へ搬出される。
ンプ６を介して吸気することができるように、その上端
を冷却パネル１の上面に開口４ａさせており、そして、
ガラス基板３の冷却を終えると、図７において示されて
いるように、搬送ローラ７，８が一緒に上方へ移動さ
れ、従って、ガラス基板３が水平に持ち上げられて冷却
パネル１と離別され、次いで、搬送ローラ７，８が駆動
回転されてガラス基板３が冷却ゾーンから右側（後工程
側）へ搬出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このようにして次々と
冷却することができるが、この冷却装置は、１枚の冷却
パネル１で広い冷却ゾーンを構成している為、大型の冷
却パネルが必要されてパネル自体の変形（反り）が発生
し易く、また、ガラス基板３も変形（反り）が発生し易
い為、両者の接触面積が不十分な事態が惹起されて所定
時間内に均一に冷却することの困難な欠点を有してい
た。
冷却することができるが、この冷却装置は、１枚の冷却
パネル１で広い冷却ゾーンを構成している為、大型の冷
却パネルが必要されてパネル自体の変形（反り）が発生
し易く、また、ガラス基板３も変形（反り）が発生し易
い為、両者の接触面積が不十分な事態が惹起されて所定
時間内に均一に冷却することの困難な欠点を有してい
た。
【０００８】また、冷却パネル１に冷媒管２を装着して
いる為、伝熱性が劣り、従って、熱容量の大きな厚いガ
ラス基板３を良好に冷却する為に熱容量の大きな厚い冷
却パネル１が必要とされ、かつ、これに起因して伝熱応
答性が低下して冷却時間の短縮化が困難な欠点を有して
いた。
いる為、伝熱性が劣り、従って、熱容量の大きな厚いガ
ラス基板３を良好に冷却する為に熱容量の大きな厚い冷
却パネル１が必要とされ、かつ、これに起因して伝熱応
答性が低下して冷却時間の短縮化が困難な欠点を有して
いた。
【０００９】加えて、冷媒管２を蛇行させた姿に装着し
ている為、冷媒の供給側と排出側とで温度勾配が生じ易
く、従って、この点においても均一冷却が困難な欠点を
有していた。
ている為、冷媒の供給側と排出側とで温度勾配が生じ易
く、従って、この点においても均一冷却が困難な欠点を
有していた。
【００１０】本発明は、このような欠点に鑑み、それを
改善すべく鋭意検討の結果、広い冷却ゾーンを、冷媒流
路を貫通せしめた冷却パネルの複数枚を一定間隔に同一
レベルに配設して形成すると共に、隣り合う冷却パネル
どうし間に、冷却しようとするガラス基板を吸引して冷
却パネルに密着せしめる吸気ノズルと、冷却パネルで支
持される箇所を変えるようにガラス基板を間歇的に持ち
上げて搬送せしめる上下動自在の搬送ローラとを配設す
ることにより、短縮時間で均一に冷却することができる
ことを見い出し本発明を完成したものである。
改善すべく鋭意検討の結果、広い冷却ゾーンを、冷媒流
路を貫通せしめた冷却パネルの複数枚を一定間隔に同一
レベルに配設して形成すると共に、隣り合う冷却パネル
どうし間に、冷却しようとするガラス基板を吸引して冷
却パネルに密着せしめる吸気ノズルと、冷却パネルで支
持される箇所を変えるようにガラス基板を間歇的に持ち
上げて搬送せしめる上下動自在の搬送ローラとを配設す
ることにより、短縮時間で均一に冷却することができる
ことを見い出し本発明を完成したものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明に係る
ガラス基板の冷却装置は、請求項１に記載するように、
冷却しようとするガラス基板を支持し得るように、冷媒
流路を貫通せしめた冷却パネルの複数枚を一定間隔に同
一レベルに配設し、かつ、隣り合う前記冷却パネルどう
し間に、前記ガラス基板を吸引して前記冷却パネルに密
着せしめる吸気ノズルと、前記冷却パネルで支持される
箇所を変えるように前記ガラス基板を間歇的に持ち上げ
て搬送せしめる上下動自在の搬送ローラとを配設したこ
とを特徴とするものである。なお、搬送ローラは、ガラ
ス基板の温度測定に基づいて上方へ移動せしめるように
装着するのが好ましい。
ガラス基板の冷却装置は、請求項１に記載するように、
冷却しようとするガラス基板を支持し得るように、冷媒
流路を貫通せしめた冷却パネルの複数枚を一定間隔に同
一レベルに配設し、かつ、隣り合う前記冷却パネルどう
し間に、前記ガラス基板を吸引して前記冷却パネルに密
着せしめる吸気ノズルと、前記冷却パネルで支持される
箇所を変えるように前記ガラス基板を間歇的に持ち上げ
て搬送せしめる上下動自在の搬送ローラとを配設したこ
とを特徴とするものである。なお、搬送ローラは、ガラ
ス基板の温度測定に基づいて上方へ移動せしめるように
装着するのが好ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】平面図である図１、図１の縦断面
図である図２，３において、４枚の冷却パネル１ａ〜１
ｄは、一定間隔Ｇに、かつ、同一レベルに配設されてい
るが、これらの冷却パネル１ａ〜１ｄは、図示されてい
ない架台に装着されている。
図である図２，３において、４枚の冷却パネル１ａ〜１
ｄは、一定間隔Ｇに、かつ、同一レベルに配設されてい
るが、これらの冷却パネル１ａ〜１ｄは、図示されてい
ない架台に装着されている。
【００１３】なお、冷却パネル１ａ〜１ｄは、伝熱性の
優れたアルミニウムや銅又はそれらの合金製のものであ
って、同一の大きさ、すなわち、全長がＬ、幅がＷの長
方形に設けられていると共にその全長方向に四角形の複
数の冷媒流路１０を貫通せしめている。
優れたアルミニウムや銅又はそれらの合金製のものであ
って、同一の大きさ、すなわち、全長がＬ、幅がＷの長
方形に設けられていると共にその全長方向に四角形の複
数の冷媒流路１０を貫通せしめている。
【００１４】また、隣り合う冷却パネル１ａと１ｂ、１
ｂと１ｃ、１ｃと１ｄどうし間に、搬送ローラ７又は８
と吸気ノズル４とが配設されているが、搬送ローラ７，
８は、水平に保たれながら上下動し得ると共に駆動回転
し得るように装着され、かつ、搬送ローラ７は、軸部７
ａより大径のローラ部７ｂを所定間隔に３個形成してい
ると共に搬送ローラ８は、軸部８ａより大径のローラ部
８ｂを所定間隔に４個形成している。
ｂと１ｃ、１ｃと１ｄどうし間に、搬送ローラ７又は８
と吸気ノズル４とが配設されているが、搬送ローラ７，
８は、水平に保たれながら上下動し得ると共に駆動回転
し得るように装着され、かつ、搬送ローラ７は、軸部７
ａより大径のローラ部７ｂを所定間隔に３個形成してい
ると共に搬送ローラ８は、軸部８ａより大径のローラ部
８ｂを所定間隔に４個形成している。
【００１５】なお、ローラ部７ｂとローラ部８ｂは同径
に設けられている。また、吸気ノズル４は、搬送ローラ
７，８の上下動に邪魔にならない位置に配され、かつ、
管路５及び真空ポンプ６を介して、その開口上端から吸
気することができるように装着されている。なお、吸気
ノズル４の開口上端は、冷却パネル１ａ〜１ｄと同一若
しくはやや低レベルに位置されている。
に設けられている。また、吸気ノズル４は、搬送ローラ
７，８の上下動に邪魔にならない位置に配され、かつ、
管路５及び真空ポンプ６を介して、その開口上端から吸
気することができるように装着されている。なお、吸気
ノズル４の開口上端は、冷却パネル１ａ〜１ｄと同一若
しくはやや低レベルに位置されている。
【００１６】その為、図２において示されているよう
に、搬送ローラ７，８を下方へ移動せしめた状態におい
て、冷却パネル１ａ〜１ｄでガラス基板３を支持するこ
とができると共に、吸気ノズル４群で吸引してガラス基
板３を冷却パネル１ａ〜１ｄに密着せしめることができ
る。
に、搬送ローラ７，８を下方へ移動せしめた状態におい
て、冷却パネル１ａ〜１ｄでガラス基板３を支持するこ
とができると共に、吸気ノズル４群で吸引してガラス基
板３を冷却パネル１ａ〜１ｄに密着せしめることができ
る。
【００１７】また、図３において示されているように、
吸気ノズル４群による吸引を停止したまま若しくは吸引
中の状態において、搬送ローラ７，８を一緒に上方へ移
動させてガラス基板３を水平に持ち上げて冷却パネル１
ａ〜１ｄと離別させることができると共にその後、搬送
ローラ７，８を駆動回転させてガラス基板３を搬送する
ことができる。
吸気ノズル４群による吸引を停止したまま若しくは吸引
中の状態において、搬送ローラ７，８を一緒に上方へ移
動させてガラス基板３を水平に持ち上げて冷却パネル１
ａ〜１ｄと離別させることができると共にその後、搬送
ローラ７，８を駆動回転させてガラス基板３を搬送する
ことができる。
【００１８】なお、搬送ローラ７，８は、等速に駆動回
転されると共に、冷却しようとする加熱状態のガラス基
板３は、左側の前工程側から図示されていない基板搬入
装置により図１において鎖線で示されている位置に搬入
され、かつ、吸気ノズル４で吸引されて冷却パネル１ａ
〜１ｄに密着せしめられる。
転されると共に、冷却しようとする加熱状態のガラス基
板３は、左側の前工程側から図示されていない基板搬入
装置により図１において鎖線で示されている位置に搬入
され、かつ、吸気ノズル４で吸引されて冷却パネル１ａ
〜１ｄに密着せしめられる。
【００１９】その為、一方のマニホールド１２ａから冷
媒通路１０に供給されて他方のマニホールド１２ｂから
排出される冷媒（例えば、水）によって所定温度に冷却
せしめられている冷却パネル１ａ〜１ｄとの熱交換によ
り所定に冷却される。
媒通路１０に供給されて他方のマニホールド１２ｂから
排出される冷媒（例えば、水）によって所定温度に冷却
せしめられている冷却パネル１ａ〜１ｄとの熱交換によ
り所定に冷却される。
【００２０】そして、一定時間が経過すると、搬送ロー
ラ７，８が一緒に上方へ移動され、従って、そのローラ
部７ｂ，８ｂでガラス基板３が支持されて水平に上方へ
移動せしめられ、次いで、駆動回転される。その際、搬
送ローラ７，８は、ガラス基板３を（Ｗ＋Ｇ）×１／２
の距離だけ右側（後工程側）へ搬送するように駆動回転
され、その後、回転停止して下方へ移動される。
ラ７，８が一緒に上方へ移動され、従って、そのローラ
部７ｂ，８ｂでガラス基板３が支持されて水平に上方へ
移動せしめられ、次いで、駆動回転される。その際、搬
送ローラ７，８は、ガラス基板３を（Ｗ＋Ｇ）×１／２
の距離だけ右側（後工程側）へ搬送するように駆動回転
され、その後、回転停止して下方へ移動される。
【００２１】よって、冷却パネル１ａ〜１ｄで支持され
る箇所が変えられるが、以下、同様の工程を経て、冷却
パネル１ａ〜１ｄで支持される箇所を次々と変えて冷却
することができる。その為、ガラス基板３に変形（反
り）が生じていても、冷却パネル１ａ〜１ｄとの接触を
十分に保つことができて均一に冷却することができる。
る箇所が変えられるが、以下、同様の工程を経て、冷却
パネル１ａ〜１ｄで支持される箇所を次々と変えて冷却
することができる。その為、ガラス基板３に変形（反
り）が生じていても、冷却パネル１ａ〜１ｄとの接触を
十分に保つことができて均一に冷却することができる。
【００２２】すなわち、加熱されたガラス基板３を支持
し得るように、冷媒流路１０を貫通せしめた冷却パネル
１ａ〜１ｄを一定間隔Ｗに同一レベルに配設し、かつ、
隣り合う冷却パネルどうし間に、ガラス基板３を吸引し
て冷却パネル１ａ〜１ｄに密着せしめる吸気ノズル４
と、冷却パネル１ａ〜１ｄで支持される箇所を変えるよ
うに、冷却パネル１ａ〜１ｄで支持されているガラス基
板３を間歇的に持ち上げた後、搬送せしめる上下動自在
の搬送ローラ７，８とを配設している。
し得るように、冷媒流路１０を貫通せしめた冷却パネル
１ａ〜１ｄを一定間隔Ｗに同一レベルに配設し、かつ、
隣り合う冷却パネルどうし間に、ガラス基板３を吸引し
て冷却パネル１ａ〜１ｄに密着せしめる吸気ノズル４
と、冷却パネル１ａ〜１ｄで支持される箇所を変えるよ
うに、冷却パネル１ａ〜１ｄで支持されているガラス基
板３を間歇的に持ち上げた後、搬送せしめる上下動自在
の搬送ローラ７，８とを配設している。
【００２３】その為、冷却パネル１ａ〜１ｄ及びガラス
基板３の変形（反り）の影響を緩和して両者の接触を十
分な状態にすることができ、また、冷媒と冷却パネル１
ａ〜１ｄ間の伝熱応答性を向上させることができると共
に冷媒の供給側と排出側の温度勾配を小さくすることが
できて、このようなことの相乗効果によってガラス基板
３を短縮時間で均一に冷却することができる。
基板３の変形（反り）の影響を緩和して両者の接触を十
分な状態にすることができ、また、冷媒と冷却パネル１
ａ〜１ｄ間の伝熱応答性を向上させることができると共
に冷媒の供給側と排出側の温度勾配を小さくすることが
できて、このようなことの相乗効果によってガラス基板
３を短縮時間で均一に冷却することができる。
【００２４】なお、図示されていないが、後工程側（図
１〜３において右側）に基板搬出装置が配設されてお
り、冷却を終えたガラス基板３が、冷却パネル１ａ〜１
ｄで形成された冷却ゾーンから前記基板搬出装置上へ搬
出される。
１〜３において右側）に基板搬出装置が配設されてお
り、冷却を終えたガラス基板３が、冷却パネル１ａ〜１
ｄで形成された冷却ゾーンから前記基板搬出装置上へ搬
出される。
【００２５】以上、一実施形態について述べたが、本発
明においては、冷却パネル１ａ〜１ｄに貫通される冷媒
流路１０は、いかなる形状であってもよい。一般に、冷
却パネル１ａ〜１ｄの肉厚の不均一箇所を形成させない
ように所定形状に貫通せしめるのが好ましい。なお、そ
の数も任意に選択される。また、冷媒についても、水以
外のものであってもよく、必要に応じて所定の冷媒を選
択することができ、かつ、液体、ガスのいずれであって
もよい。
明においては、冷却パネル１ａ〜１ｄに貫通される冷媒
流路１０は、いかなる形状であってもよい。一般に、冷
却パネル１ａ〜１ｄの肉厚の不均一箇所を形成させない
ように所定形状に貫通せしめるのが好ましい。なお、そ
の数も任意に選択される。また、冷媒についても、水以
外のものであってもよく、必要に応じて所定の冷媒を選
択することができ、かつ、液体、ガスのいずれであって
もよい。
【００２６】更に、冷却しようとするガラス基板３を冷
却ゾーンに搬入する基板搬入装置及び冷却し得たガラス
基板３を冷却ゾーンから搬出する基板搬出装置について
も、いかなる型式の装置であってもよく、また、搬送ロ
ーラ７，８を等速に駆動回転せしめる手段についても同
様である。
却ゾーンに搬入する基板搬入装置及び冷却し得たガラス
基板３を冷却ゾーンから搬出する基板搬出装置について
も、いかなる型式の装置であってもよく、また、搬送ロ
ーラ７，８を等速に駆動回転せしめる手段についても同
様である。
【００２７】なお、搬送ローラ７，８を上方へ移動させ
る制御は、常に一定のサイクルで行ってもよいが、ガラ
ス基板３をより均一に冷却する為には、ガラス基板３の
温度測定に基づいて行うのが好ましい。その際、例え
ば、図４において示されているように、ガラス基板３の
上面温度を測定する赤外線カメラ１３及びその信号を処
理して搬送ローラ７，８の上下動装置１４に駆動信号を
出力する制御装置１５を装着すればよい。
る制御は、常に一定のサイクルで行ってもよいが、ガラ
ス基板３をより均一に冷却する為には、ガラス基板３の
温度測定に基づいて行うのが好ましい。その際、例え
ば、図４において示されているように、ガラス基板３の
上面温度を測定する赤外線カメラ１３及びその信号を処
理して搬送ローラ７，８の上下動装置１４に駆動信号を
出力する制御装置１５を装着すればよい。
【００２８】また、ガラス基板３についても、プラズマ
ディスプレイパネル用のみならず、液晶表示板用、等の
ものであってもよいと共に、搬送ローラ７，８は、冷却
パネルで支持される箇所を変えるようにガラス基板を間
歇的に持ち上げて搬送する為に用いられるものである限
りにおいては、他の為、すなわち、例えば、前記基板搬
入装置と関係せしめられて、前工程からの加熱状態のガ
ラス基板３を、冷却パネル１ａ〜１ｄが配されている冷
却ゾーンに搬入したり、或いは、前記基板搬出装置と関
係せしめられて、冷却し得たガラス基板３を、前記冷却
ゾーンから後工程側へ搬出したりすること等にも用いて
もよい。
ディスプレイパネル用のみならず、液晶表示板用、等の
ものであってもよいと共に、搬送ローラ７，８は、冷却
パネルで支持される箇所を変えるようにガラス基板を間
歇的に持ち上げて搬送する為に用いられるものである限
りにおいては、他の為、すなわち、例えば、前記基板搬
入装置と関係せしめられて、前工程からの加熱状態のガ
ラス基板３を、冷却パネル１ａ〜１ｄが配されている冷
却ゾーンに搬入したり、或いは、前記基板搬出装置と関
係せしめられて、冷却し得たガラス基板３を、前記冷却
ゾーンから後工程側へ搬出したりすること等にも用いて
もよい。
【００２９】
【発明の効果】上述の如く、本発明によると、プラズマ
ディスプレイパネル用や液晶表示板用等のガラス基板を
短時間で均一に冷却することができる冷却装置を得るこ
とができる。
ディスプレイパネル用や液晶表示板用等のガラス基板を
短時間で均一に冷却することができる冷却装置を得るこ
とができる。
【図１】ガラス基板の冷却装置の平面図である。
【図２】図１の縦断面図である。
【図３】図１の縦断面図であってガラス基板の持上げ態
様を示す図である。
様を示す図である。
【図４】冷却中のガラス基板の上面温度の測定態様を示
す図である。
す図である。
【図５】従来のガラス基板の冷却装置の平面図である。
【図６】図５の縦断面図である。
【図７】図５の縦断面図であってガラス基板の持上げ態
様を示す図である。
様を示す図である。
１ａ〜１ｄ 冷却パネル
３ ガラス基板
４ 吸気ノズル
７，８ 搬送ローラ
７ａ，８ａ 軸部
７ｂ，８ｂ ローラ部
１０ 冷媒流路
１３ 赤外線カメラ
１４ 搬送ローラの上下動装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C03B 25/08
C03B 27/004
C03B 35/16
Claims (2)
- 【請求項１】 冷却しようとするガラス基板を支持し得
るように、冷媒流路を貫通せしめた冷却パネルの複数枚
を一定間隔に同一レベルに配設し、かつ、隣り合う前記
冷却パネルどうし間に、前記ガラス基板を吸引して前記
冷却パネルに密着せしめる吸気ノズルと、前記冷却パネ
ルで支持される箇所を変えるように前記ガラス基板を間
歇的に持ち上げて搬送せしめる上下動自在の搬送ローラ
とを配設したことを特徴とするガラス基板の冷却装置。 - 【請求項２】 搬送ローラが、ガラス基板の温度測定に
基づいて上方へ移動せしめられるように装着されている
ことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の冷却装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21555997A JP3461434B2 (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | ガラス基板の冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21555997A JP3461434B2 (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | ガラス基板の冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1143337A JPH1143337A (ja) | 1999-02-16 |
| JP3461434B2 true JP3461434B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=16674443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21555997A Expired - Fee Related JP3461434B2 (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | ガラス基板の冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3461434B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4508856B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2010-07-21 | 三菱重工業株式会社 | ガラス基板の成膜装置 |
| WO2008093419A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Hirata Corporation | 搬送装置及び搬送方法 |
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