JP2001015024A - 大型ガラス基板用冷却装置 - Google Patents
大型ガラス基板用冷却装置Info
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- JP2001015024A JP2001015024A JP11182320A JP18232099A JP2001015024A JP 2001015024 A JP2001015024 A JP 2001015024A JP 11182320 A JP11182320 A JP 11182320A JP 18232099 A JP18232099 A JP 18232099A JP 2001015024 A JP2001015024 A JP 2001015024A
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- large glass
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- cooling chamber
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板の材質に拘わらず、基板表面の温度をで
きる限り均一な状態で、迅速に冷却することができ、基
板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能な
大型ガラス基板用の冷却装置を提供する。 【解決手段】 所定のパターンを印刷し、加熱乾燥した
大型ガラス基板２を冷却するための冷却装置１である。
冷却室３と、冷却室３に冷却用空気を送気するためのフ
ァン４と、冷却用空気を整流するための整流部材５と、
大型ガラス基板２を冷却室３内に搬入し、搬出するため
の搬送手段と、噴射される冷却用空気に対して大型ガラ
ス基板２を相対的に揺動させるための揺動手段７とを備
える。
きる限り均一な状態で、迅速に冷却することができ、基
板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能な
大型ガラス基板用の冷却装置を提供する。 【解決手段】 所定のパターンを印刷し、加熱乾燥した
大型ガラス基板２を冷却するための冷却装置１である。
冷却室３と、冷却室３に冷却用空気を送気するためのフ
ァン４と、冷却用空気を整流するための整流部材５と、
大型ガラス基板２を冷却室３内に搬入し、搬出するため
の搬送手段と、噴射される冷却用空気に対して大型ガラ
ス基板２を相対的に揺動させるための揺動手段７とを備
える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、例えばプラズマ
ディスプレイパネル等を製造する工程において、所定の
パターンを印刷した後、加熱乾燥された大型ガラス基板
を冷却するための冷却装置に関し、詳しくは大型ガラス
基板の表面温度が均一な状態で冷却することができ、基
板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能な
冷却装置に関する。
ディスプレイパネル等を製造する工程において、所定の
パターンを印刷した後、加熱乾燥された大型ガラス基板
を冷却するための冷却装置に関し、詳しくは大型ガラス
基板の表面温度が均一な状態で冷却することができ、基
板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能な
冷却装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 近年、壁掛けテレビやマルチメディア
用ディスプレイとして利用できる、大画面フラットパネ
ルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）の実用化
が着々と進行しつつある。このような大画面ＦＰＤとし
ては、自発光型で広い視野角を持ち、表示品質が良いと
いう品質面のメリットと、製作プロセスが簡単で大型化
が容易という製造面でのメリットを兼ね備えた、プラズ
マディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」という。）が
最有力候補として挙げられている。
用ディスプレイとして利用できる、大画面フラットパネ
ルディスプレイ（以下、「ＦＰＤ」という。）の実用化
が着々と進行しつつある。このような大画面ＦＰＤとし
ては、自発光型で広い視野角を持ち、表示品質が良いと
いう品質面のメリットと、製作プロセスが簡単で大型化
が容易という製造面でのメリットを兼ね備えた、プラズ
マディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」という。）が
最有力候補として挙げられている。
【０００３】 ＰＤＰの製造は、例えば図３に示すよう
に、前面ガラス、背面ガラスと称する大型ガラス基板の
表面に、印刷，乾燥，焼成の工程を複数回繰り返す厚膜
法により、電極，誘電体，蛍光体等の種々の部材を逐次
形成していき、最終的に前面ガラスと背面ガラスとを封
着することにより行われる。
に、前面ガラス、背面ガラスと称する大型ガラス基板の
表面に、印刷，乾燥，焼成の工程を複数回繰り返す厚膜
法により、電極，誘電体，蛍光体等の種々の部材を逐次
形成していき、最終的に前面ガラスと背面ガラスとを封
着することにより行われる。
【０００４】 ところで、ＰＤＰのような大型のガラス
基板を乾燥する場合には、基板表面の温度をできる限り
均一な状態とすることが要求される。基板表面の温度分
布が大きい状態で乾燥を行うと、基板や基板上に形成
した部材が歪むことに起因して、割れ，欠け等の欠陥を
生ずる、乾燥の工程で生じた歪みが残留することによ
って、その後の工程（例えば研削工程等）において同様
の欠陥を生ずる、欠陥が生ずることによって製品の歩
留まりが低下する、等の不具合を生ずるからである。
基板を乾燥する場合には、基板表面の温度をできる限り
均一な状態とすることが要求される。基板表面の温度分
布が大きい状態で乾燥を行うと、基板や基板上に形成
した部材が歪むことに起因して、割れ，欠け等の欠陥を
生ずる、乾燥の工程で生じた歪みが残留することによ
って、その後の工程（例えば研削工程等）において同様
の欠陥を生ずる、欠陥が生ずることによって製品の歩
留まりが低下する、等の不具合を生ずるからである。
【０００５】 基板表面の温度分布については、ディス
プレイパネルが５０〜６０インチに大型化しつつある昨
今では、特に厳格な条件が要求されるようになってお
り、例えば１２０℃での乾燥時においては、基板表面の
各部分における最高温度と最低温度との温度差Δｔが４
℃以内という極めて厳格な温度条件が必要とされてい
る。
プレイパネルが５０〜６０インチに大型化しつつある昨
今では、特に厳格な条件が要求されるようになってお
り、例えば１２０℃での乾燥時においては、基板表面の
各部分における最高温度と最低温度との温度差Δｔが４
℃以内という極めて厳格な温度条件が必要とされてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、ＰＤ
Ｐの製造工程においては、ガラス基板に印刷し、乾燥し
た後、直ちに焼成せずサンドブラスト等の研削処理を行
うことが一般的であり、１２０℃程度の温度で印刷面を
乾燥した後に４０℃程度まで急冷する必要がある。この
ような場合においては、乾燥時に上述のような厳格な温
度制御を行ったとしても、１２０℃から４０℃まで急冷
する工程において基板表面上の温度分布が大きくなる
と、乾燥時と同様に、当該急冷工程において、或いはそ
の後の研削工程等において基板に割れ，欠け等の欠陥を
生じ、製品歩留まりが低下するという問題が生じてい
た。
Ｐの製造工程においては、ガラス基板に印刷し、乾燥し
た後、直ちに焼成せずサンドブラスト等の研削処理を行
うことが一般的であり、１２０℃程度の温度で印刷面を
乾燥した後に４０℃程度まで急冷する必要がある。この
ような場合においては、乾燥時に上述のような厳格な温
度制御を行ったとしても、１２０℃から４０℃まで急冷
する工程において基板表面上の温度分布が大きくなる
と、乾燥時と同様に、当該急冷工程において、或いはそ
の後の研削工程等において基板に割れ，欠け等の欠陥を
生じ、製品歩留まりが低下するという問題が生じてい
た。
【０００７】 上記問題点は乾燥した基板を冷却用空気
の噴射を弱くする等して、１２０℃から４０℃まで徐冷
することにより解決できるが、冷却時間の延長につなが
るため、生産効率を考慮すれば必ずしも好ましい方法と
は言えない。基板の材質を高歪点ガラスとする等の材質
上の改良等も行われてはいるものの、基板の材質に拘わ
らず、基板表面の温度をできる限り均一な状態で、迅速
に冷却することができる大型ガラス基板用の冷却装置が
切望されている。
の噴射を弱くする等して、１２０℃から４０℃まで徐冷
することにより解決できるが、冷却時間の延長につなが
るため、生産効率を考慮すれば必ずしも好ましい方法と
は言えない。基板の材質を高歪点ガラスとする等の材質
上の改良等も行われてはいるものの、基板の材質に拘わ
らず、基板表面の温度をできる限り均一な状態で、迅速
に冷却することができる大型ガラス基板用の冷却装置が
切望されている。
【０００８】 本発明はこのような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであって、基板の材質に拘わらず、
基板表面の温度をできる限り均一な状態で、迅速に冷却
することができ、基板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防
止することが可能な大型ガラス基板用の冷却装置を提供
することにある。
鑑みてなされたものであって、基板の材質に拘わらず、
基板表面の温度をできる限り均一な状態で、迅速に冷却
することができ、基板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防
止することが可能な大型ガラス基板用の冷却装置を提供
することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】 本発明者らが前記問題
点について鋭意検討した結果、噴射される冷却用空気と
被冷却体である基板とを相対的に揺動させることによ
り、上述の課題を解決できることに想到して本発明を完
成した。
点について鋭意検討した結果、噴射される冷却用空気と
被冷却体である基板とを相対的に揺動させることによ
り、上述の課題を解決できることに想到して本発明を完
成した。
【００１０】 即ち、本発明によれば、所定のパターン
を印刷し、加熱乾燥した大型ガラス基板を冷却するため
の冷却装置であって、大型ガラス基板が投入される冷却
室と、当該冷却室に冷却用空気を送気するためのファン
と、当該ファンと前記冷却室との間に設けられた、前記
冷却用空気を整流するための整流部材と、大型ガラス基
板を冷却室内に搬入し、冷却室外へ搬出するための搬送
手段と、噴射される冷却用空気に対して大型ガラス基板
を相対的に揺動させるための揺動手段と、を備えたこと
を特徴とする大型ガラス基板用冷却装置が提供される。
を印刷し、加熱乾燥した大型ガラス基板を冷却するため
の冷却装置であって、大型ガラス基板が投入される冷却
室と、当該冷却室に冷却用空気を送気するためのファン
と、当該ファンと前記冷却室との間に設けられた、前記
冷却用空気を整流するための整流部材と、大型ガラス基
板を冷却室内に搬入し、冷却室外へ搬出するための搬送
手段と、噴射される冷却用空気に対して大型ガラス基板
を相対的に揺動させるための揺動手段と、を備えたこと
を特徴とする大型ガラス基板用冷却装置が提供される。
【００１１】 本発明の冷却装置は、噴射される冷却用
空気に対して大型ガラス基板を相対的に揺動させるため
の揺動手段を、センサで大型ガラス基板の位置を検知す
ることにより制御することが好ましく、タイマにより時
間制御することも好ましい。
空気に対して大型ガラス基板を相対的に揺動させるため
の揺動手段を、センサで大型ガラス基板の位置を検知す
ることにより制御することが好ましく、タイマにより時
間制御することも好ましい。
【００１２】 また、本発明によれば、所定のパターン
を印刷し、加熱乾燥した大型ガラス基板を冷却するため
の冷却装置であって、大型ガラス基板が投入される冷却
室と、当該冷却室に冷却用空気を送気するためのファン
と、当該ファンと前記冷却室との間に設けられ、大型ガ
ラス基板に対して相対的に揺動しながら、前記冷却用空
気を冷却室内に噴射するための噴射手段と、大型ガラス
基板を冷却室内に搬入し、冷却室外へ搬出するための搬
送手段と、を備えたことを特徴とする大型ガラス基板用
冷却装置が提供される。
を印刷し、加熱乾燥した大型ガラス基板を冷却するため
の冷却装置であって、大型ガラス基板が投入される冷却
室と、当該冷却室に冷却用空気を送気するためのファン
と、当該ファンと前記冷却室との間に設けられ、大型ガ
ラス基板に対して相対的に揺動しながら、前記冷却用空
気を冷却室内に噴射するための噴射手段と、大型ガラス
基板を冷却室内に搬入し、冷却室外へ搬出するための搬
送手段と、を備えたことを特徴とする大型ガラス基板用
冷却装置が提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】 本発明の大型ガラス基板用冷却
装置は、噴射される冷却用空気と被冷却体である基板と
を相対的に揺動させる手段を備えたものである。このよ
うな構成によれば、大型のガラス基板を急冷する場合に
あっても、基板の材質に拘わらず、基板表面の温度をで
きる限り均一な状態で、迅速に冷却することができ、基
板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能と
なる。以下、本発明の冷却装置について詳細に説明す
る。
装置は、噴射される冷却用空気と被冷却体である基板と
を相対的に揺動させる手段を備えたものである。このよ
うな構成によれば、大型のガラス基板を急冷する場合に
あっても、基板の材質に拘わらず、基板表面の温度をで
きる限り均一な状態で、迅速に冷却することができ、基
板の歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能と
なる。以下、本発明の冷却装置について詳細に説明す
る。
【００１４】 本発明の冷却装置は、スクリーン印刷等
で基板表面に形成された電極，誘電体，蛍光体等の種々
の部材（以下、「印刷面」という。）を乾燥するための
乾燥装置に隣接して設けられる。乾燥装置内で１２０℃
程度の温度で乾燥された基板は何らかの搬送手段によっ
て冷却装置の冷却室内に搬入し、冷却を行った後は冷却
室外へ搬出することになる。
で基板表面に形成された電極，誘電体，蛍光体等の種々
の部材（以下、「印刷面」という。）を乾燥するための
乾燥装置に隣接して設けられる。乾燥装置内で１２０℃
程度の温度で乾燥された基板は何らかの搬送手段によっ
て冷却装置の冷却室内に搬入し、冷却を行った後は冷却
室外へ搬出することになる。
【００１５】 本発明における搬送手段としては、被冷
却体を間欠的に搬送する搬送手段であることが好まし
い。低速で駆動するコンベア上に被冷却体を載置して連
続的に搬送する場合のように、被冷却体を設定温度の異
なる乾燥装置から連続的に移動させるような搬送手段で
は、基板の表面における温度分布が大きくなるおそれが
あるためである。
却体を間欠的に搬送する搬送手段であることが好まし
い。低速で駆動するコンベア上に被冷却体を載置して連
続的に搬送する場合のように、被冷却体を設定温度の異
なる乾燥装置から連続的に移動させるような搬送手段で
は、基板の表面における温度分布が大きくなるおそれが
あるためである。
【００１６】 本明細書において「間欠的に搬送する」
というときは、乾燥装置から被冷却体を可及的速やかに
隣接する冷却装置の冷却室に搬入し、所定時間冷却を行
った後、次なる被冷却体の冷却室への搬入と冷却された
先の被冷却体の搬出を可及的速やかに行うという操作を
繰り返す搬送方法をいう。このような搬送方法が可能で
ある限りにおいて、搬送手段の種類は特に限定されない
が、ウォーキングビームを用いることが好ましい。但
し、冷却室への搬入・搬出時のみ高速で移動させる等の
方法で、間欠的に駆動させる方法を採ればローラやコン
ベアなども用いることができる。
というときは、乾燥装置から被冷却体を可及的速やかに
隣接する冷却装置の冷却室に搬入し、所定時間冷却を行
った後、次なる被冷却体の冷却室への搬入と冷却された
先の被冷却体の搬出を可及的速やかに行うという操作を
繰り返す搬送方法をいう。このような搬送方法が可能で
ある限りにおいて、搬送手段の種類は特に限定されない
が、ウォーキングビームを用いることが好ましい。但
し、冷却室への搬入・搬出時のみ高速で移動させる等の
方法で、間欠的に駆動させる方法を採ればローラやコン
ベアなども用いることができる。
【００１７】 本発明の冷却装置は、空冷、即ち冷却用
空気を被冷却体に対して噴射することにより冷却を行う
ものであり、基板が投入される冷却室に冷却用空気を送
気するためのファンを備えている。ファンの取付位置は
冷却室の上部であると下部であるとを問わないが、冷却
室の天井面、即ち基板上面側から冷却用空気を噴射する
ものであることが好ましい。例えば基板の側面側から冷
却用空気を噴射すると、基板の表面における温度分布が
大きくなり、基板を均一に冷却することが困難だからで
ある。
空気を被冷却体に対して噴射することにより冷却を行う
ものであり、基板が投入される冷却室に冷却用空気を送
気するためのファンを備えている。ファンの取付位置は
冷却室の上部であると下部であるとを問わないが、冷却
室の天井面、即ち基板上面側から冷却用空気を噴射する
ものであることが好ましい。例えば基板の側面側から冷
却用空気を噴射すると、基板の表面における温度分布が
大きくなり、基板を均一に冷却することが困難だからで
ある。
【００１８】 本発明の冷却装置は、上述のような方法
により基板を空冷するものであるが、基板表面の温度を
できる限り均一な状態で、迅速に冷却するという本発明
の目的を達成するためには上述の方法のみでは十分では
ない。従って、本発明の冷却装置においては、噴射され
る冷却用空気と被冷却体である基板とを相対的に揺動さ
せる方法、具体的には以下に示す方法を採用している。
により基板を空冷するものであるが、基板表面の温度を
できる限り均一な状態で、迅速に冷却するという本発明
の目的を達成するためには上述の方法のみでは十分では
ない。従って、本発明の冷却装置においては、噴射され
る冷却用空気と被冷却体である基板とを相対的に揺動さ
せる方法、具体的には以下に示す方法を採用している。
【００１９】（１）第１の実施態様 本発明の冷却装置の第１の実施態様は、噴射される冷却
用空気に対して大型ガラス基板を相対的に揺動させるた
めの揺動手段を備えたものである。噴射される冷却用空
気に対して基板を相対的に揺動させることにより、基板
表面全体をより均一に冷却することとできるからであ
る。
用空気に対して大型ガラス基板を相対的に揺動させるた
めの揺動手段を備えたものである。噴射される冷却用空
気に対して基板を相対的に揺動させることにより、基板
表面全体をより均一に冷却することとできるからであ
る。
【００２０】 第１の実施態様には、一定方向に噴射さ
れる冷却用空気に対して基板が前後，左右その他の方向
に、規則的に或いは不規則に移動させるものの全てが包
含される。但し、基板の進行方向、即ち前後方向に運動
させる方法が、装置の構造を簡素化でき、装置コストも
比較的低い点において好ましい。揺動手段としては種々
の手段が考えられるが、例えばローラやコンベア等を使
用することができる。
れる冷却用空気に対して基板が前後，左右その他の方向
に、規則的に或いは不規則に移動させるものの全てが包
含される。但し、基板の進行方向、即ち前後方向に運動
させる方法が、装置の構造を簡素化でき、装置コストも
比較的低い点において好ましい。揺動手段としては種々
の手段が考えられるが、例えばローラやコンベア等を使
用することができる。
【００２１】 本発明の冷却装置においては、センサで
基板の位置を検知することにより揺動手段を制御するこ
とが好ましい。例えば冷却室内に間欠的に搬入された基
板を自動的に或いはセンサで検知することにより、冷却
室の先端までローラなどによって移送し、冷却室先端に
設置したセンサによって基板を検知した時点で今度はロ
ーラを反転させて冷却室の後端まで移送し、更に冷却室
後端に設置したセンサで基板を検知することにより再び
冷却室の先端まで移送する操作を繰り返す方法がある。
ローラ等の揺動手段のうち、基板と接触する部分につい
ては、例えばＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケト
ン樹脂）のような、基板を傷つけない素材で構成するこ
とが好ましい。
基板の位置を検知することにより揺動手段を制御するこ
とが好ましい。例えば冷却室内に間欠的に搬入された基
板を自動的に或いはセンサで検知することにより、冷却
室の先端までローラなどによって移送し、冷却室先端に
設置したセンサによって基板を検知した時点で今度はロ
ーラを反転させて冷却室の後端まで移送し、更に冷却室
後端に設置したセンサで基板を検知することにより再び
冷却室の先端まで移送する操作を繰り返す方法がある。
ローラ等の揺動手段のうち、基板と接触する部分につい
ては、例えばＰＥＥＫ樹脂（ポリエーテルエーテルケト
ン樹脂）のような、基板を傷つけない素材で構成するこ
とが好ましい。
【００２２】 また、本発明の冷却装置においては、揺
動手段をタイマにより時間制御することも好ましい。こ
の場合においてもローラ等を揺動手段として用いること
ができ、例えば冷却室内に間欠的に搬入された基板を自
動的に或いはセンサで検知した後、予め設定された揺動
時間に従って、基板を前進後退させることにより揺動さ
せる方法がある。このような方法は、基板のサイズによ
り適宜揺動時間を設定して最適な揺動距離で基板を揺動
させることができる点において好ましい。なお、センサ
とタイマを併用することも当然に可能である。
動手段をタイマにより時間制御することも好ましい。こ
の場合においてもローラ等を揺動手段として用いること
ができ、例えば冷却室内に間欠的に搬入された基板を自
動的に或いはセンサで検知した後、予め設定された揺動
時間に従って、基板を前進後退させることにより揺動さ
せる方法がある。このような方法は、基板のサイズによ
り適宜揺動時間を設定して最適な揺動距離で基板を揺動
させることができる点において好ましい。なお、センサ
とタイマを併用することも当然に可能である。
【００２３】 また、第１の実施態様では、ファンと冷
却室との間（通常、冷却室の天井面）には冷却用空気を
整流するための整流部材が設けられる。冷却用空気の流
路を細分化する整流部材を設けることで冷却室内の各所
に均一な風量、風向の冷却用空気が噴射されるからであ
る。一方、ファンから送気される冷却用空気をそのまま
冷却室に送り込むと風量、風向にバラツキを生じ、基板
の表面における温度分布が大きくなるおそれがある点に
おいて好ましくない。
却室との間（通常、冷却室の天井面）には冷却用空気を
整流するための整流部材が設けられる。冷却用空気の流
路を細分化する整流部材を設けることで冷却室内の各所
に均一な風量、風向の冷却用空気が噴射されるからであ
る。一方、ファンから送気される冷却用空気をそのまま
冷却室に送り込むと風量、風向にバラツキを生じ、基板
の表面における温度分布が大きくなるおそれがある点に
おいて好ましくない。
【００２４】 整流部材の形状は特に限定されないが、
例えば板状体に複数のスリット状開口部を設けたスリッ
ト部材、或いは板状体に円形その他の形状の孔を多数穿
設してなる有孔板などを用いることができる。スリット
状開口部や孔の形状，数は被冷却体である基板のサイ
ズ，ファンの能力などを考慮して適宜選択することがで
きるが、風量・風向を均一化する効果を担保するべく、
実質的に均一に設けられていることが好ましい。
例えば板状体に複数のスリット状開口部を設けたスリッ
ト部材、或いは板状体に円形その他の形状の孔を多数穿
設してなる有孔板などを用いることができる。スリット
状開口部や孔の形状，数は被冷却体である基板のサイ
ズ，ファンの能力などを考慮して適宜選択することがで
きるが、風量・風向を均一化する効果を担保するべく、
実質的に均一に設けられていることが好ましい。
【００２５】（２）第２の実施態様 本発明の冷却装置の第２の実施態様は、大型ガラス基板
に対して相対的に揺動しながら、前記冷却用空気を冷却
室内に噴射するための噴射手段を備えたものである。即
ち、第１の実施態様とは異なり、ガラス基板を静止させ
た状態で、噴射する冷却用空気の方を相対的に揺動させ
る方法である。噴射手段としては、例えばエアコン等に
汎用されるスイング式の噴射装置を使用することがで
き、また、第１の実施態様で使用した整流手段を往復運
動させても良い。
に対して相対的に揺動しながら、前記冷却用空気を冷却
室内に噴射するための噴射手段を備えたものである。即
ち、第１の実施態様とは異なり、ガラス基板を静止させ
た状態で、噴射する冷却用空気の方を相対的に揺動させ
る方法である。噴射手段としては、例えばエアコン等に
汎用されるスイング式の噴射装置を使用することがで
き、また、第１の実施態様で使用した整流手段を往復運
動させても良い。
【００２６】 但し、ＰＤＰの製造装置においては高い
クリーン度が要求され、基板の上側には運動する部材を
設置しないことが好ましいとされている。従って、第２
の実施態様によっても基板表面全体を均一に冷却する効
果はあるものの、クリーン度の観点からは基板を揺動さ
せる第１の実施態様の方が好ましい。
クリーン度が要求され、基板の上側には運動する部材を
設置しないことが好ましいとされている。従って、第２
の実施態様によっても基板表面全体を均一に冷却する効
果はあるものの、クリーン度の観点からは基板を揺動さ
せる第１の実施態様の方が好ましい。
【００２７】
【実施例】 以下、本発明の冷却装置の実施例について
図１の側面断面図，図２の正面断面図を参照しながら説
明する。但し、本発明は下記の実施例に限定されるもの
ではない。
図１の側面断面図，図２の正面断面図を参照しながら説
明する。但し、本発明は下記の実施例に限定されるもの
ではない。
【００２８】（実施例１）冷却装置１は、所定のパター
ンを印刷し、加熱乾燥した大型ガラス基板（以下、「基
板」という。）２が投入される冷却室３と、冷却室３に
冷却用空気を送気するためのファン４と、ファン４と冷
却室３との間に設けられた、冷却用空気を整流するため
のスリット部材５と、基板２を冷却室３内に搬入し、冷
却室３外へ搬出するためのウォーキングビーム６と、噴
射される冷却用空気に対して基板２を相対的に揺動させ
るためのローラ７と、を備えている。
ンを印刷し、加熱乾燥した大型ガラス基板（以下、「基
板」という。）２が投入される冷却室３と、冷却室３に
冷却用空気を送気するためのファン４と、ファン４と冷
却室３との間に設けられた、冷却用空気を整流するため
のスリット部材５と、基板２を冷却室３内に搬入し、冷
却室３外へ搬出するためのウォーキングビーム６と、噴
射される冷却用空気に対して基板２を相対的に揺動させ
るためのローラ７と、を備えている。
【００２９】 冷却室３から回収され、クリーンルーム
等の外部の空気を一部取り入れた冷却用空気はファン４
によって送気され、ダクト１１を通過して、冷却装置１
の上部空間１２に送り込まれる。上部空間１２に送り込
まれた冷却用空気はＨＥＰＡフィルタ１３で清浄化さ
れ、スリット部材５で整流された後、冷却室３内に噴射
される。冷却用空気は基板２を冷却した後、ファン４に
よって回収され、一部は排気として外部空間に排出さ
れ、一部は冷却用空気として再度循環される。
等の外部の空気を一部取り入れた冷却用空気はファン４
によって送気され、ダクト１１を通過して、冷却装置１
の上部空間１２に送り込まれる。上部空間１２に送り込
まれた冷却用空気はＨＥＰＡフィルタ１３で清浄化さ
れ、スリット部材５で整流された後、冷却室３内に噴射
される。冷却用空気は基板２を冷却した後、ファン４に
よって回収され、一部は排気として外部空間に排出さ
れ、一部は冷却用空気として再度循環される。
【００３０】 所定のパターンを印刷し、加熱乾燥した
基板２は、ウォーキングビーム６によって冷却室３内に
間欠的に搬入され、自動的に或いはセンサ１５で検知す
ることにより、冷却室３の先端（図左端）までローラ７
によって移送される。センサ１４によって検知された基
板２は、反転したローラ７によって冷却室３の後端（図
右端）まで移送され、センサ１６で検知されることによ
り再び冷却室３の先端（図左端）までローラ７によって
移送される。この工程が繰り返されることによって基板
２の表面の温度分布が均一な状態で迅速な冷却が行われ
る。
基板２は、ウォーキングビーム６によって冷却室３内に
間欠的に搬入され、自動的に或いはセンサ１５で検知す
ることにより、冷却室３の先端（図左端）までローラ７
によって移送される。センサ１４によって検知された基
板２は、反転したローラ７によって冷却室３の後端（図
右端）まで移送され、センサ１６で検知されることによ
り再び冷却室３の先端（図左端）までローラ７によって
移送される。この工程が繰り返されることによって基板
２の表面の温度分布が均一な状態で迅速な冷却が行われ
る。
【００３１】 なお、冷却装置１では、ファン４はモー
タ８と連動するシャフト９により回転するが、発熱体で
あるモータ８は冷却室３と区分された空間１０に別個に
配置した。また、ローラ７は基板を傷つけないようにＰ
ＥＥＫ樹脂で、スリット部材５はＳＵＳで構成した。
タ８と連動するシャフト９により回転するが、発熱体で
あるモータ８は冷却室３と区分された空間１０に別個に
配置した。また、ローラ７は基板を傷つけないようにＰ
ＥＥＫ樹脂で、スリット部材５はＳＵＳで構成した。
【００３２】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の冷却装
置は、基板の材質に拘わらず、基板表面の温度をできる
限り均一な状態で、迅速に冷却することができ、基板の
歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能とな
る。特に、５０〜６０インチサイズのＰＤＰ等、基板表
面の温度均一性の要求が厳格な大型ガラス基板の冷却に
特に好適に用いることができる。
置は、基板の材質に拘わらず、基板表面の温度をできる
限り均一な状態で、迅速に冷却することができ、基板の
歪み，割れ，欠け等の欠陥を防止することが可能とな
る。特に、５０〜６０インチサイズのＰＤＰ等、基板表
面の温度均一性の要求が厳格な大型ガラス基板の冷却に
特に好適に用いることができる。
【図１】 本発明の冷却装置の側面断面を示す概略図で
ある。
ある。
【図２】 本発明の冷却装置の正面断面を示す概略図で
ある。
ある。
【図３】 ＰＤＰの製造工程を示す工程図である。
【符号の説明】 １…冷却装置、２…基板、３…冷却室、４…ファン、５
…スリット部材（整流部材）、６…ウォーキングビーム
（搬送手段）、７…ローラ（揺動手段）、８…モータ、
９…シャフト、１０…冷却室と区分された空間、１１…
ダクト、１２…上部空間、１３…ＨＥＰＡフィルタ、１
４，１５，１６…センサ。
…スリット部材（整流部材）、６…ウォーキングビーム
（搬送手段）、７…ローラ（揺動手段）、８…モータ、
９…シャフト、１０…冷却室と区分された空間、１１…
ダクト、１２…上部空間、１３…ＨＥＰＡフィルタ、１
４，１５，１６…センサ。
Claims (4)
- 【請求項１】 所定のパターンを印刷し、加熱乾燥した
大型ガラス基板を冷却するための冷却装置であって、 大型ガラス基板が投入される冷却室と、 当該冷却室に冷却用空気を送気するためのファンと、 当該ファンと前記冷却室との間に設けられた、前記冷却
用空気を整流するための整流部材と、 大型ガラス基板を冷却室内に搬入し、冷却室外へ搬出す
るための搬送手段と、 噴射される冷却用空気に対して大型ガラス基板を相対的
に揺動させるための揺動手段と、を備えたことを特徴と
する大型ガラス基板用冷却装置。 - 【請求項２】 噴射される冷却用空気に対して大型ガラ
ス基板を相対的に揺動させるための揺動手段を、センサ
で大型ガラス基板の位置を検知することにより制御する
請求項１に記載の大型ガラス基板用冷却装置。 - 【請求項３】 噴射される冷却用空気に対して大型ガラ
ス基板を相対的に揺動させるための揺動手段を、タイマ
により時間制御する請求項１に記載の大型ガラス基板用
冷却装置。 - 【請求項４】 所定のパターンを印刷し、加熱乾燥した
大型ガラス基板を冷却するための冷却装置であって、 大型ガラス基板が投入される冷却室と、 当該冷却室に冷却用空気を送気するためのファンと、 当該ファンと前記冷却室との間に設けられ、大型ガラス
基板に対して相対的に揺動しながら、前記冷却用空気を
冷却室内に噴射するための噴射手段と、 大型ガラス基板を冷却室内に搬入し、冷却室外へ搬出す
るための搬送手段と、を備えたことを特徴とする大型ガ
ラス基板用冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11182320A JP2001015024A (ja) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 大型ガラス基板用冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11182320A JP2001015024A (ja) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 大型ガラス基板用冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001015024A true JP2001015024A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=16116255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11182320A Pending JP2001015024A (ja) | 1999-06-28 | 1999-06-28 | 大型ガラス基板用冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001015024A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005008709A1 (ja) * | 2003-07-18 | 2005-01-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルのエージング方法およびエージング装置 |
| JP2005056831A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルのエージング方法およびエージング装置 |
| JP2005308922A (ja) * | 2004-04-20 | 2005-11-04 | Koyo Thermo System Kk | 表示用パネル冷却装置 |
| ITMO20120091A1 (it) * | 2012-04-05 | 2013-10-06 | Tek Mak S R L | Apparato di raffreddamento |
| WO2013150488A1 (en) * | 2012-04-05 | 2013-10-10 | Tek-Mak S.R.L. | Cooling apparatus |
| ITMO20130262A1 (it) * | 2013-09-25 | 2015-03-26 | Tek Mak S R L | Apparato di raffreddamento |
| CN107497657A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-12-22 | 崇州市四方新能源有限公司 | 便于将生物质颗粒燃料排出的冷却装置 |
-
1999
- 1999-06-28 JP JP11182320A patent/JP2001015024A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2005008709A1 (ja) * | 2003-07-18 | 2005-01-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルのエージング方法およびエージング装置 |
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| JP4496870B2 (ja) * | 2003-07-18 | 2010-07-07 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネルのエージング方法およびエージング装置 |
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| JP4639628B2 (ja) * | 2004-04-20 | 2011-02-23 | 光洋サーモシステム株式会社 | 表示用パネル冷却装置 |
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| CN107497657A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-12-22 | 崇州市四方新能源有限公司 | 便于将生物质颗粒燃料排出的冷却装置 |
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