JPS63148087A - 電子部品の熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子部品の熱処理装置に関するものである。

［従来技術］ 従来、例えば液晶表示パネル用の透明電極及び配向膜等
を基板に印刷した印刷基板のごとき板状電子部品を多量
に焼成・熱処理するには、該電子部品の多数枚を耐熱性
マガジンラックに収納して、バッチ式熱風循環焼成炉内
に定置するか、またはヂエーンコンベア式熱風循環焼成
式炉内を移送して、所定の温度により所定の時間加熱し
て所要の熱処理を行うのが一般であった。

［発明が解決しようとする問題点］ 上記のような熱風循環式の焼成炉は、加熱効率が良くな
いので焼成に比較的長時間を要することと、炉内の塵埃
が熱風により拡散循環するために印刷基板の表面に塵埃
が付着して品質を害する等の問題があった。また、多数
枚の印刷基板をマガジンラックに収納して熱風加熱を行
うのは、均一な温度分布を与え難く、特に大型基板を加
熱対象とした場合には、各基板相互間及び同一基板内均
熱特性が悪くなって、性能のバラツキが大きくなる欠点
があった。更に、コンベア式の連続焼成炉の場合は、炉
内搬送用のコンベアとコンベアガイドの摺動摩擦により
生ずる酸化スケールや鉄粉が、印刷基板の面に付着して
品質を害するという問題があった。

本発明の目的は、上記のような問題点を解決し得る電子
部品の熱処理装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 前記の問題点を解決するための本発明の構成を、実施例
に対応する第１図〜第３図を参照して以下に説明する。

本願の第１の発明の熱処理装置は、下端側に被処理物Ｐ
の送入口１３、上端側に送出口１４をそれぞれ有し内壁
面に赤外線放射ヒータ３を備えた組長の炉体１を有し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔において
径方向に突出する複数個の被処理物保持用爪部４ａを有
する固定回転棒４Ａが前記炉体１の内部の所定の距離を
隔てて対向する一方の側に複数本、他方の側に少なくと
も１本、それぞれ前記爪部４ａが互いに向き合って被処
理物Ｐを保持する位置と横を向く位置とを取り１ｑるよ
うに回転自在に立設され、 前記と同様の爪部５ａを有する複数本の移動回転棒５Ａ
が前記炉体１内の両方の側に分れて前記各固定回転棒４
Ａに平行に並んで、前記爪部５ａが互いに向き合って被
処理物Ｐを保持する位置と横を向（位置とを取り得るよ
うに回転自在で、且つ被処理物Ｐを前記固定回転棒４Ａ
との間に受け渡ししながら縦方向に移送するように上・
下方向に移動自在に立設され、 前記移動回転棒５Ａの上下動及び回転動作に関連させて
前記相対向する固定回転棒４Ａの前記爪部４ａが互いに
向き合う位置と横を向く位置とに前記固定回転棒４Ａを
間欠的に回転させる固定回転棒駆動機構６Ａが設けられ
、 前記固定回転棒４Ａの回転動作に関連させて前記相対向
する移動回転棒５Ａの前記爪部５ａが互いに向き合う位
置と横を向く位置とに前記移動回転棒５Ａを間欠的に回
転且つ所定の距離だけ上・下動させる移動回転棒駆動機
構７Ａが設けられてなるものである。

また、本願の第２の発明の熱処理装置は、炉体１の下端
側に被処理物の送入口１３、上端側に送出口１４をそれ
ぞれ設け内壁面に赤外線放射ヒータ３を設けて形成され
た第１の炉室１Ａと、炉体１の上端側に連通部１Ｅを介
して前記送出口１４に連通ずる被処理物Ｐの送入口１５
、下端側に送出口１６をそれぞれ設け内壁面に赤外線放
射ヒータ３を設（〕て形成された第２の炉室１Ｂとを有
し、外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔をお
いて径方向に突出する複数個の被処理物保持用爪部４ａ
を有する第１の固定回転棒４Ａが前記第１の炉室１Ａ内
の所定の距離を隔てて対向する一方の側に複数本、他方
の側に少なくとも１本、それぞれ前記爪部４ａが互いに
向き合って被処理物Ｐを保持する位置と横を向く位置と
を取り得るように回転自在に立設され、 前記と同様の爪部４ｂを有する第２の固定回転棒４Ｂが
前記第２の炉室１Ｂ内の所定の距離を隔てて対向する一
方の側に複数本、他方の側に少なくとも１木、それぞれ
前記爪部４ｂが互いに向き合って被処理物Ｐを保持する
位置と横を向く位置とを取り得るように回転自在に立設
され、前記と同様の爪部５ａを有する複数本の第１の移
動回転棒５Ａが前記第１の炉室１Ａ内の両方の側に分れ
て前記第１の各固定回転棒４Ａに平行に並んで、前記爪
部５ａが互いに向き合って被処理物Ｐを保持する位置と
横を向く位置とを取り得るように回転自在で、且つ被処
理物Ｐを前記第１の固定回転棒４△との間に受け渡しし
ながら縦方向に移送するように上・下方向に移動自在に
立設され、 前記と同様の爪部５ｂを有する複数本の第２の移動回転
棒５Ｂが前記第２の炉室１Ｂ内の両方の側に分れて前記
第２の各固定回転棒４Ｂに平行に並んで、前記爪部５ｂ
が互いに向き合って被処理物Ｐを保持する位置と横を向
く位置とを取り得るように回転自在で、目つ被処理物Ｐ
を前記第２の固定回転棒４Ｂとの間に受け渡ししながら
縦方向に移送するように上・下方向に移動自在に立設さ
れ、 前記第１の移動回転棒５Ａの上・下動及び回転動作に関
連させて前記第１の相対向する固定回転棒４Ａの前記爪
部４ａが互いに向き合う位置ど横を向く位置とに前記第
１の固定回転棒４Ａを間欠゛　的に回転させる第１の固
定回転棒駆動機構６Ａが設けられ、 前記第２の移動回転棒５Ｂの上・下動及び回転動作に関
連させて前記第２の相対向する固定回転棒４Ｂの前記爪
部４ｂが互いに向き合う位置と横を向く位置とに前記第
２の固定回転棒４Ｂを間欠的に回転させる第２の固定回
転棒駆動機構６Ｂが設（）られ、 前記第１の固定回転棒４Ａの回転動作に関連させて前記
第１の相対向する移動回転棒５Ａの前記爪部５ａが互い
に向き合う位置と横を向く位置とに前記第１の移動回転
棒５Ａを間欠的に回転且つ所定の距離だけ上・下動させ
る第１の移動回転棒駆動機構７Ａが設りられ、 前記第２の固定回転棒４Ｂの回転動作に関連させて前記
第２の相対向する移動回転棒５Ｂの前記爪部５ｂが互い
に向き合う位置と横を向く位置とに前記第２の移動回転
棒５Ｂを間欠的に回転且つ所定の距離だけ上・下動させ
る第２の移動回転棒駆動機構７Ｂが設けられ、 前記炉体１の側壁上部を横方向に出入自在に貫通１ノて
被処理物Ｐを前記第１の炉室１Ａ上部から前記連通部１
Ｆを通して前記第２の炉室１Ｂ上部に送る横送り部材１
０及び該横送り部材１０の駆動源からなる被処理物横送
り機構１２が設けられてなるものである。

［発明の作用］ 本願の第１の発明の熱処理装置においては、相対向する
固定回転棒４Ａの爪部４ａが互いに向き合って被処理物
を保持する位置と横を向く位置とを取り得るように、固
定回転棒４Ａを駆動機構６Ａにより間欠的に回転させ、
また、相対向する移動回転棒５Ａの爪部５ａが互いに向
き合って被処理物を保持する位置と横を向く位置とを取
り得るように、移動回転棒５Ａを駆動機構７Ａにより固
定回転棒４Ａの回転に関連させて間欠的に回転させると
ともに所定の距離だけ上下動させることにより、前記各
回転棒４Ａ、５Ａの相対向する爪部４ａ又は５ａ相互間
に、被処理物として印刷基板のごとき電子部品Ｐを受け
渡ししながら炉内を縦方向に移送して、赤外線放射ヒー
タ３により加熱効率よく熱処理することができる。

上記のように、コンベア等を用いることなく被処理物を
移送して熱処理するので、コンベア式の連続焼成炉のよ
うに、炉内搬送用コンベアとコンベアガイドの摺動摩擦
により生ずる金属粉等が被処理物に付着して品質を害す
るようなおそれがない。

また、本発明の熱処理装置は、電子部品Ｐを炉内で連続
的に移送して赤外線放射ヒータ３により加熱するので、
熱風循環式の加熱に比し、熱処理作業が良好な温度分布
と加熱効率をもって容易に行われる。

次に、本願の第２の発明の熱処理装置においては、第１
の炉室１Ａ内において、電子部品Ｐを前記と同様にして
下部から上部に移送して後、横送り機構１２を動作させ
て電子部品Ｐを横送り部材１０により第２の炉室１Ｂの
上部に移送し、次いで、炉室１Ｂ内を固定回転棒４Ｂと
移動回転棒５Ｂとによる前記と同様な移動作用により上
部から下部に移送して熱処理する。これにより、加熱経
路が長くなって所要の熱処理が十分に行われる。

また、炉室１Ａ、ＩＢの上部側は相互に連通していて外
気への流気口がないので、炉室に下部から上部へ流気す
る煙突効果を生ずることがなく、各炉ｆｆ１Ａ、ＩＢ内
の高さ方向の温度分布を容易に均一にできて、電子部品
Ｐを均一に加熱することができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面により詳細に説明する。第
１図は本発明の実施例の縦断正面図、第２図は同実施例
のＡ−Ａ線切断平面図をそれぞれ示したものである。こ
れらの図面において、１は断熱材２を内装して架台２０
の上に定植された縦長の炉体、１Ｄはこの炉体の内部空
間を、上、下の連通部１［を残して第１の炉室１Ａと第
２の炉室１Ｂに仕切るように炉内中央部に縦方向に設け
られた隔壁である８、この隔壁１Ｄにも断熱材が内装さ
れており、中間部は空胴になっている。３は炉体１の内
面側及び隔壁１Ｄの外面側に略一様に配設された赤外線
放射ヒータ、４Ａ及び４Ｂはそれぞれ炉室ＩＡ又は１Ｂ
内の両側に２木ずつ相対向するように所定の間隔で立設
されて、それぞれの両端部が炉体１の頂壁及び底壁に回
転自在に支持されている第１及び第２の固定回転棒であ
る。

５Δ及び５Ｂはそれぞれ炉室１Ａ又は１Ｂ内で相隣る２
木の固定回転棒４Ａ又は４Ｂを間にしてその両脇に、こ
れらの固定回転棒と所定の間隔をおいて平行に立設され
て、それぞれの両端部が炉体１の頂壁及び底壁に回転且
つ上下動自在に支持されている第１及び第２の移動回転
棒である。

第３図は上記の固定回転棒４Ａ　（４Ｂ）及び移動回転
棒５Ａ　（５Ｂ）の要部詳細を示したものである。同図
における４−ａ（４ｂ）及び５ａ　（５ｂ）は、それぞ
れ固定回転棒４Ａ　（４Ｂ）又は移動回転棒５Ａ　（５
Ｂ）の外周面の周方向の一方に上下に所定の等間隔をお
いて同一方向に多数突設された被処理物保持用の爪部で
ある。これら爪部は、被処理物搭載時の発塵を防ぐため
、石英又はセラミック材により覆っである。

第１図の６Ａ及び６Ｂはそれぞれ固定回転棒４Ａ又は４
Ｂを回転駆動する第１及び第２の固定口転棒駆動機構、
７Ａ及び７Ｂはそれぞれ移動回転棒５Ａ又は５Ｂを回転
駆動及び上下駆動する第１及び第２の移動回転棒駆動機
構である。これらの駆動機構にはそれぞれエアーシリン
ダを用いている。８は炉体１の頂部に配設されたエアー
シリンダ、９はこのシリンダの連設棒、１０は水平方向
に所定の間隔で並ぶ２本の平行棒材からなっていて、各
棒材が炉体１の側壁上部を横方向に出入自在に貫通する
横送り部材である。１１はこの横送り部材１０と連設棒
９とを所定の平行間隔を隔てて各々の一端同士を連結す
る連結部材である。上記のエアーシリンダ８乃至連結部
材１１により被処理物横送り機１１２が構成されている
。

Ｐは炉内を搬送される多数の被処理物としての電子部品
、１３は電子部品Ｐを炉室１Ａ内に送入する送入口、１
４は炉室１Δからの送出口、１５は連通部１Ｆにより送
出口１４に連通して電子部品Ｐを炉室１Ｂ内に送入する
送入口、１６は炉室１Ｂ外に送出する送出口である。１
７は送入口１３の前方の架台２ｏの上に配設された被処
理物搬入機構、１８は送出口１６の後方の架台２０の上
に配設された搬出機構である。

次に、上記の構成になる本実施例の熱処理装置の動作を
説明する。本実施例では電子部品Ｐを印刷基板とし、こ
の印刷基板Ｐの印刷面を上にして被処理物搬入機構１７
の上に載せ、該搬入機構１７によって印刷基板Ｐを送入
口１３を通して炉室１Ａ内にある移動回転棒５Ａの最下
段の爪部５ａの上方位置に送入する（第４図ステップ１
）。この場合、各移動回転棒５Ａの爪部５ａの先端が互
いに向き合うように駆動機構７Ａにより移動回転棒５Ａ
を回転させておく。次に、駆動機構７Ａにより移動回転
棒５Ａを上昇駆動して１ピツチ（１ピツチは爪部５ａの
上下間隔）上昇させる（第４図ステップ２）。これによ
り、印刷基板Ｐは最下段の爪部５ａにより持ち上げられ
て保持されることになる。次に、駆動機構６Ａにより固
定回転棒４Ａの爪部４ａが互いに横を向くように固定回
転棒４を回転させる（第４図ステップ３）。次に、移転
回転棒５Ａを１／３ピツチ上昇させる（ステツブ４）。

次に、固定回転棒４Ａを回転させて爪部４ａが向き合う
ようにする（ステップ５）。次に、移動回転棒５Ａを１
／３ピツチ下降させることにより、印刷基板Ｐは移動回
転棒５Ａの爪部５ａから固定回転棒４Ａの最下段の爪部
４ａに移し変えられる（ステップ６）。次に、移動回転
棒５Ａの爪部５ａが横を向くように、移動回転棒５Ａを
駆動する（ステップ７）。次いで、移動回転棒５Ａを１
ピツチ下降させる（ステップ８）。そして、爪部５ａが
向き合うように、移動回転棒５Ａを駆動する（ステップ
９）。

以上の動作を１サイクルの移送動作として、再び前述の
ステップ１の動作を開始する。かかる移送動作の繰り返
しにより印刷基板Ｐは炉室１Ａ内を下部より次第に上部
に移送されて、移動回転棒５Ａの最上段の爪部５ａ上に
至る。この移送過程で、印刷基板Ｐは赤外線放射ヒータ
３により連続的に熱効率良く加熱される。

上記のようにして、印刷基板Ｐが最上段の爪部５ａ上に
達すると、被処理物横送り機構１２のシリンダ８が作動
して、横送り部材１０を炉室１Ａ内に所定の長さ進入さ
せる。この後、移動回転棒５Ａが１／３ピツチ下降して
、印刷基板Ｐを横送り部材１０の上に移し変える。次い
で、シリンダ８の駆動により、横送り部材１０が炉内に
奥深く進入し、印刷基板Ｐを載せた先端寄りの部分が炉
室１Ｂの上部に位置する。

この後、炉室１Ｂ内の移動回転棒５Ｂが１ピツチ上昇し
て基板Ｐが最上段の爪部５ｂ上に載せ変えられ、横送り
部材１０はシリンダ８の駆動により原位置に復帰する。

上記のようにして、炉室１Ｂの上部に移送された印刷基
板Ｐは、前記と同様な移動回転棒５Ｂと固定回転棒４Ｂ
の協同動作により、炉室１Ｂ内を上部から下部に向って
漸次移送されて、移動回転棒５Ｂの最下段の爪部５ｂ上
に至る。上記の炉室１Ｂ内での移送経過で、印刷基板Ｐ
は赤外線放射ヒータ３により炉室１Ａ内での加熱に引続
き連続的に加熱される。

炉室１Ｂ内における移動回転棒５Ｂの最下段の爪部５ｂ
に達した基板Ｐは、送出口１６より炉室１Ｂ内に出入す
る搬出機構１８に載せ変えられ、該搬出機構１８により
炉外に搬出されて所要の熱処理が完了する。

上記の実施例の説明では、電子部品Ｐが印刷基板で相対
向する爪部相互間に保持し得る一定寸法を持つ場合につ
き述べたが、電子部品Ｐの寸法が不特定の場合は、一定
寸法のトレイの上に該電子部品Ｐを載せて、該トレイを
前述と同じ方法により炉内を移送して所要の熱処理を行
えばよい。

なお、上記の実施例は、上部側で相互に連通ずる二つの
炉室を並設した場合を述べたが、炉室を単一にして被処
理物横送り機構を省略してもよい。

［発明の効果］ 上記のように、本発明に係る電子部品の熱処理装置によ
れば、固定回転棒及び移動回転棒の共同動作により、各
回転棒の相対向する爪部相互間に被処理物を受け渡しし
ながら炉内を縦方向に移送して、赤外線放射ヒータによ
り加熱するようにしたので、ベルトコンベア式の連続焼
成炉のように、炉内搬送用コンベアとコンベアガイドの
摺動摩擦により生ずる酸化スケールや金属粉等が被処理
物に付着して品質を害するようなおそれが全くない。

また、熱風循環式の焼成炉のように、炉内の塵埃が熱風
により拡散循環して被処理物の表面に付着して品質を害
するようなおそれもなく、不純物の発生が極めて少い清
浄度の十分高い炉内環境で良好な熱処理を行うことがで
きる。

更に、本発明の熱処理装置によれば、被処理物を炉内で
連続的に移送して赤外線散開ヒータにより加熱するので
、熱処理作業を良好な温度分布と加熱効率をもって極め
て容易に行うことができる。

また、本発明の熱処理装置は、被処理物を炉内縦方向に
移送して熱処理するので、据付床面積を節減することが
できる。

更に、本願の第２の発明によれば、下端側に被処理物の
送入口、上端側に送出口をそれぞれ有する第１の炉室と
、上端側に前記送出口に連通ずる被処理物の送入口、下
端側に送出口をそれぞれ有する第２の炉室とを並設して
、前記のような移送手段により被処理物を前記第１の炉
室内の下部より上部に移送してのち、該被処理物を横送
り機構により前記第２の炉室の上部に移送し、次いで第
２の炉室内を−Ｌ部より下部に移送して熱処理するよう
にしたので、加熱紅路を長くして所要の熱処理を十分に
行うことができる。また、上記の両炉室の上部側は相互
に連通していて外気への流気口がないので、炉室に下部
から上部へ流気する煙突効果を生ずることがなく、各炉
室内の高さ方向の温度分布を容易に均一にできて、均一
な熱処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す縦断正面図、第２図は第
１図の実施例のＡ−Ａ線切断平面図、第３図は同実施例
にお（づる固定回転棒及び移動回転棒の動作態様を示す
要部斜視図、第４図は同実施例における固定回転棒及び
移動回転棒の動作態様の概要を動作段階順に示す説明図
である。 １・・・炉体、ＩＡ、１Ｂ・・・炉室、１Ｅ・・・連通
部、３・・・赤外線放射ヒータ、４Ａ、４Ｂ・・・固定
回転棒、５Ａ、５Ｂ・・・移動回転棒、４ａ、４ｂ、５
ａ、５ｂ・・・被処理物保持用爪部、６Ａ、６Ｂ・・・
固定回転棒駆動機構、７Ａ、７Ｂ・・・移動回転棒駆動
機構、１０・・・横送り部材、１２・・・被処理物横送
り機構、１３．１５・・・送入口、１４．１６・・・送
出口、Ｐ・・・被処理物としての電子部品。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）下端側に被処理物の送入口、上端側に送出口をそ
   れぞれ有し内壁面に赤外線放射ヒータを備えた縦長の炉
   体を有し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔において
   径方向に突出する複数個の被処理物保持用爪部を有する
   固定回転棒が前記炉体の内部の所定の距離を隔てて対向
   する一方の側に複数本、他方の側に少なくとも１本、そ
   れぞれ前記爪部が互いに向き合って被処理物を保持する
   位置と横を向く位置とを取り得るように回転自在に立設
   され、前記と同様の爪部を有する複数本の移動回転棒が
   前記炉体内の両方の側に分れて前記各固定回転棒に平行
   に並んで、前記爪部が互いに向き合つて被処理物を保持
   する位置と横を向く位置とを取り得るように回転自在で
   、且つ被処理物を前記固定回転棒との間に受け渡ししな
   がら縦方向に移送するように上・下方向に移動自在に立
   設され、前記移動回転棒の上・下動及び回転動作に関連
   させて前記相対向する固定回転棒の前記爪部が互いに向
   き合う位置と横を向く位置とに前記固定回転棒を間欠的
   に回転させる固定回転棒駆動機構が設けられ、 前記固定回転棒の回転動作に関連させて前記相対向する
   移動回転棒の前記爪部が互いに向き合う位置と横を向く
   位置とに前記移動回転棒を間欠的に回転且つ所定の距離
   だけ上・下動させる移動回転棒駆動機構が設けられてな
   る電子部品の熱処理装置。
2. （２）炉体の下端側に被処理物の送入口、上端側に送出
   口をそれぞれ設け内壁面に赤外線放射ヒータを設けて形
   成された第１の炉室と、炉体の上端側に連通部を介して
   前記送出口に連通する被処理物の送入口、下端側に送出
   口をそれぞれ設け内壁面に赤外線放射ヒータを設けて形
   成された第２の炉室とを有し、 外周面の周方向の一方に長さ方向に所定の間隔をおいて
   径方向に突出する複数個の被処理物保持用爪部を有する
   第１の固定回転棒が前記第１の炉室内の所定の距離を隔
   てて対向する一方の側に複数本、他方の側に少なくとも
   １本、それぞれ前記爪部が互いに向き合って被処理物を
   保持する位置と横を向く位置とを取り得るように回転自
   在に立設され、 前記と同様の爪部を有する第２の固定回転棒が前記第２
   の炉室内の所定の距離を隔てて対向する一方の側に複数
   本、他方の側に少なくとも１本、それぞれ前記爪部が互
   いに向き合って被処理物を保持する位置と横を向く位置
   とを取り得るように回転自在に立設され、 前記と同様の爪部を有する複数本の第１の移動回転棒が
   前記第１の炉室内の両方の側に分れて前記第１の各固定
   回転棒に平行に並んで、前記爪部が互いに向き合って被
   処理物を保持する位置と横を向く位置とを取り得るよう
   に回転自在で、且つ被処理物を前記第１の固定回転棒と
   の間に受け渡ししながら縦方向に移送するように上・下
   方向に移動自在に立設され、 前記と同様の爪部を有する複数本の第２の移動回転棒が
   前記第２の炉室内の両方の側に分れて前記第２の各固定
   回転棒に平行に並んで、前記爪部が互いに向き合って被
   処理物を保持する位置と横を向く位置とを取り得るよう
   に回転自在で、且つ被処理物を前記第２の固定回転棒と
   の間に受け渡ししながら縦方向に移送するように上・下
   方向に移動自在に立設され、 前記第１の移動回転棒の上・下動及び回転動作に関連さ
   せて前記第１の相対向する固定回転棒の前記爪部が互い
   に向き合う位置と横を向く位置とに前記第１の固定回転
   棒を間欠的に回転させる第１の固定回転棒駆動機構が設
   けられ、 前記第２の移動回転棒の上・下動及び回転動作に関連さ
   せて前記第２の相対向する固定回転棒の前記爪部が互い
   に向き合う位置と横を向く位置とに前記第２の固定回転
   棒を間欠的に回転させる第２の固定回転棒駆動機構が設
   けられ、 前記第１の固定回転棒の回転動作に関連させて前記第１
   の相対向する移動回転棒の前記爪部が互いに向き合う位
   置と横を向く位置とに前記第１の移動回転棒を間欠的に
   回転且つ所定の距離だけ上・下動させる第１の移動回転
   棒駆動機構が設けられ、 前記第２の固定回転棒の回転動作に関連させて前記第２
   の相対向する移動回転棒の前記爪部が互いに向き合う位
   置と横を向く位置とに前記第２の移動回転棒を間欠的に
   回転且つ所定の距離だけ上・下動させる第２の移動回転
   棒駆動機構が設けられ、 前記炉体の側壁上部を横方向に出入自在に貫通して被処
   理物を前記第１の炉室上部から前記連通部を通して前記
   第２の炉室上部に送る横送り部材及び該横送り部材の駆
   動源からなる被処理物横送り機構が設けられてなる電子
   部品の熱処理装置。
3. （３）前記第１及び第２の炉室は、単一の炉体の内部に
   縦方向に設けた隔壁の両側に形成され該隔壁の上端側に
   前記連通部が形成された特許請求の範囲第２項記載の電
   子部品の熱処理装置。
4. （４）前記第１及び第２の炉室は、それぞれ別個の炉体
   により形成され該各炉体の上端側に前記連通部が形成さ
   れた特許請求の範囲第２項記載の電子部品の熱処理装置
   。