JPH0410555Y2

JPH0410555Y2 -

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Publication number: JPH0410555Y2
Application number: JP3679988U
Authority: JP
Priority date: 1988-03-18
Filing date: 1988-03-18
Publication date: 1992-03-16
Also published as: JPH01140495U

Description

【考案の詳細な説明】イ産業上の利用分野本考案は、連続処理装置に関し、例えば、熱処
理その他の処理を連続的に施す連続処理装置に関
する。

ロ従来技術半導体部品や、セラミツクス基板にスクリーン
印刷によつて所定の回路パターンを形成し、焼成
してなる厚膜集積回路、或いは配向膜や偏向膜が
形成された液晶表示装置用ガラス基板等の電子部
品の熱処理にあつては、塵埃の付着によつて電子
部品の品質が甚だしく劣化するので、清浄な雰囲
気中で熱処理がなされる必要がある。

上記電子部品の熱処理を塵埃のない清浄な雰囲
気中で連続的に行う熱処理炉として、炉内に摺動
する部分がなく、従つて塵埃の発生しない所謂ウ
オーキングビーム式搬送機構を用いた連続熱処理
炉の採用が考えられる。

このウオーキングビーム搬送機構は、長形の炉
本体の長さ方向の一端側入口から他端側出口に亘
つて炉本体内を貫通する複数本の位置固定された
平行棒材からなる固定ビームと、この固定ビーム
に平行して上記と同様に炉本体内を貫通する複数
本の平行棒材からなりかつ前記固定ビームに対す
る関係位置が上下及び長さ方向の前後に変位可能
に設けられた移動ビームとを備えている。そし
て、駆動装置によつて前記移動ビームを駆動し
て、この移動ビームを前記固定ビームに対して上
昇、前進、下降、後退の順に反復して周期的に変
位運動させることにより、炉本体内で被加熱物を
前記両ビームに交互に載置させるようにしながら
炉本体の長さ方向に漸次搬送するように構成され
ている。このような搬送機構を備えた連続熱処理
炉は、通常、鋼片や鋼管等の熱処理に使用されて
いる。

前述のような電子部品の熱処理にあつては、天
井及び炉床に配設された遠赤外線ヒータを熱源に
用いるのが便利である。この場合、固定ビーム、
移動ビームが接触する被加熱物の箇所は、これら
ビームの陰になつて遠赤外線が充分には照射され
ず、加熱され難く、また、熱処理の終了近くの熱
処理炉の冷却ゾーンでは、各ビームの接触する箇
所は冷却速度が大きくなる。このように、被加熱
物の各ビームとの接触箇所は適切な熱処理が施さ
れず、従つてこの箇所は製品化できない部分とな
る。このため、電子部品の熱処理にあつては、被
加熱物をその側縁の僅かな領域で支持するように
して歩留の低下を防ぐようにすることが要請され
る。

上記の要請に応える搬送装置として、第１２図
に側面図で、第１３図に正面図で概略図示するよ
うな装置が考えられる。即ち、炉床上に棒材４６
ａを搬送方向に平行に２本固定し、その上方に移
動ビーム４９ａを配置し、棒材４６ａ上に内側に
折曲するＬ字形固定載置部４６ｂを等間隔に多数
立設し、移動ビーム４９ａに同様のＬ字形移動載
置部４９ｂを等間隔に多数下向きに固定し、棒材
４６ａと固定載置部４６ｂとで固定支持部４６を
構成し、移動ビーム４９ａと移動載置部４９ｂと
で移動支持部４９を構成するようにする。そし
て、移動ビーム４９ａの上昇Ｕ、前進Ｆ、下降
Ｄ、後退Ｒの動作の繰返しによつて、被加熱物Ｗ
を固定載置部４６ｂ、移動載置部４９ｂで交互に
載置しながら搬送する。第１２図ａは移動ビーム
４９ａが下降して被加熱物Ｗが固定載置部４６ｂ
に載置された状態を示し、同図ｂは移動ビーム４
９ａが上昇して被加熱物Ｗが移動載置部４９ｂに
載置された状態を示している。

このような搬送装置では、移動ビーム４９ａが
矢印Ｒのように後退するとき、移動載置部４９ｂ
が固定載置部４６ｂに接当しないようにせねばな
らず、このため、移動ビーム４９ａの前進、後退
の移動距離は、第１３図中l₁で示す距離以内に制
限されることとなり、移動ビーム４９ａの前進、
後退の距離を大きくとつて搬送速度を上げ、処理
能力を向上させることができない。

ハ考案の目的本考案は、上記の事情に鑑みてなされたもので
あつて、第一及び第二の載置部材への被処理物の
載置部分を狭い領域にしてその歩留を向上し、か
つ、被処理物の搬送速度を所望の速度にして処理
能力の向上を図ることができる連続処理装置を提
供することを目的とししている。

ニ考案の構成本考案の第一の考案は、処理装置本体と；第一
の載置部材及び移動可能な第二の載置部材からな
る被処理物載置手段と；前記第二の載置部材を前
記第一の載置部材に対し反復して変位運動させ、
これにれよりこれら第一及び第二の載置部材間で
被処理物を交互に載置しながらこの被処理物を搬
送する駆動手段とを具備する連続処理装置に於い
て、前記被処理物の搬送方向とは逆方向へ前記第
二の載置部材が復動する際に、この第二の載置部
材が、前記搬送時に比べて外側位置にて移動する
ように構成されていることを特徴とする連続処理
装置に係る。

本考案の第二の考案は、処理装置本体と；第一
の載置部材及び移動可能な第二の載置部材からな
る被処理物載置手段と；前記第二の載置部材を前
記第一の載置部材に対し反復して変位運動させ、
これによりこれら第一及び第二の載置部材間で被
処理物を交互に載置しながらこの被処理物を搬送
する駆動手段とを具備する連続処理装置に於い
て、前記第一の載置部材と前記第二の載置部材の
移動経路とが上下に重なり合つて配されていて、
前記第二の載置部材が前記被処理物の搬送方向に
沿つて往動及び復動するときに、この往復動の距
離に関係なく前記第一の載置部材と前記第二の載
置部材とが接当しないように構成されていること
を特徴とする連続処理装置に係る。

ホ実施例以下、本考案の実施例を説明する。

第５図及び第６図はウオーキングビーム式搬送
機構を備えた連続熱処理炉を示し、第５図は搬送
方向に沿う断面図、第６図は第５図の−線矢
視断面図である。

炉壁、天井、炉床は断熱材３からなつていて、
これらは鋼板製外殻５に覆われ、天井と炉床との
内側には平板状の赤外線ヒータ２が配置され、炉
内周面はヒータ２をも含めてセラミツクス又は石
英からなる被覆層４によつて被覆されている。こ
れらによつて筒状の炉本体１が構成される。ま
た、炉本体１の一端には開口１ａによつて装入口
が形成され、他端には開口１ｂによつて排出口が
形成されている。

炉本体１内の両側縁側には、炉床上にステンレ
ス鋼SUS304製の角棒６ａが固定配置され、角棒
６ａから上方内側に向けてＬ字形を呈する
SUS304製の固定載置部６ｂが等間隔に多数固定
されていて、角棒６ａと固定載置部６ｂとで固定
支持部６が構成される。

炉本体１内には断面寸法80mm×40mmの中空のス
テンレス鋼SUS304製の２本の移動ビーム９ａが
装入口１ａ、排出口１ｂから炉本体１外へ突出す
るように挿入されていて、その両端は炉本体１外
で上下動駆動装置２４Ａ，２４Ａに固定され、上
下動駆動装置２４Ａ，２４Ａは、前進、後退駆動
装置２４Ｂ，２４Ｂに固定されて、移動ビーム９
ａの上下動及び前進後退が可能になつている。上
下動駆動装置２４Ａ及び前進、後退駆動装置２４
Ｂについては、後に第１図によつて詳述する。移
動ビーム９ａには、炉本体１内で下方内側に向け
てＬ字形を呈するSUS304製の移動載置部９ｂが
等間隔に多数固定されていて、移動ビーム９ａと
移動載置部９ｂとで移動支持部９が構成される。
移動載置部９ｂは、固定載置部６ｂと同数にして
あり、かつ、板状の被処理物Ｗの載置位置がその
側縁部になるように、固定載置部６ｂ上に移動載
置部９ｂの移動経路が位置するようにしてある。

第７図は、移動支持部材９の左右３個ずつの移
動載置部９ｂ上に被処理物Ｗが載置、支持されて
いる状態を図解的に示す炉本体内部の概略斜視図
である。

被処理物の搬送は次のようにして遂行される。

上下動駆動装置２４Ａ（第５図参照）を駆動し
て第８図ａに部分正面図で、同図ｂに側面図で示
すように、移動ビーム９ａが実線位置から一点鎖
線で示す位置に矢印Ｕの方向に上昇して移動載置
部９ｂが固定載置部６ｂの下側からこれよりも上
方に移動し、固定載置部６ｂに載置されていた被
処理物Ｗは一点鎖線で示すように移動載置部９ｂ
に移換えられてこれに載置される。次に、前進、
後退駆動装置２４Ｂ（第５図参照）が駆動して移
動ビーム９ａが矢印Ｆの方向に緩やかに前進し、
被処理物Ｗは一点鎖線で示す位置から二点鎖線で
示す位置にl₂寸法だけ前進する。次に、上下動駆
動装置２４Ａが駆動して移動ビーム９ａが矢印Ｄ
の方向に下降し、移動装置部９ａが固定載置部６
ｂよりも下方に移動して被処理物Ｗは三点鎖線で
示すように固定載置部６ｂに移換えられてこれに
載置される。次に、前進、後退駆動装置２４Ｂが
駆動し、移動ビーム９ａは矢印Ｒの方向に急速に
後退して元の位置に復する。この後退時に、移動
支持部９は、第８図ｂに三点鎖線で示すように左
右外側に向つて位置移動し（開き）、後退に際し
て移動載置部９が固定載置部６ｂに接当又は接触
することのないようにする。この後退が終了する
と、移動支持部９は図中実線で示す元の位置に復
帰する。

上記のようにして、移動ビーム９ａは角棒６ａ
に対して第９図に示すように移動変位するのを１
サイクルとして繰り返し駆動させる。この駆動で
前進を緩速、後退を急速にするのは、時間的な加
熱特性曲線が段階状にならないよう、緩やかに温
度変化させるためである。このように前進と後退
とで移動速度を変えるには、例えば、回転数を容
易に変化させられる直流モータその他の適宜のモ
ータが、駆動用モータ１８（第５図参照）として
便利に使用できる。また、通常の交流誘導モータ
を使用し、自動車の変速に於けると同様にシフト
フオークによるギアチエンジで駆動軸１９（第５
図参照）の回転数を変えるようにしても良い。

前述した移動ビーム９ａの周期的な変位運動に
より、被処理物Ｗは炉本体１内を前記の距離l₂ず
つ徐々に搬送方向に搬送されて、所定の温度領域
を所定の時間で通過し、所要の熱処理が施され
る。

前述したように、移動支持部９は、後退時に第
８図ｂのように開くことにより、移動載置部９ｂ
が固定載置部６ｂから常に離れていてこれらが接
当または接触することがなく、移動支持部９の前
進、後退の距離l₂は任意の寸法とすることがで
き、l₂を所望の大きな寸法とすることによつて被
処理物Ｗの搬送速度を速めて処理能力の向上を図
ることができる。

以下、第１図〜第４図によつて移動支持部９の
駆動を詳述する。第１図は駆動装置の正面図、第
２図は第１図の−線矢視側面図、第３図は駆
動装置の平面図、第４図は前述した移動支持部９
の開閉運動を説明するための概略側面図である。

固定基台２２上には、モータ１８が固定され、
モータ１８の軸には雄ねじを設けた駆動軸１９が
結合していて、雌ねじを設け、固定基台２２上に
立設された２個の駆動軸支持板２０，２０に駆動
軸１９が螺合している。駆動軸支持板２０，２０
の間には、雌ねじを設けた可動基台２１が駆動軸
１９に螺合していて、モータ１８の駆動による駆
動軸１９の回動によつて可動基台２１がガイド２
３に案内されて往復動するようにしてある。上記
各部分によつて前進、後退駆動装置２４Ｂが構成
される。

可動基台２１上にはシリンダ２５が立設され、
シリンダ２５内にプランジヤ２７が嵌入し、プラ
ンジヤ２７は、シリンダ２５内に配設されたカム
２６上に載置されて図示しない駆動手段によるカ
ム２６の回動によつて上下動する。プランジヤ２
７の上端面には台板２８が固定されている。上記
各部分によつて上下動駆動装置２４Ａが構成され
る。

台板２８上では移動ビーム９ａの端部が抑え板
２９によつて台板２８に抑え付けられ、移動ビー
ム９ａが上下動駆動装置２４Ａに固定される。移
動ビーム９ａの上下動駆動装置２４Ａへの固定
は、シリンダ２５の上端から突出するスピンドル
２７の上端近くに雌ねじを設け、移動ビーム９ａ
の端部をボルト２８及びワツシヤ２９を使用して
固定する。

可動基台２１の下部は断面半円形としてあり、
ガイド２３の断面円弧状の溝２３ｂに嵌入し、溝
２３ｂを案内にして可動基台２１が往復動可能に
なつていると共に、駆動軸１９を支点としてシリ
ンダ２５が傾動可能になつている。ガイド２３に
は蟻溝２３ａが設けてあつて、エアシリンダ３０
を支持するエアシリンダ支持台３３に設けられた
蟻３３ａが蟻溝２３ａに嵌入し、エアシリンダ支
持台３３に固定され、かつシリンダ２５を両側か
ら挟む対の押え板３４によつてエアシリンダ３０
は、エアシリンダ支持台３３と共にシリンダ２５
の往復動によつてこれと一緒に往復動するように
してある。エアシリンダ３０のピストンロツド３
０ａにはコネクテイングロツド３１がピン３２Ａ
によつて揺動可能に取り付けられ、コネクテイン
グロツド３１はシリンダ２５にピン３２Ｂによつ
て揺動可能に取り付けられている。エアシリンダ
３０を駆動してピストンロツド３０ａを突出させ
ると、第２図に三点鎖線で示すように、シリンダ
２５は所定角度傾く。ピストンロツド３０ａを元
の位置に復帰させるとシリンダ２５は実線位置に
復する。上記各部分によつて傾動駆動装置２４Ｃ
が構成される。上記の傾動によつて第４図に示す
ように、移動ビーム９ａ及び移動載置部９ｂが上
下動駆動装置２４Ａと共に三点鎖線で示すように
傾き、移動支持部９の復動距離を大きくしても移
動載置部９ｂが固定載置部６ｂに接当することが
なくなる。

次に、前記の上下動駆動装置２４Ａ、前進、後
退駆動装置２４Ｂ及び傾動駆動装置２４Ｃによつ
て被処理物を炉本体内で搬送し、熱処理を施す方
法を説明する。

まず、第５図のヒータ２に給電して炉本体１内
を所定の温度分布に加熱する。次に、第１図の駆
動軸１９を回動させて可動基台２１を後退させ、
かつ移動ビーム９ａを下位に位置せしめておく。
この状態で第５図に示す移動支持部材９の装入口
１ａから炉本体１外に出ている移動載置部９ｂ上
に被処理物Ｗを図示しない移換え装置によつて位
置せしめる。次に、第１図のカム２６を回動させ
てスピンドル２７を上昇させる（前記Ｕの運動）
と、移動載置部９ｂが上昇して被処理物Ｗを載
置、支持する。以降、移動ビーム９ａの前述した
Ｆ−Ｄ−Ｒ−Ｕ−Ｆ−Ｄ−Ｒ……の運動を繰り返
すと共に、新しい被処理物が前記のようにして
次々に第二の支持部９ｂに載置され、被処理物Ｗ
は炉本体１内を通過し、所定の熱処理が施され
る。移動ビーム９ａの下降Ｄが終了して被処理物
Ｗが固定載置部６ｂに載置されると、第４図で説
明したように、移動支持部９が左右に開き、移動
ビーム９ａの後退Ｒ時にはこの後退の距離を大き
くとつても移動載置部９ｂが固定載置部６ｂに接
当しないようになる。また、移動ビーム９ａの後
退Ｒが終了すると、移動支持部９は元の位置に復
して次の上昇Ｕに備えられる。熱処理が終了して
排出口１ｂから炉本体１外へ排出された被処理物
Ｗ（仮想線で示す。）は、前述した逆の手順に従つ
て図示しない移換え装置によつて次々に移動載置
部９ｂから取り外され、次の工程に搬送される。

次に、実際の操業結果について説明する。

この例では、炉本体１の内部の長さを5m、炉
本体内の最高加熱温度を550℃、固定載置部６ｂ
及び移動載置部９ｂのピツチを夫々80mm、移動ビ
ーム９ａの前進、後退の距離を420mmとしてある。
このような条件で、長さ400mm、幅300mmの板状被
処理物（この例では液晶表示装置用ガラス基板）
を炉本体内に20mm間隔で装入するようにして14
mm／secの平衡搬送速度で搬送し、連続熱処理を
行つたところ、１時間当りの被処理物Ｗの処理数
は240であつた。この処理能力は第１２図、第１
３図の装置による同じ操業条件（移動ビーム９ａ
の前進、後退の距離のみ異なる。）での操業に較
べて、約２倍である。

この例では、第４図及び第８図ｂに示すよう
に、移動支持部９は傾斜して左右に移動するよう
にしているが、移動支持部９を垂直にした儘で左
右に開くように移動させるようにしても良い。ま
た、移動支持部９のこれら移動は、エアシリンダ
の駆動によるほか、カム機構、リンク機構等、他
の適宜の機構によつて良い。

第１０図及び第１１図は、移動支持部の動作を
上昇、前進、下降、後退の４動作のみとした例を
示す。

第１０図に炉本体１の断面図で示すように、炉
床上に固定された角棒３６ａ上にＬ字形の固定載
置部３６ｂが先端側の折曲部を外側に向けて等間
隔に多数立設し、これらによつて固定支持部３６
が構成される。移動ビーム３９ａは角棒３６ａよ
りも外側に位置していて、移動ビーム３９ａに等
間隔に多数下向きに固定されたＬ字形の移動載置
部３９ｂは、先端側の折曲部が内側に向いてい
て、移動載置部３９ｂの先端側折曲部の往復動経
路は固定載置部３６ｂの先端側折曲部と上下方向
に重なり合うようにしてある。移動ビーム３９ａ
と移動載置部３９ｂとで移動支持部３９が構成さ
れる。図中実線で示す下降位置で、移動載置部３
９ｂの先端は固定載置部３６ｂから僅かに離れて
いて、後退時に両者が接触しないようにしてあ
る。移動支持部３９が上昇して被処理物Ｗが移動
載置部３９ｂに載置された状態は、図中一点鎖線
で示してある。

第１１図は炉本体内の固定支持部３６と移動支
持部３９とを示す第７図と同様の概略斜視図であ
る。固定支持部３６、移動支持部３９の材料は、
前述の例に於けると同様に、ステンレス鋼
SUS304としている。

この例に於ける上記以外の装置全体の構造は、
傾動駆動装置２４Ｃが不要となるほかは前述した
第１図〜第３図及び第５図〜第９図の例に於ける
と異なるところはない。

第１０図、第１１図の例では、前述の第１図〜
第９図の例に較べて処理能力に変わりない。ま
た、被処理物Ｗの搬送中に搬送方向と直交する方
向の僅かなずれがあると、固定載置部３６ｂ、移
動載置部３９ｂに接触することによつて前述した
ように熱処理後に使用できなくなる領域が僅か乍
ら広くなり、従つて歩留が僅か低下するのである
が、傾動駆動装置（第２図の２４Ｃ）のような移
動支持部３９を左右に開くための駆動装置が不要
になり、設備費が軽減される。

上記いずれの例にあつても、移動支持部の往復
動距離を大きくとつて搬送速度を上げ、処理能力
を向上させるほか、熱処理に長時間を要する場合
は上記往復動の距離を小さくとつて搬送速度を遅
くし、所定時間の熱処理を施すようにすることが
できる。即ち、熱処理の仕様に対応して被処理物
の搬送速度を所望の速度にするよう、搬送速度を
可変にすることが可能である。

また、炉本体の長さが長く、又は加熱温度が高
くて移動ビームが炉本体内で撓むような場合は、
本出願人が特願昭63−25019（特開平１−200188号
公報）号で提示したように、移動ビームの炉本体
外での支持を、移動ビームに作用する曲げモーメ
ントが小さくなるように搬送方向に対して所定の
角度を以て支持するようにすることができる。ま
た、本出願人が実願昭62−58917（実公平３−8952
号公報）号で提示したように、移動ビームを炉本
体内で支持する支柱を炉本体を貫通して設け、こ
の支柱を上下動のみさせ、この支柱の上端で移動
ビームを磁石の反撥力を利用して非接触で支持す
る構造とすることができる。

本考案に基づく連続処理装置は、前述した液晶
表示装置用ガラス基板の熱処理以外に、厚膜集積
回路、各種プリンタ用の感熱記録ヘツド、そのほ
か各種セラミツクス基板等の電子部品、更に、鋼
材、鋳造品、鍛造品等の材料や素形材の熱処理に
も適用できる。また、これらの処理は、加熱処理
のほか、冷却処理、雰囲気処理、シヨツトピーニ
ング等の機械的表面処理等種々の処理を連続的に
施す装置として本考案が適用可能である。これら
の場合、角棒及び固定載置部によつて構成される
固定支持部や、移動ビーム及び移動載置部によつ
て構成される移動支持部は、適宜の形状の載置部
材であつてよく、それらの材料も被処理物、処理
の種類に応じて適宜の材料を使用することができ
る。

ヘ考案の効果第一の考案では、上述の如く被処理物載置手段
を構成する移動可能な第二の載置部材が被処理物
の搬送方向とは逆方向に復動する際に、搬送時に
比べて外側位置に移動するようにしている。ま
た、第二の考案では、第二の載置部材が搬送方向
に沿つて往復動するときに、この往復動の距離と
関係なく第一の載置部材と第二の載置部材とが接
当しないようにしている。従つて、第一の考案、
第二の考案共に、第一、第二の載置部材が接当す
ることがないので、第二の載置部材の往復動の距
離を所望の距離に設定でき、この距離を大きくし
て搬送速度を大きくし、処理能力の増大を図るこ
とができ、また、上記距離を短くして搬送速度を
小さくし、長時間の処理を施すこともできる。そ
の結果、処理の仕様に対応した処理時間が設定で
き、自由度が高く、産業上の利用価値は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１１図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図は上下動駆動装置、前進、後退
駆動装置及び傾動駆動装置の一部破砕正面図、第
２図は第１図の−線矢視断面図、第３図は上
下動駆動装置、前進、後退駆動装置及び傾動駆動
装置の平面図、第４図は傾動駆動装置によつて移
動支持部が左右に開く状態を図解的に示す要部概
略側面図、第５図は連続熱処理炉の搬送方向に沿
う断面図、第６図は第５図の−線矢視断面
図、第７図は炉本体内の固定支持部及び移動支持
部を示す斜視図、第８図は移動支持部及び被処理
物の運動を説明するための概略図で、同図ａは概
略部分正面図、同図ｂは概略側面図、第９図は移
動ビームの変位運動要領を説明するための説明
図、第１０図は他の例による炉本体及びその内部
の断面図、第１１図は他の例による炉本体内の固
定支持部及び移動支持部を示す斜視図である。第
１２図及び第１３図は従来例を示すものであつ
て、第１２図は移動支持部の上下動を示し、同図
ａは移動支持部下降時の要部側面図、同図ｂは移
動支持部上昇時の要部側面図、第１３図は移動ビ
ームの変位運動を説明するための要部正面図であ
る。なお、図面に示された符号に於いて、１……炉
本体、１ａ……装入口、１ｂ……排出口、２……
ヒータ、６，３６……固定支持部、６ａ，３６ａ
……角棒、６ｂ，３６ｂ……固定載置部、９，３
９……移動支持部、９ａ，３９ａ……移動ビー
ム、９ｂ，３９ｂ……移動載置部、１９……駆動
軸、２１……可動基台、２３……ガイド、２４Ａ
……上下動駆動装置、２４Ｂ……前進、後退駆動
装置、２４Ｃ……傾動駆動装置、２５……シリン
ダ、２６……カム、２７……スピンドル、３０…
…エアシリンダ、３１……コネクテイングロツ
ド、３３……エアシリンダ支持台、３４……押え
板、Ｗ……被処理物、l₁，l₂……移動支持部の往
復動距離である。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】１処理装置本体と；第一の載置部材及び移動可
能な第二の載置部材からなる被処理物載置手段
と；前記第二の載置部材を前記第一の載置部材
に対し反復して変位運動させ、これによりこれ
ら第一及び第二の載置部材間で被処理物を交互
に載置しながらこの被処理物を搬送する駆動手
段とを具備する連続処理装置に於いて、前記被
処理物の搬送方向とは逆方向へ前記第二の載置
部材が復動する際に、この第二の載置部材が、
前記搬送時に比べて外側位置にて移動するよう
に構成されていることを特徴とする連続処理装
置。２処理装置本体と；第一の載置部材及び移動可
能な第二の載置部材からなる被処理物載置手段
と；前記第二の載置部材を前記第一の載置部材
に対し反復して変位運動させ、これによりこれ
ら第一及び第二の載置部材間で被処理物を交互
に載置しながらこの被処理物を搬送する駆動手
段とを具備する連続処理装置に於いて、前記第
一の載置部材と前記第二の載置部材の移動経路
とが上下に重なり合つて配されていて、前記第
二の載置部材が前記被処理物の搬送方向に沿つ
て往動及び復動するときに、この往復動の距離
に関係なく前記第一の載置部材と前記第二の載
置部材とが接当しないように構成されているこ
とを特徴とする連続処理装置。