JP2796169B2 - ウエーハの移載装置 - Google Patents
ウエーハの移載装置Info
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- JP2796169B2 JP2796169B2 JP7380890A JP7380890A JP2796169B2 JP 2796169 B2 JP2796169 B2 JP 2796169B2 JP 7380890 A JP7380890 A JP 7380890A JP 7380890 A JP7380890 A JP 7380890A JP 2796169 B2 JP2796169 B2 JP 2796169B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、半導体ウエーハをウエーハカセットから
ボードに移し替えるウエーハの移載装置、更に詳しく
は、ウエーハカセットで一定の間隔に保持された多数の
ウエーハを支持間隔のピッチがウエーハカセットよりも
狭いボードに間隔を変換して移し替える移載装置に関す
るものである。
ボードに移し替えるウエーハの移載装置、更に詳しく
は、ウエーハカセットで一定の間隔に保持された多数の
ウエーハを支持間隔のピッチがウエーハカセットよりも
狭いボードに間隔を変換して移し替える移載装置に関す
るものである。
〈従来の技術〉 一般に半導体の処理工程においては、半導体ウエーハ
をウエーハカセット（キャリヤー）に収納して運搬し、
そのウエーハカセットからウエーハをボードに移し替え
て加熱炉に入れ、熱拡散処理やアニール処理などの加熱
処理を行ない、この加熱処理後にボードからウエーハカ
セットに半導体ウエーハを戻す作業を行なっている。
をウエーハカセット（キャリヤー）に収納して運搬し、
そのウエーハカセットからウエーハをボードに移し替え
て加熱炉に入れ、熱拡散処理やアニール処理などの加熱
処理を行ない、この加熱処理後にボードからウエーハカ
セットに半導体ウエーハを戻す作業を行なっている。
ところで、ウエーハの運搬に使用されるウエーハカセ
ットは、世界共通の規格になっており、ウエーハの支持
間隔が3/16イチ（4.76mm）のピッチで25枚のウエーハを
収納する構造になっており、これはJISによって定めら
れている。
ットは、世界共通の規格になっており、ウエーハの支持
間隔が3/16イチ（4.76mm）のピッチで25枚のウエーハを
収納する構造になっており、これはJISによって定めら
れている。
従来、ウエーハカセットのウエーハをボードに移す作
業を自動化するため、特開昭63−27036号による移送装
置が提案されている。
業を自動化するため、特開昭63−27036号による移送装
置が提案されている。
上記の装置は、ボードのウエーハ保持間隔をウエーハ
カセットの保持間隔と等しいピッチに設定し、ウエーハ
カセットに収納されたウエーハ群をそのままボードに移
し替えて加熱処理を行なう構造になっている。
カセットの保持間隔と等しいピッチに設定し、ウエーハ
カセットに収納されたウエーハ群をそのままボードに移
し替えて加熱処理を行なう構造になっている。
（発明が解決しようとする課題） 上記のように、ウエーハの加熱処理に用いるボードの
ウエーハ保持間隔が、ウエーハカセットの保持間隔に等
しいピッチに形成されていると、ボードのウエーハ保持
間隔が広くなり、一度に加熱処理できる枚数が少なく、
加熱処理能率が悪いという問題がある。
ウエーハ保持間隔が、ウエーハカセットの保持間隔に等
しいピッチに形成されていると、ボードのウエーハ保持
間隔が広くなり、一度に加熱処理できる枚数が少なく、
加熱処理能率が悪いという問題がある。
そこで、ボードのウエーハ保持間隔をウエーハカセッ
トの保持間隔よりも狭いピッチに設定し、一度に加熱処
理できる枚数を多くして能率を上げることが考えられ
る。
トの保持間隔よりも狭いピッチに設定し、一度に加熱処
理できる枚数を多くして能率を上げることが考えられ
る。
しかし、ウエーハカセットとボードのウエーハ保持間
隔が相違すると、ウエーハカセットのウエーハ群をその
ままボードに移し替えることができず、このため移し替
えが手作業になり能率を低下させるという問題が生じ
る。
隔が相違すると、ウエーハカセットのウエーハ群をその
ままボードに移し替えることができず、このため移し替
えが手作業になり能率を低下させるという問題が生じ
る。
そこで、この発明は上記のような問題点を解決するた
め、ウエーハ保持間隔をウエーハカセットよりも狭いピ
ッチに設定したボードに対してウエーハカセットのウエ
ーハを自動的に移し替えることができ、移し替え作業の
省力化と能率向上を図り、加熱処理の能率化を実現でき
るウエーハの移載装置を提供することを課題としてい
る。
め、ウエーハ保持間隔をウエーハカセットよりも狭いピ
ッチに設定したボードに対してウエーハカセットのウエ
ーハを自動的に移し替えることができ、移し替え作業の
省力化と能率向上を図り、加熱処理の能率化を実現でき
るウエーハの移載装置を提供することを課題としてい
る。
〈課題を解決するための手段〉 上記のような課題を解決するため、この発明は、多数
枚のウエーハを一定ピッチの間隔で起立状に保持したウ
エーハカセットから、前記ウエーハカセットより狭いピ
ッチの一定間隔で多数枚のウエーハを起立状に保持する
ボードに多数枚のウエーハ群を同時に移載するための移
載装置であり、移載位置に停止するウエーハカセットの
直下に位置し、ウエーハカセット内を貫通して上下動
し、上昇時にウエーハカセットで保持されたウエーハ群
を上昇位置に押上げるリフター機構と、移載位置に停止
するウエーハカセットの上部両側に位置して対向し、前
記リフター機構で押上げられて通過するウエーハ群の並
列間隔を変える一対のピッチ変換プレートと、前記ピッ
チ変換プレート間の直上と移載位置に停止するボードの
直上間を移動し、前記リフター機構の上昇位置に押上げ
られたウエーハ群を両側下部から保持し、このウエーハ
群を移載位置に停止するボード上に移送する変換チャッ
ク機構とを備え、前記一対のピッチ変換プレートは、相
対向する面の各々にリフター機構で押上げられて上昇動
するウエーハの両側外周部が嵌合して摺動する上下方向
のピッチ変換溝をウエーハ群に等しい数だけ設け、この
ピッチ変換溝を、下部の間隔がウエーハカセットのウエ
ーハ保持間隔に一致し、上部は複数本のピッチ変換溝を
一単位として複数の単位に分け、各一単位ごとにピッチ
変換溝の間隔をボードのウエーハ保持間隔に一致するよ
うに集合させて形成し、前記チャック機構は、上記ピッ
チ変換溝の単位数と等しい数の保持爪を両側に対向して
互いに相手側に向けて進退動するよう配置し、両側保持
爪の対向面側に一単位のピッチ変換溝と等しい本数のウ
エーハ保持溝をボードのウエーハ保持間隔と等しい間隔
で設け、両側の保持爪を直列方向にピッチ変換溝の単位
間隔と等しい開離状態から互いに集合する移動が自在と
なるようにした構成を採用したものである。
枚のウエーハを一定ピッチの間隔で起立状に保持したウ
エーハカセットから、前記ウエーハカセットより狭いピ
ッチの一定間隔で多数枚のウエーハを起立状に保持する
ボードに多数枚のウエーハ群を同時に移載するための移
載装置であり、移載位置に停止するウエーハカセットの
直下に位置し、ウエーハカセット内を貫通して上下動
し、上昇時にウエーハカセットで保持されたウエーハ群
を上昇位置に押上げるリフター機構と、移載位置に停止
するウエーハカセットの上部両側に位置して対向し、前
記リフター機構で押上げられて通過するウエーハ群の並
列間隔を変える一対のピッチ変換プレートと、前記ピッ
チ変換プレート間の直上と移載位置に停止するボードの
直上間を移動し、前記リフター機構の上昇位置に押上げ
られたウエーハ群を両側下部から保持し、このウエーハ
群を移載位置に停止するボード上に移送する変換チャッ
ク機構とを備え、前記一対のピッチ変換プレートは、相
対向する面の各々にリフター機構で押上げられて上昇動
するウエーハの両側外周部が嵌合して摺動する上下方向
のピッチ変換溝をウエーハ群に等しい数だけ設け、この
ピッチ変換溝を、下部の間隔がウエーハカセットのウエ
ーハ保持間隔に一致し、上部は複数本のピッチ変換溝を
一単位として複数の単位に分け、各一単位ごとにピッチ
変換溝の間隔をボードのウエーハ保持間隔に一致するよ
うに集合させて形成し、前記チャック機構は、上記ピッ
チ変換溝の単位数と等しい数の保持爪を両側に対向して
互いに相手側に向けて進退動するよう配置し、両側保持
爪の対向面側に一単位のピッチ変換溝と等しい本数のウ
エーハ保持溝をボードのウエーハ保持間隔と等しい間隔
で設け、両側の保持爪を直列方向にピッチ変換溝の単位
間隔と等しい開離状態から互いに集合する移動が自在と
なるようにした構成を採用したものである。
〈作用〉 ウエーハカセットとボードを各々の移載位置に停止さ
せた状態で、下降位置に待機するリフター機構が上昇動
し、ウエーハカセットで保持されたウエーハ群を押上
げ、対向するピッチ変換プレート間を上昇するウエーハ
は、その両側がウエーハカセットの保持間隔と等しいピ
ッチに設定されたピッチ変換溝の下部に嵌合し、ピッチ
変換溝に誘導されながら上昇する。
せた状態で、下降位置に待機するリフター機構が上昇動
し、ウエーハカセットで保持されたウエーハ群を押上
げ、対向するピッチ変換プレート間を上昇するウエーハ
は、その両側がウエーハカセットの保持間隔と等しいピ
ッチに設定されたピッチ変換溝の下部に嵌合し、ピッチ
変換溝に誘導されながら上昇する。
ピッチ変換溝は複数本を一単位とし、各単位の変換溝
は上部がボードの保持間隔に等しいピッチに集合してい
るため、上昇するウエーハ群は各単位ごとに接近集合し
て変換溝の上部でボードの保持間隔に等しいピッチで並
び、ウエーハ群がピッチ変換プレート上に押上げられる
と、チャック機構がウエーハ群を下部両側から保持して
持上げ、このチャック機構は各保持爪が互いに直列方向
に接近動して集合し、単位ごとのウエーハを接近させて
すべてのウエーハ間隔をボードの保持間隔に一致させ、
この状態でチャック機構が移動してウエーハ群をボード
に供給載置する。
は上部がボードの保持間隔に等しいピッチに集合してい
るため、上昇するウエーハ群は各単位ごとに接近集合し
て変換溝の上部でボードの保持間隔に等しいピッチで並
び、ウエーハ群がピッチ変換プレート上に押上げられる
と、チャック機構がウエーハ群を下部両側から保持して
持上げ、このチャック機構は各保持爪が互いに直列方向
に接近動して集合し、単位ごとのウエーハを接近させて
すべてのウエーハ間隔をボードの保持間隔に一致させ、
この状態でチャック機構が移動してウエーハ群をボード
に供給載置する。
〈実施例〉 以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明す
る。
る。
先ず、ウエーハＡを収納して運搬するウエーハカセッ
ト１は、25枚のウエーハＡを4.76mmピッチの間隔で起立
状に保持する構造に形成され、またウエーハＡを収納し
て加熱処理を行なうために用いるボード２は石英やSiC
等の900〜1300℃に耐える材料を用い、ウエーハＡをウ
エーハカセット１の保持間隔より狭い3.5mmのピッチ間
隔で多数枚を起立状に保持し、加熱処理の能率を上げる
ように形成されている。
ト１は、25枚のウエーハＡを4.76mmピッチの間隔で起立
状に保持する構造に形成され、またウエーハＡを収納し
て加熱処理を行なうために用いるボード２は石英やSiC
等の900〜1300℃に耐える材料を用い、ウエーハＡをウ
エーハカセット１の保持間隔より狭い3.5mmのピッチ間
隔で多数枚を起立状に保持し、加熱処理の能率を上げる
ように形成されている。
次に、ウエーハカセット１に収納したウエーハＡ群を
ボード２に移し替える移載装置は、第１図乃至第４図に
示すように、テーブル３上にウエーハカセット１の移送
ライン４と、ボード２の移送ライン５を平行状に設け、
ウエーハカセット１の移送ライン４上に設定された移載
位置Ｘに停止するウエーハカセット１の直下に、ウエー
ハカセット１で支持されているすべてのウエーハＡを同
時に押上げるリフター機構６と、移載位置Ｘに停止する
ウエーハカセット１の上部両側に配置した一対のピッチ
変換プレート７、７と、このピッチ変換プレート７、７
の上部とボード移送ライン５上に設定された移載位置Ｙ
に停止するボード２の直上との間を移動するチャック機
構８と、移載位置に停止するボードＹの直下に配置した
リフター機構９とを設けて構成されている。
ボード２に移し替える移載装置は、第１図乃至第４図に
示すように、テーブル３上にウエーハカセット１の移送
ライン４と、ボード２の移送ライン５を平行状に設け、
ウエーハカセット１の移送ライン４上に設定された移載
位置Ｘに停止するウエーハカセット１の直下に、ウエー
ハカセット１で支持されているすべてのウエーハＡを同
時に押上げるリフター機構６と、移載位置Ｘに停止する
ウエーハカセット１の上部両側に配置した一対のピッチ
変換プレート７、７と、このピッチ変換プレート７、７
の上部とボード移送ライン５上に設定された移載位置Ｙ
に停止するボード２の直上との間を移動するチャック機
構８と、移載位置に停止するボードＹの直下に配置した
リフター機構９とを設けて構成されている。
上記ウエーハカセット１の移送ライン４は、テーブル
３上に設けた一対のレール10と10で移動台11を支持し、
この移動台11上に載置したウエーハカセット１をウエー
ハＡの並列方向に沿って移動させるようになっている。
３上に設けた一対のレール10と10で移動台11を支持し、
この移動台11上に載置したウエーハカセット１をウエー
ハＡの並列方向に沿って移動させるようになっている。
また、ボード２の移送ライン５も同様に、テーブル３
上に設けた一対のレール12、12と移動台13でボード２を
ウエーハＡの並列方向に移動させるようになっている。
上に設けた一対のレール12、12と移動台13でボード２を
ウエーハＡの並列方向に移動させるようになっている。
前記した一対のピッチ変換プレート７と７は、テーブ
ル３上に立設した支柱14、14の上端に固定され、移載位
置Ｘに停止するウエーハカセット１の上部でウエーハＡ
の径方向両側の位置に対向状に配置されている。
ル３上に立設した支柱14、14の上端に固定され、移載位
置Ｘに停止するウエーハカセット１の上部でウエーハＡ
の径方向両側の位置に対向状に配置されている。
両ピッチ変換プレート７、７は、第４図と第５図に示
すように、ウエーハＡの直径よりも少し狭い間隔で対向
し、相対向する面に両プレート７、７間を上昇するウエ
ーハＡの外周両側部分が嵌合する多数のピッチ変換溝1
5、15が上下方向に沿って設けられている。
すように、ウエーハＡの直径よりも少し狭い間隔で対向
し、相対向する面に両プレート７、７間を上昇するウエ
ーハＡの外周両側部分が嵌合する多数のピッチ変換溝1
5、15が上下方向に沿って設けられている。
第５図のように、ピッチ変換溝15、15はウエーハカセ
ット１に収納されたウエーハＡの枚数に等しい25本が並
べて設けられ、各ピッチ変換溝15の下部の間隔はウエー
ハカセット１におけるウエーハ支持間隔に等しい4.76mm
のピッチに設定され、移載位置Ｘにウエーハカセット１
が停止すると、各ピッチ変換溝15の直下にウエーハＡの
両側部分が臨むことになる。
ット１に収納されたウエーハＡの枚数に等しい25本が並
べて設けられ、各ピッチ変換溝15の下部の間隔はウエー
ハカセット１におけるウエーハ支持間隔に等しい4.76mm
のピッチに設定され、移載位置Ｘにウエーハカセット１
が停止すると、各ピッチ変換溝15の直下にウエーハＡの
両側部分が臨むことになる。
上記ピッチ変換溝15は、複数本を一単位として複数の
単位に分け、上部の間隔を各一単位ごとにボード２のウ
エーハ保持間隔に等しい3.5mmのピッチに集合させてい
る。
単位に分け、上部の間隔を各一単位ごとにボード２のウ
エーハ保持間隔に等しい3.5mmのピッチに集合させてい
る。
即ち、25本のピッチ変換溝15は、５本を一単位とする
５単位に分け、各単位における５本のピッチ変換溝15
は、中央位置の溝を上下方向に直線状とすると共に、そ
の両側に各々位置する２本の溝は、下部から上部に向け
て中央の溝に接近するよう傾斜させて形成し、上部は3.
5mmピッチで５本の溝が一定の間隔で５単位並ぶことに
なる。
５単位に分け、各単位における５本のピッチ変換溝15
は、中央位置の溝を上下方向に直線状とすると共に、そ
の両側に各々位置する２本の溝は、下部から上部に向け
て中央の溝に接近するよう傾斜させて形成し、上部は3.
5mmピッチで５本の溝が一定の間隔で５単位並ぶことに
なる。
前記リフター機構６は、第３図のように、モータＭで
駆動されるようテーブル３に設けたエンドレス走行体16
に昇降軸17を連結し、この昇降軸17の上端に押上板18を
水平に固定して形成され、移載位置Ｘにウエーハカセッ
ト１が停止する状態で上昇動すると、ウエーハカセット
１内の全ウエーハＡを押上板18で同時にピッチ変換プレ
ート７、７間の上部に押上げることになる。
駆動されるようテーブル３に設けたエンドレス走行体16
に昇降軸17を連結し、この昇降軸17の上端に押上板18を
水平に固定して形成され、移載位置Ｘにウエーハカセッ
ト１が停止する状態で上昇動すると、ウエーハカセット
１内の全ウエーハＡを押上板18で同時にピッチ変換プレ
ート７、７間の上部に押上げることになる。
従って、リフター機構６で押上げられるウエーハＡ群
は、上昇途中で両ピッチ変換プレート７と７間を通過
し、このときウエーハＡは、4.76mm間隔のピッチで並ん
でいるため、その外周両側が対応するピッチ変換溝15内
に下部の位置で嵌合し、上昇動と共にピッチ変換溝15に
誘導されて変換溝15の単位ごとに５枚づつが互いに接近
し、上部に達すると3.5mmの間隔のピッチに変換された
状態となり、3.5mm間隔で５枚が並ぶ組が５組形成さ
れ、この状態で両ピッチ変換プレート７、７間の上部に
押上げられることになる。
は、上昇途中で両ピッチ変換プレート７と７間を通過
し、このときウエーハＡは、4.76mm間隔のピッチで並ん
でいるため、その外周両側が対応するピッチ変換溝15内
に下部の位置で嵌合し、上昇動と共にピッチ変換溝15に
誘導されて変換溝15の単位ごとに５枚づつが互いに接近
し、上部に達すると3.5mmの間隔のピッチに変換された
状態となり、3.5mm間隔で５枚が並ぶ組が５組形成さ
れ、この状態で両ピッチ変換プレート７、７間の上部に
押上げられることになる。
前記チャック機構８は、リフター機構６で両ピッチ変
換プレート７、７間の上部に押上げられた５組のウエー
ハを受取り、５組のウエーハを互いに集合させて全ウエ
ーハＡ群を3.5mm間隔のピッチにした状態でボード２に
供給するものであり、テーブル３上に立設した支柱19の
上部に水平アーム20を突設し、水平アーム20に水平動と
上下動が可能となるよう装着した可動部材21の前面に一
対のチャック部22と22を設けて形成されている。
換プレート７、７間の上部に押上げられた５組のウエー
ハを受取り、５組のウエーハを互いに集合させて全ウエ
ーハＡ群を3.5mm間隔のピッチにした状態でボード２に
供給するものであり、テーブル３上に立設した支柱19の
上部に水平アーム20を突設し、水平アーム20に水平動と
上下動が可能となるよう装着した可動部材21の前面に一
対のチャック部22と22を設けて形成されている。
上記チャック部22と22は、第４図と第５図に示すよう
に、可動部材21の前面に突設した支持アーム31に水平の
ガイド軸23と23を上下に平行状態で取付け、上下のガイ
ド軸23、23に５個の保持爪24をガイド軸23、23の軸方向
に移動自在となるよう取付け、各保持爪24をシリンダ25
で集合と離反を行なう構造になっている。
に、可動部材21の前面に突設した支持アーム31に水平の
ガイド軸23と23を上下に平行状態で取付け、上下のガイ
ド軸23、23に５個の保持爪24をガイド軸23、23の軸方向
に移動自在となるよう取付け、各保持爪24をシリンダ25
で集合と離反を行なう構造になっている。
各保持爪24の先端側には、５本のウエーハ保持溝26が
ボード２のウエーハ保持間隔に等しい3.5mm間隔のピッ
チで設けられ、各保持爪24の両側の部分は、隣接する保
持爪と互いに重なり合った状態のとき、隣接するウエー
ハＡの間隔が3.5mmの間隔になるよう形成されている。
ボード２のウエーハ保持間隔に等しい3.5mm間隔のピッ
チで設けられ、各保持爪24の両側の部分は、隣接する保
持爪と互いに重なり合った状態のとき、隣接するウエー
ハＡの間隔が3.5mmの間隔になるよう形成されている。
中央の保持爪24aは定位置に固定され、両側の保持爪2
4b、24cと24d、24eはガイド軸23、23に沿って移動し、
第６図に示す開離状態にあるとき、各保持爪24a〜24e
は、ピッチ変換プレート７、７におけるピッチ変換溝15
の単位間隔と等しいピッチに保持され、この状態からシ
リンダ25の収縮で各保持爪24a〜24eは中央に集合するこ
とになる。
4b、24cと24d、24eはガイド軸23、23に沿って移動し、
第６図に示す開離状態にあるとき、各保持爪24a〜24e
は、ピッチ変換プレート７、７におけるピッチ変換溝15
の単位間隔と等しいピッチに保持され、この状態からシ
リンダ25の収縮で各保持爪24a〜24eは中央に集合するこ
とになる。
中央の保持爪24aを挟む両側の保持爪24bと24eはスプ
リング29によって拡開位置に戻る弾性が付勢され、両端
の保持爪24d、24eはシリンダ25に直接連結され、両端の
保持爪24d、24eで挟むようにして全体を集合させる。
リング29によって拡開位置に戻る弾性が付勢され、両端
の保持爪24d、24eはシリンダ25に直接連結され、両端の
保持爪24d、24eで挟むようにして全体を集合させる。
両側のチャック部22と22は、保持爪24が互いに対向
し、第４図のように両ピッチ変換プレート７、７の上部
に位置するとき、保持爪24がピッチ変換プレート７の直
上に臨み、保持溝26がピッチ変換溝15の上部に延長状と
なるように臨む間隔で待機し、この状態から両チャック
部22と22は第６図一点鎖線で示すように、互いに内側に
移動することにより、保持溝26の上半部分の弧状部でウ
エーハＡを下部両側から保持することになる。
し、第４図のように両ピッチ変換プレート７、７の上部
に位置するとき、保持爪24がピッチ変換プレート７の直
上に臨み、保持溝26がピッチ変換溝15の上部に延長状と
なるように臨む間隔で待機し、この状態から両チャック
部22と22は第６図一点鎖線で示すように、互いに内側に
移動することにより、保持溝26の上半部分の弧状部でウ
エーハＡを下部両側から保持することになる。
前記移載位置Ｙに停止するボード２の直下に配置した
リフター機構９は、シリンダ等によって上下動するよう
テーブル３に取付けた昇降軸28の上端に押上板29を取付
けて形成され、チャック機構８でボード２の直上に運ば
れてきたウエーハＡ群を上昇位置で受取り、チャック部
22、22の開離後に下降動し、ウエーハＡをボード２に納
める作用を行なう。
リフター機構９は、シリンダ等によって上下動するよう
テーブル３に取付けた昇降軸28の上端に押上板29を取付
けて形成され、チャック機構８でボード２の直上に運ば
れてきたウエーハＡ群を上昇位置で受取り、チャック部
22、22の開離後に下降動し、ウエーハＡをボード２に納
める作用を行なう。
この発明の移載装置は上記のような構成であり、次に
ウエーハカセットからボードにウエーハを移し替える方
法を説明する。
ウエーハカセットからボードにウエーハを移し替える方
法を説明する。
ウエーハＡを収納したウエーハカセット１を移送ライ
ン４の移載位置Ｘに停止させると共に、ピッチ変換プレ
ート７、７の直上に変換チャック機構８を待機させ、更
に移送ライン５の移載位置Ｙにボード２を待機させてお
く。
ン４の移載位置Ｘに停止させると共に、ピッチ変換プレ
ート７、７の直上に変換チャック機構８を待機させ、更
に移送ライン５の移載位置Ｙにボード２を待機させてお
く。
ウエーハＡは円形で外周に直線部ａを有する形状にな
っており、ウエーハカセット１に収納されたとき、直線
部ａが下側に位置するよう姿勢が決められている。
っており、ウエーハカセット１に収納されたとき、直線
部ａが下側に位置するよう姿勢が決められている。
この姿勢決めは、例えばウエーハカセット１で保持し
たウエーハＡの外周の回転ローラを接触させ、ウエーハ
Ａに回転を与えて直接部がローラに臨む位置で停止する
のを利用して行なうことができる。
たウエーハＡの外周の回転ローラを接触させ、ウエーハ
Ａに回転を与えて直接部がローラに臨む位置で停止する
のを利用して行なうことができる。
第３図実線の状態でリフター機構６が上昇動すると、
押上板18がウエーハカセット１内を下部から貫通して上
昇し、ウエーハカセット１内に位置する全ウエーハＡを
押上げる。
押上板18がウエーハカセット１内を下部から貫通して上
昇し、ウエーハカセット１内に位置する全ウエーハＡを
押上げる。
押上げられたウエーハＡ群は両側のピッチ変換プレー
ト７と７間を上昇し、各ウエーハＡは外周の両側が対向
するピッチ変換溝15内に嵌合し、この変換溝15に沿う上
昇により、4.76mm間隔のピッチで並んでいたウエーハＡ
は、変換溝15の上部に達すると５枚を組として５組に分
けられ、各組の５枚のウエーハＡは3.5mm間隔のピッチ
となるように変換される。
ト７と７間を上昇し、各ウエーハＡは外周の両側が対向
するピッチ変換溝15内に嵌合し、この変換溝15に沿う上
昇により、4.76mm間隔のピッチで並んでいたウエーハＡ
は、変換溝15の上部に達すると５枚を組として５組に分
けられ、各組の５枚のウエーハＡは3.5mm間隔のピッチ
となるように変換される。
５枚づつが組となる５組のウエーハＡは、両ピッチ変
換プレート７、７間を通過すると、直上に待機するチャ
ック機構８における保持爪24の保持溝26内に嵌合し、ウ
エーハＡが最上昇位置に停止するとチャック機構８は両
チャック部22と22が互いに接近動し、ウエーハＡを下部
両側から保持するとリフター機構６は下降位置に戻る。
換プレート７、７間を通過すると、直上に待機するチャ
ック機構８における保持爪24の保持溝26内に嵌合し、ウ
エーハＡが最上昇位置に停止するとチャック機構８は両
チャック部22と22が互いに接近動し、ウエーハＡを下部
両側から保持するとリフター機構６は下降位置に戻る。
チャック機構８は、ウエーハＡを保持するとシリンダ
25が収縮作動し、保持爪24が中央に集合することによ
り、５組のウエーハＡを集合させ、25枚のウエーハＡを
3.5mm間隔のピッチに集める。
25が収縮作動し、保持爪24が中央に集合することによ
り、５組のウエーハＡを集合させ、25枚のウエーハＡを
3.5mm間隔のピッチに集める。
これによって、ウエーハカセット１で4.76mm間隔のピ
ッチで保持されていた25枚のウエーハＡは、3.5mm間隔
のピッチに変換されたことになる。
ッチで保持されていた25枚のウエーハＡは、3.5mm間隔
のピッチに変換されたことになる。
ウエーハＡを保持したチャック機構８は水平移動して
移載位置Ｙに停止するボード２の直上に臨んで第３図一
点鎖線で示すように下降し、これと共にリフター機構９
がボード２内を貫通して上昇し、押上板29でウエーハＡ
群を受けると、チャック部22と22は両側に開いてウエー
ハＡ群の保持を解き、リフター機構９は下降動してウエ
ーハＡ群をボード２内に下し、ボード２でウエーハＡを
3.5mm間隔のピッチに保持する。
移載位置Ｙに停止するボード２の直上に臨んで第３図一
点鎖線で示すように下降し、これと共にリフター機構９
がボード２内を貫通して上昇し、押上板29でウエーハＡ
群を受けると、チャック部22と22は両側に開いてウエー
ハＡ群の保持を解き、リフター機構９は下降動してウエ
ーハＡ群をボード２内に下し、ボード２でウエーハＡを
3.5mm間隔のピッチに保持する。
ボード２は25枚のウエーハＡを保持すると25枚のピッ
チ分だけ移動し、前記のようにして送られてきた次のウ
エーハを保持し、これを所要数回繰り返すことにより多
数枚のウエーハを保持し、一度に行なう加熱処理枚数を
多くして能率を向上させることになる。
チ分だけ移動し、前記のようにして送られてきた次のウ
エーハを保持し、これを所要数回繰り返すことにより多
数枚のウエーハを保持し、一度に行なう加熱処理枚数を
多くして能率を向上させることになる。
尚、実施例では、ウエーハカセット１のウエーハＡを
ボード２に移し替える場合を示したが、ボード２からウ
エーハカセット１に向けて逆にウエーハＡを移動させる
ことにより、3.5mm間隔のピッチで並ぶボード２のウエ
ーハＡを4.76mm間隔のピッチに変換し、ウエーハカセッ
ト１に移し替えることができる。
ボード２に移し替える場合を示したが、ボード２からウ
エーハカセット１に向けて逆にウエーハＡを移動させる
ことにより、3.5mm間隔のピッチで並ぶボード２のウエ
ーハＡを4.76mm間隔のピッチに変換し、ウエーハカセッ
ト１に移し替えることができる。
〈効果〉 以上のように、この発明によると、ウエーハカセット
で一定間隔に保持されたウエーハ群をピッチ変換プレー
トでウエーハカセットよりも狭いピッチの一定間隔で変
換してボードに移し替えるようにしたので、ウエーハカ
セットよりも狭いピッチに形成したボートに対してウエ
ーハを移し替える作業が自動的に行なえ、作業の省力化
と能率向上を図ることができる。
で一定間隔に保持されたウエーハ群をピッチ変換プレー
トでウエーハカセットよりも狭いピッチの一定間隔で変
換してボードに移し替えるようにしたので、ウエーハカ
セットよりも狭いピッチに形成したボートに対してウエ
ーハを移し替える作業が自動的に行なえ、作業の省力化
と能率向上を図ることができる。
又、ボードのウエーハ保持間隔を狭くしたので一度の
加熱処理枚数が多くなり、ウエーハの加熱処理能率を向
上させることができる。
加熱処理枚数が多くなり、ウエーハの加熱処理能率を向
上させることができる。
第１図はこの発明に係る移載装置の平面図、第２図は同
上の正面図、第３図は同縦断側面図、第４図はウエーハ
カセットとピッチ変換プレート及び変換チャック機構を
示す側面図、第５図はピッチ変換プレートの正面図、第
６図は変換チャック機構を示す一部横断平面図である。 １……ウエーハカセット、２……ボード ３……テーブル、６……リフター機構 ７……ピッチ変換プレート、８……チャック機構 ９……リフター機構、15……ピッチ変換溝 22……チャック部、24……保持爪 26……保持溝、Ａ……ウエーハ
上の正面図、第３図は同縦断側面図、第４図はウエーハ
カセットとピッチ変換プレート及び変換チャック機構を
示す側面図、第５図はピッチ変換プレートの正面図、第
６図は変換チャック機構を示す一部横断平面図である。 １……ウエーハカセット、２……ボード ３……テーブル、６……リフター機構 ７……ピッチ変換プレート、８……チャック機構 ９……リフター機構、15……ピッチ変換溝 22……チャック部、24……保持爪 26……保持溝、Ａ……ウエーハ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68
Claims (1)
- 【請求項１】多数枚のウエーハを一定ピッチの間隔で起
立状に保持したウエーハカセットから、前記ウエーハカ
セットより狭いピッチの一定間隔で多数枚のウエーハを
起立状に保持するボードに多数枚のウエーハ群を同時に
移載するための移載装置であり、移載位置に停止するウ
エーハカセットの直下に位置し、ウエーハカセット内を
貫通して上下動し、上昇時にウエーハカセットで保持さ
れたウエーハ群を上昇位置に押上げるリフター機構と、
移載位置に停止するウエーハカセットの上部両側に位置
して対向し、前記リフター機構で押上げられて通過する
ウエーハ群の並列間隔を変える一対のピッチ変換プレー
トと、前記ピッチ変換プレート間の直上と移載位置に停
止するボードの直上間を移動し、前記リフター機構の上
昇位置に押上げられたウエーハ群を両側下部から保持
し、このウエーハ群を移載位置に停止するボード上に移
送する変換チャック機構とを備え、前記一対のピッチ変
換プレートは、相対向する面の各々にリフター機構で押
上げられて上昇動するウエーハの両側外周部が嵌合して
摺動する上下方向のピッチ変換溝をウエーハ群に等しい
数だけ設け、このピッチ変換溝を、下部の間隔がウエー
ハカセットのウエーハ保持間隔に一致し、上部は複数本
のピッチ変換溝を一単位として複数の単位に分け、各一
単位ごとにピッチ変換溝の間隔をボードのウエーハ保持
間隔に一致するように集合させて形成し、前記チャック
機構は、上記ピッチ変換溝の単位数と等しい数の保持爪
を両側に対向して互いに相手側に向けて進退動するよう
配置し、両側保持爪の対向面側に一単位のピッチ変換溝
と等しい本数のウエーハ保持溝をボードのウエーハ保持
間隔と等しい間隔で設け、両側の保持爪を直列方向にピ
ッチ変換溝の単位間隔と等しい開離状態から互いに集合
する移動が自在となるようにしたことを特徴とするウエ
ーハの移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7380890A JP2796169B2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | ウエーハの移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7380890A JP2796169B2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | ウエーハの移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03273662A JPH03273662A (ja) | 1991-12-04 |
| JP2796169B2 true JP2796169B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=13528836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7380890A Expired - Fee Related JP2796169B2 (ja) | 1990-03-23 | 1990-03-23 | ウエーハの移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2796169B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7627396B2 (en) | 2004-01-08 | 2009-12-01 | Panasonic Corporation | Industrial robot |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2812642B2 (ja) * | 1993-07-01 | 1998-10-22 | 三菱電機株式会社 | ウエハ整列機 |
| KR970007078Y1 (en) * | 1994-06-03 | 1997-07-15 | Lg Semicon Co Ltd | Devices feeding apparatus |
| JPH09172052A (ja) * | 1995-12-19 | 1997-06-30 | Fujitsu Ltd | ウェーハ移載装置及びウェーハ移載方法 |
| US5839769A (en) * | 1996-10-03 | 1998-11-24 | Kinetrix, Inc. | Expanding gripper with elastically variable pitch screw |
-
1990
- 1990-03-23 JP JP7380890A patent/JP2796169B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7627396B2 (en) | 2004-01-08 | 2009-12-01 | Panasonic Corporation | Industrial robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03273662A (ja) | 1991-12-04 |
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Legal Events
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