JPH0778862A

JPH0778862A - 揃えローラ

Info

Publication number: JPH0778862A
Application number: JP22408893A
Authority: JP
Inventors: Taro Kobori; 太郎小堀
Original assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date: 1993-09-09
Filing date: 1993-09-09
Publication date: 1995-03-20

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】ウェーハをキャリア内で直立した状態で整列
させる。【構成】平行に対向した２枚の側板の内側に、多数の
溝部３を定ピッチに刻設し、この溝部内にウェーハＡの
周縁部を挿入するようにしたキャリア１の下方に配置さ
れ、キャリアに挿入されたウェーハをキャリア内で回転
させることにより、オリエンテーションフラット部Ｂが
下方となるように整列させる揃えローラ３０に於いて、
この揃えローラの外周面円周方向に、キャリア内に形成
される溝部３と同数の凹溝３１を等間隔で形成し、この
凹溝の幅を、ウェーハの厚みと略等しくなるように設定
し、揃えローラ外周面の凹溝と凹溝との間に位置する部
分を、凹溝に向かって傾斜したテーパ面３２、或いは、
山形部とし、かつ、この揃えローラを、ウェーハ押上げ
可能となるよう昇降自在に支持したものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハの取扱に於け
る、第１の保持治具と第２の保持治具との間での移し替
え時、この移し替え作業の確実化を計るための揃えロー
ラに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】多数枚のウェーハを整列収納する保持治
具は、保管や運搬、製造等の用途に応じて多種多用のも
のがあり、取扱処理上、ウェーハは何度も保持治具間で
移し替えられる。

【０００３】例えば、半導体装置を製造する工程には、
ウェットエッチングや洗浄等、ウェーハをウェット処理
する工程や、炉心管内でウェーハに不純物を拡散する工
程等がある。

【０００４】ウェット処理する工程では、図４に示すよ
うな第１の保持治具となるキャリア(1)が使用され、不
純物拡散工程では、図５に示すような第２の保持治具と
なる石英製のボート(10)が使用される。

【０００５】キャリア(1)は、平行に対向した２枚の側
板(2)の内側に、多数の溝部(3)を定ピッチに刻設し、こ
の溝部(3)内にウェーハ(A)の周縁部を挿入するようにし
たものである。

【０００６】溝部(3)の幅は、ウェーハ(A)の厚さより広
くされ、ウェーハ(A)の周縁部が比較的余裕をもって溝
部(3)内に挿入できるようにされている。

【０００７】また、側板(2)の両端部は、Ｈ字状に端板
(4)が連結され、２枚の側板(2)の間隔を一定に維持して
いる。

【０００８】他方、ボート(10)は、３本のロッド(11)に
ウェーハ(A)の外周縁を３点で保持する多数の切欠き(1
2)を定ピッチで形成し、ロッド(11)の両端部をコ字型の
フレーム(13)の内側に連結し、コ字型のフレーム(13)の
対向する２辺の中間位置底部寄りに、バー(14)を連結し
たものである。

【０００９】上記したキャリア(1)に収納されたウェー
ハ(A)のボート(10)への移し替えは、例えば、下記のよ
うにして行っていた。

【００１０】先ず、図６及び図７に示すように、ウェー
ハ(A)が収納されたキャリア(1)の底部に一対の揃えロー
ラ(20)を配置させる。

【００１１】この時、ウェーハ(A)は、円弧部で揃えロ
ーラ(20)上に接し、結晶方向を表すため円板の一部をカ
ットしたオリエンテーションフラット部(B)（以下オリ
フラと称す）では、同ローラ(20)に接しない位置関係と
なるようにしてあるため、揃えローラ(20)を回転させれ
ば、ウェーハ(A)はキャリア(1)上に於いて、オリフラ部
(B)が下方に位置した状態で回転を停止するため、各ウ
ェーハ(A)はキャリア(1)上での向きが揃う。

【００１２】このようにして、キャリア(1)上でのウェ
ーハ(A)の整列が終了すると、キャリア(1)の真上に、キ
ャリア(1)の溝部(3)と対向する溝部(26)を有する一対の
把持板(25)を、両者の間隔がウェーハ(A)の直径より若
干広くなるようにして配置する。

【００１３】次に、揃えローラ(20)を退避させた後、キ
ャリア(A)の真下に位置するプッシャー（図示せず）を
上昇させることにより、キャリア(1)内に位置するウェ
ーハ(A)をキャリア(1)の上方に押し出し、ウェーハ(A)
をキャリア(1)の真上に位置する一対の把持板(25)の各
溝部(26)内に位置させる。

【００１４】次に、この状態で一対の把持板(26)を閉じ
ることにより、一対の把持板(26)によって各ウェーハ
(A)を挾持する。

【００１５】後は、この状態で一対の把持板(25)をボー
ト(10)の真上に位置させ、把持板(25)を開くことによ
り、把持板(25)に挾持されていたウェーハ(A)をボート
(10)に移し替える。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】上記した方法によりウ
ェーハ(A)の移し替えを行うと、キャリア(1)内でウェー
ハ(A)が傾斜していた場合、ウェーハ(A)に割れや欠けが
生じやすいといった問題があった。

【００１７】即ち、キャリア(1)の溝幅は、ウェーハ(A)
の出し入れの容易化を計るため、ウェーハ(A)の厚みよ
り広くしてある。

【００１８】このため、溝部(3)内に収納されたウェー
ハ(A)の中には、図７に示す如く、溝部(3)内に傾いた状
態で収納されているものもある。

【００１９】そして、この傾いた状態のウェーハ(A)を
プッシャーによってキャリア(1)の上方に押し上げ、キ
ャリア(1)の真上に位置する把持板(25)の溝部(26)内に
挿入しようとすると、図７の一点鎖線に示す如く、ウェ
ーハ(A)が把持板(25)の溝部(26)の山部(26a)と当接して
しまい、ウェーハ(A)に割れや欠けが生じることがある
といった問題があった。

【００２０】

【課題を解決するための手段】平行に対向した２枚の側
板の内側に、多数の溝部を定ピッチに刻設し、この溝部
内にウェーハの周縁部を挿入するようにしたキャリアの
下方に配置され、キャリアに挿入されたウェーハをキャ
リア内で回転させることにより、オリエンテーションフ
ラット部が下方となるように整列させる揃えローラに於
いて、

【００２１】この揃えローラの外周面円周方向に、キャ
リア内に形成される溝部と同数の凹溝を等間隔で形成
し、この凹溝の幅を、ウェーハの厚みと略等しくなるよ
うに設定し、揃えローラ外周面の凹溝と凹溝との間に位
置する部分を、凹溝に向かって傾斜したテーパ面、或い
は、山形部とし、かつ、この揃えローラを、ウェーハ押
上げ可能となるよう昇降自在に支持したものである。

【００２２】

【作用】上記した如く、揃えローラに凹溝とテーパ面或
いは山形部を形成すると共に、揃えローラを昇降自在に
支持することにより、キャリア内のウェーハを直立した
状態でキャリアから上方に押上げるものである。

【００２３】

【実施例】図１及び図２は、本発明に係る揃えローラ(3
0)を示すものである。

【００２４】この揃えローラ(30)は、図示の如く、その
外周面円周方向に、キャリア(1)内に形成される溝部(3)
と同数の凹溝(31)が等間隔で形成してあり、また、揃え
ローラ外周面の凹溝(31)と凹溝(31)との間に位置する部
分は、凹溝(31)に向かって傾斜したテーパ面(32)となる
ようにしてある。

【００２５】上記凹溝(31)の溝幅は、ウェーハ(A)の厚
みより若干広くしてあり、凹溝(31)内にウェーハ(A)が
嵌り込むようにしてあり、また、ウェーハ(A)が凹溝(3
1)内に嵌り込むと、ウェーハ(A)は直立するように、凹
溝(31)の溝幅は決定してある。

【００２６】上記形状をした揃えローラ(30)により、キ
ャリア(1)内のウェーハ(A)をキャリア(1)の真上に位置
させた一対の把持アーム(25)に移し替えるには、先ず、
ウェーハ(A)が収納されたキャリア(1)の底部に、２本の
揃えローラ(30)を平行状態に配置させる。

【００２７】この時、揃えローラ(30)とキャリア(1)と
の水平方向の位置関係は、各凹溝(31)と、この凹溝(31)
と隣接するテーパ面(32)とが、それぞれ、キャリア(1)
に形成した溝部(3)と対向するように位置決めを行う。

【００２８】また、揃えローラ(30)とキャリア(1)との
垂直方向の位置関係は、ウェーハ(A)が揃えローラ(30)
の凹溝(31)の真上に位置した場合、ウェーハ(A)は円弧
部で凹溝(31)の底部と接触し、オリフラ部(B)では溝部
(31)の底部と接触しない位置に位置決めが行われる。

【００２９】従って、凹溝(31)の底部より大径のテーパ
面(32)上にウェーハ(A)が位置する場合は、ウェーハ(A)
は常に揃えローラ(30)と接触することになる。

【００３０】更に、この揃えローラ(30)は、キャリア
(1)に対して昇降自在となるように支持してある。

【００３１】上記位置関係に於いて、一対の揃えローラ
(30)を同方向に回転させると、揃えローラ(30)のテーパ
面(32)と接触しているウェーハ(A)は回転しながらキャ
リア(1)の溝部(3)内を揃えローラ(30)の凹溝(31)側に移
動して行き、凹溝(31)の上方にウェーハ(A)が来ると、
ウェーハ(A)は、オリフラ部(B)が下方に位置するまで回
転を続け、オリフラ部(B)が下方に来ると、オリフラ部
(B)は揃えローラ(30)の凹溝(31)の底部とは接触しない
ため、回転を停止し、その向きが揃えられる。

【００３２】このようにして、ウェーハ(A)のキャリア
(1)の凹溝(3)内での位置決めが終了すると、この状態で
一対の揃えローラ(30)を上昇させる。

【００３３】すると、揃えローラ(30)の凹溝(31)内にウ
ェーハ(A)のオリフラ部(B)が嵌り込み、ウェーハ(A)は
直立した状態で揃えローラ(30)に支持される。

【００３４】この状態で揃えローラ(30)を更に上昇さ
せ、キャリア(1)内に位置するウェーハ(A)をキャリア
(1)の上方に押し出し、ウェーハ(A)をキャリア(1)の真
上に位置する一対の把持板(25)の各溝部(26)内に位置さ
せる。

【００３５】上記のようにしてキャリア(1)内のウェー
ハ(A)を把持板(25)に移送すれば、ウェーハ(A)がキャリ
ア(1)から持ち上げられる時には、ウェーハ(A)は揃えロ
ーラ(30)上に直立した状態で支持されており、ウェーハ
(A)が傾斜していることはないため、ウェーハ(A)が把持
板(25)の溝部(26)の山部(26a)と当接することもなく、
ウェーハ(A)は確実に把持板(25)の溝部(26)内に収納さ
れる。

【００３６】尚、上記実施例は、揃えローラ(30)の凹溝
(31)と凹溝(31)との間を、テーパ面(32)とした例につい
て説明したが、図３に示す如く、凹溝(31)と凹溝(31)と
の間を三角形状をした山形部(33)としてもよい。

【００３７】この実施例では、ウェーハ(A)が収納され
たキャリア(1)の底部に、２本の揃えローラ(30)を平行
状態に配置させる時、揃えローラ(30)とキャリア(1)と
の水平方向の位置関係は、各山形部(33)間に位置する凹
溝(31)が、それぞれ、キャリア(1)に形成した溝部(3)の
中央に位置するように位置決めを行う。

【００３８】後は、図１及び図２に示したのと同様にし
てキャリア(1)内のウェーハ(A)を把持板(25)に移し替え
ればよい。

【００３９】

【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係る揃えロ
ーラは、揃えローラに凹溝とテーパ面或いは山形部を形
成すると共に、揃えローラを昇降自在に支持したから、
ウェーハを収納したキャリアの下方にこの揃えローラを
２本平行配置し、この揃えローラを回転させてウェーハ
を回転させれば、ウェーハは、オリフラ部を下方にして
整列させることができると同時に、揃えローラの各凹溝
の真上にウェーハを位置させることができる。

【００４０】従って、この状態で揃えローラを上昇させ
れば、揃えローラの凹溝内にウェーハのオリフラ部が嵌
り込み、ウェーハが直立した状態でウェーハをキャリア
の上方に持ち上げることができるため、ウェーハを把持
板の溝部内に確実に位置させることができ、ウェーハに
割れや欠けが発生するのを確実に防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る揃えローラとキャリア内のウェー
ハとの位置関係を示す側面図。

【図２】本発明に係る揃えローラとキャリア内のウェー
ハとの位置関係を示す正面図。

【図３】本発明に係る揃えローラの第２の実施例を示す
側面図。

【図４】キャリアを示す斜視図。

【図５】ボートを示す斜視図。

【図６】従来の揃えローラとキャリア内のウェーハとの
位置関係を示す正面図。

【図７】従来の揃えローラとキャリア内のウェーハとの
位置関係を示す側面図。

【符号の説明】

１キャリア３溝部３０揃えローラ３１凹溝３２テーパ面３３山形部ＡウェーハＢオリエンテーションフッラット部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】平行に対向した２枚の側板の内側に、多
数の溝部を定ピッチに刻設し、この溝部内にウェーハの
周縁部を挿入するようにしたキャリアの下方に配置さ
れ、キャリアに挿入されたウェーハをキャリア内で回転
させることにより、オリエンテーションフラット部が下
方となるように整列させる揃えローラに於いて、この揃えローラの外周面円周方向に、キャリア内に形成
される溝部と同数の凹溝を等間隔で形成し、この凹溝の
幅を、ウェーハの厚みと略等しくなるように設定し、揃
えローラ外周面の凹溝と凹溝との間に位置する部分を、
凹溝に向かって傾斜したテーパ面としたことを特徴とす
る揃えローラ。
【請求項２】平行に対向した２枚の側板の内側に、多
数の溝部を定ピッチに刻設し、この溝部内にウェーハの
周縁部を挿入するようにしたキャリアの下方に配置さ
れ、キャリアに挿入されたウェーハをキャリア内で回転
させることにより、オリエンテーションフラット部が下
方となるように整列させる揃えローラに於いて、この揃えローラの外周面円周方向に、キャリア内に形成
される溝部と同数の凹溝を等間隔で形成し、この凹溝の
幅を、ウェーハの厚みと略等しくなるように設定し、揃
えローラ外周面の凹溝と凹溝との間に位置する部分を、
断面三角形状をした山形部としたことを特徴とする揃え
ローラ。
【請求項３】凹溝及びテーパ面或いは凹溝及び山形部
を有する揃えローラを、キャリアからのウェーハ押上げ
部材として作用するように昇降自在に支持したことを特
徴とする請求項１及び２記載の揃えローラ。