KR100286350B1 - 반도체 웨이퍼 분리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 반도체 웨이퍼 분리장치는 블록 받침대(12)의 상측에 웨이퍼 삽입 블록(11)들을 나열설치하고, 그 블록 받침대(12)의 일측에 블록 리프팅 레버(13)들을 나열설치하여, 웨이퍼 삽입 블록(11)에 웨이퍼(W)들을 탑재한 상태에서 다른 롯드의 웨이퍼가 혼입된 것을 발견하는 경우에 해당 블록 리프팅 레버를 이용하여 웨이퍼 삽입 블록을 일정각도로 회동시킨 다음, 작업자가 트위저로 웨이퍼를 인출하게 된다.

Description

반도체 웨이퍼 분리장치{SEMICONDUCTOR WAFER SEPARATOR}

본 발명은 반도체 웨이퍼 분리장치에 관한 것으로, 특히 웨이퍼들을 인출시에 근접한 다른 웨이퍼를 손상시키지 않도록 하는데 적합한 반도체 웨이퍼 분리장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼를 제작시에는 25장 또는 50장 단위로 웨이퍼를 카세트에 담아서 롯드별 작업진행을 하게 되는데, 현상 또는 증착과 같은 작업을 마친 다음에는 카세트에 담겨있는 웨이퍼들을 웨이퍼 분리장치에 장착한 다음 아이디 넘버를 확인하여 다른 롯드의 혼입들을 확인하게 되며, 이와 같이, 다수개의 웨이퍼를 분리시킬 수 있는 웨이퍼 분리장치가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 반도체 웨이퍼 분리장치의 구성을 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 종래 반도체 웨이퍼 분리장치는 측면에 경사면(1a)이 형성되어 있는 고정대(1)와, 그 고정대(1)에 형성된 경사면(1a)에 부착되어 있으며 상면에는 각각 높이차를 두고 웨이퍼를 삽입하기 위한 슬롯(2a)이 형성되어 있는 웨이퍼 지지대(2)로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 반도체 웨이퍼 분리장치는 현상장치 또는 증착장치에서 웨이퍼들을 작업한 다음 카세트로 이송되어지는데, 이와 같이 이송되는 웨이퍼들은 카세트를 고정대(1)의 상측에서 하측으로 이동하면서 도 2와 같이 웨이퍼(W)들이 지지대(2)의 슬롯(2a)에 각각 탑재되도록 한다.

상기와 같은 상태에서 작업자는 웨이퍼(W)에 마킹되어 있는 아이디 넘버(ID NUMBER)를 일률적으로 확인하여 공정 진행중에 롯드번호(LOT NUMBER)가 다른 웨이퍼(W)가 혼입되었는지를 일시에 확인하게 된다.

그리고, 상기와 같이 웨이퍼(W)들을 확인한 결과 다른 롯드의 웨이퍼(W)가 혼입되었음이 확인되면 작업자가 트위저를 집어서 빼내게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래 반도체 웨이퍼 분리장치는 웨이퍼(W)들을 장착한 다음, 웨이퍼(W)들의 아이디 넘버를 확인하여 다른 롯드의 제품이 혼입되어 있는 것이 확인되면 작업자가 트위저로 다른 롯드의 웨이퍼(W)를 빼내는 경우에 트위저가 근접한 다른 웨이퍼(W)에 접촉하여 스크랫치를 유발시켜서 품질저하를 초래하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 탑재되는 웨이퍼들을 개별적으로 일정각도로 움직일 수 있도록 하여 트위저로 이동시 트위저에 근접한 다른 웨이퍼가 접촉되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 반도체 웨이퍼 분리장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 반도체 웨이퍼 분리장치의 구성을 보인 사시도.

도 2는 종래 반도체 웨이퍼 분리장치에 웨이퍼들을 탑재한 상태를 보인 사시도.

도 3은 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치의 구성을 보인 분해사시도.

도 4는 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치의 구성을 보인 평면도.

도 5는 도 4의 A-A'선 단면도.

도 6는 본 발명 웨이퍼 받침 블록의 구조를 보인 사시도.

도 7은 본 발명 블록 받침대의 구조를 보인 사시도.

도 8은 본 발명 블록 리프팅 레버의 구조를 보인 사시도.

도 9는 본 발명의 반도체 웨이퍼 분리장치에서 1장의 웨이퍼를 확인하는 상태를 보인 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 웨이퍼 삽입 블록 11a : 슬롯

12 : 블록 받침대 13 : 블록 리프팅 레버

14 : 블록 위치결정 바 50 : 고정 바

W : 웨이퍼

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 웨이퍼를 삽입하기 위한 슬롯이 상면에 형성되어 있으며 각각 높이가 다른 복수개의 웨이퍼 삽입 블록들과, 그 웨이퍼 삽입 블록들을 높이차를 두고 나열설치하기 위한 블록 받침대와, 그 블록 받침대의 일측에 나열설치되어 웨이퍼 고정 블록을 선택적으로 들어 올리기 위한 복수개의 블록 리프팅 레버들과, 타측에 설치되어 블록 리프팅 레버들이 회동시 이탈을 방지함과 아울러 일정각도로 회전가능하도록 고정시키기 위한 블록 위치결정 바로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 분리장치가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치의 구성을 보인 분해사시도이고, 도 4는 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치의 구성을 보인 평면도이며, 도 5는 도 4의 A-A'선 단면도로서, 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)가 삽입하기 위한 슬롯(11a)이 각각 형성되어 있는 복수개의 웨이퍼 삽입 블록(11)들과, 그 웨이퍼 삽입 블록(11)들을 나열설치하기 위한 블록 받침대(12)와, 그 블록 받침대(12)의 상면 일측에 나열설치되어 있어 웨이퍼 삽입 블록(11)을 선택적으로 들어 올리기 위한 복수개의 블록 리프팅 레버(13)들과, 타측에 설치되어 블록 리프팅 레버(13)에 의하여 회동되는 웨이퍼 삽입 블록(11)이 이탈되지 않도록 고정하기 위한 블록 위치결정 바(14)로 구성되어 있다.

상기 웨이퍼 삽입 블록(11)은 도 6에 도시되어 있는 바와 같이, 일정두께를 갖는 사각형의 수직판상의 몸체(21) 상면에 일정 깊이와 폭으로 웨이퍼(W)를 삽입하기 위한 반원형의 슬롯(22)이 형성되어 있고, 일측 하단부에는 상기 블록 위치 결정 바(14)가 삽입되는 관통홀(23)이 형성되어 있다.

상기 블록 받침대(12)는 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 수평으로 설치되는 몸체(31)의 상면에 상기 웨이퍼 삽입 블록(11)들을 나열설치하기 위한 안착부(32)가 형성되어 있고, 일측에는 등간격으로 일정깊이의 레버 삽입홈(33)들이 형성되어 있다.

상기 블록 리프팅 레버(13)는 도 8에 도시된 바와 같이, 'S'형의 사각봉상으로 되어 있고, 중앙부에 핀홀(41)이 형성되어 있다.

한편, 상기 블록 리프팅 레버(13)에 형성된 핀홀(41)에는 고정바(50)가 삽입되며, 이와 같이 삽입되는 고정 바(50)는 블록 받침대(12)의 측벽에 고정된다.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치의 작용 효과를 설명하면 다음과 같다.

현상장치 또는 증착장치에서 웨이퍼들을 작업한 다음 카세트로 이송하게 되며, 이와 같이 이송되는 웨이퍼들은 본 발명의 웨이퍼 분리장치(60)의 상측에서 하측으로 이동하면서 웨이퍼(W)들이 웨이퍼 삽입 블록(11)에 형성된 슬롯(22)에 각각 삽입되게 되는데, 이와 같이 삽입되는 각각 높이차를 두고 설치된 웨이퍼 삽입 블록(11)에 설치되기 때문에 작업자가 전면에서도 웨이퍼(W)의 플랫 존 주변에 마킹되어 있는 아이디 넘버(ID NUMBER)를 일률적으로 확인하여 공정 진행중에 롯드번호(LOT NUMBER)가 다른 웨이퍼(W)가 혼입되었는지를 일시에 확인하게 된다.

그리고, 상기와 같이 웨이퍼(W)들을 확인하는 중에 다른 롯드의 웨이퍼(W')가 혼입되어 있는 것이 확인되면 작업자가 도 9에서와 같이, 그 해당 웨이퍼 삽입 블록(11)의 하측에 일단부가 설치된 블록 리프팅 레버(13)의 돌출 단부를 오른 손(71)으로 누르게 되는데, 이때 블록 리프팅 레버(13)의 타단부가 웨이퍼 삽입 블록(11)의 일측을 들어 올리게 되고, 이와 같이 들어 올려지는 웨이퍼 삽입 블록(11)은 블록 위치결정 바(14)를 기준으로 일정각도로 회동하게 된다.

상기와 같이 웨이퍼 삽입 블록(11)이 일정각도로 회동하면 그 웨이퍼 삽입 블록(11)에 탑재된 웨이퍼(W')도 일정각도로 회동되어 다른 웨이퍼(W)들 보다 측면으로 어느정도 돌출되는데, 이와 같은 상태에서 작업자가 트위저(72)를 이용하여 왼손(73)으로 돌출된 웨이퍼(W')을 잡아서 꺼내게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명 반도체 웨이퍼 분리장치는 블록 받침대의 상측에 웨이퍼 삽입 블록들을 나열설치하고, 그 블록 받침대의 일측에 블록 리프팅 레버들을 나열설치하여, 웨이퍼 삽입 블록에 웨이퍼들을 탑재한 상태에서 다른 롯드의 웨이퍼가 혼입된 것을 발견하는 경우에 해당 블록 리프팅 레버를 이용하여 웨이퍼 삽입 블록을 일정각도로 회동시킨 다음, 작업자가 트위저로 웨이퍼를 인출하도록 함으로서, 종래와 같이 웨이퍼를 인출하면서 트위저에 근접한 다른 웨이퍼가 접촉되어 스크랫치를 발생시키는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 웨이퍼를 삽입하기 위한 슬롯이 상면에 형성되어 있으며 각각 높이가 다른 복수개의 웨이퍼 삽입 블록들과, 그 웨이퍼 삽입 블록들을 높이차를 두고 나열설치하기 위한 블록 받침대와, 그 블록 받침대의 일측에 나열설치되어 웨이퍼 고정 블록을 선택적으로 들어 올리기 위한 복수개의 블록 리프팅 레버들과, 타측에 설치되어 웨이퍼 삽입 블록들이 회동시 이탈을 방지함과 아울러 일정각도로 회전가능하도록 고정시키기 위한 블록 위치결정 바로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 분리장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 블록 리프팅 레버들은 이탈이 방지됨과 아울러 회동가능하도록 고정 바에 의하여 상기 블록 받침대에 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 분리장치.