JP4590162B2 - 基板ホルダ、積層ボート、半導体製造装置および半導体装置の製造方 - Google Patents
基板ホルダ、積層ボート、半導体製造装置および半導体装置の製造方 Download PDFInfo
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【産業上の利用分野】
本発明は半導体製造装置の基板ホルダ、積層ボート、半導体製造装置および半導体装置の製造方法に関し、詳しくは、各種半導体装置を製造する際に行われる酸化、拡散、CVDなど各種熱処理を、処理時に発生する熱応力とウエーハ自身の自重によって生ずる応力によるスリップ(転位)や、ウエーハと基板ホルダ(ウエーハ保持治具)との接触によって発生するパーティクルやスクラッチなどの障害を、効果的に抑制して行うことができるとともに、上記基板ホルダ上へのウエハの載置および上記ホルダ上からのウエーハの取り出しを、容易に行うことができる半導体製造装置の基板ホルダ、積層ボート、半導体製造装置および半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】
特開平9−251961号公報
【特許文献2】
特開平6−163440号公報
【特許文献3】
特開平10−50626号公報
【特許文献4】
特開平10−237781号公報
半導体装置の形成においては、例えば酸化、拡散およびCVDなど、各種熱処理が行われる。このような熱処理を行うための熱処理装置としては、多数のウエーハ(被処理基板)を、上下方向に適当な間隔でボート内に積層して配置して所要の熱処理を行う、縦型熱処理装置が多く用いられるようになった。この縦型熱処理装置においては、上記多数のウエーハが、内部に所定の間隔で上下方向に積層されたボートを反応管内に配置し、熱処理の目的に応じて選択されたガスを、前記反応管内に流しながら所望加熱手段を用いて加熱を行って、前記ボート内のウエーハに所要熱処理を行うものである。
【0003】
このような縦型熱処理装置用として用いられる従来のボートは、図7に示したように、天板10、底板11およびこれらの天板10と底板11によって保持された支柱12より構成されている。図7に示したように、支柱12には多数の溝13が設けられており、ウエーハ4は、これら多くの支柱12に形成された前記溝13によって保持される。なお、図7においては支柱12の上端部および下端部の近傍に形成された溝のみが示され、他の部分に形成された溝は図示が省略されている。
【0004】
また、前記特許文献1には、前記支柱に設けた溝に傾斜面や曲面を設けること、およびリング状(環状)のサセプタの上に処理すべきウエーハを置くことが提案されており、前記特許文献2、特許文献3および特許文献4には、リング状の基板ホルダの使用が提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、処理すべきウエーハを、ボートの支持柱に設けた溝によって保持する場合は、図8から明らかなように、ウエーハ4を保持するための支柱12に設けられた溝とウエーハ4との接触部分が少ないため(図8の場合は3ケ所)、熱とウエーハ4の自重によって生じた応力を緩和できず、スリップが発生する。また、支柱12に設けられた溝13の鋭角部分がウエーハ4に局所的に接触するため、熱によって軟化されたウエーハにスクラッチが発生した。さらには、保持部の表面粗さが大きいため、その凸部とウエーハとの接触によってスクラッチが発生してしまう。前記溝に傾斜面や曲面を形成しても、溝とウエーハ4との接触部分が少なく、両者の接触面積も小さいため、前記スリップの発生は防止できない。
【0006】
また、前記リング状の基板ホルダ(サセプタ)の使用についても、前記各従来例には、基板ホルダ上へのウエーハの載置や基板ホルダからのウエ−ハの取り出しについては記載がなく、実用化のためにはさらに検討が必要である。
【0007】
本発明の目的は、従来技術の有する前記問題を解決し、高温(800℃以上)の熱処理のプロセスにおいても、スリップ、パーティクルおよびスクラッチの発生を効果的に防止することのできる基板ホルダ、積層ボート、半導体製造装置および半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0008】
本発明の他の目的は、前記リング状の基板ホルダ上へのウエーハの載置や基板ホルダ上からのウエーハの取り出しを、極めて容易、迅速かつ正確に行うことのできる半基板ホルダ、積層ボート、半導体製造装置および半導体装置の製造方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明の基板ホルダは、加熱手段を有する熱処理装置に用いられる基板ホルダであって、積層ボートのボート支柱に支持され、かつ被処理基板を載置する円環状の基板ホルダであって、当該被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつ前記ボート支柱に接する部分が直線状に形成された支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部を有し、前記支持部及び前記接続部をSiCまたは単結晶シリコンまたはポリシリコンを用いて一体型で形成したことを特徴とする。
また、本発明の積層ボートは、加熱手段を有する熱処理装置に用いられる積層ボートであって、被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつボート支柱に接する部分が直線状である支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部からなり、前記支持部及び前記接続部が一体型で形成された円環状の基板ホルダを、前記ボート支柱に複数設け、所定の間隔を介して前記基板ホルダの表面と裏面を対向させることを特徴とする。
また、本発明の半導体製造装置は、被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつボート支柱に接する部分が直線状である支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部からなり、前記支持部及び前記接続部が一体型で形成された円環状の基板ホルダを、前記ボート支柱に複数設け、所定の間隔を介して前記基板ホルダの表面と裏面を対向させる積層ボートと、前記積層ボートが移される反応管と、前記反応管の外側に配置された加熱手段とを有することを特徴とする。
また、本発明の半導体装置の製造方法は、被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつボート支柱に接する部分が直線状である支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部からなり、前記支持部及び前記接続部が一体型で形成された円環状の基板ホルダを、前記ボート支柱に複数設け、所定の間隔を介して前記基板ホルダの表面と裏面を対向させる積層ボートに被処理基板が移された状態で、前記積層ボートを反応管に移し、熱処理を行うことを特徴とする。
【0010】
すなわち、本発明において用いられる基板ホルダは円環状(リング状)であり、このような円環状の基板ホルダを用いることにより、ウエーハ(被処理基板)を支持柱の溝によって直接支持する従来の場合よりも、ウエーハ支持部との接触面積がはるかに大きく、支柱の溝によってウエーハを直接支持した際に生ずる前記問題は効果的に解決される。
【0011】
熱処理の際におけるウエーハの昇降温および熱処理中における高温によって、ウエーハは変形する。しかし、前記のように、円環状の基板ホルダを用いることにより、ウエーハを支持柱の溝に直接保持した場合よりも、ウエーハ保持部の面積がはるかに広くなり、ウエーハが無理なく支持されるため、ウエーハが変形しても、スリップの発生は効果的に防止される。また、基板ホルダが円環状であるため、ヒータからの熱は基板ホルダによって吸収されて、ウエーハ面内の温度差が緩和され、熱処理の均一性が向上する。基板ホルダの外径がウエーハより大きければ、このような効果はさらに大きくなる。
【0012】
しかも、例えば図3に示したように、本発明において用いられる円環状の基板ホルダ1は、表面が高い円弧状の部分である支持部2と、この支持部2の端部に接して形成された円弧状の凹部(支持部2の表面より表面が低い部分)である接続部3を有しており、図1に示したように、前記支持部2の上に処理すべきウエーハ4が載置される。前記接続部3は、ウエーハ移載機のツイーザよりも広い幅を有しており、この接続部3に前記ツイーザを抜き差しさせることによって、前記支持部2上へのウエーハ4の載置、および前記支持部2上からツイーザ上へのウエーハ4の取り出しを、極めて容易に行うことができる。
【0013】
すなわち、処理すべきウエーハを載せたツイーザ(図示されていない)を、図1に示した矢印13の方向に、前記接続部3上を移動させると、前記のように、前記接続部3はツイーザより広い幅を有し、ツイーザが接続部3を通過できるので、ツイーザは基板ホルダ1内に入る。ツイーザ上のウエーハ4が、基板ホルダ1とほぼ同心の位置に到達すると、ツイーザは停止し、その位置でツイーザを下降させる。このようにすれば、基板ホルダ1の高い部分である支持部2によってウエーハ4の縁部が支持されて、基板ホルダ1上に載置され、ウエーハ4はツイーザから分離される。この状態でツイーザを前記矢印13とは逆の方向に動かせば、ウエーハ4は支持部2の上に残り、ツイーザを次の工程に供することができる。
【0014】
基板ホルダ1の支持部2上からウエーハ4を取り出す場合は、まず、ツイーザを前記矢印13の方向に動かして、基板ホルダ1内に入れた後、ツイーザを上昇させる。このようにすれば、ウエーハ4は支持部2の上からツイーザの上に移るから、その状態で、ツイーザを前記矢印13とは逆の方向に動かして、基板ホルダ1の外部へ引き出せば、ウエーハ4はツイーザと共に基板ホルダ1の外部に移される。
【0015】
このように、その上にウエーハ4を載せる支持部2と、ウエーハ移載機のツイーザが通過し得る寸法を持った凹部である接続部3を有する円環状の基板ホルダ1を用いることにより、基板ホルダ1上へのウエーハ4の載置および基板ホルダ1上からのウエーハ4の取り出しを、極めて容易に行うことが可能になった。
【0016】
図1(b)における端部14を拡大して図2に示した。図2に示したように、前記支持部2のウエーハ4との接触面には、ウエーハ中心に向かうように、テーパや曲面を設けることができる。このようにすれば、ウエーハ4の端部が前記接触面と接触するから、基板ホルダ1の鋭角な部分がウエーハ4と接触することはなく、スクラッチが発生する恐れはない。さらに、基板ホルダ1の表面粗さを小さくすることによって、基板ホルダ1の表面のミクロな突起物は極度に減少し、ウエーハ表面におけるスクラッチの発生は防止されて、スクラッチに起因するスリップも抑制される。基板ホルダ1の表面粗さは小さいほど好ましいが、従来の約1/5から1/10程度(Ra0.5〜0.1μm)とすれば、十分に好ましい結果が得られる。
【0017】
複数の前記基板ホルダを、所定の間隔を介して表面と裏面を対向させて積層するようボートの支柱に支持し、前記被処理基板を前記基板ホルダ上にそれぞれ載置した後、前記処理室に収容して、前記被処理基板に所望の処理が行われる。このようにすることによって、基板を支持している基板ホルダが支柱に直接保持されるので、ボートの製作は簡略化され、容易になる。前記支柱に溝を設けて、前記基板ホルダをこの溝に挿入するようにすれば、基板ホルダは極めて容易に支柱に支持される。
【0018】
前記基板ホルダおよび前記支柱としてはSiC、単結晶シリコンまたはポリシリコンを用いて形成することができ、前記支柱に形成された前記溝に基板ホルダを抜き差し可能に配置される。本発明において用いられる円環状の基板ホルダ1は、図1から明らかなように、支持部2と接続部3のみからなる、一体化された極めて簡単な構造を有しているので、SiC、単結晶シリコンまたはポリシリコンを用いても容易に形成できる。これらSiC、単結晶シリコンおよびポリシリコンは、耐熱性および耐薬品性が極めて高く、1,200〜1,300℃でも変形しないというすぐれた性質を有しており、ホルダやボートの材料として好ましいが、その反面、溶接加工が困難であるという問題があるため、複雑な形状のものは製作が困難である。
【0019】
しかし、前記のように、本発明において用いられる円環状の基板ホルダ1の形状は極めてシンプルであるため、SiC、単結晶シリコン、またはポリシリコンによって形成し、ボートの支柱に形成された溝と嵌合させて、基板ホルダ1を溝によって保持することは容易である。これらの材料を比較すると、SiCが単結晶およびポリシリコンより耐熱性および耐薬品性がすぐれており、酸化に対しても充分安定なので、基板ホルダや支柱の材質としてSiCが最も好ましい。
【0020】
従来、基板ホルダを接続可能なように二つに分割して、一方を支柱に熔着させ、その上にウエーハを置いた後、他方を前記一方に接続させることによって、基板ホルダ上にウエーハを載置する方法が提案されている。しかし、SiCは融点が極めて高いため、このような基板ホルダをSiCから形成すると、前記基板ホルダの一方を支柱の所定の位置に、正確にに熔着させることは困難であり、SiCによって基板ホルダを構成するのは困難である。また、熔着ではなく、溝への差し込みによって基板ホルダを保持すると、基板ホルダが二分割されているために脱落し易く、しかも、前記基板ホルダの一方を左右対称に差し込むことは困難である。しかし、本発明における基板ホルダ1においては、高い部分である支持部2と凹部である接続部3は一体化されて形成され、2分割されていないので、基板ホルダを前記溝と嵌合させて支持柱に保持することは極めて容易である。
【0021】
前記支持部2の端部と接して形成された凹部である接続部3は、基板移載器のツイーザが、出入し得る大きさを有している。そのため、処理すべきウエハがその上に戴置されたツイーザは、接続部3を容易に出入りすることができ、基板ホルダ1への処理すべきウエハの出し入れは極めて容易である。
【0022】
前記基板ホルダは、一つ若しくは二つの前記接続部を有することができる。接続部の数が2の場合は、例えば図5に示した位置決め部8、8´を有するツイーザ6を、所定の位置に停止させて、支持部2上へのウエハの戴置が行われる。また、接続部の数が1の場合は、このような位置決め部8´を一つ有しているツイーザ用いることができる。図3および図10に、接続部3の数がそれぞれ2および1である基板ホルダ1を示した。
【0023】
【発明の実施の形態】
実施例1
図1および図3を用いて本発明の一実施例を説明する。図3において、図3(a)は本発明に用いる基板ホルダの一例を示す平面図、図3(b)は正面図、図3(c)は図3(b)におけるD部を示した図、図3(d)は図3(a)におけるA−A断面における上端部の断面形状を示した図である。
【0024】
図3(a)に示したように、本発明においてウエーハ4を保持するための基板ホルダ1は円環状であり、表面が高い部分(厚い部分)である支持部2と、当該支持部2の表面より表面が低い凹部(薄い部分)である接続部3からなっている。前記支持部2の上には処理すべきウエーハ4が置かれ、ウエーハ4の縁部が支持部2によって支持される。接続部3は、ウエーハ移載機のツイーザ(図示されていない)を抜き差しするために設けられたもので、前記ツイーザの幅より大きな幅と、接続部3内にツイーザを挿入し、かつ、挿入されたツイーザを下降させることができる深さを有している。前記基板ホルダ1は、図1に示したように、ボートの有するボート支柱5に形成された段部に挿入されて、ボート支柱5に支持される。
【0025】
本発明においては、ボート支柱に設けられた極めて小面積の段部によって、ウエーハを直接保持していた従来技術とは異なり、長い円弧状の、表面が高い部分である支持部2の上にウエーハ4が保持される。そのため、前記従来技術の場合にくらべて、基板ホルダ1とウエーハ4の接触面積がはるかに大きく、熱とウエーハの自重によって生ずる応力は効果的に防止され、スリップの発生ははるかに少ない。
【0026】
また、本発明に用いられる基板ホルダ1は、ツイーザを出入りさせるための接続部3を有しているため、前記のように、基板ホルダ1上へのウエーハ4の装着および基板ホルダ1上からのウエーハ4の脱離は、極めて容易である。
【0027】
本発明において、基板ホルダ1としては種々な寸法のものを使用することができるが、本実施例では下記寸法の円環状の基板ホルダ1を用いた。すなわち、図3(a)に示したように、基板ホルダ1の支持部2の外径r1は308mm、内径r2は280mm、二つの支持部2は垂直軸に対して互いに対称な位置に配置されており、これら二つの支持部2の中心点に対する角度はそれぞれ126°(水平軸に対して上下対称にそれぞれの角度αは63°)である。基板ホルダ1の外周部分のうち、ボート支柱5に接する部分(図1の場合は4ケ所)には、それぞれ長さw3が55.3mmの直線部分を形成した。そのため両直線部間の距離は303mmとなり、前記直径r1よりわずかに小さい。この直線部分の下端部間の距離r3は294mmであり、この直線部分によって、基板ホルダ1のボート支柱5への装着を、極めて確実に行うことができた。なお、前記ボート支柱5に形成された段部(溝)内に基板ホルダ1を挿入して、前記ボート支柱5に基板ホルダ1を接続するため、基板ホルダ1の支持部2の外縁部は、図2に示したように薄くされている。なお、接続部3の内径は前記支持部2と同じ280mmとした。
【0028】
図3(b)に示したように、前記支持部2の厚さt1は8mm、接続部3の厚さt2は2mmとして、接続部3の深さを6mmとした。なお、図3(c)に示したように、支持部2に接する部分の近傍における接続部3の厚さt3は3mmとした。
【0029】
接続部3の横幅w1はほぼ127mmとした。前記厚さが2mmの部分の幅w2は120mmとし、この部分をツイーザが出入りするようにした。ツイーザの幅は105mm、厚さ2mm程度であるから、前記深さが6mm(厚さ2mm)の部分上を支障なく出入させることができた。さらに、接続部3の上でツイーザを上下に動かし、ツイーザ上のウエーハ4を支持部2の上に残したり、支持部2上のウエーハ4をツイーザ上に移すことも容易であった。基板ホルダ1の材質としてはSiCを使用し、さらにCVDによってSiCを表面上に厚さ約60μm堆積させた。また、基板ホルダ1の各部の表面の平坦度は、±0.05mm程度とした。前記基板ホルダ1の高い部分がウエーハ4と接する部分は、図2(a)、(b)に示したように、曲面または傾斜面とした。
【0030】
次に、このような基板ホルダ1上へのウエーハ(被処理基板)4の装着およびその後に行われる熱処理について、図4および図9を用いて説明する。まず、図4(a)に示したように、カセットケース7内の複数のウエーハ4を、移載機9のツイーザ6上に載せてカセットケース7から引き出す。次に、図4(b)に示したように、移載機9を回転させてウエーハ4をボート15内の基板ホルダ1に向け、さらに図4(c)に示したように、移載機9を直進させて、ボート15内の前記基板ホルダ1の上の位置にウエーハ4を移す。その後、前記のように、ツイーザ6を下げて、ウエーハ4を基板ホルダ1の支持部2の上に移した後、移載機9を前記直進とは逆方向に移動させて、ツイーザ6をボート15から引き出して離す。この工程を繰り返すことによって、多数のウエーハ4をカセットケース7からボート15内の基板ホルダ1の上に移し、所定の熱処理を行うことができた。
【0031】
前記カセットケース7内から取り出されたウエーハ4を、移載機9によってボート15内に搬送した後、図9に示したように、ボート15をガス反応管19内に移し、所定の熱処理を行った。ガス反応管19は、ガス反応管19内の温度分布を向上させるための均熱管17内に配置されており、均熱管17の外側には加熱手段16が配置されて、ガス反応管19内に挿入されたウエーハ4を所定の温度で処理する。前記ガス反応管19は、ガス供給部18を有しており、ガス反応管19内を所定のガス雰囲気に保つ。
【0032】
熱処理終了後、前記ボート15をガス反応管19から出し、さらに基板ホルダ1上からウエーハ4を引き出して、次の処理工程に供した。基板ホルダ1上からウエーハ4をカセットケース7に移すためには、前記ウエーハ4を挿入する場合とは、逆の順で処理を行えばよいことはいうまでもない。
【0033】
前記ウエーハ移載機9が有するツイーザ6の一例を図5に示した。このツイーザ6は、ウエーハ4の位置を規定するための二つの位置決め部(位置規制部)8、8´を有しており、これら二つの位置決め部8、8´の間にウエーハ4が置かれる。二つの位置決め部8、8´はウエーハ4が置かれる部分より高くなっており、ウエーハ4は両位置決め部8、8´の間の低い部分上に置かれる。さらに、一方の位置決め部8´の壁面(ウエーハ4が置かれる部分との境界)は、図5に示したように円弧状になっているため、二つの位置決め部8、8´の間の低い部分上にウエーハ4を置き、ツイーザ6上の所定の位置に載置するのは、極めて容易である。
【0034】
本発明において形成されたボート15の外観の一例を図6に示した。多数の前記円環状の基板ホルダ1が、ボート支柱5に形成された多数の段部によってそれぞれ保持されている。これら多数の基板ホルダ1の上に、前記説明したように、それぞれウエーハが置かれる。なお、図6において、符号10、11は、それぞれ支柱5を固定するための天板および底板を表す。
【0035】
本実施例に示した基板ホルダを用い、直径30cmのシリコンウエーハについて、800℃の熱処理を支障なく行うことができた。
【0036】
実施例2
次に、前記接続部3の数が1である基板ホルダの例について説明する。図3においては、前記のように、円環状の基板ホルダ1に、ツイーザを出入りさせるための接続部3を二つ設けた例を示したが、図10に示したように、接続部3を一つのみとすることもできる。したがって、この場合は、図5に示したツイーザ6とは異なり、位置決め部8´を一つ有しているツイーザを用いることができる。
なお、図10における各記号は、それぞれ図3の場合と同じものを表す。
【0037】
本実施例においても、接続部3の数が2である前記実施例1の場合と同様に、極めて好ましい結果が得られた。
【0038】
実施例3
本実施例は、位置決め部を有するツイーザを用いた例である。本半導体製造装置は、被処理基板を処理する処理室と、被処理基板を載置する環状の基板ホルダと、該基板ホルダが支柱に配置されたボートと、被処理基板を載置するツイーザであって、被処理基板の少なくとも外周の2個所で位置ずれを規制する位置決め部を有するツイーザと、前記基板ホルダには少なくとも前記ツイーザの位置決め部に対応した位置に、前記ツイーザの幅よりも広い幅の凹部である接続部を上面に有し、前記ツイーザに載置された被処理基板を前記基板ホルダへ、または前記基板ホルダに載置された被処理基板を前記ツイーザへ移し替える場合には、前記基板ホルダの凹部である接続部に前記ツイーザが出入するよう動作させることが可能な移載機とを具備していることを特徴としている。
【0039】
このような構成とすることによって、ツイーザの出し入れや被処理基板の処理における、トラブルの減少や歩留まりの向上など、多くの好ましい効果が得られた。
【0040】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、円環状の基板ホルダの、表面が高い円弧状の支持部の上にウエーハが置かれて、所望熱処理が行われる。そのため、支持柱に設けた溝によってウエーハを直接支持した従来の場合よりも、高温度の熱処理とウエーハ自体の重量によって生ずる熱応力は大幅に緩和されてスリップの発生は減少し、また、ウエーハと基板ホルダの接触によるパーテイクルやスクラッチの発生も著しく減少して、歩留まりが向上する。
【0041】
また、本発明においては、円環状の基板ホルダに、ウエーハがその上に置かれる高い部分である支持部と、この支持部に隣接して移載機のツイーザが出入りできる凹部である接続部を設けられており、この接続部を介してツイーザの出入れが行われる。それによって、基板ホルダ上へのウエーハの載置および基板ホルダ上からのウエーハの取り出しを、極めて容易に行うことができる。
【0042】
しかも、円環状の基板ホルダの前記高い部分である支持部と凹部である接続部は、一体化して形成されており、構造が極めて簡単なので、耐熱性と耐薬品性がすぐれたSiCを材質に用いて容易に形成することができ、ボート支持柱の段部に極めて容易かつ確実に嵌合して保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に用いられる円環状の基板ホルダを説明するための図。
【図2】基板ホルダの端部の構造を示す断面図。
【図3】接続部の数が2である円環状基板ホルダの構造を示す図。
【図4】カセット上へのウエーハの移送を説明するための図。
【図5】ツイーザの一例を示す図。
【図6】本発明におけるボートの一例を示す図。
【図7】従来のボートの構造を説明するための図。
【図8】従来のウエーハ支持を説明するための図。
【図9】本発明を用いた熱処理装置を説明するための図。
【図10】接続部の数が1である円環状基板ホルダの例を示す図。
【符号の説明】
1…基板ホルダ、2…支持部、3…接続部、4…ウエーハ、5…ボート支柱、6…ツイーザ、7…カセットケース、8、8´…位置決め部、9…移載機、10…天板、11…底板、12…支柱、13…矢印、14…端部、15…ボート、16…加熱手段、17…均熱管、18…ガス供給部、19…ガス反応管、r1…支持部の外径、r2…基板ホルダの内径、r3…直線部分の下端部間の距離、w1…凹部の幅、w2…厚さ2mmの接続部の幅、w3…直線部分の長さ、t1…支持部の厚さ、t2…厚さ2mmの接続部の深さ、t3…厚さ3mmの接続部の深さ。
Claims (5)
- 加熱手段を有する熱処理装置に用いられる基板ホルダであって、積層ボートのボート支柱に支持され、かつ被処理基板を載置する円環状の基板ホルダであって、当該被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつ前記ボート支柱に接する部分が直線状に形成された支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部を有し、前記支持部及び前記接続部をSiCまたは単結晶シリコンまたはポリシリコンを用いて一体型で形成したことを特徴とする基板ホルダ。
- 加熱手段を有する熱処理装置に用いられる積層ボートであって、被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつボート支柱に接する部分が直線状である支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部からなり、前記支持部及び前記接続部が一体型で形成された円環状の基板ホルダを、前記ボート支柱に複数設け、所定の間隔を介して前記基板ホルダの表面と裏面を対向させることを特徴とする積層ボート。
- 前記支持部及び前記接続部を、SiCまたは単結晶シリコンまたはポリシリコンを用いて形成したことを特徴とする請求項2に記載の積層ボート。
- 被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつボート支柱に接する部分が直線状である支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部からなり、前記支持部及び前記接続部が一体型で形成された円環状の基板ホルダを、前記ボート支柱に複数設け、所定の間隔を介して前記基板ホルダの表面と裏面を対向させる積層ボートと、
前記積層ボートが移される反応管と、
前記反応管の外側に配置された加熱手段と
を有することを特徴とする半導体製造装置。 - 被処理基板の縁部をその上に支持し、被処理基板の外径よりも大きく、かつボート支柱に接する部分が直線状である支持部と、当該支持部が互いに離間する部分に当該支持部の端部に接して設けられた前記支持部の表面より低い表面を有する接続部からなり、前記支持部及び前記接続部が一体型で形成された円環状の基板ホルダを、前記ボート支柱に複数設け、所定の間隔を介して前記基板ホルダの表面と裏面を対向させる積層ボートに被処理基板が移された状態で、
前記積層ボートを反応管に移し、熱処理を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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