JPH10301U - ウェーハホルダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 自動搬送に適したウェーハホルダを提供す
る。 【構成】 ウェーハ２表面にＣＶＤ膜を生成するに際し
てウェーハ２を保持するウェーハホルダ６が、面一のウ
ェーハホルダ本体６ａと、保持されるウェーハ２に沿っ
てウェーハホルダ本体６ａ上に設けられる複数個のつめ
７とを備えている。各つめ７には、ウェーハ２が載置さ
れ且つウェーハ２の周面に当接可能な段差部７ａが設け
られており、該段差部７ａによってウェーハ２をウェー
ハホルダ本体６ａから浮かしてウェーハ２とウェーハホ
ルダ本体６ａとの間にウェーハ搬送アームが挿入可能な
隙間を形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、縦型ＣＶＤ装置を用いてウェーハ表面に低温酸化膜（ＬＴＯ膜）あ るいはリンドープ低温酸化膜等のＣＶＤ膜の生成等のウェーハ処理を行う際に用 いるウェーハホルダに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、ウェーハの表面にポリシリコン膜、窒化膜などのＣＶＤ膜を生成する場 合には、直接、石英製ウェーハボート５上にウェーハ２を装填して行われるが、 ＳｉＨ₄とＯ₂を用いたＬＴＯ膜（生成温度３００〜４００℃）やＰＳＧ膜（ＬＴ Ｏ膜にリンをドープした膜）、あるいはＳｉＨ₄とＮ₂Ｏを用いる高温酸化膜（Ｈ ＴＯ膜、生成温度７００〜８５０℃）、リンドープポリシリコン膜などの生成に おいては、ボートに保持される石英製のウェーハホルダが用いられており、図４ に示したように、ウェーハホルダ１６の上にウェーハ２の裏面が密着して載置さ れて、膜生成が行われる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のウェーハホルダ１６にあっては、ウェーハホルダ１６上 にウェーハ２の裏面が密着しているために、ウェーハ２をウェーハホルダ１６に 装着あるいは脱着する時に、自動搬送を行うのは困難であるという問題がある。 また、ウェーハ２がウェーハホルダ１６上を自由に移動できるので、ウェーハ ホルダ１６が移動する際に、ウェーハが脱落することがあるという問題がある。

【０００４】 本願考案はかかる問題点に鑑みなされたもので、自動搬送に適したウェーハホ ルダを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案のウェーハホルダは、面一のウェーハホル ダ本体と、保持されるウェーハに沿って前記ウェーハホルダ本体上に設けられる 複数個のつめと、を備え、各つめにウェーハが載置され且つウェーハの周面に当 接可能な段差部を設け、該段差部によって、保持されたウェーハをウェーハホル ダ本体から浮かしてウェーハとウェーハホルダ本体との間にウェーハ搬送アーム が挿入可能な隙間を形成することを特徴とする。

【０００６】 また、前記段差部は、ウェーハの裏面と接触する略平坦な平坦面と、ウェーハ の横方向の移動を制限する移動制限面とを有しており、この段差部が載置される ウェーハの中心側を向いているようにするとよい。

【０００７】

【作用】

未処理ウェーハを搬送するウェーハ搬送アームが、ウェーハホルダの上方から 下降して、つめの段差部にウェーハを接触させた後、さらに下降して、ウェーハ とウェーハホルダ本体との間の隙間から脱出することで、ウェーハ搬送アームが ウェーハホルダに接触することなくウェーハを段差部に載置することができる。 また、ウェーハホルダ上に保持された処理済みウェーハに対して、ウェーハ搬送 アームがウェーハとウェーハホルダ本体との間の隙間に挿入して、上昇すること で、ウェーハ搬送アームがウェーハホルダに接触することなくウェーハをウェー ハホルダから取り出して搬送することができる。

【０００８】 また、移動制限面によってウェーハの移動を制限することで、ウェーハホルダ が移動する際に、保持されるウェーハが傾いたり脱落するのを防止し、安定にウ ェーハを保持することができる。

【０００９】

【実施例】

図１は、本考案ウェーハホルダの１実施例を示す斜視図である。この実施例で は、ウェーハホルダ６の面一のウェーハホルダ本体６ａの上には保持されるウェ ーハ２に沿って複数個（本例では４個）のつめ７が設けられている。各つめ７に は、ウェーハホルダ本体６ａよりも上方にあってウェーハ２が載置される段差部 ７ａが形成されている。段差部７ａは、ウェーハ２の裏面と接触する略平坦な平 坦面７ｂと、平坦面７ｂと直交しウェーハ２の周面に当接可能な移動制限面７ｃ とを有しており、この平坦面７ｂと移動制限面７ｃからなる段差部７ａは、載置 されるウェーハ２の中心側を向いている。段差部７ａによってウェーハ２をウェ ーハホルダ本体６ａ面より例えば４ｍｍ程度浮かすことにより、ウェーハ２をウ ェーハホルダ６に装着あるいは脱着する時にはウェーハ２とウェーハホルダ本体 ６ａとの間にウェーハ立替機３のウェーハ搬送アーム４の真空吸着部４ａを挿入 して、ウェーハ２の裏面を吸着して移動を行うことができる。また、複数の移動 制限面７ｃがウェーハ２の周面の回りに間隔をおいて配置されるので、これらの 移動制限面７ｃによってウェーハホルダ６上でのウェーハ２の横方向の移動が制 限されている。

【００１０】 図２は、縦型ＣＶＤ装置を例にとったウェーハ搬送機構の１例を示す斜視図で ある。ウェーハホルダ６は、縦型石英製ウェーハボート５上に約１．１度の角度 をもって保持されており、少なくとも１つ以上のつめ７がウェーハ２を下方から 支持することで、ウェーハ２の脱落を阻止し、また、ウェーハボート５を回転ま たは昇降させた時にウェーハ２が動かないようにすることができる。

【００１１】 未処理のウェーハ２が納められたカセット１は、カセットエレベータ８に載置 されており、ウェーハ立替機３の伸縮及び上下機構を持ったウェーハ搬送アーム ４の真空吸着部４ａ（図３参照）によって、カセット１からウェーハ２が吸着さ れて取り出される。 次いで、ウェーハ立替機３のウェーハ搬送アーム４が、取り出されたウェーハ ２を９０度回転してボート５上に保持されたウェーハホルダ６上に搬送する。ウ ェーハホルダ６上方にウェーハ２がくるとウェーハ搬送アーム４は下降してウェ ーハ２をウェーハホルダ６のつめ７の段差部７ａ上に密着させる。同時に真空吸 着部４ａによる吸着が解除されてウェーハ２は段差部７ａ上に載せられる。ウェ ーハ搬送アーム４は更に下降し、次いで縮まり、ウェーハ２とウェーハホルダ本 体６ａとの間の隙間から脱出し、次のウェーハ２の搬送の準備をする。

【００１２】 ウェーハ搬送アーム４の厚みが２ｍｍ程度有るため、ウェーハ２とウェーハホ ルダ本体６ａとの間の隙間は前記のように４ｍｍ位とすれば、ウェーハ２のウェ ーハホルダ６への装着または脱着の際にウェーハ搬送アーム４が十分、該隙間内 を上下動することができる。 昇降機構１０によってボート５が昇降し、所定数のウェーハ２がボート５に移 載されると、ボート移し替え機構９によって膜生成処理済みのウェーハを載置し たボート５と未処理ウェーハを載置したボート５とを移し替え、未処理ウェーハ を載置したボート５を昇降機構１１により反応管１２内に下方から入れて、ガス インレット１３より反応ガスを供給して反応管１２内でウェーハ表面にＣＶＤ膜 を生成する。

【００１３】 また、膜生成処理が終了すると、上記と逆の手順でウェーハ２をカセット１に 搬送する。 以上のような手順でウェーハ２の自動搬送を行うことができる。 ウェーハホルダ本体６ａ上につめ７が設けられているため、当該ウェーハホル ダ６を用いて後記表１の生成条件下においてＬＴＯ膜を生成した場合には、後記 表２のNo.2に示すようにウェーハ周辺部の膜厚が厚くなり、ウェーハ周辺５ｍｍ 部分の膜厚均一性は±１０％を越えてしまい全体の膜厚均一性は±４〜８％にな る。後記表２のNo.1に示すように、従来のウェーハホルダ１６を用いた場合の全 体の膜厚均一性が±２〜３％と比較して、膜厚均一性が悪くなるものの、ウェー ハ２を自動搬送することができるようになるため、製造コストの低減を図ること ができる。

【００１４】

【表１】

【００１５】

【表２】

【００１６】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、面一のウェーハホルダ本体の上に、保 持されるウェーハに沿って複数個のつめが備えられ、つめの段差部によってウェ ーハをウェーハホルダ本体から浮かしてウェーハとウェーハホルダ本体との間に ウェーハ搬送アームが挿入可能な隙間を形成することとしているので、ウェーハ 搬送アームがウェーハホルダに接触することなく、つめの段差部にウェーハを載 置することができ、逆の動作として、ウェーハ搬送アームが前記隙間に入ってウ ェーハ搬送アームがウェーハホルダに接触することなく、段差部に載置されたウ ェーハを取り出して搬送することができるので、ウェーハの自動搬送が可能にな る。

【００１７】 また、移動制限面によってウェーハの横方向の移動を制限することで、ウェー ハホルダが移動する際に、保持されるウェーハが傾いたり脱落するのを防止し、 安定にウェーハを保持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）はそれぞれ本考案ウェーハホ
ルダの１実施例を示す斜視図及びそのＩＶ−ＩＶ線断面
図である。

【図２】縦型ＣＶＤ装置のウェーハ搬送機構の１例を示
す斜視図である。

【図３】図２に使用するウェーハ搬送アームの斜視図で
ある。

【図４】従来のウェーハホルダを示す側面図である。

【符号の説明】

２ ウェーハ ４ ウェーハ搬送アーム ６ ウェーハホルダ ６ａ ウェーハホルダ本体 ７ つめ ７ａ 段差部 ７ｂ 平坦面 ７ｃ 移動制限面

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハ処理を行うに際してウェーハを
   保持するウェーハホルダにおいて、 面一のウェーハホルダ本体と、保持されるウェーハに沿
   って前記ウェーハホルダ本体上に設けられる複数個のつ
   めと、を備え、 各つめにウェーハが載置され且つウェーハの周面に当接
   可能な段差部を設け、該段差部によって、保持されたウ
   ェーハをウェーハホルダ本体から浮かしてウェーハとウ
   ェーハホルダ本体との間にウェーハ搬送アームが挿入可
   能な隙間を形成することを特徴とするウェーハホルダ。
2. 【請求項２】 前記段差部は、ウェーハの裏面と接触す
   る略平坦な平坦面と、ウェーハの横方向の移動を制限す
   る移動制限面とを有しており、この段差部が載置される
   ウェーハの中心側を向いていることを特徴とする請求項
   １記載のウェーハホルダ。