JPH10500538A

JPH10500538A - ウェハー輸送用のウェハークッション

Info

Publication number: JPH10500538A
Application number: JP9501507A
Authority: JP
Inventors: ニーセス，デイヴィッド・エル
Original assignee: フルオロウェア・インコーポレーテッド
Priority date: 1995-06-06
Filing date: 1996-06-06
Publication date: 1998-01-13
Anticipated expiration: 2016-06-06
Also published as: KR970705172A; JP2003133406A; CN1163675A; KR100254327B1; TW328294U; JP3370680B2; EP0774161A1; EP0774161B1; CN1084049C; WO1996039711A1; DE69635780T2; DE69635780D1; US5816410A

Abstract

(57)【要約】この発明は、半導体ウェハーなどの物体を安全に貯蔵するための輸送用容器である。この輸送用容器は、シールされた状態で二つの端壁へ連結されている二つの側壁を有しており、ウェハーを収容する一般に四角形の領域を内部に形成している。上部カバーと底部カバーが取り外し可能な状態で容器へ取り付けられて、輸送や貯蔵を行うときにウェハーを保護するとともに、処理を行うときにはウェハーへアクセスできるようになっている。ウェハーはクッション部材によってキャリヤの中で位置がしっかりと保持されていて、ウェハーが損傷を受けないようになっている。また、ウェハーは所定の位置にロックされており、ウェハーがキャリヤを擦ってウェハー収容部分に粒子を発生して汚染しないようになっている。カバーの屈曲に適応するためのクッション部材は、ウェハー収容部分の中でウェハーを支持し、懸架するようになっている。クッション部材は上部カバーから延びており、複数のウェハー係合端部を有している。各端部は、キャリヤの中心線に対して凸状の弓形に形成されている。この弓形は、輸送用装置のカバーに最初から設けられた弓形によって形成してもよいし、輸送用装置のカバーから延びる弓形のフィンによって形成してもよい。クッション部材は、ウェハーと係合すると圧縮して、ウェハーを上部カバーから離間しつつウェハーを固定するような構造を有している。クッション部材はフィンの長手方向に沿って、連続したウェハー係合端部を有していてもよいし、各々が個々にウェハーと係合するウェハー係合タブあるいはフィンガに分離されていてもよい。底部カバーにも、ウェハーと係合して底部カバーからウェハーを離間しているクッション部材が設けられている。底部カバーに設けられたクッション部材の構造は、外側へ屈曲してウェハーをロックすることによって、ウェハーが輸送用装置の中で回転しないように設計されている。

Description

【発明の詳細な説明】ウェハー輸送用のウェハークッション本出願は１９９５年６月６日に出願されたウェハー輸送用のウェハークッションという名称の特許出願第08/471,641号の一部継続出願である。発明の背景この発明は、半導体ウェハーやそれと類似した物体を輸送するための容器及びパッケージに関する。半導体ウェハーはその処理において多くの工程をとおる。ウェハーに対しては、様々な機械の中で、また様々な場所においていろんな処理が行われる。必要な処理を行うために、ウェハーを一つの場所から別の場所へと輸送して、ある期間にわたって貯蔵する必要がある。ウェハーを処理し、貯蔵し、輸送するために、従来から多くのタイプの運搬及び輸送用装置が開発されてきている。輸送用装置の重要な構成部材は、衝撃や振動、擦過などによる機械的な損傷からウェハーを保護するためにウェハーにクッションを与えるための部材である。こうした輸送用容器やクッション部材については、米国特許第4,043,451 号、第 4,171,740 号、第4,248,346 号、4,555,024 号、第4,574,950 号、第4,557,382 号、第4,718,549 号、第4,773,488 号、第4,817,779 号、第4,966,284 号、第5, 046,617 号、第5,253,755 号、第5,255,797 号、第5,273,159 号に開示されているように、すでに周知のものである。これらの運搬及び輸送用の装置では、ウェハーと係合しクッションを与えてウェハーを機械的な損傷から保護するための様々な部材がカバーの上に設けられている。しかし、これらの容器は、ウェハーが存在することによる輸送用装置のカバーの本来的な屈曲に適応できるようにはなっていない。運搬及び輸送用の装置に望ましい特徴は、汚染物質が入り込まないようにハーメチックシールあるいはハーメチックシールに近い特性を有する上部カバーを有していることである。ポリプロピレンやＨｙｔｒｅｌ（登録商標）などのような、より屈曲性を有するプラスチックをカバーに使用すればシーリングはより良好になるが、しかし上部カバーの屈曲性が大きくなると個々のウェハーに対する係合が不均一で一定しないようになる。これは、上部カバーがたわむ、すなわち上部カバーの中心部分が端部近辺におけるよりも外側へ大きく屈曲するからである。これまでカバーの屈曲に関する問題の方策としては、外側リブを追加したり、上部カバーの構造を変更したり、より堅固な材料を使用したりすることによって上部カバーのたわみを防止することが行われてきた。発明の概要この発明は、半導体ウェハーなどの物体を安全に貯蔵するための輸送用容器である。この輸送用容器は、シールされた状態で二つの端壁へ連結されている二つの側壁を有しており、ウェハーを収容する一般に四角形の領域を内部に形成している。上部カバーと底部カバーが取り外し可能な状態で容器へ取り付けられて、輸送や貯蔵を行うときにウェハーを保護するとともに、処理を行うときにはウェハーへアクセスできるようになっている。ウェハーは、カバーの屈曲に適応するためのクッション部材によってキャリヤの中で定位置に保持されていて、ウェハーが損傷を受けないようになっている。また、ウェハーは所定の位置にロックされており、ウェハーがキャリヤを擦ってウェハー収容部分に粒子を発生して汚染しないようになっている。カバーの屈曲に適応するためのクッション部材は、カバーの屈曲を利用することによって、ウェハー収容部分の中でウェハーを支持し、懸架するようになっている。このクッション部材は上部カバー内の構造体を有しており、容器内部へ延びる複数のウェハー係合部を有している。ウェハー係合部の各々は、キャリヤの中心線に対して凸状の弓形に配置された端部を有している。この弓形は、輸送用装置のカバーの最初の弓形によって形成してもよいし、輸送用装置のカバーから延びる弓形のフィンによって形成してもよい。クッション部材はウェハーと係合すると圧縮して、ウェハーを上部カバーから離間しつつ固定するような構造を有している。クッション部材はフィンの長手方向に沿って設けられた連続したウェハー係合端部を有していてもよいし、各々が個々にウェハーと係合するウェハー係合タブあるいはフィンガに分離されていてもよい。底部カバーにも、ウェハーと係合して底部カバーからウェハーを離間するクッション部材が設けられている。底部カバーに設けられたクッション部材の構造は、外側へ屈曲してウェハーをロックすることによって、ウェハーが輸送用装置の中で回転しないようにする設計になっている。この発明の目的は、上部カバーにおいてほぼハーメチックシールに近いシールを有し、またカバーの屈曲に適応するためのクッション部材を有する輸送用容器であって、容器のカバーの屈曲性を利用して半導体ウェハーを安全に貯蔵し輸送することによって、ウェハーの損傷あるいは汚染の可能性を最小限に抑える輸送用容器を提供することにある。この発明の特徴は、側壁及び端壁と、上壁を形成する取り外し可能な上部カバーと、底壁を形成する取り外し可能な底部カバーとを有する容器である。ウェハー分離用のリブが側壁に配置されており、ウェハーを互いに離間した状態で保持するようになっている。この発明の別の特徴は、上部カバーに設けられたクッション部材である。このクッション部材は複数のフィンを有している。フィンは上部カバーに沿って長手方向に配置されており、ウェハー収容部分の中へ半径方向に延びている。この発明の別の特徴は、各フィンがその長手方向に沿って設けられた連続したウェハー係合端部を有していることである。この発明の別の特徴は、各フィンが、分離した状態で延びている複数のクッション用タブの列からなっており、隣接するタブの各対の間にはスロットが設けられて、不連続なウェハー係合端部を形成しており、このウェハー係合端部はキャリヤの中心線に対してほぼ凸状の弓形になっている。クッション用タブの各々がウェハー係合端部を有している。この発明の別の特徴は、上部カバーに設けられた各フィンの構造である。この構造は、ウェハー係合部においてウェハーの半径方向に弾性的にへこむように設計されている。この発明の別の特徴は、ウェハー係合端部を有する、底部カバーに設けられた第２のクッション部材である。この底部カバーに設けられたクッション部材は、ウェハーを支持しウェハーを底部カバーから離間する一方で、ウェハーの重量による底部カバーの屈曲に適応するようになっている。この発明の別の特徴は、上部カバーあるいは底部カバーのクッション部材がフィンあるいは係合部材の列などの構造を有していることであり、この構造は容器の端部においてより圧縮しやすいように、そして容器の中央部分で圧縮しにくいように設計されており、輸送用装置のカバーの屈曲に適応し、これを利用するようになっている。この発明の別の特徴は、上部カバーの上にフィンを配置することによって、ウェハーのクッション効果を最大限に大きくしていることである。上部カバーの中央部分に沿って上部フィンが配置されている。この発明の別の特徴は、フィンがカバーと一体に形成されていて、製造コストを最小限に抑えていることである。この発明の別の特徴は、ウェハーと係合したときに、タブの間のスロットによって各タブが個々に屈曲できるようになっており、一つのタブの屈曲が他のタブがそれぞれのウェハーに対して行う整列や係合に影響を及ぼさないようにできることである。この発明の別の特徴は、各フィンがカバーの内側を長手方向に延びるビードの形を有していることである。この発明の別の特徴は、フィンあるいは係合部の端部がポイント、ビード、あるいは平坦な面からなる形状を有していることである。この発明の別の特徴は、ウェハー係合端部がキャリヤの中心線から半径方向に或る距離だけ離間していることである。この半径方向距離は、フィンの中央部分から、端壁と隣接するフィン部分まで徐々に増大している。この発明の別の特徴は、底部カバーに設けられたクッション部材が底部カバーに沿って長手方向に延びる一対のフィンの形を有していることである。底部カバーに設けられた各フィンの構造は、弾性的に屈曲することによってウェハーを所定の位置にロックしウェハーの回転を制限するように設計されている。この発明の別の特徴は、底部カバーに設けられたクッション部材のウェハー係合端部がキャリヤの中心線の方へ向いた凸状の弓形を有していることである。図面の簡単な説明図１はプラスチック製の輸送用容器の斜視図である。図２は、三つの主要な部材を示すために分解した状態で示した輸送用容器の斜視図である。図３は、図１で３−３線で表されている破断線における輸送用容器の断面図であり、図３において鎖線で表されている中心線における断面であり、特にタブと正面視を示している。図３Ａは、図１で３−３線で表されている破断線における輸送用容器の断面図であり、特に上部カバーにおけるフィンの半径方向の整列状態を示している。図４は図２のほぼ４−４線に沿う拡大詳細断面図である。図５は図１４のほぼ５−５線に沿う断面図である。図５Ａは図１４のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェハークッション部材の別の実施の形態を示している。図５Ｂは図１４のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェハークッション部材の別の実施の形態を示している。図５Ｃは図１４のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェハークッション部材の別の実施の形態を示している。図５Ｄは図１４のほぼ５−５線に沿う断面図であり、ウェハークッション部材の別の実施の形態を示している。図６は図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図である。図６Ａは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であり、フィンのビード形状を示している。図６Ｂは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であり、ナイフ形状を有するウェハー係合端部を示している。図６Ｃは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であり、平坦なウェハー係合端部を示している。図６Ｄは図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であり、丸いウェハー係合端部を示している。図７は図５のほぼ６−６線に沿う拡大詳細断面図であり、屈曲してウェハーと係合しているタブを示している。図８は図２のほぼ８−８線に沿う断面図である。図９は図８のほぼ９−９線に沿う拡大詳細断面図である。図１０は上部カバーに設けられたウェハークッション部材がウェハーと係合して、半径方向に押しつぶされた状態を示す斜視図である。図１１は図５Ｄのほぼ１１−１１線から見た斜視図である。図１２は、底部カバーに設けられたウェハークッション部材がウェハーと係合して、外側へ屈曲している状態を示す斜視図である。図１３はウェハーが水平に向いた状態で受け入れる入口を側部に有する輸送用容器の正面図である。図１４は上部カバーの斜視図である。好ましい実施の形態の詳細な説明図１及び図２を参照するとわかるように、輸送用の容器は参照番号１５によって全体を示されており、ウェハーキャリヤ１６と、上部カバー１７と、底部カバー１８とを有している。ウェハーキャリヤ１６はポリカーボネートのようなほぼ剛性で透明なプラスチック材料から成形されていることが好ましいが、ウェハーキャリヤはそれに匹敵する、あるいは同等な他のプラスチックから成形されていてもよい。上部カバー１７と底部カバー１８はともに、デュポン（ＤｕＰｏｎｔ）の登録商標であるＨｙｔｒｅｌという商標で知られている熱可塑性エラストマなどのかなり硬い、しかし弾性的で屈曲性を有するプラスチック材料から成形されている。底部カバー１８は容器１５の底壁を形成している。Ｈｙｔｒｅｌ熱可塑性エラストマは、そのすべてのグレードにおいて、ブロックコポリマであり、ポリブチレンテレフタレートからなる硬い（結晶性の）部分と、長鎖ポリエーテルグリコールをベースとした軟らかい（アモルファス性の）部分からなっている。上部カバー及び底部カバーに使用されるある特定の材料は、45から55から63の範囲のデュロメータＤの硬さを有する。この材料は弾性を有しており、表面に粘着部分を有していて、把持性ができる限り大きくなり、材料のクリープが最小限に抑えられ、大きな摩耗耐久性を有するようになっている。さらに、上部カバー及び底部カバーの硬いが、しかし弾性的で屈曲性を有する材料は、多くの工業化学薬品や油、溶剤による劣化に対して耐久性を有している。ウェハーキャリヤ１６は周囲を囲む四つの壁、すなわち側壁１９、２０と、端壁２１、２２を有している。側壁１９、２０と端壁２１、２２は互いに一体に成形されており、プラスチック製のウェハーキャリヤ１５は一部材になっている。側壁及び端壁の上端１９．１、２０．１、２１．１、２２．１は互いにほぼ直線的に配置されており、一つの平面内に位置していて、キャリヤの上部開口部２３を形成している。上部開口部２３は、ウェハーキャリヤ１５の中へウェハーＷを装填したりウェハーキャリヤ１５からウェハーを取り出したりするのを容易にしている。ウェハーＷは、半導体製造あるいはディスクプラッタ(disk platter)などの磁気メモリ蓄積システムにおいて使用されているタイプのものである。図２及び図３を参照するとわかるように、側壁１９、２０は一体に形成された直立状の多数の歯あるいはリブ２４、２５を有している。リブ２４、２５は、その間に半導体ウェハーＷを互いに離間した状態で受容し保持するためのポケットあるいはスロット２５．１を形成している。側壁１９、２０を形成する透明のポリカーボネートは、目で容易にウェハーの存在や場所を知ることができるようにしている。側壁１９、２０は丸いオフセット部２６、２７も有している。オフセット部２６、２７はその中に収納されるウェハーＷの形状にほぼ適合した形状を有している。オフセット部は、ウェハーＷを互いに離間した状態で、また互いに静止した状態で保持するためのウェハー分離用の脚２８、２９も有している。側壁１９、２０は下方へ延びる平行なフットパネル３０、３１も有している。フットパネル３０、３１は側壁１９、２０の下端３２、３３をそれぞれ形成している。端壁２１、２２は両方ともほぼ平坦あるいは平面状である。端壁２１、２２は側壁１９、２０の下端３２、３３とほぼ同じ平面内の下端３４、３５を有している。側壁と端壁の相互に連結された下端３２、３３、３４、３５は互いに協働して、フットパネル３０、３１の間にキャリヤの底部開口部３６を形成しており、キャリヤ１６の底部からウェハーＷにアクセスできるようになっている。側壁１９、２０は外側へ突き出したタブ３７、３８を有している。タブ３７、３８は側壁の上端１９．１、２０．１と一体に成形されている。タブ３７は細長い形状を有しており、図１に示されているように側壁の両端の間のほぼ中央を側壁に沿って長手方向に延びている。側壁１９は下側にタブ３９を有し、側壁２０も下側にタブ（図示しない）を有している。これらの下側タブは側壁の下端３２、３３から、さらに詳しくはそのフットパネル３０、３１から外側へ突き出している。側壁２０の下側タブは側壁１９のタブ３９と鏡像の関係にある。側壁の上端１９．１、２０．１と、端壁の上端２１．１、２２．１は、側壁１９、２０と端壁２１、２２に、拡張されかつ外側に広がる上側のリム部４１、４２及びリム部４３、４４をそれぞれ形成している。拡張された上側のリム部４１〜４４は互いに連結されており、キャリヤ１６の全周のまわり、すなわち側壁と端壁の両方に沿って延びるリム部を形成している。周辺部を延びるリム部４１〜４４はほぼ一つの平面内に位置している。側壁１９、２０と端壁２１、２２には、拡張されかつ外側に広がる下側のリム部４５、４６、４７、４８もそれぞれ形成されている。下側のリム部４５〜４８は互いに連結されており、キャリヤ１６の全周のまわりに下側リム部を形成している。これらの下側リム部はほぼ一つの平面内に位置している。フットパネル３０、３１の各々にはインデックス用ノッチ４９が形成されている。このノッチは処理機械のインデックス用のリブあるいは媒体と協働して、この処理機械の中でウェハーキャリヤ１６を正確に位置付けする。側壁１９、２０のフットパネル３０、３１に設けられた二つの下側のリム部４５、４６は部分５０において上方へ外れており、インデックス用ノッチ４９の上を通過している。図２に示されている部分５０の形状は、インデックス用ノッチ４９の上を通過し下側のリム部４５、４６のほぼ長さ全体にわたって延びる弓形によって形成されている。端壁２１、２２のすべての部分はほぼ均一な高さであり、側壁１９、２０と同じ高さであることがわかろう。端壁２２は広い間隔で離間された一対のサポートバー５１、５２を有している。サポートバー５１、５２は端壁２２と一体に形成されており、端壁２２の上端２２．１及び下端３５に近いところへ延びている。サポートバー５１は同じ平面内に位置する外側端部５３を有している。外側端部５３は処理機械の平面上に位置しており、ウェハーキャリヤ及びウェハーをその処理機械の他の装置に対して正確に位置付けできるようになっている。端壁２２はそれと一体に形成されているインデックス用クロスバー５４も有している。インデックス用クロスバーは”Ｈバー”とも称されるものであり、サポートバー５１、５２と直角に延びている。インデックス用クロスバー５４は、処理機械の中でその位置付け用機構と協働することによってウェハーキャリヤ１６を処理機械の中で正確に位置付けする。図面においてはクロスバー５４はサポートバー５１、５２まで完全に延びているように描かれているが、サポートバーの間で端壁２２の一部にしか延びていないようになっていてもよい。両方の端壁２１、２２とも側壁１９、２０の高さと等しい完全な高さを有していることに特に注目されたい。側壁と同様に端壁２１、２２は拡張された上側及び下側のリム部を有している。これらのリム部はキャリヤ１６の全周のまわりを延びている。特に、端壁２２はパネル部５５、５６を有している。パネル部５５、５６は、それぞれインデックス用クロスバー５４から、拡張された上側のリム部４４まで上へ延びており、インデックス用クロスバー５４から、拡張された下側のリム部４８まで下へ延びている。パネル部５５、５６の両方とも、端壁２２と一体に形成されているサポートバー５１、５２の間のスペース全体を満たしている。上部カバー１７及び底部カバー１８は、キャリヤの上部及び下部へ押し当てられてそれぞれ上部開口部２３及び底部開口部３６を閉じると、キャリヤに対してほぼハーメチックシールに近いシールを実現する。こうして、ウェハーＷが貯蔵されているキャリヤの開口した内部５７に空気や湿気、汚染粒子が出入りしないようになる。さらに、上部カバー１７と底部カバー１８の両方ともがかなり硬い、しかし弾性的で屈曲性を有するプラスチック材料から形成、あるいは成形されているために、これら上部カバー１７及び底部カバー１８はそこから取り外すときに若干屈曲する。従って、まず、カバーの一つのコーナをキャリヤから持ち上げ、次にカバーの残りをキャリヤから順々に外すことによってカバーをキャリヤから引き剥す。上部カバー１７は部分円筒形状を有する保持部あるいはパネル５８を有している。パネル５８は容器１５の中に収容されるウェハーＷの端部の形状とほぼ同じ曲率を有している。容器のある実施の形態においては、ウェハーは約８インチ(2 0.3 ｃｍ)の直径を有し、パネル５８の曲率はこうした寸法のパネルの端部の曲率とほぼ同じである。容器１５は、容器を適当な寸法に製造することによって、６インチ（15ｃｍ）、１２インチ(30ｃｍ)、あるいはそれ以上のウェハーにも適用できる。部分円筒形状を有するパネル５８は凸状の内側表面５９を有しており、内側表面５９はウェハーキャリヤの開口した内部５７に対向している。上部カバー１７はほぼ平坦で平面状の側端部６１、６２、６３、６４も有している。キャリヤの側壁１９、２０に隣接する側端部６Ｌ６２はカバーに弾性を与えており、キャリヤの端壁２１、２２に隣接する端部６３、６４よりもかなり広くなっている。側端部６１〜６４はキャリヤの上端１９．１、２０．１、２１．１、２２．１の上に直接載っており、キャリヤと上部カバーとの間のほぼハーメチックシールに近いシールの維持に寄与している。次に図５を参照するとわかるように、上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０は多数のフィン１３１を有している。各フィンは不連続なウェハー係合端部１０４を有している。ウェハー係合端部１０４は、部分円筒形状を有する内側表面５９に沿って長手方向に延びる弾性的で屈曲性を有するタブ１０２の列１００からなっている。図５に示されているように、列１００は上部カバー１７に沿って長手方向にまたパネル５の長手方向に延びており、ウェハーＷの各々の上へウェハー係合端部１０４で係合している。列１００は互いに離間している。中央の列１００は上部カバーの中央に取り付けられている。列１００の間隔は、ウェハーＷの層に適応している。タブ１０２の列１００の各々は二つの端部１０６と中央部分１０８を有している。各列１００はほぼ直線的であり、内側表面５９に沿ってパネル５８へ取り付けられている。各列１００の外側端部は全体が参照番号１０３によって表されており、その形状は隣接するタブ１０２のウェハー係合端部１０４によって形成されている。図３Ａを参照するとわかるように、各フィン１３１は容器１５の開口した内部５７の中心線１３４の方へ向けて半径方向に突き出していて、ウェハーＷ（アウトラインが示されている）と係合している。各フィン１３１は各ウェハーＷと係合し、構造的に屈曲してウェハーを支持し、各ウェハーとパネル５８の間を離間した状態に維持する（図７及び図１０も参照されたい）。図５のタブ１０２で示されているように、フィン１３１は弾性的に屈曲できて曲がり（図７を参照のこと）、あるいはあまり屈曲せずにウェハーＷと係合したところでタブの軸Ａに沿って軸方向に圧縮される（図１０を参照のこと）ことを理解されたい。タブ１０２は即座に元の形状を取り戻し、ウェハーＷとの接触を維持し、上部カバー１７の屈曲に適応して、輸送及び貯蔵のときにウェハーにクッションを与える。図５を参照するとわかるように、タブ１０２はほぼ四角形であり、容器の内部５７の中へ延びる方向に幅を有している。各タブ１０２は列１００に沿って延びる方向に長さを有しており、隣接するタブ１０２からはスロット１０５によって離間されている。列１００に沿った各タブ１０２の長さはスロット１０５によって限定されており（図４も参照のこと）、各タブがウェハー係合端部１０４の接触部１３２で一つのウェハーと係合できるように設定されている。スロット１０５が設けられているために、各タブ１０２は隣接するタブ１０２とは独立にウェハーＷと係合することができる。ウェハー係合端部１０４はカバー５８から離間されており、容器１５の中に収容されているウェハーＷと係合しクッションを与える。続けて図５を参照する。パネル５８からウェハー係合端部１０４まで測ったタブ１０２の幅は、列１００に沿って順々に増減する。中央部分１０８におけるタブ１０２は、一般に端部１０６に設けられたタブ１０２よりも広い。列の中央部分１０８のタブ１０２は約0.1 インチ（0.254 ｃｍ）の幅である。端部１０６に設けられたタブ１０２は約0.05インチ(0.127ｃｍ)の幅である。これらの値は列の中央部分１０８と端部１０６に沿ったタブの相対的な幅の例を示すためのものであり、この発明の範囲を制限するものではない。続けて図５を参照する。列の中央部分１０８に沿って配置されたタブ１０２をもっと広くして、上部カバー１７が、容器１５の中のウェハーの重量とウェハーＷを押し付けるタブ１０２の拘束力で屈曲し曲がるようにすることが可能である。列の中央部分１０８に広いタブ１０２が配置されているために、独立したウェハー係合端部１０４によって各ウェハーＷとの接触を維持しつつ、上部カバー１７が屈曲可能になる。ある条件のもとでは、タブ１０２の幅を列１００に沿って中央部分１０８から各端部１０６まで非直線的に増大させることが必要かもしれない。図３Ａを参照するとわかるように、容器１５の中心線１３４に対する各フィン１３１の外側端部１０３の形状は、上部カバー１７が屈曲するとき各ウェハーＷの接触を維持するために非常に重要である。各フィン１３１は半径１５０のまわりに対称に形成されている。各フィン１３１に沿った外側端部１０３は、容器１５の中心線１３４に対して凸状の弓形を形成している。この弓形は半径距離１３６によって限定されている。半径距離１３６は、容器１５の中心線１３４から各フィン１３１のウェハー係合端部１０４までの距離である。ウェハーは容器１５の中心線に位置合わせされることに留意すべきである。従って、ウェハーの半径は容器１５の中心線１３４と位置合わせされる。半径距離１３６は各フィンの中央部分１０８（図５参照）に近接する箇所から、各フィン１３１の各端部１０６（図５参照）に隣接する大きな半径距離１３６のところまで徐々に増大する。図５に示されているように、上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０は外側端部１０３を有している。外側端部１０３の形状は、列１００に沿った隣接するタブ１０２のウェハー係合端部１０４によって限定されている。タブ１０２は図５に示されているような一般的なフィンに似たベースを有している。図５Ａを参照するとわかるように、上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０は、容器１５の中心線１３４に対するパネル５８の凸状の弓形を有しており、この凸状の弓形は列１００の外側端部１０３に沿って形成されている。この実施の形態においては、各タブ１０２はほぼ同じ幅を有している。タブ１０２は、図５に示されている一般的なフィンに似たベースが設けられておらず、それぞれがパネル５９から延びている。図５Ａ、図５Ｂ、図５Ｃにおける点線はウェハーと係合したときのパネル５８の部分を示している。図５及び図５Ａを参照するとわかるように、各タブ１０２は列１００に沿った隣接するタブ１０２とは、スロット１０５によって離間されている。スロット１０５と、それと隣接するタブのウェハー係合端部１０４は、各列１００に沿った不連続な弓形の外側端部１０３を形成している。図３Ａを参照する。タブ１０２からなる複数の列１００は内側表面５９に沿って上部カバー１７を横切るように配置されている。一つの列１００が側壁１９、２０の間で内側表面５９に沿って中央に配置されている。タブ１０２の列１００は、中央の列１００と、上部カバー１７の側端部６１、６２の間にも配置されている。図６及び図７に示されているように、フィン１３１を上部カバー１７と一体に成形することによって製造コストを最小限に抑えている。図５に示されているように、対応するタブの一組が参照番号１０２によって表されている。対応するタブ１０２の各組は、特定のウェハーＷと係合しこれにクッションを与える。列１００の各々におけるタブ１０２の相対的な幅は、様々に異なる形を有する上部カバー１７や、上部カバー１７の様々な屈曲量に適応するために、列によって異なっている。パネル５８に沿って中央に配置されている列１００は、中央の列１００と側端部６１、６２との間に配置されている列１００の対応するタブよりも短くなっており、ウェハーＷの半径や円筒形状の内側表面５９の半径における違いに適応できるようになっている。図５Ｂ及び図５Ｃを参照する。上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０は、パネル５８の内側表面５９から延びる連続したストリップ１３８からなる複数のフィン１３１を有している。連続したストリップ１３８は、容器１５の中心線１３４（図３Ａを参照のこと）から半径方向距離１３６だけ離間したウェハー係合端部１０４を有しており、上述したように凸状の弓形を有している。この凸状の弓形は、ウェハーＷがクッション部材に当接しそれを外側へ押し付けることによる上部カバー１７の屈曲に適応することができる。図５Ｂに示されているように、パネル５８はフィン１３１のベースに沿って円筒形状を有している。この円筒形状は、容器１５の中心線１３４にほぼ平行である（図３Ａ参照）。フィン１３１の幅は中央部分１０８から端部１０６まで徐々に減少していて、容器１５の中心線１３４（図３Ａを参照のこと）に対して、外側端部１０３の凸状の弓形を形成している。図５Ｃに示されているように、上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０は、第１の屈曲していない状態においては容器１５の中心線１３４（図３Ａ参照）に対して凸状の弓形を有するように形成されたパネル５８を有している。図５Ｃにアウトラインで示したように、容器１５にウェハーＷが装填されて第２の屈曲した状態にあるときには、パネル５８は中心線１３４（図３Ａ参照）にほぼ平行である。図５Ｄを参照する。上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０は、中心線１３４（この図面には示されていない）とほぼ平行に形成されたフィン１３１及びパネル５８を有している。この実施の形態においては、上部カバー１７の屈曲には、中央部分１０８から端部１０６までフィン１３１の構造を変えることによって適応している。この実施の形態においては、フィン１３１の圧縮性は、フィン１３１の構造あるいは厚みを変えることによって変更することができる。クッション部材１３０を上部カバー１７の屈曲に適応させるためにパネル５８の厚みも変えている。パネル５８の厚みは、各フィン１３１の中央部分１０８に隣接するところから、各フィン１３１のそれぞれの端部１０６に隣接する厚みの薄いところまで徐々に小さくなっている。図１０を参照するとわかるように、上部カバー１７のフィン１３１は軸方向に圧縮して、ウェハー係合部１３２においてウェハーＷと係合する。図１１に示されているように、フィン１３１の厚みは、フィン１３１の中央部分１０８に沿った厚いところから、フィン１３１のそれぞれの端部１０６に沿った薄いところまで変化している。フィン１３１の長手方向に沿ったフィン１３１の圧縮性は、構造を変形Ｉビームに変更したり材料を段階的に取り除くことによって変えることができる。フィン１３１に沿った圧縮性を変えることによる、上部カバー１７の屈曲に対する構造的な適応は、フィン１３１が連続したストリップ１３８であるかタブ１０２の列１００であるかに関係なくおこなうことができる。図６を参照する。フィン１３１の断面はテーパ状の形状を有している。このフィンはパネル５８の内側表面５９に隣接するところは厚く、内側表面５９から離れると薄くなっている。フィン１３１は、中心線１３４（図３Ａ参照）から延びている容器１５の半径１５０に沿って内側へ向いている。図６Ａを参照する。フィン１３１は断面がビード形状１４０を有している。ビード形状１４０は半径１５０（図３Ａ参照）に沿って対称になっている。ビード形状１４０は曲面１４２として示されているウェハー係合端部１０４を有している。図６Ｂを参照する。フィン１３１は、ウェハー係合端部１０４に鋭いナイフエッジ１４４を有している。図６Ｃを参照する。ウェハー係合端部１０４はフィン１３１の端部に設けられた平坦な表面１４６である。表面１４６は半径１５０（図３Ａ参照）に沿って容器１５の中の方へ半径方向内側を向いている。フィン１３１は半径１５０（図３Ａ参照）のまわりに対称であり、平坦な表面１４６は一般に半径１５０（図３Ａ参照）に直角であり、フィン１３１がウェハーの半径方向で押しつぶされるのに適応し、ウェハーＷと弾性的に係合して支持する。図６Ｄを参照する。ウェハー係合部材１０４は、パネル５８の内側表面５９から離間した丸い端部１４２として示されている。フィン１３１は半径１５０（図３Ａ参照）のまわりに対称に形成されている。上部カバー１７はパネル５８に形成された多数の変形部あるいは積み重ね用オフセット６５も有しており、容器を積み重ねやすくなっている。上部カバー１７は上部カバーの全周にわたって延びる拡張された上部カバーリム部も有している。さらに詳しく説明すると、上部カバーは内側へ突き出した拡張された上部カバーリム部６６、６７と、拡張された上部カバーリム部６８、６９を有している。上部カバーリム部６６、６７は上部カバーの側端部６１、６２に沿って延びている。上部カバーリム部６８、６９は端部６３、６４に沿って延びている。上部カバー１７をキャリヤ１６に取り付けたとき、リム部６６〜６９はキャリヤ１６のリム部４１〜４４とほぼハーメチックシールに近いシール状態で係合し、これを取り囲む。上部カバー１７のリム部６６〜６９と、キャリヤのリム部４１〜４４はスナップフィットして、上部カバー１７をキャリヤ１６の上へ固定する。相互に係合したカバーのリム部６６〜６９とキャリヤ１６のリム部４１〜４４は、上部カバー１７をキャリヤ１６の上へ固定するための唯一の手段を提供している。すなわち、上部カバー１７をキャリヤ１６の上に保持するために他のラッチ装置は用いられていない。上部カバー１７は一対のタブ７０、７１も有している。タブ７０、７１はリム部６７から外側へ延びており、リム部６７及び上部カバーの端部に隣接する側端部６２に沿って長手方向に延びている。タブ７０、７１はキャリヤ１６に設けられた隣接するタブ３８に対して位置がずれている。タブ７０、７１はキャリヤ１６の上で上部カバー１８を閉じる動作を完了するのに有用である。上部カバーを取り付ける最終段階においてタブ７０、７１をキャリヤのタブ３８の方へ手で絞って、底部カバーの取り付けの完了を確認し、スナップフィットが完了したことを確認する。上部カバー１７は、対称に配置されたリム部６６も有している。容器１６を使用する技術者は上部カバー１７を取り付けたり取り外したりするのに様々な手順を工夫するであろうが、まず上部カバー１７を側壁及び端壁の上端の上へ設置するとよいことがわかっている。上部カバーの二つのコーナを、人の手のひらか、あるいは手の付け根を用いて側壁及び端壁のリム部の上へまず押さえつける。次に、上部カバーのリム部６６〜６９全体が、隣接するキャリヤのリム部４１〜４４の上でスナップフィットを完了するまで、上部カバーの側端部６１、６２をキャリヤの側壁のリム部４１、４２の上へ順々に押さえつける。上部カバー１７を取り外すには、隣接するリム部６７、６９などのコーナ部分を持ち上げて隣接するキャリヤのリム部４２、４４から外し、上部カバーのコーナ部分を上方へ屈曲させる。上部カバーがキャリヤのすべてのリム部４１〜４４から自在になるまで上部カバーを持ち上げることによって、リム部を順々に分離する。キャリヤ１６及び上部カバー１７を形成する材料は摩耗や傷に対して高い耐久性を有しており、従って、カバーをキャリヤから持ち上げたりキャリヤの上に取り付けたりするときの粒子の発生は最小限に抑えられる。底部カバー１８は側端部７２と端部７３を有している。側端部７２と端部７３はそれぞれキャリヤの下端３２、３３及び下端３４、３５の下に位置し、キャリヤの端壁及び側壁の下端と係合して、底部カバー１８とキャリヤ１６との間におけるほぼハーメチックシールに近いシールの実現に寄与する。底部カバー１８は底部円筒状パネル７５も有している。部分円筒状パネル７５は、ウェハー収容部分である内部５７の底部を形成する内側表面７６を有している。底部カバー１８の内側表面７６には、ウェハーを支持しウェハーを底部円筒状パネル７５から離間させるためにクッション部材１３０が設けられている。図３Ａを参照する。底部カバー１８の屈曲に適応するための第２のクッション部材１３０．１は、底部カバー１８の長手方向に延びる底部フィン１４８を有している。図１０に示されている実施の形態においては、底部カバー１８には二つの底部フィン１４８が設けられている。底部フィン１４８は、ウェハーが係合したときに外側へ屈曲してウェハーＷを支持し、ウェハーが回転しないようにする形状を有している（図１２参照）。底部カバー１８の各底部フィン１４８はウェハー係合端部１１４を有している。ウェハー係合端部１１４は容器１５の中心線１３４から半径距離１３６だけ離間している。これとは違って、底部カバー１８の各底部フィン１４８は上部カバー１７のフィン１３１と同様な形状であってもよい。底部カバー１８の底部フィン１４８は上部カバー１７のフィン１３１と同様な形状のウェハー係合端部１１４を有していてもよい。底部フィン１４８のウェハー係合端部１１４は、前述したように平坦な表面１４６（図１２参照）を有していてもよいし、ナイフエッジ形状（図示しない）でもよいし、丸い端部１４２（図３Ａ参照）であってもよい。続けて図３Ａを参照すると、底部カバー１８の底部フィン１４８は連続したストリップ１４９でもよいし、図８に示されているように弾性的に屈曲可能なタブ１１７からなる不連続な列１１０でもよい。底部カバー１８の第２のクッション部材１３０．１は、図８においては複数のフィン１４８として描かれている。フィン１４８は、弾性的に屈曲可能なタブ１１７の列１００を形成する不連続なウェハー係合端部１１４を有している。底部カバー１８のタブ１１７は上部カバー１７のタブ１０２とほぼ同じである。続けて図８を参照すると、底部カバー１８の各フィン１４８は二つの端部１１６と中央部分１１８を有している。各フィン１４８は、上述したように底部カバー１８の屈曲に適応するために中心線１３４（図３Ａ参照）に対して凸状の弓形を有するウェハー係合端部１１４を有している。続けて図３Ａを参照する。底部カバー１８の屈曲に適応するための第２のクッション部材１３０．１は、前述した上部カバー１７の屈曲に適応するためのクッション部材１３０と類似した構造に形成されている。容器１５の中心線１３４から底部カバー１８上の底部フィン１４８のウェハー係合端部１１４までの距離である半径距離１３６は、中央部分１１８からそれぞれの端部１１６（図８参照）まで徐々に減少している。この徐々に変化する半径距離１３６は、底部カバー１８に対する底部フィン１４８の弓形、あるいは容器１５の中心線１３４に対する底部円筒状パネル７５の弓形によって形成されている。図５Ｄに示されている上部カバー１７に関して前述したように、底部カバー１８は底部円筒状パネル７５を有している。底部円筒状パネル７５の厚みは、各底部フィン１４８の中央部分１１８に隣接するところから、底部パネル１８の底部フィン１４８の各端部１１６に隣接する底部円筒状パネルの部分まで徐々に減少している。続けて図３Ａを参照する。底部カバー１８の屈曲に適応するための第２のクッション部材１３０．１は、フィン１３１の圧縮性を中央部分１１８に隣接する非常に圧縮性の高い設計から、各端部１１６に隣接する圧縮性の小さい設計まで変化させる構造も底部カバー１８の底部フィン１４８上に有している。底部カバー１８の底部フィン１４８は、上部カバー１７のフィン１３１と協働して、輸送及び貯蔵を行うときに、容器１５内のウェハーをウェハー係合端部１０４、１１４の間に懸架する。その一方で、すべてのウェハーＷにわたって均一な保持力を加え、上部カバー１７と底部カバー１８のどちらかか、あるいは両方の曲げあるいは屈曲を可能にしている。図３Ａを参照するとわかるように、底部カバー１８がキャリヤ１６に取り付けられるとき、底部カバー１８上に設けられた各フィン１４８のウェハー係合端部１１４は各ウェハーＷと係合し、ウェハーを側壁１９、２０に沿って載置位置から上へ持ち上げる。ウェハーＷは、底部カバー１８の底部フィン１４８と上部カバー１７のフィン１３１との間に懸架される。図８を参照する。底部カバー１８の屈曲に適応するための第２のクッション部材１３０．１は、底部カバー１８をキャリヤ１６へ取り付けるときに底部カバー１８の屈曲に抗するための補強構造も底部カバー１８上に有している。底部円筒状パネル７５の厚みは、各フィン１４８の中央部分１８に隣接するところから、底部カバー１８上の各フィン１４８の各端部１１６に隣接するところまで変化している。これとは違って、底部カバー１８は外側のパネル７５上に複数の支持用リブ１１２を有していてもよい。支持用リブ１１２は底部カバー１８から下方へ、そして容器１５から外側へ延びている。各支持用リブ１１２は底部カバー１８上のフィン１４８と平行である。このリブ１１２は底部カバーを補強しており、ウェハーＷが容器１５の中に挿入されてカバーの屈曲に適応するためのクッション部材１３０と係合するときの曲げあるいは屈曲を小さくする。図１２を参照する。各底部フィン１４８は底部パネル７５からほぼ垂直方向に形成されている外側壁面１５２を有している。また、各底部フィン１４８は垂直方向の外側壁面１５２に対して鋭角の関係に形成された内側壁面１５４も有している。二つの底部フィン１４８上の内側壁面１５４は互いに対向している。底部フィン１４８上のウェハー係合端部１１４は、外側壁面１５２と内側壁面１５４の間を延びており、ウェハーと係合する。底部フィン１４８のこの構造のために、ウェハー係合部１３２が底部フィン１４８を外側壁面１５２越しに外側へ屈曲させることが可能になる。この外側への屈曲によってウェハーＷがロックされ、容器１５内での回転が防止され、その一方でウェハーＷを底部パネル７５から離間させ、底部カバー１８の屈曲に適応している。底部カバー１８は底部カバーの全周まわりを延びるリム部も有している。さらに詳しく説明すると、底部カバーは、底部カバーの側端部７２に沿って延びていてキャリヤの側壁１９、２０のリム部４５、４６を取り囲んでいる拡張されたリム部７８、７９を有している。底部カバーは、底部カバーの端部７３に沿って延びていてキャリヤ１６の端壁の拡張されたリム部４７、４８を取り囲んでいる拡張されたリム部８０、８１も有している。リム部７８、７９、８０、８１はほぼ一つの平面内に位置しており、ウェハーキャリヤのリム部４５、４６、４７、４８をスナップフィットでほぼハーメチックシール状態で取り囲んでいて、ウェハーキャリヤの底部カバーを保持している。底部カバーのリム部７８〜８１と、ウェハーキャリヤのリム部４５〜４８は、底部カバーをウェハーキャリヤの上に保持するための唯一の部材である。すなわち、底部カバーをキャリヤの上に保持するのに、補助的なラッチ装置は必要としない。キャリヤ１６と上部カバー１７及び底部カバー１８との間のほぼハーメチックシールに近いシールによって、容器１５への空気や他のガス、湿気、粒子の出入りが防止され、また大気圧が変化したときにキャリヤが膨張したり収縮したすることが防止される。底部カバー１８は一対の細長いタブ８２、８３も有している。タブ８２、８３は側端部７２の一つに沿って長手方向に延びており、底部カバーのリム部７９に隣接している。タブ８２、８３はウェハーキャリヤの下側の側端部の上に設けられた隣接するタブ４０に対して、位置がずれてはいるがこれと隣接している。従って、タブ８３、４０の両方と同時に係合して、絞りやすいようになっており、底部カバーをキャリヤの上へ取り付けるときにスナップフィットの完了を確かめやすくなっている。通常は、底部カバー１８は底部カバー１８を支持テーブルの上へ置いてキャリヤへ取り付ける。次に、キャリヤ１６を底部カバーの上へ置いて押し、キャリヤ１６と底部カバー１８をスナップフィットで一体に固定する。ウェハーがすでにキャリヤの中に入っているときには、ウェハーを底部カバー１８によって側壁１９、２０のオフセット部２６、２７から持ち上げる。底部カバー１８は、タブ８２、８３と対向するように側端部７２の上に対称に配置された一対のタブも有している。底部カバー１８をウェハーキャリヤから取り外すときに、上部カバーに関連して前述したようにして、底部カバーの一つのコーナ部を曲げる。こうして、底部カバー１８をウェハーキャリヤの拡張された下側のリム部４５〜４８から徐々に外すことによって、底部カバーを取り外す。底部カバーのリム部７８〜８１はウェハーキャリヤのリム部４５〜４８と係合してこれを取り囲み、底部カバー１８とウェハーキャリヤの間にほぼハーメチックシールに近いシールを形成することによって、空気や湿気、粒子がウェハーキャリヤの内部５７に出入りしないようにする。底部カバーのリム部７８〜８１はほぼ一つの平面内に位置しているが、底部カバーの側端部に沿って延びるリム部７８、７９の部分７８．１、７９．１は底部カバーのリム部の残りが形成する平面から外れ、リム部４５、４６の部分５０の形状と合致している。リム部４５、４６の部分５０は、ウェハーキャリヤ上のリム部の平面から外れ、ウェハーキャリヤのフットパネル３０、３１の中のインデックス用ノッチ４９の上を通過している。底部カバー１８は外側へ突き出しているリップ部８４も有している。リップ部８４は、タブ８２、８３のところを除いた底部カバーの周辺部のまわりで外側へ突き出していて、底部カバーに強度を付加している。同様に、上部カバー１７は外側へ突き出したリップ部８５を有している。リップ部８５は、タブ７０、７１のところを除いた上部カバーの周辺部のまわりで上部カバーの端部から外側へ突き出していて、上部カバーに強度を付加している。図１３を参照する。容器１５は、Ｈバー５４を有するその端壁２２を処理機械のインターフェースと係合させて使用される。従って、使用時の上部カバー１７は、図１に示されているそれと異なる方向を有していてもよい。例えば、上部カバー１７と底部カバー１８を図１３のように垂直方向に配置してもよい。この方向においては、ウェハー（図示しない）は水平方向に配置されており、上部カバー１７は機能的には側部カバー１７．１である。請求の範囲における上部や端部、底部、側部という用語は、単にこの発明の部材の相対的な位置付けを示すためのものであり、これと異なる向きの容器１５に対して請求の範囲を制限するものではない。この発明は、その精神及び本質から逸脱することなく、他の形態によっても実現が可能である。従って、上述した実施の形態は単に説明のためのものであり、発明を制限することはない。この発明の範囲に関しては、上述した実施例よりも、添付されている請求の範囲を参照すべきである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＣＮ，ＪＰ，ＫＲ，ＳＧ【要約の続き】れた弓形によって形成してもよいし、輸送用装置のカバーから延びる弓形のフィンによって形成してもよい。クッション部材は、ウェハーと係合すると圧縮して、ウェハーを上部カバーから離間しつつウェハーを固定するような構造を有している。クッション部材はフィンの長手方向に沿って、連続したウェハー係合端部を有していてもよいし、各々が個々にウェハーと係合するウェハー係合タブあるいはフィンガに分離されていてもよい。底部カバーにも、ウェハーと係合して底部カバーからウェハーを離間しているクッション部材が設けられている。底部カバーに設けられたクッション部材の構造は、外側へ屈曲してウェハーをロックすることによって、ウェハーが輸送用装置の中で回転しないように設計されている。

Claims

【特許請求の範囲】１．ウェハー等のための容器であって、ａ）当該容器は二つの側壁と二つの端壁と、該側壁及び端壁に取り付けられて内部ウェハー収容部分を形成する底壁と、前記二つの側壁と二つの端壁へシール状態で取り付けられて、ウェハーが受容される内部ウェハー収容部分へアクセスできるようにしている取り外し可能な上部カバーとを有し、前記側壁の各々にウェハーサポートを有し、このウェハーサポートが、ウェハーを離間した状態で軸方向に整列保持するように配置されており、ｂ）前記上部カバーがウェハー収容部分の中にウェハーを入れた状態で上部カバーを側壁及び端壁へ取り付けたときに上部カバーが外側へ屈曲するように、弾性的に屈曲可能な材料から形成されており、さらに、前記上部カバーが、各ウェハーと係合して上部カバーの外側への屈曲に適応するためのウェハークッション部材を有している、容器。２．前記クッション部材が、上部カバーの内側を長手方向に延びる複数のフィンと、このフィンの各々の上に上部カバーから離間して設けられたウェハー係合端部とを有する請求項１記載の容器。３．前記フィンの各々が上部カバーの長手方向に延びるタブの列を有しており、このタブの各々がウェハー係合端部を有している請求項２記載の容器。４．前記フィンの各々が中央部分と二つの端部とを有し、フィンがその長さ方向に圧縮性を有し、前記中央部分に隣接するフィンが各端部に隣接するフィンよりも大きな圧縮性を有している請求項２記載の容器。５．前記フィンの厚みが、フィンの中央部分に隣接する大きな厚みから、フィンの各端部に隣接する小さな厚みまで徐々に変化する請求項４記載の容器。６．前記クッション部材が上部カバーの内側を長手方向に延びる複数のビードを有し、このビードがウェハー係合端部と容器内の中心線とを有し、前記ウェハー係合端部が容器の中心線に対して凸状の弓形を有している請求項１記載の容器。７．容器が中心線を有し、前記フィンが容器の中心線と半径方向で位置揃えされている請求項２記載の容器。８．各フィンの上に設けられたウェハー係合端部が前記カバーの中心線に対して凸状の弓形を有する請求項７記載の容器。９．前記各フィンのウェハー係合端部の凸状の弓形が、ウェハー係合端部と、上部カバーとの間で限定される幅を有する各フィンと各フィンの中央部分と各フィンの端部とによって形成され、各フィンの幅が中央部分に隣接するところが各端部に隣接するところよりも大きくなっている請求項８記載の容器。１０．前記フィンが平坦なウェハー係合部を有し、キャリヤの中のウェハーが係合したときにフィンがほぼ屈曲せずに圧縮する請求項２記載の容器。１１．前記ウェハーがほぼ丸く、容器内の半径が中心線から延びていて各フィンと交わっており、各フィンが半径のまわりに対称に形成されていて、前記ほぼ丸いウェハーと、半径方向にほぼ屈曲することなく圧縮することによって係合する請求項７記載の容器。１２．前記底壁にクッション部材が設けられ、この底壁のクッション部材が内部ウェハー収容部分の中へ延びていてウェハーと係合し、ウェハーを底壁のクッション部材と上部カバーのウェハークッション部材との間に懸架する請求項１記載の容器。１３．前記底壁が取り外し可能なカバーである請求項１２記載の容器。１４．前記底壁に設けられたクッション部材が互いに離間された一対の底部フィンを有し、この底部フィンが底壁に沿って長手方向に延びており、底部フィンの対がほぼ垂直方向の外側壁面を有し、底部フィンの対が、外側壁面に対して鋭角の関係に形成された内側壁面と、外側壁面と内側壁面との間に設けられたウェハー係合端部も有しており、ウェハーが係合したときに底部フィンがお互いから離れるように外側へ屈曲して、ウェハーを支持し、ウェハーを底壁から離間させる請求項１２記載の容器。１５．各フィンの外側端部が各タブのウェハー係合端部と、各フィンの中央部分と、各フィンの二つの端部とによって形成され、タブがウェハー係合端部を上部カバーからある幅だけ離間させており、前記幅が各フィンの中央部分から各フィンの各端部まで徐々に減少している請求項３記載の容器。１６．前記タブの幅が、各フィンの中央部分から端部まで非直線的に減少する請求項１５記載の容器。１７．容器が中心線を有し、各フィンの外側端部が、容器の中心線に対して凸状の弓形を形成している請求項１５記載の容器。１８．前記側壁の間のカバーの中央に中央フィンが配置されている請求項２記載の容器。１９．内部に複数の半導体ウェハー等を入れて貯蔵し輸送するための装置であって、ａ）内部チャンバを形成する二つの側壁及び二つの端壁と、取り外し可能な底部カバー及び取り外し可能な上部カバーとを有し、上部カバーと底部カバーが、ウェハーが受容され貯蔵される内部ウェハー収容部分の中へアクセスできるようにしている容器を有し、該容器が、側壁を横切る方向に向いたウェハーを互いに離間し対向した状態で保持するために各側壁の上に設けられたウェハー分離用リブを有し、前記上部カバーが端壁及び側壁へシールを保った状態で取り付けられ、底部カバーが側壁及び端壁へシール状態で取り付けられており、内部ウェハー収容部分がシールされて、装置の外側の環境の汚染から保護されており、ｂ）弾性的に圧縮する材料から形成され、前記上部カバーに設けられた複数のフィンを有し、各フィンが上部カバーの内側を長手方向に延びており、フィンが互いに離間されており、また各フィンが中央部分と二つの端部とウェハー係合端部を有し、ウェハー係合端部が上部カバーから離間されており、各フィンのウェハー係合端部が容器の中心線から半径方向距離だけ離間されており、この半径方向距離が各フィンの中央部分から各フィンの端部まで徐々に減少して、各フィンのウェハー係合端部が容器の中心線に対して凸状の弓形に配置されており、ウェハーが容器の中に係合されてクッションが与えられ、フィンが圧縮することによって、上部カバーの屈曲に適応しつつウェハーの各々に対する保持力をバランスさせている、装置。２０．前記徐々に変化している半径方向距離が、容器の中心線に対する上部カバーの凸状の弓形によってできている請求項１９記載の装置。２１．前記上部カバーからウェハー係合端部までで限定されるフィンの幅が設けられ、このフィンの幅がフィンの中央部分から各端部まで徐々に減少しており、ウェハー係合端部が容器の中心線に対して凸状の弓形を有している請求項１９記載の装置。２２．各フィンが圧縮性のタブからなる列と、各タブの上に設けられたウェハー係合端部とを有し、各タブがスロットによって隣接するタブから離間されており、ウェハー係合端部がフィンに沿って不連続である請求項１９記載の装置。２３．前記底部カバーが底部カバーの屈曲に適応するための部材を有しており、ウェハーが上部カバーのフィンと、底部カバーの屈曲に適応するための部材との間に懸架される請求項１９記載の装置。２４．各フィンがウェハー収容内部チャンバの中へ内側に向いており、上部カバーを容器の上に取り付けたとき、容器の中心線に位置が揃えられる請求項１９記載の装置。２５．前記底部カバーの屈曲に適応するための部材が、底部カバーに沿って長手方向に延びる一対のフィンと、各フィンの上に設けられたウェハー係合端部とを有し、前記フィンが互いに離間されており、前記ウェハー係合端部が底部カバーから離間されている請求項２３記載の装置。２６．前記上部カバーが弾性的に屈曲する材料から形成されており、上部カバーの外側表面に積み重ね用構造が設けられている請求項１９記載の装置。２７．上部カバーが厚みを有する弾性的に屈曲可能な材料から形成されており、上部カバーの厚みが各フィンの中央部分に隣接するところから、各フィンの端部まで徐々に減少して、上部カバーが屈曲に対して対抗性を有し、上部カバーの厚みの変化によって半径方向距離が徐々に変化するようになっている請求項１９記載の装置。２８．各フィンのウェハー係合端部が容器の中心線に対して凸状の弓形を有し、この凸状の弓形が、容器の中心線とウェハー係合端部との間の半径方向距離によってできており、各底部フィンが中央部分と二つの端部とを有し、半径方向距離が各底部フィンの中央部分から各底部フィンの端部まで徐々に減少している請求項２５記載の装置。２９．各底部フィンが底部カバーの上でほぼ垂直方向を向いており、ウェハーと係合したとき底部フィンが外側へ屈曲してウェハーを固定し、容器の中でウェハーが回転しないようにしている請求項２８記載の装置。３０．ウェハー等を貯蔵し輸送するための容器であって、ａ）当該容器が二つの端壁へシールを保った状態で取り付けられている二つの側壁と、側壁及び端壁にシールを保った状態で取り付けられていて内部ウェハー収容部分を形成する底壁とを有し、前記側壁が互いに離間されており、ｂ）取り外し可能な上部カバーを有し、該上部カバーは非装填状態の容器に設置されたときの第１の非屈曲状態と、装填状態の容器に設置されたときの第２の屈曲状態とを有し、また前記上部カバーが、内部ウェハー収容部分の中に延びるウェハークッション部材を有し、このウェハークッション部材が各端壁に隣接する端部と、この端部の間の中央部分とを有し、前記上部カバーがウェハークッション部材の中央部分に隣接するところで大きく屈曲し、端部に隣接したところで小さく屈曲するようになっており、ｃ）ウェハー係合端部が前記ウェハークッション部材に設けられており、このウェハー係合端部は前記上部カバーが第１の非屈曲状態では弓形を形成し、前記上部カバーが第２の屈曲状態ではほぼまっすぐな形状を形成する、容器。３１．前記ウェハークッション部材の弓形が、上部カバーの形状によってつくられており、ウェハー係合端部が上部カバーからある幅だけ離間されており、この幅がクッション部材の中央部分と端部に隣接するところでほぼ同じである請求項３０記載の容器。３２．前記底壁が取り外し可能な底部カバーであり、一対の底部フィンが底部カバーの上を長手方向に延びており、各底部フィンにウェハー係合端部が設けられ、各底部フィンのウェハー係合端部が底部カバーから離間されており、第１の非屈曲状態において弓形を形成しており、ウェハー係合端部が、底部カバーが第２の屈曲状態のときにほぼまっすぐな形状を形成する請求項３０記載の容器。３３．前記弓形が、ウェハー係合端部を上部カバーからある幅だけ離間させることによって形成されており、前記幅がクッション部材の中央部分から端部まで徐々に減少している請求項３０記載の容器。３４．上部カバーの上に積み重ね用構造が設けられており、カバーが第１の非屈曲状態と第２の屈曲状態にあるときに前記積み重ね用構造が容器に対して固定された位置を維持し、前記積み重ね用構造が側壁及び端壁の交差部分に隣接している請求項３１記載の容器。３５．前記積み重ね用構造が上部カバーの上に形成された多数の積み重ね用オフセットを有し、この積み重ね用オフセットがほぼ平坦な表面を有し、各積み重ね用オフセットの平坦な表面が他の積み重ね用オフセットの他の平坦な表面と同じ平面内にある請求項３４記載の容器。３６．容器の底部の上に、積み重ね用オフセットと係合するための多数の側端部が設けられていて、多数の容器を積み重ねるようになっており、積み重ねられた容器の重量が容器の内部収容部分の側壁及び端壁によって支えられる請求項３４記載の容器。３７．前記クッション部材が上部カバーから延びるタブからなる多数の列を有し、各タブがそれぞれ内部ウェハー収容部分へ取り付けられていて、各ウェハーが各列の単一のタブにより係合されるようになっている請求項３０記載の容器。３８．各タブが圧縮性を有しており、各タブの圧縮性が列に沿って徐々に変化し、容器の端部に近接するところで圧縮性がより大きくなっている請求項３７記載の容器。