KR100254327B1 - 웨이퍼 선적용 웨이퍼 큐션 - Google Patents

Abstract

반도체웨이퍼와 같은 제품을 안전하게 보관하는 선적컨테이너이다. 선적컨테이너는 일반적으로 장방형 내부 웨이퍼 제한지역을 형성하는 두단부벽에 연결밀봉되는 두 측벽을 가진다. 상부카버와 저부카버는 용기에 제거가능으로 부착되어 웨이퍼를 보관 저장 및 성적중 보호하고 가공시에 웨이퍼에 대해 출입을제공한다. 웨이퍼는 반송체내에 웨이퍼에 손상을 방지하는 완충수단에 의하여 고정지지되고 반송체에 의한 마모 및 오염을 방지하는 장소에 록크된다. 카버의 굴곡을 주는 완충수단은 웨이퍼를 웨이퍼 제한지역내에 현수지지한다. 완충수단은 상부카버로 부터 연장되며 다수의 웨이퍼 맞무는 수단을 가지고 각 단부는 반송체의 중심선에 대하여 볼록아치형을 형성하며, 이 아치형은 선적장치의 카버내의 본래의 아치형에 의하여 형성되거나 또는 선적장치의 카버로 부터 연장되는 아치형의 핀에 의하여 형성된다. 완충수단은 웨이퍼가 상부카버로 부터 간격을 가지면서 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼에 의하여 맞물 때 압축될수 있는 형태를 가지며,핀의 길이에 따라 연속되는 웨이퍼 물림단부를 가지며 또는 완충수단은 웨이퍼를 개별적으로 맞무는 각 탭 또는 핑거인 웨이퍼 물림탭 또는 손가락안으로 분리 될 수 있다. 저부카버는 웨이퍼를 맞물고 간격을 주기위한 완충수단을 구비하고 저부카버의 완충수단의 구조는 선적장치로부터 회전되는 웨이퍼를 잠금하는 외측방향으로 굽도록 고안되었다.

Description

웨이퍼 선적용 웨이퍼 큐션.

반도체 웨이퍼는 그 프로세스 단계에 여러 가지 단계가 걸린다. 웨이퍼는 여러 가지 기계 및 여러 가지 위치에서의 많은 과정과 단계가 있다. 웨이퍼는 필요한 가공 프로세스에 수반되는 순서에 따른 소요시간 동안 위치를 옮겨야 하며 보관이 필요하다. 운반 및 선적 장치의 여러 가지 형식은 웨이퍼취급, 보관 및 선적을 위한 공지된 것이다.

선적장치의 주요부재는 웨이퍼를 충격,진동,마모, 등과 같은 물리적 손상에서 보호하는 웨이퍼를 완충하기위한 수단이다. 이러한 선적 컨테이너 및 큐션수단은 미합중국특허 제 4,043,451; 4,171,740; 4,248,346; 4,555,024; 4,574,950; 4,557,382; 4,718,549; 4,773,488; 4,817,779; 4,966,284; 5,046,617; 5,253,755; 5,253,755; 5,255,797 및 5,273,159호에 설명되어 이미공지되어 있다. 이들 선적 및 운송 장치는 물리적 손상으로 부터 웨이퍼를 보호하기 위하여 맞물림 및 완충을 위한 카버상의 여러 가지 수단을 사용하나 이러한 용기는 웨이퍼의 존재에 따라 카버하는 선적장치의 고유의 굴절성의 적응을 위하여는 제공하지 못하고 있다.

선적 및 운송장치의 바람직한 양태는 오염물의 침입을 방지하는 밀봉성 및 밀봉에 가까운 씰을 부여하는 상부 카버를 가지는 것이다.포리프로필렌 및 하이트랠 과 같은 카버 용 유연성 프라스틱의 사용은 더 양호한 씰링을 제공하나 상부 카버의 더 큰 유연성은 각개 웨이퍼의 불균일과 일관되지 않은 맞물림을 유발한다. 이것은 상부카버가 휘어져 성부 카버의 중심이 끝부분 근처보다 바깥으로 굽기 때문이다.

카버 유연성의 문제를 해결하기 위한 시도는 외부 늑재(ribs) 추가, 상부 카버 구조 변경 또는 더 단단한 재료를 사용하여 상부카버의 휘어짐을 방지하려는 방식이 시도 되었다.

본 발명은 반도체 웨이퍼 및 유사한 목적의 선적용 용기 및 포장에 관한 것이다.

도 1 은 플라스틱제 선적용 컨테이너의 사시도.

도 2 는 3 주요부를 나타내는 전개상태의 컨테이너의 사시도.

도 3 은 도 1 의 3 - 3 으로 표시한 절단선으로 취한 선적 컨테이너의 단면도로서 여기에서 절단은 특히 탭(tab) 및 정면도를 나타내는 도 3 의 점선으로 나타낸 중심선에서 취한 것이다.

도 3 A 는 특히 상부카버의 핀의 방사상 정렬을 표시하는 도 1 의 3 - 3 으로 표시한 절단선으로 취한 선적 컨테이너의 단면도.

도 4 는 도 2 의 대략 4-4로 취한 확대상세 단면도.

도 5 는 도 14 의 대략 4-4로 취한 단면도.

도 5A 는 웨이퍼 완충 수단의 다른 실시예를 보이는 도 14 의 5-5 로 취한 단면도.

도 5B 는 웨이퍼 완충 수단의 다른 실시예를 보이는 도 14 의 5-5 로 취한 단면도.

도 5C 는 웨이퍼 완충 수단의 다른 실시예를 보이는 도 14 의 5-5 로 취한 단면도.

도 5D 는 웨이퍼 완충 수단의 다른 실시예를 보이는 도 14 의 5-5 로 취한 단면도.

도 6 은 도 14 의 대략 5-5 로 취한 확대상세 단면도.

도 6A 는 핀의 비즈(bead)형상을 나타내는 도 5 의 대략 6-6에서 취한 확대 상세 단면도.

도 6B 는 나이프형 웨이퍼 맞물림 끝을 나타내는 도 5 의 대략 6-6에서 취한 확대 상세 단면도.

도 6C 는 편평 웨이퍼 맞물림 끝을 나타내는 도 5 의 대략 6-6에서 취한 확대 상세 단면도.

도 6D 는 둥근 웨이퍼 맞물림 끝을 나타내는 도 5 의 대략 6-6에서 취한 확대 상세 단면도.

도 7 은 웨이퍼를 굽혀 맞물림하는 탭을 나타내는 도 5 의 대략 6-6에서 취한 확대 상세 단면도.

도 8 은 도 2 의 8-8 선 단면도.

도 9 는 도 8 의 9-9에서 취한 확대 단면도.

도 10 은 웨이퍼의 반경에 따라 파쇄하고 웨이퍼를 맞무는 상부카버상의 웨이퍼 큐션 수단의 사시도.

도 11은 도 5 D 의 대략 11-11 으로 취한 사시도.

도 12 는 바깥쪽으로 굴곡하고 웨이퍼를 맞무는 바닥카버상의 웨이퍼 큐션 수단의 사시도.

도 13은 웨이퍼의 수평배열으로 측면삽입부를 가지는 선적커테이너의 정면도.

도 14 는 상부카버의 사시도.

본원은 1995.6.6.출원한 미합중국 특허출원 제 08/471,641호 웨이퍼 선적용 웨이퍼 큐션 특허의 CIP 출원이다.

본발명은 반도체 웨이퍼와 같은 제품을 안전하게 보관하기 위한 선적컨테이너에 관한것이다 . 선적 컨테이너는 일반적으로 장방형의 내부 웨이퍼 제한 구역을 형성하는 두 단부 벽을 밀봉연결하는 두 측벽으로 되어 있다. 상부카버와 저부 카버는 선적 및 보관중에 웨이퍼를 보호하기위한 컨테이너에 제거가능으로 부착되며 가공용웨이퍼에 출입액세스을 제공한다. 웨이퍼는 손상을 방지하는 카버의 유연성을 동반하는 완충 수단에 의하여 운반체에 안전하게 지지된다. 또한, 웨이퍼는 케리어에 대한 마찰에 의하여 웨이퍼 제한지역에 웨이퍼 발생 입자에 으하여 오염되는 것을 방지하도록 위치안으로 웨이퍼를 잠근다. 유연성카버를 가지는 오나충 수단은 웨이퍼 제한지역의 웨이퍼를 지지하고 형수하기 위하여 카버의 유연함을 이용한다. 완충수단은 컨테이너 안에 안쪽으로 향하여 연장되는 다수의 웨이퍼 맞물림 부위와 상부 카버내의 구조를 가진다. 각 웨이퍼 맞물림 부위는 운반기의 중심선에 대하여 볼록 아치형으로 정렬된 단부를 가진다. 또한 아치형은 선적 장치의 카버 내의 본래의 아치형 또는 선적 장치의 카버로 부터 연장되는 아치형 핀으로 형성될수 있다. 큐션 수단은 상부 카버로부터 간격을 가지면서 웨이퍼를 안전하게하는 웨이퍼에 의하여 맞물릴 때 압축 되는 형태를 가진다.

큐션 수단은 핀의 길이에 따라 끝을 맞물고 있는 연속 웨이퍼를 가지거나 또는 분리되어 웨이퍼가 탭 또는 핑거를 맞믈고 있으며, 탭(tab) 또는 손가락은 개별적으로 웨이퍼를 각각 맞물고 있는 것이다. 저부 카버는 또한 그로부터 웨이퍼를 맞물고 간격을 가진 큐션 수단을 가진다.저부 카버의 큐션수단의 구조는 바깥으로 굽어져 선적 장치내의 회전으로부터 웨이퍼를 잠금하도록 설계되어 있다.

본 발명의 목적은 상부 카버상의 밀봉에 가까운 씰으로 카버의 유연성을 동반하는 완충되는 수단으로 웨이퍼 오염의 가능성을 최소화하는 반도체 웨이퍼를 안전하게 저장하고 선적하는 선적 컨테이너의 유연성있는 카버를 사용하는 선적 용기를 제공하는 것이다.

본 발명의 양태는 측면 및 단부 벽을 가지는 용기,상부 벽이 되는 제거가능한 상부카버 및 바닥벽이 되는 제거가능한 저부 카버로 구성된다.

웨이퍼 분리 리브는 각각 간격을 가지고 웨이퍼를 지지하는 측벽에 위치한다.

본 발명의 다른 양태는 상부카버 상의 큐션 수단이다. 이 큐션수단은 상부카버를 따라 길이로 배치되고 웨이퍼 제한 지역으로 방사상으로 연장되는 다수의 핀으로 되어 있다.

본 발명의 다른 양태는 각 핀이 핀의 길이에 따라 단부를 맞물고 있는 연속 웨이퍼를 가지는 것이다.

본 발명의 다른 양태는 각 핀은 반송체의 중심선에 대하여 거의 볼록 아치형을 가지는 단부를 맞무는 불연속 웨이퍼를 형성하는 각 쌍의 인접 탭(tab) 사이의 절단부를 가지는 다수의 분리적으로 연장되는 큐션이있는 탭을 구성하는 줄(row)이다 . 각 큐션 탭은 단부 맞물림 웨이퍼를 가진다.

본 발명의 다른 양태는 웨이퍼 맞물림 부위에서 웨이퍼의 반지름에 따라 탄력적으로 톱니모양의 자국을 가지는 상부 카버상의 각핀의 구조이다.

본 발명의 다른 양태는 웨이퍼 맞물림 단부를 가지는 바닥 카버의 제2 완충 수단이 있다는 것이다. 이 완충 수단은 웨이퍼의 중량에 따른 바닥 카버의 유연성을 가지면서 바닥 카버로 부터 웨이퍼를 간격을 주며 웨이퍼를 지지하고 있는 바가 카버상에 있다.

본 발명은 또한 양태는 상부 또는 하부 카버의 큐션 수단이 핀 또는 줄과 같은 맞물림 부재 구조를 가지며 이것은 용기의 어느 단부에서 더 압축될수 있고 용기의 중간 부에서 덜 압축가능으로 되어서 선적 장치 카버의 유연함을 이용하고 수용할수 있다.

본 발명의 다른 양태는 웨이퍼에 대한 완충 효과를 최대로 하기 위한 톱 카버상의 핀들의 위치잡음이다.

본 발명의 다른 양태는 제작 비용을 최소로 할수 있도록 카버와 일체로 형성하는 핀에 있다.

본 발명의 또다른 양태는 웨이퍼를 맞물 경우 각 탭을 각개별로 유연하게 허용하고 그들 각 웨이퍼와의 다른 탭의 맞물림 또는 정렬을 효과를 가지게하여 한탭의 구부러짐을 방지하는 탭 사이의 슬롯이다.

본 발명의 다른 양태는 카버의 내측에 가로로 연장된 비이드의 형상을 갖는 각 핀이 있다는 것이다.

본 발명의 다른 양태는 핀의 단부 또는 맞물림 부위가 비이드 또는 편평 표면인 한 점의 형태를 취할수 있다는 것이다.

본 발명의 다른 양태는 반지름(방사상) 거리에 의하여 반송체의 중심선으로부터 간격을 가지는 웨이퍼 맞물림 단부가 있다.반경 거리는 핀의 중간부로부터 단부벽에 인접한 핀의 부위로 점점 증가한다.

본 발명의 다른 양태는 바닥 카버에 따라 길이로 달리는 한쌍의 핀의 형태를 가지는 바닥 카버상의 완충 수단이다. 바닥 카버상의 각 핀의 구조는 웨이퍼의 회전을 억제하며 웨이퍼를 위치에 잠금하도록 탄성 적으로 굴절되게 설계되어 있다.

본발명의 다른 양태는 반송체의 중심선을 향하여 아치형 볼록 형으로 된 바닥 카버상의 큐션 수단상의 웨이퍼 맞물림단부이다.

도 1 과 2에서 선적 컨테이너는 일반적으로 번호 15로 나타내고 웨이퍼 반송체 16, 상부 카버 17 및 저부 카버 18 으로 구성된다.

웨이퍼 반송체 16 은 폴리카보네이트와 같은 단단하고 투명한 플라스틱재나 다른 비교가능한 또는 대등한 플라스틱으로 성형하는 것이 좋다. 상부카버 17 과 비닥카버 18 은 모두 하이트랠(Hytrel 듀폰 상표)으로 알려진 열가소성 엘라스토머와같은 강하나 탄력적이며 유연한 플라스틱재료를 사용하여 성형한다.바닥카버 18 은 용기 15 의 바닥 벽이다. 하이트랠 열가소성엘라스토머는 그 모든 그레이드의 것이 폴리부틸렌 테레프탈에이트의 경질(결정성)분획과 장쇄 포리에테르 글리콜을 기본으로하는 연질(무정형의)분획으로 구성되는 블록공중합체이다. 상부 및 저부 카버 17 과 18 는 45 내지 55 내지 63 범위의 경도 듀로메터 D를 가지며, 재료는 유연성이며 표면에 끈적 점상을 가지며 최대의 그립성 과 최소의 크리프성 및 높은 내마모성을 가진다. 또한 상하부 카버의 뻣뻣하나 유연한 재료는 오일 및 용매,화학약품에 내성을 가진다.

웨이퍼 반송체 16 은 측벽 19 및 20 거?? 단부벽 21 및 22로서 표시하는 벽을 동반한다. 측벽 19 및 20 과 단부벽 21 및 22는 서로 일체로 성형하여 플라스틱 웨이퍼 반송체 15는 하나 이다.측벽 과 단부벽의 상단부 19.1, 20.1, 21.1 및 22.1 는 서로 거의 일직선상으로 평면에 놓이며 웨이퍼 반송체 15 에 웨이퍼 W 를 실고 부리는 반송체의 상부트인곳을 규정한다. 웨이퍼 W 는 디스크 플렛터와 같은 자기 메모리 저장장치 또는 반도체 제조에 사용되는 형식의 것이다.

도 2 와 3에서 측벽 19 와 20 은 서로 간격을 가지고 반도체웨이퍼 W를 수용 보유하는 포켓 또는 슬롯 25.1을 규정하며 일체로 형성된 다수의 직립 리브 또는 치상돌기 24 와 25를 가진다.

투명 폴리카보네이트로된 측벽 19,20 은 웨이퍼가 그 위치에 있는지 볼수 있게 한다. 또한 측벽 19 와 20은 일반적으로 그들 안으로 운반할 웨이퍼 W 의 형상을 따르도록 형태를 갖는 둥근 오프셋부위 26 과 27을 가진다. 오프셋 부 26 과 27 는 서로 간격을 두고 서로 조용한 관계로 웨이퍼 W를 유지 하기 의한 웨이퍼 분리 다리 28,29를 가진다.

또한 측벽 19 와 20 은 각각 측벽 19 와 20 의 하부 끝 부위 32 와 33을 규정하는 의존하고 평행하는 다리 패널 30 과 31을 가진다.

단부벽 21 과 22 는 거의 편평 또는 평면적이며 측벽 19 와 20 의 하단부 32,33 와 같은 평면으로 배열되어 있다.측벽과 단부 벽의 접속된 하단부 32,33,34,35 는 반송체 16의 저부에 웨이퍼 W 에 출입하기 위하여 다리 패널 30과 31 사이 반송체의 저부 트인곳 36을 규정하는 관계로 되어 있다.

측벽 19 와 20은 측벽의 상단부 19.1 과 20.1의 일체로 성형한 외향 돌출 탭(tab) 37과 38을 가지며 탭 37은 측벽에 따라 길게 맞물고 연장되며, 거의 도 1 에서와 같이 축벽 단부 사이의 중간길에 있다. 측벽 19는 하부 손잡이 탭 39를 가지고,측벽 20은 보이지않는 하부 탭을 가진다. 이들 하부탭은 측벽의 하단부 32, 33으로부터 특히 그들의 다리 패널 30,31 으로부터 외향으로 돌출되어 있다. 측벽 20의 하부탭은 측벽 19의 탭 39의 거울 상의 것이다.

측벽의 상단부 19.1, 20.1 과 단부벽의 상단부 21.1, 22.1 은 각각측벽 19,20 상의 커지고, 외향으로 너울거리는 상부 림(rim)부 41, 41 와 단부벽 21,22 의 립부 43,44 을 규정한다. 확대 된 상부 림부 41-44는 서로 연결되어 있으며 따라서 반송체 16 의 전체 외주,즉 모든 측벽과 단부벽을 따라 둘려져 연장되는 림부를 구성한다. 외주적으로 연장되는 림부 41-44 는 거의 평면으로 놓여 진다.

측벽 19,20 및 단부벽 21,22 는 각각,반송체 16의 전체 외주 둘래의 하부 림부를 효과적으로 구성하고 함께 결합되는 확대된 외향의 너울거리는 하부 림부 45,46,47,48을 또한 규정한다. 하부림부는 거의 한 평면으로 놓여 있다.

각각의 다리판넬 30 과 31은 그 가운데에 지표새김 49을 형성하여 가공기계와 같은 기계중에 웨이퍼 반송체 16을 정확하게 놓이게 하기위한 가공기계의 지표 리브 혹은 매체와 관련되게 한다. 측벽 19 와 20의 다리 패널 30과 31위의 두 하부 림 부 45와 46는 50에서 위로 분기하여 지표 새긴금 49를 통한다. 도 2에서 50 부위의 형상은 지표 새긴금 49를 통하는 아치의 형상에 의하여 규정되며 하부 림부 45,46의 거의 전체 길이로 연장된다.

단부벽 21 과 22의 모든 부위는 거의 균일한 높이이며 측벽 19 및 20과 같은높이이다. 단부벽 22는 그들의 일체로 형성되는 한쌍의 넓게 간격을 가지는 지지바아 51,52가 형성되고 단부벽 22 의 상 하부 ??부 22.1과 35와 거의 인접하게 연장된다. 지지바아51은 웨이퍼 반송체 및 웨이퍼를 가공기계의 다른장치와 관하여 정확히 놓기위한 가공기계 평면상에 놓이는 공 평면 외곽단부 53을 가진다. 또한 단부벽 22 는 일체로 형성된 지표 횡바아 54를 가지며 지지바아 51,52와 횡으로 연장되며 H-바아라고도 한다. 지표 횡바아 54 는 그 위치 기구와 관련되어 가공 기계내에 웨이퍼 반송체 16을 정확하게 놓는다. 횡바아 54는 지지바아 51,52에 완전하게 연장되나 지지바아 사이에 부분적으로 만 단부벽 22를 횡단할수 있다.

특히 양 단부벽 21,22는 측벽 19,20 의 높이와 같은 전체높이를 가지며 단부벽 21,22 는 측벽과 마찬가지로 반송체 16 전체 외주를 둘러 연장되는 ??학대된 상하부 림부를 갖는다. 단부벽 22는 특히 각각 지표 횡바아 54에서 확대된 상부림부 44로 또 횡바아 54로부터 확대된 하부 림부 48 로 연장되는 페널 부 55,56을 가진다. 양 페널부 55,56은 단부벽 22의 일체로 형성된 지지바아 51,52 사이의 전체 간격을 채운다.

상부 카버 17 과 저부 카버 18은 그 상부 트인곳 23 과 저부트인곳 36을 각각밀폐하기위하여 반송체의 상 하부에 두는 것으로 웨이퍼 W를 보관하는 반송체의 개방 내부 57 안으로 출입하는 수분 과 오염 입자의 이행을 방지하는 실질적인 밀봉을 확립할수 있다. 또한 상부카버 17과 저부카버 18은 모두 실질적으로 강하면서 탄성적으로 유연한 플라스틱 재료로 성형한 것으로 이 상부 및 저부 카버 17,18은 이동중에 약간 구부려져서 반송체의 카버제거의 한쪽 코너를 오림으로서 반송체의 카버를 벗겨낼수 있으며 반송체로부터 카버의 나머지를 점차 떼어 낼수 있다.

상부카버 17은 부분적으로 원통형페널 또는 반송체 15의 저장된 에이퍼 W의 끝의 모양과 거의 같은 곡면을 가지는 리테이너 부 58 로 구성된다. 컨테이너의 다른 실시예로서 웨이퍼는 약 8 인치(20.3 cm)의 지름을 가지며 페널 58의 곡면은 거의 이런 크기의 단부의 곡율에 따른다. 또한 컨테이너 15는 적합한 크기의 컨테이너를 만듬으로써 6 인치(15cm),12인치(30cm) 또는 더 큰 웨이퍼에 맞출수 있다. 부분적으로 원통형 페널 58은 웨이퍼 반송체의 개방 내부 57을 만나는 볼록 내부 면 59를 가진다.

상부 카버 17은 거의 편평이며 평면 측단부 61,26,363,64를 가진다. 반송체 측벽 19,20 에 접하는 측단부 61,62 는 카버에 스프링성을 부여하며 반송체의 단부벽 21,22 에 접하는 단부 63,64 보다 더 넓다. 측단부 61-64 는 반송체 상단부 19.1, 20.1,21.1 및 22.1 위에 바로 놓이며 반송체와 상부카버 사이의 밀봉을 유지한다.

도 5에서 상부 카버 17 의 유연성을 도모하기 위하여 완충 수단 130 은 다수의 핀 131을 구비하며, 각 핀은 부분적으로 원통형 내부 면 59 에 따라가로로 연장되는 탄성 유연성 탭 102 의 줄 100을 구성하는 비연속 웨이퍼 맞물림 단부 104를 갖는다. 도 5에서와 같이 줄 100 은 상부카버 17 및 페널 58의 것을 따라 길게 연장되며 따라서 각 웨이퍼 W를 웨이퍼 맞물림 단부 104와 맞물고 위에 놓이게 한다. 줄 100 은 각각 서로 간격을 가진다. 중심 줄 100 은 상부 카버에 중심으로 장치된다. 줄 100 의 간격은 웨이퍼 W 의 편평물을 동반한다. 탭 102 의 각 줄 100 은 두 단부 106 과 내부 면108을 가진다.각줄 100은 거의 선이며내부면 59를 따라 페널 58에 부착 된다. 각 줄 100의 외단부는 일반적으로 부호 103으로 표시되며 그모양은 탭 102에 접하는 웨이퍼 맞물림 단부 104 에 의하여 규정된다.

도 3 A에서 각 핀 131 은 웨이퍼 W (외곽선으로 보임)에 맞물리는 컨테이너 15의 개방 내부 57 의 중심선 134를 향하여 방사상으로 돌출된다. 각 핀131은 각 웨이퍼 W를 맞물고 구조적으로 지지하며 각 웨이퍼 W 과 페널 58 사이의 간격을 유지한다.( 도 7 과 10에서도 보임). 핀 131은 도 5의 탭 102에서 설명한 것과 같이 웨이퍼 W (도 10)와 맞물려 거의 굽힘이 없이 탭 축 A를 따라 축방향으로 압축하고 유연하게 굴곡 된다(도 7). 탭 102는 웨이퍼 W 와 접촉을 유지하여 그 원래의 모양을 다시 얻으며 상부 카버 17의 유연함을 동반하여 선적 보관 중에 웨이퍼 W를 완충한다.

도 5에서 일반적으로 탭 102는 장방형이며, 컨테이너 57 안으로 연장되는 폭을 가진다. 각 탭 102는 줄 100을 따라 연장되는 길이이며 슬로트 105 에 의하여 인접 탭 102 로부터 분리된다. 줄 100에 따라 각 탭 102의 길이는 슬로트 105에 의하여 규정되며(도 4에서도) 웨이퍼 맞물림 단부 104 상에 접촉부 132 와 함께 단일 웨피퍼 W를 맞물도록 각 탭 102 의 눈금을 정한다. 웨이퍼 맞물림 단부 104는 컨테이너 15에 보관되는 웨이퍼 W를 완충하고 맞문다.

탭 102 의 폭은 페널 58 로부터 웨이퍼 맞물림 단부 104 까지 측정되며 줄 100 에 따라 점차 증가 및 감소하며 중간부 108 의 탭 102는 단부 106에 위치한 탭 102 보다 보통 더 넓다. 줄 108의 중간부 의 탭 102는 약 0.100 인치 폭이며, 단부 106 에 위치한 탭 102 의 폭은 약 0.050 인치이다. 이들 측정은 줄의 중간부 108 과 단부 106에 따라 탭의 폭에 관계되어 예증하는 것으로서 본 발명의 범위를 제한하는 것이 아니다.

도 5에서 줄 108의 중간부를 따라 위치하는 탭 102는 컨테이너 15 내 웨이퍼의 무게로 굽어지고 상부 카버 17을 허용하도록 더 넓어 지며 웨이퍼 W 에 대해 누르는 탭 102의 유지 하는 힘을 준다.줄 108 의 중간부에 있는 더넓은 탭 102 는 독립 웨이퍼 맞물림단부 104에 의하여 각 웨이퍼 W 와 접촉을 유지하는 동안 상부카버 17을 굴곡되게 한다. 어떤 조건하에서는 탭 102의 폭은 중간부 108로부터 각 단부 106 까지 줄 100 에 따라 비직선상으로 증가하는 것이 필요하다.

도 3A에서 컨테이너 15의 중심선 134에 대한 각 핀 131의 외곽단부 103의 모양은 각 웨이퍼 W 를 상부카버 17 으로서 유연하게 접촉을 유지함에 매우 중요한 것이다. 각 핀 131은 반경 150 둘래에 동심원적으로 형성된다. 각 핀 131을 따라 외곽 단부 103은 컨테이너 15의 중심선 134에 대해 볼록아치형을 만든다.볼록 아치형은 반경 거리 136에 의하여 규정된다. 반경거리 136은 컨테이너 15의 중심선 134로부터 각 핀 131의 웨이퍼 맞물림 단부 104 까지 측정한다. 웨이퍼 W는 컨테이너 15의 중심선 134에 정렬 된다. 따라서 웨이퍼의 반경은 컨테이너 15의 반경150 으로 정렬된다. 반경거리 136은 각 핀의 중간부 108(도 5)로부터 각핀 131의 각 단부 106 (도5)에 접하는 더 큰 반경거리 136으로 증가 한다.

도 5에서 상부카버 17의 유연성을 주는 완충수단 130은 외단부 103을 가진다. 외단부 103 의 모양은 줄 100을 따라 탭 102와 접하는 웨이퍼 맞물림단부 104에 의해 규정된다.탭 102는 도 5에서와 같이 보통 핀과 같은 베이스를 가진다.

도 5A에서 상부카버 17의 유연성을 주는 완충수단 130은 각 줄 100의 외단부 103에 따라 볼록 아치형을 형성하는 컨테이너 15의 중심선 134에 대해 페널 58의 볼록아치형을 더 가진다. 이 실시예에서 각탭 102는 거의 같은 폭을 가진다. 탭102는 도 5에서와 같이 보통 핀 같은 베이스가 없이 페널 59로부터 개별 연장된다. 도 5A, 5B및 5C 의 어두운선은 웨이퍼와 맞물렸을 때의 페널 58의 부위를 나타낸다.

도 5 와 5A에서 각 탭 102는 슬롯 105에 의하여 줄 100을 따라 인접 탭 102로부터 분리된다. 스롯 105와 탭의 인접웨이퍼 맞물림 단부 104는 각 줄 100을 따라 분연속 아치형 외단부 103을 정한다.

도 3A에서 탭 102의 다수의 줄 100은 내부 면 59를 따라 상부카버 17을 횡단하여 분포된다. 단일 줄 100은 측벽 19,20 사이에 내부면 59에 따라 중심이 된다. 탭 102 의 줄 100 ?? 또한 중심 줄 100 과 상부카버 17의 측부위 61,62의 사이에 위치한다. 도 6,7에서 핀 131은 제작비를 최소화하기 위하여 상부카버 17과 일체로 성형한다.

도 5에서 관련 탭의 세트들은 102로 표지하였다. 관련 탭 102의 각세트는 특정 웨이퍼 W를 맞물고 완충한다. 각줄 100의 관련 탭 102의 폭은 줄로부터 다른 카버 17을 적합시키는 줄 까지 변할수 있으며 상부카버 17의 다른 유연함의 값에 따라 달라 진다.

페널 58에 따른 중심 줄 100은 통형 내부면 59의반경과 웨이퍼의 반경의 차이를 보상하는 축부 61,62와 중앙 줄 100 사이에 대신들어서는 줄 100의 대응하는 탭 보다 짧은 탭을 가진다.

도 5B,5C에서 상부카버 17의 완충 수단 130은 페널 58의 내면으로부터 연장되는 연속 스트립 138을 구성하는 다수의 핀 131을 가진다. 연속 스트립 138 은 상기와 같은 볼록아치형을 형성하는 컨테이너 15의 중심선 134(도 3A)에서 반경거리 136 간격진 웨이퍼 맞물림단부 104를 가진다. 상부 카버 17의 탄력을 가진 볼록아치형은 웨이퍼를 완충 수단에 지지되게 하고 웨이퍼를 바깥으로 힘을 준다. 도 5B에서 핀 131의 베이스에 따라 페널 58 은 컨테이너 15 (도 3A)의 중심선 134에 거의 평행하는 원통형을 가진다. 핀 131의 폭은 중간부 108에서 컨테이너 15(도 3A)의 중심선 134에 대해 외단부 103의 볼록아치형을 형성하는 단부 106으로 점차 감소한다.

도 5C에서 상부카바 17의 유연성을 위한 완충 수단 130은 제 1 비유연성 위치에 있을 때 컨테이너 15(도 3A)의 중심선 134에 대해 볼록아치형을 가지고 형성된 페널 58을 가진다. 도 5C 에 외선에 나타낸 것 같이 페널 58 은 컨테아너 15가 제 2 유연 위치내의 웨이퍼 W 로 실어질 때 중심선 13(도3A)에 거의 평행이다.

도 5D에서, 상부카버 17의 유연성을 가지는 완충수단 130은 중심선 134(안보임)에 거의 평행하게 형성된 페널 58 및 핀 131을 가진다. 이 실시예에서 상부카버 17의 유연성은 핀 131의 구조를 중간부 108에서 단부 106으로 변경시킴으로서 조정할 수 있다. 이실시예에서 핀 131의 압축성은 핀 131의 구조 또는 두께를 변화시켜 변경한다.상부카바 17의 유연성을 조정하기위한 완충수단 130도 페널 58의 두께를 변경하여 구비할수 있다. 페널 58은 각 핀 108의 중간부 108로 부터 각 핀 131의 단부부위에 접하여 점점 두께를 감소 시킬수 있다.

도 10에서 상부카버 17의 핀 131 은 웨이퍼 맞물림부 132에서 웨이퍼 W를 맞물도록 축방향으로 압축한다.

도 11에서와 같이 핀 131의 두께는 핀 131의 중간부 108에 따라 더두껍게 하고 핀의 단부부위로 더 작은 두께로 변화하게 할수 있다. 핀 131의 압축성은 핀 131의 길이에 따라 구조를 수정 I -빔 또는 단계로 재룔를 이동하함으로 구조를 변경함으로써 변화시킬수 있다. 상부카버 17의 탄성 구조는 핀 131에 따라 압축성을 변경하여 핀 131을 연속 스트립 138 또는 탭 102의 줄 100으로 하든 간에 관계없이 사용할수 있다.

도 6에서 핀 131의 단면은 경사진 모양을 하고 있다. 핀은 페널 58의 내측 표면 59에 접하는 넓은 두께와 내면으로부터 간격을 가진 더 좁은 두께를 가지는 것이 보인다. 핀 131은 중심선 134 (도 3A)으로부터 연장되는 컨테이너 15의 반경 150을 따라 내측으로 향한다.

도 6A에서 핀 131은 비즈 형 140을 가진다. 비즈형 140은 반경 150(도 3A)에 따라 동심으로 되어 있다. 비즈 형 140은 곡면142에서 와 같이 웨이퍼 맞물림 단부 104를 가진다.

도 6B에서 핀 131은 웨이퍼 맞물림 단부 104에서 뾰족한 나이프 단부 144를 가진다.

도 6C에서 웨이퍼 맞물림 단부 104는 반경 150(도 3A)에 따라 컨테이너 15내향으로 향하는 핀 131의 단부에 편평면 146를 가진다. 핀 131은 반경 150(도 3A) 둘레로 동심이며 편평면 146은 일반적으로 반경 150(도 3A)에 대해 수직이며 웨이퍼 W DP 탄력적으로 맞물리고 지지하는 웨이퍼의 반경에 따라 핀131의 파손에 적응한다.

도 6D에서 웨이퍼 맞물림단부 104는 페널 58의 내면 59로부터 간격을 가진 둥근단부 142 를 가진다. 핀 131은 반경 150(도 3A)에 둘려져 동심으로 형성된다.

또한 상부카버 17은 하나위에 다른하나를 쌓아 올리는 컨테이너의 쌓기를 위한 다수의 변형 또는 쌓기 오프셋 65를 가진다.

상부카버 17은 상부카버의 전체 주변을 둘러 연장되는 커지는 상부카버 림부를 가지며 특히 상부카버의 측단부 61,62를 따라 연장되는 내향으로 돌출되는 커진 상부카버 림 부위 66,67을 가지며, 단부부위63,64에 따라 연장되는 커지는 상부카버 림부 68,69를 가진다. 상부카버 17은 반송체 16위에 덮여지며, 림부 66-69는 실질적으로 밀봉 관계로 반송체 16의 림부41-44를 맞물고 껴 앉는다. 상부카버 17의 림부 66-69와 반송체의 림부 41-44는 반송체 16위에 상부카버 17을 고정하는 똑닥단추 역할을 한다. 카버상의 내삽 림부 66-69와 반송체 16의 림부41-44는 상부카버 17 가 반송체 16 에 엥커될 때 유일한 수단이 되며 즉 상부카버 17를 반송체 16 상에 지지하는 다른 쐐기 장치가 없다.

또한 상부카버 17은 림부 67로부터 외향 돌출되는 한쌍의 탭부 70,71를 가지며 반송체 16의 탭 38에 인접하여 보완관계에 있는 상부카버의 단부에 접하여 측단부 62와 림부 67에 따라 가로로 연장된다. 탭 70,71은 반송체 16상으로 상부카버 18의 닫힘을 완료함에 유용한 것이다.

상부카버공급에 최종단계에는 탭 70,71은 반송체상의 탭 38을 향하여 수동으로 쥐어 짜고 저부카버의 닫힘이 완료되고 똑닥단추 맞춤이 완료된다. 상부카버 17은 림부 66에 동심적으로 위치하는 탭을 가진다.

비록 컨테아너 16을 사용하는 기술자는 상부카버 17을 덮고 재거하는 여러 가지 과정을 고안하였으나 측벽 및 단부벽의 상부 끝부위에 상부카버 17을 첫째 장소로 성공적으로 적용할수 있는 것을 알수 있었다. 상부카버의 두 코너는 측 및 끝벽의 림부상에 사람손으로 누를수 있다. 다음 상부카버의 측단부 61과 62 는 반송체의 측벽에서 림부 41,42에 점차적으로 카버의 전체 림부 66-69가 닫힐 때까지 압축하여 반송체의 림부 41-44에 접하여 똑닥 맞쳐지게 한다.

상부카버 17를 제거하기 위하여 인접 림부 67과 69에서와 같이 코너부를 반송체의 접하는 림부 42,44를 올려 주고 상부의 코너부는 탄력으로 상부로 올라간다. 림부는 반송체의 모든 카버는 림부 41-44가 이탈될 때까지 상부카버를 올림으로써 점차적으로 분리한다.

반송체 16 과 상부카버 17 는 마모 및 손상에 매우 내구성이 좋은 특수 재료로 형성하므로 카버를 올려 빼내고 닫고 할 때 입자의 발생이 최소화 된다.

저부카버 18은 반송체의 하단부 32,33 및 34,35 하부에 각각 놓이며 반송체의 단부벽 및 측벽의 하단부를 맞물고 저부 카버 18 과 반송체 16의 사이에 실질적인 밀봉을 달성한다.

또한 저부 카버 18은 내부 웨이퍼 제한 지역 57을 규정하는 바닥이 되는 내부면 76을 가진다. 저부 카버 18의 내부면 76에 형성된 완충수단 130은 바닥 통형 페널 75으로부터 웨이퍼를 지지하고 간격을 둔다.

도 3A에서 저부 카버 18의 유연성을 조정하는 제2완충수단 130.1은 저부 카버 18의 가로로 연장되는 저부 핀 148을 구비할수 있다. 도 10의 실시예에서 두 저부 핀 148은 저부 카버 18에 형성되며 웨이퍼의 회전을 방지하고 웨이퍼 W를 지지하기 위해 웨이퍼에 의하여 맞물릴 때 바깥쪽으로 굽도록 고안 되어 형상을 가지고 있다(도 12) 저부 카버 18상의 각 저부 핀 148은 반경거리 136에 의하여 컨테이너 15의 중심선 134에서 간격을 가지는 웨이퍼 맞물림 단부 114 를 가진다. 또한 저부 카버 18상의 각 저부 핀 148은 상부 카버 17의 핀 131과 유사한 형상 일수도 있다. 저부 카버 18상의 각 저부 핀 148은 상부 카버 17의 핀 131과 유사한 형상의 웨이퍼 맞물림 단부 114를 구비할수 있다. 위에서 설명과 같이 저부 핀 148 상의 웨이퍼 맞물림 단부 114는 편평형 146(도 12) 또는 나이프 끝형상(안보임) 또는 둥근 단부(도 3A)를 가질수 있다.

도 3A에서 계속하여, 저부 카버 18상의 저부 핀 148은 도 8에서 설명한것과 같이 탄력성 탭 117의 연속 스트립 149 또는 비연속 줄 110 일수 있다. 저부 카버 18상의 제2 완충수단 130.1은 도 8에서와 같이 탄성 탭 117의?? 줄 110을 형성하는 비??연속 웨이퍼 맞물림 단부 114를 가지는 다수의 핀 148이다. 저부카버 18상의 탭 117은 실질적으로 탄성 탭 117상의 탭 102와 유사하다. 또 도 8에서 저부 카버 18상의 각핀 148은 두 단부 116과 중간부 118을 가진다. 각핀 148은 중심선 134 (도 3A)에 관하여 상기 설명과 같이 저부 카버 18의 유연성을 주는 볼록아치형 웨이퍼 맞물림단부 114 를 가진다.

도 3A에서 저부카버 18의 탄력을 주는 제2 완충 수단 130.1은 위에서 설명한것과 같이 상부카버 17의 유연성 완충수단 130과 같은 구조로 형성될수 있다. 저부카버 18상의 저부 핀 148의 웨이퍼 맞물림 단부 114에 대한 컨테이너 15의 중심선134로 부터의 반경거리 136은 중간부 118로 부터 각 단부 116으로 점차 감소한다. 이 점차적으로 변하는 반경거리 136은 저부 카버 18 에 대한 저부 핀 148의?? 아치형 또는 컨테이너 15의 중심선 134에 대한 저부 원통형 페널 75의 아치형에 의하여 형성 된다. 도 5D에서 상부 카버 17에 대한 것과 같이 저부 카버 18은 두께가 각저부핀148의 중간부 118 에 접하는 것으로 부터 저부 페널 18상의 저부 핀 148의 각단부 116에 접하는 저부 원통형 페널 75의 부위로 가면서 점차적으로 감소하는 저부 원통형 페널 75를 가진다.

도 3A로 계속하여 저부 카버 18의 탄성을 주는 제 2 완충수단 130.1은 핀 131의 압축성을 중간부 118에 근접하는 높은 압축성을 가지는 부분과 각단부에 근접하는 압축성이 적은 부분으로 변경하는 저부 카버 18 상의 저부 핀 148의 구조를 구비한다. 저부캅버 18상의 저부 핀 148은 상부카버 17상의 핀 131과 함????께 작용하여 선적 및 보관 중에 웨이퍼 맞물림 단부 104,114 사이의 컨테이너 15내에 웨이퍼를 현수하며 마찬가지로 카버 17,18 모두 또는 하나의 탄력 또는 굽힘을 허용하고 모든 웨이퍼 W를 횡단하는 보지력을 같게 분배한다.

도 3A에서 저부 카버 18이 반송체 16에 공급되는 것과 같이 저부카버 18상의 각 핀148의 웨이퍼 맞물림단부 114는 각웨이퍼 W를 맞물고 측벽 19 와 20을 따라 그 받침대 위치로 부터 이것을 올려 준다. 웨이퍼 W는 상부카버 17상의 핀 131과 저부 카버 18상의 저부핀 148 사이에 현수 된다.도 8에서 저부카버 18의 탄력을 주기위한 제2 완충수단 130.1은 저부카버 18 과 같이 저부카버 18??의 탄력에 대항하는 저부 카버 18상의 보강을 구비하고 반송체에 공급하고 있다. 저부 원통형 페널 75는 저부 카버 18의 각핀 148의 중간부 118로 부터 각 단부 116에 접하면서 변화하는 두께로 되어 있다. 또한 저부카버 18은 외측 페널 75상의 다수의 지지?? 리브 112를 가진다. 지지 리브112는 저부카버 18로 부터 아래쪽우로 ,컨테이너 15로 부터 바깥으로 연장된다. 각 지지리브 112는 저부카버 18상의 핀148에 평행이다. 이 리브 112는 웨이퍼 W를 컨테이너 15로 삽입할 때 저부 카바 18을 보강하여 굽힘과 탄력을 감소시키고 카버의 탄성을 주는 완충 수단 130과 맞물린다.

도 12에서 각 저부 핀 148은 저부페널 75로부터 수직으로 형성되는 외측 벽면 152를 구비한다. 각 저부핀 148은 외측벽면 152에 수직인 예각으로 형성되는 내측벽면 154를 가진다.두 저부 핀 148상의 내측벽면 154는 서로 대향하고 있다. 저부 핀148 상의 웨이퍼 맞물림단부 114는 웨이퍼 를 맞무는 외측벽면 152 와 내측??면 154 사이로 연장된다.저부핀 148의 구조는 웨이퍼 맞뭄부 132가 저부 핀 148에 힘을주면 외측벽면 152를 거쳐 외측으로 굽게 허용한다.이 외측 굽힘은 웨이퍼 W 를 저부 페널 75로부터 간격을 두게 하고 저부캅버 18의 탄성을 주어서 컨테이너 15내의 회전하는 웨이퍼 W를 잠금 한다.

또한 저부카버 18은 저부카버의 전체 주변으로 연장되는 림부를 가지며 특히 저부카버는 저부카버의 측단부 72를 따라 연장되고 반송체의 측벽 19,20의 림부 45,46을 껴앉는 확대되는 림부 78,79를 갖는다. 저부카버는 저부카버의 단부?? 73을 따라 연장되며 반송체 16의 단부벽의 확대된 림부 47,48를 껴안는 확대된 저부 카버 림부 80,81를 가진다.림부 78,79,80 및 81은 거의 평면으로 놓이고 웨이퍼 반성체의 림부 45,46,47,48를 스냅 맞춤으로 껴안으며 웨아퍼 반송체의 저부카버를 보유하며 밀봉을 유지한다. 저부 카버의 림부 78-81와 웨이퍼 반송체의 림부 45-48은 웨이퍼 반송체에 저부카버를 지지함으로써 유일한 수단을 구성하며 즉 반송체 상에 저부카버를 지지하기위하여 보조적 잠금수단을 더 필료로 하지 않는다.

반송체 16과 상부 및 저부 카버 17,18 사이의 밀봉은 실질적으로 용이 15를 출입하는 공기,기타 가스,수분 및 입자의 이동을 방지하며 대기압 변동에 따라 반송체가 트림하거나 빨아들이는 것을 방지한다.

또한 저부카버 18은 저부카버의 측단부 72의 하나에 따라 가로로 연장되고 림부 79에 인접하는 한쌍의 연장되는 탭부 82,83을 가진다. 탭부 82,83은 웨이퍼 반송체의 하단부 상의 탭 40에 접하여 놓이며 오프셋관계로 되어 탭부 83 및 40 모두의 동시적 맞물림과 압착을 이루고 반송체상으로 저부카버가 놓이는 것을 와성하는 스냅 맞춤을 보증한다. 원래 저부카버 18은 지지대상에 저부카버 18을 놓음으로써 반송체에 공급되는 것이며 다음, 반송체는 저부카버에 놓이고 눌려져서 반송체 16와 카버 18을 함께 스냅 맞춤한다. 만일 이미 웨이퍼 W 가 ????송체 내에 있으면 측벽 19,20의 오프셋 부 26,27로 부터 저부카버를 뜰어내 올린다. 또한 저부카버 18은 측단부 72 상에 놓이는 항쌍의 동심적으로 놓이는 대향 탭부 82와 83를 가진다.

웨이퍼 반송체로 부터 저부카버 18 를 제거함에 있어서 상부카버와의 관계를 설명한것과 같이 저부카버의 한 쪽 모서리를 굽히고 저부카버 18을 웨이퍼 반송체의 확대된 하부 림부 45-48으로 부터 점차적으로 분리한다. 저부카버의 림부 78-81은 웨이퍼 반송체의 리??부 45-48을 맞물고 웨이퍼 반송체의 내부 57의 안 팍으로 출입하는 공기, 수분 및 입자의 이행을 방지하는 실질적인 밀봉을 이룬다. 이리하여 저부카버 림부 78-81은 저부 카버의 측단부 72를 따라 연장되는 림부 78.79의 평면부 78.1,79.1에 놓이며, 저부카버 림부의 나머지의 평면서 을 떨어져서 웨이퍼 반송체상의 림부의 평면에서 갈라지는 림부 45,46의 부위 50의 모양을 이루고 웨이퍼의 다리 페널 30,31 내의 새김 놋치를 통과한다.

또한 저부카버 18은 저부카버에 강도를 보태는 탭 82,83에서를 제외한 저부카버의 주변둘레를 바깥으로 돌출하는 주둥이 부위 84가 구비된다. 유사하게 상부카버 17은 상부카버의 강도를 더 보태는 탭 70,71을 제외하는 모든 상부카버의 주위를 상부카버의 단부에서 밖으로 돌출하는 주둥이 부85가 구비된다.

도 13에서 컨테이너 15는 가동장치와 접하여 맞물리는 H- 바아 54와 그 단부벽 22으로 사용하려는 의도이다. 따라서 상부카버 17는 도 1에서와는 다른 배열을 가질수 있으며 상부카버 17 과 저부카버 18 은 도 13과 같이 수직으로 위치하여 사용된다. 이 배열에서 웨이퍼(안보임)는 수평으로 배열되고 상부카버 17은 측면카버 17.1의 기능을 한다.

용어로 사용되는 상부, 단부,저부 및 측면 부는 서로 관계되어 본발명의 부재의 관계 위치를 나타낼 목적이며 다르게 배열된 컨테이너 15 에 대한 범위를 제한하려는 것이 아니다.

Claims (38)

1. a) 두측벽과 두단부벽을 가지는 컨테이너, 측벽과 단부벽에 부착된 저부벽으로 웨이퍼 제한 지역이 정해지고, 제거가능한 상부카버는 두 측벽과 두단부벽에 밀봉으로 부착되어 웨이퍼가 수용되는 내부웨이퍼제한구역으로 출입하며, 각측벽에 웨이퍼 지지체를 가지는 컨테이너이며,웨이퍼 지지는 웨이퍼를 간격이 있는 축방향 정렬로 유지하도록 위치하며;

   b) 상부카버는 굽혀지는 유연한 재료로 구성되며 웨이퍼를 웨이퍼제한지역내에 가지며 측벽과 단부벽에 부착할 때, 상부카버는 바깥쪽으로 굽으며, 상부카버는 각 웨이퍼를 맞물고 상부 카버의 외측방향 굽어짐을 수용하기 위한 웨이퍼 완충수단으로

   구성되는 웨이퍼 등을 위한 컨테이너.
2. 제 1항에 있어서, 완충 수단은 추가로 상부카버의 내부에 가로로 연장되는 다수의 핀과, 웨이퍼는 상부 카버로부터 간격이 있는 각 핀(fin)상의 단부에 맞물리는 컨테이너.
3. 제 2항에 있어서, 각 핀은 상부카버의 가로로 연장되는 한 줄(row)의 탭(tab)으로 구성되며, 각핀은 웨이퍼 맞믈림 단부를 가지는 컨테이너.
4. 제 2항에 있어서, 각 핀은 중간부와 두 단부로 구성되며, 핀은 그 길이에 따라 압축성이 변하며, 중간부에 인접하는 핀은 각 단부에 인접하는 핀 보다 더 압축되는 컨테이너.
5. 제 4항에 있어서, 핀은 두께를 가지며, 핀의 중간부에 인접하는 더 큰두께로 부터 핀의 각 단부에 인접하면서 두께가 작아지는 점차적으로 두께가 변하는 컨테이너.
6. 제 1항에 있어서, 완충수단은 상부카버의 내측에 따라 가로로 연장되는 다수의 비즈를 가지며, 비즈는 웨이퍼 맞물림 단부를 가지고, 컨테이어의 중심선, 컨테이너 중심선과 관계되는 볼록아치형을 가지는 웨이퍼 맞물림 단부를 가지는 컨테이너.
7. 제 2항에 있어서, 컨테이너의 중심선을 가지며, 핀은 컨테이너의 중심선으로 방사상으로 배열된 컨테이너.
8. 제 7항에 있어서,카버의 중심선에 대하여 각핀상에 볼록아치형의 웨이퍼 맞물림 단부를 구비하는 컨테이너
9. 제 8항에 있어서, 각핀의 볼록아치형의 웨이퍼 맞물림 단부는 상부카버와 웨이퍼 맞물림 단부 사이로 규정된 폭을 가지는 각 핀에 의하여 형성되며, 각핀의 중??부와 각핀의 단부, 각 핀의 폭은 중간부위에 접하여 더 커지고 각 단부에 접하면 더 작아지는 컨테이너.
10. 제 2항에 있어서, 핀은 편평형의 웨이퍼 맞물림부를 가지며, 핀은 ????송체 내의 웨이퍼에 의하여 거의 굽힘없이 압축되는 컨테이너.
11. 제 7항에 있어서, 웨이퍼는 거의 둥글며, 컨테이너의 반경은 중심선으로부터 연장되며 각 핀에 끼워지며, 각 핀은 반경 주위로 동심으로 형성되어 반경을 따라 굽힘이 거의 없이 압축에 의하여 웨이퍼를 실질적으로 원형으로 맞무는 컨테이너.
12. 제 1항에 있어서,저부벽의 완충수단이 구비되며, 저부벽의 완충수단은 웨이퍼를 맞무는 내부웨이퍼 제한 구역으로 연장되며 저부벽의 오나충수단과 상부카버의 완충수단 사이에 웨이퍼를 현수하는 컨테이너.
13. 제 12항에 있어서,저부벽은 제거가능한 카버인 컨테이너.
14. 제 12항에 있어서,저부벽의 완충수단은 서로 간격을 가지고 저부벽을 따라 가로로 연장되는 한쌍의 저부 핀을 가지며, 저부 핀의 쌍은 실질적으로 수직인 외측벽면을 가지고 또 외측벽면에 예각으로 형성된 내측벽면을 가지며, 외측벽면과 내측벽면 사이에 웨이퍼 맞물림 단부를 가지므로써 저부핀은 저부 벽으로부터 간격을 가지고 웨이퍼를 지지하며 웨이퍼에 의하여 맞물릴 때 서로 외측으로 굽어지는 컨테이너.
15. 제 3항에 있어서, 각 탭상의 단부를 맞무는 웨이퍼에 의하여 규정되는 각 핀 상의 외단부를 가지며 웨이퍼를 간격을 주는 탭은 폭에 의하여 상부카버로부터 단부를 맞물고, 각 핀의 중간부, 각핀의 두단부,를 구비하며, 폭은 각 핀의 중간부로부터 각 핀의 각 단부로 감에 따라 점차 감소하는 컨테이너.
16. 제 15항에 있어서, 탭의 폭은 중간부로부터 각핀의 단부로 비 직선 형으로 점차 감소하는 컨테이너.
17. 제 15항에 있어서, 컨테이노의 중심선을 가지며,각 핀의 외곽 단부는 컨테이너의 중심선에 대해 볼록아치형으로 된 커테이너.
18. 제 2항에 있어서, 중심 핀은 측벽 사이에 카버상에 중앙으로 위치하는 컨테이너.
19. a) 내부 방을 규정하는 두측벽과 두단부벽을 가지는 컨테이너, 제거가능한 저부 카버와 제거가능한 상부카버는 웨이퍼가 수용 저장되는 내부웨이퍼제한 방으로 출입하며, 웨이퍼를 서로 간격 뛰우고 직면 관계로 유지하기 위한 각 측벽의 웨이퍼분리 리브를 가지는 컨테이너,웨이퍼는 측벽에 가로질러 배열되고, 상부카버는 단부벽과 측벽에 밀봉부착되며, 저부카버는 측벼과 단부벽에 밀봉부착되어 내부 웨이퍼 제한 방은 장치의 외부 환경으로부터의 오염물을 방지하기 위한 밀봉이 되며;

    b) 상부카버에 탄력성 압축가능 재료로 된 다수의 핀이 있고, 각핀은 상부카버의 내측에 길이로 연장되며,핀은 서로 간격이 있고, 각핀은 중간부와 두단부를 가지며, 각핀에 웨이퍼 맞물림 단부를 가지고,웨이퍼 맞물림단부는 상부카버로부터 간격이 있고, 웨이퍼 맞믈림단부는 반경거리로 커테아너의 중심선에서 간격이 떠러진 각 핀에 있고, 반경거리는 각 핀늬 중간부에서 단뷰로 가면서 점차 감소함으로써 각 핀의 웨이퍼 말물림단부 위치는 컨테이너의 중심선에 대하여 볼록아치형을 이루고,이에 따라 웨이퍼는 컨테이너에 맞물려 완충되며, 핀은 상부 커버의 굽힘을 동반하면서 각 웨이퍼를 균형있게 압축하여 횡단하는 보지력을 주는 것으로 구성되는 장치내에 다수의 반도체웨이퍼 등을 저장 선적하기위한 장치.
20. 제 19항에 있어서,점차로 변하는 반경거리는 컨테이너의 중심선에 대한 상부카버의 아치형 볼록형상에 의하여 형성된 장치.
21. 제 19항에 있어서, 상부카버로부터 웨이퍼 맞물림 단부까지로 규정되는 핀의 폭, 핀의 폭은 핀의중간부로부터 단부로 점차 감소하므로서 웨이퍼 맞믈림 끝은 컨테이너의 중심선에 대해 볼록아치형을 이루는 장치.
22. 제 19항에 있어서, 각 핀은 압축가능한 탭의 줄로 구성되고, 각탭은 슬롯트에 의해 인접탭으로부터 분리되며,웨이퍼 맞물림단부는 핀에 따라 비연속적으로 있으며, 웨이퍼 맞물림부는 각 탭상에 있는 장치.
23. 제 19항에 있어서, 저부카버는 저부카버의 굽힘을 주는 수단을 가지므로서 웨이퍼는 상부카버의 핀과 저부카버의 굽힘을 주는 수단사이에 현수되는 장치.
24. 제 19항에 있어서, 각핀은 내부웨이퍼 제한 방안으로 향하며 상부카버가 컨테이너상에 있을 때 커테이너의 중심선으로 정렬되는 장치.
25. 제 23항에 있어서, 저부카버의 굽힘을 주는 수단은 저부카버를 따라 길이로 연장되는 한싸의 핀을 가지며, 핀은 서로 간격을 가지며, 각핀에는 웨이퍼 맞뭄단부가 있고, 웨이퍼 맞뭄단부는 저부카버로부터 간격을 가지는 장치.
26. 제 19항에 있어서, 상부카버는 탄성 굽힘성 재료로 형성되고, 상부카버의 외측면에는 쌓기 구조가 있는 장치.
27. 제 19항에 있어서,상부카버는 두께를 가지는 탄성 물질로 성형되고,상부카버의 두께는 각핀의 중간부에서 각핀의 단부로 점차적으로 감소하므로서 상부카버는 굽힘에 저항하고,상부카버의 두께변화는 반경거리가 달라지면서 변하는 장치
28. 제 25항에 있어서, 각 핀의 웨이퍼 맞뭄단부의 볼록아치형은 컨테이너의 중심선을 대하고, 이볼록아치형은 컨테이너의 중심선과 웨이퍼 맞뭄단부 사이에 반경거리에 의해 정해지고 각 저부핀은 중간부와 두 단말부를 가지고, 반경거리는 각 저부핀의 중간부 로부터 단부로 가면서 점차적으로 감소하는 장치.
29. 제 28항에 있어서, 각저부핀은 저부카버상에 거의 수직으로 배열되며,웨이퍼를 맞물 때 저부핀은 외향으로 굴곡되고 컨테이너내에서 웨이퍼의 회전을 저항하는 장치.
30. a) 두단부벽에 부착 밀봉되는 두측벽을 가지며, 이 측벽은 서로 까격을 가지고, 저부 벽은 측벽과 단부 벽에 부착 밀봉되어 내부 웨이퍼 제한 지역을 규정하며,

    b) 제거가능한 상부카버는 컨테이너가 무부하상태일 때 제 1 비굴곡 위치를 가지고, 상부카버는 컨테이너가 부하상태일 때 제 2 굴곡 위치를 가지고, 상부카버는 내부웨이퍼 제한지역안으로 연장되는 웨이퍼 완충수단을 가지며,웨이퍼완충수단은 각단부벽에 접하는 단부와 단부 사이의 중간부를 가지며, 상부카버 굽는 것은 웨이퍼의 완충수단의 중간부에 접하여 더 큰거리이고 단부에 접할수록 더 작인 거리를 가지는 웨이퍼 등을 선적 및 보관하는 용기.
31. 제 30항에 있어서, 웨이퍼 완충수단의 아치형은 상부카버의 형태에 의해 형성되고 웨이퍼 맞물림 단부는 폭에 의하여 상부카버에서 간격을 가지고 퍽은 완??수단의 중간부와 단부에 인접하여 거의 유사한 용기.
32. 제 30항에 있어서,저부벽은 제거가능하며, 저부핀 한쌍은 저부카버에 길이로 연장되고, 각저부핀상에 맞물림단부가 있고, 각저부핀상의 웨이퍼 맞물림단부는 저부카버로 부터 간격을 가지며 제 1 비굴곡 위치에 아치형으로 형성되고, 웨이퍼 맞뭄??부는 저부카버가 제 2 굴곡위치에 있을 때 거의 직선형태인 용기.
33. 제 30항에 있어서, 아치형은 그 폭으로 상부카버로 부터 웨이퍼 맞물림 단부간격에 의하여 형성되고, 그 폭은 중간부로 부터 완충수단의 단부로 점차 감소하는 용기.
34. 제 31항에 있어서, 상부카버에 쌓기 구조를 가지고, 쌓기 구조는 카버가 제1 비굴고 위치 및 제2 굴곡위치에 있을 때 용기에 대하여 고정 위치를 유지하고, 쌓기 구조는 측벽 및 단부벽에 인접하는 용기.
35. 제 34항에 있어서, 쌓기 구조는 추가로 상부카버에 형성되는 다수의 퇴적 단을 가지고, 퇴적단은 거의 편평형 평면이며, 각 쌓기단의 평평면은 다른 쌓기단의 편평면과 평면관계인 용기.
36. 제 34항에 있어서, 다수의 측단부가 쌓기 단을 맞무는 컨테이너의 저부에 구비되어서 다수의 컨테이너가 컨테이너 내부 웨이퍼 제한지역의 측벽 및 단부벽에 의하여 지지되는 쌓기 컨테이너의 중량을 가지고 쌓일수 있는 용기.
37. 제 30항에 있어서, 완충수단은 추가로 상부카버로 부터 연장되는 다수의 탭의 줄을 가지고, 각 탭은 각각 내부 웨이퍼제한지역에 부착되므로서 각 웨이퍼는 각 줄의 단일 탭에 의하여 맞물리는 용기
38. 제 37항에 있어서, 각탭의 압축성의 값은 줄에 따라 변하며 용기의 단부벽에 접근하면 더 압축되는 용기.

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