JPH1144947A - ペリクルの収納構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケー
スに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクル
に接触させることによってペリクルを拘束し、この状態
でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃に
よってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵
が発生してペリクルに付着したりする問題があった。 【解決手段】枠体１と、この枠体１の上縁面に接着され
たペリクル膜２と、該枠体１の下端面に塗着した粘着材
３と、該粘着材３を保護するために枠体１の下端面に粘
着された保護フィルム４とからなるペリクルＡを、トレ
イ５とフタ６とよりなるケースＢに収納する構造に於い
て、前記ペリクルＡの枠体１を強磁性体金属で形成し、
かつトレイ５の基台部５ａの下面にシート状磁石９を取
付けて構成したペリクルの収納構造である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ等を製造す
る際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクや
レティクルに異物が付着することを防止するために用い
られるペリクルの収納構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体回路パターン等の製造に於
いては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、
フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止するこ
とが行われている（例えば特公昭５４ー２８７１８号公
報）。ペリクルはフォトマスク或いはレティクルの形状
に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面
に、厚さ１０μｍ内外以下のニトロセルロース或いはセ
ルロース誘導体などの透明な高分子膜（以下、ペリクル
膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘
着材を塗着すると共に、この粘着材上に所定の接着力で
保護フィルムを粘着させたものである。

【０００３】前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或
いはレティクルに固着するためのものであり、また、保
護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の
接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護する
ものである。このペリクルを製造者から使用者に運搬す
るに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防
ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリ
クルをトレイとフタとからなるケースに収納し、更に防
塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。

【０００４】従来、前述の構造を有するペリクルのケー
スの収納は、図４乃至図６に示すように行われていた。
即ち、図に於いて、ペリクル膜５２は展張（ピンと張っ
た）状態で枠体５１の一方の上縁面に接着され、枠体５
１の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘着材５３が設
けられ、さらに粘着材５３の下面には保護フィルム５４
が貼り付けられてペリクルを構成している。このペリク
ルは、トレイ５５の平坦な面である設置面５５ａの上に
保護フィルム５４が接するように置かれる。

【０００５】トレイ５５の設置面５５ａ上に載置された
ペリクルは、トレイ５５に設けられた突起状のポスト５
５ｂによって、左右の動きが拘束され、そしてフタ５６
を上方からかぶせ、クリップ５７によってフタ５６とト
レイ５５との４隅を固定することによってケースに収納
されていた。この結果、前記ペリクルはフタ５６の斜面
５６ａと、ポスト５５ｂと、設置面５５ａとに囲まれて
拘束され、ケースに収納された状態となっていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】然るに、前述のように
ペリクルはケースのフタ５６の斜面５６ａ、ポスト５５
ｂ及び設置面５５ａで拘束された収納状態で輸送される
が、輸送時には何らかの振動、衝撃を受けることは避け
ることが出来なかった。従来のペリクルのケース内での
拘束状態において、ペリクルとケースのフタ５６の斜面
５６ａとの間に大きな隙間があると、輸送時の振動、衝
撃によってペリクルがケースのフタ５６にぶつかり、こ
の部分が強い擦れのために摩耗して発塵することがあっ
た。このような場合には、ペリクルを異物のない状態で
使用者に届けるという最も重要な機能を失うことになる
問題があった。

【０００７】一方で、ペリクルとケースとの間の隙間を
なくした場合には、すなわち前記斜面５６ａが前記枠体
５１（或いは前記ペリクル膜５２の端部）と予め接触し
ている場合にも、相互の接触圧力によって斜面５６ａの
内面或いは前記ペリクル膜５２の端部が摩耗し、異物を
発生することが経験上知られている。

【０００８】そこで、かかるペリクルの収納構造に於い
て最も好ましいとされているやり方は、前記ペリクルと
前記ケースのフタ５６の斜面５６ａとの間にごく僅かな
隙間をとるというものである。具体的には前記ペリクル
をトレイ５５の上に置き、フタ５６をかぶせ、クリップ
５７でフタ５６とトレイ５５を相互に固定したとき、斜
面５６ａと枠体１の上端との間に０．１乃至０．３ｍｍ
程度の隙間を設ける構造である。

【０００９】発明者の実験によって、このような隙間の
確保で、ある程度の振動、衝撃に耐えることが確かめら
れている。しかし、この場合にも大きな衝撃を受けた時
には、発塵する問題があった。更に梱包の方法（例えば
衝撃効果の高い軟らかい発泡材等を大量に使用するな
ど）によってケースやペリクルに加わる衝撃を和らげる
手段が必要であり、或いは振動や衝撃の少ない輸送手段
を必要としたり、前述のフタ５６とペリクルとの適度の
隙間を確保するために、トレイ５５やフタ５６の成形を
高い精度で行う必要があるなど、コスト面で非常に好ま
しくない問題があった。しかし、これ等の多くの手段も
原理的に、全く発塵しないことを保証することは極めて
難しいという問題があった。

【００１０】本発明者は前述の従来の問題点を根本的に
改善するために、ペリクルの保護フィルムを所定の接着
力で直接前記トレイに仮着させ、これによってケース内
に収納されたペリクルをケース内に拘束させて、輸送時
の振動や衝撃に充分耐えることが出来るようにした全く
新しい技術を既に開発し、特許出願をしている。（特願
平９ー１８２４５９号）。

【００１１】前述のペリクルをトレイに所定の接着力で
直接仮着する技術は、粘着材或いは接着材を使用するこ
とによって、ペリクルをトレイに拘束する構成である
が、本発明はこれ等の粘着材或いは接着材を使用せず
に、磁石の吸引力を用いることによってペリクルをトレ
イに拘束するようにした全く新しいペリクルの収納構造
の技術を提供するものである。

【００１２】特に本発明は、ペリクルとトレイとのいず
れかの一方に磁石を設けると共に他方の強磁性体を設け
て組合せるか、或いはこれ等のペリクルとトレイとの夫
々に磁石を設置して組合せ、これ等の磁石同志或いは磁
石と強磁性体の吸引力を利用してペリクルをトレイに固
定するようにしたペリクルの収納構造に関するものであ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明に係るペリクルの
収納構造は、前述の従来の多くの問題点に鑑み開発され
た技術であって、その第１発明の要旨は、枠体と、該枠
体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面
に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の
下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、
トレイとフタとよりなるケースに収納する構造に於い
て、前記ペリクルと前記トレイとのいずれかの一方に磁
石を設置し、かつ他方に強磁性体を設置するか、或いは
前記ペリクルと前記トレイとの双方に磁石を設置して、
前記ペリクルと前記トレイとの相互間に磁石による吸着
力を作用させて前記ペリクルを前記ケースに固定させる
ことを特徴としたペリクルの収納構造である。

【００１４】前述の第１発明の第１例では、前記ペリク
ルと前記トレイとのいずれかの一方に磁石を設置しかつ
他方に強磁性体を設置して構成したので、一方に設置し
た磁石と他方に設置した強磁性体との間に吸引力が働
き、この吸引力の作用によって前記ペリクルを前記トレ
イに安定した状態で確実に固定することが出来る。

【００１５】また、前述の第１発明の第２例では、前記
ペリクルと前記トレイとの双方に夫々磁石を設置して構
成したので、これ等の磁石相互間に吸引力が働き、この
吸引力の作用によって前記ペリクルを前記トレイに安定
させて確実に固定することが出来る。

【００１６】本発明の第２発明の要旨は、前記トレイに
磁石を設置し、前記ペリクルの枠体、粘着材、或いは保
護フィルムのいずれかに強磁性性能を付与して構成した
ことを特徴とした第１発明のペリクルの収納構造であ
る。

【００１７】前述の第２発明に於いては、前記トレイに
磁石を設置し、前記ペリクルの枠体、粘着材或いは保護
フィルムのいずれかに強磁性性能を付与したので、トレ
イ側の磁石とペリクル側の強磁性体との間に吸引力が働
き、この吸引力の作用によって前記ペリクルを前記トレ
イに安定した状態で確実に固定することが出来る。

【００１８】本発明の第３発明の要旨は、前記トレイの
上面或いは下面にシート状磁石または強磁性体金属シー
トを積層し、かつ前記ペリクルの保護フィルムを磁石シ
ートで構成したことを特徴とした第１発明のペリクルの
収納構造である。

【００１９】前述の第３発明に於いては、前記トレイの
上面或いは下面にシート状磁石または強磁性体金属シー
トを積層して設置し、かつ前記ペリクルの保護フィルム
を磁石シートで構成したので、トレイ側のシート磁石ま
たは強磁性体金属シートとペリクルの磁石シートで形成
した保護フィルムとの間に吸引力が働き、この吸引力の
作用によって前記ペリクルを前記トレイに安定させて確
実に固定することが出来る。

【００２０】

【発明の実施の形態】図により本発明に係るペリクルの
収納構造の一実施例を具体的に説明すると、図１は本発
明に係る第１実施例のペリクルの収納構造の縦断面説明
図、図２は図１のペリクルの収納構造の要部の平面切開
図、図３（Ａ），（Ｂ）は夫々本発明に係る第２実施例
のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面或いは一部切
欠平面説明図である。

【００２１】図１及び図２により本発明に係るペリクル
の収納構造の第１実施例を説明すると次の通りである。
即ち、ペリクルＡは既に詳述したように、枠体１と該枠
体１の上縁面に接着されたペリクル膜２と該枠体１の下
縁面に塗着された粘着材３と、該粘着材３を保護するた
めに粘着材３に粘着された保護フィルム４から構成され
ている。前記実施例に於いては、枠体１の下縁面に粘着
材３を塗着して形成したが、予め層状に形成された粘着
材３を使用する場合には、単に枠体１の下縁面に積層し
て貼着するのみで良い（しかし、本明細書に於いては、
このような場合も含めて単に「塗着する」と総称す
る）。

【００２２】次に、前述のように構成されたペリクルＡ
は、トレイ５とフタ６とよりなるケースＢに収納されて
いる。また、トレイ５とフタ６とのコーナー部にはクリ
ップ７が取付けられており、これ等のクリップ７によっ
てトレイ５からフタ６が外れないように固定されてい
る。８はトレイ５の上表面に起立突設された８個のポス
トであって、トレイ５上に載置されたペリクルＡの外周
近傍に配置されている。

【００２３】また、前記ペリクルＡの枠体１は、特に
鉄、ニッケル、マルテンサイト系ステンレス等の強磁性
体金属で形成されており、後述の磁石の磁力で吸引され
るように構成されている。一方でペリクルＡを載置する
ことが出来るトレイ５の基台部５ａの下面には、シート
状磁石９が取付けられている。このシート状磁石９は前
記枠体１と対応した４角枠形状を有している。

【００２４】前述のシート磁石９は、例えば鉄板を４角
枠形状に打ち抜いて磁界中で磁化させて永久磁石とする
方法、或いは強磁性体粉末をプラスチックに練り込んで
４角枠形状に成形し、このものを磁界中で磁化させて永
久磁石とする方法等を用いることによって比較的厚さの
薄いものを容易に製造することが出来る。

【００２５】本発明の前述の収納構造に於いては、トレ
イ５の基台部５ａにシート状磁石９を取付けると共に、
ペリクルＡの枠体１を強磁性体金属で形成したので、ペ
リクルＡをトレイ５の基台部５ａに載置することによっ
て、シート状磁石９と枠体１の吸引力作用でペリクルＡ
をトレイ５に安定した状態で固定することが出来る。

【００２６】前述の構成に於いて、ペリクルＡとトレイ
５との吸引力が弱い場合には、輸送時の振動や衝撃でペ
リクルＡがトレイ５より離脱する心配がある。ペリクル
Ａとトレイ５との吸引力が強すぎる場合には、使用者が
トレイ５よりペリクルＡを容易に取り出すことが出来な
くなる問題がある。本件発明者の試験によると、一般的
に約１５０ｇ程度の吸引力があれば良いことが明らかで
ある。

【００２７】ペリクルＡの重量は約１５ｇであるから、
前記吸引力は約１０Ｇの垂直加速度までペリクルＡを保
持することが出来る数値である。従って、輸送時の振動
や衝撃が１０Ｇ以下であるならば、ペリクルＡを収納し
たケースＢに特別の梱包を施す必要がない。また、必要
とする場合には、１０Ｇ以下となるようにケースＢの周
りに緩衝材等を用いれば良い。更に、前述の吸引力１５
０ｇは、ペリクルＡをトレイ５から取り出す際の力とし
ては全く問題のない数値である。

【００２８】前記実施例に於いては、枠体１を強磁性体
金属で形成することによって、ペリクルＡに強磁性を付
与したが、粘着材３をホットメルト粘着材等の液状体を
塗布して成形するような塗布型粘着材とし、この粘着材
に例えばフェライト粉末等の強磁性体粉を混合して磁石
に吸着されるような強磁性粘着材３にすることによって
も、ペリクルＡに強磁性を持たせることが出来る。

【００２９】更に、ペリクルＡに強磁性を持たせるため
には、保護フィルム４を数十ミクロン程度の厚さを持っ
た強磁性体金属薄膜で形成したり、保護フィルム４に強
磁性体粉を混合した塗料を塗布することによって構成す
ることも出来る。

【００３０】前記実施例に於いては、シート状磁石９を
トレイ５の基台部５ａの下面に取付けたが、基台部５ａ
の上面に取付けて構成することも可能である。これ等の
シート状磁石９をトレイ５に取付けるに当たっては、接
着剤等で簡単に固着することが出来る。前記実施例で
は、シート状磁石９をペリクルＡの全周に対応する形状
にしたが、部分的に対応するように配置することも可能
である。また、シート状磁石９を基台部の下面に取付け
る場合には、シート状磁石９が当接されるトレイ５の一
部を薄くして、ペリクルＡとシート状磁石９との距離を
小さくして両者の吸引力を強めることも可能である。

【００３１】前記実施例に於いては、トレイ５の基台部
５ａにシート状磁石９を取付けることによって、トレイ
５に磁石を設けたが、図３（Ａ），（Ｂ）の第２実施例
に示す如く、小径の円柱状焼結磁石１０をトレイ５の基
台部５ａの下面内に一体的に挿入して構成することも可
能である。この場合には、トレイ５を射出成形方式で成
形する際に、予め成形金型内に円柱状焼結磁石１０を挿
入しておき、トレイ５を射出成形する時にその一部の中
に円柱状焼結磁石１０を埋込むインサート方式で製造す
ることが出来る。

【００３２】前述のインサート成形の他に、円柱状焼結
磁石１０を接着材を用いて接着する方法、スナップフィ
ット方法やしまり嵌め方法等によって機械的に拘着する
方法も可能である。また、前述のように磁石をトレイ５
に取付ける手段を用いることなく、トレイ５自身を強磁
性体金属材料で形成し、磁場中で磁化してトレイ５その
ものを磁石とすることも可能である。

【００３３】前記実施例に於いては、トレイ５に磁石を
取付け、ペリクルＡに強磁性体を設けることによって、
ペリクルＡをトレイ５に吸着させるようにしたが、例え
ばペリクルＡの保護フィルム４を磁石シートで構成し
て、ペリクルＡの側に磁石を設けることも可能である。
即ち、保護フィルム４を磁石にする場合には、プラスチ
ックに強磁性体を混ぜ込んだ後でシート状に成形し、磁
場中で磁化することによって構成することが出来る。

【００３４】このように、ペリクルＡの側に磁石を設け
た場合には、トレイ５側に強磁性体を設けて構成するこ
とが出来る。即ち、例えばトレイ５の基台部５ａの上面
に強磁性体金属シートまたは強磁性体金属フィルムを積
層することによって構成することが出来る。前述のよう
に、トレイ５側に磁石を設けたまま、ペリクルＡ側にも
磁石を設けて組合せることも可能である。

【００３５】本発明に係るペリクルの収納構造の場合に
は、ペリクルＡが磁石の吸着力を利用することによって
トレイ５に固定されているので、例えばトレイ５の下面
に磁石が取付けられているような構造では、ペリクルＡ
をトレイ５から取り出す前に、トレイ５の下面から磁石
を取り外してしまうことによって、ペリクルＡをトレイ
５から解放して容易に取り出すことが出来る。

【００３６】

【発明の効果】本発明に係るペリクルの収納構造は前述
の構成と作用とを有するので、次のような多大な効果を
有している。

【００３７】本発明では、ペリクルをトレイとフタとよ
りなるケースに収納するに当たって、ペリクルを磁石の
吸引力を利用して該トレイに固定して構成したので、ペ
リクルを輸送する際に振動や衝撃によってペリクルがケ
ースに強く接触することを防止することが出来る。

【００３８】従って、ペリクルがケースに強くぶつかっ
て擦れが発生してペリクル自体を損傷させたり、或いは
ペリクルとケースとの強い擦れによる小さな塵が発生
し、この塵がペリクルに付着したりすることを防止出来
る。また、本発明では、ペリクルを磁石の吸引力でトレ
イに拘束したので、該トレイよりペリクルを簡単に取り
出すことが出来る。

【００３９】ペリクルを磁石の吸引力でトレイに拘束す
るに当たっては、ペリクル側の枠体、粘着材或いは保護
フィルムのいずれかに強磁性性能を付与したり、或いは
保護フィルムを磁石シートで形成し、トレイ側に磁石を
設置したり或いは強磁性性能を付与することによって、
容易かつ安価に実施することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１実施例のペリクルの収納構造
の縦断面説明図である。

【図２】図１のペリクルの収納構造の要部の平面切開図
である。

【図３】図３（Ａ），（Ｂ）は夫々本発明に係る第２実
施例のペリクルの収納構造の要部を示す縦断面或いは一
部切欠平面説明図である。

【図４】従来例のペリクルの収納例を示す縦断面説明図
である。

【図５】図４の要部を拡大した状態の縦断面拡大説明図
である。

【図６】図４のペリクルの収納状態を示す要部の平面説
明図である。

【符号の説明】

Ａ ペリクル Ｂ ケース １ 枠体 ２ ペリク
ル膜 ３ 粘着材 ４ 保護フ
ィルム ５ トレイ 5a 基台部 ６ フタ ７ クリッ
プ ８ ポスト ９ シート
状磁石 10 円柱状焼結磁石 11 突起部 51 枠体 52 ペリク
ル膜 53 粘着材 54 保護フ
ィルム 55 トレイ 56 フタ 57 クリップ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリ
   クル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着
   材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィ
   ルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケー
   スに収納する構造に於いて、前記ペリクルと前記トレイ
   とのいずれかの一方に磁石を設置し、かつ他方に強磁性
   体を設置するか、或いは前記ペリクルと前記トレイとの
   双方に磁石を設置して、前記ペリクルと前記トレイとの
   相互間に磁石による吸着力を作用させて前記ペリクルを
   前記ケースに固定させることを特徴としたペリクルの収
   納構造。
2. 【請求項２】前記トレイに磁石を設置し、前記ペリクル
   の枠体、粘着材、或いは保護フィルムのいずれかに強磁
   性性能を付与して構成したことを特徴とした請求項１の
   ペリクルの収納構造。
3. 【請求項３】前記トレイの上面或いは下面にシート状磁
   石または強磁性体金属シートを積層し、かつ前記ペリク
   ルの保護フィルムを磁石シートで構成したことを特徴と
   した請求項１のペリクルの収納構造。