JPH1017051A - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
- Publication number
- JPH1017051A JPH1017051A JP19565896A JP19565896A JPH1017051A JP H1017051 A JPH1017051 A JP H1017051A JP 19565896 A JP19565896 A JP 19565896A JP 19565896 A JP19565896 A JP 19565896A JP H1017051 A JPH1017051 A JP H1017051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellicle
- lid
- container body
- pellicle frame
- elastically deformable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 容器本体や蓋が歪んでいた場合でもペリクル
フレームが変形することがなく、また、輸送時にペリク
ルフレームがガタツキを生じることも防止できるペリク
ル収納容器を提供する。 【解決手段】 容器本体１０の内底部に２条の突条１
８，１９を同芯状に突設し、これら突条１８，１９間に
ゴム弾性を有するシリコーンゴムや熱可塑性エラストマ
等の材料で成形された弾性変形部材１６を嵌着する。そ
して、ペリクル３０が接着されたペリクルフレーム３１
を弾性変形部材１６上に載置し、蓋２０を被蓋した状態
で押さえ部２２によりペリクルフレーム３１押圧して押
さえ部２２と弾性変形部材１６との間に挟持し、蓋２０
や容器本体１０の歪みを弾性変形部材１６の弾性変形で
吸収するように構成した。
フレームが変形することがなく、また、輸送時にペリク
ルフレームがガタツキを生じることも防止できるペリク
ル収納容器を提供する。 【解決手段】 容器本体１０の内底部に２条の突条１
８，１９を同芯状に突設し、これら突条１８，１９間に
ゴム弾性を有するシリコーンゴムや熱可塑性エラストマ
等の材料で成形された弾性変形部材１６を嵌着する。そ
して、ペリクル３０が接着されたペリクルフレーム３１
を弾性変形部材１６上に載置し、蓋２０を被蓋した状態
で押さえ部２２によりペリクルフレーム３１押圧して押
さえ部２２と弾性変形部材１６との間に挟持し、蓋２０
や容器本体１０の歪みを弾性変形部材１６の弾性変形で
吸収するように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ＩＣやＬＳＩ等
の製造において使用されるフォトマスクやレチクル（以
下、マスクと総称する）の表面への異物の付着を防止す
るために開発されたペリクルを収納するペリクル収納容
器に関する。
の製造において使用されるフォトマスクやレチクル（以
下、マスクと総称する）の表面への異物の付着を防止す
るために開発されたペリクルを収納するペリクル収納容
器に関する。
【０００２】ＩＣ等の半導体の製造工程においては、マ
スク上に描かれた回路パターンを紫外線によりウェハ上
に転写する際に、マスク上に異物が僅かでも存在してい
ると回路パターンとともに異物の像がウェハに転写され
て欠陥を生じる。このような欠陥を防ぐためにはマスク
上に異物が存在しないようにしなければならない。そこ
で、ペリクルと称する防塵膜が開発された。
スク上に描かれた回路パターンを紫外線によりウェハ上
に転写する際に、マスク上に異物が僅かでも存在してい
ると回路パターンとともに異物の像がウェハに転写され
て欠陥を生じる。このような欠陥を防ぐためにはマスク
上に異物が存在しないようにしなければならない。そこ
で、ペリクルと称する防塵膜が開発された。
【０００３】ペリクルは、ニトロセルロース等により形
成されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンの
ものである。このようなペリクルは、アルミニウム等か
らなるペリクルフレームに接着され、マスク上に装着す
ることによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能と
なる。また、ペリクル上に異物が存在していても、転写
する際にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面と
マスクパターン面との間に距離ができるため、紫外線の
焦点位置がずれてウェハ上に転写されることはない。し
かし、ペリクルはマスクへの異物除去を防ぐ目的で使用
されるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこ
とが要求される。このため、ペリクルをペリクル収納容
器に収容し、ペリクルへの異物の付着を防止している。
成されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンの
ものである。このようなペリクルは、アルミニウム等か
らなるペリクルフレームに接着され、マスク上に装着す
ることによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能と
なる。また、ペリクル上に異物が存在していても、転写
する際にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面と
マスクパターン面との間に距離ができるため、紫外線の
焦点位置がずれてウェハ上に転写されることはない。し
かし、ペリクルはマスクへの異物除去を防ぐ目的で使用
されるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこ
とが要求される。このため、ペリクルをペリクル収納容
器に収容し、ペリクルへの異物の付着を防止している。
【０００４】従来、上述したペリクル収納容器として
は、図６および図７に示すようなものが知られている。
図中、１０は容器本体、２０は蓋、３０は矩形枠状のペ
リクルフレーム３１に接着されたペリクルである。容器
本体１０および蓋２０はポリプロピレン系の帯電防止樹
脂等から射出成形により成形され、また、ペリクルフレ
ーム３１はアルミニウム（合金）等から構成される。
は、図６および図７に示すようなものが知られている。
図中、１０は容器本体、２０は蓋、３０は矩形枠状のペ
リクルフレーム３１に接着されたペリクルである。容器
本体１０および蓋２０はポリプロピレン系の帯電防止樹
脂等から射出成形により成形され、また、ペリクルフレ
ーム３１はアルミニウム（合金）等から構成される。
【０００５】容器本体１０は周縁に全周にわたって角筒
状の嵌合部１１が一体に起設され、また、中央部にペリ
クルフレーム３１と対応した大きさの平面視矩形状の載
置部１２が上方へ膨出させて突設され、この載置部１２
に係止片部１３が間欠的に突設される。蓋２０は、周縁
に略Ｕ字状に屈曲した嵌合部２１が、この嵌合部２１の
内側に階段状に屈曲された段差テーパ状の押さえ部２２
が形成される。
状の嵌合部１１が一体に起設され、また、中央部にペリ
クルフレーム３１と対応した大きさの平面視矩形状の載
置部１２が上方へ膨出させて突設され、この載置部１２
に係止片部１３が間欠的に突設される。蓋２０は、周縁
に略Ｕ字状に屈曲した嵌合部２１が、この嵌合部２１の
内側に階段状に屈曲された段差テーパ状の押さえ部２２
が形成される。
【０００６】このペリクル収納容器は、ペリクルフレー
ム３１に接着されたペリクル３０を容器本体１０の載置
部１２上に係止片部１３の内側で載置し、蓋２０を容器
本体１０の嵌合部１１に蓋２０の嵌合部２１を嵌合させ
て取り付ける。そして、蓋２０を取り付けた状態では、
蓋２０が段差テーパ状の押さえ部２２によりペリクルフ
レーム３１を押さえてガタツキを防止している。なお、
１５は容器本体１０の裏面に一体形成された脚部であ
る。
ム３１に接着されたペリクル３０を容器本体１０の載置
部１２上に係止片部１３の内側で載置し、蓋２０を容器
本体１０の嵌合部１１に蓋２０の嵌合部２１を嵌合させ
て取り付ける。そして、蓋２０を取り付けた状態では、
蓋２０が段差テーパ状の押さえ部２２によりペリクルフ
レーム３１を押さえてガタツキを防止している。なお、
１５は容器本体１０の裏面に一体形成された脚部であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のペリクル収納容器にあっては、容器本体１０や
蓋２０の成形に際して収縮変形等が避けられず、この収
縮変形に起因して永久的な歪みを生じることがあった。
そして、容器本体１０や蓋２０に歪みが生じた場合、ペ
リクルが接着されたペリクルフレーム３１を容器本体１
０内に収容して蓋２０の押さえ部２２により押さえる
と、ペリクルフレーム３１に変形を生じさせるおそれが
あり、また、輸送時等においてペリクルフレームが発塵
の原因となるガタツキを生じるという問題があった。こ
の発明は、上記問題に鑑みなされたもので、容器本体や
蓋に変形が生じた場合でもペリクルフレームに変形を生
じるさせることがなく、また、輸送時等のガタツキも防
止できるペリクル収納容器を提供することを目的とす
る。
た従来のペリクル収納容器にあっては、容器本体１０や
蓋２０の成形に際して収縮変形等が避けられず、この収
縮変形に起因して永久的な歪みを生じることがあった。
そして、容器本体１０や蓋２０に歪みが生じた場合、ペ
リクルが接着されたペリクルフレーム３１を容器本体１
０内に収容して蓋２０の押さえ部２２により押さえる
と、ペリクルフレーム３１に変形を生じさせるおそれが
あり、また、輸送時等においてペリクルフレームが発塵
の原因となるガタツキを生じるという問題があった。こ
の発明は、上記問題に鑑みなされたもので、容器本体や
蓋に変形が生じた場合でもペリクルフレームに変形を生
じるさせることがなく、また、輸送時等のガタツキも防
止できるペリクル収納容器を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部
に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋
する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレー
ムを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記
蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して
挟持するペリクル収納容器において、前記載置部にゴム
弾性を有する弾性変形部材を設け、該弾性変形部材上に
前記ペリクルフレームを載置する構成を採用した。
め、この発明は、周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部
に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋
する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレー
ムを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記
蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して
挟持するペリクル収納容器において、前記載置部にゴム
弾性を有する弾性変形部材を設け、該弾性変形部材上に
前記ペリクルフレームを載置する構成を採用した。
【０００９】そして、この発明のペリクル収納容器は、
前記容器本体の載置部に同芯状に２条の突条を間隔を隔
て突設して該突条間に環状の取付溝を形成するととも
に、前記弾性変形部材を環状に成形し、該弾性変形部材
を前記取付溝に嵌着する態様（請求項２）に、また、前
記弾性変形部材をシリコーンゴムまたは熱可塑性エラス
トマから成形する態様（請求項３）に構成することがで
きる。
前記容器本体の載置部に同芯状に２条の突条を間隔を隔
て突設して該突条間に環状の取付溝を形成するととも
に、前記弾性変形部材を環状に成形し、該弾性変形部材
を前記取付溝に嵌着する態様（請求項２）に、また、前
記弾性変形部材をシリコーンゴムまたは熱可塑性エラス
トマから成形する態様（請求項３）に構成することがで
きる。
【００１０】
【作用】この発明にかかるペリクル収納容器は、ペリク
ルが接着されたペリクルフレームを弾性変形部材上に載
置し、この弾性変形部材上に載置されたペリクルフレー
ムを蓋の押さえ部により押圧して保持する。このため、
容器本体や蓋に成形時の収縮に起因した歪みがある場
合、すなわち、蓋の押さえ部による押圧力が不均一な場
合でも弾性変形部材の変形により緩和でき、ペリクルフ
レームの変形や輸送時等のペリクルフレームのガタツキ
が防止される。
ルが接着されたペリクルフレームを弾性変形部材上に載
置し、この弾性変形部材上に載置されたペリクルフレー
ムを蓋の押さえ部により押圧して保持する。このため、
容器本体や蓋に成形時の収縮に起因した歪みがある場
合、すなわち、蓋の押さえ部による押圧力が不均一な場
合でも弾性変形部材の変形により緩和でき、ペリクルフ
レームの変形や輸送時等のペリクルフレームのガタツキ
が防止される。
【００１１】
【実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参
照して説明する。図１から図４はこの発明の一の実施の
形態にかかるペリクル収納容器を示し、図１が半断面し
た平面図、図２が図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３が図２
の一部を拡大した断面図、図４が主要部品の斜視図であ
る。なお、前述した図６，７の従来のペリクル収納容器
と同一の部分には同一の番号を付して説明する。
照して説明する。図１から図４はこの発明の一の実施の
形態にかかるペリクル収納容器を示し、図１が半断面し
た平面図、図２が図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３が図２
の一部を拡大した断面図、図４が主要部品の斜視図であ
る。なお、前述した図６，７の従来のペリクル収納容器
と同一の部分には同一の番号を付して説明する。
【００１２】図中、１０は容器本体、２０は蓋、３０は
ペリクルである。前述したように、ペリクル３０は、ニ
トロセルロース等からなり、ペリクルフレーム３１に接
着される。ペリクルフレーム３１は、アルミニウム等の
矩形枠状の部材から構成される。
ペリクルである。前述したように、ペリクル３０は、ニ
トロセルロース等からなり、ペリクルフレーム３１に接
着される。ペリクルフレーム３１は、アルミニウム等の
矩形枠状の部材から構成される。
【００１３】容器本体１０と蓋２０はポリプロピレン
（ＰＰ）系、ポリスチレン（ＰＳ）系、アクリル（ＰＭ
ＭＡ）系あるいはアクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レン（ＡＢＳ）系等の帯電防止樹脂から射出成形等によ
り成形される。なお、容器本体１０と蓋２０を構成する
帯電防止樹脂は上述したもの等から適宜選択されるが、
成形性と機械的強度に優れたＡＢＳで容器本体１０を、
透明性と機械的強度に優れたＰＭＭＡで蓋２０を成形す
ることが望ましい。
（ＰＰ）系、ポリスチレン（ＰＳ）系、アクリル（ＰＭ
ＭＡ）系あるいはアクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レン（ＡＢＳ）系等の帯電防止樹脂から射出成形等によ
り成形される。なお、容器本体１０と蓋２０を構成する
帯電防止樹脂は上述したもの等から適宜選択されるが、
成形性と機械的強度に優れたＡＢＳで容器本体１０を、
透明性と機械的強度に優れたＰＭＭＡで蓋２０を成形す
ることが望ましい。
【００１４】容器本体１０は、略矩形平板状をなし、内
底面周縁に全周にわたって筒状に起立する嵌合部１１が
形成され、内底面に矩形枠状の２条の突条１８，１９が
所定間隔を隔て同芯状に突設される。突条１８，１９は
略同一の高さを有し、外側の突条１９には上部に所定間
隔を隔て係止片部１３が突設される。図３に詳示するよ
うに、これら突条１８，１９の間には取付溝１７が突条
１８，１９と相似の矩形枠状に形成され、この取付溝１
７に弾性変形部材１６が嵌着される。なお、１５は容器
本体１０の裏面の適宜位置に形成された脚部である。
底面周縁に全周にわたって筒状に起立する嵌合部１１が
形成され、内底面に矩形枠状の２条の突条１８，１９が
所定間隔を隔て同芯状に突設される。突条１８，１９は
略同一の高さを有し、外側の突条１９には上部に所定間
隔を隔て係止片部１３が突設される。図３に詳示するよ
うに、これら突条１８，１９の間には取付溝１７が突条
１８，１９と相似の矩形枠状に形成され、この取付溝１
７に弾性変形部材１６が嵌着される。なお、１５は容器
本体１０の裏面の適宜位置に形成された脚部である。
【００１５】弾性変形部材１６は、図４に詳示するよう
に、矩形枠状をなし、シリコーンゴムや熱可塑性エラス
トマ等のゴム弾性を有する材料、好ましくは、重合度２
０以下のオリゴマーを加熱処理後（ＨＡＶ炉等を通すな
どによる）してその残存量を０．８％以下としたものな
ど（ペリクル収納容器のコンタミ防止と寸法安定性のた
めに行う）から射出成形等によって成形される。この弾
性変形部材１６は、その厚み寸法ｔが取付溝１７の深さ
寸法Ｄと同一あるいは若干大きく、また、その幅寸法ｗ
が取付溝１７の幅寸法Ｗと略一致する。なお、この弾性
変形部材１６はペリクルフレーム３１と面で接触するこ
とが必要十分な条件であり、その形状等は任意に選択で
きる。
に、矩形枠状をなし、シリコーンゴムや熱可塑性エラス
トマ等のゴム弾性を有する材料、好ましくは、重合度２
０以下のオリゴマーを加熱処理後（ＨＡＶ炉等を通すな
どによる）してその残存量を０．８％以下としたものな
ど（ペリクル収納容器のコンタミ防止と寸法安定性のた
めに行う）から射出成形等によって成形される。この弾
性変形部材１６は、その厚み寸法ｔが取付溝１７の深さ
寸法Ｄと同一あるいは若干大きく、また、その幅寸法ｗ
が取付溝１７の幅寸法Ｗと略一致する。なお、この弾性
変形部材１６はペリクルフレーム３１と面で接触するこ
とが必要十分な条件であり、その形状等は任意に選択で
きる。
【００１６】蓋２０は、容器本体１０と対応した略矩形
板状の部材からなり、周縁に断面略Ｕ字状に湾曲した嵌
合部２１が、この嵌合部２１の内側に段差テーパ状の押
さえ部２２が形成される。この蓋２０は、嵌合部２１が
容器本体１０の嵌合部１１と嵌合して容器本体１０を被
蓋し、被蓋した状態で押さえ部２２がペリクルフレーム
３１と当接して弾性的に押圧し、ペリクルフレーム３１
を弾性変形部材１６との間で挟持する。
板状の部材からなり、周縁に断面略Ｕ字状に湾曲した嵌
合部２１が、この嵌合部２１の内側に段差テーパ状の押
さえ部２２が形成される。この蓋２０は、嵌合部２１が
容器本体１０の嵌合部１１と嵌合して容器本体１０を被
蓋し、被蓋した状態で押さえ部２２がペリクルフレーム
３１と当接して弾性的に押圧し、ペリクルフレーム３１
を弾性変形部材１６との間で挟持する。
【００１７】この実施の形態にあっては、ペリクル３０
が接着されたペリクルフレーム３１を容器本体１０に載
置し、この容器本体１０の上部を蓋２０により被蓋す
る。ここで、蓋２０により被蓋した状態では、ペリクル
フレーム３１は容器本体１０の弾性変形部材１６上に位
置して蓋２０の押さえ部２２により押圧され、弾性変形
部材１６が弾性変形する。このため、容器本体１０や蓋
２０が歪んでいた場合でも容器本体１０や蓋２０の歪み
を弾性変形部材１６の弾性変形で吸収でき、ペリクルフ
レーム３１が変形することを防止でき、また、ペリクル
フレーム３１のガタツキも防止できる。
が接着されたペリクルフレーム３１を容器本体１０に載
置し、この容器本体１０の上部を蓋２０により被蓋す
る。ここで、蓋２０により被蓋した状態では、ペリクル
フレーム３１は容器本体１０の弾性変形部材１６上に位
置して蓋２０の押さえ部２２により押圧され、弾性変形
部材１６が弾性変形する。このため、容器本体１０や蓋
２０が歪んでいた場合でも容器本体１０や蓋２０の歪み
を弾性変形部材１６の弾性変形で吸収でき、ペリクルフ
レーム３１が変形することを防止でき、また、ペリクル
フレーム３１のガタツキも防止できる。
【００１８】図５はこの発明の他の実施の形態にかかる
ペリクル収納容器を示す一部拡大断面図である。なお、
この実施の形態においては前述した実施の形態と同一の
部分には同一の番号を付して説明と図示を省略する。
ペリクル収納容器を示す一部拡大断面図である。なお、
この実施の形態においては前述した実施の形態と同一の
部分には同一の番号を付して説明と図示を省略する。
【００１９】この実施の形態は、容器本体１０内底面に
略矩形枠状の２条の突条４１，４２を同芯状に突設す
る。内側の突条４１は高さが低く、外側の突条４２は高
さが高く、この外側の突条４２には上部に延在方向間欠
的に係止片部１３が一体に形成され、また、内側の突条
４１に弾性変形部材４３が嵌着される。
略矩形枠状の２条の突条４１，４２を同芯状に突設す
る。内側の突条４１は高さが低く、外側の突条４２は高
さが高く、この外側の突条４２には上部に延在方向間欠
的に係止片部１３が一体に形成され、また、内側の突条
４１に弾性変形部材４３が嵌着される。
【００２０】弾性変形部材４３は、前述した弾性変形部
材１６と同様に、断面形状が略矩形の矩形枠（リング）
状であって、シリコーンゴムや熱可塑性エラストマ等の
ゴム弾性を有する材料から射出成形により形成される。
この弾性変形部材４３は、容器本体１０側の面に嵌合溝
４３ａが形成され、この嵌合溝４３ａを上述した突条４
２に嵌着させて取り付けられる。
材１６と同様に、断面形状が略矩形の矩形枠（リング）
状であって、シリコーンゴムや熱可塑性エラストマ等の
ゴム弾性を有する材料から射出成形により形成される。
この弾性変形部材４３は、容器本体１０側の面に嵌合溝
４３ａが形成され、この嵌合溝４３ａを上述した突条４
２に嵌着させて取り付けられる。
【００２１】この実施の形態にあっても、ペリクルフレ
ーム３１は弾性変形部材４３上に載せられ、被蓋した蓋
２０の押さえ部２２により弾性変形部材４３に向けて押
圧される。したがって、上述した実施の形態と同様に、
ペリクルフレーム３１は弾性変形部材４３を弾性変形さ
せて該弾性変形部材４３と押さえ部２２との間に挟持さ
れ、蓋２０等の歪みが弾性変形部材４３の弾性変形によ
り吸収される。したがって、蓋２０等が歪んでいた場合
でも、ペリクルフレーム３１が変形を生じることがな
く、また、輸送時等のペリクルフレーム３１のガタツキ
も防止できる。
ーム３１は弾性変形部材４３上に載せられ、被蓋した蓋
２０の押さえ部２２により弾性変形部材４３に向けて押
圧される。したがって、上述した実施の形態と同様に、
ペリクルフレーム３１は弾性変形部材４３を弾性変形さ
せて該弾性変形部材４３と押さえ部２２との間に挟持さ
れ、蓋２０等の歪みが弾性変形部材４３の弾性変形によ
り吸収される。したがって、蓋２０等が歪んでいた場合
でも、ペリクルフレーム３１が変形を生じることがな
く、また、輸送時等のペリクルフレーム３１のガタツキ
も防止できる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
ペリクル収納容器によれば、容器本体にゴム弾性を有す
る弾性変形部材を設け、ペリクルが接着されたペリクル
フレームを弾性変形部材上に載置して蓋の押さえ部によ
り押圧して保持するため、蓋や容器本体の歪みが弾性変
形部材の弾性変形で吸収され、ペリクルフレームの変形
や輸送時のガタツキを防止できる。
ペリクル収納容器によれば、容器本体にゴム弾性を有す
る弾性変形部材を設け、ペリクルが接着されたペリクル
フレームを弾性変形部材上に載置して蓋の押さえ部によ
り押圧して保持するため、蓋や容器本体の歪みが弾性変
形部材の弾性変形で吸収され、ペリクルフレームの変形
や輸送時のガタツキを防止できる。
【図１】この発明の一の実施の形態にかかるペリクル収
納容器を示し、蓋の半分を取り除いた平面図である。
納容器を示し、蓋の半分を取り除いた平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】図２に一部を拡大した図である。
【図４】同ペリクル収納容器における弾性変形部材の斜
視図である。
視図である。
【図５】この発明の他の実施の形態にかかるペリクル収
納容器の一部を拡大した断面図である。
納容器の一部を拡大した断面図である。
【図６】従来のペリクル収納容器の蓋の半分を取り除い
た平面図である。
た平面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ矢視断面図である。
１０ 容器本体 １１ 嵌合部 １３ 係止片部 １６ 弾性変形部材 １７ 取付溝 １８ 突条 １９ 突条 ２０ 蓋 ２１ 嵌合部 ２２ 押さえ部 ３０ ペリクル ３１ ペリクルフレーム ４１ 突条 ４２ 突条 ４３ 弾性変形部材
Claims (3)
- 【請求項１】 周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に
載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋
する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレー
ムを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記
蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して
挟持するペリクル収納容器において、 前記載置部にゴム弾性を有する弾性変形部材を設け、該
弾性変形部材上に前記ペリクルフレームを載置すること
を特徴とするペリクル収納容器。 - 【請求項２】 前記容器本体の載置部に同芯状に２条の
突条を間隔を隔て突設して該突条間に環状の取付溝を形
成するとともに、前記弾性変形部材を環状に成形し、該
弾性変形部材を前記取付溝に嵌着した請求項１に記載の
ペリクル収納容器。 - 【請求項３】 前記弾性変形部材をシリコーンゴムまた
は熱可塑性エラストマから成形した請求項１または請求
項２に記載のペリクル収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19565896A JP3919260B2 (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19565896A JP3919260B2 (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | ペリクル収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1017051A true JPH1017051A (ja) | 1998-01-20 |
| JP3919260B2 JP3919260B2 (ja) | 2007-05-23 |
Family
ID=16344846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19565896A Expired - Fee Related JP3919260B2 (ja) | 1996-07-05 | 1996-07-05 | ペリクル収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3919260B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005173556A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-30 | Net Plastic:Kk | 大型精密シート状（半）製品用密封容器 |
| JP2006303246A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Miraial Kk | 枚葉収納容器 |
| JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
| EP1662324A3 (en) * | 2004-11-24 | 2007-06-27 | Miraial Co., Ltd. | Reticle-carrying container |
| JP2011034020A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納容器 |
-
1996
- 1996-07-05 JP JP19565896A patent/JP3919260B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005173556A (ja) * | 2003-11-18 | 2005-06-30 | Net Plastic:Kk | 大型精密シート状（半）製品用密封容器 |
| JP4675601B2 (ja) * | 2003-11-18 | 2011-04-27 | 株式会社 ネットプラスチック | 大型精密シート状製品および半製品用密封容器 |
| EP1662324A3 (en) * | 2004-11-24 | 2007-06-27 | Miraial Co., Ltd. | Reticle-carrying container |
| US7450219B2 (en) | 2004-11-24 | 2008-11-11 | Miraial Co., Ltd. | Reticle-carrying container |
| JP2006303246A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Miraial Kk | 枚葉収納容器 |
| JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
| JP4668724B2 (ja) * | 2005-08-08 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル用収納容器 |
| JP2011034020A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-17 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクル収納容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3919260B2 (ja) | 2007-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20060213797A1 (en) | Container box for framed pellicle | |
| KR102164153B1 (ko) | 윈도우 보유 스프링을 구비한 기판 용기 | |
| CN213240796U (zh) | 光罩盒门和光罩容器 | |
| JP2005049765A (ja) | 大型ペリクル収納容器 | |
| JP4614845B2 (ja) | ペリクル用収納容器 | |
| JP2007025183A (ja) | ペリクル用収納容器 | |
| JPH1017051A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JP2007328226A (ja) | ペリクル収納容器及びその製造方法 | |
| JPH10114388A (ja) | ペリクル容器 | |
| US6813005B2 (en) | Storage containers for lithography mask and method of use | |
| TWI270745B (en) | Method of installing a large pellicle | |
| JPH0954422A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH08133382A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| KR101087356B1 (ko) | 펠리클용 수납 용기 | |
| JPH0955354A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH10142772A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JP3157664B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JP3815701B2 (ja) | ペリクル収納容器の積み重ね構造 | |
| JP2007047238A (ja) | ペリクル用収納容器 | |
| JPH1124240A (ja) | ペリクルの収納方法及びペリクル収納容器 | |
| JPH10198022A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH10133359A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH07304111A (ja) | ペリクル収納容器およびその成形用金型装置 | |
| JPH11154699A (ja) | 容器の封止構造 | |
| JP3019005U (ja) | ペリクル用容器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060515 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060523 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060704 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061212 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070116 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070213 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100223 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130223 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160223 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |