JPH1017051A - ペリクル収納容器 - Google Patents

ペリクル収納容器

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JPH1017051A
JPH1017051A JP19565896A JP19565896A JPH1017051A JP H1017051 A JPH1017051 A JP H1017051A JP 19565896 A JP19565896 A JP 19565896A JP 19565896 A JP19565896 A JP 19565896A JP H1017051 A JPH1017051 A JP H1017051A
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pellicle
lid
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elastically deformable
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Kazuya Okada
一也 岡田
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 容器本体や蓋が歪んでいた場合でもペリクル
フレームが変形することがなく、また、輸送時にペリク
ルフレームがガタツキを生じることも防止できるペリク
ル収納容器を提供する。 【解決手段】 容器本体10の内底部に2条の突条1
8,19を同芯状に突設し、これら突条18,19間に
ゴム弾性を有するシリコーンゴムや熱可塑性エラストマ
等の材料で成形された弾性変形部材16を嵌着する。そ
して、ペリクル30が接着されたペリクルフレーム31
を弾性変形部材16上に載置し、蓋20を被蓋した状態
で押さえ部22によりペリクルフレーム31押圧して押
さえ部22と弾性変形部材16との間に挟持し、蓋20
や容器本体10の歪みを弾性変形部材16の弾性変形で
吸収するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ICやLSI等
の製造において使用されるフォトマスクやレチクル(以
下、マスクと総称する)の表面への異物の付着を防止す
るために開発されたペリクルを収納するペリクル収納容
器に関する。
【0002】IC等の半導体の製造工程においては、マ
スク上に描かれた回路パターンを紫外線によりウェハ上
に転写する際に、マスク上に異物が僅かでも存在してい
ると回路パターンとともに異物の像がウェハに転写され
て欠陥を生じる。このような欠陥を防ぐためにはマスク
上に異物が存在しないようにしなければならない。そこ
で、ペリクルと称する防塵膜が開発された。
【0003】ペリクルは、ニトロセルロース等により形
成されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンの
ものである。このようなペリクルは、アルミニウム等か
らなるペリクルフレームに接着され、マスク上に装着す
ることによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能と
なる。また、ペリクル上に異物が存在していても、転写
する際にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面と
マスクパターン面との間に距離ができるため、紫外線の
焦点位置がずれてウェハ上に転写されることはない。し
かし、ペリクルはマスクへの異物除去を防ぐ目的で使用
されるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこ
とが要求される。このため、ペリクルをペリクル収納容
器に収容し、ペリクルへの異物の付着を防止している。
【0004】従来、上述したペリクル収納容器として
は、図6および図7に示すようなものが知られている。
図中、10は容器本体、20は蓋、30は矩形枠状のペ
リクルフレーム31に接着されたペリクルである。容器
本体10および蓋20はポリプロピレン系の帯電防止樹
脂等から射出成形により成形され、また、ペリクルフレ
ーム31はアルミニウム(合金)等から構成される。
【0005】容器本体10は周縁に全周にわたって角筒
状の嵌合部11が一体に起設され、また、中央部にペリ
クルフレーム31と対応した大きさの平面視矩形状の載
置部12が上方へ膨出させて突設され、この載置部12
に係止片部13が間欠的に突設される。蓋20は、周縁
に略U字状に屈曲した嵌合部21が、この嵌合部21の
内側に階段状に屈曲された段差テーパ状の押さえ部22
が形成される。
【0006】このペリクル収納容器は、ペリクルフレー
ム31に接着されたペリクル30を容器本体10の載置
部12上に係止片部13の内側で載置し、蓋20を容器
本体10の嵌合部11に蓋20の嵌合部21を嵌合させ
て取り付ける。そして、蓋20を取り付けた状態では、
蓋20が段差テーパ状の押さえ部22によりペリクルフ
レーム31を押さえてガタツキを防止している。なお、
15は容器本体10の裏面に一体形成された脚部であ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のペリクル収納容器にあっては、容器本体10や
蓋20の成形に際して収縮変形等が避けられず、この収
縮変形に起因して永久的な歪みを生じることがあった。
そして、容器本体10や蓋20に歪みが生じた場合、ペ
リクルが接着されたペリクルフレーム31を容器本体1
0内に収容して蓋20の押さえ部22により押さえる
と、ペリクルフレーム31に変形を生じさせるおそれが
あり、また、輸送時等においてペリクルフレームが発塵
の原因となるガタツキを生じるという問題があった。こ
の発明は、上記問題に鑑みなされたもので、容器本体や
蓋に変形が生じた場合でもペリクルフレームに変形を生
じるさせることがなく、また、輸送時等のガタツキも防
止できるペリクル収納容器を提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部
に載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋
する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレー
ムを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記
蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して
挟持するペリクル収納容器において、前記載置部にゴム
弾性を有する弾性変形部材を設け、該弾性変形部材上に
前記ペリクルフレームを載置する構成を採用した。
【0009】そして、この発明のペリクル収納容器は、
前記容器本体の載置部に同芯状に2条の突条を間隔を隔
て突設して該突条間に環状の取付溝を形成するととも
に、前記弾性変形部材を環状に成形し、該弾性変形部材
を前記取付溝に嵌着する態様(請求項2)に、また、前
記弾性変形部材をシリコーンゴムまたは熱可塑性エラス
トマから成形する態様(請求項3)に構成することがで
きる。
【0010】
【作用】この発明にかかるペリクル収納容器は、ペリク
ルが接着されたペリクルフレームを弾性変形部材上に載
置し、この弾性変形部材上に載置されたペリクルフレー
ムを蓋の押さえ部により押圧して保持する。このため、
容器本体や蓋に成形時の収縮に起因した歪みがある場
合、すなわち、蓋の押さえ部による押圧力が不均一な場
合でも弾性変形部材の変形により緩和でき、ペリクルフ
レームの変形や輸送時等のペリクルフレームのガタツキ
が防止される。
【0011】
【実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参
照して説明する。図1から図4はこの発明の一の実施の
形態にかかるペリクル収納容器を示し、図1が半断面し
た平面図、図2が図1のA−A矢視断面図、図3が図2
の一部を拡大した断面図、図4が主要部品の斜視図であ
る。なお、前述した図6,7の従来のペリクル収納容器
と同一の部分には同一の番号を付して説明する。
【0012】図中、10は容器本体、20は蓋、30は
ペリクルである。前述したように、ペリクル30は、ニ
トロセルロース等からなり、ペリクルフレーム31に接
着される。ペリクルフレーム31は、アルミニウム等の
矩形枠状の部材から構成される。
【0013】容器本体10と蓋20はポリプロピレン
(PP)系、ポリスチレン(PS)系、アクリル(PM
MA)系あるいはアクリロニトリル−ブタジエン−スチ
レン(ABS)系等の帯電防止樹脂から射出成形等によ
り成形される。なお、容器本体10と蓋20を構成する
帯電防止樹脂は上述したもの等から適宜選択されるが、
成形性と機械的強度に優れたABSで容器本体10を、
透明性と機械的強度に優れたPMMAで蓋20を成形す
ることが望ましい。
【0014】容器本体10は、略矩形平板状をなし、内
底面周縁に全周にわたって筒状に起立する嵌合部11が
形成され、内底面に矩形枠状の2条の突条18,19が
所定間隔を隔て同芯状に突設される。突条18,19は
略同一の高さを有し、外側の突条19には上部に所定間
隔を隔て係止片部13が突設される。図3に詳示するよ
うに、これら突条18,19の間には取付溝17が突条
18,19と相似の矩形枠状に形成され、この取付溝1
7に弾性変形部材16が嵌着される。なお、15は容器
本体10の裏面の適宜位置に形成された脚部である。
【0015】弾性変形部材16は、図4に詳示するよう
に、矩形枠状をなし、シリコーンゴムや熱可塑性エラス
トマ等のゴム弾性を有する材料、好ましくは、重合度2
0以下のオリゴマーを加熱処理後(HAV炉等を通すな
どによる)してその残存量を0.8%以下としたものな
ど(ペリクル収納容器のコンタミ防止と寸法安定性のた
めに行う)から射出成形等によって成形される。この弾
性変形部材16は、その厚み寸法tが取付溝17の深さ
寸法Dと同一あるいは若干大きく、また、その幅寸法w
が取付溝17の幅寸法Wと略一致する。なお、この弾性
変形部材16はペリクルフレーム31と面で接触するこ
とが必要十分な条件であり、その形状等は任意に選択で
きる。
【0016】蓋20は、容器本体10と対応した略矩形
板状の部材からなり、周縁に断面略U字状に湾曲した嵌
合部21が、この嵌合部21の内側に段差テーパ状の押
さえ部22が形成される。この蓋20は、嵌合部21が
容器本体10の嵌合部11と嵌合して容器本体10を被
蓋し、被蓋した状態で押さえ部22がペリクルフレーム
31と当接して弾性的に押圧し、ペリクルフレーム31
を弾性変形部材16との間で挟持する。
【0017】この実施の形態にあっては、ペリクル30
が接着されたペリクルフレーム31を容器本体10に載
置し、この容器本体10の上部を蓋20により被蓋す
る。ここで、蓋20により被蓋した状態では、ペリクル
フレーム31は容器本体10の弾性変形部材16上に位
置して蓋20の押さえ部22により押圧され、弾性変形
部材16が弾性変形する。このため、容器本体10や蓋
20が歪んでいた場合でも容器本体10や蓋20の歪み
を弾性変形部材16の弾性変形で吸収でき、ペリクルフ
レーム31が変形することを防止でき、また、ペリクル
フレーム31のガタツキも防止できる。
【0018】図5はこの発明の他の実施の形態にかかる
ペリクル収納容器を示す一部拡大断面図である。なお、
この実施の形態においては前述した実施の形態と同一の
部分には同一の番号を付して説明と図示を省略する。
【0019】この実施の形態は、容器本体10内底面に
略矩形枠状の2条の突条41,42を同芯状に突設す
る。内側の突条41は高さが低く、外側の突条42は高
さが高く、この外側の突条42には上部に延在方向間欠
的に係止片部13が一体に形成され、また、内側の突条
41に弾性変形部材43が嵌着される。
【0020】弾性変形部材43は、前述した弾性変形部
材16と同様に、断面形状が略矩形の矩形枠(リング)
状であって、シリコーンゴムや熱可塑性エラストマ等の
ゴム弾性を有する材料から射出成形により形成される。
この弾性変形部材43は、容器本体10側の面に嵌合溝
43aが形成され、この嵌合溝43aを上述した突条4
2に嵌着させて取り付けられる。
【0021】この実施の形態にあっても、ペリクルフレ
ーム31は弾性変形部材43上に載せられ、被蓋した蓋
20の押さえ部22により弾性変形部材43に向けて押
圧される。したがって、上述した実施の形態と同様に、
ペリクルフレーム31は弾性変形部材43を弾性変形さ
せて該弾性変形部材43と押さえ部22との間に挟持さ
れ、蓋20等の歪みが弾性変形部材43の弾性変形によ
り吸収される。したがって、蓋20等が歪んでいた場合
でも、ペリクルフレーム31が変形を生じることがな
く、また、輸送時等のペリクルフレーム31のガタツキ
も防止できる。
【0022】
【発明の効果】以上説明したように、この発明にかかる
ペリクル収納容器によれば、容器本体にゴム弾性を有す
る弾性変形部材を設け、ペリクルが接着されたペリクル
フレームを弾性変形部材上に載置して蓋の押さえ部によ
り押圧して保持するため、蓋や容器本体の歪みが弾性変
形部材の弾性変形で吸収され、ペリクルフレームの変形
や輸送時のガタツキを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一の実施の形態にかかるペリクル収
納容器を示し、蓋の半分を取り除いた平面図である。
【図2】図1のA−A矢視断面図である。
【図3】図2に一部を拡大した図である。
【図4】同ペリクル収納容器における弾性変形部材の斜
視図である。
【図5】この発明の他の実施の形態にかかるペリクル収
納容器の一部を拡大した断面図である。
【図6】従来のペリクル収納容器の蓋の半分を取り除い
た平面図である。
【図7】図6のB−B矢視断面図である。
【符号の説明】
10 容器本体 11 嵌合部 13 係止片部 16 弾性変形部材 17 取付溝 18 突条 19 突条 20 蓋 21 嵌合部 22 押さえ部 30 ペリクル 31 ペリクルフレーム 41 突条 42 突条 43 弾性変形部材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 周縁に嵌合部が囲繞形成され、内底部に
    載置部が設けられた容器本体と、内面に押さえ部を有
    し、前記容器本体の嵌合部に嵌合して該容器本体を被蓋
    する蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレー
    ムを前記載置部に載置し、前記ペリクルフレームを前記
    蓋の押さえ部により前記載置部に向け弾性的に押圧して
    挟持するペリクル収納容器において、 前記載置部にゴム弾性を有する弾性変形部材を設け、該
    弾性変形部材上に前記ペリクルフレームを載置すること
    を特徴とするペリクル収納容器。
  2. 【請求項2】 前記容器本体の載置部に同芯状に2条の
    突条を間隔を隔て突設して該突条間に環状の取付溝を形
    成するとともに、前記弾性変形部材を環状に成形し、該
    弾性変形部材を前記取付溝に嵌着した請求項1に記載の
    ペリクル収納容器。
  3. 【請求項3】 前記弾性変形部材をシリコーンゴムまた
    は熱可塑性エラストマから成形した請求項1または請求
    項2に記載のペリクル収納容器。
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