TWM540115U - 運載裝置 - Google Patents

Description

運載裝置

本新型創作是有關於一種運載裝置，且特別是有關於一種用以運載片狀物的運載裝置。

一般易碎型片狀物，例如半導體或光電產業所使用的晶圓、光罩、玻璃基板等，若要由甲地運送至乙地，必須避免片狀物受到碰撞，否則容易產生碎裂。而且像是晶圓、光罩等容易因為微粒汙染而影響品質的物品，還需要避免在運送過程中附著灰塵，因此包裝該等物品通常不能使用紙類或泡棉類等容易產生細屑的緩衝材料。

以晶圓為例說明，目前用以裝載多片晶圓的運載器通常包含一座體及一可重置地蓋合於座體的蓋體，兩者共同形成一容置空間，並在座體上設有承載件用以容置多片晶圓。而習知的運載器係將承載件裝設於座體的頂板上，若座體的頂板的結構穩固性差，會導致運送晶圓的過程中承載件晃動或晶圓滑移而產生晶圓破裂的風險。

此外，由於成本及重量等因素的考量，現代之運載器經常是採用塑膠材料製成。但塑膠材料又有容易受外力作用或環境溫度變化等影響而變形等的問題。尤其是當以塑膠製成的座體頂板因受到其所承載的承載件以及承載件中所裝載的晶圓、光罩或基板等物品的重量所造成的下壓力或是環境溫度的變化影響而發生變形等情況時，設置在其上的承載件就可能會隨之產生偏斜或變形。這對半導體或光電等高度自動化且凡事要求精密的高科技產業來說，就會造成許多問題，例如會使自動取/放片設備因無法準確對位而無法正確動作，甚至可能因而使得自動取/放片設備摩擦甚或撞擊運載器中所裝載的晶圓、光罩或基板而使其損壞。

本新型創作提供一種運載裝置，其結構穩固而可避免承載件晃動或偏斜。

本新型創作的運載裝置包括一座體、一架體、至少一承載結構及一蓋體。座體包括一設置於座體底部之底板，其中底板上具有多個第一連接部。架體包括一底架及至少一立架，其中底架透過這些第一連接部而連接於底板，立架配置於底架上。每一承載結構連接於一立架且每一承載結構包括多個一體成形地相連接的承載件，各承載件適於承載至少一片狀物。蓋體可移除地與座體結合而覆蓋架體及承載結構。

在本新型創作的一實施例中，上述的座體更包括一頂板，頂板位於底板與底架之間，這些第一連接部穿過頂板而連接底架。

在本新型創作的一實施例中，上述的底架與頂板之間具有間隙。

在本新型創作的一實施例中，上述的各第一連接部為一柱體。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一立架沿一鉛直方向延伸，各承載結構分別沿一水平方向連接至一立架。

在本新型創作的一實施例中，上述的底架具有至少一定位凹槽，且各立架的底端分別嵌入一定位凹槽。

在本新型創作的一實施例中，上述的至少一立架的數量為多個，且每一立架皆具有一結合面及一安裝面，任一立架之一側端係結合於另一立架之結合面以使這些立架圍繞構成一井字型結構，每一立架之安裝面與一承載結構連接且承載結構朝向運載裝置之外側。

在本新型創作的一實施例中，上述的架體的材質包括金屬。

在本新型創作的一實施例中，上述的各承載結構具有相對的一前側及一後側，前側係為承載結構靠近座體外周緣之一側，且片狀物適於從前側置入對應的承載件，承載結構藉由後側連接於上述的立架。

在本新型創作的一實施例中，上述的各承載件包括相對的兩側牆，各側牆從後側延伸至前側且各側牆的內側面具有多個向內凸伸的凸緣，這些凸緣構成多個容置槽，各容置槽適於容置一片狀物。

在本新型創作的一實施例中，上述的各容置槽的寬度從後側往前側漸增。

在本新型創作的一實施例中，上述的各承載件具有多個第二連接部，至少一立架具有多個定位穴，這些第二連接部分別伸入這些定位穴後與立架連接。

在本新型創作的一實施例中，上述的各第二連接部為一柱體。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構與底架之間具有間隙。

在本新型創作的一實施例中，上述的承載結構的材質包括塑膠或複合材料。

基於上述，在本新型創作的運載裝置中，架體之底架透過座體之底板上的第一連接部而連接於底板，且承載結構連接於架體之立架。從而，承載結構非如習知技術般直接連接於座體之頂板，而是透過架體而連接至座體的底板。由於底板都是平貼於被放置處的表面，例如機台之裝卸埠的表面，因此受到全面而穩固的支撐，其穩固性遠較頂板高出許多。故藉由將承載結構連接於架體之立架，再將架體之底架透過第一連接部而連接於底板，可直接將承載結構以及其裝載物件的重量直接傳遞至底板，而避免因所述頂板的結構穩固性差而導致承載結構晃動；同時也可避免頂板在受到承載結構及其裝載物件的重力壓迫或是環境溫度變化的影響而發生變形，並連帶造成承載結構偏斜或變形。此外，承載結構的多個承載件設計為一體成形地相連接並共同組裝至同一立架，也可進一步增加結構強度，避免變形或偏斜的發生。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。圖2是圖1的運載裝置的部分構件立體圖。圖3A是圖2的運載裝置的部分構件立體圖。圖3B是圖3A中圈示部分之放大圖。請參考圖1至圖3B，本實施例的運載裝置100包括一座體110、一架體120、多個承載結構130(繪示為四個)及一蓋體140。架體120配置於座體110上，架體120與座體110主要皆是由強度較高的材料，例如金屬或高強度的工程塑膠等材料所製成；承載結構130之材質也可有許多不同的選擇，例如塑膠或複合材料等，各承載結構130配置於架體120上，並用以承載片狀物50。蓋體140可移除地與該座體110結合以覆蓋架體120及各承載結構130。片狀物50例如是晶圓、光罩、玻璃基板或其他種類的片狀物，本新型創作不對此加以限制。

圖4是圖1的運載裝置於另一視角的立體圖。圖5是圖3A的運載裝置的部分構件立體圖。圖6是圖1的運載裝置的局部剖面圖。圖7繪示圖5的底架與第一連接部。詳細而言，本實施例的座體110如圖4至圖6所示包括一設置於該座體110底部之底板112及一頂板114，底板112上具有圖5至圖7所示的多個第一連接部112a(繪示為四個)。架體120如圖3A所示包括一底架122及多個立架124(繪示為四個)，底架122透過所述多個第一連接部112a而連接於底板112，其中頂板114位於底板112與底架122之間，各第一連接部112a穿過頂板114而連接底架122。各立架124配置於底架122上且沿鉛直方向延伸，各承載結構130如圖2所示沿水平方向連接於對應的立架124且包括一體成形地相連接的多個承載件132(繪示為兩個)，各承載件132適於承載所述片狀物50。在本實施例中，各立架124例如藉由卡合、螺鎖或其他適當方式組裝於底架122，本新型創作不對此加以限制。

在上述配置方式之下，架體120之底架122透過座體110之底板112上的第一連接部112a而連接於底板112，且承載結構130連接於架體120之立架124。從而，承載結構130非如習知技術般直接連接於座體110之頂板114，而是透過架體120而連接至座體110的底板112。由於底板112都是平貼於被放置處的表面，例如機台之裝卸埠的表面，因此受到全面而穩固的支撐，其穩固性遠較頂板114高出許多。故藉由將承載結構130連接於架體120之立架124，再將架體120之底架122透過第一連接部112a而連接於底板112，可直接將承載結構130以及其裝載物件的重量直接傳遞至底板112，避免因頂板114的結構穩固性差而導致承載結構130晃動；同時也可避免頂板114在受到承載結構130及承載結構130中裝載的晶圓、光罩或玻璃基板等物件的重力壓迫或是環境溫度變化的影響而發生變形，而連帶造成承載結構130偏斜或變形等問題的發生。此外，各承載結構130所具有的多個承載件132設計為一體成形地相連接並共同組裝至同一立架124，可進一步增加結構強度。

第一連接部112a可以有許多不同型式的結構設計，在本實施例中之各第一連接部112a係以柱體作為範例，所述柱體具有螺孔，而可藉由螺絲112b(繪示於圖6)將底架122鎖附於所述柱體。在其他實施例中，第一連接部112a可為其他適當形式的連接結構，本新型創作不對此加以限制。

如圖6所示，架體120之底架122與座體110之頂板114之間具有間隙G1。亦即，架體120與頂板114彼此分離，架體120是由底板112及第一連接部112a來支撐。在其他實施例中，架體120亦可承靠於頂板114上，本新型創作不對此加以限制。但當架體120之底架122與座體110之頂板114之間具有間隙G1時，頂板114即使因為製造上的缺陷或是因為受到環境溫度變化的影響而有輕微變形的狀況發生時，該變形便不致於直接推擠或影響底架122，進而也就確保了整個架體120與連接在架體120之承載結構130不致隨之歪斜甚或變形。

圖8A是圖2的承載結構及架體的側視圖，圖8B則為圖8A之局部放大圖。類似地，承載結構130與底架122之間如圖8A及圖8B所示也可具有一間隙G2。亦即，承載結構130是連接、固定於立架124上並由立架124來支撐，而承載結構130與底架122間則互不接觸。如此可以避免承載結構130與底架122間的相互作用，即使底架122或部分承載結構130發生局部的輕微變形，也不會因而造成整體結構的變形或歪斜。在其他實施例中，承載結構130亦可承靠於底架122上，本新型創作不對此加以限制。

請參考圖5，本實施例的底架122具有多個定位凹槽122a，各立架124的底端如圖3A所示嵌入對應的定位凹槽122a，以提高底架122與立架124的定位準度及結構強度。

此外，每一立架124皆具有一結合面124a及一安裝面124b，任一立架124之一側端係結合固定於另一立架124之結合面124a上，使該些立架124圍繞構成一井字型結構。此時底架122上的定位凹槽122a也對應形成相同的井字型結構以容許各立架124的底端能夠嵌入。藉由上述結構以提升架體120的結構強度，使其不易歪斜或扭曲變形。

在本實施例中，各承載結構130具有相對的一前側130a及一後側130b(標示於圖8A)，前側130a係為各承載結構130靠近該座體110外周緣之一側。片狀物50適於從前側130a置入對應的承載件132，且承載結構130是藉由後側130b連接於對應的立架124的安裝面124b。各承載結構130的前側130a朝向運載裝置100的外側，讓使用者便於從各承載結構130取放片狀物50。

詳細而言，各承載件132如圖2所示包括相對的兩側牆132a，各側牆132a從承載結構130的後側130b延伸至承載結構130的前側130a，且各側牆132a的內側面具有多個向承載件132內部凸伸的凸緣132b，這些凸緣132b構成多個容置槽132c，各容置槽132c適於容置一片狀物50。

此外，各容置槽132c的寬度可以不是固定的，例如是從承載結構130的後側130b往承載結構130的前側130a漸增的，以適於容納具有特定形狀的片狀物50。在其他實施例中，片狀物50及容置槽132c可為其他適當形狀，本新型創作不對此加以限制。

圖9是圖8A的承載結構的立體圖。請參考圖8A及圖9，本實施例的各承載件132具有多個第二連接部132d，且各立架124如圖3A所示具有多個定位穴124c，這些第二連接部132d分別伸入這些定位穴124c，以提高承載件132與立架124的定位準確性，確保組裝後不致位移與變形。

在本實施例中，各第二連接部132d可以有不同的造型/結構，例如為一柱體，所述柱體具有一螺孔或埋入/嵌入有一螺帽。而如圖3B所示，各定位穴124c中央具有一穿孔124d。藉由在各穿孔124d穿設一螺絲（圖未示）而將立架124鎖附於所述柱體，便可將承載件132連接並固定於立架124上。在其他實施例中，第二連接部132d可為其他適當形式的連接結構，本新型創作不對此加以限制。

綜上所述，在本新型創作的運載裝置中，架體之底架透過座體之底板上的第一連接部而連接於底板，且承載結構連接於架體之立架。從而，承載結構非如習知技術般直接連接於座體之頂板，而是透過架體而連接至座體的底板。由於底板都是平貼於被放置處的表面，例如機台之裝卸埠的表面，因此受到全面而穩固的支撐，其穩固性遠較頂板高出許多。故藉由將承載結構連接於架體之立架，再將架體之底架透過第一連接部而連接於底板，可直接將承載結構以及其裝載物件的重量直接傳遞至底板，而避免因所述頂板的結構穩固性差導致承載結構晃動；同時也可避免頂板在受到承載結構及其裝載物件的重力壓迫或是環境溫度變化的影響而發生變形，並連帶造成承載結構偏斜或變形。此外，承載結構的多個承載件設計為一體成形地相連接並共同組裝至同一立架，可進一步增加結構強度。再者，架體可形成井字型結構，藉以提升架體的結構強度，使其不易扭曲變形或偏斜。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

50‧‧‧片狀物
100‧‧‧運載裝置
110‧‧‧座體
112‧‧‧底板
112a‧‧‧第一連接部
112b‧‧‧螺絲
114‧‧‧頂板
120‧‧‧架體
122‧‧‧底架
122a‧‧‧定位凹槽
124‧‧‧立架
124a‧‧‧結合面
124b‧‧‧安裝面
124c‧‧‧定位穴
124d‧‧‧穿孔
130‧‧‧承載結構
130a‧‧‧前側
130b‧‧‧後側
132‧‧‧承載件
132a‧‧‧側牆
132b‧‧‧凸緣
132c‧‧‧容置槽
132d‧‧‧第二連接部
140‧‧‧蓋體
G1、G2‧‧‧間隙

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。 圖2是圖1的運載裝置的部分構件立體圖。 圖3A是圖2的運載裝置的部分構件立體圖。 圖3B是圖3A中圈示部分之放大圖。 圖4是圖1的運載裝置於另一視角的立體圖。 圖5是圖3A的運載裝置的部分構件立體圖。 圖6是圖1的運載裝置的局部剖面圖。 圖7繪示圖5的底架與第一連接部。 圖8A是圖2的承載結構及架體的側視圖。 圖8B是圖8A中圈示部分之放大圖。 圖9是圖8A的承載結構的立體圖。

50‧‧‧片狀物

110‧‧‧座體

114‧‧‧頂板

120‧‧‧架體

122‧‧‧底架

124‧‧‧立架

130‧‧‧承載結構

132‧‧‧承載件

132a‧‧‧側牆

132b‧‧‧凸緣

132c‧‧‧容置槽

Claims (15)

1. 一種運載裝置，包括： 一座體，包括一設置於該座體底部之底板，其中該底板上具有多個第一連接部； 一架體，包括一底架及至少一立架，其中該底架透過該些第一連接部而連接於該底板，該至少一立架配置於該底架上； 至少一承載結構，每一該承載結構連接於一該立架，且每一該承載結構包括多個一體成形地相連接的承載件，各該承載件適於承載至少一片狀物；以及 一蓋體，其係可移除地與該座體結合而覆蓋該架體及該至少一承載結構。
2. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該座體更包括一頂板，該頂板位於該底板與該底架之間，該些第一連接部穿過該頂板而連接該底架。
3. 如申請專利範圍第2項所述的運載裝置，其中該底架與該頂板之間具有間隙。
4. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中各該第一連接部為一柱體。
5. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該至少一立架沿一鉛直方向延伸，各該承載結構分別沿一水平方向連接至一該立架。
6. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該底架具有至少一定位凹槽，且各該立架的底端分別嵌入一該定位凹槽。
7. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該至少一立架的數量為多個，且每一該立架皆具有一結合面及一安裝面，任一該立架之一側端係結合於另一該立架之該結合面以使該些立架圍繞構成一井字型結構，每一該立架之該安裝面與一該承載結構連接且該承載結構朝向該運載裝置之外側。
8. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該架體的材質包括金屬。
9. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中各該承載結構具有相對的一前側及一後側，該前側係為該承載結構靠近該座體外周緣之一側，且該片狀物適於從該前側置入對應的該承載件，該承載結構藉由該後側連接於該立架。
10. 如申請專利範圍第9項所述的運載裝置，其中各該承載件包括相對的兩側牆，各該側牆從該後側延伸至該前側且各該側牆的內側面具有多個向內凸伸的凸緣，該些凸緣構成多個容置槽，各該容置槽適於容置一該片狀物。
11. 如申請專利範圍第10項所述的運載裝置，其中各該容置槽的寬度從該後側往該前側漸增。
12. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中各該承載件具有多個第二連接部，該至少一立架具有多個定位穴，該些第二連接部分別伸入該些定位穴後與該立架連接。
13. 如申請專利範圍第12項所述的運載裝置，其中各該第二連接部為一柱體。
14. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該承載結構與該底架之間具有間隙。
15. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該承載結構的材質包括塑膠或複合材料。